特開 2022-129009 拡張装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022129009

(43)【公開日】2022-09-05

(54)【発明の名称】拡張装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20220829BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 M

H01L21/78 X

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021027530

(22)【出願日】2021-02-24

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】里 百合子

(72)【発明者】

【氏名】服部 篤

【テーマコード（参考）】

5F063

【Ｆターム（参考）】

5F063AA15

5F063AA31

5F063BA33

5F063BA43

5F063BA45

5F063BA47

5F063BA48

5F063DD27

5F063DD68

5F063DD93

5F063DG21

5F063EE42

(57)【要約】

【課題】エキスパンドシートの加熱により発生するガスによるデバイスの不良の恐れを低減できる拡張装置を提供すること。
【解決手段】拡張装置１は、フレームユニット１１０の環状フレーム１０６を固定するフレーム固定部１０と、エキスパンドシート１０５の環状領域１０８を拡張するシート拡張ユニット２０と、拡張されたエキスパンドシート１０５の環状領域１０８を加熱して収縮させる加熱ユニット４０と、エキスパンドシート１０５の拡張後の被加工物１００を覆う凹状の空間５１を内側に備える蓋体５０と、被加工物１００を覆う蓋体５０の縁５２をエキスパンドシート１０５の環状領域１０８に接触させ被加工物１００を外部空間から遮蔽する遮蔽位置と被加工物１００が蓋体５０から露出する開放位置とに蓋体５０を進退させる進退部３０と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

分割予定ラインを備える被加工物が環状フレームの開口にエキスパンドシートで支持されたフレームユニットの該エキスパンドシートを拡張する拡張装置であって、
該フレームユニットの該環状フレームを固定するフレーム固定部と、
該被加工物の外周と該環状フレームの内周との間の該エキスパンドシートの環状領域を、被加工物と直交する方向に押圧して該エキスパンドシートを拡張するシート拡張ユニットと、
拡張された該エキスパンドシートの該環状領域を加熱して収縮させる加熱ユニットと、
拡張後の該被加工物を覆う凹状の空間を内側に備える蓋体と、
該被加工物を覆う該蓋体の縁を該エキスパンドシートの該環状領域に接触させ該被加工物を外部空間から遮蔽する遮蔽位置と、該被加工物が該蓋体から露出する開放位置とに該蓋体を進退させる進退部と、を備え、
該遮蔽位置に位置付けられた該蓋体で、該エキスパンドシートの加熱で発生するガスから該被加工物を遮蔽することを特徴とする拡張装置。

【請求項2】

該進退部には該加熱ユニットが固定され、該加熱ユニットを該環状領域の周方向に沿って回動するように進退部は回転し、該進退部に固定されている該蓋体は回転する該進退部と独立して停止可能に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の拡張装置。

【請求項3】

該エキスパンドシートから発生したガスを排気する排気ユニットを備える請求項１または２に記載の拡張装置。

【請求項4】

該蓋体の種類を検出するセンサと、
該被加工物のサイズまたは該蓋体の種類を登録する加工条件記憶部と、
該加工条件記憶部に記憶された被加工物のサイズまたは該蓋体の種類と該センサが検出した該蓋体の種類とが対応するか否かを判定する判定部と、
該判定部の判定結果を報知する報知部と、
をさらに備える請求項１、２または３に記載の拡張装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、拡張装置に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、デバイスが表面に形成された被加工物（ウエーハ）にレーザー光線を照射し、分割予定ラインに沿って内部に改質層を形成し、被加工物が貼着されたエキスパンドシート（ダイシングテープ）を拡張することで改質層を破断基点に個々のチップに分割する加工方法が知られている。

【0003】

この種の加工方法は、ウエーハの外周のエキスパンドシートを拡張するため、拡張後にエキスパンドシートが弛み、徐々に拡張したチップ間隔が狭くなり、搬送時にエキスパンドシートが揺れチップ同士の擦れによる欠けの原因となる。そこで、拡張して弛んだエキスパンドシートを加熱して収縮させる加工技術と分割装置が開発されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第５７９１８６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

