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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022112743
(43)【公開日】2022-08-03
(54)【発明の名称】フロートガラス基板
(51)【国際特許分類】
C03B 5/225 20060101AFI20220727BHJP
C03C 3/091 20060101ALI20220727BHJP
【ＦＩ】
C03B5/225
C03C3/091
【審査請求】未請求
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021008661
(22)【出願日】2021-01-22
(71)【出願人】
【識別番号】000000044
【氏名又は名称】ＡＧＣ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100152984
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 秀明
(74)【代理人】
【識別番号】100168985
【弁理士】
【氏名又は名称】蜂谷 浩久
(72)【発明者】
【氏名】広瀬 元之
【テーマコード（参考）】
4G062
【Ｆターム（参考）】
4G062AA01
4G062BB01
4G062DA06
4G062DA07
4G062DB04
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4G062EG03
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4G062FL01
4G062GA01
4G062GA10
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4G062HH09
4G062HH11
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4G062HH17
4G062JJ01
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4G062JJ07
4G062KK01
4G062KK02
4G062KK03
4G062KK05
4G062KK07
4G062KK10
4G062MM12
4G062NN01
(57)【要約】
【課題】溶融ガラスに含まれる泡を容易に除去でき、かつ、金属系異物欠点が少ないフロートガラス基板の提供。
【解決手段】無アルカリガラスからなるフロートガラス基板であって、Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％であり、ＳｎＯ2を実質的に含有せず、Ｐｔ含有量が質量で０．００１～０．３０ｐｐｍであることを特徴とするフロートガラス基板。
【選択図】なし
【解決手段】無アルカリガラスからなるフロートガラス基板であって、Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％であり、ＳｎＯ2を実質的に含有せず、Ｐｔ含有量が質量で０．００１～０．３０ｐｐｍであることを特徴とするフロートガラス基板。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
無アルカリガラスからなるフロートガラス基板であって、
Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％であり、ＳｎＯ2を実質的に含有せず、
Ｐｔ含有量が質量で０．００１～０．３０ｐｐｍであることを特徴とするフロートガラス基板。
Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％であり、ＳｎＯ2を実質的に含有せず、
Ｐｔ含有量が質量で０．００１～０．３０ｐｐｍであることを特徴とするフロートガラス基板。
【請求項2】
Ｒｈ含有量が質量で０．００１～０．５０ｐｐｍである、請求項１に記載のフロートガラス基板。
【請求項3】
Ｐｔ含有量およびＲｈ含有量の合量が質量で０．００２～０．８０ｐｐｍである、請求項１または２に記載のフロートガラス基板。
【請求項4】
基板サイズが２１００ｍｍ×２４００ｍｍ以上である、請求項１～３のいずれか１項に記載のフロートガラス基板。
【請求項5】
基板サイズが２９００ｍｍ×３２００ｍｍ以上である、請求項１～４のいずれか１項に記載のフロートガラス基板。
【請求項6】
板厚が０．４５ｍｍ以下である、請求項１～５のいずれか１項に記載のフロートガラス基板。
【請求項7】
Ｃｌ含有量が０．３５質量％超０．５０質量％以下であり、β－ＯＨが０．０５～０．２０ｍｍ-1である、請求項１～６のいずれか１項に記載のフロートガラス基板。
【請求項8】
Ｃｌ含有量が０．１０～０．３５質量％であり、β－ＯＨが０．２０～０．５０ｍｍ-1である、請求項１～６のいずれか１項に記載のフロートガラス基板。
【請求項9】
歪点が６５０℃以上である、請求項１～８のいずれか１項に記載のフロートガラス基板。
【請求項10】
歪点が６８０℃以上である、請求項１～９のいずれか１項に記載のフロートガラス基板。
【請求項11】
酸化物基準の質量百分率表示で、ＳｉＯ2を５４～７３％、Ａｌ2Ｏ3を１０．５～２４％、Ｂ2Ｏ3を０．１～１２％、ＭｇＯを０～８％、ＣａＯを０～１４．５％、ＳｒＯを０～２４％、ＢａＯを０～１３．５％、ＺｒＯ2を０～５％含有し、かつ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯの合量（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）が８～２９．５％である、請求項１～１０のいずれか１項に記載のフロートガラス基板。
【請求項12】
酸化物基準の質量百分率表示で、ＳｉＯ2を５８～６６％、Ａｌ2Ｏ3を１５～２２％、Ｂ2Ｏ3を５～１２％、ＭｇＯを０～８％、ＣａＯを０～９％、ＳｒＯを０～１２．５％、ＢａＯを０～２％含有し、かつ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯの合量（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）が９～１８％である、請求項１１に記載のフロートガラス基板。
【請求項13】
酸化物基準の質量百分率表示で、ＳｉＯ2を５４～７３％、Ａｌ2Ｏ3を１０．５～２２．５％、Ｂ2Ｏ3を０．１～５．５％、ＭｇＯを０～８％、ＣａＯを０～９％、ＳｒＯを０～１６％、ＢａＯを０～９％含有し、かつ、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯの合量（ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）が８～２６％である、請求項１１に記載のフロートガラス基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、フロートガラス基板に関する。
