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特開2022-124653樹脂、硬化性樹脂組成物、硬化物、絶縁材料及びレジスト部材
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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022124653
(43)【公開日】2022-08-26
(54)【発明の名称】樹脂、硬化性樹脂組成物、硬化物、絶縁材料及びレジスト部材
(51)【国際特許分類】
   C08F 299/00 20060101AFI20220819BHJP
   C08G 59/16 20060101ALI20220819BHJP
   C08G 59/17 20060101ALI20220819BHJP
   C08F 299/06 20060101ALI20220819BHJP
【FI】
C08F299/00
C08G59/16
C08G59/17
C08F299/06
【審査請求】未請求
【請求項の数】11
【出願形態】OL
(21)【出願番号】P 2021022409
(22)【出願日】2021-02-16
(71)【出願人】
【識別番号】000002886
【氏名又は名称】DIC株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100177471
【弁理士】
【氏名又は名称】小川 眞治
(74)【代理人】
【識別番号】100163290
【弁理士】
【氏名又は名称】岩本 明洋
(74)【代理人】
【識別番号】100149445
【弁理士】
【氏名又は名称】大野 孝幸
(72)【発明者】
【氏名】山田 駿介
【テーマコード(参考)】
4J036
4J127
【Fターム(参考)】
4J036AA01
4J036AD01
4J036AF01
4J036CA19
4J036CA21
4J036EA03
4J036FA10
4J036FA12
4J036HA02
4J036HA03
4J036JA05
4J127AA03
4J127BA051
4J127BA061
4J127BB041
4J127BB081
4J127BB221
4J127BB281
4J127BB301
4J127BC031
4J127BC131
4J127BD201
4J127BE341
4J127BE34Y
4J127BE411
4J127BE41Z
4J127BF311
4J127BF31Y
4J127BF371
4J127BF37Z
4J127BG041
4J127BG04Z
4J127BG051
4J127BG05Y
4J127BG161
4J127BG16Z
4J127BG171
4J127BG17Y
4J127BG17Z
4J127BG201
4J127BG20Y
4J127CB371
4J127DA52
4J127FA17
4J127FA18
4J127FA38
(57)【要約】
【課題】高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂、これを含有する硬化性樹脂組成物、硬化物、前記硬化物からなる絶縁材料及びレジスト部材を提供する。
【解決手段】1分子中に少なくとも1つの重合性不飽和基、少なくとも1つの酸基、及び少なくとも1つの下記一般式(1)で表される構造を有することを特徴とする樹脂これを含有する硬化性樹脂組成物、硬化物、前記硬化物からなる絶縁材料及びレジスト部材を用いる。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
1分子中に少なくとも1つの重合性不飽和基、
少なくとも1つの酸基、及び
少なくとも1つの下記一般式(1)で表される構造を有することを特徴とする樹脂。
【化1】
〔式(1)中、Arは、置換又は非置換の芳香環を表し、Arは、置換又は非置換の芳香環を表す。〕
【請求項2】
重合性不飽和基当量が、250~1200g/当量の範囲である請求項1記載の樹脂。
【請求項3】
酸価が、40~140mgKOH/gの範囲である請求項1又は2記載の樹脂。
【請求項4】
前記一般式(1)が有するエステル結合のエステル結合当量が、200~1000g/当量の範囲である請求項1~3の何れか1項記載の樹脂。
【請求項5】
フェノール性水酸基を有する芳香族化合物(A)と、
前記芳香族化合物(A)以外の酸基を有する芳香族化合物、その酸ハロゲン化物及び/又はそのエステル化物(B)と、
エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)と、
多塩基酸無水物(D)と、
を必須の反応原料とする反応生成物である請求項1~4の何れか1項記載の樹脂。
【請求項6】
前記フェノール性水酸基を有する芳香族化合物(A)が、芳香環上に少なくとも1つの水酸基を有し、かつ1分子中に少なくとも1つの酸基を有する化合物を含むものである請求項5記載の樹脂。
【請求項7】
請求項1~6の何れか1項記載の樹脂と、前記樹脂以外の酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂とを含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。
【請求項8】
請求項1~6の何れか1項記載の樹脂と、光重合開始剤とを含有することを特徴とする硬化性樹脂組成物。
【請求項9】
請求項7又は8記載の硬化性樹脂組成物の硬化物。
【請求項10】
請求項9記載の硬化物からなることを特徴とする絶縁材料。
【請求項11】
請求項9記載の硬化物からなることを特徴とするレジスト部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂、これを含有する硬化性樹脂組成物、硬化物、前記硬化物からなる絶縁材料及びレジスト部材に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、プリント配線板向けのソルダーレジスト用樹脂材料としては、紫外線等の活性エネルギー線により硬化可能な硬化性樹脂組成物が広く用いられている。前記ソルダーレジスト用樹脂材料に対する要求特性としては、少ない露光量で硬化すること、アルカリ現像性に優れること、硬化物における耐熱性や強度、誘電特性等に優れることなど様々なものが挙げられる。
【0003】
従来のソルダーレジスト用樹脂材料としては、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂とアクリル酸と無水フタル酸とを反応させて得られる中間体に、更にテトラヒドロ無水フタル酸を反応させて得られる酸基含有エポキシアクリレート樹脂を含む感光性樹脂組成物が知られているが(例えば、特許文献1参照。)、光感度及びアルカリ現像性においては今後ますます高まる要求特性を満足するものではなく、また、誘電特性においても昨今の市場要求に対し十分なものではなかった。
【0004】
そこで、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する材料が求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開平8-259663号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明が解決しようとする課題は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂、これを含有する硬化性樹脂組成物、硬化物、前記硬化物からなる絶縁材料及びレジスト部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意検討を行った結果、1分子中に少なくとも1つの重合性不飽和基、少なくとも1つの酸基、及び少なくとも1つの特定構造を有する樹脂を用いることによって、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
【0008】
すなわち、本発明は、1分子中に少なくとも1つの重合性不飽和基、少なくとも1つの酸基、及び少なくとも1つの下記一般式(1)で表される構造を有することを特徴とする樹脂に関するものである。
【0009】
【化1】
〔式(1)中、Arは、置換又は非置換の芳香環を表し、Arは、置換又は非置換の芳香環を表す。〕
【発明の効果】
【0010】
本発明の樹脂は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、優れた誘電特性を有する硬化物を形成できることから、絶縁材料、ソルダーレジスト用樹脂材料、及びレジスト部材に好適に用いることができる。なお、本発明でいう「優れた誘電特性」とは、低誘電率及び低誘電正接のことを云う。
【発明を実施するための形態】
【0011】
本発明の樹脂は、1分子中に少なくとも1つの重合性不飽和基、少なくとも1つの酸基、及び少なくとも1つの下記一般式(1)で表される構造を有することを特徴とする。
【0012】
【化2】
〔式(1)中、Arは、置換又は非置換の芳香環を表し、Arは、置換又は非置換の芳香環を表す。〕
【0013】
前記重合性不飽和基としては、例えば、(メタ)アクリロイル基、アリル基、イソプロペニル基、1-プロぺニル基、スチリル基、スチリルメチル基、マレイミド基、ビニルエーテル基等が挙げられる。なお、本発明において、「(メタ)アクリロイル」とは、アクリロイル及び/又はメタクリロイルを意味する。また、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート及び/又はメタクリレートを意味する。さらに、「(メタ)アクリル」とは、アクリル及び/又はメタクリルを意味する。
【0014】
前記酸基としては、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、燐酸基等が挙げられる。
【0015】
本発明の樹脂中の重合性不飽和基当量は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂が得られることから、250~1200g/当量の範囲が好ましく、300~1000g/当量の範囲がより好ましく、400~1000g/当量の範囲がさらに好ましい。
【0016】
また、本発明の樹脂の酸価は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂が得られることから、40~140gKOH/gの範囲が好ましく、50~130mgKOH/gの範囲がより好ましく、60~120mgKOH/gの範囲がさらに好ましい。
【0017】
さらに、本発明の樹脂中の前記一般式(1)で表される構造のエステル結合当量は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂が得られることから、200~1000g/当量の範囲が好ましく、250~800g/当量の範囲がより好ましく、250~600g/当量の範囲がより好ましい。
【0018】
前記式(1)中の前記Ar及び前記Ar炭が有していてもよい置換基としては、例えば、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数1~20のアルコキシ基、アリール基、またはハロゲン原子等が挙げられる。
【0019】
本発明の樹脂としては、例えば、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物(A)と、前記芳香族化合物(A)以外の酸基を有する芳香族化合物、その酸ハロゲン化物及び/又はそのエステル化物(B)と、エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)と、多塩基酸無水物及び/又はその酸ハロゲン化物(D)と、を必須原料とする樹脂(I)、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物(A)と、前記芳香族化合物(A)以外の酸基を有する芳香族化合物、その酸ハロゲン化物及び/又はそのエステル化物(B)と、不飽和一塩基酸、その酸ハロゲン化物及び/又はそのエステル化物(E)と、を必須原料とする樹脂(II)等が挙げられる。
【0020】
前記芳香族化合物(A)としては、例えば、下記構造式(2-1)~(2-10)で表される化合物等が挙げられる。これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂が得られることから、芳香環上に少なくとも1つの水酸基を有し、かつ1分子中に少なくとも1つの酸基を有する化合物が好ましい。
【0021】
【化3】
【0022】
上記構造式(2-1)~(2-10)において、Rは、それぞれ独立して、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数1~20のアルコキシ基、アリール基、酸基又はハロゲン原子の何れかであり、Rは、それぞれ独立して、水素原子またはメチル基である。また、pは、それぞれ独立して、0または1以上の整数であり、qは、それぞれ独立して、1以上の整数である。nは、1~10の整数であり、mは、1~5の整数である。なお、上記構造式における芳香環上の置換基R及び水酸基の位置については、任意であり、例えば、構造式(2-2)のナフタレン環においてはいずれの環上に置換していてもよく、構造式(2-3)及び(2-4)では、1分子中に存在するベンゼン環のいずれの環上に置換していてもよいことを示し、1分子中におけるベンゼン環上の置換基の個数がp+qであることを示している。
【0023】
前記酸基としては、例えば、カルボキシル基、スルホン酸基、燐酸基等が挙げられる。
【0024】
前記酸基を有する芳香族化合物、その酸ハロゲン化物及び/又はそのエステル化物(B)(以下、「芳香族化合物(B)」と略記する。)としては、前記芳香族化合物(A)以外の1分子中に酸基を有する化合物であれば特に限定されず、例えば、下記構造式(3-1)~(3-5)で表される化合物等が挙げられる。
【0025】
【化4】
【0026】
上記構造式(3-1)~(3-5)において、Rは、酸基であり、Rは、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数1~20のアルコキシ基、アリール基、又はハロゲン原子の何れかであり、Rはそれぞれ独立して、水素原子またはメチル基である。また、rは、1以上の整数であり、sは、0または1以上の整数である。なお、上記構造式における芳香環上の置換基R及びRの位置については、任意であり、例えば、構造式(3-2)のナフタレン環においてはいずれの環上に置換していてもよく、構造式(3-3)~(3-5)では、1分子中に存在するベンゼン環のいずれの環上に置換していてもよいことを示し、1分子中におけるベンゼン環上の置換基の個数がr+sであることを示している。
【0027】
また、前記芳香族化合物(B)が有する酸基は、1分子中に少なくとも1つ有していればよい。
【0028】
これらの芳香族化合物(B)は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0029】
