特開 2022-120735 ダイシングテープの張力異常検知装置及び方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022120735

(43)【公開日】2022-08-18

(54)【発明の名称】ダイシングテープの張力異常検知装置及び方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20220810BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20220810BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/78 M

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021017859

(22)【出願日】2021-02-05

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100169960

【弁理士】

【氏名又は名称】清水 貴光

(72)【発明者】

【氏名】木▲崎▼ 清貴

【テーマコード（参考）】

5F063

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F063AA29

5F063AA31

5F063DG23

5F131AA02

5F131BA52

5F131BA53

5F131CA42

5F131EA07

5F131EA22

5F131EB03

5F131EC33

5F131EC44

5F131EC62

5F131KA10

5F131KA40

5F131KB30

5F131KB45

(57)【要約】

【課題】ダイシングテープの張力の適否を定量的に判定して、ダイシングテープの張力異常を正確に検知可能なダイシングテープの張力異常検知装置及び方法を提供する。
【解決手段】張力異常検知装置４は、ダイシングテープＤＴのうちワークＷが貼付されていない測定点Ｐに空気を吹き付けた際のダイシングテープＤＴの変位に基づいて、測定点ＰにおけるダイシングテープＤＴの張力を測定する空気マイクロメータ４１と、測定点ＰにおけるダイシングテープＤＴの張力が、予め設定されたダイシングテープＤＴの張力の適正範囲内に属する場合には、ダイシングテープＤＴの張力が適切であると判定し、測定点ＰにおけるダイシングテープＤＴの張力が、適正範囲に属しない場合には、ダイシングテープＤＴの張力が異常であると判定する判定部４２と、を備えている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知装置であって、
前記ダイシングテープの張力を測定する測定部と、
前記ダイシングテープの張力が、予め設定された前記ダイシングテープの張力の適正範囲内に属する場合には、前記ダイシングテープの張力が適切であると判定し、前記ダイシングテープの張力が、前記適正範囲に属しない場合には、前記ダイシングテープの張力が異常であると判定する判定部と、
を備えていることを特徴とするダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項2】

前記測定部は、前記ダイシングテープのうち前記ワークが貼付されていない測定点に気体を吹き付けた際の前記ダイシングテープの変位に基づいて、前記測定点における前記ダイシングテープの張力を測定することを特徴とする請求項１に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項3】

前記測定点における前記ダイシングテープの張力が前記適正範囲から外れる場合に、前記ワークの次に前記ワークが貼着されるダイシングテープの張力を補正する補正部をさらに備えていることを特徴とする請求項２に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項4】

前記測定点は、平面視で前記ワークが前記測定部に対して相対的に移動する搬送方向において前記ワークの前方又は後方に設定されていることを特徴とする請求項２又は３に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項5】

前記測定点は、平面視で前記ワークが前記測定部に対して相対的に移動する搬送方向に対して垂直な幅方向において前記ワークの側方に設定されていることを特徴とする請求項２乃至４の何れか１項に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項6】

前記ダイシングテープの張力が異常であると前記判定部が判定した場合に、張力異常を報知する報知部をさらに備えていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。

【請求項7】

ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知方法であって、
前記ダイシングテープの張力を測定する工程と、
前記ダイシングテープの張力が、予め設定された前記ダイシングテープの張力の適正範囲内に属する場合には、前記ダイシングテープの張力が適切であると判定し、前記ダイシングテープの張力が、前記適正範囲に属しない場合には、前記ダイシングテープの張力が異常であると判定する工程と、
を含むことを特徴とするダイシングテープの張力異常検知方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ダイシングテープの張力異常検知装置及び方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「ワーク」という）をチップに割断する工程があり、その工程では、ワークに貼着されたダイシングテープが個々のチップの位置を拘束することにより、チップの割断を効率よく行うことができる。