拡張して弛んだエキスパンドシートを加熱して収縮させる方法により、エキスパンドシートの弛みは解消されたが、収縮させる程の高温で加熱すると、エキスパンドシートの種類によってはガスが発生し、発生したガスがデバイスに付着すると、異物となってデバイスの不良の原因になる恐れがあった。

【0006】

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、エキスパンドシートの加熱により発生するガスによるデバイスの不良の恐れを低減できる拡張装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の拡張装置は、分割予定ラインを備える被加工物が環状フレームの開口にエキスパンドシートで支持されたフレームユニットの該エキスパンドシートを拡張する拡張装置であって、該フレームユニットの該環状フレームを固定するフレーム固定部と、該被加工物の外周と該環状フレームの内周との間の該エキスパンドシートの環状領域を、被加工物と直交する方向に押圧して該エキスパンドシートを拡張するシート拡張ユニットと、拡張された該エキスパンドシートの該環状領域を加熱して収縮させる加熱ユニットと、拡張後の該被加工物を覆う凹状の空間を内側に備える蓋体と、該被加工物を覆う該蓋体の縁を該エキスパンドシートの該環状領域に接触させ該被加工物を外部空間から遮蔽する遮蔽位置と、該被加工物が該蓋体から露出する開放位置とに該蓋体を進退させる進退部と、を備え、該遮蔽位置に位置付けられた該蓋体で、該エキスパンドシートの加熱で発生するガスから該被加工物を遮蔽することを特徴とする。

【0008】

該進退部には該加熱ユニットが固定され、該加熱ユニットを該環状領域の周方向に沿って回動するように進退部は回転し、該進退部に固定されている該蓋体は回転する該進退部と独立して停止可能に設定されていてもよい。

【0009】

該エキスパンドシートから発生したガスを排気する排気ユニットを備えてもよい。

【0010】

該蓋体の種類を検出するセンサと、該被加工物のサイズまたは該蓋体の種類を登録する加工条件記憶部と、該加工条件記憶部に記憶された被加工物のサイズまたは該蓋体の種類と該センサが検出した該蓋体の種類とが対応するか否かを判定する判定部と、該判定部の判定結果を報知する報知部と、をさらに備えてもよい。

【発明の効果】

【0011】

本発明は、エキスパンドシートの加熱により発生するガスによるデバイスの不良の恐れを低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、実施形態１に係る拡張装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、実施形態１に係る拡張装置の要部のエキスパンドシートの拡張前の状態を示す断面図である。

【図3】図３は、実施形態１に係る拡張装置の要部のエキスパンドシートの拡張中の状態を示す断面図である。

【図4】図４は、実施形態１に係る拡張装置の要部のエキスパンドシートの加熱中の状態を示す断面図である。

【図5】図５は、実施形態２に係る拡張装置の要部の蓋体の種類の検出中の状態を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0014】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る拡張装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る拡張装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、実施形態１に係る拡張装置１の要部のエキスパンドシート１０５の拡張前の状態を示す断面図である。図３は、実施形態１に係る拡張装置１の要部のエキスパンドシート１０５の拡張中の状態を示す断面図である。図４は、実施形態１に係る拡張装置１の要部のエキスパンドシート１０５の加熱中の状態を示す断面図である。実施形態１に係る拡張装置１は、図１に示すように、フレーム固定部１０と、シート拡張ユニット２０と、進退部３０と、加熱ユニット４０と、蓋体５０と、排気ユニット６０と、フレームユニット搬送部７０と、制御ユニット８０と、を備える。

【0015】

実施形態１において、拡張装置１がエキスパンドシート１０５を拡張することによって分割する被加工物（ウエーハ）１００は、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素、ガラスなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどである。被加工物１００は、図１に示すように、表面１０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン１０２によって区画された領域にチップサイズのデバイス（デバイスチップ）１０３が形成されている。被加工物１００は、表面１０１の裏側の裏面１０４にエキスパンドシート（ダイシングテープ）１０５が貼着され、エキスパンドシート１０５の外縁部に環状フレーム１０６が装着されることにより、被加工物１００が環状フレーム１０６の開口１０７にエキスパンドシート１０５で支持されたフレームユニット１１０を構成する。

