(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022115616
(43)【公開日】2022-08-09
(54)【発明の名称】切削装置
(51)【国際特許分類】
B24B 45/00 20060101AFI20220802BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20220802BHJP
B24B 53/00 20060101ALI20220802BHJP
B24B 53/017 20120101ALI20220802BHJP
B24B 49/12 20060101ALI20220802BHJP
H01L 21/301 20060101ALI20220802BHJP
【ＦＩ】
B24B45/00 A
B24B27/06 M
B24B53/00 K
B24B53/017 Z
B24B49/12
H01L21/78 F
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021012279
(22)【出願日】2021-01-28
(71)【出願人】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】100075384
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 昂
(74)【代理人】
【識別番号】100172281
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 知広
(74)【代理人】
【識別番号】100206553
【弁理士】
【氏名又は名称】笠原 崇廣
(74)【代理人】
【識別番号】100189773
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 英哲
(74)【代理人】
【識別番号】100184055
【弁理士】
【氏名又は名称】岡野 貴之
(74)【代理人】
【識別番号】100185959
【弁理士】
【氏名又は名称】今藤 敏和
(72)【発明者】
【氏名】蘇 志博
(72)【発明者】
【氏名】寺田 一貴
【テーマコード（参考）】
3C034
3C047
3C158
5F063
【Ｆターム（参考）】
3C034AA19
3C034BB66
3C034CA13
3C034CA22
3C034CA30
3C034DD18
3C047AA16
3C047AA33
3C047EE09
3C158AA03
3C158AB04
3C158BA09
3C158BA14
3C158BB08
3C158CB03
3C158DA17
5F063AA23
5F063AA29
5F063DD03
(57)【要約】
【課題】切削ブレードをブレードケースから手作業で取り出す必要がない切削装置を提供する。
【解決手段】回転軸となるスピンドルと、スピンドルの先端に固定され切削ブレードが装着されるマウントフランジと、を含む切削ユニットと、切削ブレードが収容されるブレードケースを支持するブレードケース支持部を含み、ブレードケースに収容された状態で切削ブレードを支持する支持ユニットと、切削ブレードが取り付けられた状態のマウントフランジから切削ブレードを取り外し、支持ユニットに支持された切削ブレードをマウントフランジに取り付ける交換機構と、マウントフランジに対して切削ブレードを着脱できる交換位置と、支持ユニットとの間で切削ブレードを受け渡すことのできるブレード受け渡し位置と、交換位置及びブレード受け渡し位置から離れた退避位置と、の間で交換機構を移動させる移動機構と、を備える。
【選択図】図１０
【解決手段】回転軸となるスピンドルと、スピンドルの先端に固定され切削ブレードが装着されるマウントフランジと、を含む切削ユニットと、切削ブレードが収容されるブレードケースを支持するブレードケース支持部を含み、ブレードケースに収容された状態で切削ブレードを支持する支持ユニットと、切削ブレードが取り付けられた状態のマウントフランジから切削ブレードを取り外し、支持ユニットに支持された切削ブレードをマウントフランジに取り付ける交換機構と、マウントフランジに対して切削ブレードを着脱できる交換位置と、支持ユニットとの間で切削ブレードを受け渡すことのできるブレード受け渡し位置と、交換位置及びブレード受け渡し位置から離れた退避位置と、の間で交換機構を移動させる移動機構と、を備える。
【選択図】図１０
【特許請求の範囲】
【請求項1】
回転軸となるスピンドルと、該スピンドルの先端に固定され切削ブレードが装着されるマウントフランジと、を含む切削ユニットと、
該切削ブレードが収容されるブレードケースを支持するブレードケース支持部を含み、該ブレードケースに収容された状態で該切削ブレードを支持する支持ユニットと、
該切削ブレードが取り付けられた状態の該マウントフランジから該切削ブレードを取り外し、該支持ユニットに支持された該切削ブレードを該マウントフランジに取り付ける交換機構と、
該マウントフランジに対して該切削ブレードを着脱できる交換位置と、該支持ユニットとの間で該切削ブレードを受け渡すことのできるブレード受け渡し位置と、該交換位置及び該ブレード受け渡し位置から離れた退避位置と、の間で該交換機構を移動させる移動機構と、を備える切削装置。
該切削ブレードが収容されるブレードケースを支持するブレードケース支持部を含み、該ブレードケースに収容された状態で該切削ブレードを支持する支持ユニットと、
該切削ブレードが取り付けられた状態の該マウントフランジから該切削ブレードを取り外し、該支持ユニットに支持された該切削ブレードを該マウントフランジに取り付ける交換機構と、
該マウントフランジに対して該切削ブレードを着脱できる交換位置と、該支持ユニットとの間で該切削ブレードを受け渡すことのできるブレード受け渡し位置と、該交換位置及び該ブレード受け渡し位置から離れた退避位置と、の間で該交換機構を移動させる移動機構と、を備える切削装置。
【請求項2】
該支持ユニットは、該ブレードケース支持部を回転させる回転機構を更に含み、
該ブレードケース支持部は、該回転機構による回転の方向に沿って配列されそれぞれが該ブレードケースを支持する複数のブレードケース支持部を有する請求項１に記載の切削装置。
該ブレードケース支持部は、該回転機構による回転の方向に沿って配列されそれぞれが該ブレードケースを支持する複数のブレードケース支持部を有する請求項１に記載の切削装置。
【請求項3】
該マウントフランジは、該スピンドルに固定される固定マウントと、該固定マウントとの間に該切削ブレードを挟んで固定するように該固定マウントに取り付けられる押さえフランジと、を有し、
該支持ユニットは、該押さえフランジを支持する押さえフランジ支持部を更に含み、
該交換機構は、該押さえフランジとともに該切削ブレードを該受けフランジに取り付け、該押さえフランジとともに該切削ブレードを該受けフランジから取り外す請求項１又は請求項２に記載の切削装置。
該支持ユニットは、該押さえフランジを支持する押さえフランジ支持部を更に含み、
該交換機構は、該押さえフランジとともに該切削ブレードを該受けフランジに取り付け、該押さえフランジとともに該切削ブレードを該受けフランジから取り外す請求項１又は請求項２に記載の切削装置。
【請求項4】
該ブレードケースは、該切削ブレードを収容する収容部と、該収容部を閉じる蓋部と、を有し、
該ブレードケースの該蓋部を開閉する開閉ユニットを更に備える請求項１から請求項３のいずれかに記載の切削装置。
該ブレードケースの該蓋部を開閉する開閉ユニットを更に備える請求項１から請求項３のいずれかに記載の切削装置。
【請求項5】
該切削ブレードのドレッシングに使用されるドレッシングボード、又は該切削ブレードによって検査用の溝が形成される検査用ボードを保持するテーブルを更に備え、
該支持ユニットは、該ドレッシングボード又は該検査用ボードを支持するボード支持部を更に含み、
該移動機構は、該支持ユニットとの間で該ドレッシングボード又は該検査用ボードを受け渡すことのできるボード受け渡し位置と、該テーブルに対して該ドレッシングボード又は該検査用ボードを搬入出できる搬入出位置と、該交換位置と、該ブレード受け渡し位置と、該退避位置と、の間で該交換機構を移動させ、
該交換機構は、該ドレッシングボード又は該検査用ボードが取り付けられた状態の該テーブルから該ドレッシングボード又は該検査用ボードを取り外し、該支持ユニットに支持された該ドレッシングボード又は該検査用ボードを該テーブルに取り付ける請求項１から請求項４のいずれかに記載の切削装置。
該支持ユニットは、該ドレッシングボード又は該検査用ボードを支持するボード支持部を更に含み、
該移動機構は、該支持ユニットとの間で該ドレッシングボード又は該検査用ボードを受け渡すことのできるボード受け渡し位置と、該テーブルに対して該ドレッシングボード又は該検査用ボードを搬入出できる搬入出位置と、該交換位置と、該ブレード受け渡し位置と、該退避位置と、の間で該交換機構を移動させ、
該交換機構は、該ドレッシングボード又は該検査用ボードが取り付けられた状態の該テーブルから該ドレッシングボード又は該検査用ボードを取り外し、該支持ユニットに支持された該ドレッシングボード又は該検査用ボードを該テーブルに取り付ける請求項１から請求項４のいずれかに記載の切削装置。
【請求項6】
識別マークを読み取る読み取りユニットと、
該切削ブレードに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報及び該ブレードケースに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報が対応しているか否かを判定するブレードケース判定部と、を更に備える請求項１から請求項５のいずれかに記載の切削装置。
該切削ブレードに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報及び該ブレードケースに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報が対応しているか否かを判定するブレードケース判定部と、を更に備える請求項１から請求項５のいずれかに記載の切削装置。
【請求項7】
識別マークを読み取る読み取りユニットと、
該切削ブレードに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報及び該ドレッシングボード又は該検査用ボードに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報が対応している否かを判定するボード判定部と、を更に備える請求項５に記載の切削装置。
該切削ブレードに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報及び該ドレッシングボード又は該検査用ボードに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報が対応している否かを判定するボード判定部と、を更に備える請求項５に記載の切削装置。
【請求項8】
該切削ブレードに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報及び該ブレードケースに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報が対応しているか否かを判定するブレードケース判定部を更に備える請求項７に記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、切削ブレードで被加工物を切削する切削装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体集積回路に代表される複数のデバイスが形成されたウェーハを分割することにより、それぞれがデバイスを備える複数のデバイスチップが製造される。また、複数のデバイスチップを所定の基板上に実装した後、実装されたデバイスチップを封止材（モールド樹脂）で被覆すると、パッケージ基板が得られる。このパッケージ基板を分割することにより、パッケージ化された一又は複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。パッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に搭載される。
【0003】
ウェーハやパッケージ基板等の被加工物を分割する際には、切削装置が用いられる。切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物に切削加工を施す切削ユニットと、を備えている。切削ユニットは、スピンドルと、スピンドルの先端部に固定されるマウントフランジと、を備え、マウントフランジには、被加工物を切削する環状の切削ブレードが装着される。
【0004】
マウントフランジは、切削ブレードの中央に設けられた開口に挿入されるボス部を備えている。切削ブレードは、その開口にマウントフランジのボス部が挿入された状態で、ボス部に締め込まれるナットによりマウントフランジに固定される。マウントフランジに切削ブレードが装着された状態でスピンドルを回転させると、切削ブレードは回転する。回転させた切削ブレードをチャックテーブルにより保持された被加工物に切り込ませることで、被加工物が切削され、分割される。
【0005】
切削ブレードは、被加工物の切削加工に伴い摩耗し、必要に応じて交換される。切削ブレードを交換する際には、まず、ナットを緩めてボス部から取り外し、次に、マウントフランジに装着されている切削ブレードをマウントフランジから取り外す。そして、交換用の切削ブレード（例えば、未使用の切削ブレード）をマウントフランジに装着し、その後、ボス部にナットを締め込んで、交換用の切削ブレードをマウントフランジに固定する。
【0006】
このような切削ブレードの交換を手作業で行うと、手間がかかる上、切削ブレードやナットを作業中に誤って落下させたり、切削装置にぶつけてしまったりする恐れがある。そこで、切削ブレードの交換を手作業で行わずに済むように、切削ユニット（スピンドルユニット）に装着されている切削ブレードの交換を自動で行う交換装置が搭載された切削装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【0007】
上述した切削装置の交換装置は、切削ブレードの着脱を行う切削ブレード着脱機構と、切削ブレードを切削ユニットに固定するためのナットの着脱を行うナット着脱機構と、を備えている。また、切削ブレード着脱機構は、スピンドルに装着されている装着済みの切削ブレードを把持する第１保持部と、装着済みの切削ブレードと取り換えられる交換用の切削ブレードを把持する第２保持部と、を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開２００７－９８５３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
ところで、上述した切削装置では、切削ブレード着脱機構の第２保持部が、切削装置内のブレードストッカーに収容されている交換用の切削ブレードを把持して、この交換用の切削ブレードをスピンドルに装着させる。ブレードストッカーは、例えば、切削ブレードの開口に挿入される軸を有しており、切削ブレードは、例えば、この切削ブレードを収容するブレードケースから取り出された後に、手作業で軸に掛けられ、ブレードストッカーに収容される。
【0010】
しかしながら、ブレードケースからの切削ブレードの取り出しやブレードストッカーへの切削ブレードの収容等を手作業で行うと、切削ブレードやナットを誤って落下させたり、切削装置にぶつけてしまったりする恐れがある。
【0011】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、切削ブレードをブレードケースから手作業で取り出す必要がない切削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0012】
本発明の一側面によれば、回転軸となるスピンドルと、該スピンドルの先端に固定され切削ブレードが装着されるマウントフランジと、を含む切削ユニットと、該切削ブレードが収容されるブレードケースを支持するブレードケース支持部を含み、該ブレードケースに収容された状態で該切削ブレードを支持する支持ユニットと、該切削ブレードが取り付けられた状態の該マウントフランジから該切削ブレードを取り外し、該支持ユニットに支持された該切削ブレードを該マウントフランジに取り付ける交換機構と、該マウントフランジに対して該切削ブレードを着脱できる交換位置と、該支持ユニットとの間で該切削ブレードを受け渡すことのできるブレード受け渡し位置と、該交換位置及び該ブレード受け渡し位置から離れた退避位置と、の間で該交換機構を移動させる移動機構と、を備える切削装置が提供される。
【0013】
本発明の一側面において、該支持ユニットは、該ブレードケース支持部を回転させる回転機構を更に含み、該ブレードケース支持部は、該回転機構による回転の方向に沿って配列されそれぞれが該ブレードケースを支持する複数のブレードケース支持部を有することがある。
【0014】
また、本発明の一側面において、該マウントフランジは、該スピンドルに固定される固定マウントと、該固定マウントとの間に該切削ブレードを挟んで固定するように該固定マウントに取り付けられる押さえフランジと、を有し、該支持ユニットは、該押さえフランジを支持する押さえフランジ支持部を更に含み、該交換機構は、該押さえフランジとともに該切削ブレードを該受けフランジに取り付け、該押さえフランジとともに該切削ブレードを該受けフランジから取り外すことがある。
【0015】
また、本発明の一側面において、該ブレードケースは、該切削ブレードを収容する収容部と、該収容部を閉じる蓋部と、を有し、該切削装置は、該ブレードケースの該蓋部を開閉する開閉ユニットを更に備えることがある。
【0016】
