特開 2022-124709 剥離装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022124709

(43)【公開日】2022-08-26

(54)【発明の名称】剥離装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20220819BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20220819BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/304 622J

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021022492

(22)【出願日】2021-02-16

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】鶴田 玄太郎

【テーマコード（参考）】

5F057

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F057AA12

5F057AA32

5F057BB03

5F057CA02

5F057CA18

5F057DA11

5F057EC05

5F057EC07

5F057FA15

5F057FA30

5F057GB02

5F057GB31

5F131AA02

5F131BA32

5F131BA33

5F131BA37

5F131BA60

5F131CA32

5F131DA14

5F131DA33

5F131DA54

5F131DB51

5F131DB62

5F131DB72

5F131EA07

5F131EA15

5F131EB03

5F131EB36

5F131EB63

5F131EC32

5F131EC34

5F131EC73

5F131EC77

5F131KA12

(57)【要約】

【課題】剥離装置において、保護部材を湾曲させるのに必要な力が変わっても、ゴミ箱に保護部材を適切に積み重ね廃棄する。
【解決手段】ウェーハ保護部材を剥離するユニット４と、保護部材廃棄ユニット５と、を備え、剥離ユニット４は、保護部材把持部４０と保持ユニット２とをすれ違い移動させるユニット４２と、を備え、廃棄ユニット５は、保護部材をゴミ箱７開口に傾斜落下させる傾斜落下部５０と、傾斜落下する保護部材を上から見た進行方向に対し直交方向に対向配置される第１傾斜板５１と第２傾斜板５２と、を備え、両傾斜板５１、５２下辺の間に保護部材が通過可能な隙間５７を備え、両傾斜板５１、５２下辺間距離より両傾斜板５１、５２上辺間距離が大きくなるように両傾斜板５１、５２を傾斜させ、傾斜落下した保護部材が両傾斜板５１、５２間に進入してゴミ箱７に凸状に湾曲し、ゴミ箱７開口を通過して落下しつつ水平姿勢になった後積み重ねられる、剥離装置１。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハの一方の面に形成されたシート状の保護部材をウェーハから剥離して上面に開口を備えるゴミ箱の中に積み重ねて廃棄する剥離装置であって、
ウェーハの他方の面を保持面で吸引保持する保持ユニットと、
該保持ユニットに保持されたウェーハに形成された該保護部材を剥離する剥離ユニットと、該ゴミ箱の中に該保護部材を積み重ねて廃棄する廃棄ユニットと、を備え、
該剥離ユニットは、該保護部材の外周縁を把持する把持部と、該保持面に平行にウェーハの外周から中央に向かう方向に該把持部と該保持ユニットとを相対的にすれ違うように移動させる移動ユニットと、を備え、
該廃棄ユニットは、
該把持部が把持していた該保護部材を該ゴミ箱の該開口に向かって傾斜落下させる傾斜落下部と、
該開口の上で傾斜落下する該保護部材を上から見た場合の進行方向に対し直交する方向において向かいあって配置される第１傾斜板と第２傾斜板と、を備え、
該第１傾斜板の下辺と該第２傾斜板の下辺との間に該保護部材が通過可能な隙間を備え、該第１傾斜板の下辺と該第２傾斜板の下辺との間の距離より該第１傾斜板の上辺と該第２傾斜板の上辺との間の距離が大きくなるように該第１傾斜板と該第２傾斜板とを傾斜させ、
傾斜落下した該保護部材が、該第１傾斜板と該第２傾斜板との間に進入することによって該保護部材の中央が該ゴミ箱に向かって凸状に湾曲し、該ゴミ箱の該開口を通過してさらに落下しつつ水平姿勢になった後、該ゴミ箱内において積み重ねられる、剥離装置。

【請求項2】

前記第１傾斜板及び前記第２傾斜板は、上面からエアを噴出する第１エア噴出口を備える請求項１記載の剥離装置。

【請求項3】

前記第１傾斜板及び前記第２傾斜板の下端側にそれぞれ配置し、エアを噴出する第２エア噴出口を有する２本の水平パイプを備え、
該第２エア噴出口から噴出したエアによって該第１傾斜板の上面と該第２傾斜板の上面とに下から上に向かう気流を生じさせる、請求項１、又は請求項２記載の剥離装置。

【請求項4】

前記第１傾斜板の下端と前記第２傾斜板の下端との間隔は、前記傾斜落下部に近い側より該傾斜落下部から遠い側に向かうにしたがって徐々に狭くしている請求項１、請求項２、又は請求項３記載の剥離装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、保護部材をウェーハから剥離してゴミ箱に廃棄する剥離装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウェーハ製造工程において平坦面を備えるウェーハを作製する場合には、例えば、シリコン等の円柱インゴットを、ワイヤーソー等で薄く切断して、円板状のアズスライスウェーハを得る。このウェーハの両面には、うねりや反りが存在しているため、ウェーハの切断面に対して、回転する研削砥石を当接させてうねりや反りを除去する。

【0003】

研削加工を行うために、円板状のウェーハの一方の面に液状樹脂で保護部材を形成する。これは、ウェーハのうねりや反りを保護部材で吸収して、研削装置のチャックテーブルで平坦に吸引保持するためである。即ち、ウェーハよりも大径の円形シート上に液状の樹脂等を所定量供給する。そして、保持ユニットでウェーハの他方の面を吸引保持し、ウェーハの一方の面に対向するように配設されたシート上で、ウェーハを液状樹脂に対して上側から押し付けることで、液状樹脂を押し広げてウェーハの一方の面全面が樹脂層で被覆された状態にする。その後、樹脂層を例えば紫外線照射により硬化させて、保護部材を形成する。該保護部材は、ウェーハの外周縁からシートがはみ出したはみ出し部を備えている。