【0003】

特許文献１には、テーブル２１１に吸着固定されたウェーハＷにエキスパンドテープＥを貼着用ローラの加圧力により貼り付けることが記載されている。なお、符号は、特許文献１のものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１３－４５８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、新しいダイシングテープを使用する場合には、サンプルワークをダイシングテープに貼着させて、その貼り付け状態をオペレータが目視で確認することで、ダイシングテープの張力を含むパラメータの調整を行っているのが現状である。また、生産プロセスにおいても、オペレータは、ワークが貼着されたダイシングテープの貼り付け状態から、パラメータが適切に保たれていることを定期的に目視で確認している。

【0006】

このようにオペレータの目視によってダイシングテープの張力を確認すると、オペレータの熟練度等によってはダイシングテープの張力が不十分になる虞があり、ダイシングテープの張力が適切でない場合には、エキスパンド時にチップ間の適正な間隔が確保できず、チップの位置検知が困難になるという問題があった。

【0007】

そこで、ダイシングテープの張力の適否を定量的に判定して、ダイシングテープの張力異常を正確に検知するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記目的を達成するために、本発明に係るダイシングテープの張力異常検知装置は、ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知装置であって、前記ダイシングテープの張力を測定する測定部と、前記ダイシングテープの張力が、予め設定された前記ダイシングテープの張力の適正範囲内に属する場合には、前記ダイシングテープの張力が適切であると判定し、前記ダイシングテープの張力が、前記適正範囲に属しない場合には、前記ダイシングテープの張力が異常であると判定する判定部と、を備えている。

【0009】

この構成によれば、測定部が、ダイシングテープの張力を測定し、判定部が、ダイシングテープの張力に基づいてダイシングテープの張力の適否を定量的に判定するため、ダイシングテープの張力異常を正確に検知することができる。

【0010】

また、上記目的を達成するために、本発明に係るダイシングテープの張力異常検知方法は、ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知方法であって、前記ダイシングテープの張力を測定する工程と、前記ダイシングテープの張力が、予め設定された前記ダイシングテープの張力の適正範囲内に属する場合には、前記ダイシングテープの張力が適切であると判定し、前記ダイシングテープの張力が、前記適正範囲に属しない場合には、前記ダイシングテープの張力が異常であると判定する工程と、を含む。

【0011】

この構成によれば、測定部が、ダイシングテープの張力を測定し、判定部が、ダイシングテープの張力に基づいてダイシングテープの張力の適否を定量的に判定するため、ダイシングテープの張力異常を正確に検知することができる。

【発明の効果】

【0012】

本発明は、ダイシングテープの張力の適否を定量的に判定して、ダイシングテープの張力異常を正確に検知することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本発明の一実施形態に係る張力異常検知装置を適用したテープ貼付システムを示す斜視図。

【図2】ダイシングテープ内に４カ所設定された測定点の位置関係を示す平面図及び側面図。

【図3】空気マイクロメータの構成を示す模式図。

【図4】テープ貼付システムの主要構成を示すブロック図。

【図5】ワークにダイシングテープを貼り付ける様子を示す斜視図。

【図6】ダイシングテープの張力を測定する様子を示す斜視図。

【図7】変形例に係る張力異常検知装置における測定部の構成を示す模式図。

【図8】ダイシングテープ内に８カ所設定された測定点の位置関係を示す平面図。

【発明を実施するための形態】

【0014】

本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

【0015】

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

【0016】

また、図面は、特徴を分かり易くするために一部の構成要素を省略したり、特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。なお、本実施形態において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、各構成要素が図面に描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。

【0017】

図１は、テープ貼付システム１を示す斜視図である。テープ貼付システム１は、ダイシングテープＤＴをワークＷ及びダイシングフレームＤＦに一体で貼着するものである。ワークＷは、例えば、シリコンウェハ等の半導体基板であるが、これに限定されるものではない。ダイシングテープＤＴは、紫外線硬化テープ等である。

【0018】

テープ貼付システム１は、搬送装置２と、貼付装置３と、ダイシングテープＤＴの張力異常検知装置（以下、単に「張力異常検知装置」と称します）４と、を備えている。

【0019】

搬送装置２は、中央にワークＷを上面に保持する内周側テーブル２１と、ダイシングフレームＤＦを載置する外周側テーブル２２と、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２を搬送方向Ｄ１に沿ってスライドさせるスライダ２３と、を備えている。

