特開 2022-110742 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022110742

(43)【公開日】2022-07-29

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/02 20060101AFI20220722BHJP

   G05B 19/409 20060101ALI20220722BHJP

【ＦＩ】

H01L21/02 Z

G05B19/409 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021006346

(22)【出願日】2021-01-19

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】特許業務法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山中 聡

(72)【発明者】

【氏名】万波 秀年

【テーマコード（参考）】

3C269

【Ｆターム（参考）】

3C269AB07

3C269BB07

3C269MN02

3C269MN26

3C269MN27

3C269MN46

3C269MN50

3C269QC01

3C269QD02

3C269QE01

3C269QE12

3C269QE15

3C269QE17

3C269QE22

3C269QE26

3C269QE31

3C269QE34

(57)【要約】

【課題】加工装置におけるタッチパネルの画面構成を、作業者の要求に容易にあわせる。
【解決手段】タッチパネル６０の画面表示部８２に表示されている画面に関し、作業者が、Ｇｏｏｄボタン１１２およびＢａｄボタン１１４を用いて、意見を容易に記録することができる。したがって、装置メーカは、各画面に関する作業者の意見に基づいて画面を改良することにより、各作業者の意見に応じた画面構成を構築することができる。したがって、タッチパネル６０を備える加工装置の画面構成を、作業者の要求にあわせることが容易となる。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持する保持部材と、被加工物を加工する加工機構と、タッチパネルと、を備えた加工装置であって、
該タッチパネルは、Ｇｏｏｄボタンと、Ｂａｄボタンと、を備え、
該タッチパネルに表示された画面を示す符号または名称と、該画面が表示された日時とを記録する画面記録部と、
該Ｇｏｏｄボタンが押されたことと、該Ｇｏｏｄボタンが押された日時とを記録するＧｏｏｄ記録部と、
該Ｂａｄボタンが押されたことと、該Ｂａｄボタンが押された日時とを記憶するＢａｄ記録部と、
を備える加工装置。

【請求項2】

マイクと、
該マイクに入力された音声を録音する録音部と、
該Ｇｏｏｄボタンまたは該Ｂａｄボタンが押されたことに連動して該録音部を起動させる録音制御部と、をさらに備える、
請求項１記載の加工装置。

【請求項3】

加工装置に対して該タッチパネルを接続及び離脱可能とする着脱部をさらに備え、
該タッチパネルが該加工装置に接続された際に、該録音部が録音可能となる、
請求項２記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１～３に開示のように、被加工物を加工する加工装置では、タッチパネルを用いて加工条件が入力される。また、特許文献４に開示のように、タッチパネルを用いて、各動作軸の操作を実施することが可能である。また、特許文献５に開示のように、各動作軸の操作を、脱着可能なタッチパネルを用いて行うこともある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１２３６１７号公報

【特許文献2】特開２０２０－１４９０８９号公報

【特許文献3】特開２０１９－０３４３７０号公報

【特許文献4】特開２０１８－１７６３２０号公報

【特許文献5】特開２０２０－１１４６２５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のようなタッチパネルには、複数のボタンが、装置メーカによる設計に応じて配置されている。

【0005】

しかし、使用者である作業者は、装置メーカによって決められたボタン配置では作業性が悪いため、ボタン配置を変更したいと判断することがある。そこで、作業者は、このようなボタン配置の変更などの画面構成の変更を、ノートにメモするなどによって記録しておいて、装置メーカに通知している。しかし、このような記録方法では、変更依頼箇所を明確に伝えることが困難な場合がある。

【0006】

したがって、本発明の目的は、加工装置におけるタッチパネルの画面構成を作業者の要求にあわせることを、容易にすることにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の加工装置（本加工装置）は、被加工物を保持する保持部材と、被加工物を加工する加工機構と、タッチパネルと、を備えた加工装置であって、該タッチパネルは、Ｇｏｏｄボタンと、Ｂａｄボタンと、を備え、該タッチパネルに表示された画面を示す符号または名称と、該画面が表示された日時とを記録する画面記録部と、該Ｇｏｏｄボタンが押されたことと、該Ｇｏｏｄボタンが押された日時とを記録するＧｏｏｄ記録部と、該Ｂａｄボタンが押されたことと、該Ｂａｄボタンが押された日時とを記憶するＢａｄ記録部と、を備える。

