特開 2022-126979 真空ポンプおよび真空ポンプの組み立て方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022126979

(43)【公開日】2022-08-31

(54)【発明の名称】真空ポンプおよび真空ポンプの組み立て方法

(51)【国際特許分類】

   F04C 25/02 20060101AFI20220824BHJP

   F04C 19/00 20060101ALI20220824BHJP

【ＦＩ】

F04C25/02 P

F04C19/00 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】10

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021024869

(22)【出願日】2021-02-19

(71)【出願人】

【識別番号】000000239

【氏名又は名称】株式会社荏原製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100118500

【弁理士】

【氏名又は名称】廣澤 哲也

(74)【代理人】

【識別番号】100091498

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邉 勇

(74)【代理人】

【識別番号】100174089

【弁理士】

【氏名又は名称】郷戸 学

(74)【代理人】

【識別番号】100186749

【弁理士】

【氏名又は名称】金沢 充博

(72)【発明者】

【氏名】松村 圭祐

【テーマコード（参考）】

3H129

【Ｆターム（参考）】

3H129AA07

3H129AA15

3H129AB06

3H129AB11

3H129BB32

3H129BB33

3H129BB43

3H129CC03

3H129CC04

3H129CC19

3H129CC38

(57)【要約】

【課題】羽根車とケーシングとの間の隙間の調整作業を容易に、かつ短時間で行うことができる真空ポンプが提供される。
【解決手段】ケーシング１と、羽根車２と、を備える真空ポンプＶＰが提供される。ケーシング１は、隣接ケーシングと羽根車２との間の隙間を調整する調整シムが装着可能な隙間調整部位を備えている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ケーシングと、
前記ケーシング内に収容される少なくとも１つの羽根車と、を備え、
前記ケーシングは、
排気ケーシングと、
前記排気ケーシングに隣接して配置された隣接ケーシングと、を備えており、
前記ケーシングは、前記隣接ケーシングと前記隣接ケーシングに隣接する前記羽根車との間の隙間を調整する調整シムが装着可能な隙間調整部位を備えている、真空ポンプ。

【請求項2】

前記隙間調整部位は、前記排気ケーシングと前記隣接ケーシングとの間の、前記ケーシングの合わせ面に形成されている、請求項１に記載の真空ポンプ。

【請求項3】

前記隣接ケーシングは、吸気ケーシングおよび前記吸気ケーシングと前記排気ケーシングとの間に配置された中間ケーシングのうちのいずれかである、請求項１または請求項２に記載の真空ポンプ。

【請求項4】

前記調整シムは、前記羽根車が固定された回転軸と同心状に配置された環状形状を有している、請求項１～請求項３のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項5】

前記調整シムは、金属から構成されている、請求項１～請求項４のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項6】

前記隙間調整部位は、前記ケーシングに封入される液体の漏洩を防止するシール部材の外側に配置されている、請求項１～請求項５のいずれか一項に記載の真空ポンプ。

【請求項7】

排気ケーシングおよび前記排気ケーシングに隣接して配置された隣接ケーシングを備えるケーシングと、前記ケーシング内に収容される少なくとも１つの羽根車と、を備えた真空ポンプの組み立て方法において、
前記ケーシングの隙間調整部位に調整シムを装着して、前記隣接ケーシングと前記隣接ケーシングに隣接する前記羽根車との間に隙間を形成する、方法。

【請求項8】

前記隙間調整部位は、前記排気ケーシングと前記隣接ケーシングとの間の、前記ケーシングの合わせ面に形成されている、請求項７に記載の方法。

【請求項9】

前記隣接ケーシングは、吸気ケーシングおよび前記吸気ケーシングと前記排気ケーシングとの間に配置された中間ケーシングのうちのいずれかである、請求項７または請求項８に記載の方法。