また、本発明の一側面において、該切削装置は、該切削ブレードのドレッシングに使用されるドレッシングボード、又は該切削ブレードによって検査用の溝が形成される検査用ボードを保持するテーブルを更に備え、該支持ユニットは、該ドレッシングボード又は該検査用ボードを支持するボード支持部を更に含み、該移動機構は、該支持ユニットとの間で該ドレッシングボード又は該検査用ボードを受け渡すことのできるボード受け渡し位置と、該テーブルに対して該ドレッシングボード又は該検査用ボードを搬入出できる搬入出位置と、該交換位置と、該ブレード受け渡し位置と、該退避位置と、の間で該交換機構を移動させ、該交換機構は、該ドレッシングボード又は該検査用ボードが取り付けられた状態の該テーブルから該ドレッシングボード又は該検査用ボードを取り外し、該支持ユニットに支持された該ドレッシングボード又は該検査用ボードを該テーブルに取り付けることがある。
【0017】
また、本発明の一側面において、該切削装置は、識別マークを読み取る読み取りユニットと、該切削ブレードに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報及び該ブレードケースに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報が対応しているか否かを判定するブレードケース判定部と、を更に備えることがある。
【0018】
また、本発明の一側面において、該切削装置は、識別マークを読み取る読み取りユニットと、該切削ブレードに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報及び該ドレッシングボード又は該検査用ボードに付された識別マークを該読み取りユニットで読み取って取得される情報が対応している否かを判定するボード判定部と、を更に備えることがある。
【発明の効果】
【0019】
本発明の一側面にかかる切削装置は、ブレードケースに収容された状態で切削ブレードを支持する支持ユニットと、切削ブレードが装着されるマウントフランジを含む切削ユニットと、支持ユニットに支持された切削ブレードをマウントフランジに取り付ける交換機構と、交換機構を移動させる移動機構と、を備えている。
【0020】
よって、ブレードケースに収容された状態の切削ブレードを支持ユニットに支持させた上で、移動機構で交換機構を移動させることにより、切削ユニットの切削ブレードを交換できる。つまり、本発明の一態様にかかる切削装置によれば、従来のように、切削ブレードをブレードケースから手作業で取り出す必要がない。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図11】図１１（Ａ）は、識別マークが付されたハブタイプの切削ブレードを示す平面図であり、図１１（Ｂ）は、識別マークが付されたワッシャータイプの切削ブレードを示す平面図であり、図１１（Ｃ）は、識別マークが付されたドレッシングボード又は検査用ボードを示す平面図である。
【図12】図１２（Ａ）は、交換用切削ブレード保持ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１２（Ｂ）は、ナット取り外しステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１２（Ｃ）は、第１退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１２（Ｄ）は、使用後切削ブレード保持ステップにおける交換装置を示す模式図である。
【図13】図１３（Ａ）は、第２退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１３（Ｂ）は、切削ブレード装着ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１３（Ｃ）は、第３退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１３（Ｄ）は、ナット装着ステップにおける交換装置を示す模式図である。
【図15】図１５（Ａ）は、交換用ボード保持ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１５（Ｂ）は、使用後ボード保持ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１５（Ｃ）は、退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１５（Ｄ）は、載置ステップにおける交換装置を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。図１は、本実施形態にかかる切削装置２を示す斜視図である。なお、図１において、Ｘ軸方向（加工送り方向、第１水平方向、前後方向）とＹ軸方向（割り出し送り方向、第２水平方向、左右方向）とは、互いに垂直な方向である。また、Ｚ軸方向（鉛直方向、上下方向、高さ方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と垂直な方向である。
【0023】
切削装置２は、切削装置２を構成する各構成要素を支持又は収容する基台４を備える。基台４の前方側の角部には、昇降台６ａを備えるエレベータ６が設けられている。エレベータ６は昇降機構（不図示）を備えており、昇降台６ａをＺ軸方向に沿って昇降させる。
【0024】
エレベータ６の昇降台６ａ上には、切削装置２で使用される各種の用具（部品、消耗品等）が収容される容器８と、切削装置２による切削加工の対象となる複数の被加工物１１を収容するカセット１０とが載置される。図１には、昇降台６ａ上に容器８が載置され、容器８上にカセット１０が載置されている例が示されている。なお、容器８に収容される用具の詳細については後述する。
【0025】
カセット１０は、互いに対向する一対の側面を有する。また、カセット１０の各側面にはそれぞれ、カセット１０の高さ方向に沿って所定の間隔で配置された複数のガイドレール１０ａが固定されている。カセット１０の両側面に固定された同じ高さ位置にある一対のガイドレール１０ａにより、被加工物１１を含むフレームユニット（被加工物ユニット）１７が支持される。
【0026】
例えば、被加工物１１は、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。被加工物１１は、格子状に配列された複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の領域に区画されており、この領域の表面（上面）側にはそれぞれ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成されている。被加工物１１を分割予定ラインに沿って切削して分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。
【0027】
ただし、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、被加工物１１は、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ、ＳｉＣ等）、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等でなるウェーハであってもよい。また、被加工物１１に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はなく、被加工物１１にはデバイスが形成されていなくてもよい。さらに、被加工物１１は、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）基板等のパッケージ基板であってもよい。
【0028】
被加工物１１の裏面（下面）側には、被加工物１１よりも直径が大きい円形のテープ（ダイシングテープ）１３が貼付される。テープ１３としては、円形に形成されたフィルム状の基材と、基材上に設けられた粘着層（糊層）とを有するシート等を用いることができる。例えば、基材は、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート等の樹脂でなり、粘着層は、エポキシ系、アクリル系、又はゴム系の接着剤等でなる。また、粘着層には、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型の樹脂を用いてもよい。
【0029】
テープ１３の外周部は、金属等でなり中央部に円形の開口を備える環状のフレーム１５に貼付される。なお、フレーム１５の開口の直径は、被加工物１１の直径よりも大きく、被加工物１１は、フレーム１５の開口の内側に配置される。
【0030】
被加工物１１及びフレーム１５にテープ１３が貼付されると、被加工物１１がテープ１３を介してフレーム１５によって支持される。これにより、被加工物１１、テープ１３、フレーム１５を含むフレームユニット１７が構成される。そして、１又は複数のフレームユニット１７が、カセット１０に収容される。
【0031】
基台４の上面側の、エレベータ６にＸ軸方向で隣接する領域には、開口４ａが設けられている。この開口４ａの内部には、被加工物１１を洗浄する洗浄ユニット１２が配置されている。洗浄ユニット１２は、被加工物１１を保持するスピンナテーブル１４と、スピンナテーブル１４の上方に設けられ純水等の洗浄液を供給するノズル（不図示）とを備える。
【0032】
スピンナテーブル１４には、スピンナテーブル１４をＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りに回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が接続されている。スピンナテーブル１４によって被加工物１１を保持した状態で、スピンナテーブル１４を回転させつつノズルから洗浄液を被加工物１１に供給することにより、被加工物１１が洗浄される。なお、洗浄液としては、液体（純水等）とエアとが混合された気液混合流体等を用いることもできる。
【0033】
洗浄ユニット１２の上方には、フレームユニット１７を保持する一対のガイドレール１６がＸ軸方向に沿って設けられている。一対のガイドレール１６には、一対のガイドレール１６をＹ軸方向に沿って互いに接近及び離隔するように移動させる移動機構（不図示）が接続されている。一対のガイドレール１６でフレームユニット１７を挟み込むことにより、フレームユニット１７のＹ軸方向における位置が調整される。
【0034】
基台４の上面側の、ガイドレール１６にＹ軸方向で隣接する位置には、矩形状の開口４ｂが設けられている。開口４ｂは、長手方向がＸ軸方向に沿うように形成されている。この開口４ｂの内部には、平板状のテーブルカバー１８が設けられている。また、テーブルカバー１８のＸ軸方向における両側には、Ｘ軸方向に伸縮可能な蛇腹状の防塵防滴カバー２０が設けられている。
【0035】
テーブルカバー１８上には、被加工物１１等を保持するチャックテーブル（保持テーブル）２２が設けられている。チャックテーブル２２の上面は、被加工物１１等を保持する平坦な保持面を構成している。また、チャックテーブル２２の周囲には、フレーム１５等を把持して固定する複数のクランプ２４が設けられている。
【0036】
例えば、チャックテーブル２２は、ステンレス鋼等の金属でなる円柱状の枠体（不図示）を備える。また、枠体の中央部の上面側には円形の凹部が形成されており、この凹部にはポーラスセラミックス等の多孔質材料でなる円盤状のポーラス部材が嵌め込まれている。チャックテーブル２２の保持面は、ポーラス部材、チャックテーブル２２の内部に設けられた流路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。
【0037】
例えば、フレームユニット１７は、被加工物１１の表面側が上方に露出し、被加工物１１の裏面側（テープ１３側）がチャックテーブル２２の保持面と対向するように、チャックテーブル２２上に配置される。また、フレーム１５が複数のクランプ２４によって固定される。この状態で、チャックテーブル２２の保持面に吸引源の負圧を作用させると、被加工物１１がテープ１３を介してチャックテーブル２２によって吸引保持される。
【0038】
また、テーブルカバー１８上には、一対のサブテーブル（保持テーブル）２６がチャックテーブル２２に隣接して設けられている。一対のサブテーブル２６は、チャックテーブル２２の後方側に、Ｙ軸方向において互いに離隔した状態で配置されている。
【0039】
サブテーブル２６の上面は、切削加工のセットアップ、検査、評価等に用いられる板状の部材を保持する平坦な保持面を構成する。例えば、サブテーブル２６の保持面は矩形状に形成され、サブテーブル２６の内部に設けられた流路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。このサブテーブル２６によって、後述のドレッシングボード１９や検査用ボード２１（図１０（Ａ）参照）等が保持される。
【0040】
テーブルカバー１８の下方には、移動ユニット（不図示）及び回転駆動源（不図示）が設けられている。移動ユニットは、ボールねじ式の移動機構等によって構成され、チャックテーブル２２及びサブテーブル２６をテーブルカバー１８とともにＸ軸方向に沿って移動させる。また、回転駆動源は、モータ等によって構成され、チャックテーブル２２をＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りに回転させる。
【0041】
開口４ｂの前方側（開口４ａと隣接する領域）は、被加工物１１の搬入及び搬出が行われる搬送領域に相当する。また、開口４ｂの後方側は、被加工物１１の加工が行われる加工領域に相当する。移動ユニットによってチャックテーブル２２及びサブテーブル２６をＸ軸方向に沿って移動させることにより、チャックテーブル２２及びサブテーブル２６を搬送領域又は加工領域に位置付けることができる。
【0042】
加工領域の上方には、被加工物１１が切削される空間（加工室）を形成する加工室カバー２８が設けられている。図１では、加工室カバー２８の輪郭が二点鎖線で示されている。加工室カバー２８は、例えば、金属等によって直方体状に形成され、加工領域を覆うように配置される。また、加工室カバー２８の搬送領域側の側面には、後述の交換装置１００（図６等参照）が通過可能な出入口（開口）２８ａが設けられている。
【0043】
加工室カバー２８の内側には、被加工物１１を切削する一対の切削ユニット３０が設けられている。切削ユニット３０は、環状の切削ブレードを回転させて被加工物１１に切り込ませることにより、被加工物１１を切削する。例えば、切削ユニット３０には、ハブタイプの切削ブレード３６（図２参照）が装着される。
【0044】
図２は、ハブタイプの切削ブレード３６が装着される切削ユニット３０を示す分解斜視図である。切削ユニット３０は、筒状のハウジング３２を備えている。このハウジング３２には、Ｙ軸方向に沿って配置され回転軸となる円柱状のスピンドル３４が収容されている。
【0045】
スピンドル３４の先端部（一端側）は、ハウジング３２の外部に露出しており、スピンドル３４の先端部の端面には、ねじ穴３４ａが形成されている。また、スピンドル３４の基端部（他端側）には、モータ等の回転駆動源が接続されている。このスピンドル３４の先端部に、環状の切削ブレード３６が装着される。スピンドル３４の先端部に装着された切削ブレード３６は、回転駆動源からスピンドル３４を介して伝達される動力によって回転する。
【0046】
切削ブレード３６は、金属等でなる環状の基台３８と、基台３８の外周縁に沿って形成された環状の切刃４０とが一体となって構成されている。切削ブレード３６の中央部（基台３８の中央部）には、切削ブレード３６（基台３８）を厚さ方向に貫通する円形の開口３６ａが設けられている。
【0047】
基台３８は、互いに概ね平行な表面（第１面）３８ａと裏面（第２面）３８ｂとを備える。基台３８の表面３８ａは、切削ブレード３６の着脱時に保持される環状の保持面を構成する。また、切刃４０は、基台３８の裏面３８ｂ側の外周部に形成されている。例えば、切刃４０は、ダイヤモンド等でなる砥粒がニッケルめっき層等の結合材によって固定された電鋳砥石によって構成される。
【0048】
スピンドル３４の先端部には、切削ブレード３６が装着されるマウントフランジ４２が固定される。マウントフランジ４２は、切削ブレード３６を支持する円盤状のフランジ部４４と、フランジ部４４の表面４４ａの中央部から突出する円柱状のボス部（支持軸）４６とを備える。また、マウントフランジ４２には、フランジ部４４の中央部及びボス部４６の中央部を貫通する貫通孔４２ａが設けられている。
【0049】
フランジ部４４の外周部には、表面４４ａから突出する環状の凸部４４ｂが設けられている。凸部４４ｂの先端面は、表面４４ａと概ね平行に形成されており、切削ブレード３６を支持する環状の支持面４４ｃを構成する。
【0050】
ボス部４６の先端部の外周面には、ねじ溝を持つねじ部４６ａが形成されており、このねじ部４６ａには、環状のナット４８が締結される。ナット４８の中央部には、ナット４８を厚さ方向に貫通する円形の開口４８ａが形成されている。開口４８ａは、ボス部４６と概ね同径に形成され、開口４８ａの内側（ナット４８の内周面）には、ボス部４６のねじ部４６ａに対応するねじ溝が設けられている。また、ナット４８には、ナット４８を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔４８ｂが、ナット４８の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。
【0051】
マウントフランジ４２の貫通孔４２ａを介してスピンドル３４のねじ穴３４ａにねじ５０を挿入し、締め込むことにより、マウントフランジ４２がスピンドル３４の先端部に固定される。そして、切削ブレード３６の開口３６ａにボス部４６を挿入すると、切削ブレード３６がマウントフランジ４２に装着される。この状態で、ボス部４６のねじ部４６ａにナット４８を締結すると、切削ブレード３６がフランジ部４４の支持面４４ｃとナット４８とによって挟持され、マウントフランジ４２に固定される。
