特開 2022-112635 端面修正治具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022112635

(43)【公開日】2022-08-03

(54)【発明の名称】端面修正治具

(51)【国際特許分類】

   B24B 7/16 20060101AFI20220727BHJP

   B24B 45/00 20060101ALI20220727BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20220727BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20220727BHJP

【ＦＩ】

B24B7/16 Z

B24B45/00 Z

B24B27/06 M

H01L21/78 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021008497

(22)【出願日】2021-01-22

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】三上 公大

(72)【発明者】

【氏名】安田 信哉

【テーマコード（参考）】

3C034

3C043

3C158

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C034AA13

3C034BB52

3C034BB71

3C043CC02

3C043DD02

3C043DD04

3C043DD05

3C043DD06

3C158AA02

3C158AB04

3C158CA01

3C158CB04

5F063AA23

5F063AA29

5F063DD03

5F063DD17

(57)【要約】

【課題】端面修正時における作業者の作業負担及び作業工数を低減する。
【解決手段】切削装置で使用される端面修正治具であって、切削装置のチャックテーブル機構で保持可能であり、チャックテーブルの保持面の径よりも大きな径の内周を有する環状ベース部材と、環状ベース部材の第１面上に設けられており、切削装置のスピンドルの先端部に装着されたマウントフランジにおける切削ブレードの切り刃に接する環状の第１端面と、マウントフランジと共に切削ブレードを挟持するための押さえフランジにおける切削ブレードの切り刃に接する環状の第２端面との、少なくともいずれかを修正するための砥石チップを有する端面修正部材と、を備える端面修正治具を提供する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

チャックテーブル及び該チャックテーブルの側部に設けられた複数の固定ユニットを有するチャックテーブル機構と、切削ブレードが装着されるスピンドルを有する切削ユニットと、を備える切削装置で使用される端面修正治具であって、
該チャックテーブル機構で保持可能であり、該チャックテーブルの保持面の径よりも大きな径の内周を有する環状ベース部材と、
該環状ベース部材の第１面上に設けられており、該スピンドルの先端部に装着されたマウントフランジにおける該切削ブレードの切り刃に接する環状の第１端面と、該マウントフランジと共に該切削ブレードを挟持するための押さえフランジにおける該切削ブレードの切り刃に接する環状の第２端面との、少なくともいずれかを修正するための砥石チップを有する端面修正部材と、
を備えることを特徴とする端面修正治具。

【請求項2】

該環状ベース部材は、被加工物がダイシングテープを介して環状フレームで支持された被加工物ユニットを搬送可能な搬送装置により搬送可能な形状を有することを特徴とする請求項１に記載の端面修正治具。

【請求項3】

該環状ベース部材は、該保持面の径よりも大きな径の開口を含み、被加工物を支持するために利用される環状フレームに対応する形状を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の端面修正治具。

【請求項4】

該環状ベース部材の該第１面とは反対側の第２面において該開口を塞ぐ様に貼り付けられた粘着テープを更に備えることを特徴とする請求項３に記載の端面修正治具。

【請求項5】

該環状ベース部材と一体的に形成されており、該環状ベース部材の該第１面の内周から該第１面に直交する方向に沿って突出ており該保持面を被覆可能な円筒状の中央ベース部材を更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の端面修正治具。

【請求項6】

該複数の固定ユニットの各々は、クランプユニットであり、
該環状ベース部材は、該内周の周方向において離散的に外周に設けられた複数の直線状端部領域を有し、
１つの直線状端部領域は、１つのクランプユニットを利用して挟持されることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の端面修正治具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、切削ユニットのスピンドルの先端部に装着されるマウントフランジの端面等を修正するための端面修正治具に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯電話、パソコン等の電子機器には、デバイスチップが使用される。デバイスチップは、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスをウェーハの表面側に複数個形成した後、ウェーハの裏面側を研削装置で研削し、次いで、薄化されたこのウェーハを切削装置でデバイス単位に分割することで製造される。

【0003】

切削装置は、切削ユニットを備える。切削ユニットは、円柱状のスピンドルを有し、スピンドルの基端部には、モーターが設けられ、スピンドルの先端部には、マウントフランジが連結される。

【0004】

このマウントフランジの円環状の端面と、押さえフランジの円環状の端面と、で円環状のハブレス型の切削ブレード（即ち、ワッシャーブレード）を挟持することで、スピンドルの先端部に切削ブレードが装着される。