【0004】

その後、保護部材が形成されていない他方の面が上側になるようにして、ウェーハを研削装置のチャックテーブルで平坦に吸引保持し、研削砥石で研削を行っていく。その後、テープ剥離装置（例えば、特許文献１参照）によりウェーハから保護部材を剥がし、保護部材で保護されていたウェーハの一方の面を研削することで、両面が平坦面となるウェーハを作製することができる。

【0005】

特許文献１に開示されているようなテープ剥離装置では、樹脂層を剥離し、剥離した保護部材をゴミ箱に廃棄している。即ち、剥離した保護部材を２本の傾斜したパイプ上で滑り落して、該パイプの下方に位置付けされたゴミ箱に２本の傾斜したパイプの間から湾曲させて落とし、ゴミ箱内で保護部材を適切に積み重ねて多くの保護部材をゴミ箱に入れることを可能としている。このように、ゴミ箱内に保護部材が重ねられて投入されることで、ゴミ箱から保護部材を取り出す作業の頻度を少なくして、作業者の負担を減らしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１８－１９８２９０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

特許文献１に記載されているようなテープ剥離装置では、アズスライスウェーハの凹凸、うねり、反りの大きさに対応して液状樹脂を使い分けて、硬化させた樹脂の硬さ、又は樹脂の厚みを変えている。そして、樹脂の硬さや厚みが異なる（例えば、硬く厚くなる）と、保護部材を２本のパイプ上で保護部材の自重で湾曲させるために必要となる力が異なり、２本のパイプだけでは湾曲具合が異なりパイプ間を通過させてゴミ箱内に保護部材を適切に積み重ねることができない場合が生じる。

【0008】

適切に保護部材がゴミ箱内で重なっていないため、ゴミ箱が保護部材で満杯になったことを検知するセンサが、ゴミ箱が満杯になっていないのにゴミ箱内の不適切に積み重なった保護部材を検知してしまい、作業者によるゴミ箱からの保護部材の取り出し頻度が増えて負担が大きくなるという問題がある。

【0009】

よって、保護部材をウェーハから剥離してゴミ箱に廃棄する剥離装置においては、樹脂の硬さが変わったり、又は樹脂の厚みが変わったりして、保護部材を湾曲させるために必要な力が変わることがあったとしても、ゴミ箱に保護部材を適切に積み重ねて廃棄できるようにするという解決すべき課題がある。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記課題を解決するための本発明は、ウェーハの一方の面に形成されたシート状の保護部材をウェーハから剥離して上面に開口を備えるゴミ箱の中に積み重ねて廃棄する剥離装置であって、ウェーハの他方の面を保持面で吸引保持する保持ユニットと、該保持ユニットに保持されたウェーハに形成された該保護部材を剥離する剥離ユニットと、該ゴミ箱の中に該保護部材を積み重ねて廃棄する廃棄ユニットと、を備え、該剥離ユニットは、該保護部材の外周縁を把持する把持部と、該保持面に平行にウェーハの外周から中央に向かう方向に該把持部と該保持ユニットとを相対的にすれ違うように移動させる移動ユニットと、を備え、該廃棄ユニットは、該把持部が把持していた該保護部材を該ゴミ箱の該開口に向かって傾斜落下させる傾斜落下部と、該開口の上で傾斜落下する該保護部材を上から見た場合の進行方向に対し直交する方向において向かいあって配置される第１傾斜板と第２傾斜板と、を備え、該第１傾斜板の下辺と該第２傾斜板の下辺との間に該保護部材が通過可能な隙間を備え、該第１傾斜板の下辺と該第２傾斜板の下辺との間の距離より該第１傾斜板の上辺と該第２傾斜板の上辺との間の距離が大きくなるように該第１傾斜板と該第２傾斜板とを傾斜させ、傾斜落下した該保護部材が、該第１傾斜板と該第２傾斜板との間に進入することによって該保護部材の中央が該ゴミ箱に向かって凸状に湾曲し、該ゴミ箱の該開口を通過してさらに落下しつつ水平姿勢になった後、該ゴミ箱内において積み重ねられる、剥離装置である。

【0011】

本発明に係る剥離装置において、前記第１傾斜板及び前記第２傾斜板は、上面からエアを噴出する第１エア噴出口を備えると好ましい。

【0012】

本発明に係る剥離装置において、前記第１傾斜板及び前記第２傾斜板の下端側にそれぞれ配置し、エアを噴出する第２エア噴出口を有する２本の水平パイプを備え、該第２エア噴出口から噴出したエアによって該第１傾斜板の上面と該第２傾斜板の上面とに下から上に向かう気流を生じさせると好ましい。