【0052】
【0053】
切削ブレード５２は、メタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド等の結合材によって砥粒が固定されてなる環状の切刃によって構成される。また、切削ブレード５２の中央部には、切削ブレード５２を厚さ方向に貫通する円形の開口５２ａが設けられている。
【0054】
スピンドル３４の先端部には、切削ブレード５２が装着されるマウントフランジ５４が装着される。マウントフランジ５４は、スピンドル３４の先端部に固定される固定マウント５６と、固定マウント５６に装着された切削ブレード５２を押さえる押さえフランジ６２とを備える。
【0055】
固定マウント５６は、切削ブレード５２を支持する円盤状のフランジ部５８と、フランジ部５８の表面５８ａの中央部から突出する円柱状のボス部（支持軸）６０とを備える。また、固定マウント５６には、フランジ部５８の中央部及びボス部６０の中央部を貫通する貫通孔５６ａが設けられており、貫通孔５６ａの内側には、後述のワッシャー６６を支持する環状の受け部５６ｂが設けられている。
【0056】
フランジ部５８の外周部には、表面５８ａから突出する環状の凸部５８ｂが設けられている。凸部５８ｂの先端面は、表面５８ａと概ね平行に形成されており、切削ブレード５２を支持する環状の支持面５８ｃを構成する。
【0057】
ボス部６０は、フランジ部５８の表面５８ａから突出する環状の第１ボス部（第１支持軸）６０ａと、第１ボス部６０ａの先端から突出する環状の第２ボス部（第２支持軸）６０ｂと、第２ボス部６０ｂの先端から突出する環状の第３ボス部（第３支持軸）６０ｃとを備える。第２ボス部６０ｂの直径は、第１ボス部６０ａの直径よりも小さく、第３ボス部６０ｃの直径は第２ボス部６０ｂの直径よりも小さい。また、第１ボス部６０ａ、第２ボス部６０ｂ、及び第３ボス部６０ｃは、同心円状に設けられている。
【0058】
固定マウント５６には、押さえフランジ６２が装着される。押さえフランジ６２は、金属等でなる環状の部材であり、互いに概ね平行な表面（第１面）６２ａと裏面（第２面）６２ｂとを備える。押さえフランジ６２の表面６２ａは、押さえフランジ６２の着脱時に保持される環状の保持面に相当する。また、押さえフランジ６２の裏面６２ｂは、切削ブレード３６を支持する環状の支持面に相当する。
【0059】
押さえフランジ６２の中央部には、押さえフランジ６２を表面６２ａから裏面６２ｂに貫通する円形の開口６２ｃが設けられている。また、押さえフランジ６２の外周縁と開口６２ｃとの間の領域には、押さえフランジ６２を表面６２ａから裏面６２ｂに貫通する複数の貫通孔６２ｄが、押さえフランジ６２の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。
【0060】
固定マウント５６のボス部６０の先端部の外周面には、ねじ溝を持つねじ部６０ｄが形成されており、このねじ部６０ｄには、環状のナット６４が締結される。ナット６４の中央部には、ナット６４を厚さ方向に貫通する円形の開口６４ａが形成されている。開口６４ａは第３ボス部６０ｃと概ね同径に形成され、開口６４ａの内側（ナット４８の内周面）には、ボス部６０のねじ部６０ｄに対応するねじ溝が設けられている。また、ナット６４には、ナット６４を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔６４ｂが、ナット６４の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。
【0061】
固定マウント５６は、ねじ６８によってスピンドル３４に装着される。具体的には、まず、ワッシャー６６が固定マウント５６の受け部５６ｂに配置される。この状態で、ワッシャー６６及び固定マウント５６の貫通孔５６ａを介して、スピンドル３４のねじ穴３４ａにねじ６８を挿入し、締め込むことにより、固定マウント５６がスピンドル３４の先端部に固定される。
【0062】
また、切削ブレード５２の開口５２ａと押さえフランジ６２の開口６２ｃとにボス部６０を順に挿入すると、切削ブレード５２及び押さえフランジ６２がこの順番で固定マウント５６に装着される。なお、押さえフランジ６２の裏面６２ｂ側には、裏面６２ｂから突出する環状の凸部（不図示）が設けられている。この凸部の外周面の直径は、例えば、切削ブレード５２の開口５２ａの直径よりも僅かに小さく、凸部の内壁（内周面）の直径は、例えば、第１ボス部６０ａの外周面の直径よりも僅かに大きい。
【0063】
押さえフランジ６２の凸部は、切削ブレード５２の開口５２ａの内側に嵌め込まれる。これにより、押さえフランジ６２と切削ブレード５２との位置合わせが行われる。また、第１ボス部６０ａが押さえフランジ６２の凸部の内壁の内側に嵌め込まれ、第２ボス部６０ｂが、押さえフランジ６２の開口６２ｃに嵌め込まれる。
【0064】
この状態で、第３ボス部６０ｃに形成されたねじ部６０ｄにナット６４を締め込むと、切削ブレード３６及び押さえフランジ６２が固定マウント５６に固定される。これにより、切削ブレード３６は、フランジ部５８の支持面５８ｃと押さえフランジ６２の裏面６２ｂとによって挟持され、マウントフランジ５４に固定される。
【0065】
上述のようにして、切削ブレード３６又は切削ブレード５２が、図１に示す一対の切削ユニット３０のそれぞれに装着される。なお、一対の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６又は切削ブレード５２は、互いに対面するように配置される。
【0066】
一対の切削ユニット３０には、それぞれ、チャックテーブル２２によって保持された被加工物１１等を撮像する撮像ユニット（読み取りユニット）７０が装着されている。例えば、撮像ユニット７０は、可視光を受けて電気信号を生成する撮像素子を備える可視光カメラや、赤外線を受けて電気信号を生成する撮像素子を備える赤外線カメラ等によって構成される。撮像ユニット７０によって得られる画像に基づいて、被加工物１１と切削ユニット３０との位置合わせ等が行われる。
【0067】
さらに、基台４の上方には、被加工物１１を搬送する第１搬送ユニット７２が設けられている。第１搬送ユニット７２には、Ｚ軸方向に沿って移動できるロッドを内蔵したエアシリンダが設けられている。このエアシリンダの上部には、第１搬送ユニット７２をＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って移動させる移動機構（不図示）が接続されている。
【0068】
エアシリンダのロッドの下端部には、フレームユニット１７のフレーム１５等を保持する保持ユニット７２ａが固定されている。例えば、保持ユニット７２ａは、フレームユニット１７のフレーム１５の上面側を吸引して保持する複数の吸引パッドを備える。また、保持ユニット７２ａのエレベータ６側の端部には、フレームユニット１７のフレーム１５等の端部を把持できる把持機構７２ｂが設けられている。
【0069】
第１搬送ユニット７２が備える保持ユニット７２ａの上方には、被加工物１１を搬送する第２搬送ユニット７４が設けられている。第２搬送ユニット７４には、Ｚ軸方向に沿って移動できるロッドを内蔵したエアシリンダが設けられている。このエアシリンダの上部には、第２搬送ユニット７４をＹ軸方向に沿って移動させる移動機構（不図示）が接続されている。
【0070】
エアシリンダのロッドの下端部には、フレームユニット１７のフレーム１５等を保持する保持ユニット７４ａが固定されている。保持ユニット７４ａの構造は、第１搬送ユニット７２の保持ユニット７２ａと同様である。
【0071】
また、チャックテーブル２２の側方には、切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６や切削ブレード５２等の交換を行う交換ユニット７６が設けられている。交換ユニット７６の構造の詳細については後述する。
【0072】
基台４の交換ユニット７６側の縁部には、板状のカバー７８が設けられている。カバー７８の一端部は、ヒンジ８０を介して基台４に接続されており、カバー７８はヒンジ８０を中心に回転可能となっている。
【0073】
切削ユニット３０による被加工物１１の加工が行われる際には、カバー７８は、図１に実線で示すように、Ｚ軸方向に沿って立った状態（開状態）となる。一方、交換ユニット７６による切削ブレード３６や切削ブレード５２等の交換が行われる際には、カバー７８は、図１に二点鎖線で示すように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に沿って横たわった状態（閉状態）となる。
【0074】
切削装置２を構成する各構成要素（エレベータ６、洗浄ユニット１２、ガイドレール１６、チャックテーブル２２、クランプ２４、サブテーブル２６、切削ユニット３０、撮像ユニット７０、第１搬送ユニット７２、第２搬送ユニット７４、交換ユニット７６等）は、それぞれ、制御ユニット（制御部）８２に接続されている。制御ユニット８２は、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を生成する。
【0075】
例えば、制御ユニット８２は、コンピュータによって構成され、切削装置２の稼働に必要な各種の処理（演算等）を行う処理部（ブレードケース判定部、ボード判定部）８２ａと、処理部８２ａによる処理に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）が記憶される記憶部８２ｂとを含む。処理部８２ａは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサを含んで構成される。また、記憶部８２ｂは、主記憶装置、補助記憶装置等を構成する各種のメモリを含んで構成される。
【0076】
上述の切削装置２によって、被加工物１１の切削加工が行われる。被加工物１１を加工する際は、まず、加工の対象となる被加工物１１を含むフレームユニット１７が、カセット１０に収容される。そして、このフレームユニット１７を収容したカセット１０が、エレベータ６の昇降台６ａ上に載置される。
【0077】
カセット１０に収容されたフレームユニット１７は、第１搬送ユニット７２によってカセット１０から搬出される。具体的には、第１搬送ユニット７２は、把持機構７２ｂでフレーム１５の端部を把持した状態で、カセット１０から離れるようにＸ軸方向に沿って移動する。これにより、フレームユニット１７がカセット１０から引き出され、一対のガイドレール１６上に配置される。そして、フレームユニット１７が一対のガイドレール１６によって挟み込まれ、フレームユニット１７の位置合わせが行われる。
【0078】
次に、第１搬送ユニット７２は、保持ユニット７２ａでフレーム１５の上面側を保持し、搬送領域に配置されたチャックテーブル２２上にフレームユニット１７を搬送する。また、チャックテーブル２２は、被加工物１１の裏面側（テープ１３側）を吸引保持した状態で、搬送領域から加工領域に移動する。これにより、被加工物１１が加工室カバー２８の内側に配置される。
【0079】
そして、撮像ユニット７０で被加工物１１を撮像することによって取得された画像に基づいて、被加工物１１と切削ユニット３０との位置合わせが行われた後、被加工物１１が切削ユニット３０によって切削される。例えば、被加工物１１は、分割予定ラインに沿って切削され、複数のデバイスチップに分割される。
【0080】
切削加工が完了すると、チャックテーブル２２は、搬送領域へ移動する。そして、第２搬送ユニット７４は、保持ユニット７４ａでフレーム１５の上面側を保持し、フレームユニット１７をチャックテーブル２２から洗浄ユニット１２へ搬送する。そして、洗浄ユニット１２によって、被加工物１１の洗浄が行われる。
【0081】
被加工物１１の洗浄が完了すると、第１搬送ユニット７２は、保持ユニット７２ａでフレーム１５を保持し、フレームユニット１７を一対のガイドレール１６上へ搬送する。そして、フレームユニット１７が一対のガイドレール１６によって挟み込まれ、フレームユニット１７の位置合わせが行われる。その後、第１搬送ユニット７２は、把持機構７２ｂでフレーム１５を把持した状態で、カセット１０側に向かって移動し、フレームユニット１７をカセット１０に収容する。
【0082】
制御ユニット８２の記憶部８２ｂには、上述の切削装置２の一連の動作を記述するプログラムが記憶されている。そして、オペレーターが切削装置２に被加工物１１の加工を指示すると、処理部８２ａは、記憶部８２ｂから該プログラムを読み出して実行し、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を順次生成する。
【0083】
ここで、切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６や切削ブレード５２は、被加工物１１を切削することによって徐々に摩耗するため、必要に応じて交換される。切削装置２では、交換ユニット７６によって切削ブレード３６や切削ブレード５２の交換が自動で実施される。
【0084】
図４は、交換ユニット７６を示す斜視図である。交換ユニット７６は、切削ブレード３６や切削ブレード５２の交換を行う交換装置（交換機構）１００と、交換装置１００を移動させる移動ユニット（移動機構）８４とを備える。移動ユニット８４は、交換装置１００をＺ軸方向に沿って移動させる昇降機構８６と、昇降機構８６に連結され交換装置１００をＸ軸方向及びＹ軸方向と平行な方向（水平方向）に沿って移動させる多関節アーム９０とを備える。
【0085】
昇降機構８６は、Ｚ軸方向に沿って配置された柱状のベース板８８を備え、多関節アーム９０をベース板８８に沿ってＺ軸方向に移動させる。例えば、昇降機構８６は、ベース板８８の下部に設けられ、シャフトに駆動プーリーが固定されたモータ（不図示）と、ベース板８８の上部に設けられた従動プーリー（不図示）とを備える。駆動プーリーと従動プーリーとには、１本の歯付無端ベルト（不図示）が架けられ、歯付無端ベルトには金属製の第１支持具９２Ａが固定される。
【0086】
昇降機構８６のモータのシャフトを第１方向に回転させると、第１支持具９２Ａが上昇し、第１方向とは反対の第２方向に回転させると、第１支持具９２Ａが下降する。これにより、第１支持具９２ＡがＺ軸方向に沿って移動する。
【0087】
ただし、第１支持具９２Ａの昇降が可能であれば、昇降機構８６の構造に制限はない。例えば、昇降機構８６は、ボールネジ式の昇降機構であってもよい。この場合、ボールネジ式の昇降機構は、Ｚ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール（不図示）を有する。また、一対のガイドレールには、平板状の移動プレート（不図示）がガイドレールに沿ってスライド可能な状態で取り付けられる。
【0088】
移動プレートの表面（第１面）側には、第１支持具９２Ａが固定される。また、移動プレートの裏面（第２面）側には、ナット部（不図示）が設けられている。このナット部は、一対のガイドレールと概ね平行に配置されたボールネジに螺合される。ボールネジの一端部には、パルスモータ（不図示）が連結されており、このパルスモータを回転させると第１支持具９２ＡがＺ軸方向に沿って移動する。
【0089】
第１支持具９２Ａには、モータ等の回転駆動源を有する第１回転機構９４Ａが固定されている。この回転駆動源は、回転軸がＺ軸方向に概ね平行に配置されるように設けられている。第１回転機構９４Ａには、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と平行な方向に沿って配置された第１アーム９６Ａの一端部が取り付けられている。
【0090】
第１アーム９６Ａの他端部には、第２回転機構９４Ｂが取り付けられている。第２回転機構９４Ｂは、回転軸がＺ軸方向に概ね平行に配置されたモータ等の回転駆動源を有する。第２回転機構９４Ｂには、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と平行な方向に沿って配置された第２アーム９６Ｂの一端部が取り付けられている。
【0091】
第２アーム９６Ｂの他端部には、第３回転機構９４Ｃが取り付けられている。第３回転機構９４Ｃは、回転軸がＺ軸方向に概ね平行に配置されたモータ等の回転駆動源を有する。第３回転機構９４Ｃには、金属製の第２支持具９２Ｂが取り付けられている。そして、第２支持具９２Ｂには、切削ブレード３６や切削ブレード５２等の交換を行う交換装置１００が装着されている。
【0092】
切削ブレード３６や切削ブレード５２等の交換を行わないタイミングでは、図４に示すように、交換装置１００は、ベース板８８に隣接する位置（退避位置）に配置される。そして、切削ブレード３６や切削ブレード５２等の交換を行う際には、移動ユニット８４が駆動し、交換装置１００が基台４の上方（交換位置）に配置される。図５は、交換装置１００が交換位置に配置された状態の交換ユニット７６を示す斜視図である。
【0093】
交換装置１００は、昇降機構８６によりＺ軸方向に沿って移動（昇降）するとともに、多関節アーム９０によりＸ軸及びＹ軸と平行な平面（水平面）に沿って移動する。すなわち、交換装置１００は、昇降機構８６及び多関節アーム９０により任意の位置に位置付けられる。
【0094】
次に、交換装置１００の構成例について説明する。図６は、交換装置１００を示す斜視図である。また、図７（Ａ）は、交換装置１００を示す側面図であり、図７（Ｂ）は、交換装置１００を示す正面図である。なお、図７（Ｂ）では、交換装置１００の構成要素のうち、後述する連結部材１１４ａ及び連結部材１１４ｂが省略されている。以下では、主に図６を参照しながら、交換装置１００の構造を説明する。
【0095】
交換装置１００は、切削ブレード３６又は切削ブレード５２、及び、ナット４８又はナット６４（図２及び図３参照）の着脱を行う着脱ユニット１０２を備えている。この着脱ユニット１０２には、着脱ユニット１０２を回転させる回転機構１０４が連結されている。