【0005】

しかし、マウントフランジの端面は切削ブレードの使用に応じて徐々に摩耗し、当該端面には、端面振れ（スピンドルの回転軸に直交する平面に対する凹凸）が形成されることがある。この様な端面振れが形成されると、切削精度が低下するので、端面修正治具を用いて、マウントフランジの端面を修正する必要がある（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１１－１１２９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかし、端面修正治具を使用する場合には、作業者がチャックテーブルを端面修正専用のチャックテーブルに交換する必要があるので、作業者の作業負担が比較的大きくなり、作業工数もかかる。

【0008】

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、端面修正時における作業者の作業負担及び作業工数を低減することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一態様によれば、チャックテーブル及び該チャックテーブルの側部に設けられた複数の固定ユニットを有するチャックテーブル機構と、切削ブレードが装着されるスピンドルを有する切削ユニットと、を備える切削装置で使用される端面修正治具であって、該チャックテーブル機構で保持可能であり、該チャックテーブルの保持面の径よりも大きな径の内周を有する環状ベース部材と、該環状ベース部材の第１面上に設けられており、該スピンドルの先端部に装着されたマウントフランジにおける該切削ブレードの切り刃に接する環状の第１端面と、該マウントフランジと共に該切削ブレードを挟持するための押さえフランジにおける該切削ブレードの切り刃に接する環状の第２端面との、少なくともいずれかを修正するための砥石チップを有する端面修正部材と、を備える端面修正治具が提供される。

【0010】

好ましくは、該環状ベース部材は、被加工物がダイシングテープを介して環状フレームで支持された被加工物ユニットを搬送可能な搬送装置により搬送可能な形状を有する。

【0011】

好ましくは、該環状ベース部材は、該保持面の径よりも大きな径の開口を含み、被加工物を支持するために利用される環状フレームに対応する形状を有する。

【0012】

好ましくは、端面修正治具は、該環状フレームの該第１面とは反対側の第２面において該開口を塞ぐ様に貼り付けられた粘着テープを更に備える。

【0013】

好ましくは、端面修正治具は、該環状ベース部材と一体的に形成されており、該環状ベース部材の該第１面の内周から該第１面に直交する方向に沿って突出ており該保持面を被覆可能な円筒状の中央ベース部材を更に備える。

【0014】

好ましくは、該複数の固定ユニットの各々は、クランプユニットであり、該環状ベース部材は、該内周の周方向において離散的に外周に設けられた複数の直線状端部領域を有し、１つの直線状端部領域は、１つのクランプユニットを利用して挟持される。

【発明の効果】

【0015】

本発明の一態様に係る端面修正治具は、環状ベース部材と、この環状ベース部材の第１面に設けられた端面修正部材と、を有する。環状ベース部材は、被加工物を吸引保持するための通常のチャックテーブル機構で保持可能である。

【0016】

それゆえ、作業者は、切削時に使用されるチャックテーブルを、端面修正専用のチャックテーブルに交換する必要がない。従って、当該端面修正治具を用いる場合には、作業者の作業負担及び作業工数を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】図１（Ａ）は第１の実施形態に係る端面修正治具の斜視図であり、図１（Ｂ）は端面修正治具の上面図である。

【図2】端面修正部材の拡大斜視図である。

【図3】切削装置の斜視図である。

【図4】切削ユニットの分解斜視図である。

【図5】位置調整工程後の端面修正治具の上面図である。

【図6】図６（Ａ）は端面修正治具の一部断面側面図であり、図６（Ｂ）は端面修正治具の一部断面側面図である。

【図7】環状フレームと環状ベース部材との対応関係を示す上面図である。

【図8】図８（Ａ）は第２の実施形態に係る端面修正治具の斜視図であり、図８（Ｂ）は図８（Ａ）のＡ－Ａでの断面図である。

【図9】図９（Ａ）は第３の実施形態に係る端面修正治具の斜視図であり、図９（Ｂ）は端面修正治具の上面図であり、図９（Ｃ）は図９（Ｂ）のＢ－Ｂ断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１（Ａ）は、第１の実施形態に係る端面修正治具２の斜視図であり、図１（Ｂ）は、端面修正治具２の上面図である。

【0019】

端面修正治具２は、ステンレス鋼等の金属で形成された環状ベース部材４を有する。環状ベース部材４は、切削装置２０（図３参照）を用いて被加工物１１を切削する際に使用される汎用の環状フレーム１３（図７参照）に対応する形状を有する。