【0008】

本加工装置は、マイクと、該マイクに入力された音声を録音する録音部と、該Ｇｏｏｄボタンまたは該Ｂａｄボタンが押されたことに連動して該録音部を起動させる録音制御部と、をさらに備えてもよい。

【0009】

本加工装置は、加工装置に対して該タッチパネルを接続及び離脱可能とする着脱部をさらに備えてもよく、該タッチパネルが該加工装置に接続された際に、該録音部が録音可能となってもよい。

【発明の効果】

【0010】

本加工装置では、タッチパネルに表示されている画面に関し、ＧｏｏｄボタンおよびＢａｄボタンを介して作業者の意見を記録すること、および、記録された意見と画面とを、意見の記録日時および画面の表示日時を介して関連づけることが可能である。すなわち、本加工装置では、各画面に関する作業者の意見を記録することを、容易に実施することができる。
したがって、装置メーカは、この意見に基づいて画面を改良することにより、各作業者の意見に応じた画面構成を構築すること、あるいは、複数の作業者の意見に基づく汎用性のある適切な画面構成を構築することができる。これにより、作業者にとって操作しやすい加工装置を製造することが可能となる。
このように、本加工装置では、加工装置におけるタッチパネルの画面構成を、作業者の要求にあわせることが容易となる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本実施形態にかかる加工装置の構成を示す斜視図である。

【図2】タッチパネルおよび制御ユニットの構成を示すブロック図である。

【図3】タッチパネルの表示例を示す説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

図１に示す加工装置１は、粗研削機構３０および仕上げ研削機構３１を備え、チャックテーブル５上に保持されたウェーハ１００を、粗研削機構３０および仕上げ研削機構３１により研削する。

【0013】

図１に示すウェーハ１００は、被加工物の一例であり、たとえば、円形の半導体ウェーハである。ウェーハ１００の表面１０１には、図示しないデバイスが形成されている。ウェーハ１００の表面１０１は、図１においては下方を向いており、保護テープ１０５が貼着されることによって保護されている。ウェーハ１００の裏面１０４は、研削処理が施される被加工面となる。

【0014】

加工装置１は、第１の装置ベース１０と、第１の装置ベース１０の後方（＋Ｙ方向側）に配置された第２の装置ベース１１とを有している。第１の装置ベース１０上は、ウェーハ１００の搬出入等が行われる領域である搬出入領域４０１となっている。第２の装置ベース１１上は、加工領域４０２となっている。この加工領域４０２では、粗研削機構３０または仕上げ研削機構３１によって、チャックテーブル５に保持されたウェーハ１００が加工される。

【0015】

第１の装置ベース１０の正面側（－Ｙ方向側）には、第１のカセットステージ１６０および第２のカセットステージ１６２が設けられている。第１のカセットステージ１６０には、加工前のウェーハ１００が収容される第１のカセット１６１が載置されている。第２のカセットステージ１６２には、加工後のウェーハ１００が収容される第２のカセット１６３が載置されている。

【0016】

第１のカセット１６１および第２のカセット１６３は、内部に複数の棚を備えており、各棚に一枚ずつウェーハ１００が収容されている。すなわち、第１のカセット１６１および第２のカセット１６３は、複数のウェーハ１００を棚状に収容する。

【0017】

第１のカセット１６１および第２のカセット１６３の開口（図示せず）は、＋Ｙ方向側を向いている。これらの開口の＋Ｙ方向側には、ロボット１５５が配設されている。ロボット１５５は、ウェーハ１００を保持する保持面を備えている。ロボット１５５は、加工後のウェーハ１００を第２のカセット１６３に搬入（収納）する。また、ロボット１５５は、第１のカセット１６１から加工前のウェーハ１００を取り出して、仮置き機構１５２の仮置きテーブル１５４に載置する。