【0020】

内周側テーブル２１の表面には、無数の気孔を有する多孔質材料からなる吸着体が埋設されている。吸着体の気孔の粗さは、例えば、＃４００又は＃８００等である。

【0021】

内周側テーブル２１は、図示しない真空源及び圧縮空気源に切換自在に接続されている。真空源が起動すると、内周側テーブル２１に載置されたワークＷと吸着体の上面（吸着面）との間に負圧が供給されて、ワークＷが吸着面に吸着保持される。また、圧縮空気源が起動すると、ワークＷと吸着面との間に圧縮空気（リリースエアー）が供給されて、ワークＷと吸着面との吸着が解除される。

【0022】

貼付装置３は、公知の構成から成るダイシングテープＤＴのテープ貼付装置である。貼付装置３は、ダイシングテープＤＴを繰り出し可能に支持する送りローラ３１と、ダイシングテープＤＴに繰出力を付与して巻き取る巻取ローラ３２と、ダイシングテープＤＴに張力を作用させるとともにダイシングテープＤＴの軌道を規制する第１～第６のガイドローラ３３ａ～３３ｆと、ダイシングテープＤＴをワークＷに貼付する押圧ローラ３４と、ダイシングテープＤＴから剥離されたセパレータＳの軌道を規制するナイフプレート３５と、を備えている。

【0023】

張力異常検知装置４は、ダイシングテープＤＴの張力を測定する測定部としての空気マイクロメータ４１を備えている。

【0024】

空気マイクロメータ４１は、スライダ２３の通過領域の上方に配置されている。空気マイクロメータ４１は、空気マイクロメータ４１を搬送方向Ｄ１に対して垂直な幅方向Ｄ２にスライド可能な図示しないスライド機構に接続されている。空気マイクロメータ４１は、例えば、株式会社東京精密製の空気マイクロメータ（デルテア２２Ｈ）等である。

【0025】

図２に示すように、空気マイクロメータ４１が張力測定を行う測定点Ｐは、ダイシングテープＤＴのうちワークＷが貼付されていない箇所に４カ所設定される。以下、各測定点Ｐを区別する場合には、符号Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４を付して区別する。測定点Ｐ１は、搬送方向Ｄ１においてワークＷの前方に設定されており、測定点Ｐ２は、搬送方向Ｄ１においてワークＷの後方に設定されている。また、測定点Ｐ３，Ｐ４は、幅方向Ｄ２においてワークＷの側方にそれぞれ設定されている。

【0026】

図３に示すように、空気マイクロメータ４１は、エアーノズル４１ａから測定点Ｐに向けて一定圧力の空気を噴出させてダイシングテープＤＴを撓ませて、エアーノズル４１ａとダイシングテープＤＴとの間隙寸法の変化によって空気の流量が変化してフロート４１ｂの位置が変わる。そして、予め実験等により得られたダイシングテープＤＴの張力とダイシングテープＤＴの張力に応じて昇降するフロート４１ｂの位置との関係に基づいて、フロート４１ｂの位置からダイシングテープＤＴの張力を測定する。

【0027】

テープ貼付システム１の動作は、図４に示すコントローラ５を介して制御される。コントローラ５は、テープ貼付システム１を構成する構成要素をそれぞれ制御するものである。コントローラ５は、例えばコンピュータであり、ＣＰＵ、メモリ等により構成される。なお、コントローラ５の機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作するものにより実現されても良い。

【0028】

次に、テープ貼付システム１の動作について図面に基づいて説明する。

【0029】

＜ワーク搬送＞
まず、ダイシングフレームＤＦが、図示しない搬送ハンド等により外周側テーブル２２上に移載される。

【0030】

次に、ワークＷが、図示しない搬送ハンド等により内周側テーブル２１上に移載される。その後、圧縮空気源からワークＷと吸着面との間に負圧が供給されると、ワークＷが内周側テーブル２１に吸着される。ワークＷの上面とダイシングフレームＤＦの上面とは、略面一に設定される。