【0096】
回転機構１０４は、着脱ユニット１０２に連結される回転部（シャフト）１０６と、回転部１０６を通る回転軸１０６ａの周りに回転部１０６を回転（自転）させるモータ等の回転駆動源（不図示）とを備える。回転駆動源は、回転部１０６を回転軸１０６ａの周りの双方向（第１方向と、第１方向とは反対の第２方向）に回転させる。回転部１０６が回転すると、回転部１０６に連結された着脱ユニット１０２は、回転部１０６に連動して回転軸１０６ａの周りに回転する。
【0097】
着脱ユニット１０２は、回転機構１０４の回転部１０６に連結された枠体１１０を備える。枠体１１０は、金属等を用いて形成され互いに概ね平行に配置された一対の板状の支持部材１１２ａ及び支持部材１１２ｂを備える。
【0098】
支持部材１１２ａと支持部材１１２ｂとの間には、直方体状の連結部材１１４ａ及び連結部材１１４ｂが設けられている。連結部材１１４ａは、支持部材１１２ａの一端部（回転部１０６側）及び支持部材１１２ｂの一端部（回転部１０６側）に固定されている。また、連結部材１１４ｂは、支持部材１１２ａの他端部（回転部１０６とは反対側）及び支持部材１１２ｂの他端部（回転部１０６とは反対側）に固定されている。すなわち、支持部材１１２ａ及び支持部材１１２ｂは、連結部材１１４ａ及び連結部材１１４ｂを介して互いに連結されている。
【0099】
枠体１１０には、切削ブレード３６又は切削ブレード５２を切削ユニット３０に装着するためのナット４８又はナット６４（図２及び図３参照）を保持して回転させるナット回転部（ナット着脱ユニット）１２０が装着されている。ナット回転部１２０は、ナット４８又はナット６４を保持するナット保持部１２２と、ナット保持部１２２に連結された柱状の回転部（シャフト）１２４（図７（Ｂ）参照）とを備える。
【0100】
回転部１２４は、筒状のハウジング１２６に収容されている。回転部１２４の一端側（先端部）は、ハウジング１２６から露出しており、この回転部１２４の一端側にナット保持部１２２が接続される。また、回転部１２４の他端側（基端部）は、回転部１２４の内部を通る回転軸１２４ａの周りに回転部１２４を回転（自転）させるモータ等の回転駆動源１２８に連結されている。
【0101】
回転駆動源１２８は、回転部１２４を回転軸１２４ａの周りの双方向（第１方向と、第１方向とは反対の第２方向）に回転させる。回転部１２４が回転すると、回転部１２４に連結されたナット保持部１２２は、回転部１２４に連動して回転軸１２４ａの周りに回転する。
【0102】
なお、支持部材１１２ａの中央部には、支持部材１１２ａを厚さ方向に貫通する開口（不図示）が設けられており、支持部材１１２ｂの中央部には、支持部材１１２ｂを厚さ方向に貫通する開口（不図示）が設けられている。そして、ハウジング１２６から露出する回転部１２４の一端側は、支持部材１１２ａの開口に挿入され、支持部材１１２ａから枠体１１０の外側に向かって突出する。また、回転部１２４の他端側は、ハウジング１２６の端部とともに支持部材１１２ｂの開口に挿入され、支持部材１１２ｂから枠体１１０の外側に向かって突出する。
【0103】
回転部１２４の一端側は、枠体１１０の外側でナット保持部１２２に連結される。また、回転部１２４の他端側は、枠体１１０の外側で回転駆動源１２８に連結される。これにより、枠体１１０がナット保持部１２２と回転駆動源１２８とによって挟まれるように、ナット回転部１２０が枠体１１０に装着される。このナット回転部１２０は、ナット保持部１２２の回転軸（回転軸１２４ａに相当）が回転部１０６の回転軸１０６ａと垂直な方向に沿うように配置される。
【0104】
ナット保持部１２２は、回転部１２４の一端側に固定された円柱状の回転部材１３０を備える。回転部材１３０は、ばね等によって支持部材１１２ａとは反対側に向かって付勢されており、外力が付与されると支持部材１１２ａ側に向かって移動する。
【0105】
また、回転部材１３０は、支持部材１１２ａとは反対側に位置する表面１３０ａを備える。そして、回転部材１３０には、表面１３０ａから突出する複数（図６では４個）の保持ピン１３２が、表面１３０ａの周方向に沿って概ね等間隔に設けられている。
【0106】
保持ピン１３２は、ナット４８の貫通孔４８ｂ（図２参照）又はナット６４の貫通孔６４ｂ（図３参照）に対応して形成されており、貫通孔４８ｂ又は貫通孔６４ｂに挿入可能となっている。なお、保持ピン１３２の数、大きさ、配置等は、貫通孔４８ｂ又は貫通孔６４ｂに応じて適宜設定される。
【0107】
回転部材１３０の周囲には、ナット４８又はナット６４を把持する複数（図６では４個）の把持部材１３４が、回転部材１３０の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。把持部材１３４は、それぞれ柱状に形成されており、把持部材１３４の基端部（一端側）は、回転部材１３０の外周面に固定されている。
【0108】
把持部材１３４の先端部（他端側）は、回転部材１３０の表面１３０ａから突出しており、この先端部には、回転部材１３０の中心側に向かって屈曲した爪部１３４ａが形成されている。また、把持部材１３４は、ばね等によって回転部材１３０の半径方向外側に向かって付勢されており、外力が付与されると爪部１３４ａが回転部材１３０の半径方向内側に向かって移動する。
【0109】
さらに、回転部材１３０の周囲には、中空の円柱状に形成されたカバー１３６が設けられている。カバー１３６は、回転部材１３０とは独立して回転軸１２４ａの周りに回転できるように構成されており、回転部材１３０と複数の把持部材１３４の基端側とを囲むように配置されている。回転部材１３０の表面１３０ａがカバー１３６の内側（支持部材１１２ａ側）に向かって押圧されると、回転部材１３０を付勢するばね等が変形しながら、回転部材１３０が複数の把持部材１３４とともにカバー１３６の内側に押し込まれる。
【0110】
回転部材１３０が押圧されてカバー１３６の内側に押し込まれると、複数の把持部材１３４の先端側（爪部１３４ａ側）がカバー１３６の内壁と接触して押圧される。これにより、把持部材１３４を付勢するばね等が変形しながら、複数の把持部材１３４の先端側が回転部材１３０の半径方向で内側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１３４は、その長さ方向がカバー１３６の内壁に沿うように配置された状態となる（閉状態）。このとき、把持部材１３４の爪部１３４ａは、例えば、回転部材１３０の外周縁よりも回転部材１３０の半径方向で内側に配置される。
【0111】
一方、回転部材１３０に対する押圧が解除されると、回転部材１３０は、ばね等の復元力によってカバー１３６の外側に向かって移動し、把持部材１３４の先端側がカバー１３６の内壁によって押圧された状態が解除される。これにより、複数の把持部材１３４の先端側も、ばね等の復元力によって回転部材１３０の半径方向で外側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１３４の先端側が、閉状態よりも回転部材１３０の半径方向で外側に配置された状態となる（開状態）。このとき、把持部材１３４の爪部１３４ａは、例えば、回転部材１３０の外周縁よりも回転部材１３０の半径方向で外側に配置される。
【0112】
さらに、回転部材１３０の外周面には、回転部材１３０の外周面から突出する複数（例えば４個）のピン１３８が設けられている。また、カバー１３６には、カバー１３６を外周面から内周面（内壁）まで貫通する複数（例えば４個）の開口１３６ａが設けられている。そして、ピン１３８の少なくとも一部が、それぞれ、開口１３６ａに挿入される。
【0113】
開口１３６ａの支持部材１１２ａとは反対側に位置する端部は、段差状に形成されており、第１ピン受け部１３６ｂと第２ピン受け部１３６ｃとを含む。第２ピン受け部１３６ｃは、第１ピン受け部１３６ｂよりも回転部材１３０の表面１３０ａから離れた位置（支持部材１１２ａ側）に配置されている。
【0114】
ナット保持部１２２は、例えば、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれていない初期状態で、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂに接触した状態となっている。そして、回転部材１３０が押圧されてカバー１３６の内側に押し込まれると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂから離れる。この状態で回転部１２４を第１方向に回転させると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂ側から第２ピン受け部１３６ｃ側に移動する。
【0115】
その後、回転部材１３０の押圧が解除されると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃと接触し、第２ピン受け部１３６ｃによって支持された状態となる。これにより、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれた状態が維持され、複数の把持部材１３４が閉状態に維持される。
【0116】
一方、カバー１３６の内側に押し込まれた状態の回転部材１３０が、さらに押圧されてカバー１３６の内側に押し込まれると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃから離れる。この状態で回転部１２４を第１方向とは反対の第２方向に回転させると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃ側から第１ピン受け部１３６ｂ側に移動する。
【0117】
その後、回転部材１３０の押圧が解除されると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂと接触し、第１ピン受け部１３６ｂによって支持された状態となる。これにより、回転部材１３０はカバー１３６の内側から押し出され、複数の把持部材１３４が開状態となる。
【0118】
上述のナット回転部１２０は、ナット４８又はナット６４を保持して回転する。具体的には、まず、保持ピン１３２がナット４８の貫通孔４８ｂ（図２参照）又はナット６４の貫通孔６４ｂ（図３参照）に挿入されるように、回転部材１３０の表面１３０ａがナット４８又はナット６４と接触する。この状態で回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれると、複数の把持部材１３４が閉状態となり、爪部１３４ａがナット４８又はナット６４の外周面と接触してナット４８又はナット６４を把持する。
【0119】
複数の把持部材１３４によってナット４８又はナット６４が保持された状態で、回転駆動源１２８で回転部１２４（図７（Ｂ）参照）を回転させると、回転部１２４に連結された回転部材１３０が回転し、把持部材１３４によって保持されたナット４８又はナット６４も回転する。
【0120】
ナット回転部１２０でナット４８又はナット６４を保持して回転させることにより、切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６又は切削ブレード５２の交換を行う際の、ナット４８又はナット６４の取り外し及び締め込みを自動で行うことができる。
【0121】
例えば、切削ユニット３０のマウントフランジ４２に装着されたナット４８（図２参照）を取り外す際には、まず、昇降機構８６及び多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって交換装置１００を移動させ、加工室カバー２８の出入口２８ａ（図１参照）を介して交換装置１００を加工室カバー２８の内部に配置する。そして、回転機構１０４によって着脱ユニット１０２を回転させ、ナット保持部１２２をマウントフランジ４２と対向させる。
【0122】
その後、ナット保持部１２２をマウントフランジ４２側に移動させる。これにより、マウントフランジ４２に装着されているナット４８に、回転部材１３０の表面１３０ａ側が押し付けられる。このとき、回転部材１３０が備える複数の保持ピン１３２は、ナット４８の貫通孔４８ｂに挿入される。
【0123】
そして、回転部材１３０がナット４８によって押圧されてカバー１３６の内側に押し込まれ、複数の把持部材１３４が閉状態となる。これにより、ナット４８が複数の把持部材１３４の爪部１３４ａによって把持される。
【0124】
次に、回転駆動源１２８によって回転部１２４（図７（Ｂ）参照）を回転させ、回転部材１３０を回転軸１２４ａの周りに第１方向（ナット４８を緩める方向）に回転させる。これにより、回転部材１３０によって把持されたナット４８が回転して緩み、マウントフランジ４２のボス部４６から取り外される。なお、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれた状態で第１方向に回転すると、ピン１３８は、第１ピン受け部１３６ｂ側から第２ピン受け部１３６ｃ側に移動する。
【0125】
その後、ナット保持部１２２をマウントフランジ４２から離れる方向に移動させる。このとき、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃによって支持されることにより、カバー１３６の内側に回転部材１３０が押し込まれた状態が維持される。これにより、複数の把持部材１３４がナット４８を把持した状態（閉状態）が維持される。
【0126】
一方で、切削ユニット３０のマウントフランジ４２にナット４８を取り付ける際には、まず、ナット４８を保持した状態のナット保持部１２２をマウントフランジ４２と対向させ、ナット保持部１２２をマウントフランジ４２側に移動させる。これにより、ナット保持部１２２よって保持されているナット４８がマウントフランジ４２のボス部４６の先端部に位置付けられるとともに、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれる。
【0127】
次に、回転駆動源１２８によって回転部１２４（図７（Ｂ）参照）を回転させ、回転部材１３０を回転軸１２４ａの周りで第１方向とは反対の第２方向（ナット４８を締める方向）に回転させる。これにより、ナット４８が回転してマウントフランジ４２のボス部４６に形成されたねじ部４６ａに締め込まれ、マウントフランジ４２に装着される。なお、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれた状態で第２方向に回転すると、ピン１３８は、第２ピン受け部１３６ｃ側から第１ピン受け部１３６ｂ側に移動する。
【0128】
その後、ナット保持部１２２をマウントフランジ４２から離れる方向に移動させる。これにより、回転部材１３０がカバー１３６の内側から押し出され、複数の把持部材１３４によるナット４８の把持が解除される。そして、ピン１３８は、第１ピン受け部１３６ｂによって支持される。
【0129】
なお、複数の把持部材１３４を閉状態又は開状態に維持する方法は、上述した方法に限定されない。例えば、回転部材１３０にピン１３８を設ける代わりに、カバー１３６をカバー１３６の高さ方向（回転軸１２４ａと平行な方向）に沿って移動させるアクチュエーターを着脱ユニット１０２に設けてもよい。例えば、アクチュエーターは、エアシリンダ等によって構成され、支持部材１１２ａに固定される。このアクチュエーターによってカバー１３６を移動させることにより、複数の把持部材１３４の閉状態と開状態とを自由に切り替えることができる。
【0130】
支持部材１１２ａと支持部材１１２ｂとの間には、金属等でなる環状部材１４０が設けられている。環状部材１４０は、ハウジング１２６（回転部１２４）を囲み、且つ、ハウジング１２６と接触しないように、支持部材１１２ａ及び支持部材１１２ｂと概ね平行な状態で配置されている。
【0131】
環状部材１４０は、複数の弾性体（弾性部材）１４２ａを介して支持部材１１２ａに連結されるとともに、複数の弾性体（弾性部材）１４２ｂを介して支持部材１１２ｂに連結されている。すなわち、環状部材１４０は弾性体１４２ａ及び弾性体１４２ｂによって吊られ、支持部材１１２ａ及び支持部材１１２ｂと接触していない状態で保持される（図７（Ｂ）参照）。
【0132】
例えば、弾性体１４２ａ及び弾性体１４２ｂは、ばね、ゴム等の伸縮可能な部材である。環状部材１４０に外力が付与されると、弾性体１４２ａ及び弾性体１４２ｂの伸縮によって、環状部材１４０は、任意の方向に移動又は回転する。
【0133】
環状部材１４０の外周面には、切削ブレード３６又は切削ブレード５２を保持する保持部１５０Ａ（第１保持部）及び保持部１５０Ｂ（第２保持部）が連結されている。保持部１５０Ａ及び保持部１５０Ｂは、樹脂、金属等でなる円盤状の部材であり、環状部材１４０とは反対側を向く円形状の表面１５０ａ側で切削ブレード３６又は切削ブレード５２を保持する。保持部１５０Ａ及び保持部１５０Ｂは、保持部１５０Ａの表面１５０ａと保持部１５０Ｂの表面１５０ａとが枠体１１０の外側を向くように、枠体１１０を挟んで互いに対向する位置に配置されている。
【0134】
保持部１５０Ａ及び保持部１５０Ｂは、それぞれ、回転機構１０４の回転部１０６の周方向（回転方向）において、ナット保持部１２２から９０°の角度の間隔だけ離れた位置に配置される。また、ナット保持部１２２と、保持部１５０Ａの表面１５０ａと、保持部１５０Ｂの表面１５０ａとは、回転部１０６の回転軸１０６ａの周りに互いに離隔した状態で、回転軸１０６ａとは反対側（外側）を向くように配置されている。
【0135】
次に、保持部１５０Ａ及び保持部１５０Ｂの構成例について説明する。図８（Ａ）は、保持部１５０Ａを示す正面図であり、図８（Ｂ）は、保持部１５０Ａを示す断面図である。なお、以下では、保持部１５０Ａの構造及び機能について説明するが、保持部１５０Ｂの構造及び機能も保持部１５０Ａと同じである。
【0136】