【0018】

仮置き機構１５２は、第１のカセット１６１から取り出されたウェーハ１００を仮置きするために用いられ、ロボット１５５に隣接する位置に設けられている。仮置き機構１５２は、仮置きテーブル１５４、および、位置合わせ部材１５３を有している。位置合わせ部材１５３は、仮置きテーブル１５４を囲むように外側に配置される複数の位置合わせピンと、位置合わせピンを仮置きテーブル１５４の径方向に移動させるスライダとを備えている。位置合わせ部材１５３では、位置合わせピンが仮置きテーブル１５４の径方向に中央に向かって移動されることにより、複数の位置合わせピンを結ぶ円が縮径される。これにより、仮置きテーブル１５４に裏面１０４を上にして載置されたウェーハ１００が、所定の位置に位置合わせ（センタリング）される。

【0019】

仮置き機構１５２に隣接する位置には、搬入機構１７０が設けられている。搬入機構１７０は、仮置き機構１５２に仮置きされたウェーハ１００を、チャックテーブル５に搬入する。搬入機構１７０は、ウェーハ１００の裏面１０４を吸引保持する吸引面を有する吸引パッド（搬送パッド）１７１を備えている。搬入機構１７０は、仮置きテーブル１５４に仮置きされたウェーハ１００を吸引パッド１７１によって吸引保持して、加工領域４０２内における仮置き機構１５２の近傍に位置しているチャックテーブル５へ搬送し、その保持面５０に載置する。

【0020】

チャックテーブル５は、ウェーハ１００を保持する保持部材の一例であり、ウェーハ１００を吸引保持する保持面５０を備えている。保持面５０は、図示しない吸引源に連通されて、保護テープ１０５を介して、ウェーハ１００を吸引保持することが可能である。チャックテーブル５は、保持面５０によってウェーハ１００を吸引保持した状態で、保持面５０の中心を通りＺ軸方向に延在する中心軸を中心として、回転可能である。

【0021】

本実施形態では、第２の装置ベース１１上に配設されたターンテーブル６の上面に、３つのチャックテーブル５が、ターンテーブル６の中心を中心とする円上に、等間隔に配設されている。ターンテーブル６の中心には、ターンテーブル６を自転させるための図示しない回転軸が配設されている。ターンテーブル６は、この回転軸によって、Ｚ軸方向に延びる軸心を中心に自転することができる。ターンテーブル６が自転することで、３つのチャックテーブル５が公転する。これにより、チャックテーブル５を、仮置き機構１５２の近傍、粗研削機構３０の下方、および、仕上げ研削機構３１の下方に、順次、位置付けることができる。

【0022】

第２の装置ベース１１上の後方（＋Ｙ方向側）には、第１のコラム１２が立設されている。第１のコラム１２の前面には、ウェーハ１００を粗研削する粗研削機構３０、および、粗研削機構３０を研削送りする粗研削送り機構２０が配設されている。粗研削機構３０は、加工具を用いてウェーハ１００を加工する加工機構の一例である。

【0023】

粗研削送り機構２０は、Ｚ軸方向に平行な一対のガイドレール２０１、このガイドレール２０１上をスライドする昇降テーブル２０３、ガイドレール２０１と平行なボールネジ２００、ボールネジ２００を回転駆動するモータ２０２、および、昇降テーブル２０３の前面（表面）に取り付けられたホルダ２０４を備えている。ホルダ２０４は、粗研削機構３０を保持している。

【0024】

昇降テーブル２０３は、ガイドレール２０１にスライド可能に設置されている。図示しないナット部が、昇降テーブル２０３の後面側（裏面側）に固定されている。このナット部には、ボールネジ２００が螺合されている。モータ２０２は、ボールネジ２００の一端部に連結されている。

【0025】

粗研削送り機構２０では、モータ２０２がボールネジ２００を回転させることにより、昇降テーブル２０３が、ガイドレール２０１に沿って、Ｚ軸方向に移動する。これにより、昇降テーブル２０３に取り付けられたホルダ２０４、および、ホルダ２０４に保持された粗研削機構３０も、昇降テーブル２０３とともにＺ軸方向に移動する。このようにして、粗研削送り機構２０は、粗研削機構３０をＺ軸方向に沿って研削送りする。

