特開 2022-125388 紫外線照射機構の検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022125388

(43)【公開日】2022-08-29

(54)【発明の名称】紫外線照射機構の検査方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20220822BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 P

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021022959

(22)【出願日】2021-02-17

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100142804

【弁理士】

【氏名又は名称】大上 寛

(72)【発明者】

【氏名】ウォン カホー

【テーマコード（参考）】

5F063

【Ｆターム（参考）】

5F063AA22

5F063CA04

5F063DG34

5F063EE22

5F063EE43

5F063FF22

(57)【要約】

【課題】光源から被照射物に対し照射される紫外線の光量を確認することで、光量の低下に伴う不具合の発生を防ぐための新規な技術を提案する。
【解決手段】 被照射物を保持する保持部と、該保持部で保持された被照射物に照射する紫外光を発光する光源を有した照射ユニットと、を備えた紫外線照射機構２の検査方法であって、照射された紫外光の光量に応じて変色する感光層を表面に有した光量確認部材７０を準備する準備ステップと、該光量確認部材７０を該紫外線照射機構２の該保持部で保持する保持ステップと、該保持部で保持された該光量確認部材７０の該感光層に該照射ユニット１４で紫外光を照射する照射ステップと、該照射ステップを実施した後、該感光層の変色状態をもとに該照射ユニット１４が照射する紫外線の光量を確認する確認ステップと、を備える紫外線照射機構の検査方法とする。
【選択図】図１０

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被照射物を保持する保持部と、該保持部で保持された被照射物に照射する紫外光を発光する光源を有した照射ユニットと、を備えた紫外線照射機構の検査方法であって、
照射された紫外光の光量に応じて変色する感光層を表面に有した光量確認部材を準備する準備ステップと、
該光量確認部材を該紫外線照射機構の該保持部で保持する保持ステップと、
該保持部で保持された該光量確認部材の該感光層に該照射ユニットで紫外光を照射する照射ステップと、
該照射ステップを実施した後、該感光層の変色状態をもとに該照射ユニットが照射する紫外線の光量を確認する確認ステップと、を備える紫外線照射機構の検査方法。

【請求項2】

該照射ユニットは複数の光源を有し、
該確認ステップでは該光量確認部材の該感光層において照射された紫外線の光量が不足している領域を光量不足領域として特定し、
該確認ステップを実施した後、該光量不足領域に対応する該光源を交換する光源交換ステップを更に備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射機構の検査方法。

【請求項3】

該照射ユニットは、第１方向に伸長する同一線上に配置された複数の光源を有し、
該照射ステップでは、該第１方向に直交する第２方向に該照射ユニットが該光量確認部材に対して相対移動することで該感光層に紫外線を照射し、
該確認ステップでは該感光層において照射された紫外線の光量が不足している帯状領域を光量不足領域として特定し、
該確認ステップを実施した後、該帯状領域に対応する該光源を交換する光源交換ステップを更に備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射機構の検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物に貼着されたテープに紫外線を照射し、テープの粘着力を低下させるための紫外線照射機構に関するものであり、より詳しくは、紫外線照射機構の検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体デバイスの製造工程では、ハンドリングを容易にするためにウェーハにテープを貼着している。テープは、紫外線硬化型の糊にて粘着層が形成された所謂ＵＶテープ（粘着テープ）が用いられ、加工後のテープに紫外線を照射することで粘着層の粘着力が低下し、ウェーハを容易に剥離することができる。

【0003】

例えば、特許文献１では、半導体ウェーハ等のウェーハが貼着されたＵＶテープに紫外線を照射し、ＵＶテープの粘着力を低下せしめる紫外線照射装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００７－３２９３００号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

光源から照射される紫外線の光量は、光源の経時劣化や装置の汚れなどにより低下することが懸念される。光量が低下すると、紫外線を照射したＵＶテープにおいて、粘着力が十分に低下しない領域が発生する不具合が生じてしまう。

【0006】

この不具合が生じた状況でＵＶテープからウェーハを剥離しようとすると、ウェーハの破損を引き起こすおそれがある。さらに、ウェーハに糊が付着して残存する糊残りが生じるおそれもある。