【0016】

被加工物１００は、分割予定ライン１０２に沿ってレーザー光線が照射されて、分割予定ライン１０２に沿って内部に分割起点である改質層１２０（図２中に破線で示す）が形成されている。改質層１２０は、密度、屈折率、機械的強度やその他の物理的特性が周囲のそれとは異なる状態になった領域のことを意味し、溶融処理領域、クラック領域、絶縁破壊領域、屈折率変化領域、及びこれらの領域が混在した領域等を例示できる。実施形態１では、改質層１２０は、被加工物１００の他の部分よりも機械的な強度が低い。

【0017】

フレーム固定部１０は、図１に示すように、フレームユニット１１０の環状フレーム１０６が載置されるフレーム載置部１１と、環状フレーム１０６を上方から押さえるフレーム押さえ部１２と、を有する。フレーム載置部１１は、正方形状であり、中央に、環状フレーム１０６の内径程度の円形状の開口１３が形成されている。フレーム載置部１１は、下方側にエアシリンダ１５が接続されており、エアシリンダ１５の伸縮により鉛直方向に平行な図１のＺ軸方向に昇降自在である。フレーム押さえ部１２は、フレーム載置部１１と同様に、正方形状であり、中央に、環状フレーム１０６の内径程度の円形状の開口１４が形成されている。フレーム押さえ部１２は、不図示の水平移動ユニットにより水平方向に平行な図１のＹ軸方向に移動自在である。

【0018】

フレーム固定部１０は、フレーム載置部１１の開口１３とフレームユニット１１０の環状フレーム１０６の開口１０７とが鉛直方向に重なるようにフレーム載置部１１にフレームユニット１１０の環状フレーム１０６を載置した後に、フレーム押さえ部１２の開口１４がフレーム載置部１１の開口１３及び環状フレーム１０６の開口１０７と鉛直方向に重なるように不図示の水平移動ユニットによりフレーム押さえ部１２をフレーム載置部１１の直上に移動させてから、エアシリンダ１５によりフレーム載置部１１を上昇させることにより、図２に示すように、フレーム載置部１１とフレーム押さえ部１２とで挟み込んでフレームユニット１１０の環状フレーム１０６を固定する。

【0019】

シート拡張ユニット２０は、図１に示すように、チャックテーブル２１と、突き上げ部材２２と、コロ部材２３と、昇降機構２４と、を有する。チャックテーブル２１は、円形状であり、突き上げ部材２２の内周かつ同軸に設けられる。チャックテーブル２１は、また、フレーム載置部１１の開口１３の内周かつ同軸に設けられる。チャックテーブル２１は、凹部が形成された円盤状の枠体と、凹部内に嵌め込まれた円盤形状の吸着部と、を備える。チャックテーブル２１の吸着部は、多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から形成され、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。チャックテーブル２１の吸着部の上面は、フレーム固定部１０に環状フレーム１０６が固定されたフレームユニット１１０の被加工物１００を裏面１０４側からエキスパンドシート１０５を介して吸引保持する保持面２５である。保持面２５とチャックテーブル２１の枠体の上面とは、同一平面上に配置されており、水平面に平行なＸＹ平面に沿って形成される。

【0020】

突き上げ部材２２は、円筒形状であり、チャックテーブル２１の外周かつ同軸に設けられる。突き上げ部材２２は、また、フレーム載置部１１の開口１３の内周かつ同軸に設けられる。コロ部材２３は、チャックテーブル２１の保持面２５と同一平面上または僅かに上方、かつ突き上げ部材２２の上端に、回転自在に設けられる。昇降機構２４は、チャックテーブル２１及び突き上げ部材２２の下方に接続して設けられ、チャックテーブル２１及び突き上げ部材２２を一体的に上昇させる。