【請求項10】

前記真空ポンプは、前記調整シムとして、第１調整シムおよび第２調整シムと、前記隙間調整部位として、前記排気ケーシングに形成された第１隙間調整部位および前記排気ケーシングと前記隣接ケーシングとの間に形成された第２隙間調整部位と、を備えており、
前記第１隙間調整部位に前記第１調整シムを装着し、前記羽根車が回転軸に固定された状態で、前記羽根車をアキシャル荷重が作用する方向に引っ張り、
前記羽根車と前記排気ケーシングとの間に形成される第１隙間の初期値に基づいて、前記第１隙間の大きさを決定し、
前記第２調整シムを前記第２隙間調整部位に装着し、前記第１隙間の大きさに基づいて、前記隣接ケーシングと前記羽根車との間の第２隙間の大きさを決定する、請求項７～請求項９のいずれか一項に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空ポンプおよび真空ポンプの組み立て方法に関する。

【背景技術】

【0002】

真空ポンプは、羽根車と、羽根車を収容するケーシングと、を備えている。このような真空ポンプでは、その機能を十分に発揮するために、羽根車とケーシングとの間の隙間は、所定の（より具体的には、微小な）大きさを有する。この隙間は、羽根車の側端面と、この側端面に対向するケーシングの側壁と、の間に形成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１８－１３８７７８号公報

【特許文献2】実開平５－０１９５８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

作業者は、真空ポンプの組み立て時において、羽根車とケーシングとの間の隙間が所定の大きさになるように、この隙間を調整する。しかしながら、ケーシングは羽根車を覆う構造を有しているため、作業者は、このような調整作業のすべてを目視で確認しながら行うことができない。したがって、隙間が所定の大きさを有しているか否かを、真空ポンプの性能評価試験を実行して、確認しなければならない。

【0005】

仮に、隙間が所定の大きさを有していない場合、作業者は、真空ポンプを分解し、再度、組み立てる必要がある。このような分解および組み立て作業は、真空ポンプが性能評価試験をパスするまで繰り返される。このように、隙間の調整作業は、非常に煩雑であり、多大な時間を要するおそれがある。

【0006】

そこで、本発明は、羽根車とケーシングとの間の隙間の調整作業を容易に、かつ短時間で行うことができる真空ポンプおよび真空ポンプの組み立て方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

一態様では、ケーシングと、前記ケーシング内に収容される少なくとも１つの羽根車と、を備える真空ポンプが提供される。前記ケーシングは、排気ケーシングと、前記排気ケーシングに隣接して配置された隣接ケーシングと、を備えており、前記ケーシングは、前記隣接ケーシングと前記隣接ケーシングに隣接する前記羽根車との間の隙間を調整する調整シムが装着可能な隙間調整部位を備えている。

【0008】

一態様では、前記隙間調整部位は、前記排気ケーシングと前記隣接ケーシングとの間の、前記ケーシングの合わせ面に形成されている。
一態様では、前記隣接ケーシングは、吸気ケーシングおよび前記吸気ケーシングと前記排気ケーシングとの間に配置された中間ケーシングのうちのいずれかである。
一態様では、前記調整シムは、前記羽根車が固定された回転軸と同心状に配置された環状形状を有している。

【0009】

一態様では、前記調整シムは、金属から構成されている。
一態様では、前記隙間調整部位は、前記ケーシングに封入される液体の漏洩を防止するシール部材の外側に配置されている。

【0010】

一態様では、排気ケーシングおよび前記排気ケーシングに隣接して配置された隣接ケーシングを備えるケーシングと、前記ケーシング内に収容される少なくとも１つの羽根車と、を備えた真空ポンプの組み立て方法が提供される。方法は、前記ケーシングの隙間調整部位に調整シムを装着して、前記隣接ケーシングと前記隣接ケーシングに隣接する前記羽根車との間に隙間を形成する。