【0026】

粗研削機構３０は、ホルダ２０４に固定されたスピンドルハウジング３０１、スピンドルハウジング３０１に回転可能に保持されたスピンドル３００、スピンドル３００を回転駆動するモータ３０２、スピンドル３００の下端に取り付けられたホイールマウント３０３、および、ホイールマウント３０３の下面に着脱可能に接続された研削ホイール３０４を備えている。

【0027】

スピンドルハウジング３０１は、Ｚ軸方向に延びるようにホルダ２０４に保持されている。スピンドル３００は、チャックテーブル５の保持面５０と直交するようにＺ軸方向に延び、スピンドルハウジング３０１に回転可能に支持されている。

【0028】

モータ３０２は、スピンドル３００の上端側に連結されている。このモータ３０２により、スピンドル３００は、Ｚ軸方向に延びる回転軸を中心として回転する。

【0029】

ホイールマウント３０３は、円板状に形成されており、スピンドル３００の下端（先端）に固定されて、スピンドル３００の回転に応じて回転する。ホイールマウント３０３は、研削ホイール３０４を支持している。

【0030】

研削ホイール３０４は、外径がホイールマウント３０３の外径と略同径を有するように形成されている。研削ホイール３０４は、アルミニウム合金等の金属材料から形成された円環状のホイール基台（環状基台）３０５を含む。ホイール基台３０５の下面には、全周にわたって、略直方体形状の複数の粗研削砥石３０６が、環状に配置および固定されている。粗研削砥石３０６は、スピンドル３００の回転により回転され、チャックテーブル５に保持されたウェーハ１００の裏面１０４を研削する。粗研削砥石３０６は、加工具の一例であり、比較的大きな砥粒を含む砥石である。

【0031】

スピンドル３００の内部には、Ｚ軸方向に延びる研削水流路が形成されており、この研削水流路に、図示しない研削水供給機構が連通している（ともに図示せず）。研削水供給機構からスピンドル３００に対して供給される研削水は、研削水流路の下端の開口から粗研削砥石３０６に向かって下方に噴出し、粗研削砥石３０６とウェーハ１００との接触部位に到達する。

【0032】

粗研削機構３０の下方に配置されたチャックテーブル５に隣接する位置には、第１ハイトゲージ５１が配設されている。第１ハイトゲージ５１は、たとえば粗研削中に、ウェーハ１００の厚みを接触式または非接触式にて測定する。

【0033】

また、第２の装置ベース１１上の後方には、第２のコラム１３が、Ｘ軸方向に沿って第１のコラム１２に隣接するように、立設されている。第２のコラム１３の前面には、ウェーハ１００を仕上げ研削する仕上げ研削機構３１、および、仕上げ研削機構３１を研削送りする仕上げ研削送り機構２１が配設されている。仕上げ研削機構３１は、加工具を用いてウェーハ１００を加工する加工機構の一例である。

【0034】

仕上げ研削送り機構２１は、粗研削送り機構２０と同様の構成を有しており、仕上げ研削機構３１をＺ軸方向に沿って研削送りすることができる。仕上げ研削機構３１は、粗研削砥石３０６に代えて、仕上げ研削砥石３０７を備えていることを除いて、粗研削機構３０と同様の構成を有している。仕上げ研削砥石３０７は、加工具の一例であり、比較的小さな砥粒を含む砥石である。

【0035】

仕上げ研削機構３１の下方に配置されたチャックテーブル５に隣接する位置には、第２ハイトゲージ５２が配設されている。第２ハイトゲージ５２は、たとえば仕上げ研削中に、ウェーハ１００の厚みを接触式または非接触式にて測定する。

【0036】

仕上げ研削後のウェーハ１００は、搬出機構１７２によって搬出される。搬出機構１７２は、チャックテーブル５に保持されたウェーハ１００をスピンナ洗浄機構１５６に搬送する。