【0031】

＜テープ貼付＞
次に、図５に示すように、スライダ２３を駆動して、貼付装置３の下方にダイシングフレームＤＦの一方端（貼り付け開始位置）が配置されるように、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２を移動させる。内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２の移動速度は、例えば１０ｍｍ／秒に設定される。

【0032】

次に、巻取ローラ３２が回転してダイシングテープＤＴを繰り出すとともに、押圧ローラ３４がダイシングテープＤＴをダイシングフレームＤＦの一方端に押し当てて所定の押圧力で貼着する。なお、巻取ローラ３２の回転速度は、例えば１０ｍｍ／秒に設定される。

【0033】

その後、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２が搬送方向Ｄ１に沿って移動し、ダイシングテープＤＴが徐々に貼り進められ、ダイシングテープＤＴがダイシングフレームＤＦの他方端（貼り終わり位置）まで達すると、ワークＷとダイシングフレームＤＦとが、ダイシングテープＤＴを介して一体に貼着される。

【0034】

＜張力判定＞
次に、図６に示すように、スライダ２３を駆動して、空気マイクロメータ４１の下方にダイシングテープＤＴが位置するように、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２を移動させる。

【0035】

さらに、内周側テーブル２１及び外周側テーブル２２の搬送方向Ｄ１へ移動させながら、空気マイクロメータ４１を幅方向Ｄ２へ移動させることにより、空気マイクロメータ４１が、測定点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４におけるダイシングテープＤＴの張力を測定する。空気マイクロメータ４１の測定データは、図４に示す判定部４２に送られる。

【0036】

ところで、ダイシングテープＤＴ内の張力分布は、幅方向Ｄ２の中央が最も高く、幅方向Ｄ２の外側に向かって徐々に低下するように形成される。すなわち、ダイシングテープＤＴ内の張力分布において、測定点Ｐ１，Ｐ２における張力が最大であり、測定点Ｐ３，Ｐ４における張力は測定点Ｐ１，Ｐ２よりも小さい。

【0037】

次に、判定部４２は、測定点ＰにおけるダイシングテープＤＴの張力の各測定値が適正範囲内に属するか否かを判定する。

【0038】

具体的には、測定点ＰにおけるダイシングテープＤＴの張力が適正範囲内の場合には、ダイシングテープＤＴの張力が適切であると判定し、測定点ＰにおけるダイシングテープＤＴの張力が適正範囲に属しない場合には、ダイシングテープＤＴの張力が異常であると判定する。なお、ダイシングテープＤＴの張力の適正範囲は、予め実験等により算出されて図４に示す記憶部４３に記憶されている。

【0039】

また、ダイシングテープＤＴの張力が異常であると判定された場合には、張力異常検知装置４が、図４に示す報知部４４を介して張力異常を報知しても構わない。報知部４４による報知は、光、音声又はテキストメッセージ等の何れであっても構わない。

【0040】

また、ダイシングテープＤＴの張力が異常であると判定された場合には、張力異常検知装置４が、図４に示す補正部４５により張力を測定したワークＷの次のワークＷに貼り付けるダイシングテープＤＴの張力が適正範囲内に収まるように、スライダ２３の移動速度及び巻取ローラ３２の巻取速度を制御しても構わない。

【0041】

一般的に、ダイシングテープＤＴの張力は、スライダ２３と巻取ローラ３２との相対速度に応じて設定される。すなわち、スライダ２３の移動速度が巻取ローラ３２の巻取速度に対して相対的に高速である場合には、ダイシングテープＤＴに作用する張力は高くなる。一方、スライダ２３の移動速度が巻取ローラ３２の巻取速度に対して相対的に低速である場合には、ダイシングテープＤＴに作用する張力は低くなる。

【0042】

そこで、判定部４２が、ダイシングテープＤＴの張力が適正範囲を下回ると判定した場合には、補正部４５は、ダイシングテープＤＴの張力が増すように、スライダ２３の移動速度を高速化させる、又は巻取ローラ３２の巻取速度を低速化させる。

【0043】

一方、判定部４２が、ダイシングテープＤＴの張力が適正範囲を上回ると判定した場合には、補正部４５は、ダイシングテープＤＴの張力が低下するように、スライダ２３の移動速度を低速化させる、又は巻取ローラ３２の巻取速度を高速化させる。