【0020】

環状ベース部材４には、端面修正部材６を固定する際に利用されるねじ穴（不図示）が形成されている。本例の環状ベース部材４は、このねじ穴を除いて、汎用の環状フレーム１３と同一の形状を有し、且つ、環状フレーム１３と同一の材料で形成されている。

【0021】

環状ベース部材４は、チャックテーブル３４の保持面３４ａ（図３参照）の径よりも大きな径を有する円形の開口４ａを含む。なお、開口４ａの縁４ａ_１は、環状ベース部材４の内周に対応する。

【0022】

環状ベース部材４の外周には、開口４ａの内周の周方向に略等間隔で離間する様に、４つの直線状端部領域４ｂ_１、４ｂ_２、４ｂ_３及び４ｂ_４が形成されている。直線状端部領域４ｂ_１等は、環状ベース部材４の直線状の端部から開口４ａ側へ所定の幅を有する短冊状の領域である。

【0023】

環状ベース部材４の周方向において、直線状端部領域４ｂ_１及び４ｂ_２の間には、曲線状端部領域４ｃ_２が形成されており、直線状端部領域４ｂ_２及び４ｂ_３の間には、曲線状端部領域４ｃ_３が形成されている。

【0024】

更に、環状ベース部材４の周方向において、直線状端部領域４ｂ_３及び４ｂ_４の間には、曲線状端部領域４ｃ_４が形成されており、直線状端部領域４ｂ_４及び４ｂ_１の間には、曲線状端部領域４ｃ_１が形成されている。

【0025】

曲線状端部領域４ｃ_１の直線状端部領域４ｂ_１側には、第１の切り欠き部４ｄ_１が形成されている。また、曲線状端部領域４ｃ_２の直線状端部領域４ｂ_１側には、第１の切り欠き部４ｄ_１とは異なる形状の第２の切り欠き部４ｄ_２が形成されている。

【0026】

環状ベース部材４の頂面（第１面）４ｅ上には、端面修正部材６が固定されている。本例では、曲線状端部領域４ｃ_１に端面修正部材６が配置されているが、端面修正部材６は、曲線状端部領域４ｃ_１、４ｃ_２、４ｃ_３及び４ｃ_４のいずれに配置されてもよい。

【0027】

端面修正部材６を、直線状端部領域４ｂ_１、４ｂ_２、４ｂ_３又は４ｂ_４ではなく、曲線状端部領域４ｃ_１、４ｃ_２、４ｃ_３又は４ｃ_４に配置することで、汎用の環状フレーム１３と同様に、端面修正治具２をカセット２６ｂ（図３参照）に収容できる。

【0028】

図２は、端面修正部材６の拡大斜視図である。端面修正部材６は、第１の保持ブロック８を有する。第１の保持ブロック８は、頂面４ｅに接する平坦面８ａを有する。平坦面８ａとは反対側には、階段状の段差部８ｂが形成されている。なお、第１の保持ブロック８には、ねじ１２を挿入するための貫通穴（不図示）が形成されている。

【0029】

第１の保持ブロック８の上方には、第２の保持ブロック１０が配置される。第２の保持ブロック１０は、第１の保持ブロック８の上方において露出する平坦面１０ａを有する。第２の保持ブロック１０の厚さ方向において、平坦面１０ａの反対側には、段差部８ｂと噛み合う形状を有する階段状の段差部１０ｂが形成されている。

【0030】

第２の保持ブロック１０には、ねじ１２を挿入するための貫通穴（不図示）が形成されており、貫通穴の平坦面１０ａ側には、貫通穴よりも大径の開口１０ｃが形成されている。

【0031】

第１の保持ブロック８及び第２の保持ブロック１０の各貫通穴に、ねじ１２を挿入し、環状ベース部材４のねじ穴（不図示）にねじ１２を締結すれば、第１の保持ブロック８及び第２の保持ブロック１０は、環状ベース部材４に連結される。

【0032】

なお、頂面４ｅ上には、第１の保持ブロック８を位置決めするための突起部（不図示）が設けられてもよい。この場合、突起部にもねじ穴が形成され、第１の保持ブロック８には突起部に嵌合する凹部（不図示）が形成される。

【0033】

第１の保持ブロック８及び第２の保持ブロック１０は、その間に板状の砥石チップ１４が挟持された状態でねじ１２により固定される。砥石チップ１４は、ダイヤモンド等の砥粒をレジンボンド等のボンドで固定することで形成される。