【0007】

以上に鑑み、本願発明は、光源から被照射物に対し照射される紫外線の光量を確認することで、光量の低下に伴う不具合の発生を防ぐための新規な技術を提案するものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

【0009】

本発明の一態様によれば、被照射物を保持する保持部と、該保持部で保持された被照射物に照射する紫外光を発光する光源を有した照射ユニットと、を備えた紫外線照射機構の検査方法であって、照射された紫外光の光量に応じて変色する感光層を表面に有した光量確認部材を準備する準備ステップと、該光量確認部材を該紫外線照射機構の該保持部で保持する保持ステップと、該保持部で保持された該光量確認部材の該感光層に該照射ユニットで紫外光を照射する照射ステップと、該照射ステップを実施した後、該感光層の変色状態をもとに該照射ユニットが照射する紫外線の光量を確認する確認ステップと、を備える紫外線照射機構の検査方法とする。

【0010】

また、本発明の一態様によれば、該照射ユニットは複数の光源を有し、該確認ステップでは該光量確認部材の該感光層において照射された紫外線の光量が不足している領域を光量不足領域として特定し、該確認ステップを実施した後、該光量不足領域に対応する該光源を交換する光源交換ステップを更に備える、こととする。

【0011】

また、本発明の一態様によれば、該照射ユニットは、第１方向に伸長する同一線上に配置された複数の光源を有し、該照射ステップでは、該第１方向に直交する第２方向に該照射ユニットが該光量確認部材に対して相対移動することで該感光層に紫外線を照射し、該確認ステップでは該感光層において照射された紫外線の光量が不足している帯状領域を光量不足領域として特定し、該確認ステップを実施した後、該帯状領域に対応する該光源を交換する光源交換ステップを更に備える、こととする。

【発明の効果】

【0012】

本発明の検査方法では、照射された紫外光の光量に応じて変色する感光層を表面に有した光量確認部材に対し、紫外線照射機構で紫外線を照射し、感光層の変色に基づいて照射ユニットの光量を確認するものである。これにより、光量が不足しているか否かが視認できるため、光量不足の場合は光源を交換する等の適宜対策を取ることができ、粘着力が低下しないことによる被加工物の破損や、糊残り等の不具合発生を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】フレームユニットと紫外線照射機構の構成について示す図。

【図2】（Ａ）は紫外線照射機構の内部構成について示す側面一部断面図。（Ｂ）は照射ユニットの構成について説明する図。

【図3】保持板などを上方から見た図。

【図4】フレームユニットに紫外線を照射する様子について示す側面一部断面図。

【図5】保持板にセットされたフレームユニットなどを上側から見た図。

【図6】紫外線照射機構を備える切削装置の例について示す図。

【図7】検査方法のフローチャートである。

【図8】（Ａ）検査用ユニットの構成について示す斜視図。（Ｂ）検査用ユニットの構成について示す側面断面図。

【図9】検査用ユニットに紫外線を照射する様子について示す側面一部断面図。

【図10】検査用ユニットに紫外線を照射する様子を下側から見た図。

【発明を実施するための形態】

【0014】

図１は、フレームユニット７と紫外線照射機構２の構成について示す図である。
フレームユニット７は、被加工物１と環状のフレーム５をテープ３に貼着して構成される。被加工物１は、例えば、シリコン、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、若しくは、その他の半導体等の材料でなるウェーハ、または、サファイア、ガラス、石英等の材料からなる円板状の基板である。被加工物１の表面には、互いに交差する複数のストリートと呼ばれる分割予定ラインが設定され、分割予定ラインにより区画された各領域にそれぞれＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ）やＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ）等のデバイスが形成される。

【0015】

図１に示すように、被加工物１は分割予定ラインに沿ってダイシング加工されてチップに分割され、各チップは後にテープ３から剥離されてピックアップされ、個々のチップとして利用される。図１では、切削装置（図６）によりダイシング加工された後の被加工物１が示されている。