【0011】

一態様では、前記隙間調整部位は、前記排気ケーシングと前記隣接ケーシングとの間の、前記ケーシングの合わせ面に形成されている。
一態様では、前記隣接ケーシングは、吸気ケーシングおよび前記吸気ケーシングと前記排気ケーシングとの間に配置された中間ケーシングのうちのいずれかである。
一態様では、前記真空ポンプは、前記調整シムとして、第１調整シムおよび第２調整シムと、前記隙間調整部位として、前記排気ケーシングに形成された第１隙間調整部位および前記排気ケーシングと前記隣接ケーシングとの間に形成された第２隙間調整部位と、を備えており、前記第１隙間調整部位に前記第１調整シムを装着し、前記羽根車が回転軸に固定された状態で、前記羽根車をアキシャル荷重が作用する方向に引っ張り、前記羽根車と前記排気ケーシングとの間に形成される第１隙間の初期値に基づいて、前記第１隙間の大きさを決定し、前記第２調整シムを前記第２隙間調整部位に装着し、前記第１隙間の大きさに基づいて、前記隣接ケーシングと前記羽根車との間の第２隙間の大きさを決定する。

【発明の効果】

【0012】

作業者は、調整シムを隙間調整部位に装着することにより、容易に、かつ短時間で隙間の調整作業を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】真空ポンプを備えたポンプ装置の一実施形態を示す図である。

【図2】ケーシングと羽根車との間に形成された隙間を示す図である。

【図3】隙間を調整するための調整シムを示す図である。

【図4】複数の調整シムを示す斜視図である。

【図5】真空ポンプの組み立て手順を示す図である。

【図6】中間ケーシングと羽根車との間の隙間を調整する隙間調整部位を示す図である。

【図7】図６の部分拡大図である。

【図8】隙間の大きさを調整する手順を示す図である。

【図9】吸気ケーシングと第１羽根車との間の隙間を調整する調整シムが装着可能な隙間調整部位を示す図である。

【図10】真空ポンプの他の実施形態を示す図である。

【図11】図１０の部分拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、真空ポンプの一実施形態について、図面を参照して説明する。以下の実施形態において、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。

【0015】

図１は、真空ポンプを備えたポンプ装置の一実施形態を示す図である。図１に示すように、ポンプ装置ＰＡは、真空ポンプＶＰと、モータＭＴと、を備えている。図１に示す実施形態では、真空ポンプＶＰは、液封式真空ポンプであるが、真空ポンプＶＰの構造は、液封式真空ポンプには限定されない。

【0016】

真空ポンプＶＰは、液体（水など）を内部に封入するケーシング１と、ケーシング１内に収容される少なくとも１つの羽根車２と、を備えている。本実施形態では、真空ポンプＶＰは、２つの羽根車２（すなわち、第１羽根車２Ａおよび第２羽根車２Ｂ）を備えた多段ポンプ（より具体的には、２段）である。以下、本明細書において、第１羽根車２Ａおよび第２羽根車２Ｂを区別せずに、単に羽根車２と呼ぶことがある。

【0017】

図１に示す実施形態では、ケーシング１は、気体（例えば、空気）を吸入する吸気口８が形成された吸気ケーシング１０と、吸気ケーシング１０に吸入された気体を排気する排気口９が形成された排気ケーシング１２と、第１羽根車２Ａおよび第２羽根車２Ｂを区画する中間ケーシング１１と、を備えている。

【0018】

本実施形態では、中間ケーシング１１は、排気ケーシング１２に隣接する隣接ケーシングである。中間ケーシング１１は、吸気ケーシング１０と排気ケーシング１２との間に配置されており、第１羽根車２Ａおよび第２羽根車２Ｂを区画する区画壁１５を有している。

【0019】

第１羽根車２Ａおよび第２羽根車２Ｂは、ケーシング１（より具体的には、中間ケーシング１１）の中心に対して偏心した状態で、モータＭＴの回転軸３に固定されている。回転軸３と排気ケーシング１２との間には、軸封装置１６が配置されている。軸封装置１６は、中間ケーシング１１に封入された液体（すなわち、封入液）の漏洩を防止する。