【0021】

シート拡張ユニット２０は、フレーム固定部１０にフレームユニット１１０の環状フレーム１０６が固定された状態で、図３に示すように、昇降機構２４によりチャックテーブル２１及び突き上げ部材２２をフレーム固定部１０に対して相対的に上昇させることで、被加工物１００の外周と環状フレーム１０６の内周との間のエキスパンドシート１０５の環状領域１０８を、被加工物１００の表面１０１や裏面１０４と直交する厚み方向に押圧して、エキスパンドシート１０５を面方向に拡張する。被加工物１００は、シート拡張ユニット２０によってエキスパンドシート１０５が拡張されることにより、改質層１２０に沿ってデバイス１０３に分割される。

【0022】

進退部３０は、図１に示すように、円板状の基台であり、チャックテーブル２１の上方でかつチャックテーブル２１と同軸に配置されている。進退部３０は、上方に駆動部３１が接続されており、駆動部３１により鉛直方向に沿って昇降自在に設けられ、かつ鉛直方向と平行な回転軸３２回りに回転自在に設けられている。回転軸３２は、円柱状に形成され、進退部３０と同軸に配置されている。

【0023】

加熱ユニット４０は、図１に示すように、進退部３０の外縁部に周方向に等間隔に配置されて、エキスパンドシート１０５の環状領域１０８に対応した領域に配置されている。加熱ユニット４０は、フレーム固定部１０及びチャックテーブル２１に保持されたフレームユニット１１０のエキスパンドシート１０５の環状領域１０８と鉛直方向に対面する位置に配置されている。加熱ユニット４０は、進退部３０における径方向の位置が調整可能に取り付けられている。加熱ユニット４０は、図１に示す例では、進退部３０の周方向に等間隔に４つ設けられているが、本発明では、４つに限定されない。このために、駆動部３１は、図４に示すように、複数の加熱ユニット４０をエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の周方向に沿って回動するように進退部３０を回転させるものである。

【0024】

加熱ユニット４０は、図４に示すように、拡張されたエキスパンドシート１０５の環状領域１０８を加熱して収縮させる。加熱ユニット４０は、赤外線を下方に照射して、エキスパンドシート１０５の環状領域１０８を加熱する形式のもの、例えば、電圧が印加されると加熱されて、赤外線を放射する赤外線セラミックヒータである。

【0025】

蓋体５０は、図１に示すように、お椀型であり、エキスパンドシート１０５の拡張後のフレームユニット１１０の被加工物１００を覆う凹状の空間５１を内側に備える。凹状の空間５１は、深さが被加工物１００の厚みより大きく、かつ、５ｍｍ以下である。凹状の空間５１の開口縁を形成する蓋体５０の縁５２は、円形状であり、径方向の長さがエキスパンドシート１０５の拡張後のフレームユニット１１０の被加工物１００の外周径より大きく、かつ、加熱ユニット４０の回転軌道の内周径より小さい。なお、エキスパンドシート１０５の拡張後のフレームユニット１１０の被加工物１００の外周径は、エキスパンドシート１０５の拡張前（分割前）のフレームユニット１１０の被加工物１００の外周径よりも大きく、シート拡張ユニット２０によるエキスパンドシート１０５の拡張の度合いに応じて変化する。

【0026】

蓋体５０は、エキスパンドシート１０５の加熱で発生するガスを遮蔽する材料で形成されており、さらに加熱ユニット４０による加熱を遮蔽する材料で形成されることが好ましい。蓋体５０は、実施形態１では、例えば、加熱ユニット４０が放射する赤外線を反射するアルミニウム製である。