【0034】

砥石チップ１４は、一端が曲線状端部領域４ｃ_１よりも外側に突出する様に配置されている。この様な端面修正治具２は、切削装置２０で使用される。ここで、図３及び図４を参照して切削装置２０について説明する。

【0035】

図３は、被加工物１１の切削、洗浄、搬送等を自動で行う切削装置２０の斜視図である。なお、図３に示すＸ軸方向（加工送り方向）、Ｙ軸方向（割り出し送り方向）及びＺ軸方向（鉛直方向、高さ方向）は、互いに直交する方向である。

【0036】

切削装置２０は、各構成要素を支持する基台２２を備える。基台２２の前方の角部には、矩形状の開口２４ａが設けられている。開口２４ａ内には、Ｚ軸方向に沿って昇降するカセットエレベータ２６ａが設けられている。

【0037】

カセットエレベータ２６ａの上面には、１又は複数の端面修正治具２や、１又は複数の被加工物ユニット１７（図７参照）を収容するためのカセット２６ｂが載置される。開口２４ａのＹ軸方向の一方側には、Ｘ軸方向に沿う長辺を有する矩形状の開口２４ｂが形成されている。

【0038】

開口２４ｂ内には、矩形状のテーブルカバー２８が設けられており、テーブルカバー２８のＸ軸方向の両側には、Ｘ軸方向に伸縮する蛇腹状カバー３０が設けられている。テーブルカバー２８の下方には、モーター等の回転駆動源（不図示）が配置されている。

【0039】

回転駆動源の下方には、ボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）（不図示）が設けられている。Ｘ軸移動機構を動作させることにより、回転駆動源及びテーブルカバー２８はＸ軸方向に沿って移動する。

【0040】

テーブルカバー２８上には、チャックテーブル機構３２が設けられている。チャックテーブル機構３２は、回転駆動源により、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転可能である。

【0041】

チャックテーブル機構３２は、円盤状のチャックテーブル３４を有する。チャックテーブル３４は、金属で形成された円盤状の枠体を含む。枠体には、円盤状の凹部が形成されている。凹部の底部には、吸引路（不図示）が形成されている。

【0042】

吸引路の一端は、凹部の底面に露出しており、吸引路の他端は、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。凹部には、円盤状のポーラス板が固定されている。ポーラス板の上面は略平坦であり、吸引源を動作させると、ポーラス板の上面には負圧が生じる。

【0043】

枠体及びポーラス板の各上面は、略面一であり、略平坦な保持面３４ａを構成している。チャックテーブル３４の側部には、チャックテーブル３４の周方向に略等間隔で複数のクランプユニット（固定ユニット）３４ｂが設けられている。

【0044】

各クランプユニット３４ｂは、環状ベース部材４又は環状フレーム１３が載置される載置部を有する。各載置部の近傍には、エアアクチュエータにより回転開閉可能な１つのクランプが設けられている。

【0045】

各直線状端部領域４ｂ_１、４ｂ_２、４ｂ_３、４ｂ_４が対応する載置部に載置された状態で各クランプを閉じれば、各直線状端部領域４ｂ_１、４ｂ_２、４ｂ_３、４ｂ_４は、対応する載置部及びクランプユニット３４ｂで挟持される（図５参照）。

【0046】

開口２４ｂにおける開口２４ａに隣接する領域の上方には、Ｙ軸方向に略平行な一対のガイドレール（不図示）が配置されている。Ｘ軸方向において一対のガイドレールよりも切削装置２０の内側には、開口２４ｂを跨ぐ様に門型の支持体２４ｃが設けられている。

【0047】

支持体２４ｃの一面側には、端面修正治具２又は被加工物ユニット１７をそれぞれ搬送可能な第１の搬送装置３６及び第２の搬送装置３８が設けられている。第１の搬送装置３６及び第２の搬送装置３８の各々は、負圧により環状ベース部材４又は環状フレーム１３を吸引保持する複数の吸引パッドを有する。

【0048】

支持体２４ｃに対して第１の搬送装置３６及び第２の搬送装置３８の反対側には、開口２４ｂを跨ぐ様に門型の支持体２４ｄが設けられている。支持体２４ｄの一面側には、一対の加工ユニット移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）４０が設けられている。