【0020】

モータＭＴが駆動すると、羽根車２は回転軸３とともに回転する。羽根車２が回転すると、中間ケーシング１１内の封入液には遠心力が作用し、中間ケーシング１１は、封入液による環状の液膜を中間ケーシング１１の内周壁１１ａに形成する。このように、真空ポンプＶＰは、環状の液膜と羽根車２との間に形成された空間の容積変化を利用して、気体を移送するように構成されている。

【0021】

図２は、ケーシングと羽根車との間に形成された隙間を示す図である。真空ポンプＶＰの組み立て時において、羽根車２とケーシング１との間には、所定の大きさの隙間を形成する必要がある。

【0022】

図２に示す実施形態では、排気ケーシング１２の側壁１２ａと第２羽根車２Ｂの側端面２Ｂａとの間には、所定の大きさを有する隙間Ｓ１が形成されている。中間ケーシング１１の区画壁１５の側壁１５ａと第２羽根車２Ｂの側端面２Ｂｂとの間には、所定の大きさを有する隙間Ｓ２が形成されている。隙間Ｓ１および隙間Ｓ２のそれぞれは、微小な大きさを有しているが、図２では、図面を見やすくするために、隙間Ｓ１および隙間Ｓ２の大きさは誇張して描かれている。

【0023】

図３は、隙間を調整するための調整シムを示す図である。図３に示すように、真空ポンプＶＰは、排気ケーシング１２と排気ケーシング１２に隣接する第２羽根車２Ｂとの間の隙間Ｓ１を調整する調整シム２０を備えている。調整シム２０は、回転軸３と同心状に配置された環状形状を有しており、例えば、金属から構成されている。

【0024】

図３に示すように、ケーシング１（より具体的には、排気ケーシング１２）は、調整シム２０が装着可能な隙間調整部位（より具体的には、排気側隙間調整部位）２２を備えている。調整シム２０は、隙間調整部位２２と第２羽根車２Ｂとの間に配置されており、第２羽根車２Ｂは、調整シム２０に密着している。調整シム２０の厚さ（すなわち、回転軸３の軸線ＣＬ方向の大きさ）は、隙間Ｓ１に相当する。したがって、作業者は、異なる厚さを有する調整シム２０を隙間調整部位２２に装着することにより、隙間Ｓ１の大きさを任意に決定することができる。

【0025】

図４は、複数の調整シムを示す斜視図である。図４に示すように、作業者は、複数の調整シム２０を重ねて配置することにより、隙間Ｓ１の大きさを決定してもよい。このように、作業者は、任意の大きさおよび／または任意の枚数の調整シム２０を隙間調整部位２２に装着してもよい。

【0026】

図５は、真空ポンプの組み立て手順を示す図である。図５に示すように、真空ポンプＶＰの組み立て時において、作業者は、排気ケーシング１２が回転軸３に取り付けられた状態で、調整シム２０を隙間調整部位２２に装着する（ステップＳ１０１参照）。その後、作業者は、第２羽根車２Ｂを回転軸３に取り付ける（ステップＳ１０２参照）。このとき、排気ケーシング１２の側壁１２ａと第２羽根車２Ｂとの間の隙間Ｓ１は、露出しているため、作業者は、隙間Ｓ１の大きさを目視で確認しつつ、隙間Ｓ１の大きさを調整することができる。

【0027】

図５のステップＳ１０２を実行した後、作業者は、中間ケーシング１１を回転軸３に取り付けて、中間ケーシング１１の区画壁１５と第２羽根車２Ｂとの間の隙間Ｓ２を調整する。しかしながら、中間ケーシング１１の取り付け時において、中間ケーシング１１の区画壁１５と第２羽根車２Ｂとの間の隙間Ｓ２は露出していないため、作業者は、隙間Ｓ２の大きさを目視で確認することはできない。