保持部１５０Ａは、樹脂、金属等でなる円盤状の枠体１５２を備える。枠体１５２は、互いに概ね平行な表面（第１面）１５２ａと裏面（第２面）１５２ｂとを備える。枠体１５２の表面１５２ａ側が、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側に相当する。枠体１５２の表面１５２ａ側の中央部には、円形の第１溝（第１凹部）１５２ｃが設けられている。なお、第１溝１５２ｃの直径は、切削ブレード３６の基台３８の表面３８ａ（図９（Ａ）参照）の直径や、押さえフランジ６２の表面６２ａ（図９（Ｂ）参照）の直径よりも大きい。
【0137】
さらに、第１溝１５２ｃの底部の中央部には、円形の第２溝（第２凹部）１５２ｄが設けられている。そして、第２溝１５２ｄの底部には、環状の第３溝（第３凹部）１５２ｅが、第２溝１５２ｄの外周に沿って所定の幅で形成されている。
【0138】
第３溝１５２ｅには、環状の弾性部材１５４が嵌め込まれている。弾性部材１５４は、ゴム、樹脂等の弾性変形が可能な弾性材料で構成される。弾性部材１５４は、第３溝１５２ｅの内側に嵌め込まれた環状の基部１５４ａと、基部１５４ａから突出する一対のリップ部１５４ｂとを含む。一方のリップ部１５４ｂは、環状の基部１５４ａの半径方向で外側の部分に沿って配置されている。また、他方のリップ部１５４ｂは、環状の基部１５４ａの半径方向で内側の部分に沿って配置されている。
【0139】
一対のリップ部１５４ｂは、基部１５４ａから離れた先端へと向かうにつれて互いの距離が大きくなるように構成されている。具体的には、一対のリップ部１５４ｂは、基部１５４ａが第３溝１５２ｅに嵌め込まれた状態で、枠体１５２の表面１５２ａに対して傾斜している。
【0140】
一対のリップ部１５４ｂは、基部１５４ａの半径方向において、基部１５４ａの内側から外側へと広がるように構成されている。すなわち、一対のリップ部１５４ｂは、それぞれ、第３溝１５２ｅの幅方向において、第３溝１５２ｅの内側から外側に向かうように構成されている。また、一対のリップ部１５４ｂの先端は、枠体１５２の厚さ方向において、枠体１５２の表面１５２ａから突出している。
【0141】
基部１５４ａのうち、一対のリップ部１５４ｂの間の空間と重なる領域には、基部１５４ａを貫通する複数の貫通孔１５４ｃが設けられている。例えば、図８（Ａ）に示すように、基部１５４ａには、弾性部材１５４の周方向に沿って概ね等間隔に６つの貫通孔１５４ｃが形成される。貫通孔１５４ｃの一端側は、枠体１５２の表面１５２ａ側で開口しており、貫通孔１５４ｃの他端側は、第３溝１５２ｅの底部に設けられた環状の第４溝（第４凹部）１５２ｆに連結されている。
【0142】
第４溝１５２ｆには、チューブ、パイプ等によって構成される流路１５６の一端側が接続されている。また、流路１５６の他端側は、バルブ１５８を介して吸引源１６０に接続されている。例えば、バルブ１５８は、その開閉が電気的に制御される電磁弁によって構成され、吸引源１６０は、エジェクタによって構成される。バルブ１５８を開くと、吸引源１６０の負圧が、枠体１５２の第４溝１５２ｆ及び弾性部材１５４の貫通孔１５４ｃを介して、一対のリップ部１５４ｂの間の空間に作用する。
【0143】
また、流路１５６のうちで、第４溝１５２ｆとバルブ１５８との間の領域には、流路１５６の圧力を測定する圧力測定器（圧力センサ）１６２が接続されている。例えば、圧力測定器１６２は、ゲージ圧（絶対圧と大気圧との差）に基づいて流路１５６の内部の圧力を測定する。圧力測定器１６２によって測定された流路１５６の圧力値は、制御ユニット８２（図１参照）に出力され、記憶部８２ｂに記憶される。
【0144】
上述した保持部１５０Ａによって、切削ブレード３６又は切削ブレード５２が保持される。そして、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の交換を実施する際には、切削ユニット３０に装着されている切削ブレード３６又は切削ブレード５２（例えば、使用後の切削ブレード）や、交換用の切削ブレード３６又は切削ブレード５２（例えば、未使用の切削ブレード）が、保持部１５０Ａによって保持される。なお、保持部１５０Ａは、ハブタイプの切削ブレード３６とワッシャータイプの切削ブレード５２とのいずれも保持できる。
【0145】
図９（Ａ）は、ハブタイプの切削ブレード３６を保持する保持部１５０Ａを示す断面図である。保持部１５０Ａで切削ブレード３６を保持する際には、例えば、バルブ１５８を開き、吸引源１６０の負圧を一対のリップ部１５４ｂの間の空間に作用させる。そして、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側を切削ブレード３６に対向させた状態で、保持部１５０Ａを切削ブレード３６の基台３８に近づける。
【0146】
基台３８の表面３８ａが一対のリップ部１５４ｂの先端に接触すると、一対のリップ部１５４ｂの間の空間が密閉され、この空間が吸引源１６０の負圧によって減圧される。これにより、一対のリップ部１５４ｂが切削ブレード３６に密着し、切削ブレード３６は、保持部１５０Ａによって吸引保持される。
【0147】
図９（Ｂ）は、ワッシャータイプの切削ブレード５２を保持する保持部１５０Ａを示す断面図である。保持部１５０Ａで切削ブレード５２を保持する際には、保持部１５０Ａは、押さえフランジ６２の表面６２ａ側を吸引するとともに、押さえフランジ６２に設けられた貫通孔６２ｄを介して切削ブレード５２を吸引する。
【0148】
具体的には、例えば、バルブ１５８を開き、吸引源１６０の負圧を一対のリップ部１５４ｂの間の空間に作用させる。そして、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側を押さえフランジ６２及び切削ブレード５２に対向させた状態で、保持部１５０Ａを押さえフランジ６２に近づける。
【0149】
押さえフランジ６２の表面６２ａが一対のリップ部１５４ｂの先端に接触すると、一対のリップ部１５４ｂの間の空間が密閉され、この空間が吸引源１６０の負圧によって減圧される。これにより、一対のリップ部１５４ｂが押さえフランジ６２に密着し、押さえフランジ６２は、保持部１５０Ａによって吸引保持される。
【0150】
また、吸引源１６０の負圧は、押さえフランジ６２に設けられた複数の貫通孔６２ｄを介して、切削ブレード５２にも作用する。これにより、切削ブレード５２は、押さえフランジ６２を介して保持部１５０Ａによって吸引保持される。
【0151】
なお、貫通孔６２ｄは、押さえフランジ６２の表面６２ａのうちで弾性部材１５４に対応する領域と、押さえフランジ６２の裏面６２ｂのうちで切削ブレード５２と接触する領域とに開口するように形成される。貫通孔６２ｄの直径は、例えば、１ｍｍ程度に設定される。
【0152】
ただし、保持部１５０Ａは、押さえフランジ６２のみを保持することもできる。具体的には、切削ブレード５２と接触していない状態の押さえフランジ６２を、上述の通り、保持部１５０Ａによって吸引する。このとき、吸引源１６０の負圧は押さえフランジ６２の貫通孔６２ｄを介して僅かにリークするものの、吸引源１６０の吸引力を適切に制御することにより、保持部１５０Ａは、押さえフランジ６２を保持できる。
【0153】
上述のように、保持部１５０Ａによって切削ブレード３６又は切削ブレード５２が保持される。なお、保持部１５０Ａによって所望の対象物が適切に保持されているか否かは、圧力測定器１６２によって流路１５６の圧力を測定することによって判別することができる。
【0154】
例えば、保持部１５０Ａで切削ブレード３６を保持すると（図９（Ａ）参照）、一対のリップ部１５４ｂの間の空間が密閉される。つまり、保持部１５０Ａが切削ブレード３６を保持している状態での流路１５６の圧力Ｐａ１と、保持部１５０Ａが切削ブレード３６を保持していない状態での流路１５６の圧力Ｐａ２（＞Ｐａ１）とに違いが生じる。そのため、圧力測定器１６２によって測定された圧力と、予め設定された閾値Ｐｔｈａ（Ｐａ１＜Ｐｔｈａ＜Ｐａ２）とを比較することにより、切削ブレード３６が保持部１５０Ａによって保持されているか否かを判別できる。
【0155】
また、保持部１５０Ａで切削ブレード５２を保持する場合（図９（Ｂ）参照）には、保持部１５０Ａが切削ブレード５２及び押さえフランジ６２を吸引保持している状態での流路１５６の圧力Ｐｂ１と、保持部１５０Ａが押さえフランジ６２のみを吸引保持している状態での流路１５６の圧力Ｐｂ２（＞圧力Ｐｂ１）と、保持部１５０Ａが切削ブレード５２及び押さえフランジ６２のいずれも保持していない状態での流路１５６の圧力Ｐｂ３（＞Ｐｂ２）とに違いが生じる。
【0156】
そのため、圧力測定器１６２によって測定された圧力と、予め設定された閾値Ｐｔｈｂ１（Ｐｂ１＜Ｐｔｈｂ１＜Ｐｂ２）及び閾値Ｐｔｈｂ２（Ｐｂ２＜Ｐｔｈｂ２＜Ｐｂ３）とをそれぞれ比較することにより、切削ブレード５２や押さえフランジ６２が保持部１５０Ａによって保持されているか否かを判別できる。
【0157】
上述の判別は、例えば、制御ユニット８２（図１参照）の記憶部８２ｂに予め閾値（Ｐｔｈａ、Ｐｔｈｂ１、Ｐｔｈｂ２）を記憶しておき、圧力測定器１６２によって測定された圧力と閾値とを比較する処理を処理部８２ａに実行させることによって実施される。この場合、記憶部８２ｂには、測定された圧力と閾値とを比較する処理が記述されたプログラムが記憶される。そして、処理部８２ａは記憶部８２ｂにアクセスして該プログラムを読み出し、実行することにより、測定された圧力と閾値との比較を行う。
【0158】
上記のように、保持部１５０Ａによって切削ブレード３６又は切削ブレード５２が保持される。なお、保持部１５０Ｂによって切削ブレード３６又は切削ブレード５２が保持される場合の手順も、保持部１５０Ａの場合と同様である。
【0159】
また、枠体１５２の表面１５２ａ側のうち、第４溝１５２ｆの内側の領域には、円柱状の第５溝（第５凹部）１５２ｇが設けられている。そして、第５溝１５２ｇの直径は、マウントフランジ４２のボス部４６（図２参照）の直径、及び、マウントフランジ５４の第３ボス部６０ｃ（図３参照）の直径よりも大きく設定される。これにより、保持部１５０Ａ又は保持部１５０Ｂを切削ユニット３０に近づけた際に、ボス部４６又は第３ボス部６０ｃの先端部が第５溝１５２ｇに挿入され、保持部１５０Ａ又は保持部１５０Ｂと切削ユニット３０との接触が回避される。
【0160】
なお、保持部１５０Ａ又は保持部１５０Ｂには、必ずしも弾性部材１５４が設けられていなくてもよい。例えば、弾性部材１５４の代わりに、径の異なる２つのＯリングが同心円状に配置されてもよい。この場合、例えば、一方のＯリングは、枠体１５２の半径方向で外側に位置する第３溝１５２ｅの側壁に沿って設けられ、他方のＯリングは、枠体１５２の半径方向で内側に位置する第３溝１５２ｅの側壁に沿って設けられる。
【0161】
ここで、図６及び図７（Ｂ）に示すように、保持部１５０Ａ及び保持部１５０Ｂは、弾性体１４２ａ及び弾性体１４２ｂを介して回転機構１０４の回転部１０６に連結されている。これにより、保持部１５０Ａ及び保持部１５０Ｂは、それぞれ、任意の角度に傾くことができる。すなわち、保持部１５０Ａ又は保持部１５０Ｂに外力が付与されると、その表面１５０ａは、任意の方向に自在に傾く。
【0162】
そのため、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側又は保持部１５０Ｂの表面１５０ａ側に上述した切削ブレード３６や押さえフランジ６２が接触すると、保持部１５０Ａ又は保持部１５０Ｂは、その表面１５０ａが切削ブレード３６の表面３８ａや押さえフランジ６２の表面６２ａと平行に配置されるように傾く。これにより、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側又は保持部１５０Ｂの表面１５０ａ側が切削ブレード３６や押さえフランジ６２と適切に接触し、切削ブレード３６や押さえフランジ６２が確実に吸引保持される。
【0163】
上述した交換装置１００によって、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の交換が行われる。切削ブレード３６又は切削ブレード５２の交換は、例えば、切削ユニット３０に装着されている切削ブレード３６又は切削ブレード５２を取り外し、その後、交換用の切削ブレード３６又は切削ブレード５２を切削ユニット３０に装着することによって行われる。交換用の切削ブレード３６又は切削ブレード５２は、予め切削装置２内に保管されている。
【0164】
図１０（Ａ）は、交換用の切削ブレード３６又は切削ブレード５２等を支持した状態で保管できる支持ユニット（ストック部）２００を示す平面図である。図１０（Ａ）に示すように、支持ユニット２００は、例えば、被加工物１１を支持するフレーム１５と同じ外形を有する板状の支持板２０２を含む。
【0165】
支持板２０２の上面２０２ａには、切削ブレード３６又は切削ブレード５２を収容するブレードケース１７２をそれぞれが支持できるように構成された複数のブレードケース支持部２０４が設けられている。各ブレードケース支持部２０４は、例えば、ブレードケース１７２に対応する形状を持つ凹状の領域であり、ブレードケース１７２を載置できるように構成されている。なお、各ブレードケース支持部２０４は、ブレードケース１７２に対応した形状を持つガイド構造を配置することによって形成されても良い。
【0166】
図１０（Ｂ）は、ブレードケース１７２を示す斜視図である。ブレードケース１７２は、例えば、ポリプロピレン等の合成樹脂で形成された収容部１７４と蓋部１７６とを含む。収容部１７４と蓋部１７６とは、ヒンジ部１７８によって互いに連結されている。
【0167】
収容部１７４は、底板１８０と、底板１８０の外周部に設けられた側壁１８２とを有している。側壁１８２より内側が、切削ブレード３６又は切削ブレード５２を収容する収容領域１７４ａとなる。側壁１８２のヒンジ部１７８とは反対側の領域の外側には、外向きの第１爪部１８４が形成されている。
【0168】
蓋部１７６は、天板１８６と、天板１８６の外周部に設けられた側壁１８８とを有している。例えば、この側壁１８８の高さは、収容部１７４の側壁１８２の高さよりも低くなっている。また、側壁１８８のヒンジ部１７８とは反対側の領域の内側には、内向きの第２爪部１９０が形成されている。
【0169】
例えば、ヒンジ部１７８を支点に蓋部１７６を回転させて収容部１７４の収容領域１７４ａを閉じることで、収容領域１７４ａに収容される切削ブレード３６又は切削ブレード５２がブレードケース１７２から脱落することはなくなる。なお、第１爪部１８４と第２爪部１９０とを噛み合わせた状態（ロック状態）にすると、収容領域１７４ａが閉じられた状態が維持される。一方で、蓋部１７６が開かれた状態では、収容領域１７４ａに収容された切削ブレード３６又は切削ブレード５２に対して、外部からのアクセスが可能になる。
【0170】
ブレードケース１７２に切削ブレード３６又は切削ブレード５２を収容した状態で、ブレードケース１７２をブレードケース支持部２０４に載置することで、切削ブレード３６又は切削ブレード５２は、支持ユニット２００によって支持される。なお、支持ユニット２００の各ブレードケース支持部２０４には、蓋部１７６が開かれた状態のブレードケース１７２が載置される。
【0171】
また、支持板２０２の上面２０２ａには、それぞれが押さえフランジ６２を支持できるように構成された複数の押さえフランジ支持部２０６が設けられている。各押さえフランジ支持部２０６は、例えば、押さえフランジ６２に対応した形状を持つ凹状の領域であり、押さえフランジ６２を載置できるように構成されている。なお、各押さえフランジ支持部２０６は、押さえフランジ６２に対応した形状を持つガイド構造を配置することによって形成されても良い。
【0172】
更に、支持板２０２の上面２０２ａには、切削ブレード３６又は切削ブレード５２のドレッシングに用いられるドレッシングボード１９や、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の検査に用いられる検査用ボード２１をそれぞれが支持できる複数のボード支持部２０８が設けられている。
【0173】
各ボード支持部２０８は、例えば、ドレッシングボード１９や検査用ボード２１に対応した形状を持つ凹状の領域であり、ドレッシングボード１９又は検査用ボード２１を載置できるように構成されている。なお、各ボード支持部２０８は、ドレッシングボード１９や検査用ボード２１に対応した形状を持つガイド構造を配置することによって形成されても良い。
【0174】
切削ブレード３６又は切削ブレード５２によって被加工物１１を加工する際には、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の形状の修正や、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の切れ味の確保等を目的として、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の先端部を意図的に摩耗させるドレッシングが実施される。
【0175】
ドレッシングは、切削ブレード３６又は切削ブレード５２をドレッシングボード１９に切り込ませることによって行われる。例えば、ドレッシングボード１９は、グリーンカーボランダム（ＧＣ）、ホワイトアランダム（ＷＡ）等でなる砥粒を、レジンボンド、ビトリファイドボンド等の結合材で固定することによって形成されている。
【0176】
ドレッシングを行うと、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の結合材がドレッシングボード１９と接触して摩耗し、例えば、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の形状がスピンドル３４と同心状に整えられる（真円出し）。また、ドレッシングを行うと、同様に、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の結合材がドレッシングボード１９と接触して摩耗し、例えば、結合材から砥粒が適度に露出する（目立て）。このようなドレッシングを経た切削ブレード３６又は切削ブレード５２を用いることにより、被加工物１１の加工の精度が向上する。