【0027】

蓋体５０は、図１から図４に示すように、装着部材３３により、進退部３０の下面側に、進退部３０と概ね同軸に装着されている。蓋体５０は、中央の頂部、すなわち凹状の空間５１の中央の最も底の部分に、装着部材３３により装着用の円形状の貫通孔５３が形成されている。装着部材３３は、中央部分が貫通孔５３よりも径が小さい円柱状に、かつ、両端部が中央部分よりも径方向に突出して貫通孔５３よりも径が大きい円板形状に形成され、両端部をそれぞれ分解可能となっている。このため、装着部材３３は、分解された状態で円柱状の中央部分を貫通孔５３に挿入して一体に組み立て、進退部３０に装着して固定されることで、蓋体５０を着脱可能に装着する。蓋体５０は、このような装着部材３３により装着されているため、進退部３０及び装着部材３３に対して回転自在に、かつ、進退部３０及び装着部材３３に対して装着部材３３の中央部分の円柱状の軸方向の長さの範囲内でＺ軸方向に移動自在に吊り下げられる。なお、装着部材３３は、上記した形態に限定されず、進退部３０に対して回転自在に、かつ、進退部３０に対してＺ軸方向に移動自在に吊り下げられる形態であれば、どのような形態であってもよい。

【0028】

蓋体５０が装着された進退部３０は、駆動部３１により鉛直方向に沿って昇降移動することにより、遮蔽位置５８と開放位置５９とに蓋体５０を進退させる。ここで、遮蔽位置５８は、図４に示すように、蓋体５０の縁５２が、フレームユニット１１０のエキスパンドシート１０５の環状領域１０８上の、加熱ユニット４０の回転軌道よりも内側の部分に接触したときの蓋体５０の位置である。蓋体５０は、このような遮蔽位置５８に位置付けられると、図４に示すように、凹状の空間５１内にフレームユニット１１０の被加工物１００を密閉して、加熱ユニット４０で加熱されるエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の部分を含む外部空間から被加工物１００を遮蔽し、エキスパンドシート１０５の加熱で発生するガスから被加工物１００を遮蔽する。開放位置５９は、図２及び図３に示すように、蓋体５０の縁５２が、フレームユニット１１０のエキスパンドシート１０５の環状領域１０８上から上方に離間して、被加工物１００が蓋体５０から外部空間に露出したときの蓋体５０の位置である。

【0029】

蓋体５０は、遮蔽位置５８に位置付けられると、縁５２でフレームユニット１１０のエキスパンドシート１０５の環状領域１０８により支持され、貫通孔５３の部分が装着部材３３の下側の端部に対して少し上方に持ち上げられることにより、加熱ユニット４０とともに回転する進退部３０とは独立して、フレームユニット１１０のエキスパンドシート１０５の環状領域１０８上に停止可能となる。

【0030】

排気ユニット６０は、図４に示すように、排気口が加熱ユニット４０で加熱されるエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の部分に向けられて設置されており、加熱ユニット４０で加熱されるエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の部分から発生したガスを排気する。排気ユニット６０は、図１及び図４に示す例では２箇所に設置されているが、本発明ではこれに限定されず、何箇所に設置されてもよい。また、排気ユニット６０は、加熱ユニット４０でエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の部分を加熱する際に、排気口を加熱ユニット４０で加熱されるエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の部分に近付けるように移動させて使用してもよい。

【0031】

フレームユニット搬送部７０は、図１に示すように、ユニット本体７１と、吸引保持部７２と、センサ７３とを有する。ユニット本体７１は、不図示の駆動部と接続されており、駆動部により鉛直方向に沿って昇降自在に設けられ、かつ鉛直方向と平行な回転軸７４回りに回動自在に設けられている。ユニット本体７１は、この駆動部により、チャックテーブル２１の保持面２５の直上に移動したり、チャックテーブル２１の保持面２５の直上から退避したりする。

【0032】

吸引保持部７２は、ユニット本体７１の下面側に、下方に向けて取り付けられており、フレームユニット１１０の環状フレーム１０６を上方側から吸引保持する。フレームユニット搬送部７０は、吸引保持部７２によりフレームユニット１１０の環状フレーム１０６を保持しながら、駆動部によりユニット本体７１がチャックテーブル２１の保持面２５の直上に移動することにより、フレームユニット１１０をチャックテーブル２１の保持面２５上に搬送する。センサ７３は、ユニット本体７１の上面側に、上方に向けて取り付けられている。なお、センサ７３は、図１に図示されているが、以下に説明する実施形態１に係る拡張装置１の動作処理には関与しないので、後述する実施形態２においてその機能及び動作を説明する。