【0028】

従来では、作業者は、隙間Ｓ２の大きさを推定的に決定して、真空ポンプＶＰの組み立て後に、真空ポンプＶＰの性能評価試験を実行して、隙間Ｓ２（および隙間Ｓ１）の大きさが適切か否かを確認しなければならい。しかしながら、隙間Ｓ２（および隙間Ｓ１）の大きさが適切でない場合、作業者は、真空ポンプＶＰを分解し、再度、組み立てなければならない。このような作業は非常に煩雑であり、かつ多大な時間を要する。さらに、真空ポンプＶＰが性能評価試験をパスするまで、作業者は、このような分解および組み立て作業を繰り返さなければならない。

【0029】

図６は、中間ケーシングと羽根車との間の隙間を調整する隙間調整部位を示す図である。本実施形態では、隙間Ｓ２の調整作業を容易に、かつ短時間で行うために、ケーシング１は、中間ケーシング１１と第２羽根車２Ｂとの間の隙間Ｓ２を調整する調整シム２５が装着可能な隙間調整部位（より具体的には、中間側隙間調整部位）２６を備えている。

【0030】

図７は、図６の部分拡大図である。図７に示すように、隙間調整部位２６は、排気ケーシング１２と中間ケーシング１１との間の、ケーシング１の合わせ面に形成されている。より具体的には、隙間調整部位２６は、中間ケーシング１１の、排気ケーシング１２に対向する対向面３０と、排気ケーシング１２の、中間ケーシング１１に対向する対向面３１と、に形成されている。

【0031】

調整シム２５は、中間ケーシング１１の対向面３０と排気ケーシング１２の対向面３１との間に配置されており、調整シム２０と同様に、回転軸３と同心状に配置された環状形状を有している。調整シム２５は、例えば、金属から構成されている。

【0032】

図７に示すように、真空ポンプＶＰは、封入液の漏洩を防止するシール部材３５を備えている。シール部材３５は、例えば、Ｏリングである。隙間調整部位２６（および調整シム２５）は、シール部材３５の外側に配置されている。このような配置により、調整シム２５は、シール部材３５の機能を阻害しない。したがって、シール部材３５は、その機能を十分に発揮することができ、封入液の漏洩をより確実に防止することができる。

【0033】

調整シム２５の厚さ（すなわち、回転軸３の軸線ＣＬ方向の大きさ）は、隙間Ｓ２に相当する。したがって、作業者は、異なる厚さおよび／または任意の枚数の調整シム２５を隙間調整部位２６に装着することにより、隙間Ｓ２の大きさを任意に決定することができる。

【0034】

本実施形態によれば、作業者は、調整シム２５を隙間調整部位２６に装着するだけの簡単な方法により、隙間Ｓ２の大きさを決定することができる。結果として、作業者は、容易に、かつ短時間で真空ポンプＶＰの組み立て作業を行うことができる。

【0035】

本実施形態では、ケーシング１は、隙間Ｓ１の大きさを決定するための排気側隙間調整部位２２と、隙間Ｓ２の大きさを決定するための中間側隙間調整部位２６と、を備えている。したがって、作業者は、調整シム２０および調整シム２５のそれぞれの大きさおよび／または枚数に応じて、羽根車２Ｂの両側の隙間Ｓ１および隙間Ｓ２の大きさを独立して調整することができる。

【0036】

図５に戻り、作業者は、ステップＳ１０２を実行した後、調整シム２５を中間側隙間調整部位２６に装着する（ステップＳ１０３参照）。その後、作業者は、中間ケーシング１１を回転軸３に取り付け（ステップＳ１０４参照）、第１羽根車２Ａを回転軸３に取り付ける（ステップＳ１０５参照）。その後、作業者は、吸気ケーシング１０を中間ケーシング１１に取り付ける（ステップＳ１０６参照）。このように、作業者は、図５のステップＳ１０１～ステップＳ１０６を実行することにより、真空ポンプＶＰを組み立てることができる。