【0049】

一対の加工ユニット移動機構４０は、支持体２４ｄの一面に配置されＹ軸方向に概ね平行な一対のＹ軸ガイドレール（不図示）を備える。この一対のＹ軸ガイドレールには、２つのＹ軸移動プレート４０ａがＹ軸方向に各々独立にスライド可能な態様で取り付けられている。

【0050】

各Ｙ軸移動プレート４０ａの支持体２４ｄ側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレールに概ね平行なＹ軸ボールねじ（不図示）が回転可能な態様で連結されている。

【0051】

各Ｙ軸ボールねじの一端部には、Ｙ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｙ軸パルスモータでＹ軸ボールねじを回転させれば、各Ｙ軸移動プレート４０ａは、Ｙ軸ガイドレールに沿って移動する。

【0052】

各Ｙ軸移動プレート４０ａの支持体２４ｃ側には、Ｚ軸方向に概ね平行に配置されたＺ軸ガイドレール（不図示）が設けられている。Ｚ軸ガイドレールには、Ｚ軸移動プレート４０ｃがスライド可能な態様で取り付けられている。

【0053】

Ｚ軸移動プレート４０ｃの支持体２４ｄ側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレールに平行に配置されたＺ軸ボールねじ（不図示）が回転可能な態様で連結されている。

【0054】

Ｚ軸ボールねじ（不図示）の上端部には、Ｚ軸パルスモータ４０ｂが連結されている。Ｚ軸パルスモータ４０ｂでＺ軸ボールねじを回転させれば、Ｚ軸移動プレート４０ｃは、Ｚ軸ガイドレールに沿ってＺ軸方向に移動する。

【0055】

各Ｚ軸移動プレート４０ｃの下端部には、被加工物１１を切削する切削ユニット４２が設けられている。ここで、図４を参照して、切削ユニット４２の構造を説明する。図４は、ハブレス型（ワッシャー型）の切削ブレード５４を有する切削ユニット４２の分解斜視図である。

【0056】

切削ユニット４２は、長手方向がＹ軸方向に略平行に配置された角柱状のスピンドルハウジング４４を有する。スピンドルハウジング４４中には、円柱状のスピンドル４６が回転可能に収容されている。スピンドル４６の基端部には、モーター（不図示）が設けられている。

【0057】

スピンドル４６の先端部は、スピンドルハウジング４４から突出しており、この先端部には、ねじ穴４６ａが形成されている。スピンドル４６の先端部には、マウントフランジ４８が装着される。

【0058】

マウントフランジ４８は、円筒状の第１のボス部４８ａを有する。また、第１のボス部４８ａの内側には、マウントフランジ４８を貫通する貫通穴４８ｂが形成されている。貫通穴４８ｂの所定位置には、ワッシャー５０が配置される環状段差部（図６（Ａ）参照）が形成されている。

【0059】

環状段差部にワッシャー５０を配置した状態で、ねじ５２を貫通穴４８ｂに挿入し、ねじ穴４６ａにねじ５２を締結すれば、マウントフランジ４８はスピンドル４６の先端部に固定される。

【0060】

第１のボス部４８ａの基端部には、第１のボス部４８ａよりも大径の円盤状の第２のボス部４８ｃが形成されている。第２のボス部４８ｃの外周側面には、切削ブレード５４が配置される。

【0061】

第２のボス部４８ｃの基端部には、第２のボス部４８ｃよりも大きな径を有し、切削ブレード５４の一面に接触可能な環状の端面（第１端面）４８ｄが形成されている。図４に示す切削ブレード５４は、切り刃そのものから成るワッシャー型のブレードである。

【0062】

切削ブレード５４は、例えば、ニッケル母材中にダイヤモンド等の砥粒が分散された電着砥石である。但し、切削ブレード５４の材料は、この例に限定されるものではない。

【0063】

切削ブレード５４をマウントフランジ４８に装着するためには、まず、マウントフランジ４８の端面４８ｄに切削ブレード５４の一面が接する様に、切削ブレード５４をマウントフランジ４８に配置する。

【0064】

次いで、環状の押さえフランジ５６の貫通穴５６ａを第１のボス部４８ａに挿入させ、押さえフランジ５６の環状の端面（第２端面）５６ｂを、切削ブレード５４の一面とは反対側に位置する他面に接触させる。

【0065】

この状態で、環状の押さえナット５８を第１のボス部４８ａの先端部のねじ溝４８ｅに締結することにより、切削ブレード５４はマウントフランジ４８と押さえフランジ５６とで挟持される。ここで、再び図３に戻り、切削装置２０の他の構成要素を説明する。