【0013】

前記第１傾斜板の下端と前記第２傾斜板の下端との間隔は、前記傾斜落下部に近い側より該傾斜落下部から遠い側に向かうにしたがって徐々に狭くすると好ましい。

【発明の効果】

【0014】

本発明に係る剥離装置においては、ゴミ箱の中に保護部材を積み重ねて廃棄する廃棄ユニットは、把持部が把持していた保護部材をゴミ箱の開口に向かって傾斜落下させる傾斜落下部と、開口の上で傾斜落下する保護部材を上から見た場合の進行方向に対し直交する方向において向かいあって配置される第１傾斜板と第２傾斜板と、を備え、第１傾斜板の下辺と第２傾斜板の下辺との間に保護部材が通過可能な隙間を備え、第１傾斜板の下辺と第２傾斜板の下辺との間の距離より第１傾斜板の上辺と第２傾斜板の上辺との間の距離が大きくなるように第１傾斜板と第２傾斜板とを傾斜させることで、保護部材の硬さが変わったり、又は保護部材の厚みが変わったりして保護部材を湾曲させるために必要な力が変わることがあったとしても、傾斜落下した保護部材が、第１傾斜板と第２傾斜板との間に進入することによって第１傾斜板及び第２傾斜板に接触した保護部材の中央がゴミ箱に向かって凸状に湾曲せしめられ、さらに傾斜落下している位置に応じて湾曲している部分を第１傾斜板及び第２傾斜板によって広げていく。即ち、従来の２本のパイプのみで保護部材をゴミ箱の開口に向かって凸状にさせていた剥離装置よりも、保護部材がゴミ箱の開口からより高い位置にある状態から第１傾斜板と第２傾斜板とによって保護部材がゴミ箱の開口に向かって凸状となるようにサポート可能となる。そして、凸状となった保護部材がゴミ箱の開口を通過して、ゴミ箱内をさらに落下しつつ自身の弾性によって水平姿勢になった後、ゴミ箱内に積み重ねられるため、ゴミ箱に保護部材を適切に積み重ねて十分な枚数を廃棄することが可能となる。

【0015】

本発明に係る剥離装置において、第１傾斜板、及び第２傾斜板は、その上面に形成された第１エア噴出口からエアを噴出することで、傾斜落下した保護部材が、第１傾斜板と第２傾斜板との間に進入することによって保護部材の中央がゴミ箱に向かって凸状に湾曲する際に、第１傾斜板及び第２傾斜板の上面と保護部材との間の摩擦をエアによって少なくすることができるため、保護部材がゴミ箱上でより抵抗なくゴミ箱に向かって凸状に湾曲することが可能となる。

【0016】

本発明に係る剥離装置は、第１傾斜板、及び第２傾斜板の下端側にそれぞれ配置し、エアを噴出する第２エア噴出口を有する２本の水平パイプを備えているため、傾斜落下した保護部材が、第１傾斜板と第２傾斜板との間に進入することによって保護部材の中央がゴミ箱に向かって凸状に湾曲する際に、第２エア噴出口から噴出したエアによって第１傾斜板の上面と第２傾斜板の上面とに下から上に向かう気流を生じさせることで、第１傾斜板及び第２傾斜板の上面と保護部材との間の摩擦をエアにより少なくすることができるため、より保護部材がゴミ箱上で抵抗なくゴミ箱に向かって凸状に湾曲することが可能となる。

【0017】

本発明に係る剥離装置においては、第１傾斜板の下端と第２傾斜板の下端との間隔は、傾斜落下部に近い側より傾斜落下部から遠い側に向かうにしたがって徐々に狭くしていることで、傾斜落下した保護部材が、第１傾斜板と第２傾斜板との間隔の狭まりにより速度が弱まりゴミ箱上で停止させることが可能となり、ゴミ箱上を通過してしまうことが防がれ、さらに、凸状に湾曲させてゴミ箱内に落下させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】剥離装置の一例を示す斜視図である。

【図2】把持部で保護部材のはみ出し部を把持した状態を説明する断面図である。

【図3】剥離ユニットによって把持部と保持ユニットとを相対的にすれ違うように移動させて保護部材をウェーハの外周側から中央に向かう方向に剥離し始めた状態を説明する断面図である。

【図4】剥離ユニットによって把持部と保持ユニットとを相対的にすれ違うように移動させてウェーハからの保護部材の剥離を進行させた状態を説明する断面図である。

【図5】剥離ユニットによって把持部と保持ユニットとを相対的にすれ違うように移動させて保護部材をウェーハから剥離し終えた状態を説明する断面図である。

【図6】図６（Ａ）は、傾斜落下した保護部材が、第１傾斜板と第２傾斜板との間に進入しその中央がゴミ箱に向かって凸状に湾曲し、ゴミ箱の開口を通過してさらに落下しつつ水平姿勢になった後、ゴミ箱内で積み重ねられる状態を説明する断面図である。図６（Ｂ）は、傾斜落下した保護部材が、第１傾斜板と第２傾斜板との間に進入しその中央がゴミ箱に向かって凸状に湾曲し、ゴミ箱の開口を通過してさらに落下しつつ水平姿勢になった後、ゴミ箱内で積み重ねられる状態を説明する平面図の一例である。

【図7】図７（Ａ）は、第１傾斜板の下端と第２傾斜板の下端との間隔が傾斜落下部に近い側より傾斜落下部から遠い側に向かうにしたがって徐々に狭くなっている場合に、傾斜落下した保護部材が、第１傾斜板と第２傾斜板との間に進入しその中央がゴミ箱に向かって凸状に湾曲し、ゴミ箱の開口を通過してさらに落下しつつ水平姿勢になった後、ゴミ箱内で積み重ねられる状態を側方から説明する断面図の一例である。図７（Ｂ）は、第１傾斜板の下端と第２傾斜板の下端との間隔が傾斜落下部に近い側より傾斜落下部から遠い側に向かうにしたがって徐々に狭くなっている場合に、傾斜落下した保護部材が、第１傾斜板と第２傾斜板との間に進入しその中央がゴミ箱に向かって凸状に湾曲し、ゴミ箱の開口を通過してさらに落下しつつ水平姿勢になった後、ゴミ箱内で積み重ねられる状態を側方から説明する平面図の一例である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