前記芳香族化合物(B)の使用量は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂が得られることから、前記芳香族化合物(A)が有するフェノール性水酸基1モルに対して、前記芳香族化合物(B)が有する前記フェノール性水酸基と反応し得る官能基のモル数が、0.9~1.5の範囲となることが好ましく、0.95~1.25の範囲となることがより好ましい。
【0030】
前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)としては、例えば、グリシジル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、エポキシシクロへキシルメチル(メタ)アクリレート等のグリシジル基含有(メタ)アクリレートモノマーや、ヒドロキシベンゼンジグリシジルエーテル、ジヒドロキシナフタレンジグリシジルエーテル、ビフェノールジグリシジルエーテル、ビスフェノールジグリシジルエーテルのジグリシジルエーテル化合物のモノ(メタ)アクリレート化物等が挙げられる。これらのエポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0031】
前記多塩基酸無水物及び/又はその酸ハロゲン化物(D)(以下、「多塩基酸無水物(D)」と略記する。)としては、例えば、脂肪族多塩基酸無水物、脂環式多塩基酸無水物、芳香族多塩基酸無水物、脂肪族多塩基酸無水物の酸ハロゲン化物、脂環式多塩基酸無水物の酸ハロゲン化物、芳香族多塩基酸無水物の酸ハロゲン化物等が挙げられる。
【0032】
前記脂肪族多塩基酸無水物としては、例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、イタコン酸、グルタコン酸、1,2,3,4-ブタンテトラカルボン酸の酸無水物等が挙げられる。また、前記脂肪族多塩基酸無水物としては、脂肪族炭化水素基は直鎖型及び分岐型のいずれでもよく、構造中に不飽和結合を有していてもよい。
【0033】
前記脂環式多塩基酸無水物としては、本発明では、酸無水物基が脂環構造に結合しているものを脂環式多塩基酸無水物とし、それ以外の構造部位における芳香環の有無は問わないものとする。前記脂環式多塩基酸無水物としては、例えば、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、シクロヘキサントリカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、メチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、4-(2,5-ジオキソテトラヒドロフラン-3-イル)-1,2,3,4-テトラヒドロナフタレン-1,2-ジカルボン酸の酸無水物等が挙げられる。
【0034】
前記芳香族多塩基酸無水物としては、例えば、フタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ナフタレンジカルボン酸、ナフタレントリカルボン酸、ナフタレンテトラカルボン酸、ビフェニルジカルボン酸、ビフェニルトリカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸の酸無水物等が挙げられる。
【0035】
これらの多塩基酸無水物(D)は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。また、これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂が得られることから、テトラヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸が好ましい。
【0036】
前記不飽和一塩基酸、その酸ハロゲン化物及び/又はそのエステル化物(E)(以下、「不飽和一塩基酸(E)」と略記する。)としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、α-シアノ桂皮酸、β-スチリルアクリル酸、β-フルフリルアクリル酸等が挙げられる。また、前記不飽和一塩基酸の酸ハロゲン化物、エステル化物も用いることができる。さらに、下記構造式(4)で表される化合物等も用いることができる。
【0037】
【化5】
[式(4)中、Xは、炭素数1~10のアルキレン鎖、ポリオキシアルキレン鎖、(ポリ)エステル鎖、芳香族炭化水素鎖、または(ポリ)カーボネート鎖を表し、構造中にハロゲン原子やアルコキシ基等を有していても良い。Yは、水素原子またはメチル基である。]
【0038】
前記ポリオキシアルキレン鎖としては、例えば、ポリオキシエチレン鎖、ポリオキシプロピレン鎖等が挙げられる。
【0039】
前記(ポリ)エステル鎖としては、例えば、下記構造式(X-1)で表される(ポリ)エステル鎖が挙げられる。
【0040】
【化6】
[式(X-1)中、Rは、炭素原子数1~10のアルキレン基であり、nは1~5の整数である。]
【0041】
前記芳香族炭化水素鎖としては、例えば、フェニレン鎖、ナフチレン鎖、ビフェニレン鎖、フェニルナフチレン鎖、ビナフチレン鎖等が挙げられる。また、部分構造として、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環等の芳香環を有する炭化水素鎖も用いることができる。
【0042】
前記(ポリ)カーボネート鎖としては、例えば、下記構造式(X-2)で表される(ポリ)カーボネート鎖が挙げられる。
【0043】
【化7】
[式(X-2)中、Rは、炭素原子数1~10のアルキレン基であり、nは1~5の整数である。]
【0044】
前記一般式(1)で表される化合物の分子量は、100~500の範囲が好ましく、150~400の範囲がより好ましい。
【0045】
これらの不飽和一塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0046】
前記樹脂(I)としては、例えば、1分子中に下記一般式(I)で表される構造を有する樹脂等が挙げられる。
【0047】
【化8】
〔式(I)中、Arは、置換又は非置換の芳香環を表し、Arは、置換又は非置換の芳香環を表す。Zは、下記式(z-1)~(z-27)で表される何れかを表し、Rは、水素原子又はメチル基を表す。〕
【0048】
【化9】
〔式(z-1)~(z-27)中、「*」は、酸素原子との結合点を示す。〕
【0049】
前記樹脂(II)としては、例えば、1分子中に下記一般式(I)で表される構造を有する樹脂等が挙げられる。
【0050】
【化10】
〔式(II)中、Arは、置換又は非置換の芳香環を表し、Arは、置換又は非置換の芳香環を表す。Zは、前記式(I)におけるZ同様に式(z-1)~(z-27)で表される何れかを表し、Wは下記式(w-1)~(w-10)で表される何れかを表し、Rは、水素原子又はメチル基を表す。n及びmは、それぞれ独立して、1以上の整数を表し、n+mが2~10の範囲である。〕
【0051】
【化11】
〔式(w-1)~(w-10)中、Rは、それぞれ独立して、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数1~20のアルコキシ基、アリール基、酸基又はハロゲン原子の何れかであり、Rは、それぞれ独立して、水素原子またはメチル基である。また、pは、それぞれ独立して、0または1以上の整数である。nは、1~10の整数であり、mは、1~5の整数である。なお、上記構造式における芳香環上の置換基R及び水酸基の位置については、任意であり、例えば、構造式(w-2)のナフタレン環においてはいずれの環上に置換していてもよく、構造式(w-3)及び(w-4)では、1分子中に存在するベンゼン環のいずれの環上に置換していてもよいことを示し、1分子中におけるベンゼン環上の置換基の個数がp+qであることを示している。なお、「*」は、酸素原子との結合点を示しており、s及びrはそれぞれ独立して、1以上の整数であり、s+rは2~20の範囲である。〕
【0052】
前記樹脂(I)の製造方法としては、特に制限されず、どのような方法にて製造してもよい。例えば、前記芳香族化合物(A)と、前記芳香族化合物(B)と、前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)と、前記多塩基酸無水物(D)とを含有する反応原料の全てを一括で反応させる方法で製造してもよいし、反応原料を順次反応させる方法で製造してもよい。前記反応原料を順次反応させる方法としては、例えば、先に芳香族化合物(A)と、エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)とを塩基性触媒の存在下、60~140℃で反応させて反応生成物(I)を得、次いで、前記反応生成物(I)と多塩基酸無水物(D)とを塩基性触媒下、60~140℃で反応させて、反応生成物(II)を得、さらに、前記反応生成物(II)と芳香族化合物(B)とを塩基性条件下で20~140℃で反応させて製造する方法(方法1)、先に芳香族化合物(A)と、エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)とを塩基性触媒の存在下、60~140℃で反応させて反応生成物(I)を得、次いで、前記反応生成物(I)と多塩基酸無水物(D)とを塩基性触媒下、60~140℃で反応させて、反応生成物(II)を得、前記反応生成物(II)と、前記芳香族化合物(A)と、芳香族化合物(B)とを塩基性条件下で20~140℃で反応させて製造する方法(方法2)、先に芳香族化合物(A)と、芳香族化合物(B)とを塩基性触媒の存在下、60~140℃で反応させて反応生成物(III)を得、次いで、前記反応生成物(III)とエポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)とを塩基性条件下で20~140℃で反応させて反応生成物(IV)を得、さらに、前記反応生成物(IV)と多塩基酸無水物(D)とを塩基性触媒下、60~140℃で反応させて製造する方法(方法3)等が挙げられる。これらの中でも高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂が得られることから、方法1又は方法2が好ましく、方法2がより好ましい。
【0053】
前記塩基性触媒としては、例えば、N-メチルモルフォリン、ピリジン、1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン-7(DBU)、1,5-ジアザビシクロ[4.3.0]ノネン-5(DBN)、1,4-ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン(DABCO)、トリ-n-ブチルアミンもしくはジメチルベンジルアミン、ブチルアミン、オクチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、イミダゾール、1-メチルイミダゾール、2,4-ジメチルイミダゾール、1,4-ジエチルイミダゾール、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-(N-フェニル)アミノプロピルトリメトキシシラン、3-(2-アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン、3-(2-アミノエチル)アミノプロピルメチルジメトキシシラン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアミン化合物類;トリオクチルメチルアンモニウムクロライド、トリオクチルメチルアンモニウムアセテート等の四級アンモニウム塩類;トリメチルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン等のホスフィン類;テトラメチルホスホニウムクロライド、テトラエチルホスホニウムクロライド、テトラプロピルホスホニウムクロライド、テトラブチルホスホニウムクロライド、テトラブチルホスホニウムブロマイド、トリメチル(2-ヒドロキシルプロピル)ホスホニウムクロライド、トリフェニルホスホニウムクロライド、ベンジルホスホニウムクロライド等のホスホニウム塩類;ジブチル錫ジラウレート、オクチル錫トリラウレート、オクチル錫ジアセテート、ジオクチル錫ジアセテート、ジオクチル錫ジネオデカノエート、ジブチル錫ジアセテート、オクチル酸錫、1,1,3,3-テトラブチル-1,3-ドデカノイルジスタノキサン等の有機錫化合物;オクチル酸亜鉛、オクチル酸ビスマス等の有機金属化合物;オクタン酸錫等の無機錫化合物;無機金属化合物などが挙げられる。また、アルカリ土類金属水酸化物、アルカリ金属炭酸塩及びアルカリ金属水酸化物等を用いることもできる。特にエポキシ樹脂合成反応の触媒活性に優れることからアルカリ金属水酸化物が好ましく、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムがより好ましい。これらの塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0054】
前記方法1における、前記芳香族化合物(A)と、前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)との反応は、前記芳香族化合物(A)が有するフェノール性水酸基1モルに対して、前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)が有するエポキシ基のモル数が、0.4以上であることが好ましく、0.5~2.5の範囲がより好ましい。
【0055】
前記方法1における、前記反応生成物(I)と前記多塩基酸無水物(D)との反応は、前記反応生成物(I)が有する水酸基1モルに対して、前記多塩基酸無水物(D)のモル数が、0.5~1.2の範囲であることが好ましく、0.8~1.1の範囲であることがより好ましい。
【0056】
前記方法1における、前記反応生成物(II)と前記芳香族化合物(B)との反応は、前記反応生成物(II)が有するフェノール性水酸基1モルに対して、前記芳香族化合物(B)が有する前記フェノール性水酸基と反応し得る官能基のモル数が、0.8~1.3の範囲であることが好ましく、0.95~1.25であることがより好ましい。
【0057】
前記方法2における、前記芳香族化合物(A)と、前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)との反応は、前記芳香族化合物(A)が有するフェノール性水酸基1モルに対して、前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)が有するエポキシ基のモル数が、0.4以上であることが好ましく、0.5~2.5の範囲がより好ましい。
【0058】
前記方法2における、前記反応生成物(I)と前記多塩基酸無水物(D)との反応は、前記反応生成物(I)が有する水酸基1モルに対して、前記多塩基酸無水物(D)のモル数が、0.5~1.2の範囲であることが好ましく、0.8~1.1の範囲であることがより好ましい。
【0059】