【背景技術】
【0002】
各種ディスプレイ用ガラス基板、特に表面に金属ないし酸化物薄膜等を形成するものには、アルカリ金属酸化物を含有していると、アルカリ金属イオンが薄膜中に拡散して膜特性を劣化させるため、実質的にアルカリ金属イオンを含まない無アルカリガラス基板の使用が好ましい。
【0003】
上記の目的で使用される無アルカリガラス基板は、所定の配合比で調合したガラス原料を溶解槽で加熱溶融してガラス化し、得られた溶融ガラスを清澄した後、フロートバスで所定の板厚のガラスリボンに成形し、このガラスリボンを所定の形状に切断して得られる。ここで、溶解槽とフロートバスとの間には、耐熱性および溶融ガラスに対する耐食性に優れた白金（Ｐｔ）製または白金（Ｐｔ）－ロジウム（Ｒｈ）合金等の白金合金製の溶融ガラス搬送管が設置される。
【0004】
従来、成形されたガラス製品の品質を向上させるために、溶解槽でガラス原料を溶解して得られた溶融ガラスを成形装置で成形する前に、溶融ガラス内に発生した気泡を除去する清澄工程が利用されている。この清澄工程では、清澄剤をガラス原料内に予め添加し、ガラス原料を溶解して得られた溶融ガラスを所定温度に一定時間貯留、維持することで、清澄剤によって溶融ガラス内の気泡を成長させ浮上させて除去する方法が知られている。
また、減圧雰囲気内に溶融ガラスを導入し、この減圧雰囲気下、連続的に流れる溶融ガラス流内の気泡を大きく成長させて溶融ガラスに含まれる気泡を浮上させ破泡させて除去し、その後減圧雰囲気から排出する減圧脱泡方法が知られている。
溶融ガラスから効率良く気泡を除去するためには、上記二つの方法を組み合わせて実施すること、すなわち、清澄剤が添加された溶融ガラスを用いて減圧脱泡方法を実施することが好ましい。
また、減圧雰囲気内に溶融ガラスを導入し、この減圧雰囲気下、連続的に流れる溶融ガラス流内の気泡を大きく成長させて溶融ガラスに含まれる気泡を浮上させ破泡させて除去し、その後減圧雰囲気から排出する減圧脱泡方法が知られている。
溶融ガラスから効率良く気泡を除去するためには、上記二つの方法を組み合わせて実施すること、すなわち、清澄剤が添加された溶融ガラスを用いて減圧脱泡方法を実施することが好ましい。
【0005】
ガラスの清澄剤としては、ＣａＳＯ4、ＢａＳＯ4等の硫酸塩系清澄剤、Ａｓ2Ｏ3、Ｓｂ2Ｏ3、ＳｎＯ2等の酸化物系清澄剤等が存在する。これらのうち、硫酸塩系清澄剤は、塩基性度が低い無アルカリガラスの場合、ＳＯ4
2-の溶解度が低いため、溶融ガラスから気泡を除去する効果が不十分である。また、Ａｓ2Ｏ3およびＳｂ2Ｏ3、特にＡｓ2Ｏ3は、環境への負荷が大きいため、その使用の抑制が求められている。また、ＳｎＯ2等のスズ化合物系清澄剤を用いると、フロートガラス基板が着色するという問題があった。そのため、フロートガラス基板の製造には、スズ化合物系清澄剤を使用するのは適切でない。
特許文献１では、ＢａＣｌ2、ＳｒＣｌ2、ＣａＣｌ2、ＭｇＣｌ2、ＡｌＣｌ3およびＮＨ4Ｃｌ等の塩化物系清澄剤が、減圧脱泡と組み合わせた清澄剤として優れた効果を発揮することが開示されている。また、塩化物系清澄剤として、ＮａＣｌ等のアルカリ金属の塩化物が開示されている。
特許文献１では、ＢａＣｌ2、ＳｒＣｌ2、ＣａＣｌ2、ＭｇＣｌ2、ＡｌＣｌ3およびＮＨ4Ｃｌ等の塩化物系清澄剤が、減圧脱泡と組み合わせた清澄剤として優れた効果を発揮することが開示されている。また、塩化物系清澄剤として、ＮａＣｌ等のアルカリ金属の塩化物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】国際公開第２０１１／０７８２５８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
溶融ガラスに含まれる気泡を効率良く除去するためには、塩化物系清澄剤の使用量を増やすことが好ましい。しかし、塩化物系清澄剤の使用量を増やすと、検査工程において、金属系異物欠点に由来する不良品の割合が増大し、フロートガラス基板の生産性が低下することが明らかになった。
【0008】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、溶融ガラスに含まれる泡を容易に除去でき、かつ、金属系異物欠点が少ないフロートガラス基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明のフロートガラス基板は、無アルカリガラスからなるフロートガラス基板であって、Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％であり、ＳｎＯ2を実質的に含有せず、Ｐｔ含有量が質量で０．００１～０．３０ｐｐｍであることを特徴とする。
【発明の効果】
【0010】
本発明のフロートガラス基板は、溶融ガラスに含まれる泡を容易に除去でき、かつ、金属系異物欠点が少ない。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【発明を実施するための形態】
【0012】
［フロートガラス基板］
以下、本発明のフロートガラス基板について説明する。
本発明のフロートガラス基板は、無アルカリガラスからなる。無アルカリガラスとは、Ｎａ2Ｏ、Ｋ2Ｏ等のアルカリ金属酸化物を実質的に含有しないガラスをいう。ここで、アルカリ金属酸化物を実質的に含有しないとは、アルカリ金属酸化物の含有量の合量が０．１質量％以下を意味する。
以下、本発明のフロートガラス基板について説明する。
本発明のフロートガラス基板は、無アルカリガラスからなる。無アルカリガラスとは、Ｎａ2Ｏ、Ｋ2Ｏ等のアルカリ金属酸化物を実質的に含有しないガラスをいう。ここで、アルカリ金属酸化物を実質的に含有しないとは、アルカリ金属酸化物の含有量の合量が０．１質量％以下を意味する。
【0013】
本発明のフロートガラス基板は、Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％である。ガラス中のＣｌは、塩化物系清澄剤由来の成分である。Ｃｌ含有量が０．１０質量％未満だと、塩化物系清澄剤による清澄作用が不十分となりやすい。そのため、溶融ガラスに含まれる泡の除去が不十分になるおそれがある。Ｃｌ含有量が０．５０質量％超だと、溶融ガラス搬送管からＰｔが溶融ガラスに溶出しやすくなり、溶融ガラスのＰｔイオン含有量が増大する。
本願発明者らは、フロートガラス基板の金属系異物欠点を分析し、その成分が主にＰｔであることを見出した。溶融ガラス搬送管から溶融ガラスに溶出したＰｔは、溶融ガラス内でＰｔイオンとして存在する。溶融ガラスは、フロートバスでガラスリボンに成形される。そして、フロートバス内の還元雰囲気下において、ガラスリボンに存在するＰｔイオンが還元され、Ｐｔがガラスリボンの表面に析出し、フロートガラス基板の金属系異物欠点となる。
Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％であれば、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、かつ、溶融ガラス搬送管からＰｔが溶融ガラスに溶出するのを抑制できる。
本願発明者らは、フロートガラス基板の金属系異物欠点を分析し、その成分が主にＰｔであることを見出した。溶融ガラス搬送管から溶融ガラスに溶出したＰｔは、溶融ガラス内でＰｔイオンとして存在する。溶融ガラスは、フロートバスでガラスリボンに成形される。そして、フロートバス内の還元雰囲気下において、ガラスリボンに存在するＰｔイオンが還元され、Ｐｔがガラスリボンの表面に析出し、フロートガラス基板の金属系異物欠点となる。
Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％であれば、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、かつ、溶融ガラス搬送管からＰｔが溶融ガラスに溶出するのを抑制できる。
【0014】
本発明のフロートガラス基板は、ＳｎＯ2を実質的に含有しない。ＳｎＯ2はスズ化合物系清澄剤である。本発明のフロートガラス基板の製造方法は、スズ化合物系清澄剤を使用しない。そのため、フロートガラス基板が着色することがない。ここで、ＳｎＯ2を実質的に含有しないとは、ＳｎＯ2の含有量が０．０５質量％未満であることを意味する。
【0015】
本発明のフロートガラス基板は、Ｐｔ含有量が質量で０．００１～０．３０ｐｐｍである。上記したように、溶解槽とフロートバスとの間には、白金製または白金合金製の溶融ガラス搬送管が設置されている。そのため、溶融ガラス搬送管からＰｔが溶融ガラスに溶出するのは不可避であり、フロートガラス基板はＰｔを質量で０．００１ｐｐｍ以上含有する。
フロートガラス基板のＰｔ含有量が多くなると金属系異物欠点が増加し、検査工程において、金属系異物欠点に由来する不良品の割合が増大する。Ｐｔ含有量が質量で０．３０ｐｐｍ以下であれば、検査工程において、金属系異物欠点に由来する不良品の割合が増大することがない。本発明のフロートガラス基板は、Ｐｔ含有量が質量で０．００１～０．２５ｐｐｍが好ましく、０．００１～０．２０ｐｐｍがより好ましく、０．００１～０．１５ｐｐｍがさらに好ましい。
フロートガラス基板のＰｔ含有量が多くなると金属系異物欠点が増加し、検査工程において、金属系異物欠点に由来する不良品の割合が増大する。Ｐｔ含有量が質量で０．３０ｐｐｍ以下であれば、検査工程において、金属系異物欠点に由来する不良品の割合が増大することがない。本発明のフロートガラス基板は、Ｐｔ含有量が質量で０．００１～０．２５ｐｐｍが好ましく、０．００１～０．２０ｐｐｍがより好ましく、０．００１～０．１５ｐｐｍがさらに好ましい。
【0016】
本発明のフロートガラス基板は、Ｒｈ含有量が質量で０．００１～０．５０ｐｐｍであることが好ましい。
溶解槽とフロートバスとの間に設置される溶融ガラス搬送管が白金合金製の場合、通常は、Ｐｔ－Ｒｈ合金が使用される。この場合、溶融ガラス搬送管からＰｔとともにＲｈが溶融ガラスに溶出し、フロートガラス基板はＲｈを質量で０．００１ｐｐｍ以上含有する。
フロートガラス基板のＲｈ含有量も多くなると金属系異物欠点が増加し、検査工程において、金属系異物欠点に由来する不良品の割合が増大するおそれがある。Ｒｈ含有量が質量で０．５０ｐｐｍ以下であれば、検査工程において、金属系異物欠点に由来する不良品の割合が増大することがない。本発明のフロートガラス基板は、Ｒｈ含有量が質量で０．００１～０．４０ｐｐｍがより好ましく、０．００１～０．３０ｐｐｍがさらに好ましく、０．００１～０．２５ｐｐｍが特に好ましい。
溶解槽とフロートバスとの間に設置される溶融ガラス搬送管が白金合金製の場合、通常は、Ｐｔ－Ｒｈ合金が使用される。この場合、溶融ガラス搬送管からＰｔとともにＲｈが溶融ガラスに溶出し、フロートガラス基板はＲｈを質量で０．００１ｐｐｍ以上含有する。
フロートガラス基板のＲｈ含有量も多くなると金属系異物欠点が増加し、検査工程において、金属系異物欠点に由来する不良品の割合が増大するおそれがある。Ｒｈ含有量が質量で０．５０ｐｐｍ以下であれば、検査工程において、金属系異物欠点に由来する不良品の割合が増大することがない。本発明のフロートガラス基板は、Ｒｈ含有量が質量で０．００１～０．４０ｐｐｍがより好ましく、０．００１～０．３０ｐｐｍがさらに好ましく、０．００１～０．２５ｐｐｍが特に好ましい。
【0017】
本発明のフロートガラス基板は、Ｐｔ含有量およびＲｈ含有量の合量が質量で０．００２～０．８０ｐｐｍであることが好ましく、０．００２～０．６５ｐｐｍであることがより好ましく、０．００２～０．５０ｐｐｍであることがさらに好ましく、０．００２～０．２５ｐｐｍであることが特に好ましい。
【0018】
β－ＯＨは、ガラス中の水分量の指標として用いられる。本発明のフロートガラス基板は、Ｃｌ含有量が０．３５質量％超０．５０質量％以下の場合、β－ＯＨが０．０５～０．２０ｍｍ-1であることが好ましい。β－ＯＨが０．０５ｍｍ-1以上だと、ガラス中の水分が減圧雰囲気下で溶融ガラスに含まれる泡の中に流入し、泡が成長しやすくなる。β－ＯＨは、０．０７ｍｍ-1以上がより好ましく、０．０９ｍｍ-1以上がさらに好ましい。β－ＯＨが０．２０ｍｍ-1以下だと、泡の成長が大きくなりすぎるのを抑制できるため、減圧脱泡処理中に、泡層の肥大化による泡のすり抜けが生じることを抑制できる。β－ＯＨは、０．１８ｍｍ-1以下がより好ましく、０．１６ｍｍ-1以下がさらに好ましい。
また、フロートガラス基板のβ－ＯＨが０．０５～０．２０ｍｍ-1だと、ガラス中の水分量が少ないため、ガラス基板の歪点を高くでき、ひいてはフロートガラス基板の熱収縮率を低くできる。β－ＯＨを低くするには、水分量が少ないガラス原料を選択する、電極による通電加熱でガラス原料を溶解する等の方法がある。
また、フロートガラス基板のβ－ＯＨが０．０５～０．２０ｍｍ-1だと、ガラス中の水分量が少ないため、ガラス基板の歪点を高くでき、ひいてはフロートガラス基板の熱収縮率を低くできる。β－ＯＨを低くするには、水分量が少ないガラス原料を選択する、電極による通電加熱でガラス原料を溶解する等の方法がある。
【0019】
本発明のフロートガラス基板は、Ｃｌ含有量が０．１０～０．３５質量％の場合、β－ＯＨが０．２０～０．５０ｍｍ-1であることが好ましい。β－ＯＨが０．２０ｍｍ-1以上だと、ガラス中の水分が減圧雰囲気下で溶融ガラスに含まれる泡の中に流入し、泡が成長しやすくなる。β－ＯＨは、０．２５ｍｍ-1以上がより好ましい。β－ＯＨが０．５０ｍｍ-1以下だと、泡の成長が大きくなりすぎるのを抑制できるため、減圧脱泡処理中に、泡層の肥大化による泡のすり抜けが生じることを抑制できる。β－ＯＨは、０．４５ｍｍ-1以下がより好ましく、０．４０ｍｍ-1以下がさらに好ましい。
【0020】
β－ＯＨは、フロートガラス基板の透過率を、フーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴ－ＩＲ）を用いて測定し、下記式を用いて求めることができる。
