特開2022-113724測定ウェハ装置

発明の名称　測定ウェハ装置

出願人　ケーエルエー−テンカー　コーポレイション　（識別番号 500049141）

　　　　特許公開件数ランキング 346 位（83件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 272 位（96件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-113724

公報発行日　2022年8月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-113724

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