前記方法2における、前記反応生成物(II)と、前記芳香族化合物(A)と、前記芳香族化合物(B)との反応は、前記反応生成物(II)及び前記芳香族化合物(A)が有するフェノール性水酸基の合計1モルに対して、前記芳香族化合物(B)が有する前記フェノール性水酸基と反応し得る官能基のモル数が、0.8~1.3の範囲であることが好ましく、0.95~1.25の範囲であることがより好ましい。なお、上記の反応における前記芳香族化合物(A)は、前記反応生成物(I)の反応原料である芳香族化合物(A)と同様のものを用いてもよいし、異なるものを用いてもよいが、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂が得られることから、前記反応生成物(II)と反応する前記芳香族化合物(A)としては、脂肪族構造及び/又は脂環構造を有する芳香族化合物が好ましい。
【0060】
前記方法3における、前記芳香族化合物(A)と、前記芳香族化合物(B)との反応は、前記芳香族化合物(A)が有するフェノール性水酸基1モルに対して、前記芳香族化合物(B)が有する前記フェノール性水酸基と反応し得る官能基のモル数が、0.5~1.5の範囲であることが好ましく、0.8~1.2の範囲であることがより好ましい。
【0061】
前記方法3における、前記反応生成物(III)と前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)との反応は、記反応生成物(III)が有するエポキシ基と反応し得る官能基1モルに対して、前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(a3)が有するエポキシ基のモル数が、0.9~1.1の範囲であることが好ましく、0.95~1.05の範囲であることがより好ましい。
【0062】
前記方法3における、前記反応生成物(IV)と前記多塩基酸無水物(D)との反応は、前記反応生成物(IV)が有する水酸基1モルに対して、前記多塩基酸無水物(D)のモル数が、0.5~1.2の範囲であることが好ましく、0.8~1.1の範囲であることがより好ましい。
【0063】
また、前記芳香族化合物(A)と、前記芳香族化合物(B)と、前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)と、前記多塩基酸無水物(D)との反応は、必要に応じて有機溶剤中で行うこともできる。
【0064】
前記有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、アセトン、ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン等のケトン溶剤;テトラヒドロフラン、ジオキソラン等の環状エーテル溶剤;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル溶剤;トルエン、キシレン、ソルベントナフサ等の芳香族溶剤;シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環族溶剤;カルビトール、セロソルブ、メタノール、イソプロパノール、ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのアルコール溶剤;アルキレングリコールモノアルキルエーテル、ジアルキレングリコールモノアルキルエーテル、ジアルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート等のグリコールエーテル溶剤;メトキシプロパノール、シクロヘキサノン、メチルセロソルブ、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等が挙げられる。これらの有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0065】
前記樹脂(II)の製造方法としては、特に制限されず、どのような方法にて製造してもよい。例えば、前記芳香族化合物(A)と、前記芳香族化合物(B)と、前記不飽和一塩基酸(E)とを含有する反応原料の全てを一括で反応させる方法で製造してもよいし、反応原料を順次反応させる方法で製造してもよい。前記一括で反応させる方法としては、例えば、前記芳香族化合物(A)と、前記芳香族化合物(B)と、前記不飽和一塩基酸(E)とを塩基性条件下で20~140℃で反応させて製造する方法等が挙げられる。また、前記樹脂(II)としては、反応原料に前記芳香族化合物(A)、前記芳香族化合物(B)及び前記不飽和一塩基酸(E)以外の多塩基酸無水物(D)を用いることもでき、例えば、前記芳香族化合物(B)と、前記多塩基酸無水物(D)とを塩基性触媒の存在下、60~140℃で反応させて反応生成物(I)を得、次いで、前記反応生成物(I)と前記芳香族化合物(A)と前記不飽和一塩基酸(E)とを塩基性条件下で20~140℃で反応させて製造することもできる。
【0066】
前記樹脂(I)及び前記樹脂(II)の製造において、必要に応じて、重合禁止剤、酸化防止剤等を用いることもできる。
【0067】
前記重合禁止剤としては、例えば、p-メトキシフェノール、p-メトキシクレゾール、4-メトキシ-1-ナフトール、4,4’-ジアルコキシ-2,2’-ビ-1-ナフトール、3-(N-サリチロイル)アミノ-1,2,4-トリアゾール、N’1,N’12-ビス(2-ヒドロキシベンゾイル)ドデカンジヒドラジド、スチレン化フェノール、N-イソプロピル-N’-フェニルベンゼン-1,4-ジアミン、6-エトキシ-2,2,4-トリメチル-1,2-ジヒドロキノリン等のフェノール化合物、ヒドロキノン、メチルヒドロキノン、p-ベンゾキノン、メチル-p-ベンゾキノン、2,5-ジフェニルベンゾキノン、2-ヒドロキシ-1,4-ナフトキノン、アントラキノン、ジフェノキノン等のキノン化合物、メラミン、p-フェニレンジアミン、4-アミノジフェニルアミン、N.N’-ジフェニル-p-フェニレンジアミン、N-i-プロピル-N’-フェニル-p-フェニレンジアミン、N-(1.3-ジメチルブチル)-N’-フェニル-p-フェニレンジアミン、ジフェニルアミン、4,4’-ジクミル-ジフェニルアミン、4,4’-ジオクチル-ジフェニルアミン、ポリ(2,2,4-トリメチル-1,2-ジヒドロキノリン)、スチレン化ジフェニルアミン、スチレン化ジフェニルアミンと2,4,4-トリメチルペンテンの反応生成物、ジフェニルアミンと2,4,4-トリメチルペンテンの反応生成物等のアミン化合物、フェノチアジン、ジステアリルチオジプロピオネート、2,2-ビス({[3-(ドデシルチオ)プロピオニル]オキシ}メチル)-1,3-プロパンジイル=ビス[3-(ドデシルチオ)プロピオナート]、ジトリデカン-1-イル=3,3’-スルファンジイルジプロパノアート等のチオエーテル化合物、N-ニトロソジフェニルアミン、N-ニトロソフェニルナフチルアミン、p-ニトロソフェノール、ニトロソベンゼン、p-ニトロソジフェニルアミン、α-ニトロソ-β-ナフトール等、N、N-ジメチルp-ニトロソアニリン、p-ニトロソジフェニルアミン、p-ニトロンジメチルアミン、p-ニトロン-N、N-ジエチルアミン、N-ニトロソエタノールアミン、N-ニトロソジ-n-ブチルアミン、N-ニトロソ-N-n-ブチル-4-ブタノールアミン、N-ニトロソ-ジイソプロパノールアミン、N-ニトロソ-N-エチル-4-ブタノールアミン、5-ニトロソ-8-ヒドロキシキノリン、N-ニトロソモルホリン、N-二トロソーN-フェニルヒドロキシルアミンアンモニウム塩、二トロソベンゼン、N-ニトロソ-N-メチル-p-トルエンスルホンアミド、N-ニトロソ-N-エチルウレタン、N-ニトロソ-N-n-プロピルウレタン、1-ニトロソ-2-ナフトール、2-ニトロソ-1-ナフトール、1-ニトロソ-2-ナフトール-3,6-スルホン酸ナトリウム、2-ニトロソ-1-ナフトール-4-スルホン酸ナトリウム、2-ニトロソ-5-メチルアミノフェノール塩酸塩、2-ニトロソ-5-メチルアミノフェノール塩酸塩等のニトロソ化合物、リン酸とオクタデカン-1-オールのエステル、トリフェニルホスファイト、3,9-ジオクタデカン-1-イル-2,4,8,10-テトラオキサ-3,9-ジホスファスピロ[5.5]ウンデカン、トリスノニルフェニルホスフィト、亜リン酸-(1-メチルエチリデン)-ジ-4,1-フェニレンテトラ-C12-15-アルキルエステル、2-エチルヘキシル=ジフェニル=ホスフィット、ジフェニルイソデシルフォスファイト、トリイソデシル=ホスフィット、トリス(2,4-ジ-tert-ブチルフェニル)ホスファイト等のホスファイト化合物、ビス(ジメチルジチオカルバマト-κ(2)S,S’)亜鉛、ジエチルジチオカルバミン酸亜鉛、ジブチル・ジチオカルバミン酸亜鉛等の亜鉛化合物、ビス(N,N-ジブチルカルバモジチオアト-S,S’)ニッケル等のニッケル化合物、1,3-ジヒドロ-2H-ベンゾイミダゾール-2-チオン、4,6-ビス(オクチルチオメチル)-o-クレゾール、2-メチル-4,6-ビス[(オクタン-1-イルスルファニル)メチル]フェノール、ジラウリルチオジプロピオン酸エステル、3,3’-チオジプロピオン酸ジステアリル等の硫黄化合物などが挙げられる。これらの重合禁止剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0068】
前記酸化防止剤としては、前記重合禁止剤で例示した化合物と同様のものを用いることができ、前記酸化防止剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0069】
また、前記重合禁止剤、及び前記酸化防止剤の市販品としては、例えば、和光純薬工業株式会社製「Q-1300」、「Q-1301」、住友化学株式会社製「スミライザーBBM-S」、「スミライザーGA-80が」等が挙げられる。
【0070】
本発明の樹脂は、分子構造中に重合性不飽和基を有することから、例えば、光重合開始剤を添加することにより硬化性樹脂組成物として利用することができる。
【0071】
前記光重合開始剤としては、例えば、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、1-〔4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル〕-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、チオキサントン及びチオキサントン誘導体、2,2’-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、ジフェニル(2,4,6-トリメトキシベンゾイル)ホスフィンオキシド、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキシド、2-メチル-1-(4-メチルチオフェニル)-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-1-ブタノン等の光ラジカル重合開始剤などが挙げられる。
【0072】
前記その他の光重合開始剤の市販品としては、例えば、「Omnirad 1173」、「Omnirad 184」、「Omnirad 127」、「Omnirad 2959」、「Omnirad 369」、「Omnirad 379」、「Omnirad 907」、「Omnirad 4265」、「Omnirad 1000」、「Omnirad 651」、「Omnirad TPO」、「Omnirad 819」、「Omnirad 2022」、「Omnirad 2100」、「Omnirad 754」、「Omnirad 784」、「Omnirad 500」、「Omnirad 81」(IGM Resins社製);「KAYACURE DETX」、「KAYACURE MBP」、「KAYACURE DMBI」、「KAYACURE EPA」、「KAYACURE OA」(日本化薬株式会社製);「Vicure 10」、「Vicure 55」(Stoffa Chemical社製);「Trigonal P1」(Akzo Nobel社製)、「SANDORAY 1000」(SANDOZ社製);「DEAP」(Upjohn Chemical社製)、「Quantacure PDO」、「Quantacure ITX」、「Quantacure EPD」(Ward Blenkinsop社製);「Runtecure 1104」(Runtec社製)等が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いることも、2種以上を併用することもできる。
【0073】
前記光重合開始剤の添加量は、例えば、硬化性樹脂組成物の溶剤以外の成分の合計中に0.05~15質量%の範囲であることが好ましく、0.1~10質量%の範囲であることがより好ましい。
【0074】
また、前記光重合開始剤は、必要に応じて、アミン化合物、尿素化合物、含硫黄化合物、含燐化合物、含塩素化合物、ニトリル化合物等の光増感剤を併用することもできる。
【0075】
本発明の硬化性樹脂組成物は、前述した樹脂以外のその他の樹脂成分を含有しても良い。前記その他の樹脂成分としては、酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂、各種の(メタ)アクリレートモノマー等が挙げられる。
【0076】
前記酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂としては、樹脂中に酸基及び重合性不飽和基を有するものであれば何れでもよく、例えば、酸基及び重合性不飽和基を有するエポキシ樹脂、酸基及び重合性不飽和基を有するウレタン樹脂、酸基及び重合性不飽和基を有するアクリル樹脂、酸基及び重合性不飽和基を有するアミドイミド樹脂、酸基及び重合性不飽和基を有するアクリルアミド樹脂、酸基及び重合性不飽和基を有するエステル樹脂等が挙げられる。
【0077】
前記酸基としては、上述の酸基として例示したものが挙げられる。
【0078】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するエポキシ樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、不飽和一塩基酸、及び多塩基酸無水物を必須の反応原料とする酸基を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂や、エポキシ樹脂、不飽和一塩基酸、多塩基酸無水物、ポリイソシアネート化合物、及び水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物を反応原料とする酸基及びウレタン結合を有するエポキシ(メタ)アクリレート樹脂などが挙げられる。
【0079】