β－ＯＨ ＝ （１／Ｘ）ｌｏｇ10（Ｔ1／Ｔ2）
Ｘ：フロートガラス基板の板厚（ｍｍ）
Ｔ1：参照波数４０００ｃｍ-1における透過率（％）
Ｔ2：水酸基吸収波数３５７０ｃｍ-1付近における最小透過率（％）
β－ＯＨ ＝ （１／Ｘ）ｌｏｇ10（Ｔ1／Ｔ2）
Ｘ：フロートガラス基板の板厚（ｍｍ）
Ｔ1：参照波数４０００ｃｍ-1における透過率（％）
Ｔ2：水酸基吸収波数３５７０ｃｍ-1付近における最小透過率（％）
【0021】
本発明のフロートガラス基板は、無アルカリガラスからなり、ＳｎＯ2を実質的に含有せず、Ｃｌ含有量およびＰｔ含有量が上記範囲を満たす限り、幅広い組成から適宜選択できる。本発明のフロートガラス基板の組成の具体例を以下に示す。
【0022】
本発明のフロートガラス基板の組成の１具体例は、酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ2：５４～７３％、Ａｌ2Ｏ3：１０．５～２４％、Ｂ2Ｏ3 ：０．１～１２％、ＭｇＯ：０～８％、ＣａＯ：０～１４．５％、ＳｒＯ：０～２４％、ＢａＯ：０～１３．５％、ＺｒＯ2：０～５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：８～２９．５％を含有する。
以下、本明細書において、酸化物基準の質量％を単に「％」と記載する。
以下、本明細書において、酸化物基準の質量％を単に「％」と記載する。
【0023】
本発明のフロートガラス基板の別の１具体例において、高い歪点と高い溶解性とを両立する場合、好ましくは、酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ2：５８～６６％、Ａｌ2Ｏ3：１５～２２％、Ｂ2Ｏ3：５～１２％、ＭｇＯ：０～８％、ＣａＯ：０～９％、ＳｒＯ：０～１２．５％、ＢａＯ：０～２％を含有し、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：９～１８％である。
【0024】
本発明のフロートガラス基板の別の１具体例において、特に高い歪点を得たい場合、好ましくは、酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ2：５４～７３％、Ａｌ2Ｏ3：１０．５～２２．５％、Ｂ2Ｏ3：０．１～５．５％、ＭｇＯ：０～８％、ＣａＯ：０～９％、ＳｒＯ：０～１６％、ＢａＯ：０～９％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ：８～２６％である。
【0025】
本発明のフロートガラス基板は、歪点が６５０℃以上だと、フロートガラス基板の熱収縮率を低くできる。これにより、本発明のフロートガラス基板を液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用ガラス基板として使用して液晶パネルを製造する際の熱収縮を抑えられるため好ましい。６７０℃以上がより好ましく、６８０℃以上がさらに好ましい。
歪点の上限は特に限定されないが、７００℃以下だと、フロートバス内およびフロートバス出口の温度をあまり高くする必要がないため、フロートバス内のガラスリボンを成形しやすい。また、フロートバス内の金属部材の寿命に影響を及ぼすことが少ないため好ましい。
歪点の上限は特に限定されないが、７００℃以下だと、フロートバス内およびフロートバス出口の温度をあまり高くする必要がないため、フロートバス内のガラスリボンを成形しやすい。また、フロートバス内の金属部材の寿命に影響を及ぼすことが少ないため好ましい。
【0026】
本発明のフロートガラス基板は、基板サイズが短辺２１００ｍｍ以上で、長辺２４００ｍｍ以上が好ましく、短辺２８００ｍｍ以上で、長辺３０００ｍｍ以上がより好ましく、短辺２９００ｍｍ以上で、長辺３２００ｍｍ以上がさらに好ましい。
【0027】
本発明のフロートガラス基板は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板、磁気ディスク用ガラス基板、半導体パッケージ用の支持基板等の用途として、板厚が０．７５ｍｍ以下が好ましく、０．５５ｍｍ以下がより好ましく、０．４５ｍｍ以下がさらに好ましい。
【0028】
［フロートガラス基板の製造方法］
次に、図面を用いて本発明のフロートガラス基板の製造方法を説明する。図１は、本発明のフロートガラス基板を製造するのに用いるガラス製造装置の一構成例を示した断面図である。
次に、図面を用いて本発明のフロートガラス基板の製造方法を説明する。図１は、本発明のフロートガラス基板を製造するのに用いるガラス製造装置の一構成例を示した断面図である。
【0029】
図１に示すガラス製造装置は、溶解槽１００、減圧脱泡装置４００および成形装置７００を備える。
【0030】
溶解槽１００と減圧脱泡装置４００との間には、上流側水平管２１０、上流側鉛直管２００および上流側水平管２２０が設けられており、溶解槽１００と減圧脱泡装置４００とを接続する。
【0031】
減圧脱泡装置４００と成形装置７００との間には、下流側水平管５１０、下流側鉛直管５００および下流側水平管５２０が設けられており、減圧脱泡装置４００と成形装置７００とを接続する。
【0032】
減圧脱泡装置４００は、減圧脱泡槽４１０、上昇管４２０、下降管４３０および減圧ハウジング４４０を備える。
【0033】
減圧脱泡槽４１０は、その長軸が水平方向に配向するように減圧ハウジング４４０内に収納配置されている。減圧脱泡槽４１０の一端の下面には垂直方向に配向する上昇管４２０が、他端の下面には下降管４３０が取り付けられている。上昇管４２０および下降管４３０は、その一部が減圧ハウジング４４０内に位置している。
【0034】
溶解槽１００から搬送された溶融ガラスＧが、上流側鉛直管２００の上部側方から流入し、上流側鉛直管２００を下向きに流れ、上流側鉛直管２００の下部側方へと流出するように、上流側水平管２１０および上流側水平管２２０が設けられている。上流側鉛直管２００は、内部に溶融ガラスＧを撹拌するためのスターラー３００が設けられている。上流側水平管２２０は、上昇管４２０と接続されており、減圧脱泡装置４００へと溶融ガラスＧを搬送する。
【0035】
減圧脱泡装置４００から搬送された溶融ガラスＧが、下流側鉛直管５００の下部側方から流入し、下流側鉛直管５００を上向きに流れ、下流側鉛直管５００の上部側方へと流出するように、下流側水平管５１０および下流側水平管５２０が設けられている。下流側鉛直管５００は、内部に溶融ガラスＧを撹拌するためのスターラー６００が設けられている。
【0036】
下流側水平管５２０は、成形装置７００のリップ７２０と接続されており、溶融ガラスＧを成形装置７００へと搬送する。成形装置７００は、フロートガラス基板を得るため、フロートバスが用いられる。フロートバスは、溶融金属Ｍを収容する浴槽７１０、リップ７２０、およびリップ７２０の上を流れる溶融ガラスＧの流量を調節するツイール７３０を備える。リップ７２０とツイール７３０の隙間が大きいほど、溶融ガラスＧの流量が増える。フロートバスは、浴槽７１０内の溶融金属Ｍの浴面に溶融ガラスＧを連続的に供給して、帯板状のガラスリボンに成形する装置である。溶融金属Ｍとしては、溶融スズや溶融スズ合金等が用いられる。