【0037】

隙間Ｓ１および隙間Ｓ２の大きさは、真空ポンプＶＰの性能（例えば、排気速度、目標到達圧力など）および軸動力に基づいて、決定される。例えば、隙間Ｓ１および隙間Ｓ２が大きい場合、真空ポンプＶＰの性能は低下し、軸動力は低下する。その一方で、隙間Ｓ１および隙間Ｓ２が小さい場合、真空ポンプＶＰの性能は増加し、軸動力は増加する。隙間Ｓ１と隙間Ｓ２とのバランスも真空ポンプＶＰの性能および軸動力を決定する上で重要な要素である。例えば、隙間Ｓ１の大きさと隙間Ｓ２の大きさが異なる場合、真空ポンプＶＰの性能は低下（または増加）し、軸動力は増加（または低下）する。

【0038】

このように、隙間Ｓ１および隙間Ｓ２の大きさは、真空ポンプＶＰの性能および軸動力を決定する上で、非常に重要な要素である。本実施形態では、作業者は、調整シム２０および調整シム２５のそれぞれを変更することにより、真空ポンプＶＰの性能および軸動力を、ポンプ装置ＰＡの設置環境に応じて、容易に変更することができる。以下、隙間Ｓ１および隙間Ｓ２の大きさを調整する手順の一例について、図面を参照して説明する。

【0039】

図８は、隙間の大きさを調整する手順を示す図である。まず、作業者は、調整シム２０を排気ケーシング１２の排気側隙間調整部位２２に装着する（ステップＳ２０１参照）。その後、作業者は、第１羽根車２Ａおよび第２羽根車２Ｂを回転軸３に取り付ける（ステップＳ２０２参照）。作業者は、第１羽根車２Ａおよび第２羽根車２Ｂを回転軸３に固定した状態で、作業者は、第１羽根車２Ａおよび第２羽根車２Ｂをアキシャル荷重が作用する方向（すなわち、モータＭＴから離間する方向）に引っ張る（ステップＳ２０３参照）。

【0040】

この状態で、作業者は、第２羽根車２Ｂと排気ケーシング１２との間に形成される隙間Ｓ１の初期値を測定し、この初期値に基づいて、隙間Ｓ１の大きさを調整する（ステップＳ２０４参照）。その後、作業者は、第１羽根車２Ａを取り外し、中間ケーシング１１を排気ケーシング１２に取り付ける（ステップＳ２０５参照）。このとき、作業者は、調整シム２５を中間側隙間調整部位２６に装着し、隙間Ｓ１の大きさに基づいて、隙間Ｓ２の大きさを調整する（ステップＳ２０６参照）。

【0041】

図９は、吸気ケーシングと第１羽根車との間の隙間を調整する調整シムが装着可能な隙間調整部位を示す図である。図９に示すように、真空ポンプＶＰは、吸気ケーシング１０と中間ケーシング１１との間に配置された調整シム４０を備えてもよい。図９に示すように、調整シム４０は、吸気ケーシング１０の側壁１０ａと第１羽根車２Ａの側端面２Ａａとの間の隙間Ｓ３を調整するように構成されている。調整シム４０の厚さは、隙間Ｓ３の大きさに相当する。

【0042】

ケーシング１は、吸気ケーシング１０と第１羽根車２Ａとの間の隙間Ｓ３を調整する調整シム４０が装着可能な隙間調整部位（より具体的には、吸気側隙間調整部位）４１を備えている。隙間調整部位４１は、吸気ケーシング１０と中間ケーシング１１との間の、ケーシング１の合わせ面に形成されている。より具体的には、隙間調整部位４１は、吸気ケーシング１０の、中間ケーシング１１に対向する対向面４２と、中間ケーシング１１の、吸気ケーシング１０に対向する対向面４３と、に形成されている。

【0043】

調整シム４０は、吸気ケーシング１０の対向面４２と中間ケーシング１１の対向面４３との間に配置されており、調整シム２０および調整シム２５と同様に、回転軸３と同心状に配置された環状形状を有している。調整シム４０は、例えば、金属から構成されている。

【0044】

図９に示すように、真空ポンプＶＰは、封入液の漏洩を防止するシール部材４５を備えている。シール部材４５は、例えば、Ｏリングである。隙間調整部位４１（および調整シム４０）は、シール部材４５の外側に配置されている。このような配置により、シール部材４５は、その機能を十分に発揮することができ、封入液の漏洩をより確実に防止することができる。