図１に示す剥離装置１は、シート状の保護部材９１をアズスライスウェーハ等のウェーハ９０から剥離する装置である。図１、図２に示す保護部材９１は、ウェーハ９０よりも大径、即ち広い面積に形成され、ウェーハ９０の一方の面９００（図２参照）に樹脂層９２を介してシート９３が固着されて形成されている。シート９３は、例えばポリオレフィン系樹脂からなるシートであり、樹脂層９２は例えば紫外線の照射により硬化された樹脂層である。図２に示すように、樹脂層９２は、ウェーハ９０の一方の面９００全面、及びウェーハ９０の外周面の一部を覆っている。また、シート９３は、ウェーハ９０の外周よりも外側にはみ出したはみ出し部９３０を備えている。

【0020】

図１に示す剥離装置１のベース１０上の後方側（－Ｘ方向側）には、コラム１１が立設されており、コラム１１の＋Ｘ方向側の前面の上部には、モータ１２２によりボールネジ１２０を回動させることで、一対のガイドレール１２３上を可動板１２１を摺動させて、可動板１２１に配設された保持ユニット２をＹ軸方向に往復移動させる保持ユニット移動機構１２が配設されている。

【0021】

可動板１２１には、Ｚ軸方向に保持ユニット２を往復移動させる保持ユニット上下動機構１３が配設されている。保持ユニット上下動機構１３は、モータ１３２によりボールネジ１３０を回動させることで、Ｚ軸方向（鉛直方向）に延びる一対のガイドレール１３３上を摺動する可動板１３１に配設された保持ユニット２を、Ｚ軸方向に往復移動させる。

【0022】

図２に示す保護部材９１を形成したウェーハ９０の一方の面９００の反対面である他方の面９０３を吸引保持する保持ユニット２は、図１に示す可動板１３１上に根元側の一端が固定されたアーム部２０と、アーム部２０の＋Ｘ方向側の先端の下面に配設されウェーハ９０を吸引保持することができる保持パッド２１とを備えている。図２に示すように、保持パッド２１は、ポーラス板等からなり図示しない吸引源に連通する吸着部２１０と、吸着部２１０を支持する枠体２１１とを備え、吸着部２１０の露出面であり枠体２１１の下面と面一の保持面２１３でウェーハ９０の他方の面９０３を吸引保持する。

【0023】

図１に示すコラム１１の＋Ｘ方向側前面の中間部、即ち、保持パッド２１の移動経路の下方には、上から順に、Ｘ軸方向の軸心を有する回転ローラ１８と、保持ユニット２が保持したウェーハ９０に貼着された保護部材９１の外周縁であるはみ出し部９３０を把持する把持部４０、及び把持部４０を保持ユニット２の保持面２１３に平行にＹ軸方向に移動させることでウェーハ９０の外周から中央に向かう方向に把持部４０と保持ユニット２とを相対的にすれ違うように移動させる移動ユニット４２と、が配設されている。そして、該把持部４０と該移動ユニット４２とによって、保持ユニット２に保持されたウェーハ９０に形成された保護部材９１を剥離する剥離ユニット４が構成される。

【0024】

移動ユニット４２は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ４２０と、ボールネジ４２０と平行に配設された一対のガイドレール４２１と、ボールネジ４２０を回動させるモータ４２２と、内部のナットがボールネジ４２０に螺合し側部がガイドレール４２１に摺接する可動ブロック４２３とから構成される。そして、モータ４２２がボールネジ４２０を回動させると、これに伴い可動ブロック４２３がガイドレール４２１にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動ブロック４２３に配設された把持部４０が可動ブロック４２３の移動に伴いＹ軸方向に移動する。

【0025】

把持部４０は、軸方向がＸ軸方向であるスピンドル４００と、スピンドル４００を回転可能に支持するハウジング４０１と、スピンドル４００の＋Ｘ方向側の先端に配設された把持クランプ４０２とを備えている。把持クランプ４０２は、互いが接近及び離間可能な一対の把持板の間に把持対象を挟み込むことができ、スピンドル４００が回転することで、把持対象に対する角度を変えることができる。なお、例えば、把持部４０は、可動ブロック４２３の前面を上下方向に移動可能となっていてもよい。

【0026】

回転ローラ１８は、例えば、図示しないモータによりＸ軸方向の軸心を軸として回転する。回転ローラ１８は、保護部材９１に当接することにより、例えば、保護部材９１の剥離の際に起き得る図２に示す樹脂層９２の折れを防止する役割を果たす。なお、回転ローラ１８は、Ｙ軸方向に移動可能であってもよい。

【0027】

ベース１０上には、剥離された保護部材９１を収容するゴミ箱７が配設されている。ゴミ箱７は、例えば、外形が略直方体状に形成されており、後述する廃棄ユニット５の第１傾斜板５１と第２傾斜板５２の下方に、上面に形成された開口７００が位置している。図１に示すように、ゴミ箱７の上部には、例えば、一対の発光部７９０（－Ｙ方向側）と受光部７９１（＋Ｙ方向側）とを備える透過型の光センサ７９が配設されている。ウェーハ９０から剥離された保護部材９１が、廃棄ユニット５によりゴミ箱７内に落とされていき、ゴミ箱７内に保護部材９１が所定の高さまで積み上がり、発光部７９０と受光部７９１との間の検査光が保護部材９１により遮られ受光部７９１の受光量が減少することで、光センサ７９はゴミ箱７内が保護部材９１で満たされたことを検出する。