【0033】

制御ユニット８０は、拡張装置１の各種構成要素の動作を制御して、フレームユニット１１０のエキスパンドシート１０５を拡張することによって被加工物１００を分割する一連の処理を拡張装置１に実施させる。制御ユニット８０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット８０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット８０の機能は、実施形態１では、制御ユニット８０が含むコンピュータシステムの演算処理装置が、制御ユニット８０が含むコンピュータシステムの記憶装置に記憶されたコンピュータプログラムを実行することにより実現される。制御ユニット８０の演算処理装置は、制御ユニット８０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、拡張装置１を制御するための制御信号を、制御ユニット８０の入出力インターフェース装置を介して拡張装置１の各構成要素に出力する。

【0034】

制御ユニット８０は、図１に示すように、加工条件記憶部８１と、判定部８２と、報知部８３と、を備える。なお、加工条件記憶部８１、判定部８２及び報知部８３は、図１に図示されているが、以下に説明する実施形態１に係る拡張装置１の動作処理には関与しないので、後述する実施形態２においてその機能及び動作を説明する。

【0035】

次に、本明細書は、実施形態１に係る拡張装置１の動作を図面に基づいて説明する。まず、拡張装置１の制御ユニット８０は、フレームユニット搬送部７０により、フレームユニット１１０をチャックテーブル２１の保持面２５上に搬送する。次に、制御ユニット８０は、図２に示すように、フレーム固定部１０のフレーム載置部１１とフレーム押さえ部１２とにより、チャックテーブル２１の保持面２５上に載置されたフレームユニット１１０の環状フレーム１０６を挟み込んで固定する。

【0036】

制御ユニット８０は、フレーム固定部１０によりフレームユニット１１０の環状フレーム１０６を挟み込んで固定した後、図３に示すように、シート拡張ユニット２０の昇降機構２４によりチャックテーブル２１及び突き上げ部材２２をフレーム固定部１０に対して相対的に上昇させて、エキスパンドシート１０５の環状領域１０８を被加工物１００の厚み方向に押圧することにより、エキスパンドシート１０５を面方向に拡張して、被加工物１００を改質層１２０に沿ってデバイス１０３に分割する。

【0037】

制御ユニット８０は、エキスパンドシート１０５を拡張した後、真空吸引源からの負圧をチャックテーブル２１の保持面２５に導入して、保持面２５で拡張後のエキスパンドシート１０５を介して被加工物１００を吸引保持することにより、被加工物１００の領域においてエキスパンドシート１０５を拡張した状態を保持してから、昇降機構２４によりチャックテーブル２１及び突き上げ部材２２をフレーム固定部１０に対して相対的に下降させる。これにより、チャックテーブル２１の保持面２５より外周側のエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の部分が弛む。

【0038】

制御ユニット８０は、その後、図４に示すように、駆動部３１により進退部３０を下降させることにより、蓋体５０を遮蔽位置５８に位置付けると同時に、加熱ユニット４０を保持面２５より外周側のエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の部分に接近させる。これにより、蓋体５０は、凹状の空間５１内にフレームユニット１１０の被加工物１００を密閉して、被加工物１００を、加熱ユニット４０で加熱されるエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の部分を含む外部空間から遮蔽する。また、蓋体５０は、縁５２でエキスパンドシート１０５の環状領域１０８により支持され、貫通孔５３の部分が装着部材３３の下側の端部に対して少し上方に持ち上げられる。