【0037】
図１に示すガラス製造装置において、溶融ガラスＧは、上流側水平管２１０、上流側鉛直管２００、上流側水平管２２０、上昇管４２０、減圧脱泡槽４１０、下降管４３０、下流側水平管５１０、下流側鉛直管５００および下流側水平管５２０の順に搬送される。これらは、上記溶融ガラス搬送管に相当し、円筒形状であり、白金（Ｐｔ）製、またはＰｔ－Ｒｈ合金等の白金合金製である。
また、スターラー３００およびスターラー６００は、白金（Ｐｔ）製、またはＰｔ－Ｒｈ合金等の白金合金製である。
なお、減圧脱泡槽４１０は、楕円筒形状であってもよい。また、上流側水平管２１０、上流側水平管２２０、下流側水平管５１０または下流側水平管５２０は、水平面に対して傾斜した斜め管であってもよい。
また、スターラー３００およびスターラー６００は、白金（Ｐｔ）製、またはＰｔ－Ｒｈ合金等の白金合金製である。
なお、減圧脱泡槽４１０は、楕円筒形状であってもよい。また、上流側水平管２１０、上流側水平管２２０、下流側水平管５１０または下流側水平管５２０は、水平面に対して傾斜した斜め管であってもよい。
【0038】
フロートガラス基板の製造方法は、ガラス原料を溶解槽１００にて溶解することで溶融ガラスＧを作製し、溶融ガラスＧを減圧脱泡装置４００にて減圧脱泡処理し、成形装置７００にて帯板状のガラスリボンに成形する。そして、徐冷装置（不図示）にてガラスリボンを徐冷し、ガラスリボンの泡欠点や異物欠点を検査した後、加工装置を用いてガラスリボンを切断し、フロートガラス基板を得る。
フロートガラス基板の用途がフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板である場合、さらにフロートガラス基板に対して切り折り加工と、面取り加工と、研磨加工とをこの順番で施す。研磨加工後、フロートガラス基板の泡欠点や異物欠点を検査する。研磨加工では、フロートガラス基板の両主面の少なくとも一方を研磨し、フロートガラス基板の主面に存在する微小な凹凸やうねりを除去する。
フロートガラス基板の用途がフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板である場合、さらにフロートガラス基板に対して切り折り加工と、面取り加工と、研磨加工とをこの順番で施す。研磨加工後、フロートガラス基板の泡欠点や異物欠点を検査する。研磨加工では、フロートガラス基板の両主面の少なくとも一方を研磨し、フロートガラス基板の主面に存在する微小な凹凸やうねりを除去する。
【0039】
溶解槽１００は、供給されたガラス原料を溶解するためのバーナを備える。バーナは、天然ガスや重油等の燃料をガスと混合して燃焼することで火炎を形成する。ガスとして主に空気を用いるバーナを空気燃焼バーナ、ガスとして主に酸素を用いるバーナを酸素燃焼バーナという。バーナは、火炎をガラス原料に向けて放射することによって、ガラス原料を上方から加熱する。溶解槽１００は、ガラス原料を加熱するための電極を備えてもよい。
【0040】
ガラス原料は、例えば珪砂、ホウ酸、石灰石、酸化アルミニウム、炭酸ストロンチウム、酸化マグネシウム等を使用し、目的とするフロートガラス基板の無アルカリガラス組成となるように調合することができる。
【0041】
ガラス原料には、塩化物系清澄剤が添加される。塩化物系清澄剤は、潮解するおそれがないという観点から、ＢａＣｌ2・２Ｈ2Ｏ、ＳｒＣｌ2・６Ｈ2Ｏ、ＣａＣｌ2、ＭｇＣｌ2・６Ｈ2ＯまたはＮＨ4Ｃｌが好ましい。
【0042】
塩化物系清澄剤は、製造されるフロートガラス基板におけるＣｌ含有量が０．１０～０．５０質量％となるように添加される。
【0043】
フロートガラス基板の製造方法は、溶解槽１００から供給される溶融ガラスＧを所定の圧力に減圧された減圧脱泡槽４１０にて減圧脱泡を行う。溶融ガラスＧは、減圧脱泡槽４１０に連続的に供給・排出されることが好ましい。
【0044】
減圧脱泡槽４１０は、塩化物系清澄剤による清澄作用が十分となるように、内部が１２００～１６００℃、特に１３５０～１５５０℃の温度範囲になるように加熱されていることが好ましい。
【0045】
減圧脱泡を実施する際、減圧ハウジング４４０内の雰囲気は、減圧ハウジング４４０の所定箇所に設けられた吸引開口部を通して、外部から真空ポンプ等の真空減圧手段によって排気される。これにより、減圧ハウジング４４０内に収容された減圧脱泡槽４１０内の雰囲気が間接的に排気され、減圧脱泡槽４１０内部は所定の圧力まで減圧される。
減圧脱泡槽４１０内部の圧力は、１３．３３～５３．３３ｋＰａであることが好ましい。
なお、フロートガラス基板の製造方法における清澄工程は、減圧脱泡に限定されず、溶融ガラスを高温（例えば１６００℃超）に加熱して清澄作用を促進する高温清澄が採用されてもよい。
減圧脱泡槽４１０内部の圧力は、１３．３３～５３．３３ｋＰａであることが好ましい。
なお、フロートガラス基板の製造方法における清澄工程は、減圧脱泡に限定されず、溶融ガラスを高温（例えば１６００℃超）に加熱して清澄作用を促進する高温清澄が採用されてもよい。
【0046】
フロートガラス基板の製造方法では、下記（１）～（４）により、溶融ガラス搬送管からＰｔやＲｈが溶融ガラスに溶出するのを減らすことができる。
（１）後述する例１～６に示すように、溶融ガラスの温度（以下「ガラス温度」ともいう。）が高いほど、ＰｔやＲｈの溶出量が増加する。そのため、溶融ガラス搬送管を通過する溶融ガラスの温度を下げることでＰｔやＲｈの溶出量を減らすことができる。
（２）後述する例１～６に示すように、フロートガラス基板のＣｌ含有量が多いほど、ＰｔやＲｈの溶出量が増加する。そのため、フロートガラス基板のＣｌ含有量を少なくすることでＰｔやＲｈの溶出量を減らすことができる。
（３）溶融ガラス搬送管を通過する溶融ガラスの流量を増やすと、溶融ガラスと溶融ガラス搬送管との接触時間を減らすことができる。これにより、ＰｔやＲｈの溶出量を減らすことができる。
（４）溶融ガラス搬送管の容積に対する表面積の比を低くすると、溶融ガラスと溶融ガラス搬送管との接触面積を減らすことができる。これにより、ＰｔやＲｈの溶出量を減らすことができる。
（１）後述する例１～６に示すように、溶融ガラスの温度（以下「ガラス温度」ともいう。）が高いほど、ＰｔやＲｈの溶出量が増加する。そのため、溶融ガラス搬送管を通過する溶融ガラスの温度を下げることでＰｔやＲｈの溶出量を減らすことができる。
（２）後述する例１～６に示すように、フロートガラス基板のＣｌ含有量が多いほど、ＰｔやＲｈの溶出量が増加する。そのため、フロートガラス基板のＣｌ含有量を少なくすることでＰｔやＲｈの溶出量を減らすことができる。
（３）溶融ガラス搬送管を通過する溶融ガラスの流量を増やすと、溶融ガラスと溶融ガラス搬送管との接触時間を減らすことができる。これにより、ＰｔやＲｈの溶出量を減らすことができる。