【0028】

剥離装置１は、ゴミ箱７の中に保護部材９１を積み重ねて廃棄する廃棄ユニット５を備えている。そして、廃棄ユニット５は、把持部４０が把持していた保護部材９１をゴミ箱７の開口７００に向かって傾斜落下させる傾斜落下部５０と、開口７００の上で傾斜落下する保護部材９１を上方（＋Ｚ方向側）から見た場合の進行方向（－Ｙ方向）に対し直交する方向（Ｘ軸方向）において向かいあって配置される第１傾斜板５１と第２傾斜板５２と、を備えている。

【0029】

傾斜落下部５０は、例えば、ゴミ箱７の後上方において、把持部４０及び保持ユニット２の保持パッド２１の移動経路下方に設けられており、前方に向かうにつれて下方に傾斜する一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２を備えている。

【0030】

一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２は、例えば円形断面を有する棒状に形成され、保護部材９１の外径と略同一の長さを有している。例えば、一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２の先端部分は、ゴミ箱７の後方側（＋Ｙ方向側）の一辺の上方に位置している。また、一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２は、ゴミ箱７のＸ軸方向における中心線を挟んで対称に、保護部材９１の直径より十分に小さい間隔で平行に配置されている。
なお、一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２は棒状ではなく板状であってもよいし、傾斜落下部５０が傾斜する一枚板で形成されていてもよい。

【0031】

図１、及び図６（Ａ）、（Ｂ）に示す第１傾斜板５１（第２傾斜板５２）は、例えば、平面視矩形に形成されており、ゴミ箱７の開口７００の上方のＹ軸方向の一端から他端までを跨ぐように延在している。第１傾斜板５１（第２傾斜板５２）は、例えば、ゴミ箱７の開口７００のＸ軸方向における中央の領域に下辺側が位置づけされており、第１傾斜板５１の下辺と第２傾斜板５２の下辺との間に保護部材９１が通過可能な所定幅の隙間５７が形成されている。そして、隙間５７の下方には平面視矩形状となった開口７００が位置している。

【0032】

図６（Ｂ）の第１傾斜板５１の下辺と第２傾斜板５２の下辺との間の距離Ｄ１より第１傾斜板５１の上辺と第２傾斜板５２の上辺との間の距離Ｄ２が大きくなるように第１傾斜板５１と第２傾斜板５２とが傾斜している。即ち、第１傾斜板５１と第２傾斜板５２との間の空間が＋Ｚ方向に向かうにつれて徐々に広くなっている。

【0033】

本実施形態の剥離装置１は、例えば、図１、図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第１傾斜板５１及び第２傾斜板５２の下端側にそれぞれ配置され、エアを噴出する第２エア噴出口６３を有する２本の水平パイプ６１、水平パイプ６２を備えている。

【0034】

２本の水平パイプ６１、水平パイプ６２は、ゴミ箱７の開口７００の上方のＹ軸方向の端から端までを跨ぐように水平に延びており、例えば円形断面を有する棒状に形成され、保護部材９１の外径より大きい長さで延在している。水平パイプ６１及び水平パイプ６２の一端（後端）は、ゴミ箱７のＹ軸方向後方側における一辺の上端部分に固定され、他端（先端）がゴミ箱７のＹ軸方向前方側における一辺の上端部分に固定されている。また、本実施形態においては、水平パイプ６１の外周面に第１傾斜板５１の下辺が接続されており、水平パイプ６２の外周面に第２傾斜板５２の下辺が接続されている。なお、剥離装置１が水平パイプ６１、及び水平パイプ６２を備えていない場合等においては、第１傾斜板５１及び第２傾斜板５２はゴミ箱７の側板上面に直に接続されていてもよい。

【0035】

また、水平パイプ６１及び水平パイプ６２は、保護部材９１の外径より小さい間隔で、ゴミ箱７のＸ軸方向における中心線を挟んで対称に配置されており、例えば、Ｙ軸方向に平行に延在している。第１傾斜板５１の下辺と第２傾斜板５２の下辺との間の隙間５７は、水平パイプ６１と水平パイプ６２との間の隙間でもあり、該隙間５７を通り保護部材９１はゴミ箱７内に落下する。

【0036】

上方にエアを噴出する第２エア噴出口６３は、例えば、水平パイプ６１、及び水平パイプ６２の上面側に複数長手方向に整列して設けられている。第２エア噴出口６３は、丸穴状に形成されているが、細幅のスリット状に形成されていてもよいし、または、２本の水平パイプ６１、水平パイプ６２の上面側において略端から略端まで一本の連続的に延びるスリット状に第２エア噴出口６３は形成されていてもよい。そして、各第２エア噴出口６３には、図示しないコンプレッサー等で構成されるエア供給源が連通している。第２エア噴出口６３から噴出したエアは、第１傾斜板５１の上面５１１（第２傾斜板５２の上面５２３）に沿って上方に流れていく。
また、第２エア噴出口６３から噴出させるエア量を多くして、一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２でガイドされ第１傾斜板５１と第２傾斜板５２との間に保護部材９１が進入する部分を大きく形成して、保護部材９１を湾曲しやすくしてもよい。