【0037】

搬出機構１７２は、ウェーハ１００の裏面１０４を吸引保持する吸引面を有する吸引パッド（搬送パッド）１７３を備えている。搬出機構１７２は、チャックテーブル５に載置されている仕上げ研削後のウェーハ１００の裏面１０４を、吸引パッド１７３によって吸引保持する。その後、搬出機構１７２は、ウェーハ１００をチャックテーブル５から搬出して、枚葉式のスピンナ洗浄機構１５６のスピンナテーブル１５７に搬送する。

【0038】

スピンナ洗浄機構１５６は、ウェーハ１００を洗浄するスピンナ洗浄ユニットである。スピンナ洗浄機構１５６は、ウェーハ１００を保持するスピンナテーブル１５７、および、スピンナテーブル１５７に向けて洗浄水および乾燥エアを噴射するノズル１５８を備えている。

【0039】

スピンナ洗浄機構１５６では、ウェーハ１００を保持したスピンナテーブル１５７が回転するとともに、ウェーハ１００の裏面１０４に向けて洗浄水が噴射されて、裏面１０４がスピンナ洗浄される。その後、ウェーハ１００に乾燥エアが吹き付けられて、ウェーハ１００が乾燥される。

【0040】

スピンナ洗浄機構１５６によって洗浄されたウェーハ１００は、ロボット１５５により、第２のカセットステージ１６２上の第２のカセット１６３に搬入される。

【0041】

また、加工装置１は、第１の装置ベース１０および第２の装置ベース１１を覆う筐体１５を備えている。筐体１５の側面には、タッチパネル６０が設置されている。

【0042】

タッチパネル６０には、加工装置１に関するデバイスデータ（加工条件）等の各種情報が表示される。また、タッチパネル６０は、デバイスデータ等の各種情報を設定するためにも用いられる。このように、タッチパネル６０は、情報を入力するための入力部材として機能するとともに、情報を表示するための表示部材としても機能する。

【0043】

また、タッチパネル６０は、マイク６１を有している。このマイク６１は、作業者の発した音声を録音するために用いられる。
なお、マイク６１は、タッチパネル６０の近くに配置されていてもよい。
つまり、マイク６１は、タッチパネル６０に作業者が作業している際に、作業者の発した音声を録音可能な位置に加工装置１に配置されていてもよい。

【0044】

また、加工装置１は、その内部に、加工装置１の制御のための制御ユニット７を有している。制御ユニット７は、統括制御部としての制御部７０、および、タッチパネル６０の画面に関する記録部７１を有している。

【0045】

制御部７０は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、および、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７０は、各種の処理を実行し、加工装置１の各構成要素を統括制御する。

【0046】

また、本実施形態では、制御部７０は、記録部７１を用いて、タッチパネル６０に表示される画面について、画面構成に対する作業者の評価に関するデータ（画面評価データ）を作成することができる。

【0047】

以下に、タッチパネル６０について詳細に説明する。
図２に示すように、タッチパネル６０は、画面表示を制御するための制御回路等を含む表示制御部８１、画面が表示されるタッチディスプレイである画面表示部８２、および、タッチパネル６０に対する作業者からの入力を受け付ける入力部８３を備えている。入力部８３は、画面表示部８２に対する作業者のタッチ入力、および、図１に示したマイク６１を介して入力される作業者の音声を受け付ける。

【0048】

画面表示部８２には、表示制御部８１によって制御される画面が表示される。
本実施形態では、画面表示部８２に表示される画面は、たとえば、作業者による情報入力を案内するためのメイン画面（トップ画面）、および、メイン画面の下の階層にあるデバイスデータ入力画面である。デバイスデータ入力画面は、図１に示した粗研削機構３０に関するデバイスデータ入力画面（第１デバイスデータ入力画面）、および、仕上げ研削機構３１に関するデバイスデータ入力画面（第２デバイスデータ入力画面）を含む。