【0066】

切削ユニット４２に隣接する位置には、被加工物１１等を撮像するためのカメラユニット６０が設けられている。カメラユニット６０は、集光レンズ、イメージセンサ等を有する。

【0067】

開口２４ｂに対して開口２４ａと反対側の位置には、開口２４ｅが設けられている。開口２４ｅには、加工後の被加工物１１を洗浄するための洗浄ユニット６２が設けられている。

【0068】

切削装置２０は、カセットエレベータ２６ａ、回転駆動源、吸引源、Ｘ軸移動機構、一対の加工ユニット移動機構４０、切削ユニット４２、第１の搬送装置３６、第２の搬送装置３８、カメラユニット６０、洗浄ユニット６２等の動作を制御する制御部（不図示）を有する。

【0069】

制御部は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）に代表されるプロセッサ等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。

【0070】

補助記憶装置には、所定のプログラムを含むソフトウェアが記憶されており、このソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御部の機能が実現される。次に、マウントフランジ４８の端面４８ｄを修正する手順を説明する。

【0071】

端面４８ｄを修正する際には、まず、押さえナット５８を第１のボス部４８ａから取り外し、次いで、押さえフランジ５６及び切削ブレード５４をマウントフランジ４８から取り外す（取り外し工程）。取り外し工程は、作業者により手動で、又は、切削ブレード交換装置（不図示）により自動で行われる。

【0072】

取り外し工程の後、第１の搬送装置３６が一対のガイドレール等を利用してカセット２６ｂから端面修正治具２を搬送し、これをチャックテーブル３４に配置する。このとき、環状ベース部材４の開口４ａの縁４ａ_１は、保持面３４ａの外側に位置し、各直線状端部領域４ｂ_１、４ｂ_２、４ｂ_３、４ｂ_４は、対応する載置部に載置される。

【0073】

そして、環状ベース部材４は、四つのクランプユニット３４ｂを利用して挟持されることで、チャックテーブル機構３２で保持される（保持工程）。なお、取り外し工程及び保持工程の順番は、逆でもよい。

【0074】

取り外し工程及び保持工程の後、回転駆動源によりチャックテーブル３４を適宜回転させて、端面修正部材６の長手方向をＹ軸方向と略平行に配置すると共に、Ｘ軸移動機構によりチャックテーブル３４をマウントフランジ４８の近傍に配置する（図５参照）。

【0075】

そして、加工ユニット移動機構４０によりマウントフランジ４８のＹ軸方向及びＺ軸方向の位置を調節することで、マウントフランジ４８の環状の端面４８ｄの一部に、砥石チップ１４の先端部を接触させる（位置調整工程）。

【0076】

図５は、位置調整工程後の端面修正治具２の上面図である。図５では、チャックテーブル３４の外形を破線で示し、マウントフランジ４８の外形を二点鎖線で示す。位置調整工程後、スピンドル４６を回転させて、端面４８ｄを研削する（研削工程）。

【0077】

図６（Ａ）は、端面４８ｄの端面振れを修正するときの端面修正治具２の一部断面側面図である。研削工程により、端面４８ｄを修正して略平坦にできる。なお、研削工程では、スピンドル４６を回転させながらマウントフランジ４８をＸ軸方向又はＺ軸方向に沿って移動させることで、端面４８ｄを修正してもよい。

【0078】

本実施形態では、端面４８ｄを修正するために、作業者が、切削時に使用されるチャックテーブル３４を、端面修正専用のチャックテーブルに交換する必要がない。従って、作業者の作業負担及び作業工数を低減できる。

【0079】

更に、本実施形態では、端面修正治具２が、汎用の環状フレーム１３と同様に第１の搬送装置３６等で搬送され、チャックテーブル機構３２で保持される。それゆえ、作業者がチャックテーブル３４に端面修正治具２を配置する必要がないという利点もある。

【0080】

ところで、端面４８ｄに加えて、又は、端面４８ｄに代えて、押さえフランジ５６の端面５６ｂの端面振れを砥石チップ１４で修正してもよい。図６（Ｂ）は、端面５６ｂを修正するときの端面修正治具２の一部断面側面図である。

【0081】

押さえフランジ５６の端面５６ｂを修正する場合、まず、切削ブレード５４を取り外す（取り外し工程）。その後、押さえフランジ５６の表裏を反転させ、端面５６ｂが露出する様に、押さえフランジ５６及び押さえナット５８をマウントフランジ４８に取り付ける（取り付け工程）。