【0177】
また、切削ブレード３６又は切削ブレード５２によって被加工物１１を加工する際には、切削ブレード３６又は切削ブレード５２を検査用ボード２１に切り込ませ、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の形状の検査や、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の位置の修正等が行われることがある。
【0178】
例えば、切削ブレード３６又は切削ブレード５２を検査用ボード２１に切り込ませ、検査用ボード２１に形成された溝（切削溝）を観察することにより、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の先端部が所望の形状となっているか否かが検査される。また、検査用ボード２１に形成された切削溝の長さに基づいて、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の下端の位置（切り込み深さ）が算出され、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の高さ位置の調整が行われる。
【0179】
検査用ボード２１としては、例えば、シリコンを用いて形成される板状の部材（シリコンボード）が用いられる。ただし、検査用ボード２１を切削ブレード３６又は切削ブレード５２によって切削できるようであれば、この検査用ボード２１の材質に制限はない。よって、検査用ボード２１に適した材質として、被加工物１１と同様の材質を用いることができる。
【0180】
切削ブレード３６又は切削ブレード５２によるドレッシングボード１９又は検査用ボード２１の切削は、一対のサブテーブル２６（図１参照）によってドレッシングボード１９又は検査用ボード２１を保持した状態で実施される。このとき、例えば、一方のサブテーブル２６には、一方の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６又は切削ブレード５２によって切削されるドレッシングボード１９又は検査用ボード２１が保持される。
【0181】
また、例えば、他方のサブテーブル２６には、他方の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６又は切削ブレード５２によって切削されるドレッシングボード１９又は検査用ボード２１が保持される。このように、一対のサブテーブル２６は、一対の切削ユニット３０に対応して設置されている。
【0182】
なお、支持ユニット２００に支持された各種の用具には、その用具に関する情報を含む識別マークが付されていてもよい。図１１（Ａ）は、識別マーク２１２が付された切削ブレード３６を示す平面図であり、図１１（Ｂ）は、識別マーク２１４が付された切削ブレード５２を示す平面図であり、図１１（Ｃ）は、識別マーク２１６が付されたドレッシングボード１９又は検査用ボード２１を示す平面図である。
【0183】
識別マーク２１２、識別マーク２１４、及び識別マーク２１６は、例えば、１次元コード（バーコード）や２次元コード等である。なお、これらの識別マーク２１２、識別マーク２１４、及び識別マーク２１６は、対象に対して直に印刷されても良いし、これらの識別マーク２１２、識別マーク２１４、及び識別マーク２１６が印刷されたシール等を対象に貼り付けても良い。
【0184】
切削ブレード３６に付される識別マーク２１２や、切削ブレード５２に付される識別マーク２１４には、例えば、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の種類（ハブタイプ又はワッシャータイプ）、外径、内径、厚さ（幅）、砥粒の材質、砥粒の粒径、結合材の材質、シリアル番号等の情報が含まれる。
【0185】
一方で、ドレッシングボード１９に付される識別マーク２１６には、例えば、ドレッシングボード１９のサイズ、形状、砥粒の材質、砥粒の粒径、結合材の材質等の情報が含まれる。また、検査用ボード２１に付される識別マーク２１６には、例えば、検査用ボード２１のサイズ、形状、材質、シリアル番号等の情報が含まれる。
【0186】
切削ブレード３６に付された識別マーク２１２や、切削ブレード５２に付された識別マーク２１４、ドレッシングボード１９又は検査用ボード２１に付される識別マーク２１６等は、例えば、切削装置２に設けられた読み取りユニットによって読み取られる。読み取りユニットは、カメラやバーコードリーダー等であり、例えば、上述した識別マーク２１２、識別マーク２１４、識別マーク２１６等の種類に応じて選択される。
【0187】
例えば、切削ユニット３０に隣接する撮像ユニット７０（図１参照）は、読み取りユニットとしても機能し、この撮像ユニット７０によって、識別マーク２１２、識別マーク２１４、識別マーク２１６等が読み取られる。ただし、撮像ユニット７０とは別の読み取りユニットが切削装置２内に設けられても良い。
【0188】
読み取りユニットによって読み取られた情報は、制御ユニット８２（図１参照）に入力され、記憶部８２ｂに記憶される。例えば、制御ユニット８２の処理部８２ａは、切削ブレード３６又は切削ブレードの交換等を行う際に、記憶部８２ｂに記憶されている情報を参照し、交換ユニット７６によって保持する対象を特定する。
【0189】
なお、上述した各ブレードケース１７２にも、収容されるべき切削ブレード３６や切削ブレード５２に対応する識別マークが付されていることが望ましい。これにより、ブレードケース１７２と、このブレードケース１７２に収容されるべき切削ブレード３６や切削ブレード５２と、の不一致を容易に確認できる。
【0190】
この場合には、切削ブレード３６に付された識別マーク２１２又は切削ブレード５２に付された識別マーク２１４を読み取りユニットで読み取って取得される情報と、ブレードケース１７２に付された識別マークを読み取りユニットで読み取って取得される情報と、が、記憶部８２ｂに記憶される。
【0191】
その後、制御ユニット８２の処理部８２ａは、記憶部８２ｂに記憶されている情報を参照し、ブレードケース１７２と、これに収容されるべき切削ブレード３６又は切削ブレード５２と、が対応するか否かを判定する。具体的には、処理部８２ａは、識別マーク２１２又は識別マーク２１４から取得される情報と、ブレードケース１７２に付された識別マークから取得される情報と、が対応しているか否かを判定する。この場合には、処理部８２ａは、当該判定を行うブレードケース判定部として機能する。
【0192】
同様に、制御ユニット８２の処理部８２ａは、記憶部８２ｂに記憶されている情報を参照し、切削ブレード３６又は切削ブレード５２と、使用されるドレッシングボード１９又は検査用ボード２１と、が対応するか否かを判定することもできる。具体的には、処理部８２ａは、識別マーク２１２又は識別マーク２１４から取得される情報と、識別マーク２１６から取得される情報と、が対応しているか否かを判定する。この場合には、処理部８２ａは、当該判定を行うボード判定部として機能する。
【0193】
また、例えば、切削ブレードの種類等の情報を含む加工条件を予め記憶部８２ｂに記憶させている場合には、制御ユニット８２の処理部８２ａは、記憶部８２ｂに記憶されている情報を参照し、この加工条件と、切削ブレード３６又は切削ブレード５２と、が対応するか否かを判定することもできる。この場合には、処理部８２ａは、当該判定を行う加工条件判定部として機能する。
【0194】
なお、ブレードケース１７２と、これに収容されるべき切削ブレード３６又は切削ブレード５２と、が対応していないと判定された場合、切削ブレード３６又は切削ブレード５２と、使用されるドレッシングボード１９又は検査用ボード２１と、が対応していないと判定された場合、被加工物１１の切削加工において採用される加工条件と、切削ブレード３６又は切削ブレード５２と、が対応していないと判定された場合等には、制御ユニット８２は、その旨をオペレーター等に報知したり、切削装置２の動作を停止させたりすると良い。
【0195】
上述した支持ユニット２００は、切削装置２に設けられた容器８（図１参照）に収容される。支持ユニット２００は、第１搬送ユニット７２によって容器８から引き出され、閉状態のカバー７８の上に搬送される。なお、容器８の洗浄ユニット１２側には、開閉可能なドア（不図示）が設けられている。容器８から支持ユニット２００を取り出す際には、エレベータ６が昇降し、容器８の高さを一対のガイドレール１６の高さに合わせる。
【0196】
また、支持ユニット２００の支持板２０２の形状は、被加工物１１を支持するフレーム１５の形状に対応している。そのため、フレームユニット１７をチャックテーブル２２に搬送する際の動作と同様の動作により、支持ユニット２００を閉状態のカバー７８の上に搬送できる。
【0197】
なお、支持ユニット２００の搬送先は、カバー７８の上に限られない。例えば、一対のガイドレール１６の上に支持ユニット２００を搬送しても良い。また、切削装置２からカバー７８を省略し、チャックテーブル２２の上に支持ユニット２００を搬送することもできる。
【0198】
次に、切削装置２の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６又は切削ブレード５２を交換するブレードの交換方法の具体例を説明する。なお、以下では、一例として、マウントフランジ４２に装着された切削ブレード３６（図２参照）を交換する交換方法について説明する。
【0199】
まず、支持ユニット２００が備える支持板２０２の上面２０２ａの上に、交換用の切削ブレード３６を載置する（準備ステップ）。具体的には、支持板２０２の上面２０２ａに設けられた複数のブレードケース支持部２０４Ａに、それぞれ、交換用の切削ブレード３６（例えば、未使用の切削ブレード３６）を収容したブレードケース１７２を載置する。
【0200】
なお、ブレードケース１７２は、蓋部１７６が開かれた状態でブレードケース支持部２０４に載置されることが望ましい。これにより、蓋部１７６を開閉するための開閉ユニットが切削装置２に設けられていない場合でも、切削ブレード３６を適切に交換できる。ブレードケース１７２を介して交換用の切削ブレード３６を支持した状態の支持ユニット２００は、容器８（図１参照）に収容される。
【0201】
そして、第１搬送ユニット７２によって支持ユニット２００を容器８から引き出し、閉状態のカバー７８の上に搬送する。これにより、交換用の切削ブレード３６は、カバー７８によって保持される。なお、上述の通り、支持ユニット２００は、一対のガイドレール１６の上やチャックテーブル２２の上に配置されても良い。
【0202】
次に、支持板２０２の上面２０２ａに載置された交換用の切削ブレード３６を、交換装置１００の保持部１５０Ｂによって保持する（交換用切削ブレード保持ステップ）。図１２（Ａ）は、交換用切削ブレード保持ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0203】
交換用切削ブレード保持ステップでは、まず、昇降機構８６及び多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって交換装置１００を移動させて、カバー７８等によって保持された支持板２０２の上（ブレード受け渡し位置）に交換装置１００を配置する。また、回転機構１０４（図６等参照）によって枠体１１０を回転させて、保持部１５０Ｂを支持板２０２の上面２０２ａと対向させる。
【0204】
次に、交換装置１００を下降させて、支持板２０２の上面２０２ａに配置された交換用の切削ブレード３６に保持部１５０Ｂを接触させる。そして、保持部１５０Ｂによって交換用の切削ブレード３６を吸引保持する。その後、交換装置１００を上昇させて、支持板２０２の上面２０２ａから離れる方向に保持部１５０Ｂを移動させる。これにより、交換用の切削ブレード３６が保持部１５０Ｂによって持ち上げられる。
【0205】
次に、切削ユニット３０のマウントフランジ４２に装着されているナット４８を、マウントフランジ４２から取り外す（ナット取り外しステップ）。図１２（Ｂ）は、ナット取り外しステップにおける交換装置１００を示す模式図である。ナット取り外しステップでは、まず、昇降機構８６及び多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって交換装置１００を移動させて、加工室カバー２８（図１参照）内に交換装置１００を配置する。また、交換装置１００のナット保持部１２２を、切削ブレード３６及びナット４８が装着された状態のマウントフランジ４２と対向させる。
【0206】
そして、マウントフランジ４２に装着されているナット４８を、ナット保持部１２２によって保持して回転させる。具体的には、複数の把持部材１３４（図６等参照）によってナット４８を把持した状態で、回転部材１３０（図６等参照）を回転駆動源１２８によって回転させることにより、ナット４８を第１方向（ナット４８が緩む方向）に回転させる。その結果、ナット４８が緩み、マウントフランジ４２から取り外される。
【0207】
次に、ナット保持部１２２とマウントフランジ４２とを離隔させる（第１退避ステップ）。図１２（Ｃ）は、第１退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。第１退避ステップでは、多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって交換装置１００をマウントフランジ４２とは反対側に向かって移動させる。これにより、ナット保持部１２２は、ナット４８を保持した状態でマウントフランジ４２から離れる方向に移動する。
【0208】
次に、切削ユニット３０のマウントフランジ４２に装着されている切削ブレード３６（例えば、使用後の切削ブレード３６）を、交換装置１００の保持部１５０Ａによって保持する（使用後切削ブレード保持ステップ）。図１２（Ｄ）は、使用後切削ブレード保持ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0209】
使用後切削ブレード保持ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図６等参照）を回転させることにより、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側（図８（Ａ）等参照）をマウントフランジ４２と対向させる。そして、交換装置１００をマウントフランジ４２側に移動させて、マウントフランジ４２に装着されている使用後の切削ブレード３６に保持部１５０Ａを接触させる。そして、保持部１５０Ａによって使用後の切削ブレード３６を吸引保持する。
【0210】
次に、保持部１５０Ａとマウントフランジ４２とを離隔させる（第２退避ステップ）。図１３（Ａ）は、第２退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。第２退避ステップでは、多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって交換装置１００をマウントフランジ４２とは反対側に向かって移動させる。これにより、保持部１５０Ａは、使用後の切削ブレード３６を保持した状態でマウントフランジ４２から離れる方向に移動し、使用後の切削ブレード３６がマウントフランジ４２から取り外される。
【0211】
次に、交換装置１００の保持部１５０Ｂによって保持されている交換用の切削ブレード３６を、マウントフランジ４２に装着する（切削ブレード装着ステップ）。図１３（Ｂ）は、切削ブレード装着ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。切削ブレード装着ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図６等参照）を回転させることにより、交換用の切削ブレード３６を保持している保持部１５０Ｂの表面１５０ａ（図８（Ａ）等参照）側をマウントフランジ４２と対向させる。
【0212】
そして、交換装置１００をマウントフランジ４２側に移動させ、交換用の切削ブレード３６の開口３６ａ（図２参照）にマウントフランジ４２のボス部４６（図２参照）が挿入されるように、交換用の切削ブレード３６を配置する。この状態で、保持部１５０Ｂによる交換用の切削ブレード３６の吸引保持を解除すると、交換用の切削ブレード３６がマウントフランジ４２に装着される。
【0213】
次に、保持部１５０Ｂとマウントフランジ４２とを離隔させる（第３退避ステップ）。図１３（Ｃ）は、第３退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。第３退避ステップでは、多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって交換装置１００をマウントフランジ４２とは反対側に向かって移動させる。これにより、保持部１５０Ｂがマウントフランジ４２から離れる方向に移動して、マウントフランジ４２に装着された交換用の切削ブレード３６から離れる。
【0214】
次に、ナット保持部１２２によって保持されているナット４８を、マウントフランジ４２に装着する（ナット装着ステップ）。図１３（Ｄ）は、ナット装着ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。ナット装着ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図６等参照）を回転させることにより、ナット４８を保持しているナット保持部１２２をマウントフランジ４２と対向させる。また、交換装置１００をマウントフランジ４２側に移動させ、ナット４８をマウントフランジ４２のボス部４６（図２参照）の先端部に位置付ける。
【0215】