【0016】

図１に示すように、テープ３は、例えば、ポリオレフィン、塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート等の合成樹脂からなる基材と、基材上に紫外線硬化型の樹脂を含む粘着層と、有して構成される。粘着層は、被加工物１に対して強力な粘着力を発揮する一方で、紫外線が照射されると硬化して粘着力が低下する、所謂ＵＶテープとして構成されるものである。チップをテープ３から剥離させる際には、テープ３に紫外線を照射して粘着層の粘着力を低下させることで、各チップを容易にピックアップできる。

【0017】

図１に示すように、紫外線照射機構２は、フレームユニット７の径よりも大きな幅を有する箱型の筐体４を備える。筐体４の一側面には、筐体４の内外にフレームユニット７を移動させる経路となる搬出入口６が形成されており、フレームユニット７は、搬出入口６を経て筐体４の内部の空間に搬入される。なお、搬出入口６には、筐体４の外部と、内部の空間と、を隔てる開閉可能な扉（シャッター）が備えられてもよい。

【0018】

図２（Ａ）に示すように、筐体４の内部の空間は、フレームユニット７が搬入される第１空間４ａと、第１空間４ａの下方に位置し照射ユニット１４が配設される第２空間４ｂと、を有するように構成される。両空間は、被加工物１を保持する保持部として機能する保持板８によって上下に区画される。

【0019】

図１及び図２（Ａ）に示すように、筐体４において搬出入口６が形成された側面に隣接する一対の側面の内壁には、保持板８の縁部分を下側から支持するための支持部４ｃが対向して形成されている。

【0020】

図１、図２（Ａ）、及び図３に示すように、保持板８は、被加工物１の直径よりも大きく、かつフレーム５の内径よりも小さい内径の透過領域１０と、透過領域１０の周辺の遮蔽領域１２と、を有する。透過領域１０には、紫外線を透過する樹脂等で形成される板材１１が配設され、円形の穴状に構成される透過領域１０が板材１１により塞がれる。

【0021】

図３に示すように、フレームユニット７は、上側から見た場合に、被加工物１が透過領域１０の内側に配置されるように保持板８の上にセットされるようになっている。

【0022】

なお、保持板８は交換可能であり、被加工物１の直径やフレーム５の形状等に対応して適切な大きさの透過領域１０を有するものが使用される。

【0023】

図１及び図２（Ａ）（Ｂ）に示すように、筐体４の第２空間４ｂには、フレームユニット７に紫外線を照射する照射ユニット１４と、照射ユニット１４を移動させる移動機構１６と、照射ユニット１４を冷却する冷却機構２４と、が配設される。

【0024】

図２（Ｂ）に示すように、照射ユニット１４は、例えば、直線状に並ぶ複数の光源１４ａと、複数の光源１４ａを覆うケース３６と、を備える。複数の光源１４ａは、被加工物１の直径よりも長い範囲で直線状に配列される。ケース３６には、光源から発せられる紫外線に対して透過性を有する材料が使用される。

【0025】

光源１４ａは、紫外線を発することができるＬＥＤ（ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ）であり、特に、テープ３（図１）の粘着層を硬化させる波長の紫外線を発する機能を有する。光源１４ａは、テープ３（図１）への紫外線の照射が必要となるときに瞬時に所定の照度で紫外線を出力できるように構成される。

【0026】

図３に示すように、照射ユニット１４は、保持板８の透過領域１０の下方を往復するように移動し、透過領域１０を通過する際にテープ３の下面に対して紫外線が照射される。

【0027】

図２（Ｂ）に示すように、ケース３６の内部の光源１４ａの下方には、複数の薄板状の冷却フィン３８が配されており、複数の冷却フィン３８の間に気体を流すことで光源１４ａが冷却される。冷却フィン３８の側部には、各冷却フィン３８の間に流す気体の流路となる背部通気路４０が配設される。

【0028】

図２（Ｂ）及び図３に示すように、照射ユニット１４の下部には、照射ユニット１４を保持板８と平行を保ちつつ、光源１４ａが並ぶ方向と直交する方向に移動させる移動機構１６が配設される。移動機構１６は、移動方向に沿って伸長する一対のガイドレール１６ａと、照射ユニット１４をベルト駆動する図示せぬアクチュエータを備え、照射ユニット１４をガイドレール１６ａに沿ってスライド移動させる。