前記エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェニレンエーテル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、ナフトール-フェノール共縮ノボラック型エポキシ樹脂、ナフトール-クレゾール共縮ノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン-フェノール付加反応型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、キサンテン型エポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂、トリヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂、オキサゾリドン型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。また、これらの中でも、優れたアルカリ現像性を有し、硬化物における優れた誘電特性を有する樹脂が得られることから、ノボラック型エポキシ樹脂が好ましく、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂がより好ましい。
【0080】
前記ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAP型エポキシ樹脂、ビスフェノールB型エポキシ樹脂、ビスフェノールBP型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂等が挙げられる。
【0081】
前記水添ビスフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールB型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールE型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールS型エポキシ樹脂等が挙げられる。
【0082】
前記ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、4,4’-ビフェノール型エポキシ樹脂、2,2’-ビフェノール型エポキシ樹脂、テトラメチル-4,4’-ビフェノール型エポキシ樹脂、テトラメチル-2,2’-ビフェノール型エポキシ樹脂等が挙げられる。
【0083】
前記水添ビフェノール型エポキシ樹脂としては、例えば、水添4,4’-ビフェノール型エポキシ樹脂、水添2,2’-ビフェノール型エポキシ樹脂、水添テトラメチル-4,4’-ビフェノール型エポキシ樹脂、水添テトラメチル-2,2’-ビフェノール型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0084】
前記不飽和一塩基酸としては、上述の不飽和一塩基酸(E)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記不飽和一塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0085】
前記多塩基酸無水物としては、上述の多塩基酸無水物(D)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0086】
前記ポリイソシアネート化合物としては、例えば、ブタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、2,2,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、2,4,4-トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート化合物;ノルボルナンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水添キシリレンジイソシアネート、水添ジフェニルメタンジイソシアネート等の脂環式ジイソシアネート化合物;トリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、1,5-ナフタレンジイソシアネート、4,4’-ジイソシアナト-3,3’-ジメチルビフェニル、o-トリジンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート化合物;下記構造式(5)で表される繰り返し構造を有するポリメチレンポリフェニルポリイソシアネート;これらのイソシアヌレート変性体、ビウレット変性体、アロファネート変性体等が挙げられる。また、これらのポリイソシアネート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0087】
【化12】
[式中、Rは、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子数1~6の炭化水素基の何れかであり、Rは、それぞれ独立して、炭素原子数1~4のアルキル基である。lは0または1~3の整数であり、mは1~15の整数である。]
【0088】
前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパン(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート等が挙げられる。また、前記各種の水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等の(ポリ)オキシアルキレン鎖を導入した(ポリ)オキシアルキレン変性体や、前記各種の水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入したラクトン変性体等も用いることができる。これらの水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物は、単独で用いることも、2種以上を併用することもできる。
【0089】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するエポキシ樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するエポキシ樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒を用いてもよい。
【0090】
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0091】
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0092】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するウレタン樹脂としては、例えば、ポリイソシアネート化合物、水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物、カルボキシル基を有するポリオール化合物、及び必要に応じて多塩基酸無水物、前記カルボキシル基を有するポリオール化合物以外のポリオール化合物とを反応させて得られたものや、ポリイソシアネート化合物、水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物、多塩基酸無水物、及びカルボキシル基を有するポリオール化合物以外のポリオール化合物とを反応させて得られたもの等が挙げられる。
【0093】
前記ポリイソシアネート化合物としては、上述のポリイソシアネート化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記ポリイソシアネート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0094】
前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、上述の水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0095】
前記カルボキシル基を有するポリオール化合物としては、例えば、2,2-ジメチロールプロピオン酸、2,2-ジメチロールブタン酸、2,2-ジメチロール吉草酸等が挙げられる。前記カルボキシル基を有するポリオール化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0096】
前記多塩基酸無水物としては、上述の多塩基酸無水物(D)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。。
【0097】
前記カルボキシル基を有するポリオール化合物以外のポリオール化合物としては、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の脂肪族ポリオール化合物;ビフェノール、ビスフェノール等の芳香族ポリオール化合物;前記各種のポリオール化合物の分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等の(ポリ)オキシアルキレン鎖を導入した(ポリ)オキシアルキレン変性体;前記各種のポリオール化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入したラクトン変性体等が挙げられる。前記カルボキシル基を有するポリオール化合物以外のポリオール化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0098】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するウレタン樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するウレタン樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒を用いてもよい。
【0099】
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0100】
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0101】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリル樹脂としては、例えば、水酸基やカルボキシル基、イソシアネート基、グリシジル基等の反応性官能基を有する(メタ)アクリレート化合物(α)を必須の成分として重合させて得られるアクリル樹脂中間体に、これらの官能基と反応し得る反応性官能基を有する(メタ)アクリレート化合物(β)をさらに反応させることにより(メタ)アクリロイル基を導入して得られる反応生成物や、前記反応生成物中の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるもの等が挙げられる。
【0102】
前記アクリル樹脂中間体は、前記(メタ)アクリレート化合物(α)の他、必要に応じてその他の重合性不飽和基を有する化合物を共重合させたものであってもよい。前記その他の重合性不飽和基を有する化合物は、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸アルキルエステル;シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート等の脂環式構造を有する(メタ)アクリレート;フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチルアクリレート等の芳香環を有する(メタ)アクリレート;3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のシリル基を有する(メタ)アクリレート;スチレン、α-メチルスチレン、クロロスチレン等のスチレン誘導体等が挙げられる。これらは単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0103】
前記(メタ)アクリレート化合物(β)は、前記(メタ)アクリレート化合物(α)が有する反応性官能基と反応し得るものであれば特に限定されないが、反応性の観点から以下の組み合わせであることが好ましい。即ち、前記(メタ)アクリレート化合物(α)として水酸基を有する(メタ)アクリレートを用いた場合には、(メタ)アクリレート化合物(β)としてイソシアネート基を有する(メタ)アクリレートを用いることが好ましい。前記(メタ)アクリレート化合物(α)としてカルボキシル基を有する(メタ)アクリレートを用いた場合には、(メタ)アクリレート化合物(β)としてグリシジル基を有する(メタ)アクリレートを用いることが好ましい。前記(メタ)アクリレート化合物(α)としてイソシアネート基を有する(メタ)アクリレートを用いた場合には、(メタ)アクリレート化合物(β)として水酸基を有する(メタ)アクリレートを用いることが好ましい。前記(メタ)アクリレート化合物(α)としてグリシジル基を有する(メタ)アクリレートを用いた場合には、(メタ)アクリレート化合物(β)としてカルボキシル基を有する(メタ)アクリレートを用いることが好ましい。前記(メタ)アクリレート化合物(β)は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0104】
前記多塩基酸無水物は、上述の多塩基酸無水物(D)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0105】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリル樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリル樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒を用いてもよい。
【0106】
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0107】
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0108】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアミドイミド樹脂としては、例えば、酸基及び/又は酸無水物基を有するアミドイミド樹脂と、水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物及び/又はエポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物と、必要に応じて、水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、グリシジル基、及び酸無水物基からなる群より選ばれる1種以上の反応性官能基を有する化合物を反応させて得られるものが挙げられる。なお、前記反応性官能基を有する化合物は、(メタ)アクリロイル基を有していてもよいし、有していなくてもよい。
【0109】
前記アミドイミド樹脂としては、酸基または酸無水物基のどちらか一方のみを有するものであってもよいし、両方を有するものであってもよい。水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物や(メタ)アクリロイル基を有するエポキシ化合物との反応性や反応制御の観点から、酸無水物基を有するものであることが好ましく、酸基と酸無水物基との両方を有するものであることがより好ましい。前記アミドイミド樹脂の固形分酸価は、中性条件下、即ち、酸無水物基を開環させない条件での測定値が60~350mgKOH/gの範囲であることが好ましい。他方、水の存在下等、酸無水物基を開環させた条件での測定値が61~360mgKOH/gの範囲であることが好ましい。