【0039】

制御ユニット８０は、蓋体５０を遮蔽位置５８に位置付けた後、加熱ユニット４０による加熱及び排気ユニット６０による排気を開始し、駆動部３１により進退部３０を回転させる。これにより、加熱ユニット４０は、エキスパンドシート１０５の環状領域１０８の周方向に沿って回動しながら、拡張されて弛んだエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の部分を加熱して収縮させる。一方で、蓋体５０は、加熱ユニット４０とともに回転する進退部３０とは独立して、エキスパンドシート１０５の環状領域１０８上に停止して、エキスパンドシート１０５の加熱で発生するガスから被加工物１００を遮蔽する。排気ユニット６０は、エキスパンドシート１０５の環状領域１０８の加熱により発生したガスを排気する。

【0040】

制御ユニット８０は、エキスパンドシート１０５の環状領域１０８を加熱して収縮させた後、駆動部３１による進退部３０の回転、加熱ユニット４０による加熱、及び、排気ユニット６０による排気を終了し、駆動部３１により進退部３０を上昇させることにより蓋体５０を開放位置５９に位置付けて、フレームユニット搬送部７０により、被加工物１００を分割後のフレームユニット１１０を取り出す。

【0041】

以上のような構成を有する実施形態１に係る拡張装置１は、蓋体５０で被加工物１００を覆って密閉し、被加工物１００をエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の加熱により発生するガスから遮蔽するので、エキスパンドシート１０５の加熱により発生するガスによるデバイス１０３の不良の恐れを低減できるという作用効果を奏する。

【0042】

また、実施形態１に係る拡張装置１は、進退部３０には加熱ユニット４０が固定され、加熱ユニット４０をエキスパンドシート１０５の環状領域１０８の周方向に沿って回動するように進退部３０は回転し、進退部３０に固定されている蓋体５０は回転する進退部３０と独立して停止可能に設定されている。このため、実施形態１に係る拡張装置１は、加熱ユニット４０によりエキスパンドシート１０５の環状領域１０８を満遍なく加熱する際中に、蓋体５０により被加工物１００を覆って密閉する状態を安定化させるので、エキスパンドシート１０５の加熱により発生するガスによるデバイス１０３の不良の恐れをさらに低減できる。

【0043】

また、実施形態１に係る拡張装置１は、エキスパンドシート１０５から発生したガスを排気する排気ユニット６０を備える。このため、実施形態１に係る拡張装置１は、エキスパンドシート１０５の環状領域１０８の加熱により発生するガスをより素早く確実にエキスパンドシート１０５上から除去するので、エキスパンドシート１０５の加熱により発生するガスによるデバイス１０３の不良の恐れをさらに低減できる。

【0044】

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る拡張装置１を図面に基づいて説明する。図５は、実施形態２に係る拡張装置１の要部の蓋体５０の種類の検出中の状態を示す断面図である。図５は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0045】

センサ７３は、蓋体５０の下方側から蓋体５０の種類を検出する。フレームユニット搬送部７０は、実施形態２では、図５に示すように、駆動部によりユニット本体７１を進退部３０及び蓋体５０の下方側を水平方向に沿って移動させながら、センサ７３により光を発射して蓋体５０の縁５２からの反射光を検出することで、蓋体５０の縁５２の位置を検出することにより、蓋体５０の種類を表す蓋体５０の径方向の長さ（蓋体５０のサイズ）を検出し、検出した情報を制御ユニット８０に出力する。

【0046】

加工条件記憶部８１は、拡張装置１で分割する被加工物１００のサイズ、または、当該被加工物１００のサイズに対応する蓋体５０の種類を登録する。ここで、実施形態２では、被加工物１００のサイズは径方向の長さであり、蓋体５０の種類は蓋体５０の縁５２の径方向の長さ（蓋体５０のサイズ）である。また、被加工物１００のサイズに対応する蓋体５０の種類とは、当該サイズの被加工物１００を好適に密閉可能な蓋体５０の種類のことを指し、具体的には、蓋体５０のサイズがエキスパンドシート１０５の拡張後のフレームユニット１１０の被加工物１００の外周径より大きく、かつ、加熱ユニット４０の回転軌道の内周径より小さい条件を満たす蓋体５０の種類のことである。なお、加工条件記憶部８１が登録するこれらの情報は、予め不図示の入力ユニットを介してオペレータに入力される等により、登録される。