（４）溶融ガラス搬送管の容積に対する表面積の比を低くすると、溶融ガラスと溶融ガラス搬送管との接触面積を減らすことができる。これにより、ＰｔやＲｈの溶出量を減らすことができる。
【0047】
一方で、上記（１）～（３）によるＰｔやＲｈの溶出量を減らす方法は、いずれも溶融ガラスに含まれる泡を除去するという観点からは不利である。上記（３）については、溶融ガラスの流量を増やすと、減圧脱泡槽を通過する溶融ガラスの滞在時間が短くなるからである。また、上記（３）および（４）によるＰｔやＲｈの溶出量を減らす方法は、フロートガラス基板の少量生産を行う場合には不利である。上記（４）については、溶融ガラス搬送管の容積に対する表面積の比を低くすると、溶融ガラス搬送管の径が大きくなるからである。
したがって、上記（１）～（４）によるＰｔやＲｈの溶出量を減らす方法は、溶融ガラスに含まれる泡を除去するという観点と、フロートガラス基板の生産量とを踏まえて実施する必要がある。
上記（３）の溶融ガラスの流量（以下「ガラス流量」ともいう。）は、０．０３～１．５ｍ3／ｈであることが好ましい。
上記（４）の溶融ガラス搬送管の容積に対する表面積の比（以下「表面積／容積」とも表記する。）は、０．０３～０．３ｃｍ-1であることが好ましく、０．０３～０．２ｃｍ-1であることがより好ましい。
したがって、上記（１）～（４）によるＰｔやＲｈの溶出量を減らす方法は、溶融ガラスに含まれる泡を除去するという観点と、フロートガラス基板の生産量とを踏まえて実施する必要がある。
上記（３）の溶融ガラスの流量（以下「ガラス流量」ともいう。）は、０．０３～１．５ｍ3／ｈであることが好ましい。
上記（４）の溶融ガラス搬送管の容積に対する表面積の比（以下「表面積／容積」とも表記する。）は、０．０３～０．３ｃｍ-1であることが好ましく、０．０３～０．２ｃｍ-1であることがより好ましい。
【実施例0048】
以下に実施例を用いて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【0049】
［実験例１］
（例１～６）
酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ2：５９．８％、Ａｌ2Ｏ3：１７．２％、Ｂ2Ｏ3：７．８％、ＭｇＯ：３．１％、ＣａＯ：４．１％、ＳｒＯ：７．７％、ＢａＯ：０．１％、Ｃｌ：０．２０％の組成となる無アルカリガラスを基準に、Ｃｌ含有量のみ０．００～０．３０％の範囲となるよう調合したガラス原料を準備した。これらをアルミナ坩堝を用いて電気炉にて溶解しガラス試料を準備した。得られたガラスをＲｈ含有量が１０ａｔ％の白金合金製のるつぼにて１４００℃または１５００℃で１時間熱処理を行った。熱処理後のガラス中に含まれるＰｔおよびＲｈの含有量をＩＣＰ－ＭＳ（誘導結合プラズマ質量分析）法により定量評価し、溶融ガラスとるつぼとの接触面積および熱処理時間から単位面積・単位時間当たりのＰｔとＲｈの溶出速度を算出した。
結果を下記表１と図２、３に示した。図２は、溶融ガラスを１４００℃で１時間熱処理した例１～３におけるフロートガラス基板のＣｌ含有量と、ＰｔおよびＲｈの溶出速度との関係を示したグラフである。図３は、溶融ガラスを１５００℃で１時間熱処理した例４～６におけるフロートガラス基板のＣｌ含有量と、ＰｔおよびＲｈの溶出速度との関係を示したグラフである。図２および３の破線は、回帰直線である。
（例１～６）
酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ2：５９．８％、Ａｌ2Ｏ3：１７．２％、Ｂ2Ｏ3：７．８％、ＭｇＯ：３．１％、ＣａＯ：４．１％、ＳｒＯ：７．７％、ＢａＯ：０．１％、Ｃｌ：０．２０％の組成となる無アルカリガラスを基準に、Ｃｌ含有量のみ０．００～０．３０％の範囲となるよう調合したガラス原料を準備した。これらをアルミナ坩堝を用いて電気炉にて溶解しガラス試料を準備した。得られたガラスをＲｈ含有量が１０ａｔ％の白金合金製のるつぼにて１４００℃または１５００℃で１時間熱処理を行った。熱処理後のガラス中に含まれるＰｔおよびＲｈの含有量をＩＣＰ－ＭＳ（誘導結合プラズマ質量分析）法により定量評価し、溶融ガラスとるつぼとの接触面積および熱処理時間から単位面積・単位時間当たりのＰｔとＲｈの溶出速度を算出した。
結果を下記表１と図２、３に示した。図２は、溶融ガラスを１４００℃で１時間熱処理した例１～３におけるフロートガラス基板のＣｌ含有量と、ＰｔおよびＲｈの溶出速度との関係を示したグラフである。図３は、溶融ガラスを１５００℃で１時間熱処理した例４～６におけるフロートガラス基板のＣｌ含有量と、ＰｔおよびＲｈの溶出速度との関係を示したグラフである。図２および３の破線は、回帰直線である。
【0050】
【表1】
【0051】
［実験例２］
（例７～１９）
実験例１の結果を踏まえ、図１に示すガラス製造装置で製造されるフロートガラス基板の金属異物品質および泡品質をシミュレーションにより評価した。例７、８、１３が比較例、例９～１２、１４～１９が実施例である。
（例７～１９）
実験例１の結果を踏まえ、図１に示すガラス製造装置で製造されるフロートガラス基板の金属異物品質および泡品質をシミュレーションにより評価した。例７、８、１３が比較例、例９～１２、１４～１９が実施例である。
【0052】
図１に示すガラス製造装置において、上流側水平管２１０、上流側鉛直管２００、上流側水平管２２０、上昇管４２０、減圧脱泡槽４１０、下降管４３０、下流側水平管５１０、下流側鉛直管５００および下流側水平管５２０、ならびにスターラー３００およびスターラー６００を、Ｒｈ含有量が１０ａｔ％の白金合金製とした。ガラス製造装置を通過する溶融ガラスのガラス組成（Ｃｌ含有量を除く。）は、例１～６と同一とした。
【0053】
下記表２および３に示すＰｔ含有量は、図２または３の回帰式、ならびに下記表２および３に示すＣｌ含有量、溶融ガラス搬送管表面積およびガラス流量を用いて算出した値である。下記表２および３に示すＲｈ含有量も同様の方法で算出した。
下記表２および３に示す泡成長指数Ｉは、減圧雰囲気下、溶融ガラスに含まれる泡の成長しやすさの指標である。泡成長指数Ｉが高いほど、溶融ガラスに含まれる泡が成長しやすい。泡成長指数Ｉは、下記式（１）を用いて算出した。
Ｉ＝５９０．５×［β－ＯＨ］＋８７４．１×［Ｃｌ］－５．７×［Ｂ2Ｏ3］－３３．３ （１）
式（１）中、［β－ＯＨ］はフロートガラス基板のβ－ＯＨ（ｍｍ-1）を示し、［Ｃｌ］はフロートガラス基板のＣｌ含有量（質量％）を示し、［Ｂ2Ｏ3］はフロートガラス基板のＢ2Ｏ3含有量（質量％）を示す。
下記表２および３に示す泡成長指数Ｉは、減圧雰囲気下、溶融ガラスに含まれる泡の成長しやすさの指標である。泡成長指数Ｉが高いほど、溶融ガラスに含まれる泡が成長しやすい。泡成長指数Ｉは、下記式（１）を用いて算出した。
Ｉ＝５９０．５×［β－ＯＨ］＋８７４．１×［Ｃｌ］－５．７×［Ｂ2Ｏ3］－３３．３ （１）
式（１）中、［β－ＯＨ］はフロートガラス基板のβ－ＯＨ（ｍｍ-1）を示し、［Ｃｌ］はフロートガラス基板のＣｌ含有量（質量％）を示し、［Ｂ2Ｏ3］はフロートガラス基板のＢ2Ｏ3含有量（質量％）を示す。