【0044】

また、上述した実施形態に係る張力異常検知装置４は、測定部として空気マイクロメータ４１を用いた構成を例に説明したが、測定部は、ダイシングテープＤＴに気体を吹き付けた際のダイシングテープＤＴの変位量に基づいてダイシングテープＤＴの張力を非接触で測定するものであれば如何なるものであっても構わず、例えば、図７に示すように、エアーノズル４６ａと、レーザー変位計４６ｂと、を備えている測定器４６であっても構わない。

【0045】

図７に示す測定部としての測定器４６は、エアーノズル４６ａから測定点Ｐに向けて一定圧力の空気を噴出させてダイシングテープＤＴを撓ませて、予め実験等により得られたダイシングテープＤＴの張力とダイシングテープＤＴの変位量との関係に基づいて、レーザー変位計４６ｂがダイシングテープＤＴの変位量からダイシングテープＤＴの張力を測定する。

【0046】

また、上述した実施形態に係る張力異常検知装置４は、判定部４２が、測定点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４におけるダイシングテープＤＴの張力の各測定値が適正範囲内に属するか否かを判定する場合を例に説明したが、測定点Ｐ１，Ｐ２におけるダイシングテープＤＴの張力の最大値が適正範囲内に属するか否かのみを判定して、ダイシングテープＤＴに過大な張力が作用しないように構成しても構わないし、測定点Ｐ３，Ｐ４におけるダイシングテープＤＴの張力の最小値が適正範囲内に属するか否かのみを判定して、ダイシングテープＤＴに過小な張力が作用しないように構成しても構わない。

【0047】

また、上述した実施形態に係る張力異常検知装置４は、空気マイクロメータ４１の測定点Ｐを４点に設定したが、測定点Ｐの数や位置は、ダイシングテープＤＴ内の張力を合理的に把握可能であれば、任意に変更可能である。例えば、測定点Ｐは、図８に示すように、同心円上で互いに等間隔に離間するように配置された８点に設定しても構わない。この場合には、図８に示した測定点Ｐが４点の場合と比較して、ダイシングテープＤＴ内の細かい張力分布を得ることができる。

【0048】

このようにして、本実施形態に係る張力異常検知装置４は、ダイシングテープＤＴの張力を測定する空気マイクロメータ４１と、ダイシングテープＤＴの張力が、予め設定されたダイシングテープＤＴの張力の適正範囲内に属する場合には、ダイシングテープＤＴの張力が適切であると判定し、ダイシングテープＤＴの張力が、適正範囲に属しない場合には、ダイシングテープＤＴの張力が異常であると判定する判定部４２と、を備えている構成とした。

【0049】

この構成によれば、空気マイクロメータ４１が、ダイシングテープＤＴの張力を非接触で測定し、判定部４２が、ダイシングテープＤＴの張力に基づいてダイシングテープＤＴの張力の適否を定量的に判定可能なため、ダイシングテープＤＴの張力異常を正確に検知することができる。

【0050】

さらに、空気マイクロメータ４１が、ダイシングテープＤＴに非接触で張力を測定可能なため、ダイシングテープＤＴ及びワークＷにダメージを与えることなく、ダイシングテープＤＴの張力異常を検知することができる。

【0051】

また、張力異常検知装置４は、空気マイクロメータ４１が、ダイシングテープＤＴのうちワークＷが貼付されていない測定点Ｐに空気を吹き付けた際のダイシングテープＤＴの変位に基づいて、測定点ＰにおけるダイシングテープＤＴの張力を測定する構成とした。

【0052】

この構成によれば、空気マイクロメータ４１が、測定点ＰにおいてダイシングテープＤＴの張力を非接触で直接測定するため、ダイシングテープＤＴの張力異常を正確に検知することができる。

【0053】

また、張力異常検知装置４は、測定点ＰにおけるダイシングテープＤＴの張力が適正範囲から外れる場合に、ワークＷの次にワークＷが貼着されるダイシングテープＤＴの張力を補正する補正部４５をさらに備えている構成とした。