【0037】

例えば、第１傾斜板５１（第２傾斜板５２）は、傾斜面となっている上面５１１（上面５２３）に上面５１１（上面５２３）からエアを噴出する第１エア噴出口５１２（第１エア噴出口５２４）を備えている。第１エア噴出口５１２（第１エア噴出口５２４）は、上面５１１（上面５２３）に例えば縦横に複数整列して開口している。図６（Ｂ）に示す例において、第１エア噴出口５１２（第１エア噴出口５２４）は、丸穴状に形成されているが、細幅のスリット状に形成されていてもよいし、または、第１傾斜板５１（第２傾斜板５２）の上面５１１（上面５２３）においてＹ軸方向における略端から略端まで一本の連続的に延びるスリット状に第１エア噴出口５１２（第１エア噴出口５２４）は形成されていてもよい。第１エア噴出口５１２（第１エア噴出口５２４）は、例えば、第１傾斜板５１（第２傾斜板５２）の内部で１つの流路に合流した後、該流路に継手等や樹脂チューブ等を介して図示しないコンプレッサー等で構成されるエア供給源と連通している。
なお、第１エア噴出口５１２は第２エア噴出口６３と同じくらいの大きさで形成されているとよい。

【0038】

以下に、図１に示す剥離装置１によりウェーハ９０から保護部材９１を剥離して廃棄する場合の剥離装置１の動作について説明する。
まず、図１に示すように、研削後のウェーハ９０が、すでに研削された面である他方の面９０３が上側になるように、剥離装置１の図示しない受け渡しテーブル上に載置される。保持ユニット移動機構１２により保持ユニット２がＹ軸方向に移動し、図２に示すように、保持パッド２１の保持面２１３の中心がウェーハ９０の他方の面９０３の中心に略合致するように、ウェーハ９０の上方に位置付けられる。さらに、保持ユニット２が保持ユニット上下動機構１３によって降下して保持面２１３をウェーハ９０の他方の面９０３に接触させ、吸引力が伝達された保持面２１３によって、保護部材９１を下方に向けたウェーハ９０の他方の面９０３が吸引保持される。

【0039】

図２に示すように、ウェーハ９０を吸引保持した保持ユニット２が、保持ユニット移動機構１２によって回転ローラ１８の上方に位置するまでＹ軸方向に移動する。さらに、保持ユニット２が下降して、保護部材９１のシート９３の下面の＋Ｙ方向側の外周部付近に回転ローラ１８の側面を当接させる。また、把持部４０が、移動ユニット４２によって－Ｙ方向に移動し、把持クランプ４０２がはみ出し部９３０を把持する。

【0040】

例えば、把持クランプ４０２がはみ出し部９３０を把持した後、図２に示すようにはみ出し部９３０が＋Ｘ方向側から見て時計回り方向に９０度回転することで、回転ローラ１８が保護部材９１の下面側を支持した状態で、保護部材９１の樹脂層９２が回転ローラ１８の側面にならって緩やかに曲げられつつ、保護部材９１が－Ｚ方向に向かって把持クランプ４０２により引っ張られることにより、ウェーハ９０の一方の面９００から保護部材９１の一部が剥離される。即ち、保護部材９１は、図３に示すように回転ローラ１８に当接しながら略直角に屈曲される。

【0041】

次いで、図１に示した剥離ユニット４により、把持部４０と保持ユニット２とを相対的にＹ軸方向にすれ違うように移動させて、ウェーハ９０の外周から中心に向かって保護部材９１を剥離する。即ち、図３に示すように、移動ユニット４２によって把持部４０を－Ｙ方向側に移動させるとともに、保持ユニット移動機構１２（図１参照）により保持ユニット２を＋Ｙ方向に移動させ、さらに、回転ローラ１８がＸ軸方向の軸心を軸に回転し、保護部材９１の樹脂層９２が回転ローラ１８の側面にならって緩やかに曲げられ急激な樹脂折れが抑制された状態を維持しつつ、ウェーハ９０の＋Ｙ方向側の外周縁から－Ｙ方向側に向かって保護部材９１を剥離していく。なお、保持ユニット２、又は把持部４０のいずれか一方を停止させた状態で、Ｙ軸方向に移動するもう一方によって、ウェーハ９０から保護部材９１を剥離していってもよい。または、例えば、把持部４０をＹ軸方向に移動させず下方に移動させ続け、保護部材９１を直角に屈曲させた状態で剥離を進行させていってもよい。

【0042】

図４に示すように、把持部４０がウェーハ９０の－Ｙ方向側の外周縁近くまで移動すると、把持部４０が＋Ｘ方向側からみて時計回り方向に９０度回転することで、保護部材９１の樹脂層９２側が下に向けられた状態になる。さらに、剥離ユニット４によって把持部４０、及び保持ユニット２をＹ軸方向に相対的に移動させることで、図５に示すように、ウェーハ９０から保護部材９１が完全に剥離される。そして、把持部４０によって把持されている保護部材９１は、把持部４０から下方に垂れ下がった状態になる。

【0043】

上記のように、保護部材９１がウェーハ９０から完全に剥離されると、図６（Ａ）に示すように、はみ出し部９３０を把持する把持部４０は、移動ユニット４２（図１参照）によって傾斜落下部５０の近傍に位置付けられ、保護部材９１のシート９３側が傾斜落下部５０の一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２の傾斜面に当接される。これにより、保護部材９１は、一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２に沿うようにしてＺ軸方向に対して傾斜される。

【0044】

保護部材９１が傾斜落下部５０の一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２に沿った状態で、把持部４０によるはみ出し部９３０の把持が解除される。保護部材９１は、自重により一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２に沿って斜め下方に傾斜落下する。一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２の先端側でゴミ箱７の開口７００上方となる位置にはＸ軸方向において対向する２枚の第１傾斜板５１及び第２傾斜板５２が位置しているため、第１傾斜板５１の上面５１１及び第２傾斜板５２の上面５２３にシート９３が接触した保護部材９１は、傾斜落下時の勢いにより、移動方向が斜め下方から水平方向（－Ｙ方向）に徐々に変換されていく。