【0049】

そして、本実施形態では、これらの画面のそれぞれに、画面を示す符号（番号など）が付される。たとえば、メイン画面、第１デバイスデータ入力画面、および第２デバイスデータ入力画面には、それぞれ、メイン画面Ｄ１、第１デバイスデータ入力画面Ｄ２－１、および第２デバイスデータ入力画面Ｄ２－２のように符号が付される。

【0050】

図３に、粗研削機構３０に関する第１デバイスデータ入力画面Ｄ２－１の表示例を示す。
この図に示す例では、第１デバイスデータ入力画面Ｄ２－１には、複数のデバイスデータとしての第１～第Ｎデータの入力欄Ｗ１～ＷＮと、これらの入力欄Ｗ１～ＷＮに数値を入力するためのテンキー１１０とが表示されている。

【0051】

第１～第Ｎデータの入力欄Ｗ１～ＷＮには、たとえば、粗研削時における粗研削機構３０のスピンドル３００の回転数、チャックテーブル５の回転数、ならびに、粗研削加工の研削量、加工速度および加工時間などが入力される。
作業者は、入力したいデータの入力欄にタッチした後、テンキー１１０を用いて数値を打ち込むことにより、当該入力欄に数値を入力することができる。

【0052】

また、この際、図２に示した入力部８３が、このテンキー１１０を介して入力される数値を受け付けて、制御ユニット７の制御部７０に伝達する。制御部７０は、伝達された数値に基づいて、デバイスデータを設定する。

【0053】

また、図３に示すように、画面表示部８２には、第１デバイスデータ入力画面Ｄ２－１に加えて、表示画面をメイン画面に戻すための戻りボタンであるメイン画面ボタン１１６が表示されている。さらに、画面表示部８２には、Ｇｏｏｄボタン１１２およびＢａｄボタン１１４が表示されている。すなわち、タッチパネル６０は、Ｇｏｏｄボタン１１２と、Ｂａｄボタン１１４と、を備えている。

【0054】

これらのＧｏｏｄボタン１１２およびＢａｄボタン１１４は、画面構成に対する作業者の評価に関するデータである画面評価データを作成するためのボタンである。
そして、この画面評価データの作成のために、図２に示すように、制御ユニット７の記録部７１は、画面記録部７２、Ｇｏｏｄ記録部７４、Ｂａｄ記録部７６、録音制御部７７、録音部７８を備えている。

【0055】

以下に、制御ユニット７の詳細な構成とともに、加工装置１における画面評価データの作成について説明する。
なお、本実施形態では、タッチパネル６０の表示内容、および、タッチパネル６０への作業者の入力内容は、制御ユニット７の制御部７０および記録部７１に伝達される。

【0056】

加工装置１の運転中、制御部７０は、作業者の指示に応じて、タッチパネル６０の画面表示部８２に、各種の画面を表示させる。
そして、制御ユニット７における記録部７１の画面記録部７２は、タッチパネル６０の画面表示部８２に表示された画面を示す符号または名称と、この画面が表示された日時とを、対応づけて、画面表示履歴データとして記録する。

【0057】

たとえば、画面記録部７２は、画面表示部８２にメイン画面Ｄ１、第１デバイスデータ入力画面Ｄ２－１、あるいは第２デバイスデータ入力画面Ｄ２－２が表示された場合に、これらの画面の符号であるＤ１、Ｄ２－１あるいはＤ２－２と、画面が表示された時刻とを、対応づけて、画面表示履歴データとして記憶する。

【0058】

また、作業者は、タッチパネル６０の画面表示部８２に表示された画面を用いて、情報を入力する、あるいは、情報を確認する。この際、作業者は、表示された画面の画面構成が良好であると判断したとき（たとえば、画面構成の作業性が良い、と判断したとき）に、画面表示部８２に表示されているＧｏｏｄボタン１１２を押す（タッチする）。

【0059】

また、作業者は、Ｇｏｏｄボタン１１２を押した後、必要に応じて、画面構成に関する意見を、マイク６１を介して入力する。マイク６１に入力された音声は、入力部８３を介して制御ユニット７の記録部７１に伝達される。