【0054】

この構成によれば、ダイシングテープＤＴの張力異常を検知した場合に、補正部４５がそれ以後のワークＷを貼着するダイシングテープＤＴの張力を補正するため、張力異常のダイシングテープＤＴが流出することを抑制できる。

【0055】

また、張力異常検知装置４は、測定点Ｐ１，Ｐ２が、平面視でダイシングテープＤＴがワークＷに対して相対的に移動する搬送方向Ｄ１においてワークＷの前方又は後方に設定されている構成とした。

【0056】

この構成によれば、ダイシングテープＤＴに作用する張力が最も高い場所に測定点Ｐ１，Ｐ２が設定されるため、ダイシングテープＤＴに作用する張力の最大値が適正範囲内に属するか否かを判定することにより、ダイシングテープＤＴに作用する張力が過大になることを抑制できる。

【0057】

また、張力異常検知装置４は、測定点Ｐ３，Ｐ４が、平面視でダイシングテープＤＴが幅方向Ｄ２においてワークＷの側方に設定されている構成とした。

【0058】

この構成によれば、ダイシングテープＤＴに作用する張力が低くなりがちな場所に測定点Ｐ３，Ｐ４が設定されるため、ダイシングテープＤＴに作用する張力の最小値が適正範囲内に属するか否かを判定することにより、ダイシングテープＤＴに作用する張力が過小になることを抑制できる。

【0059】

また、張力異常検知装置４は、ダイシングテープＤＴの張力が異常であると判定部４２が判定した場合に、張力異常を報知する報知部４４をさらに備えている構成とした。

【0060】

この構成によれば、ダイシングテープＤＴの張力異常を検知した場合に、報知部４４がダイシングテープＤＴの張力異常を報知するため、張力異常のダイシングテープＤＴが流出することを抑制できる。

【0061】

また、本実施形態に係るワークＷが貼着されたダイシングテープＤＴの張力異常検知方法は、空気マイクロメータ４１が、ダイシングテープＤＴの張力を測定する工程と、ダイシングテープＤＴの張力が、予め設定されたダイシングテープＤＴの張力の適正範囲内に属する場合には、ダイシングテープＤＴの張力が適切であると判定し、ダイシングテープＤＴの張力が、適正範囲に属しない場合には、ダイシングテープＤＴの張力が異常であると判定部４２が判定する工程と、を含む構成した。

【0062】

この構成によれば、空気マイクロメータ４１が、ダイシングテープＤＴの張力を非接触で測定し、判定部４２が、ダイシングテープＤＴの張力に基づいてダイシングテープＤＴの張力の適否を定量的に判定可能なため、ダイシングテープＤＴの張力異常を正確に検知することができる。

【0063】

さらに、空気マイクロメータ４１が、ダイシングテープＤＴに非接触で張力を測定可能なため、ダイシングテープＤＴ及びワークＷにダメージを与えることなく、ダイシングテープＤＴの張力異常を検知することができる。

【0064】

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

【0065】

また、測定部は、上述したようにダイシングテープの変位に基づいてダイシングテープの張力を直接的に測定するものに限定されるものではなく、ダイシングテープの張力を間接的に測定するものであっても構わない。

【符号の説明】

【0066】

１ ：テープ貼付システム
２ ：搬送装置
２１ ：内周側テーブル
２２ ：外周側テーブル
２３ ：スライダ
３ ：貼付装置
３１ ：送りローラ
３２ ：巻取ローラ
３３ａ～３３ｆ：ガイドローラ
３４ ：押圧ローラ
３５ ：ナイフプレート
４ ：張力異常検知装置
４１ ：空気マイクロメータ（測定部）
４１ａ：エアーノズル
４１ｂ：フロート
４２ ：判定部
４３ ：記憶部
４４ ：報知部
４５ ：補正部
４６ ：測定器（測定部）
４６ａ：エアーノズル
４６ｂ：レーザー変位計
Ｄ１ ：搬送方向
Ｄ２ ：幅方向
ＤＦ ：ダイシングフレーム
ＤＴ ：ダイシングテープ
Ｗ ：ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】