そして、回転部材１３０（図６等参照）を回転駆動源１２８によって回転させることにより、複数の把持部材１３４（図６等参照）によって把持されているナット４８を、第２方向（ナット４８が締まる方向）に回転させる。その結果、ナット４８がマウントフランジ４２のボス部４６（図２参照）に締め込まれ、マウントフランジ４２に装着される。これにより、交換用の切削ブレード３６がマウントフランジ４２とナット４８とによって挟持され、スピンドル３４の先端部に固定される。
【0216】
以上の手順により、マウントフランジ４２に装着されている切削ブレード３６の交換が行われる。そして、保持部１５０Ａによって保持されている使用後の切削ブレード３６は、支持ユニット２００のブレードケース支持部２０４Ａに載置される。
【0217】
なお、上述した工程において、マウントフランジ４２と交換装置１００との接近及び離隔は、切削ユニット３０（マウントフランジ４２）を移動させることによって実現されてもよい。例えば、第１退避ステップ、第２退避ステップ、及び第３退避ステップでは、切削ユニット３０を交換装置１００から離れるようにＹ軸方向に沿って移動させることにより、交換装置１００とマウントフランジ４２とを互いに離隔させることができる。
【0218】
また、上述した工程では、マウントフランジ４２に装着されている切削ブレード３６の交換について説明したが、マウントフランジ５４に装着されている切削ブレード５２（図３参照）の交換も同様の手順で実施される。ただし、切削ブレード５２を交換する際には、上述の通り、切削ブレード５２とともに押さえフランジ６２が保持部１５０Ａ及び保持部１５０Ｂによって保持される（図９（Ｂ）参照）。すなわち、上述した切削ブレード３６の交換に代えて、切削ブレード５２及び押さえフランジ６２の交換が行われる。
【0219】
また、切削ブレード５２を交換する場合には、交換用切削ブレード保持ステップにおいて、保持部１５０Ｂで押さえフランジ６２を保持した後、保持部１５０Ｂで切削ブレード３６を保持する。具体的には、まず、保持部１５０Ｂを、押さえフランジ支持部２０６（図１０（Ａ）参照）に支持されている押さえフランジ６２に対向させて、押さえフランジ６２を保持部１５０Ｂによって保持する。
【0220】
次に、押さえフランジ６２を保持した状態の保持部１５０Ｂを、ブレードケース支持部２０４Ｂ（図１０（Ａ）参照）に支持されたブレードケース１７２内の交換用の切削ブレード５２に対向させて、交換用の切削ブレード５２を押さえフランジ６２とともに保持部１５０Ｂによって保持する。このとき切削ブレード５２は、押さえフランジ６２に形成されている貫通孔６２ｄ（図９（Ｂ）参照）を介して切削ブレード５２に作用する吸引源１６０の負圧によって保持される。
【0221】
また、交換装置１００は、サブテーブル２６（図１参照）によって保持されているドレッシングボード１９又は検査用ボード２１（図１０（Ａ）参照）の交換を行うこともできる。例えば、ドレッシングボード１９を用いて切削ブレード３６又は切削ブレード５２のドレッシングを実施すると、ドレッシングボード１９に切削溝が形成される。
【0222】
この切削溝がドレッシングボード１９の全体に渡って形成されると、使用後のドレッシングボード１９は、交換用のドレッシングボード１９（例えば、未使用のドレッシングボード１９）に交換される。同様に、切削ブレード３６又は切削ブレード５２の検査に使用された検査用ボード２１も、所定のタイミングで交換用の検査用ボード２１（未使用の検査用ボード２１）に交換される。
【0223】
交換装置１００の保持部１５０Ａ及び保持部１５０Ｂは、切削ブレード３６や切削ブレード５２だけでなく、ドレッシングボード１９や検査用ボード２１等の板状の部材を保持できるように構成されている。そのため、この交換装置１００によって、サブテーブル２６によって保持されるドレッシングボード１９や検査用ボード２１の交換を実施できる。
【0224】
図１４（Ａ）は、正方形状のドレッシングボード１９（ドレッシングボード１９Ａ）を保持する保持部１５０Ａを示す斜視図である。図１４（Ａ）には、枠体１５２の表面１５２ａ側の全体を覆うことが可能な大きさのドレッシングボード１９Ａが示されている。なお、図１４（Ａ）では、ドレッシングボード１９Ａの輪郭が二点鎖線で示されている。
【0225】
保持部１５０Ａでドレッシングボード１９Ａを保持する際には、弾性部材１５４の一対のリップ部１５４ｂをドレッシングボード１９Ａに接触させる。このとき、保持部１５０Ａは、弾性部材１５４の全体がドレッシングボード１９Ａによって覆われるように配置される。これにより、一対のリップ部１５４ｂの間の空間が密閉される。そして、一対のリップ部１５４ｂの間の空間に作用する吸引源１６０（図８（Ｂ）参照）の負圧によって、ドレッシングボード１９Ａが吸引保持される。
【0226】
なお、保持部１５０Ａによって保持されるドレッシングボード１９のサイズ及び形状に大きな制限はない。図１４（Ｂ）は、長方形状のドレッシングボード１９（ドレッシングボード１９Ｂ）を保持する保持部１５０Ａを示す斜視図である。図１４（Ｂ）には、長辺が枠体１５２の直径よりも長く、且つ、短辺が枠体１５２の直径よりも短いドレッシングボード１９Ｂが示されている。ただし、ドレッシングボード１９Ｂの短辺は、弾性部材１５４の直径よりも長い。
【0227】
保持部１５０Ａでドレッシングボード１９Ｂを保持する際には、弾性部材１５４の一対のリップ部１５４ｂをドレッシングボード１９Ｂに接触させる。このとき、保持部１５０Ａは、弾性部材１５４の全体がドレッシングボード１９Ｂによって覆われるように配置される。これにより、一対のリップ部１５４ｂの間の空間が密閉される。そして、一対のリップ部１５４ｂの間の空間に作用する吸引源１６０（図８（Ｂ）参照）の負圧によって、ドレッシングボード１９Ｂが吸引保持される。
【0228】
ただし、保持部１５０Ａによってドレッシングボード１９が保持される態様は、これらに限られない。例えば、ドレッシングボード１９は、リップ部１５４ｂと接触しない状態で保持部１５０Ａによって保持されてもよい。この場合、ドレッシングボード１９がリップ部１５４ｂに接触することによるリップ部１５４ｂの消耗を防止できる。
【0229】
例えば、保持部１５０Ａは、一対のリップ部１５４ｂの先端が枠体１５２の表面１５２ａから突出せず、表面１５２ａよりも第１溝１５２ｃの内側に配置されるように構成されていてもよい。この場合、保持部１５０Ａは、リップ部１５４ｂがドレッシングボード１９Ａ（図１４（Ａ））と接触しないようにドレッシングボード１９Ａを保持できる。
【0230】
具体的には、保持部１５０Ａは、第１溝１５２ｃの全体がドレッシングボード１９Ａによって覆われるように配置される。このとき、ドレッシングボード１９Ａは、枠体１５２の表面１５２ａによって支持され、リップ部１５４ｂに接触しない。この状態で、吸引源１６０（図８（Ｂ）参照）の負圧を第１溝１５２ｃに作用させると、ドレッシングボード１９Ａが吸引保持される。
【0231】
また、保持部１５０Ａは、エア等の気体を噴出し、ベルヌーイ効果を利用してドレッシングボード１９を非接触で保持する機構を備えていてもよい。この場合、図１４（Ｂ）に示すように第１溝１５２ｃの全体を覆うことができない大きさ及び形状のドレッシングボード１９Ｂが用いられる場合にも、ドレッシングボード１９Ｂをリップ部１５４ｂと接触させずに保持部１５０Ａによって保持することが可能となる。
【0232】
なお、図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）には、保持部１５０Ａによってドレッシングボード１９が保持される様子が示されているが、保持部１５０Ｂも同様に、ドレッシングボード１９を保持できる。また、保持部１５０Ａ及び保持部１５０Ｂは、ドレッシングボード１９と同様に検査用ボード２１も保持できる。
【0233】
次に、切削装置２のサブテーブル２６によって保持されたドレッシングボード１９や検査用ボードを交換するボードの交換方法の具体例を説明する。なお、以下では、一例として、切削ブレード３６又は切削ブレード５２のドレッシングに用いられるドレッシングボード１９の交換方法について説明する。
【0234】
まず、支持ユニット２００（図１０（Ａ）参照）が備える支持板２０２の上面２０２ａに、交換用のドレッシングボード１９を載置する（準備ステップ）。具体的には、支持板２０２の上面２０２ａに設けられたボード支持部２０８に、交換用のドレッシングボード１９（例えば、未使用のドレッシングボード１９）を載置する。交換用のドレッシングボード１９を支持した状態の支持ユニット２００は、容器８（図１参照）に収容される。
【0235】
そして、第１搬送ユニット７２によって支持ユニット２００を容器８から引き出し、閉状態のカバー７８の上に搬送する。これにより、交換用のドレッシングボード１９がカバー７８の上に準備される。なお、支持ユニット２００は、一対のガイドレール１６の上やチャックテーブル２２の上に配置されてもよい。
【0236】
次に、支持板２０２の上面２０２ａに載置された交換用のドレッシングボード１９を、交換装置１００の保持部１５０Ｂによって保持する（交換用ボード保持ステップ）。図１５（Ａ）は、交換用ボード保持ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0237】
交換用ボード保持ステップでは、まず、交換装置１００を昇降機構８６及び多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって移動させて、カバー７８等によって保持された支持板２０２の上（ボード受け渡し位置）に交換装置１００を配置する。また、回転機構１０４（図６等参照）によって枠体１１０を回転させて、保持部１５０Ｂを支持板２０２の上面２０２ａと対向させる。
【0238】
次に、交換装置１００を下降させて、支持板２０２の上面２０２ａに配置された交換用のドレッシングボード１９に保持部１５０Ｂを接触させる。そして、保持部１５０Ｂによって交換用のドレッシングボード１９を吸引保持する。その後、交換装置１００を上昇させて、支持板２０２の上面２０２ａから離れる方向に保持部１５０Ｂを移動させる。これにより、交換用のドレッシングボード１９が保持部１５０Ｂによって持ち上げられる。
【0239】
次に、サブテーブル２６によって保持されている使用後のドレッシングボード１９を、交換装置１００の保持部１５０Ａによって保持する（使用後ボード保持ステップ）。図１５（Ｂ）は、使用後ボード保持ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0240】
使用後ボード保持ステップでは、まず、交換装置１００を昇降機構８６及び多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって移動させて、交換装置１００を使用後のドレッシングボード１９が配置されているサブテーブル２６の上（搬入出位置）に配置する。また、回転機構１０４の回転部１０６（図６等参照）を回転させることにより、保持部１５０Ａをサブテーブル２６と対向させる。
【0241】
そして、交換装置１００をサブテーブル２６側に移動させて、サブテーブル２６によって保持されている使用後のドレッシングボード１９に保持部１５０Ａを接触させる。その後、保持部１５０Ａによって使用後のドレッシングボード１９を吸引保持する。
【0242】
次に、保持部１５０Ａとサブテーブル２６とを離隔させる（退避ステップ）。図１５（Ｃ）は、退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。退避ステップでは、昇降機構８６（図４及び図５参照）によって交換装置１００を上昇させて、この交換装置１００をサブテーブル２６とは反対側に向かって移動させる。これにより、使用済みのドレッシングボード１９を保持した状態で保持部１５０Ａがサブテーブル２６から離れる方向に移動し、使用済みのドレッシングボード１９が持ち上げられる。
【0243】
次に、交換装置１００の保持部１５０Ｂによって保持されている交換用のドレッシングボード１９を、サブテーブル２６に載置する（載置ステップ）。図１５（Ｄ）は、載置ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。
【0244】
載置ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図６等参照）を回転させることにより、交換用のドレッシングボード１９を保持している保持部１５０Ｂをサブテーブル２６と対向させる。そして、交換装置１００をサブテーブル２６側に移動させて、交換用のドレッシングボード１９をサブテーブル２６の上に位置付ける。その後、保持部１５０Ｂによる交換用のドレッシングボード１９の吸引保持を解除すると、交換用のドレッシングボード１９がサブテーブル２６に載置される。
【0245】
以上の手順により、サブテーブル２６に保持されているドレッシングボード１９の交換が行われる。そして、保持部１５０Ａによって保持されている使用後のドレッシングボード１９は、支持ユニット２００のボード支持部２０８に載置される。なお、ここでは、ドレッシングボード１９の交換について説明したが、サブテーブル２６上に検査用ボード２１が載置されている場合には、検査用ボード２１の交換も同様の手順で実施できる。
【0246】
以上のように、本実施形態にかかる切削装置２は、ブレードケース１７２に収容された状態で切削ブレード３６又は切削ブレード５２を支持する支持ユニット２００と、切削ブレード３６が装着されるマウントフランジ４２又は切削ブレード５２が装着されるマウントフランジ５４を含む切削ユニット３０と、支持ユニット２００に支持された切削ブレード３６又は切削ブレード５２をマウントフランジ４２又はマウントフランジ５４に取り付ける交換装置（交換機構）１００と、交換装置１００を移動させる移動ユニット（移動機構）８４と、を備えている。
【0247】
よって、ブレードケース１７２に収容された状態の切削ブレード３６又は切削ブレード５２を支持ユニット２００に支持させた上で、移動ユニット８４で交換装置１００を移動させることにより、切削ユニット３０の切削ブレード３６又は切削ブレード５２を交換できる。つまり、本実施形態にかかる切削装置２によれば、従来のように、切削ブレード３６又は切削ブレード５２をブレードケース１７２から手作業で取り出す必要がない。
【0248】
なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施できる。図１６は、変形例にかかる支持ユニット（ストック部）２５０が設けられた切削装置２を示す斜視図である。図１６に示す切削装置２は、容器８（図１参照）の代わりに、交換ユニット７６の近傍に設けられ切削装置２で使用される各種の用具を支持する回転式の支持ユニット２５０を備える。例えば、支持ユニット２５０は、基台４の開口４ｂに隣接する領域に配置される。
【0249】
支持ユニット２５０は、切削装置２で使用される切削ブレード３６、切削ブレード５２、押さえフランジ６２、ドレッシングボード１９、検査用ボード２１（図１０（Ａ）参照）等の用具を支持できるように構成される。具体的には、支持ユニット２５０は、各種の用具が載置される支持板（支持台）２５２を備える。
【0250】
図１７は、回転可能な支持板２５２を備える支持ユニット２５０を示す斜視図である。支持板２５２は、例えば、円盤状に形成された部材であり、その上面２５２ａには、切削ブレード５２を収容するブレードケース１７２をそれぞれが支持できるように構成された複数のブレードケース支持部２５４が設けられている。図１７では、説明の便宜上、ブレードケース１７２の蓋部１７６が省略されている。
【0251】
各ブレードケース支持部２０４は、例えば、ブレードケース１７２に対応する形状を持つ凹状の領域であり、ブレードケース１７２を載置できるように構成されている。なお、各ブレードケース支持部２０４は、ブレードケース１７２に対応した形状を持つガイド構造を配置することによって形成されても良い。
【0252】
また、支持板２５２の上面２５２ａには、それぞれが押さえフランジ６２を支持できるように構成された複数の押さえフランジ支持部２５６が設けられている。各押さえフランジ支持部２０６は、例えば、押さえフランジ６２に対応した形状を持つ凹状の領域であり、押さえフランジ６２を載置できるように構成されている。なお、各押さえフランジ支持部２０６は、押さえフランジ６２に対応した形状を持つガイド構造を配置することによって形成されても良い。
【0253】
複数のブレードケース支持部２５４と複数の押さえフランジ支持部２５６とは、支持板２５２の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。支持板２５２の中央部の下面側には、モータ等の回転駆動源（回転機構）（不図示）から伝達される動力によって回転するシャフト（回転機構）２５８が連結されている。回転駆動源でシャフト２５８を回転させると、支持板２５２は、Ｚ軸と概ね平行な回転軸の周りに回転する。つまり、複数のブレードケース支持部２５４と複数の押さえフランジ支持部２５６とは、シャフト２５８による回転の方向に沿って配列されている。
【0254】
支持板２５２の下方には、切削ブレード５２に付された識別マーク２１４等を読み取ることのできる読み取りユニット２６０、及び識別マーク２１４等を照らすためのリング状の光源２６２が配置されている。例えば、切削ブレード５２は、識別マーク２１４が付された面が下を向くようにブレードケース１７２を介してブレードケース支持部２５４に支持される。
【0255】
読み取りユニット２６０は、例えば、可視光カメラ、赤外線カメラ等によって構成され、支持板２５２及びブレードケース１７２を介して、切削ブレード５２に付された識別マーク２１４を読み取る。そのため、支持板２５２及びブレードケース１７２の材質は、読み取りユニット２６０の種類に応じて選択される。
【0256】
例えば、読み取りユニット２６０が可視光カメラである場合には、支持板２５２及びブレードケース１７２の全体又は一部が、可視光を透過させる材料を用いて構成される。具体的には、支持板２５２の全体又は一部は、プラスチック（ポリプロピレン等）、ガラス（例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス）等の透明な材料を用いて構成される。また、ブレードケース１７２の全体又は一部は、プラスチック（ポリプロピレン等）等の透明な材料を用いて構成される。