【0060】

記録部７１では、Ｇｏｏｄボタン１１２が押されたことに応じて、Ｇｏｏｄ記録部７４が、Ｇｏｏｄボタン１１２が押されたことと、Ｇｏｏｄボタン１１２が押された日時とを、対応づけて、Ｇｏｏｄボタンデータとして記録する。

【0061】

また、Ｇｏｏｄボタン１１２が押されたことに連動して、録音制御部７７が、録音部７８を起動させる。起動された録音部７８は、マイク６１に入力された音声を録音し、音声データとして上述のＧｏｏｄボタンデータに含める。

【0062】

また、作業者は、表示された画面の画面構成が良好ではないと判断したとき（たとえば、画面構成の作業性が悪い、と判断したとき）に、画面表示部８２に表示されているＢａｄボタン１１４を押す（タッチする）。

【0063】

また、作業者は、Ｂａｄボタン１１４を押した後、必要に応じて、画面構成に関する意見を、マイク６１を介して入力する。マイク６１に入力された音声は、入力部８３を介して制御ユニット７の記録部７１に伝達される。

【0064】

記録部７１では、Ｂａｄボタン１１４が押されたことに応じて、Ｂａｄ記録部７６が、Ｂａｄボタン１１４が押されたことと、Ｂａｄボタン１１４が押された日時とを、対応づけて、Ｂａｄボタンデータとして記録する。

【0065】

また、Ｂａｄボタン１１４が押されたことに連動して、録音制御部７７が、録音部７８を起動させる。起動された録音部７８は、マイク６１に入力された音声を録音し、音声データとして上述のＢａｄボタンデータに含める。

【0066】

そして、本実施形態では、加工装置１による加工の終了後、制御ユニット７の制御部７０が、ＧｏｏｄボタンデータおよびＢａｄボタンデータを読み出して、Ｇｏｏｄボタン１１２およびＢａｄボタン１１４が押されたときの、日時、および、録音された音声データを取得する。

【0067】

さらに、制御部７０は、画面記録部７２によって記録された画面表示履歴データに基づいて、Ｇｏｏｄボタン１１２およびＢａｄボタン１１４が押されたときの日時に表示されていた画面（画面を示す符号あるいは名称）を取得する。

【0068】

そして、制御部７０は、Ｇｏｏｄボタン１１２およびＢａｄボタン１１４が押されたときの日時に表示されていた画面に関し、押されたボタン（Ｇｏｏｄボタン１１２あるいはＢａｄボタン１１４）および録音された音声データを含む画面評価データを作成する。また、制御部７０は、作成した画面評価データを、作業者の意見として、図示しない通信機器を介して装置メーカに通知してもよい。

【0069】

以上のように、本実施形態では、作業者が、タッチパネル６０の画面表示部８２に表示されている画面に関し、Ｇｏｏｄボタン１１２およびＢａｄボタン１１４を押すこと、ならびに、マイク６１を介して音声を入力することによって、意見を記録することができる。さらに、本実施形態では、制御部７０が、記録された意見と画面とを、意見の記録日時および画面の表示日時を介して関連づけて、各画面に関する作業者の意見を含む画面評価データを作成することができる。すなわち、本実施形態では、各画面に関する作業者の意見を記録することを、容易に実施することができる。

【0070】

したがって、装置メーカは、画面評価データに基づいて画面を改良することにより、各作業者の意見に応じた画面構成を構築すること、あるいは、複数の作業者の意見に基づく汎用性のある適切な画面構成を構築することができる。これにより、作業者にとって操作しやすい加工装置を製造することが可能となる。
このように、本実施形態では、加工装置１におけるタッチパネル６０の画面構成を、作業者の要求にあわせることが容易となる。

【0071】

なお、本実施形態では、タッチパネルとして、図１に示した筐体１５の側面に設置されているタッチパネル６０を示している。このタッチパネル６０に代えてまたは加えて、加工装置１は、図１に示した着脱式タッチパネル６５を備えてもよい。 着脱式タッチパネル６５は、タッチパネル６０と同様の機能を有するとともに、その側面にマイク６６を有している。また、着脱式タッチパネル６５は、加工装置１に対してタッチパネル６０を接続および離脱可能とする着脱部としての、パネル側着脱部６８を備えている。また、加工装置１も、着脱部としての、加工装置側着脱部６９を備えている。