【0110】
前記アミドイミド樹脂としては、例えば、ポリイソシアネート化合物と、多塩基酸無水物とを反応原料として得られるものが挙げられる。
【0111】
前記ポリイソシアネート化合物としては、上述のポリイソシアネート化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記ポリイソシアネート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0112】
前記多塩基酸無水物としては、上述の多塩基酸無水物(D)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。。
【0113】
また、前記アミドイミド樹脂は、必要に応じて、前記ポリイソシアネート化合物及び多塩基酸無水物以外に、多塩基酸を反応原料として併用することもできる。
【0114】
前記多塩基酸としては、一分子中にカルボキシル基を2つ以上有する化合物であれば何れのものも用いることができる。例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、シトラコン酸、イタコン酸、グルタコン酸、1,2,3,4-ブタンテトラカルボン酸、シクロヘキサントリカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、メチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、4-(2,5-ジオキソテトラヒドロフラン-3-イル)-1,2,3,4-テトラヒドロナフタレン-1,2-ジカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ナフタレンジカルボン酸、ナフタレントリカルボン酸、ナフタレンテトラカルボン酸、ビフェニルジカルボン酸、ビフェニルトリカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸等が挙げられる。また、前記多塩基酸としては、例えば、共役ジエン系ビニルモノマーとアクリロニトリルとの共重合体であって、その分子中にカルボキシル基を有する重合体も用いることができる。これらの多塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0115】
前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、上述の水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0116】
前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、上述のエポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物(C)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記エポキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0117】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアミドイミド樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するアミドイミド樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒を用いてもよい。
【0118】
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0119】
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0120】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリルアミド樹脂としては、例えば、フェノール性水酸基を有する化合物と、アルキレンオキサイドまたはアルキレンカーボネートと、N-アルコキシアルキル(メタ)アクリルアミド化合物と、多塩基酸無水物と、必要に応じて不飽和一塩基酸とを反応させて得られたものが挙げられる。
【0121】
前記フェノール性水酸基を有する化合物としては、分子内にフェノール性水酸基を少なくとも1つ有する化合物をいう。前記分子内にフェノール性水酸基を少なくとも1つ有する化合物としては、例えば、下記構造式(6-1)~(6-4)で表される化合物が挙げられる。
【0122】
【化13】
【0123】
上記構造式(6-1)~(6-4)において、Rは、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数1~20のアルコキシ基、アリール基、ハロゲン原子の何れかであり、Rは、それぞれ独立して、水素原子またはメチル基である。また、pは、0または1以上の整数であり、好ましくは0または1~3の整数であり、より好ましくは0または1であ1ある。なお、上記構造式における芳香環上の置換基の位置については、任意であり、例えば、構造式(6-2)のナフタレン環においてはいずれの環上に置換していてもよく、構造式(6-3)では、1分子中に存在するベンゼン環のいずれの環上に置換していてもよく、構造式(6-4)では、1分子中に存在するベンゼン環のいずれかの環上に置換していてもよいことを示し、1分子中における置換基の個数がp及びqであることを示している。
【0124】
また、前記フェノール性水酸基を有する化合物としては、例えば、分子内にフェノール性水酸基を少なくとも1つ有する化合物と下記構造式(x-1)~(x-5)の何れかで表される化合物とを必須の反応原料とする反応生成物なども用いることができる。また、分子内にフェノール性水酸基を少なくとも1つ有する化合物の1種又は2種以上を反応原料とするノボラック型フェノール樹脂なども用いることができる。
【0125】
【化14】
[式(x-1)中、hは0または1である。式(x-2)~(x-5)中、Rは、炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数1~20のアルコキシ基、アリール基、ハロゲン原子の何れかであり、iは、0または1~4の整数である。式(x-2)、(x-3)及び(x-5)中、Zは、ビニル基、ハロメチル基、ヒドロキシメチル基、アルキルオキシメチル基の何れかである。式(x-5)中、Yは、炭素原子数1~4のアルキレン基、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基の何れかであり、jは1~4の整数である。]
【0126】
これらのフェノール性水酸基を有する化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0127】
前記アルキレンオキサイドとしては、例えば、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、ブチレンオキサイド、ペンチレンオキサイド等が挙げられる。これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、優れた誘電特性を有する硬化物を形成可能な硬化性樹脂組成物が得られることから、エチレンオキサイドまたはプロピレンオキサイドが好ましい。前記アルキレンオキサイドは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0128】
前記アルキレンカーボネートとしては、例えば、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、ブチレンカーボネート、ペンチレンカーボネート等が挙げられる。これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、優れた誘電特性を有する硬化物を形成可能な硬化性樹脂組成物が得られることから、エチレンカーボネートまたはプロピレンカーボネートが好ましい。前記アルキレンカーボネートは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0129】
前記N-アルコキシアルキル(メタ)アクリルアミド化合物としては、例えば、N-メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N-エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N-ブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N-メトキシエチル(メタ)アクリルアミド、N-エトキシエチル(メタ)アクリルアミド、N-ブトキシエチル(メタ)アクリルアミド等が挙げられる。前記N-アルコキシアルキル(メタ)アクリルアミド化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0130】
前記多塩基酸無水物としては、上述の多塩基酸無水物(D)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。。
【0131】
前記不飽和一塩基酸としては、上述の不飽和一塩基酸(E)として例示したものと同様を用いることができ、前記不飽和一塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0132】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリルアミド樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するアクリルアミド樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒及び酸性触媒を用いてもよい。
【0133】
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0134】
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0135】
前記酸性触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、リン酸等の無機酸、メタンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸、シュウ酸等の有機酸、三フッ化ホウ素、無水塩化アルミニウム、塩化亜鉛等のルイス酸などが挙げられる。また、スルホニル基等の強酸を有する固体酸触媒等も用いることができる。これらの酸性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0136】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するエステル樹脂としては、例えば、フェノール性水酸基を有する化合物と、アルキレンオキサイド又はアルキレンカーボネートと、不飽和一塩基酸と、多塩基酸無水物とを反応させて得られたものが挙げられる。
【0137】
前記フェノール性水酸基を有する化合物としては、上述のフェノール性水酸基を有する化合物として例示したものと同様のものを用いることができ、前記フェノール性水酸基を有する化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0138】
前記アルキレンオキサイドとしては、上述のアルキレンオキサイドとして例示したものと同様のものを用いることができる。これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、優れた誘電特性を有する硬化物を形成可能な硬化性樹脂組成物が得られることから、エチレンオキサイド又はプロピレンオキサイドが好ましい。前記アルキレンオキサイドは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0139】
前記アルキレンカーボネートとしては、上述のアルキレンカーボネートとして例示したものと同様のものを用いることができる。これらの中でも、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、優れた誘電特性を有する硬化物を形成可能な硬化性樹脂組成物が得られることから、エチレンカーボネート又はプロピレンカーボネートが好ましい。前記アルキレンカーボネートは、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0140】
前記不飽和一塩基酸としては、上述の不飽和一塩基酸(E)として例示したものと同様を用いることができ、前記不飽和一塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0141】
前記多塩基酸無水物としては、上述の多塩基酸無水物(D)として例示したものと同様のものを用いることができ、前記多塩基酸無水物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。。
【0142】
前記酸基及び重合性不飽和基を有するエステル樹脂の製造方法としては、特に限定されず、どのような方法で製造してもよい。前記酸基及び重合性不飽和基を有するエステル樹脂の製造においては、必要に応じて有機溶剤中で行ってもよく、また、必要に応じて塩基性触媒及び酸性触媒を用いてもよい。
【0143】
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0144】
前記塩基性触媒としては、上述の塩基性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記塩基性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0145】
前記酸性触媒としては、上述の酸性触媒として例示したものと同様のものを用いることができ、前記酸性触媒は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0146】
前記酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂の使用量は、本発明の樹脂100質量部に対して、10~900質量部の範囲が好ましい。
【0147】