【0257】
ただし、支持板２５２及びブレードケース１７２の材質は、読み取りユニット２６０の種類に応じて任意に変更される。例えば、読み取りユニット２６０が赤外線カメラである場合には、支持板２５２及びブレードケース１７２の全体又は一部が、赤外線を透過させる材料を用いて構成される。
【0258】
支持板２５２を回転させて、任意のブレードケース支持部２５４の直下に読み取りユニット２６０を配置することで、ブレードケース１７２を介してこのブレードケース支持部２５４に支持されている切削ブレード５２に付された識別マーク２１４を、読み取りユニット２６０によって読み取ることができる。
【0259】
読み取りユニット２６０によって読み取られた識別マーク２１４の情報は、制御ユニット８２（図１６参照）に出力される。なお、読み取りユニット２６０は、支持板２５２の上方に配置されていても良い。この場合には、識別マーク２１４が付された面が上方に露出するように、切削ブレード５２がブレードケース１７２を介してブレードケース支持部２５４に支持される。
【0260】
なお、支持板２５２のブレードケース支持部２５４には、切削ブレード３６が収容されたブレードケース１７２が載置されても良い。また、支持板２５２の上面２５２ａには、ドレッシングボード１９や検査用ボード２１をそれぞれが支持できる複数のボード支持部２０８が設けられていても良い。
【0261】
このように構成された支持ユニット２５０の傍には、支持板２５２によって支持されたブレードケース１７２の蓋部１７６を開閉できる開閉ユニットが配置される。図１８は、開閉ユニット２７０を示す斜視図である。開閉ユニット２７０は、例えば、支持板２５２の下方に配置され、ブレードケース支持部２５４に載置されたブレードケース１７２の収容部１７４を下方から吸引保持して固定できる保持機構２７２を備えている。
【0262】
保持機構２７２は、内部にモータ等の駆動源（不図示）が収容された箱状の基台２７２ａを含んでいる。基台２７２ａの上面には、例えば、２個の開口が形成されており、各開口には、駆動源の動力によって昇降できる筒状の保持ロッド２７２ｂの下端が挿入されている。
【0263】
各保持ロッド２７２ｂの上端には、ブレードケース１７２の収容部１７４を構成する底板１８０に接触させて使用される吸盤状の吸引パッド２７２ｃが設けられている。この吸引パッド２７２ｃは、保持ロッド２７２ｂの内部に設けられた流路等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。
【0264】
保持機構２７２の側方には、保持機構２７２によって固定されたブレードケース１７２の蓋部１７６を上方に押し上げて、第１爪部１８４と第２爪部１９０とが噛み合わせられた状態（ロック状態）を解除できるロック解除機構２７４が配置されている。ロック解除機構２７４は、モータ等の駆動源（不図示）によって昇降するプッシュロッド２７４ａを含んでいる。なお、このロック解除機構２７４は、エアの圧力を利用してプッシュロッド２７４ａを昇降させるエアシリンダ等でも良い。
【0265】
ロック解除機構２７４及び支持板２５２の側方には、第１爪部１８４と第２爪部１９０とが噛み合わせられた状態が解除され、蓋部１７６が収容部１７４から浮いた状態のブレードケース１７２の蓋部１７６を更に開くことのできるプッシュ機構２７６が配置されている。
【0266】
プッシュ機構２７６は、内部にモータ等の駆動源（不図示）が収容された箱状の基台２７６ａを含んでいる。基台２７６ａの支持板２５２側の側面には、例えば、開口が形成されており、この開口には、駆動源の動力によって側方に移動できるプッシュロッド２７６ｂ（図１９（Ａ）等参照）の一端が挿入されている。
【0267】
支持板２５２の上方には、プッシュ機構２７６によって開かれた蓋部１７６を閉じて、第１爪部１８４と第２爪部１９０とを噛み合わせるロック機構２７８が配置されている。例えば、このロック機構２７８は、プッシュロッド２７６ｂが移動する経路の延長線上に配置される。
【0268】
ロック機構２７８は、モータ等の駆動源（不図示）によって側方に移動する可動アーム２７８ａを含む。具体的には、この可動アーム２７８ａは、プッシュロッド２７６ｂが移動する経路の延長線に沿って移動する。可動アーム２７８ａの先端側（プッシュ機構２７６側）には、蓋部１７６の天板１８６に接触した状態で使用され、可動アーム２７８ａの移動方向及びＺ軸方向と垂直な回転軸の周りに回転（自転）できる押圧ホイール２７８ｂが取り付けられている。
【0269】
開閉ユニット２７０によってブレードケース１７２の蓋部１７６を開く際には、まず、支持板２５２を回転させて、保持機構２７２の保持ロッド２７２ｂの上方にブレードケース１７２を位置付ける。そして、２本の保持ロッド２７２ｂを上昇させて、吸引パッド２７２ｃをブレードケース１７２の収容部１７４を構成する底板１８０に下方から接触させる。
【0270】
図１９（Ａ）は、ブレードケース支持部２５４に載置されたブレードケース１７２が保持機構２７２によって固定される様子を示す斜視図である。ブレードケース１７２の収容部１７４に吸引パッド２７２ｃを接触させた後には、吸引源の負圧を作用させて、吸引パッド２７２ｃで収容部１７４を吸引保持する。なお、支持板２５２のブレードケース支持部２５４には、吸引パッド２７２ｃの通過を許容する隙間（開口）が形成されている。
【0271】
ブレードケース支持部２５４に載置されたブレードケース１７２を保持機構２７２によって固定した後には、ロック解除機構２７４のプッシュロッド２７４ａを上昇させて、蓋部１７６の第２爪部１９０側を上方に押し上げる。これにより、第１爪部１８４と第２爪部１９０とが噛み合わせられた状態（ロック状態）が解除される。図１９（Ｂ）は、ブレードケース１７２の蓋部１７６がロック解除機構２７４によって上方に押し上げられる様子を示す斜視図である。
【0272】
蓋部１７６がロック解除機構２７４によって上方に押し上げられた後には、プッシュ機構２７６のプッシュロッド２７６ｂを側方に移動させて、蓋部１７６を更に開く。図２０（Ａ）は、プッシュ機構２７６によってブレードケース１７２の蓋部１７６が更に開かれる様子を示す斜視図である。具体的には、プッシュロッド２７６ｂの先端で蓋部１７６の天板１８６を内側から押すようにプッシュロッド２７６ｂを側方に移動させて、蓋部１７６を更に開く。
【0273】
蓋部１７６が十分に開かれた後には、プッシュロッド２７６ｂをブレードケース１７２の上方から退避させるように移動させる。このように、蓋部１７６を十分に開くことで、ブレードケース１７２に収容されている切削ブレード５２に対して、交換装置１００が容易にアクセスできるようになる。
【0274】
開閉ユニット２７０によってブレードケース１７２の蓋部１７６を閉じる際には、例えば、ロック解除機構２７４のプッシュロッド２７４ａを下方に移動させる。また、吸引源から保持機構２７２の吸引パッド２７２ｃに作用する負圧を遮断した上で、保持ロッド２７２ｂを下降させる。その後、ロック機構２７８の可動アーム２７８ａをプッシュ機構２７６側に移動させる。
【0275】
図２０（Ｂ）は、ロック機構２７８によってブレードケース１７２の蓋部１７６が閉じられる様子を示す斜視図である。可動アーム２７８ａをプッシュ機構２７６側に移動させると、ロック機構２７８の押圧ホイール２７８ｂが蓋部１７６の天板１８６に外側から接触する。この状態で、可動アーム２７８ａを更にプッシュ機構２７６側に移動させると、押圧ホイール２７８ｂによって押圧されるように蓋部１７６が閉じられ、第１爪部１８４と第２爪部１９０とが噛み合わせられた状態になる。
【0276】
切削ブレード５２の交換を行う際には、支持ユニット２５０に交換用の切削ブレード５２及び押さえフランジ６２を支持させる。そして、交換ユニット７６は、支持ユニット２５０に支持されている交換用の切削ブレード５２及び押さえフランジ６２を交換装置１００で保持する（図９（Ｂ）参照）。
【0277】
このとき、制御ユニット８２は、切削ブレード５２に付されている識別マーク２１４に含まれる情報に基づいて交換ユニット７６を制御し、所定の切削ブレード５２を交換装置１００に保持させる。これにより、所望の切削ブレード５２を交換用の切削ブレード５２として選択できる。その後、切削ユニット３０に装着されている使用後の切削ブレード５２及び押さえフランジ６２を、交換用の切削ブレード５２及び押さえフランジ６２と交換する（図１２（Ａ）～図１３（Ｄ）参照）。
【0278】
同様に、ドレッシングボード１９又は検査用ボード２１の交換を行う際には、支持ユニット２５０に交換用のドレッシングボード１９又は検査用ボード２１を支持させる。そして、交換ユニット７６は、支持ユニット２５０に支持されている交換用のドレッシングボード１９又は検査用ボード２１を保持し、サブテーブル２６に載置されている使用後のドレッシングボード１９又は検査用ボード２１と交換する（図１５（Ａ）～図１６（Ｄ）参照）。
【0279】
その他、上述の実施形態及び変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【0280】
２ ：切削装置
４ ：基台
４ａ ：開口
４ｂ ：開口
６ ：エレベータ
６ａ ：昇降台
８ ：容器
１０ ：カセット
１０ａ ：ガイドレール
１２ ：洗浄ユニット
１４ ：スピンナテーブル
１６ ：ガイドレール
１８ ：テーブルカバー
２０ ：防塵防滴カバー
２２ ：チャックテーブル
２４ ：クランプ
２６ ：サブテーブル
２８ ：加工室カバー
２８ａ ：出入口
３０ ：切削ユニット
３２ ：ハウジング
３４ ：スピンドル
３４ａ ：ねじ穴
３６ ：切削ブレード
３６ａ ：開口
３８ ：基台
３８ａ ：表面
３８ｂ ：裏面
４０ ：切刃
４２ ：マウントフランジ
４２ａ ：貫通孔
４４ ：フランジ部
４４ａ ：表面
４４ｂ ：凸部
４４ｃ ：支持面
４６ ：ボス部
４６ａ ：ねじ部
４８ ：ナット
４８ａ ：開口
４８ｂ ：貫通孔
５０ ：ねじ
５２ ：切削ブレード
５２ａ ：開口
５４ ：マウントフランジ
５６ ：固定マウント
５６ａ ：貫通孔
５６ｂ ：受け部
５８ ：フランジ部
５８ａ ：表面
５８ｂ ：凸部
５８ｃ ：支持面
６０ ：ボス部
６０ａ ：第１ボス部
６０ｂ ：第２ボス部
６０ｃ ：第３ボス部
６０ｄ ：ねじ部
６２ ：押さえフランジ
６２ａ ：表面
６２ｂ ：裏面
６２ｃ ：開口
６２ｄ ：貫通孔
６４ ：ナット
６４ａ ：開口
６４ｂ ：貫通孔
６６ ：ワッシャー
６８ ：ねじ
７０ ：撮像ユニット
７２ ：第１搬送ユニット
７２ａ ：保持ユニット
７２ｂ ：把持機構
７４ ：第２搬送ユニット
７４ａ ：保持ユニット
７６ ：交換ユニット
７８ ：カバー
８０ ：ヒンジ
８２ ：制御ユニット
８２ａ ：処理部
８２ｂ ：記憶部
８４ ：移動ユニット
８６ ：昇降機構
８８ ：ベース板
９０ ：多関節アーム
９２Ａ ：第１支持具
９２Ｂ ：第２支持具
９４Ａ ：第１回転機構
９４Ｂ ：第２回転機構
９４Ｃ ：第３回転機構
９６Ａ ：第１アーム
９６Ｂ ：第２アーム
１００ ：交換装置
１０２ ：着脱ユニット
１０４ ：回転機構
１０６ ：回転部
１０６ａ ：回転軸
１１０ ：枠体
１１２ａ ：支持部材
１１２ｂ ：支持部材
１１４ａ ：連結部材
１１４ｂ ：連結部材
１２０ ：ナット回転部
１２２ ：ナット保持部
１２４ ：回転部
１２４ａ ：回転軸
１２６ ：ハウジング
１２８ ：回転駆動源
１３０ ：回転部材
１３０ａ ：表面
１３２ ：保持ピン
１３４ ：把持部材
１３４ａ ：爪部
１３６ ：カバー
１３６ａ ：開口
１３６ｂ ：第１ピン受け部
１３６ｃ ：第２ピン受け部
１３８ ：ピン
１４０ ：環状部材
１４２ａ ：弾性体
１４２ｂ ：弾性体
１５０Ａ ：保持部
１５０Ｂ ：保持部
１５０ａ ：表面
１５２ ：枠体
１５２ａ ：表面
１５２ｃ ：第１溝
１５２ｄ ：第２溝
１５２ｅ ：第３溝
１５２ｆ ：第４溝
１５２ｇ ：第５溝
１５４ ：弾性部材
１５４ａ ：基部
１５４ｂ ：リップ部
１５４ｃ ：貫通孔
１５６ ：流路
１５８ ：バルブ
１６０ ：吸引源
１６２ ：圧力測定器
１７２ ：ブレードケース
１７４ ：収容部
１７４ａ ：収容領域
１７６ ：蓋部
１７８ ：ヒンジ部
１８０ ：底板
１８２ ：側壁
１８４ ：第１爪部
１８６ ：天板
１８８ ：側壁
１９０ ：第２爪部
２００ ：支持ユニット
２０２ ：支持板
２０２ａ ：上面
２０４ ：ブレードケース支持部
２０４Ａ ：ブレードケース支持部
２０４Ｂ ：ブレードケース支持部
２０６ ：押さえフランジ支持部
２０８ ：ボード支持部
２１２ ：識別マーク
２１４ ：識別マーク
２１６ ：識別マーク
２５０ ：支持ユニット
２５２ ：支持板
２５２ａ ：上面
２５４ ：ブレードケース支持部
２５６ ：押さえフランジ支持部
２５８ ：シャフト
２６０ ：読み取りユニット
２６２ ：光源
２７０ ：開閉ユニット
２７２ ：保持機構
２７２ａ ：基台
２７２ｂ ：保持ロッド
２７２ｃ ：吸引パッド
２７４ ：ロック解除機構
２７４ａ ：プッシュロッド
２７６ ：プッシュ機構
２７６ａ ：基台
２７６ｂ ：プッシュロッド
２７８ ：ロック機構
２７８ａ ：可動アーム
２７８ｂ ：押圧ホイール
１１ ：被加工物
１３ ：テープ
１５ ：フレーム
１７ ：フレームユニット
１９ ：ドレッシングボード
１９Ａ ：ドレッシングボード
１９Ｂ ：ドレッシングボード
２１ ：検査用ボード
４ ：基台
４ａ ：開口
４ｂ ：開口
６ ：エレベータ
６ａ ：昇降台
８ ：容器
１０ ：カセット
１０ａ ：ガイドレール
１２ ：洗浄ユニット
１４ ：スピンナテーブル
１６ ：ガイドレール
１８ ：テーブルカバー
２０ ：防塵防滴カバー
２２ ：チャックテーブル
２４ ：クランプ
２６ ：サブテーブル
２８ ：加工室カバー
２８ａ ：出入口
３０ ：切削ユニット
３２ ：ハウジング
３４ ：スピンドル
３４ａ ：ねじ穴
３６ ：切削ブレード
３６ａ ：開口
３８ ：基台
３８ａ ：表面
３８ｂ ：裏面
４０ ：切刃
４２ ：マウントフランジ
４２ａ ：貫通孔
４４ ：フランジ部
４４ａ ：表面
４４ｂ ：凸部
４４ｃ ：支持面
４６ ：ボス部
４６ａ ：ねじ部
４８ ：ナット
４８ａ ：開口
４８ｂ ：貫通孔
５０ ：ねじ
５２ ：切削ブレード
５２ａ ：開口
５４ ：マウントフランジ
５６ ：固定マウント
５６ａ ：貫通孔
５６ｂ ：受け部
５８ ：フランジ部
５８ａ ：表面
５８ｂ ：凸部
５８ｃ ：支持面
６０ ：ボス部
６０ａ ：第１ボス部
６０ｂ ：第２ボス部
６０ｃ ：第３ボス部
６０ｄ ：ねじ部
６２ ：押さえフランジ
６２ａ ：表面
６２ｂ ：裏面
６２ｃ ：開口
６２ｄ ：貫通孔
６４ ：ナット
６４ａ ：開口
６４ｂ ：貫通孔
６６ ：ワッシャー
６８ ：ねじ
７０ ：撮像ユニット
７２ ：第１搬送ユニット
７２ａ ：保持ユニット
７２ｂ ：把持機構
７４ ：第２搬送ユニット
７４ａ ：保持ユニット
７６ ：交換ユニット
７８ ：カバー
８０ ：ヒンジ
８２ ：制御ユニット
８２ａ ：処理部
８２ｂ ：記憶部
８４ ：移動ユニット
８６ ：昇降機構
８８ ：ベース板
９０ ：多関節アーム
９２Ａ ：第１支持具
９２Ｂ ：第２支持具
９４Ａ ：第１回転機構
９４Ｂ ：第２回転機構
９４Ｃ ：第３回転機構
９６Ａ ：第１アーム
９６Ｂ ：第２アーム
１００ ：交換装置
１０２ ：着脱ユニット
１０４ ：回転機構
１０６ ：回転部
１０６ａ ：回転軸
１１０ ：枠体
１１２ａ ：支持部材
１１２ｂ ：支持部材
１１４ａ ：連結部材
１１４ｂ ：連結部材
１２０ ：ナット回転部
１２２ ：ナット保持部
１２４ ：回転部
１２４ａ ：回転軸
１２６ ：ハウジング
１２８ ：回転駆動源
１３０ ：回転部材
１３０ａ ：表面
１３２ ：保持ピン
１３４ ：把持部材
１３４ａ ：爪部
１３６ ：カバー
１３６ａ ：開口
１３６ｂ ：第１ピン受け部
１３６ｃ ：第２ピン受け部
１３８ ：ピン
１４０ ：環状部材
１４２ａ ：弾性体
１４２ｂ ：弾性体
１５０Ａ ：保持部
１５０Ｂ ：保持部
１５０ａ ：表面
１５２ ：枠体
１５２ａ ：表面
１５２ｃ ：第１溝
１５２ｄ ：第２溝
１５２ｅ ：第３溝
１５２ｆ ：第４溝
１５２ｇ ：第５溝
１５４ ：弾性部材
１５４ａ ：基部
１５４ｂ ：リップ部
１５４ｃ ：貫通孔
１５６ ：流路
１５８ ：バルブ
１６０ ：吸引源
１６２ ：圧力測定器
１７２ ：ブレードケース
１７４ ：収容部
１７４ａ ：収容領域
１７６ ：蓋部
１７８ ：ヒンジ部
１８０ ：底板
１８２ ：側壁
１８４ ：第１爪部
１８６ ：天板
１８８ ：側壁
１９０ ：第２爪部
２００ ：支持ユニット
２０２ ：支持板
２０２ａ ：上面
２０４ ：ブレードケース支持部
２０４Ａ ：ブレードケース支持部
２０４Ｂ ：ブレードケース支持部
２０６ ：押さえフランジ支持部
２０８ ：ボード支持部
２１２ ：識別マーク
２１４ ：識別マーク
２１６ ：識別マーク
２５０ ：支持ユニット
２５２ ：支持板
２５２ａ ：上面
２５４ ：ブレードケース支持部
２５６ ：押さえフランジ支持部
２５８ ：シャフト
２６０ ：読み取りユニット
２６２ ：光源
２７０ ：開閉ユニット
２７２ ：保持機構
２７２ａ ：基台
２７２ｂ ：保持ロッド
２７２ｃ ：吸引パッド
２７４ ：ロック解除機構
２７４ａ ：プッシュロッド
２７６ ：プッシュ機構
２７６ａ ：基台
２７６ｂ ：プッシュロッド
２７８ ：ロック機構
２７８ａ ：可動アーム
２７８ｂ ：押圧ホイール
１１ ：被加工物
１３ ：テープ
１５ ：フレーム
１７ ：フレームユニット
１９ ：ドレッシングボード
１９Ａ ：ドレッシングボード
１９Ｂ ：ドレッシングボード
２１ ：検査用ボード
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】