【0029】

図２（Ａ）に示すように、照射ユニット１４には、冷却機構２４が接続される。この冷却機構２４は、照射ユニット１４のケース３６の内部に窒素ガスを導入し、窒素ガスにより照射ユニット１４を冷却するものである。冷却機構２４は、窒素ガス源４４と、一端が窒素ガス源４４に接続されるパイプ状の窒素ガス導入路１８と、を有して構成される。ケース３６の内部を冷却した窒素ガスは、背部通気路４０（図２（Ｂ））、窒素ガス排出路２０を通じて第１空間４ａに排気される。

【0030】

図１に示すように、窒素ガス導入路１８と窒素ガス排出路２０は、帯状シート２２に固定される。帯状シート２２は、照射ユニット１４の移動に伴って変形し、照射ユニット１４の移動を妨げないように窒素ガス導入路１８と、窒素ガス排出路２０と、を適切に変形させる機能を有する。照射ユニット１４が移動しても、帯状シート２２により窒素ガス導入路１８及び窒素ガス排出路２０と、照射ユニット１４と、の間の接続が維持される。

【0031】

図２（Ａ）に示すように、窒素ガス排出路２０の一端は、筐体４内に設けたパイプ状の窒素ガス供給路２６の一端側に接続される。図１に示すように、窒素ガス供給路２６の他端は、照射ユニット１４の天板２８に設けた窒素ガス分配部３０に接続される。窒素ガス分配部３０は、天板２８に複数配置される窒素ガス噴出部３４と窒素ガス供給路３２を介して接続されている。

【0032】

図２（Ａ）に示すように、各窒素ガス噴出部３４は、筐体４の第１空間４ａに通じており、各窒素ガス噴出部３４から窒素ガスが供給されることで第１空間４ａを窒素雰囲気にする。

【0033】

次に、紫外線照射機構によるフレームユニット７に対する紫外線の照射について説明する。
まず、図４及び図５に示すように、搬出入口６（図１）を経て筐体４の内部にフレームユニット７を搬入し、保持板８の上にフレームユニット７を載せる。このとき、保持板８の透過領域１０と、被加工物１と、が重なるようにフレームユニット７が所定の位置に配設される。

【0034】

次に、図４及び図５に示すように、光源１４ａを点灯させながら照射ユニット１４を移動させ、透過領域１０を通して紫外線４６（図４）をテープ３に照射する。照射ユニット１４は往復移動され、透過領域１０を通じてテープ３に一様に紫外線が照射される。テープ３に紫外線が照射されると、テープ３の粘着層が硬化し、被加工物１に対する貼着力が低下し、被加工物１（チップ）をテープ３から容易に剥離できることとなる。また、粘着層を確実に硬化させることで、被加工物１側への糊残りの発生を防ぐことができる。

【0035】

なお、テープ３においてフレーム５が接着されている領域は、保持板８の遮蔽領域１２により遮られることにより、紫外線が照射されない。これにより、テープ３の外周領域における粘着力が維持され、フレーム５がテープ３から剥離し難い状態を維持することができる。

【0036】

図４に示すように、照射ユニット１４を作動させる間は、冷却機構２４により照射ユニット１４が冷却される。照射ユニット１４の冷却に使用された窒素ガスは、窒素ガス供給路２６等を通じ、窒素ガス噴出部３４から第１空間４ａ内へと供給される。第１空間４ａ内が窒素雰囲気となることで酸素濃度が低下し、テープ３の粘着層をより効果的に硬化させることができる。

【0037】

図６は、紫外線照射機構２を備える切削装置４８の例について示す図である。
切削装置４８は、フレームユニット７（図１）を保持するチャックテーブル５４を有する。チャックテーブル５４の上面は吸引保持面として構成され、テープ３を介して被加工物１（図１）を吸引保持する。