【0072】

着脱式タッチパネル６５のパネル側着脱部６８が、加工装置１の第２の装置ベース１１の側面に設けられた加工装置側着脱部６９に取り付けられることにより、着脱式タッチパネル６５と加工装置１とが接続され、着脱式タッチパネル６５が、タッチパネル６０と同様に機能する。

【0073】

また、この構成では、録音部７８は、着脱式タッチパネル６５が加工装置１に接続された際に録音可能となるように構成されていてもよい。すなわち、この場合、着脱式タッチパネル６５が加工装置１に接続されたことに応じて、録音制御部７７が録音部７８を起動し、起動された録音部７８が、マイク６６に入力された音声を録音可能となる。
つまり、録音部７８は、着脱式タッチパネル６５に配置されていてもよいし、加工装置１に配置されていてもよい。

【0074】

また、本実施形態では、録音制御部７７は、タッチパネル６０または着脱式タッチパネル６５に表示されているＧｏｏｄボタン１１２あるいはＢａｄボタン１１４が押されたことに連動して、録音部７８を起動させている。
これに関し、たとえば、録音制御部７７は、作業者がＧｏｏｄボタン１１２あるいはＢａｄボタン１１４を長押ししているときだけ、録音部７８を起動して、録音部７８に音声を録音させてもよい。あるいは、録音制御部７７は、作業者がＧｏｏｄボタン１１２あるいはＢａｄボタン１１４をダブルタッチしたときに録音部７８を起動させて録音を開始し、作業者がＧｏｏｄボタン１１２あるいはＢａｄボタン１１４をシングルタッチしたときに録音を終了させてもよい。
なお、録音部７８は、音声データの記憶媒体であって、メモリーカードなど、加工装置１から脱着可能であってもよい。

【0075】

また、本実施形態では、タッチパネル６０の画面表示部８２に表示される画面のそれぞれに、英字と数字とを含む符号（Ｄ１など）が付されている。これに関し、画面に付される符号は、このような文字（記号）と数字との組み合わせでもよいし、数字のみであってもよいし、記号のみであってもよい。

【0076】

また、本実施形態では、タッチパネル６０がマイク６１を有するとともに、制御ユニット７の記録部７１が録音制御部７７および録音部７８を有しており、これらを用いて、作業者が音声を入力することができる。これに関し、ＧｏｏｄボタンデータおよびＢａｄボタンデータは、必ずしも音声データを含む必要はない。ＧｏｏｄボタンデータおよびＢａｄボタンデータに音声データを含めない場合には、加工装置１は、マイク６１、録音制御部７７および録音部７８を備えなくてもよい。

【符号の説明】

【0077】

１：加工装置、
５：チャックテーブル、５０：保持面、６：ターンテーブル、
１０：第１の装置ベース、１１：第２の装置ベース、１５：筐体、
１２：第１のコラム、１３：第２のコラム、
２０：粗研削送り機構、２１：仕上げ研削送り機構、
３０：粗研削機構、３１：仕上げ研削機構、
５１：第１ハイトゲージ、５２：第２ハイトゲージ、
７：制御ユニット、７０：制御部、
７１：記録部、
７２：画面記録部、７４：Ｇｏｏｄ記録部、７６：Ｂａｄ記録部、
７７：録音制御部、７８：録音部、
６０：タッチパネル、６１：マイク、
８１：表示制御部、８２：画面表示部、８３：入力部、１１０：テンキー、
１１２：Ｇｏｏｄボタン、１１４：Ｂａｄボタン、１１６：メイン画面ボタン、
６５：着脱式タッチパネル、６６：マイク、
６８：パネル側着脱部、６９：加工装置側着脱部、
Ｄ１：メイン画面、
Ｄ２－１：第１デバイスデータ入力画面、
Ｄ２－２：第２デバイスデータ入力画面、
Ｗ１～ＷＮ：入力欄

【図1】

【図2】

【図3】