前記各種の(メタ)アクリレートモノマーとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート等の脂肪族モノ(メタ)アクリレート化合物;シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アダマンチルモノ(メタ)アクリレート等の脂環型モノ(メタ)アクリレート化合物;グリシジル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート等の複素環型モノ(メタ)アクリレート化合物;ベンジル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェニルベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシエトキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、フェノキシベンジル(メタ)アクリレート、フェニルフェノキシエチル(メタ)アクリレート等の芳香族モノ(メタ)アクリレート化合物等のモノ(メタ)アクリレート化合物:前記各種のモノ(メタ)アクリレートモノマーの分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等のポリオキシアルキレン鎖を導入した(ポリ)オキシアルキレン変性モノ(メタ)アクリレート化合物;前記各種のモノ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入したラクトン変性モノ(メタ)アクリレート化合物;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート等の脂肪族ジ(メタ)アクリレート化合物;1,4-シクロヘキサンジメタノールジ(メタ)アクリレート、ノルボルナンジ(メタ)アクリレート、ノルボルナンジメタノールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート等の脂環型ジ(メタ)アクリレート化合物;ビフェノールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールジ(メタ)アクリレート等の芳香族ジ(メタ)アクリレート化合物;前記各種のジ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等の(ポリ)オキシアルキレン鎖を導入したポリオキシアルキレン変性ジ(メタ)アクリレート化合物;前記各種のジ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入したラクトン変性ジ(メタ)アクリレート化合物;トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート等の脂肪族トリ(メタ)アクリレート化合物;前記脂肪族トリ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等の(ポリ)オキシアルキレン鎖を導入した(ポリ)オキシアルキレン変性トリ(メタ)アクリレート化合物;前記脂肪族トリ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入したラクトン変性トリ(メタ)アクリレート化合物;ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の4官能以上の脂肪族ポリ(メタ)アクリレート化合物;前記脂肪族ポリ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)オキシエチレン鎖、(ポリ)オキシプロピレン鎖、(ポリ)オキシテトラメチレン鎖等の(ポリ)オキシアルキレン鎖を導入した4官能以上の(ポリ)オキシアルキレン変性ポリ(メタ)アクリレート化合物;前記脂肪族ポリ(メタ)アクリレート化合物の分子構造中に(ポリ)ラクトン構造を導入した4官能以上のラクトン変性ポリ(メタ)アクリレート化合物などが挙げられる。
【0148】
また、前記その他の(メタ)アクリレートモノマーとしては、上述したものの他に、フェノール化合物と、環状カーボネート化合物又は環状エーテル化合物と、不飽和モノカルボン酸とを必須の反応原料とする(メタ)アクリレートモノマーを用いることができる。
【0149】
前記フェノール化合物としては、例えば、クレゾール、キシレノール、カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン、3-メチルカテコール、4-メチルカテコール、4-アリルピロカテコール、1,2,3-トリヒドロキシベンゼン、1,2,4-トリヒドロキシベンゼン、1-ナフトール、2-ナフトール、1,3-ナフタレンジオール、1,5-ナフタレンジオール、2,6-ナフタレンジオール、2,7-ナフタレンジオール、水添ビスフェノール、水添ビフェノール、ポリフェニレンエーテル型ジオール、ポリナフチレンエーテル型ジオール、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールノボラック型樹脂、ナフトールノボラック型樹脂、フェノールアラルキル型樹脂、ナフトールアラルキル型樹脂、シクロ環構造を有するフェノール樹脂等が挙げられる。
【0150】
前記環状カーボネート化合物としては、例えば、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、ブチレンカーボネート、ペンチレンカーボネート等が挙げられる。これらの環状カーボネート化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0151】
前記環状エーテル化合物としては、例えば、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、テトラヒドロフラン等が挙げられる。これらの環状エーテル化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0152】
前記不飽和モノカルボン酸としては、上述の不飽和一塩基酸(E)として例示したものと同様のものを用いることができる。
【0153】
前記その他の(メタ)アクリレートモノマーの含有量は、本発明の硬化性樹脂組成物中に90質量%以下が好ましい。
【0154】
また、本発明の硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、硬化剤、硬化促進剤、紫外線吸収剤、有機溶剤、無機質充填材やポリマー微粒子、顔料、消泡剤、粘度調整剤、レベリング剤、難燃剤、保存安定化剤等の各種添加剤を含有することもできる。
【0155】
前記硬化剤としては、例えば、エポキシ樹脂、多塩基酸、不飽和一塩基酸、アミン化合物、アミド化合物、アゾ化合物、有機過酸化物、ポリオール化合物、エポキシ樹脂等が挙げられる。
【0156】
前記エポキシ樹脂としては、上述のエポキシ樹脂として例示したものと同様のものを用いることができ、前記エポキシ樹脂は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0157】
前記多塩基酸としては、例えば、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、シトラコン酸、イタコン酸、グルタコン酸、1,2,3,4-ブタンテトラカルボン酸、シクロヘキサントリカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、メチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2,3-ジカルボン酸、4-(2,5-ジオキソテトラヒドロフラン-3-イル)-1,2,3,4-テトラヒドロナフタレン-1,2-ジカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ナフタレンジカルボン酸、ナフタレントリカルボン酸、ナフタレンテトラカルボン酸、ビフェニルジカルボン酸、ビフェニルトリカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸等が挙げられる。また、前記多塩基酸としては、例えば、共役ジエン系ビニルモノマーとアクリロニトリルとの共重合体であって、その分子中にカルボキシル基を有する重合体も用いることができる。これらの多塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0158】
前記不飽和一塩基酸としては、上述の不飽和一塩基酸として例示したものと同様のものを用いることができ、前記不飽和一塩基酸は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0159】
前記アミン化合物としては、例えば、ジアミノジフェニルメタン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、ジアミノジフェニルスルホン、イソホロンジアミン、イミダゾ-ル、BF3-アミン錯体、グアニジン誘導体等が挙げられる。これらのアミン化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0160】
前記アミド系化合物としては、例えば、ジシアンジアミド、リノレン酸の2量体とエチレンジアミンとより合成されるポリアミド樹脂等が挙げられる。これらのアミド化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0161】
前記アゾ化合物としては、例えば、アゾビスイソブチロニトリル等が挙げられる。
【0162】
前記有機過酸化物としては、例えば、ケトンパーオキサイド、パーオキシケタール、ハイドロパーオキサイド、ジアルキルパーオキサイド、ジアシルパーオキサイド、パーオキシエステル、パーオキシジカーボネート、アルキルパーオキシカーボネート等が挙げられる。これらの有機過酸化物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0163】
前記ポリオール化合物としては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、1,3-プロパンジオール、1,4-ブタンジオール、1,3-ブタンジオール、3-メチル-1,3-ブタンジオール、1,5-ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、1,6-ヘキサンジオール、グリセリン、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタン、トリメチロールメタンモノ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン、トリメチロールプロパンモノ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールモノ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート等のポリオールモノマー;前記ポリオールモノマーと、コハク酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、テレフタル酸、イソフタル酸、オルソフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、イタコン酸、グルタコン酸、1,4-シクロヘキサンジカルボン酸等のジカルボン酸との共縮合によって得られるポリエステルポリオール;前記ポリオールモノマーと、ε-カプロラクトン、δ-バレロラクトン、3-メチル-δ-バレロラクトン等の種々のラクトンとの重縮合反応によって得られるラクトン型ポリエステルポリオール;前記ポリオールモノマーと、エチレンオキシド、プロピレンオキシド、テトラヒドロフラン、エチルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル等の環状エーテル化合物との開環重合によって得られるポリエーテルポリオールなどが挙げられる。これらのポリオール化合物は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0164】
前記エポキシ樹脂としては、上述のエポキシ樹脂として例示したものと同様のものを用いることができ、前記エポキシ樹脂は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0165】
前記硬化促進剤としては、硬化反応を促進するものであり、例えば、リン系化合物、アミン系化合物、イミダゾール、有機酸金属塩、ルイス酸、アミン錯塩等が挙げられる。これらの硬化促進剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。また、前記硬化促進剤の添加量は、例えば、前記硬化性樹脂組成物の固形分中に0.01~10質量%の範囲で用いることが好ましい。
【0166】
前記紫外線吸収剤としては、例えば、2-[4-{(2-ヒドロキシ-3-ドデシルオキシプロピル)オキシ}-2-ヒドロキシフェニル]-4,6-ビス(2,4-ジメチルフェニル)-1,3,5-トリアジン、2-[4-{(2-ヒドロキシ-3-トリデシルオキシプロピル)オキシ}-2-ヒドロキシフェニル]-4,6-ビス(2,4-ジメチルフェニル)-1,3,5-トリアジン等のトリアジン誘導体、2-(2’-キサンテンカルボキシ-5’-メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2’-o-ニトロベンジロキシ-5’-メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-キサンテンカルボキシ-4-ドデシロキシベンゾフェノン、2-o-ニトロベンジロキシ-4-ドデシロキシベンゾフェノン等が挙げられる。これらの紫外線吸収剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0167】
前記有機溶剤としては、上述の有機溶剤として例示したものと同様のものを用いることができ、前記有機溶剤は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0168】
前記無機質充填材としては、例えば、溶融シリカ、結晶シリカ、アルミナ、窒化珪素、水酸化アルミ等が挙げられる。
【0169】
前記顔料としては、公知慣用の無機顔料や有機顔料を使用することができる。
【0170】
前記無機顔料としては、例えば、白色顔料、アンチモンレッド、ベンガラ、カドミウムレッド、カドミウムイエロー、コバルトブルー、紺青、群青、カーボンブラック、黒鉛等が挙げられる。これらの無機顔料は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0171】
前記白色顔料としては、例えば、酸化チタン,酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、シリカ、タルク、マイカ、水酸化アルミニウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸アルミニウム、中空樹脂粒子、硫化亜鉛等が挙げられる。
【0172】
前記有機顔料としては、例えば、キナクリドン顔料、キナクリドンキノン顔料、ジオキサジン顔料、フタロシアニン顔料、アントラピリミジン顔料、アンサンスロン顔料、インダンスロン顔料、フラバンスロン顔料、ペリレン顔料、ジケトピロロピロール顔料、ペリノン顔料、キノフタロン顔料、アントラキノン顔料、チオインジゴ顔料、ベンツイミダゾロン顔料、アゾ顔料等が挙げられる。これらの有機顔料は、単独で用いることも2種以上を併用することもできる。