【0038】

チャックテーブル５４は、Ｘ軸方向に加工送りされるとともに、垂直方向であるＺ軸まわりに回転されるように構成される。

【0039】

装置基台４４ｃの上面の角部には、フレームユニット７（図１）を収容するカセット５２が載せられるカセット載置部５０が配設される。カセット載置部５０は図示せぬ昇降装置により昇降し、図示せぬ搬送ユニットにより所望のフレームユニット７（図１）の搬出入が行われる。

【0040】

カセット載置部５０の下部には、紫外線照射機構２が組み込まれる。紫外線照射機構２には、切削装置４８により切削加工が実施された被加工物を含むフレームユニット７（図１）が搬入される。

【0041】

加工位置に移動したチャックテーブル５４の上方には、被加工物を切削する切削ユニット５６が配設される。切削ユニット５６は、装置基台４４ｃの上面に設けた支持部６０と、支持部６０の前面に配設されたＹ軸移動機構６１と、Ｚ軸移動機構６２と、により支持される。

【0042】

切削ユニット５６には、切削ブレード５６ａが設けられる。切削加工時には、まず、切削ブレード５６ａを回転させるとともに、切削ユニット５６を所定の高さ位置に位置づける。そして、切削液を切削ブレード５６ａに供給しつつ、チャックテーブル５４を移動させ切削ブレード５６ａを被加工物に切り込ませることで、被加工物が切削される。

【0043】

装置基台４４ｃの上面には、切削後の被加工物を洗浄するための洗浄装置６４が配設されている。切削後の被加工物を含むフレームユニット７（図１）は、図示せぬ搬送ユニットにより洗浄装置６４に搬送され、被加工物が洗浄される。

【0044】

洗浄装置６４による洗浄を実施した後、フレームユニット７（図１）は図示せぬ搬送ユニットにより紫外線照射機構２に搬送される。そして、図４に示すように、紫外線照射機構２によりフレームユニット７に紫外線を照射することでテープ３の粘着層を硬化させる。その後、図示せぬ搬送ユニットによりフレームユニット７を紫外線照射機構２から搬出した後、カセット５２を下降させてカセット５２の所定の位置に搬入する。

【0045】

次に、紫外線照射機構の光源の検査方法について、図７に示す検査方法のフローチャートの順に説明する。

【0046】

＜準備ステップ＞
図８（Ａ）（Ｂ）に示すように、照射された紫外光の光量に応じて変色する感光層７２を表面に有した光量確認部材７０を準備するステップである。

【0047】

光量確認部材７０は、本実施例では、基材７４の一側表面上に感光層７２を積層してなる板状部材にて構成される。基材７４は、例えば、紫外線を透過しない遮光部材にて構成し、遮光層を形成する。感光層７２は、例えば、紫外線照射によって発色する発色剤が充填されたマイクロカプセルを含む塗料を塗布することで形成される。

【0048】

光量確認部材７０は、感光層７２が露出するように基材７４側がテープ８１に貼着される。光量確認部材７０を取り囲むように環状のフレーム８２がテープ８１に貼着される。このようにして、光量確認部材７０と、テープ８１と、フレーム８２と、を一体化した検査用ユニット８０が構成される。

【0049】

なお、光量確認部材７０の具体的な構成は上記構成に限定されるものではなく、例えば、基材７４の両面に感光層７２を構成することや、基材７２を省略してテープに感光層７２が直接形成されることとしてもよい。また、検査用ユニット８０のテープ８１と、フレーム８２は、図１に示すフレームユニット７のテープ３と、フレーム５と同じものを利用することができる。なお、検査用ユニット８０のテープ８１については、紫外線硬化型の糊を使用したものの他、感圧式の糊を使用したものでもよい。

【0050】

また、本実施例では、光量確認部材７０は円板状に構成され、直径が保持板８の透過領域１０（図１）の直径よりも小さく構成され、透過領域１０を通じて感光層７２の全面に紫外線が照射されるものである。