【0082】

そして、保持工程及び位置調整工程を経て、端面５６ｂを研削する（研削工程）。この様に、端面修正治具２は、端面４８ｄ及び端面５６ｂの少なくともいずれかを修正可能である。使用後の端面修正治具２は、例えば、第１の搬送装置３６等を利用してカセット２６ｂへ搬送される。

【0083】

ところで、上述の様に、環状ベース部材４は、ダイシングテープ１５を介して被加工物１１を支持するために使用される汎用の環状フレーム１３に、ねじ１２用のねじ穴を形成することで製造できる。図７は、環状フレーム１３と環状ベース部材４との対応関係を示す。

【0084】

なお、図７では、被加工物１１及びダイシングテープ１５を破線で示す。被加工物１１は、ダイシングテープ１５を介して環状フレーム１３と一体化される（被加工物ユニット１７）。この様に、環状ベース部材４として環状フレーム１３を使用することで、端面修正治具２の製造コストを低減できる。

【0085】

次に、第２の実施形態について説明する。図８（Ａ）は、第２の実施形態に係る端面修正治具７２の斜視図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）のＡ－Ａでの断面図である。端面修正治具７２は、環状ベース部材４、端面修正部材６及びダイシングテープ（粘着テープ）１５を有する。

【0086】

ダイシングテープ１５は、環状ベース部材４の開口４ａよりも大きな径を有する樹脂製のテープであり、例えば、基材層と粘着層との積層構造を有する。粘着層の外周部を頂面４ｅとは反対側の底面（第２面）４ｆに貼り付けることで、開口４ａが塞がれる。

【0087】

これにより、端面修正治具７２をチャックテーブル機構３２で保持する場合に、載置部及びクランプユニット３４ｂで直線状端部領域４ｂ_１等を挟持し、更に、保持面３４ａでダイシングテープ１５を吸引保持できる。それゆえ、第１の実施形態の端面修正治具２に比べて、より強固に端面修正治具７２を保持できる。

【0088】

次に、第３の実施形態について説明する。図９（Ａ）は、第３の実施形態に係る端面修正治具８２の斜視図であり、図９（Ｂ）は、端面修正治具８２の上面図であり、図９（Ｃ）は、図９（Ｂ）のＢ－Ｂ断面図である。

【0089】

端面修正治具８２も、端面修正治具２と同様に、環状フレーム１３に対応する形状を有する環状ベース部材８４を備える。具体的には、環状ベース部材８４は、開口４ａと、直線状端部領域４ｂ_１、４ｂ_２、４ｂ_３、４ｂ_４と、を有する。

【0090】

但し、環状ベース部材８４は、曲線状端部領域４ｃ_１、４ｃ_２、４ｃ_３、４ｃ_４に代えて、直線状端部領域４ｇ_１、４ｇ_２、４ｇ_３、４ｇ_４を有する。なお、砥石チップ１４が環状ベース部材７６の端部よりも突出できる限りにおいて、直線状端部領域４ｇ_１、４ｇ_２、４ｇ_３、４ｇ_４の外側端部は、任意の曲線、折線形状であってよい。

【0091】

開口４ａに対応する領域には、環状ベース部材４と同じ材料で環状ベース部材４と一体的に、円筒状の中央ベース部材４ｈが形成されている。中央ベース部材４ｈは、開口４ａの半径方向に所定の厚さを有するリング状側部４ｈ_１を含む。

【0092】

リング状側部４ｈ_１は、頂面４ｅの開口４ａの縁４ａ_１（即ち、内周）から、頂面４ｅに直交する第１方向Ｃに沿って所定の高さを有する。リング状側部４ｈ_１の頂面４ｅとは反対側の端部には、円盤状の蓋部４ｈ_２の縁部が接続している。本例のリング状側部４ｈ_１及び蓋部４ｈ_２は、環状ベース部材８４と略同じ厚さを有する。

【0093】

この様に、第１方向Ｃに沿って頂面４ｅから突出する様に形成されている中央ベース部材４ｈにより、開口４ａに対応する領域において、保持面３４ａよりも大きく且つ保持面３４ａを被覆可能な凹部４ｉが形成されている。