【0054】
下記表２および３に示す金属異物品質および泡品質は、以下に示す基準で「〇」または「×」を判定した。金属異物品質および泡品質が「〇」と判定されれば、検査工程において、金属系異物欠点および泡欠点に由来する不良品の割合が減少し、フロートガラス基板の生産性が向上するものと想定される。
Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下であれば金属異物品質を「〇」とし、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ超であれば金属異物品質を「×」とした。
ガラス温度が１５００℃である例７～９、１２～１８の場合、泡成長指数Ｉが３２０超であれば泡品質を「〇」とし、泡成長指数Ｉが３２０以下であれば泡品質を「×」とした。また、ガラス温度が１４００℃である例１０、１１、１９の場合、ガラス温度が１５００℃の場合と比べて溶融ガラスに含まれる泡を除去するのが容易でないため、泡成長指数Ｉが４００超であれば泡品質を「〇」とした。
Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下であれば金属異物品質を「〇」とし、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ超であれば金属異物品質を「×」とした。
ガラス温度が１５００℃である例７～９、１２～１８の場合、泡成長指数Ｉが３２０超であれば泡品質を「〇」とし、泡成長指数Ｉが３２０以下であれば泡品質を「×」とした。また、ガラス温度が１４００℃である例１０、１１、１９の場合、ガラス温度が１５００℃の場合と比べて溶融ガラスに含まれる泡を除去するのが容易でないため、泡成長指数Ｉが４００超であれば泡品質を「〇」とした。
【0055】
【表2】
【表3】
【0056】
例７、８は、ガラス流量がいずれも０．０２ｍ3／ｈであり、ガラス流量が少ないので、溶融ガラスと溶融ガラス搬送管との接触時間が増える。そのため、ＰｔやＲｈの溶出量が増えやすい。
Ｃｌ含有量が０．００質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例７は、Ｃｌを含有しない。そのため、ＰｔおよびＲｈの溶出量が減り、金属異物品質が「〇」であったが、泡品質が「×」であった。
Ｃｌ含有量が０．２６質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ超の例８は、Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％である。そのため、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、泡品質が「〇」であったが、ガラス流量が少ないことによるＰｔやＲｈの溶出量が増えることの影響を排除できず、金属異物品質が「×」であった。
Ｃｌ含有量が０．００質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例７は、Ｃｌを含有しない。そのため、ＰｔおよびＲｈの溶出量が減り、金属異物品質が「〇」であったが、泡品質が「×」であった。
Ｃｌ含有量が０．２６質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ超の例８は、Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％である。そのため、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、泡品質が「〇」であったが、ガラス流量が少ないことによるＰｔやＲｈの溶出量が増えることの影響を排除できず、金属異物品質が「×」であった。
【0057】
例９～１３は、ガラス流量がいずれも０．０４ｍ3／ｈであり、例７、８よりもガラス流量が多いので、溶融ガラスと溶融ガラス搬送管との接触時間が減る。そのため、ＰｔやＲｈの溶出量が減りやすい。
Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％、Ｐｔ含有量が０．００１～０．３０ｐｐｍの例９～１２は、金属異物品質および泡品質のいずれも「〇」であった。
例９は、例１０に対し、Ｃｌ含有量が少なく、減圧脱泡槽で泡が成長しにくい条件であるが、ガラス温度を高くすることで、減圧脱泡槽での泡の成長を促進している。
例１０は、例９に対し、Ｃｌ含有量が多く、溶融ガラス搬送管からＰｔやＲｈが溶融ガラスに溶出しやすい条件であるが、ガラス温度を低くすることでＰｔやＲｈの溶出を抑制している。
例１１は、例１０に対し、溶融ガラス搬送管の容積に対する表面積の比（表面積／容積）を低くすることでＰｔやＲｈの溶出量を減らしている。そのため、例１０に比べてＰｔ含有量およびＲｈ含有量が少ない。
例１２は、例９に対し、Ｃｌ含有量が多く、溶融ガラス搬送管からＰｔやＲｈが溶融ガラスに溶出しやすい条件であるが、溶融ガラス搬送管の容積に対する表面積の比（表面積／容積）を低くすることでＰｔやＲｈの溶出量を減らしている。そのため、例９に比べてＰｔ含有量およびＲｈ含有量が少ない。
Ｃｌ含有量が０．３０質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ超の例１３は、Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％である。そのため、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、泡品質が「〇」であったが、ガラス流量が少ないことによるＰｔやＲｈの溶出量が増えることの影響を排除できず、金属異物品質が「×」であった。
Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％、Ｐｔ含有量が０．００１～０．３０ｐｐｍの例９～１２は、金属異物品質および泡品質のいずれも「〇」であった。
例９は、例１０に対し、Ｃｌ含有量が少なく、減圧脱泡槽で泡が成長しにくい条件であるが、ガラス温度を高くすることで、減圧脱泡槽での泡の成長を促進している。
例１０は、例９に対し、Ｃｌ含有量が多く、溶融ガラス搬送管からＰｔやＲｈが溶融ガラスに溶出しやすい条件であるが、ガラス温度を低くすることでＰｔやＲｈの溶出を抑制している。
例１１は、例１０に対し、溶融ガラス搬送管の容積に対する表面積の比（表面積／容積）を低くすることでＰｔやＲｈの溶出量を減らしている。そのため、例１０に比べてＰｔ含有量およびＲｈ含有量が少ない。
例１２は、例９に対し、Ｃｌ含有量が多く、溶融ガラス搬送管からＰｔやＲｈが溶融ガラスに溶出しやすい条件であるが、溶融ガラス搬送管の容積に対する表面積の比（表面積／容積）を低くすることでＰｔやＲｈの溶出量を減らしている。そのため、例９に比べてＰｔ含有量およびＲｈ含有量が少ない。