【0051】

＜保持ステップ＞
図９に示すように、光量確認部材７０を紫外線照射機構２の保持部（保持板８）で保持するステップである。

【0052】

図９に示すように、検査用ユニット８０の感光層７２を下側にするとともに、透過領域１０の内側に感光層７２が位置するように、検査用ユニット８０を保持板８に設置する。

【0053】

＜照射ステップ＞
図９及び図１０に示すように、保持部（保持板８）で保持された光量確認部材７０の感光層７２に照射ユニット１４で紫外光を照射するステップである。

【0054】

照射ユニット１４による紫外線４６の照射は、図４及び図５に示す被加工物１への紫外線の照射と同様に行われる。図１０に示すように、照射ユニット１４は、第１方向Ｄ１に伸長する同一線上に配置された複数の光源１４ａを有し、照射ステップでは、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２に照射ユニットが光量確認部材７０に対して相対移動することで感光層７２に紫外線が照射される。図１０は、検査用ユニット８０を下側から見た図であり、感光層７２が紫外線により濃い色に発色した様子を示している。

【0055】

なお、本実施例の照射ユニット１４では、第１方向Ｄ１に伸長する同一線上に配置された複数の光源１４ａを有するものとし、照射ユニット１４を第２方向Ｄ２に走査させるように移動させることとしたが、このような走査型の照射ユニットとする他、同一面に複数の光源を配置する面状の固定型の照射ユニットにより紫外線を照射することとしてもよい。

【0056】

＜確認ステップ＞
照射ステップを実施した後、感光層７２の変色状態をもとに照射ユニット１４が照射する紫外線の光量を確認するステップである。

【0057】

図１０では、感光層７２の領域Ａ及び領域Ｅにおいて発色が濃く、領域Ｂ乃至Ｄにおいて発色が薄い状況が示している。このことは、領域Ａ及び領域Ｅに照射された紫外線の光量が多く、領域Ｂ乃至Ｄに照射された紫外線の光量が多いことを示している。

【0058】

作業者は、照射ステップを実施した後、検査用ユニット８０を取り出し、発色が薄い領域、即ち、紫外線の光量が少ない領域Ｂ乃至領域Ｄを特定する。

【0059】

＜光源交換ステップ＞
図１０に示すように、光量確認部材７０の感光層７２において照射された紫外線の光量が不足している領域Ｂ乃至領域Ｄを光量不足領域として特定し、光量不足領域に対応する光源１４ｂ～１４ｄを交換するステップである。

【0060】

光源交換の際には、紫外線の光量が少ない領域Ｂ乃至領域Ｄが特定されているため、交換が必要となる光源１４ｂ～１４ｄのみを交換することができる。これにより、すべての光源を交換する必要がなく、正常に機能する光源を寿命に至るまで有効に活用することができ、また、交換作業を短時間で行うことが可能となる。

【0061】

なお、光源の経時劣化による光量不足の他、光源の汚れによる光量不足が懸念される場合には、光源１４ｂ～１４ｄの箇所をクリーニングした後、再度紫外線を照射し直して確認ステップを実行することとしてもよい。

【0062】

以上のように、本発明の検索方法では、照射された紫外光の光量に応じて変色する感光層を表面に有した光量確認部材に対し、紫外線照射機構で紫外線を照射し、感光層の変色に基づいて照射ユニットの光量を確認するものである。これにより、光量が不足しているか否かが視認できるため、光量不足の場合は光源を交換する等の適宜対策を取ることができ、粘着力が低下しないことによる被加工物の破損や、糊残り等の不具合発生を防止できる。

【符号の説明】

【0063】

１ 被加工物
２ 紫外線照射機構
３ テープ
４ 筐体
４ａ 第１空間
４ｂ 第２空間
４ｃ 支持部
５ フレーム
７ フレームユニット
８ 保持板
１０ 透過領域
１２ 遮蔽領域
１４ 照射ユニット
１４ａ 光源
１６ 移動機構
６０ 支持部
６１ 軸移動機構
６２ 軸移動機構
６４ 洗浄装置
７０ 光量確認部材
７２ 感光層
７４ 基材
８０ 検査用ユニット
８１ テープ
８２ フレーム

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】