【0045】

また、第１傾斜板５１の上面５１１及び第２傾斜板５２の上面５２３に接触した保護部材９１が、傾斜落下する際に、所定の角度で傾斜している第１傾斜板５１の上面５１１及び第２傾斜板５２の上面５２３に沿って、Ｘ軸方向における中央部分が自重によって落ち込み、－Ｙ方向側から見た正面視Ｕ字状、即ち、ゴミ箱７に向かって凸状に湾曲される。

【0046】

本実施形態においては、例えば、第１傾斜板５１の上面５１１の第１エア噴出口５１２及び第２傾斜板５２の上面５２３の第１エア噴出口５２４からエアを噴出させることで、第１傾斜板５１の上面５１１と保護部材９１との間に働く摩擦、及び第２傾斜板５２の上面５２３と保護部材９１との間に働く摩擦が間に流れるエアで低減されるため、保護部材９１がゴミ箱７に向かって凸状により湾曲されやすくなる。

【0047】

本実施形態においては、例えば、図６（Ａ）、（Ｂ）に示す水平パイプ６１の第２エア噴出口６３、及び水平パイプ６２の第２エア噴出口６３からエアを噴出させることで、該エアが第１傾斜板５１の上面５１１及び第２傾斜板５２の上面５２３に沿って上方に流れていくため、第１傾斜板５１の上面５１１と保護部材９１との間に働く摩擦、及び第２傾斜板５２の上面５２３と保護部材９１との間に働く摩擦が間を流れるエアによって低減されるため、保護部材９１がゴミ箱７に向かって凸状により湾曲されやすくなる。また、上面５１１及び上面５２３に沿って上方に流れていくエアによって、保護部材９１の外周部分が噴き上げられることによって、保護部材９１のゴミ箱７に向かって凸状になる湾曲がさらに促される。
なお、第１傾斜板５１の上面５１１の第１エア噴出口５１２、及び第２傾斜板５２の上面５２３の第１エア噴出口５２４からエアを噴出させつつ、水平パイプ６１及び水平パイプ６２の第２エア噴出口６３からエアを噴出させてもよい。

【0048】

図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第１傾斜板５１上及び第２傾斜板５２上に全体が載った保護部材９１は、ゴミ箱７の開口７００に向かってＸ軸方向における中央が凸状に湾曲しつつ落下する。そして、第１傾斜板５１の下辺と第２傾斜板５２の下辺との間の隙間５７、即ち、第１傾斜板５１の下辺と接続されている水平パイプ６１及び第２傾斜板５２の下辺と接続されている水平パイプ６２との間のゴミ箱７の開口７００を通過する。そして、ゴミ箱７内において落下しつつ、弾性によってＸ軸方向における中央の凸状を元の水平形状、即ち、ゴミ箱７の平坦な底面に平行な水平姿勢に徐々に戻していく。その結果、複数の保護部材９１を水平姿勢でゴミ箱７内に積層することができる。

【0049】

上記のように、ウェーハ９０の一方の面９００に形成されたシート状の保護部材９１をウェーハ９０から剥離して上面に開口７００を備えるゴミ箱７の中に積み重ねて廃棄する本発明に係る剥離装置１においては、ゴミ箱７の中に保護部材９１を積み重ねて廃棄する廃棄ユニット５は、把持部４０が把持していた保護部材９１をゴミ箱７の開口７００に向かって傾斜落下させる傾斜落下部５０と、開口７００の上で傾斜落下する保護部材９１を上から見た場合の進行方向に対し直交する方向において向かいあって配置される第１傾斜板５１と第２傾斜板５２と、を備え、第１傾斜板５１の下辺と第２傾斜板５２の下辺との間に保護部材９１が通過可能な隙間５７を備え、第１傾斜板５１の下辺と第２傾斜板５２の下辺との間の距離より第１傾斜板５１の上辺と第２傾斜板５２の上辺との間の距離が大きくなるように第１傾斜板５１と第２傾斜板５２とを傾斜させることで、保護部材９１の硬さが変わったり、又は保護部材９１の厚みが変わったりして、保護部材９１を湾曲させるために必要な力が変わることがあったとしても、傾斜落下した保護部材９１が、第１傾斜板５１と第２傾斜板５２との間に進入することによって第１傾斜板５１及び第２傾斜板５２に接触した保護部材９１の中央がゴミ箱７に向かって凸状に湾曲せしめられ、さらに傾斜落下している位置に応じて湾曲している部分を第１傾斜板５１及び第２傾斜板５２によって広くしていく。即ち、従来のゴミ箱上の２本のパイプのみで保護部材９１をゴミ箱の開口に向かって凸状にさせていた剥離装置よりも、保護部材９１が開口７００からより高い位置にある状態から第１傾斜板５１と第２傾斜板５２とによって保護部材９１をゴミ箱７の開口７００に向かって凸状となるようにサポート可能となる。そして、凸状となった保護部材９１がゴミ箱７の開口７００を通過して、ゴミ箱７内をさらに落下しつつ自身の弾性によって水平姿勢になった後、ゴミ箱７内に積み重ねられるため、ゴミ箱７に保護部材９１を適切に積み重ねて十分な枚数を廃棄することが可能となる。

【0050】

なお、本発明に係る剥離装置１は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている剥離装置１の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