【0173】
前記難燃剤としては、例えば、赤リン、リン酸一アンモニウム、リン酸二アンモニウム、リン酸三アンモニウム、ポリリン酸アンモニウム等のリン酸アンモニウム、リン酸アミド等の無機リン化合物;リン酸エステル化合物、ホスホン酸化合物、ホスフィン酸化合物、ホスフィンオキシド化合物、ホスホラン化合物、有機系含窒素リン化合物、9,10-ジヒドロ-9-オキサ-10-ホスファフェナントレン-10-オキシド、10-(2,5―ジヒドロオキシフェニル)-10H-9-オキサ-10-ホスファフェナントレン-10-オキシド、10-(2,7-ジヒドロオキシナフチル)-10H-9-オキサ-10-ホスファフェナントレン-10-オキシド等の環状有機リン化合物、及びそれをエポキシ樹脂やフェノール樹脂等の化合物と反応させた誘導体等の有機リン化合物;トリアジン化合物、シアヌル酸化合物、イソシアヌル酸化合物、フェノチアジン等の窒素系難燃剤;シリコーンオイル、シリコーンゴム、シリコーン樹脂等のシリコーン系難燃剤;金属水酸化物、金属酸化物、金属炭酸塩化合物、金属粉、ホウ素化合物、低融点ガラス等の無機難燃剤などが挙げられる。これらの難燃剤は、単独でも用いることも2種以上を併用することもできる。また、これら難燃剤を用いる場合は、全樹脂組成物中0.1~20質量%の範囲であることが好ましい。
【0174】
本発明の硬化物は、前記硬化性樹脂組成物に、活性エネルギー線を照射することで得ることができる。前記活性エネルギー線としては、例えば、紫外線、電子線、α線、β線、γ線等の電離放射線が挙げられる。また、前記活性エネルギー線として、紫外線を用いる場合、紫外線による硬化反応を効率よく行う上で、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気下で照射してもよく、空気雰囲気下で照射してもよい。
【0175】
紫外線発生源としては、実用性、経済性の面から紫外線ランプが一般的に用いられている。具体的には、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、キセノンランプ、ガリウムランプ、メタルハライドランプ、太陽光、LED等が挙げられる。
【0176】
前記活性エネルギー線の積算光量は、特に制限されないが、0.1~50kJ/mであることが好ましく、0.5~10kJ/mであることがより好ましい。積算光量が上記範囲であると、未硬化部分の発生の防止又は抑制ができることから好ましい。
【0177】
なお、前記活性エネルギー線の照射は、一段階で行ってもよいし、二段階以上に分けて行ってもよい。
【0178】
また、本発明の硬化物は、高い光感度及び優れたアルカリ現像性を有し、誘電特性に優れることから、例えば、半導体デバイス用途における、ソルダーレジスト、層間絶縁材料、パッケージ材、アンダーフィル材、回路素子等のパッケージ接着層や、集積回路素子と回路基板の接着層として好適に用いることができる。また、LCD、OELDに代表される薄型ディスプレイ用途における、薄膜トランジスタ保護膜、液晶カラーフィルタ保護膜、カラーフィルタ用顔料レジスト、ブラックマトリックス用レジスト、スペーサー等に好適に用いることができる。これらの中でも、特にソルダーレジスト用途に好適に用いることができる。
【0179】
本発明のレジスト部材は、例えば、前記硬化性樹脂組成物を基材上に塗布し、60~100℃程度の温度範囲で有機溶媒を揮発乾燥させた後、所望のパターンが形成されたフォトマスクを通して活性エネルギー線にて露光させ、アルカリ水溶液にて未露光部を現像し、更に140~200℃程度の温度範囲で加熱硬化させて得ることができる。
【0180】
前記基材としては、例えば、銅、アルミニウム等の金属張積層板などが挙げられる。
【実施例0181】
以下、実施例と比較例とにより、本発明を具体的に説明する。なお、本発明は、以下に挙げた実施例に限定されるものではない。
【0182】
(合成例1:反応生成物(I-1)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、メチルイソブチルケトン101質量部、サリチル酸138質量部、グリシジルメタクリレート145質量部、ジブチルヒドロキシトルエン0.2質量部、メトキノン0.2質量部、トリフェニルホスフィン0.9質量部を添加し、空気を吹き込み、撹拌しながら、70℃で25時間反応させた。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸74質量部、無水コハク酸49質量部を添加し、110℃で5時間反応させ、目的の反応生成物(I-1)を得た。
【0183】
(合成例2:反応生成物(I-2)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、メチルイソブチルケトン105質量部、3,4-ジヒドロキシ安息香酸154質量部、グリシジルメタクリレート145質量部、ジブチルヒドロキシトルエン0.2質量部、メトキノン0.2質量部、トリフェニルホスフィン1.0質量部を添加し、空気を吹き込み、撹拌しながら、70℃で25時間反応させた。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸74質量部、無水コハク酸49質量部を添加し、110℃で5時間反応させ、目的の反応生成物(I-2)を得た。
【0184】
(合成例3:反応生成物(I-3)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、メチルイソブチルケトン180質量部、5-ヒドロキシイソフタル酸182質量部、グリシジルメタクリレート291質量部、ジブチルヒドロキシトルエン0.2質量部、メトキノン0.2質量部、トリフェニルホスフィン1.4質量部を添加し、空気を吹き込み、撹拌しながら、70℃で25時間反応させた。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸148質量部、無水コハク酸97質量部を添加し、110℃で5時間反応させ、目的の反応生成物(I-3)を得た。
【0185】
(合成例4:反応生成物(I-4)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、メチルイソブチルケトン108質量部、サリチル酸138質量部、グリシジルメタクリレート145質量部、ジブチルヒドロキシトルエン0.2質量部、メトキノン0.2質量部、トリフェニルホスフィン0.9質量部を添加し、空気を吹き込み、撹拌しながら、70℃で25時間反応させた。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸74質量部、無水コハク酸49質量部を添加し、110℃で5時間反応させた。次いで、グリシジルメタクリレート28質量部を添加し、110℃で5時間反応させ、目的の反応生成物(I-4)を得た。
【0186】
(合成例5:反応生成物(I-5)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、メチルイソブチルケトン71質量部、2-(4-ヒドロキシフェニル)エタノール138質量部、テトラヒドロ無水フタル酸145質量部、ジブチルヒドロキシトルエン0.1質量部、メトキノン0.1質量部、トリフェニルホスフィン0.9質量部を添加し、窒素雰囲気下で、撹拌しながら、110℃で5時間反応させ、目的の反応生成物(I-5)を得た。
【0187】
(合成例6:芳香族エステル化合物(R)の合成)
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌機を取り付けたフラスコに2,5-キシレノール244質量部、トルエン1120質量部を仕込み、系内を減圧窒素置換した。次いで、イソフタル酸クロリド203質量部を仕込み、系内を減圧窒素置換した。次いで、テトラブチルアンモニウムブロミド0.6質量部を添加し、窒素ガスパージ処理を行いながら、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液410質量部を3時間かけて滴下し、滴下終了後、1時間撹拌した。反応終了後、静置分液により水層を除去した。得られたトルエン層にさらに水を投入して15分間撹拌し、静置分液により水層を除去した。この操作を水層のpHが7になるまで繰り返した。そして、加熱減圧乾燥することで、下記構造式で表される芳香族エステル化合物(R)を得た。
【0188】
【化15】
【0189】
(合成例7:酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂(1)の合成)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート101質量部を入れ、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」、エポキシ当量:214)428質量部を溶解し、酸化防止剤としてジブチルヒドロキシトルエン4質量部、熱重合禁止剤としてメトキノン0.4質量部加えた後、アクリル酸144質量部、トリフェニルホスフィン1.6質量部を添加し、空気を吹き込みながら120℃で10時間エステル化反応を行なった。その後、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート311質量部、テトラヒドロ無水フタル酸160質量部を加え110℃で2.5時間反応して、固形分が64.0質量%の酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂(1)を得た。この酸基及び重合性不飽和基を有する樹脂(1)の固形分酸価は85mgKOH/gであった。
【0190】
(実施例1:樹脂(1)の製造)
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌機を取り付けたフラスコに合成例1で得た反応生成物(I-1)500質量部、ジシクロペンタジエンとフェノールの重付加物(水酸基当量165g/eq)165質量部、メチルイソブチルケトン1519質量部を添加した。次いで、イソフタル酸クロリド202質量部、テトラブチルアンモニウムブロミド1.1質量部を添加し、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液618質量部を3時間かけて滴下し、滴下終了後、1時間撹拌した。反応終了後、静置分液により水層を除去した。得られたメチルイソブチルケトン層にさらに水を投入して15分間撹拌し、静置分液により水層を除去した。この操作を水層のpHが7になるまで繰り返した。次いで、ジブチルヒドロキシトルエン0.7質量部、メトキノン0.4質量部、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート297質量部を添加し、空気を吹き込みながら、80℃でメチルイソブチルケトンを脱溶剤し、樹脂(1)を得た。この樹脂(1)の不揮発分は70質量%であり、固形分酸価は80mgKOH/gであり、メタクリロイル基当量は691g/当量であり、本発明にて規定する樹脂中の一般式(1)で表される構造のエステル結合当量は347g/当量であった。なお、本発明においてメタクリロイル基当量及びエステル結合当量は、原料の仕込み量より算出した値である。
【0191】
(実施例2:樹脂(2)の製造)
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌機を取り付けたフラスコに合成例2で得た反応生成物(I-2)260質量部、ジシクロペンタジエンとフェノールの重付加物(水酸基当量165g/eq)165質量部、メチルイソブチルケトン1119質量部を添加した。次いで、イソフタル酸クロリド202質量部、テトラブチルアンモニウムブロミド0.8質量部を添加し、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液515質量部を3時間かけて滴下し、滴下終了後、1時間撹拌した。反応終了後、静置分液により水層を除去した。得られたメチルイソブチルケトン層にさらに水を投入して15分間撹拌し、静置分液により水層を除去した。この操作を水層のpHが7になるまで繰り返した。次いで、ジブチルヒドロキシトルエン0.5質量部、メトキノン0.3質量部、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート270質量部を添加し、空気を吹き込みながら、80℃でメチルイソブチルケトンを脱溶剤し、樹脂(2)を得た。この樹脂(2)の不揮発分は65質量%であり、固形分酸価は56mgKOH/gであり、メタクリロイル基当量は999g/当量であり、本発明にて規定する樹脂中の一般式(1)で表される構造のエステル結合当量は251g/当量であった。
【0192】
(実施例3:樹脂(3)の製造)
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌機を取り付けたフラスコに合成例3で得た反応生成物(I-3)898質量部、ジシクロペンタジエンとフェノールの重付加物(水酸基当量165g/eq)165質量部、メチルイソブチルケトン2182質量部を添加した。次いで、イソフタル酸クロリド202質量部、テトラブチルアンモニウムブロミド1.5質量部を添加し、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液824質量部を3時間かけて滴下し、滴下終了後、1時間撹拌した。反応終了後、静置分液により水層を除去した。得られたメチルイソブチルケトン層にさらに水を投入して15分間撹拌し、静置分液により水層を除去した。この操作を水層のpHが7になるまで繰り返した。次いで、ジブチルヒドロキシトルエン1.0質量部、メトキノン0.5質量部、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート434質量部を添加し、空気を吹き込みながら、80℃でメチルイソブチルケトンを脱溶剤し、樹脂(3)を得た。この樹脂(3)の不揮発分は70質量%であり、固形分酸価は110mgKOH/gであり、メタクリロイル基当量は481g/当量であり、本発明にて規定する樹脂中の一般式(1)で表される構造のエステル結合当量は506g/当量であった。
【0193】
(実施例4:樹脂(4)の製造)
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌機を取り付けたフラスコに合成例4で得た反応生成物(I-4)500質量部、ジシクロペンタジエンとフェノールの重付加物(水酸基当量165g/eq)165質量部、メチルイソブチルケトン1519質量部を添加した。次いで、イソフタル酸クロリド202質量部、テトラブチルアンモニウムブロミド1.0質量部を添加し、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液618質量部を3時間かけて滴下し、滴下終了後、1時間撹拌した。反応終了後、静置分液により水層を除去した。得られたメチルイソブチルケトン層にさらに水を投入して15分間撹拌し、静置分液により水層を除去した。この操作を水層のpHが7になるまで繰り返した。次いで、ジブチルヒドロキシトルエン0.7質量部、メトキノン0.4質量部、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート374質量部を添加し、空気を吹き込みながら、80℃でメチルイソブチルケトンを脱溶剤し、樹脂(4)を得た。この樹脂(4)の不揮発分は65質量%であり、固形分酸価は61mgKOH/gであり、メタクリロイル基当量は620g/当量であり、本発明にて規定する樹脂中の一般式(1)で表される構造のエステル結合当量は347g/当量であった。