【0045】

図１０は、真空ポンプの他の実施形態を示す図である。特に説明しない本実施形態の構成は、上述した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。図１０に示すように、真空ポンプＶＰは、中間ケーシング１１を備えていない単段ポンプであってもよい。図１０に示す実施形態では、吸気ケーシング１０は、排気ケーシング１２に隣接する隣接ケーシングである。図１０に示す実施形態では、真空ポンプＶＰは、吸気ケーシング１０と排気ケーシング１２との間に配置された単一の羽根車２を備えている。

【0046】

上述した実施形態と同様に、作業者は、調整シム２０を隙間調整部位（より具体的には、排気側隙間調整部位）２２に装着することにより、排気ケーシング１２の側壁１２ａと羽根車２の側端面２ａとの間に所定の大きさを有する隙間Ｓ４を形成することができる。

【0047】

図１１は、図１０の部分拡大図である。図１１に示すように、ケーシング１は、吸気ケーシング１０と羽根車２との間の隙間を調整する調整シム５０が装着可能な隙間調整部位（より具体的には、吸気側隙間調整部位）５１を備えている。隙間調整部位５１は、吸気ケーシング１０と排気ケーシング１２との間の、ケーシング１の合わせ面に形成されている。より具体的には、隙間調整部位５１は、吸気ケーシング１０の、排気ケーシング１２に対向する対向面５２と、排気ケーシング１２の、吸気ケーシング１０に対向する対向面５３と、に形成されている。

【0048】

作業者は、調整シム５０を隙間調整部位５１に装着することにより、吸気ケーシング１０の側壁１０ａと羽根車２の側端面２ｂとの間に所定の大きさを有する隙間Ｓ５を形成することができる。

【0049】

調整シム５０は、吸気ケーシング１０の対向面５２と排気ケーシング１２の対向面５３との間に配置されており、調整シム２０，２５，４０と同様に、回転軸３と同心状に配置された環状形状を有している。調整シム５０は、例えば、金属から構成されている。

【0050】

図１１に示すように、真空ポンプＶＰは、封入液の漏洩を防止するシール部材５５を備えている。シール部材５５は、例えば、Ｏリングである。隙間調整部位５１（および調整シム５０）は、シール部材５５の外側に配置されている。このような配置により、シール部材５５は、その機能を十分に発揮することができ、封入液の漏洩をより確実に防止することができる。

【0051】

これまで本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術思想の範囲内において、種々の異なる形態で実施されてよいことは勿論である。

【符号の説明】

【0052】

１ ケーシング
２ 羽根車
２ａ 側端面
２ｂ 側端面
２Ａ 第１羽根車
２Ａａ 側端面
２Ｂ 第２羽根車
２Ｂａ 側端面
２Ｂｂ 側端面
３ 回転軸
８ 吸気口
９ 排気口
１０ 吸気ケーシング
１０ａ 側壁
１１ 中間ケーシング
１１ａ 内周壁
１２ 排気ケーシング
１２ａ 側壁
１５ 区画壁
１５ａ 側壁
１６ 軸封装置
２０ 調整シム
２２ 隙間調整部位（排気側隙間調整部位）
２５ 調整シム
２６ 隙間調整部位（中間側隙間調整部位）
３０ 対向面
３１ 対向面
３５ シール部材
４０ 調整シム
４１ 隙間調整部位（吸気側隙間調整部位）
４２ 対向面
４３ 対向面
４５ シール部材
５０ 調整シム
５１ 隙間調整部位（吸気側隙間調整部位）
５２ 対向面
５３ 対向面
５５ シール部材
ＰＡ ポンプ装置
ＶＰ 真空ポンプ
ＭＴ モータ
Ｓ１ 隙間
Ｓ２ 隙間
Ｓ３ 隙間
Ｓ４ 隙間
Ｓ５ 隙間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】