【0051】

例えば図１、図６（Ａ）、（Ｂ）に示す傾斜落下部５０の一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２にエアを噴射する噴射孔を形成して、保護部材９１をガイドレール５０１、ガイドレール５０２に沿って落下しやすくしてもよい。
また、例えば、第１傾斜板５１の上面５１１の第１エア噴出口５１２、及び第２傾斜板５２の上面５２３の第１エア噴出口５２４の径の大きさ、又は水平パイプ６１及び水平パイプ６２の第２エア噴出口６３の径の大きさを、傾斜落下部５０から遠くなるほど大きくするようにして、傾斜落下部５０から遠くなるほど徐々に強まるエアによって保護部材９１がゴミ箱７を通過することが無いように停止させてもよい。

【0052】

例えば、第１傾斜板５１の下端と第２傾斜板５２の下端との間隔は、傾斜落下部５０に近い＋Ｙ方向側より傾斜落下部５０から遠い－Ｙ方向側に向かうにしたがって徐々に狭く設定されていてもよい。即ち、例えば、図７（Ｂ）に示すように、第１傾斜板５１の下辺が接続されている水平パイプ６１及び第２傾斜板５２の下辺が接続されている水平パイプ６２は、後端側（傾斜落下部５０に近い＋Ｙ方向側）の間隔Ｄ４より先端側（傾斜落下部５０から遠い－Ｙ方向側）の間隔Ｄ５が小さくなるように配置される。

【0053】

図７（Ａ）に示すように、保護部材９１が傾斜落下部５０の一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２に沿わされた状態で、保護部材９１を把持していた把持部４０によるはみ出し部９３０の把持が解除され、保護部材９１は、自重により一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２に沿って斜め下方に傾斜落下する。一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２の先端側にはＸ軸方向において対向する２枚の第１傾斜板５１及び第２傾斜板５２が位置しているため、第１傾斜板５１の上面５１１及び第２傾斜板５２の上面５２３にシート９３が接触した保護部材９１は、傾斜落下時の勢いにより、移動方向が斜め下方から水平方向に徐々に変換されていく。

【0054】

また、第１傾斜板５１の上面５１１及び第２傾斜板５２の上面５２３に接触した保護部材９１が、傾斜落下する際に所定の角度で傾斜している第１傾斜板５１の上面５１１及び第２傾斜板５２の上面５２３に沿って、Ｘ軸方向における中央部分が自重で落ち込みゴミ箱７に向かって凸状に湾曲される。なお、第１傾斜板５１の上面５１１の第１エア噴出口５１２及び第２傾斜板５２の上面５２３の第１エア噴出口５２４からエアを噴出させて、エアによって保護部材９１と上面５１１及び上面５２３との摩擦を低減させてもよい。また、図７（Ａ）、（Ｂ）に示す水平パイプ６１及び水平パイプ６２のそれぞれの第２エア噴出口６３からエアを噴出させて、エアによって保護部材９１と上面５１１及び上面５２３との摩擦を低減させてもよい。

【0055】

そして、第１傾斜板５１の下端と第２傾斜板５２の下端との間隔が、傾斜落下部５０に近い側より傾斜落下部５０から遠い側に向かうにしたがって徐々に狭くされていることで、第１傾斜板５１と第２傾斜板５２との間の該狭まりにより保護部材９１の水平面における進行方向（－Ｙ方向）の速度が弱まり、保護部材９１がゴミ箱７上を通過してしまうことが防がれ、さらに、保護部材９１を凸状に湾曲させてゴミ箱７内に落下させることが可能となる。

【0056】

ゴミ箱７に向かって凸状に湾曲しつつ落下する保護部材９１は、第１傾斜板５１の下端と第２傾斜板５２の下端との間隔が傾斜落下部５０に近い側より傾斜落下部５０から遠い側に向かうにしたがって徐々に狭くしていることで、上側から保護部材９１を見た場合の進行方向における後側（＋Ｙ方向側）が先に水平パイプ６１及び水平パイプ６２の間の開口７００の下方に落ち込んだら、次いで先側（－Ｙ方向側）が２本の水平パイプ６１、水平パイプ６２の間の開口７００の下方に落ち込む。そして、保護部材９１はゴミ箱７内において弾性によって凸状を元の水平形状に徐々に戻しつつゴミ箱７内を落下していくため、複数の保護部材９１を水平姿勢でゴミ箱７内に積層することが可能である。
なお、一対のガイドレール５０１、ガイドレール５０２の距離は図６（Ｂ）に示す距離Ｄ１または図７（Ｂ）に示す距離Ｄ４と同じ距離で離間していてもよい。また、一対のガイドレールでは無く一枚の傾斜板で保護部材９１をゴミ箱７上方までガイドしてもよい。

【符号の説明】

【0057】

９０：ウェーハ ９００：一方の面 ９１：保護部材 ９２：樹脂層 ９３：シート
９３０：はみ出し部
１：剥離装置 １０：ベース １１：コラム １８：回転ローラ
４０：把持部 ４００：スピンドル ４０２：把持クランプ
４２：移動ユニット ４２０：ボールネジ ４２２：モータ ４２３：可動ブロック
１２：保持ユニット移動機構 １２０：ボールネジ １２１：可動板 １２２：モータ
１３：保持ユニット上下動機構
２：保持ユニット ２０：アーム部 ２１：保持パッド ２１０：吸着部 ２１１：枠体
２１３：保持面 ７：ゴミ箱 ７９：光センサ
５：廃棄ユニット ５０：傾斜落下部 ５０１、５０２：一対のガイドレール
５１：第１傾斜板 ５１２：第１エア噴出口
５２：第２傾斜板 ５２４：第２エア噴出口
６１、６２：水平パイプ ６３：第２エア噴出口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】