【0194】
(実施例5:樹脂(5)の製造)
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌機を取り付けたフラスコに合成例5で得た反応生成物(I-5)363質量部、ジシクロペンタジエンとフェノールの重付加物(水酸基当量165g/eq)330質量部、メチルイソブチルケトン1801質量部を添加した。次いで、イソフタル酸クロリド202質量部、アクリル酸クロライド91質量部、テトラブチルアンモニウムブロミド1.2質量部を添加し、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液824質量部を3時間かけて滴下し、滴下終了後、1時間撹拌した。反応終了後、静置分液により水層を除去した。得られたメチルイソブチルケトン層にさらに水を投入して15分間撹拌し、静置分液により水層を除去した。この操作を水層のpHが7になるまで繰り返した。次いで、ジブチルヒドロキシトルエン0.7質量部、メトキノン0.4質量部、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート305質量部を添加し、空気を吹き込みながら、80℃でメチルイソブチルケトンを脱溶剤し、樹脂(5)を得た。この樹脂(5)の不揮発分は70質量%であり、固形分酸価は70mgKOH/gであり、アクリロイル基当量は803g/当量であり、本発明にて規定する樹脂中の一般式(1)で表される構造のエステル結合当量は402g/当量であった。
【0195】
(実施例6:樹脂(6)の製造)
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌機を取り付けたフラスコに4-ヒドロキシフェニル酢酸190質量部、ジシクロペンタジエンとフェノールの重付加物(水酸基当量165g/eq)330質量部、メチルイソブチルケトン1514質量部を添加した。次いで、イソフタル酸クロリド202質量部、アクリル酸クロライド91質量部、テトラブチルアンモニウムブロミド0.9質量部を添加し、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液824質量部を3時間かけて滴下し、滴下終了後、1時間撹拌した。反応終了後、静置分液により水層を除去した。得られたメチルイソブチルケトン層にさらに水を投入して15分間撹拌し、静置分液により水層を除去した。この操作を水層のpHが7になるまで繰り返した。次いで、ジブチルヒドロキシトルエン0.6質量部、メトキノン0.3質量部、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート246質量部を添加し、空気を吹き込みながら、80℃でメチルイソブチルケトンを脱溶剤し、樹脂(6)を得た。この樹脂(6)の不揮発分は70質量%であり、固形分酸価は87mgKOH/gであり、アクリロイル基当量は665g/当量であり、本発明にて規定する樹脂中の一般式(1)で表される構造のエステル結合当量は333g/当量であった。
【0196】
(比較例1:重合性不飽和基を有する芳香族エステル化合物(R1)の合成)
温度計、滴下ロート、冷却管、分留管、撹拌機を取り付けたフラスコにオルトアリルフェノール268質量部、トルエン1200質量部を仕込み、系内を減圧窒素置換した。次いで、イソフタル酸クロリド203質量部を仕込み、系内を減圧窒素置換した。次いで、テトラブチルアンモニウムブロミド0.6質量部を添加し、窒素ガスパージ処理を行いながら、系内を60℃以下に制御して、20%水酸化ナトリウム水溶液412質量部を3時間かけて滴下し、滴下終了後、1時間撹拌した。反応終了後、静置分液により水層を除去した。得られたトルエン層にさらに水を投入して15分間撹拌し、静置分液により水層を除去した。この操作を水層のpHが7になるまで繰り返した。そして、加熱減圧乾燥することで、下記化学式で表される重合性不飽和基を有する芳香族エステル化合物(R1)を得た。この重合性不飽和基を有する芳香族エステル化合物(R1)のエステル結合当量は、199g/当量であった。
【0197】
【化16】
【0198】
(比較例2:重合性不飽和基を有するメタクリレート樹脂(R2)の製造)
温度計、攪拌器、及び還流冷却器を備えたフラスコに、メチルイソブチルケトン85質量部、安息香酸122質量部、グリシジルメタクリレート145質量部、ジブチルヒドロキシトルエン0.2質量部、メトキノン0.2質量部、トリフェニルホスフィン0.8質量部を添加し、空気を吹き込み、撹拌しながら、110℃で8時間反応させた。次いで、テトラヒドロ無水フタル酸74質量部を添加し、110℃で5時間反応させ、重合性不飽和基を有するメタクリレート樹脂(R2)を得た。この重合性不飽和基を有するメタクリレート樹脂(R2)の不揮発分は80質量%であり、固形分酸価は83mgKOH/gであった。
【0199】
(実施例7:硬化性樹脂組成物(1)の調製)
実施例1で得た不揮発分70質量%の樹脂(1)70質量部と、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」、エポキシ当量:214)21.2質量部と、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート11.6質量部と、光重合性開始剤(IGM Resins社製「Omnirad 907」)3.5質量部と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート7.0質量部と、2-エチル-4-メチル-イミダゾール0.5質量部と、フタロシアニングリーン0.5質量部とを混合し、硬化性樹脂組成物(1)を得た。
【0200】
(実施例8~13:硬化性樹脂組成物(2)~(7)の調製)
実施例7で用いた樹脂(1)の代わりに、実施例2~6で得た樹脂(2)~(6)を表1に示した配合量で用いた以外は、実施例7と同様にして、硬化性樹脂組成物(2)~(7)を得た。
【0201】
(比較例3:硬化性樹脂組成物(R1)の調製)
比較例1で得た重合性不飽和基を有する芳香族エステル化合物(R1)100質量部と、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」、エポキシ当量:214)22.7質量部と、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート12.4質量部と、光重合性開始剤(IGM Resins社製「Omnirad 907」)5.0質量部と、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート10.0質量部と、2-エチル-4-メチル-イミダゾール0.5質量部と、フタロシアニングリーン0.6質量部とを混合し、硬化性樹脂組成物(R1)を得た。
【0202】
(比較例4:硬化性樹脂組成物(R2)の調製)
比較例3で用いた重合性不飽和基を有する芳香族エステル化合物(R1)の代わりに、比較例2で得た重合性不飽和基を有するメタクリレート樹脂(R2)を表1に示した配合量で用いた以外は、比較例3と同様にして、硬化性樹脂組成物(R2)を得た。
【0203】
上記の実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物(1)~(7)、(R1)及び(R2)を用いて、下記の評価を行った。
【0204】
[光感度の評価方法]
各実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を、アプリケーターを用いてガラス基材上に膜厚50μmとなるように塗布した後、80℃でそれぞれ30分間乾燥させた。次いで、コダック社製のステップタブレットNo.2を介し、メタルハライドランプを用いて10kJ/mの紫外線を照射した。これを1質量%の炭酸ナトリウム水溶液で180秒現像し、残存した段数を評価した。なお、残存段数が多いほど光感度が高い。
【0205】
[アルカリ現像性の評価方法]
各実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を、アプリケーターを用いてガラス基材上に膜厚50μmとなるように塗布した後、80℃でそれぞれ70分間、80分間、90分間、100分間、110分、120分、130分、140分間乾燥させ、乾燥時間が異なるサンプルを作成した。これらを1%炭酸ナトリウム水溶液で30℃180秒間現像し、基板上に残渣が残らなかったサンプルの80℃での乾燥時間を乾燥管理幅として評価した。なお、乾燥管理幅が長いほどアルカリ現像性が優れていることを示す。
【0206】
実施例7~13で作製した硬化性樹脂組成物(1)~(13)、及び比較例3及び4で作製した硬化性樹脂組成物(R1)及び(R2)の組成及び評価結果を表1に示す。
【0207】
【表1】
【0208】
なお、表1中の「-」は、現像不可を示す。
【0209】
(実施例14:硬化性樹脂組成物(8)の調製)
実施例1で得た樹脂(1)70質量部と、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」、エポキシ当量:214)21.2質量部と、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート11.6質量部と、光重合性開始剤(IGM Resins社製「Omnirad 907」)3.5質量部と、4-ジメチルアミノピリジン1.4質量部を混合し、硬化性樹脂組成物(8)を得た。
【0210】
(実施例15~20:硬化性樹脂組成物(9)~(14)の調製)
実施例14で用いた樹脂(1)の代わりに、実施例2~6で得た樹脂(2)~(6)を表2に示した配合量で用いた以外は、実施例14と同様にして、硬化性樹脂組成物(9)~(14)を得た。
【0211】
(比較例5:硬化性樹脂組成物(R3)の調製)
比較例1で得た重合性不飽和基を有する芳香族エステル化合物(R1)100質量部と、硬化剤としてオルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」、エポキシ当量:214)22.7質量部と、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート12.4質量部と、光重合性開始剤(IGM Resins社製「Omnirad 907」)5.0質量部と、4-ジメチルアミノピリジン2.0質量部とを混合し、硬化性樹脂組成物(R3)を得た。
【0212】
(比較例6:硬化性樹脂組成物(R4)の調製)
比較例5で用いた重合性不飽和基を有する芳香族エステル化合物(R1)の代わりに、比較例2で得た重合性不飽和基を有するメタクリレート樹脂(R2)を表2に示した配合量で用いた以外は、比較例5と同様にして、硬化性樹脂組成物(R4)を得た。
【0213】
上記の実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物(8)~(14)、(R3)及び(R4)を用いて、下記の評価を行った。
【0214】
[誘電率の測定方法]
各実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を、アプリケーターを用いてガラス基材上に膜厚50μmとなるように塗布し、80℃で30分乾燥させた。次いで、メタルハライドランプを用いて10kJ/mの紫外線を照射した後、160℃で1時間加熱して、硬化塗膜を得た。次いで、前記硬化塗膜をガラス基材から剥離し、硬化物を得た。次いで、温度23℃、湿度50%の室内に24時間保管したものを試験片とし、アジレント・テクノロジー株式会社製「ネットワークアナライザE8362C」を用いて、空洞共振法により試験片の1GHzでの誘電率を測定した。
【0215】
[誘電正接の測定方法]
各実施例及び比較例で得られた硬化性樹脂組成物を、アプリケーターを用いてガラス基材上に膜厚50μmとなるように塗布し、80℃で30分乾燥させた。次いで、メタルハライドランプを用いて10kJ/mの紫外線を照射した後、160℃で1時間加熱して、硬化塗膜を得た。次いで、前記硬化塗膜をガラス基材から剥離し、硬化物を得た。次いで、温度23℃、湿度50%の室内に24時間保管したものを試験片とし、アジレント・テクノロジー株式会社製「ネットワークアナライザE8362C」を用いて、空洞共振法により試験片の1GHzでの誘電正接を測定した。
【0216】
実施例14~20で作製した硬化性樹脂組成物(8)~(14)、及び比較例5及び6で作製した硬化性樹脂組成物(R3)及び(R4)の組成及び評価結果を表2に示す。
【0217】
【表2】
【0218】
なお、表1及び2における樹脂の質量部の記載は、固形分値である。
【0219】
表1及び2中の「硬化剤」は、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(DIC株式会社製「EPICLON N-680」)を示す。
【0220】
表1及び2中の「有機溶剤」は、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテートを示す。
【0221】
表1及び2中の「光重合開始剤」は、IGM Resins社製「Omnirad 907」を示す。
【0222】
表1に示した実施例7~13は、本発明の樹脂を用いた硬化性樹脂組成物の例である。これらの硬化性樹脂組成物の硬化物は、高い感度及び優れたアルカリ現像性を有することが確認できた。
【0223】
また、表2に示した実施例14~20は、本発明の樹脂を用いた硬化性樹脂組成物の例である。これらの硬化性樹脂組成物の硬化物は、優れた誘電特性を有することが確認できた。
【0224】
一方、比較例3は、酸基を有さず、重合性不飽和基を有する芳香族エステル化合物を含有する硬化性樹脂組成物の例である。この硬化性樹脂組成物は、光感度、アルカリ現像性ともに著しく不十分であることが確認できた。
【0225】
また、比較例4は、酸基及び前記一般式(1)で表される構造を有しない重合性不飽和基を有するメタクリレート樹脂を含有する硬化性樹脂組成物の例である。この硬化性樹脂組成物は、光感度が不十分であることが確認できた。
【0226】
比較例5は、比較例3同様に、酸基を有さず、重合性不飽和基を有する芳香族エステル化合物を含有する硬化性樹脂組成物の例である。この硬化性樹脂組成物の硬化物は、誘電特性が不十分であることが確認できた。
【0227】
比較例6は、比較例4同様に、酸基及び前記一般式(1)で表される構造を有しない重合性不飽和基を有するメタクリレート樹脂を含有する硬化性樹脂組成物の例である。この硬化性樹脂組成物の硬化物は、誘電特性が不十分であることが確認できた。