Ｃｌ含有量が０．３０質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ超の例１３は、Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％である。そのため、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、泡品質が「〇」であったが、ガラス流量が少ないことによるＰｔやＲｈの溶出量が増えることの影響を排除できず、金属異物品質が「×」であった。
【0058】
例１４～１９は、ガラス流量がいずれも０．６５ｍ3／ｈであり、例７～１３よりもガラス流量が１５倍以上も多いので、溶融ガラスと溶融ガラス搬送管との接触時間が減る。また、例１４～１９は、例７～１３よりも溶融ガラス搬送管の容積に対する表面積の比が低いので、溶融ガラスと溶融ガラス搬送管との接触面積が減る。そのため、ＰｔやＲｈの溶出量が減る。
一方で、例１４～１９は、溶融ガラスが減圧脱泡槽を通過する時間が短くなるので、溶融ガラスに含まれる泡が成長し浮上して破泡する前に減圧脱泡槽を通過しやすくなる。そのため、検査工程において、泡欠点に由来する不良品の割合が増大するおそれがある。
Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％、Ｐｔ含有量が０．００１～０．３０ｐｐｍの例１４～１９は、金属異物品質および泡品質のいずれも「〇」であった。
Ｃｌ含有量が０．２８質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例１４は、Ｃｌ含有量が０．１～０．５質量％である。そのため、ＰｔおよびＲｈの溶出量が増えるのを抑制でき、金属異物品質が「〇」であり、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、泡品質が「〇」であった。
Ｃｌ含有量が０．５０質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例１５は、Ｃｌ含有量が０．１～０．５質量％である。そのため、ＰｔおよびＲｈの溶出量が増えるのを抑制でき、金属異物品質が「〇」であり、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、泡品質が「〇」であった。
Ｃｌ含有量が０．５０質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例１６は、例１４よりもＣｌ含有量が多く、また、例１５よりもβ－ＯＨが高い。そのため、例１６は、例１４、１５に対し、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、泡品質が「〇」であった。
Ｃｌ含有量が０．３５質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例１７、およびＣｌ含有量が０．３０質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の１８は、例１６に対し、Ｃｌ含有量が少ない。そのため、ＰｔやＲｈの溶出量が少なく、例１６に比べてＰｔ含有量およびＲｈ含有量が少ない。例１７および１８は、例１６に比べて減圧脱泡槽で泡が成長しにくい条件であるが、β－ＯＨを高くすることで、減圧脱泡槽での泡の成長を促進している。
Ｃｌ含有量が０．３０質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例１９は、例１８に対し、ガラス温度を低くすることでＰｔやＲｈの溶出を抑制している。そのため、例１８に比べてＰｔ含有量およびＲｈ含有量が少ない。
一方で、例１４～１９は、溶融ガラスが減圧脱泡槽を通過する時間が短くなるので、溶融ガラスに含まれる泡が成長し浮上して破泡する前に減圧脱泡槽を通過しやすくなる。そのため、検査工程において、泡欠点に由来する不良品の割合が増大するおそれがある。
Ｃｌ含有量が０．１０～０．５０質量％、Ｐｔ含有量が０．００１～０．３０ｐｐｍの例１４～１９は、金属異物品質および泡品質のいずれも「〇」であった。
Ｃｌ含有量が０．２８質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例１４は、Ｃｌ含有量が０．１～０．５質量％である。そのため、ＰｔおよびＲｈの溶出量が増えるのを抑制でき、金属異物品質が「〇」であり、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、泡品質が「〇」であった。
Ｃｌ含有量が０．５０質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例１５は、Ｃｌ含有量が０．１～０．５質量％である。そのため、ＰｔおよびＲｈの溶出量が増えるのを抑制でき、金属異物品質が「〇」であり、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、泡品質が「〇」であった。
Ｃｌ含有量が０．５０質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例１６は、例１４よりもＣｌ含有量が多く、また、例１５よりもβ－ＯＨが高い。そのため、例１６は、例１４、１５に対し、溶融ガラスに含まれる泡を十分に除去でき、泡品質が「〇」であった。
Ｃｌ含有量が０．３５質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例１７、およびＣｌ含有量が０．３０質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の１８は、例１６に対し、Ｃｌ含有量が少ない。そのため、ＰｔやＲｈの溶出量が少なく、例１６に比べてＰｔ含有量およびＲｈ含有量が少ない。例１７および１８は、例１６に比べて減圧脱泡槽で泡が成長しにくい条件であるが、β－ＯＨを高くすることで、減圧脱泡槽での泡の成長を促進している。
Ｃｌ含有量が０．３０質量％、Ｐｔ含有量が０．３０ｐｐｍ以下の例１９は、例１８に対し、ガラス温度を低くすることでＰｔやＲｈの溶出を抑制している。そのため、例１８に比べてＰｔ含有量およびＲｈ含有量が少ない。
【符号の説明】
【0059】
１００：溶解槽
２００：上流側鉛直管
２１０：上流側水平管
２２０：上流側水平管
３００：スターラー
４００：減圧脱泡装置
４１０：減圧脱泡槽
４２０：上昇管
４３０：下降管
４４０：減圧ハウジング
５００：下流側鉛直管
５１０：下流側水平管
５２０：下流側水平管
６００：スターラー
７００：成形装置
７１０：浴槽
７２０：リップ
７３０：ツイール
Ｇ：溶融ガラス
２００：上流側鉛直管
２１０：上流側水平管
２２０：上流側水平管
３００：スターラー
４００：減圧脱泡装置
４１０：減圧脱泡槽
４２０：上昇管
４３０：下降管
４４０：減圧ハウジング
５００：下流側鉛直管
５１０：下流側水平管
５２０：下流側水平管
６００：スターラー
７００：成形装置
７１０：浴槽
７２０：リップ
７３０：ツイール
Ｇ：溶融ガラス
【図1】
【図2】
【図3】