【0094】

第３の実施形態でも、載置部及びクランプユニット３４ｂで直線状端部領域４ｂ_１等を挟持し、更に、保持面３４ａで蓋部４ｈ_２を吸引保持できる。それゆえ、第１の実施形態の端面修正治具２に比べて、より強固に端面修正治具８２を保持できる。

【0095】

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、環状ベース部材４、８４及び中央ベース部材４ｈは、ステンレス鋼の金属に限定されず、樹脂等の他の材料で形成することもできる。

【0096】

また、例えば、マウントフランジ４８には、ハブレス型の切削ブレード５４に代えて、アルミニウム合金等で形成された円環状の基台の一面に、接着剤等で切り刃が固定されたハブ型の切削ブレード（不図示）を装着することもできる。

【0097】

ところで、環状ベース部材４、８４が磁性を有する金属（例えば、磁性を有するステンレス鋼）で形成されている場合には、クランプユニット３４ｂのクランプに代えて、クランプユニット３４ｂの載置部に磁石が配置された固定ユニットを用いてもよい。

【0098】

環状ベース部材４、８４の底面４ｆ側が磁石上に配置されると、４箇所の載置部の各々に配置された磁石の磁力により、環状ベース部材４、８４が固定される。なお、磁石に代えて、環状ベース部材４、８４の底面４ｆ側をそれぞれ吸引保持可能な吸引パッドが設けられてもよい。

【0099】

吸引パッドには、流路の一端が接続されており、当該流路の他端には、エジェクタ等の負圧源が接続されている。また、流路の一端と他端との間には、流路の開閉を制御する電磁弁が設けられる。

【0100】

環状ベース部材４、８４の底面４ｆ側を吸引パッド上に配置した後、電磁弁を開状態とすれば、４箇所の載置部の各々に配置された吸引パッドからの負圧により、環状ベース部材４、８４を吸引保持できる。

【0101】

なお、上述の実施形態では、被加工物１１の切削、洗浄、搬送等を自動で行う切削装置２０において、端面修正治具２、７２、８２を使用する場合について説明した。しかし、端面修正治具２、７２、８２は、作業者が被加工物１１の搬送を行う、所謂マニュアル式の切削装置でも使用できる。

【符号の説明】

【0102】

２，７２，８２：端面修正治具
４，８４：環状ベース部材、４ａ：開口、４ａ_１：縁（内周）
４ｂ_１，４ｂ_２，４ｂ_３，４ｂ_４，４ｇ_１，４ｇ_２，４ｇ_３，４ｇ_４：直線状端部領域
４ｃ_１，４ｃ_２，４ｃ_３，４ｃ_４：曲線状端部領域
４ｄ_１：第１の切り欠き部、４ｄ_２：第２の切り欠き部
４ｅ：頂面（第１面）、４ｆ：底面（第２面）
４ｈ：中央ベース部材、４ｈ_１：リング状側部、４ｈ_２：蓋部、４ｉ：凹部
６：端面修正部材
８：第１の保持ブロック、８ａ：平坦面、８ｂ：段差部
１０：第２の保持ブロック、１０ａ：平坦面、１０ｂ：段差部、１０ｃ：開口
１２：ねじ、１４：砥石チップ
１１：被加工物、１３：環状フレーム
１５：ダイシングテープ（粘着テープ）、１７：被加工物ユニット
２０：切削装置、２２：基台
２４ａ，２４ｂ，２４ｅ：開口、２４ｃ，２４ｄ：支持体
２６ａ：カセットエレベータ、２６ｂ：カセット
２８：テーブルカバー、３０：蛇腹状カバー、３２：チャックテーブル機構
３４：チャックテーブル、３４ａ：保持面、３４ｂ：クランプユニット（固定ユニット）
３６：第１の搬送装置、３８：第２の搬送装置
４０：加工ユニット移動機構、４０ａ：Ｙ軸移動プレート
４０ｂ：Ｚ軸パルスモータ、４０ｃ：Ｚ軸移動プレート
４２：切削ユニット、４４：スピンドルハウジング、４６：スピンドル、４６ａ：ねじ穴
４８：マウントフランジ、４８ａ：第１のボス部、４８ｂ：貫通穴
４８ｃ：第２のボス部、４８ｄ：端面（第１端面）、４８ｅ：ねじ溝
５０：ワッシャー、５２：ねじ、５４：切削ブレード
５６：押さえフランジ、５６ａ：貫通穴、５６ｂ：端面（第２端面）
５８：押さえナット
６０：カメラユニット、６２：洗浄ユニット
Ｃ：第１方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】