【0047】

判定部８２は、加工条件記憶部８１を参照して、加工条件記憶部８１に記憶された被加工物１００のサイズまたは蓋体５０の種類と、センサ７３が検出した蓋体５０の種類とが対応するか否かを判定する。すなわち、判定部８２は、センサ７３が検出した蓋体５０の種類が、加工条件記憶部８１に記憶された被加工物１００のサイズに対応する蓋体５０の種類であるか否か、または、加工条件記憶部８１に記憶された蓋体５０の種類であるか否か、を判定する。判定部８２は、この判定による判定結果を、報知部８３に出力する。

【0048】

報知部８３は、判定部８２の判定結果を報知する。報知部８３は、例えば、拡張装置１が液晶表示装置などで構成される不図示の表示ユニットを備える場合、表示ユニットに判定部８２の判定結果を表示することにより、オペレータに視認可能に報知する。報知部８３は、また、拡張装置１が発光ダイオードなどで構成される不図示の発光ユニットを備える場合、発光ユニットの点灯や点滅や光の色彩等により、判定部８２の判定結果をオペレータに認識可能に報知してもよい。報知部８３は、また、拡張装置１がスピーカなどで構成され音声を発信する不図示の音声ユニットを備える場合、音声ユニットの音声により、判定部８２の判定結果をオペレータに認識可能に報知してもよい。報知部８３は、また、拡張装置１が、有線または無線で、スマートフォン、タブレット、ウェアラブルデバイス、コンピュータなどの情報機器に接続されている場合、情報機器の表示部に表示して判定部８２の判定結果をオペレータに認識可能に報知してもよく、情報機器の発光部や音声発生部により判定部８２の判定結果をオペレータに認識可能に報知してもよい。

【0049】

加工条件記憶部８１の機能は、制御ユニット８０の記憶装置により実現される。判定部８２の機能は、制御ユニット８０に含まれるコンピュータシステムの演算処理装置が、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施することにより実現される。報知部８３の機能は、制御ユニット８０の入出力インターフェース装置により実現される。

【0050】

次に、本明細書は、実施形態２に係る拡張装置１の動作を図面に基づいて説明する。実施形態２では、拡張装置１の制御ユニット８０は、フレームユニット１１０をチャックテーブル２１の保持面２５上に載置して、フレーム固定部１０で環状フレーム１０６を挟み込んで固定した後、図５に示すように、フレームユニット搬送部７０の駆動部によりユニット本体７１を進退部３０及び蓋体５０の下方側を水平方向に沿って移動させながら、センサ７３により蓋体５０の種類を検出する。実施形態２では、制御ユニット８０は、センサ７３により蓋体５０の種類を検出した後、判定部８２により、加工条件記憶部８１に記憶された被加工物１００のサイズまたは蓋体５０の種類と、センサ７３が検出した蓋体５０の種類とが対応するか否かを判定し、報知部８３により、判定部８２の判定結果を報知する。

【0051】

実施形態２では、制御ユニット８０は、判定部８２で、センサ７３が検出した蓋体５０の種類と、加工条件記憶部８１に記憶された被加工物１００のサイズまたは蓋体５０の種類とが対応すると判定した場合、実施形態１と同様に、シート拡張ユニット２０によるエキスパンドシート１０５の拡張以降の処理を実施する。一方、実施形態２では、制御ユニット８０は、判定部８２で、センサ７３が検出した蓋体５０の種類と、加工条件記憶部８１に記憶された被加工物１００のサイズまたは蓋体５０の種類とが対応しないと判定した場合、シート拡張ユニット２０によるエキスパンドシート１０５の拡張以降の処理を中止して、報知部８３により、進退部３０に装着する蓋体５０の種類を、加工条件記憶部８１に記憶された被加工物１００のサイズまたは蓋体５０の種類と対応するものに変更することをオペレータに促す。

【0052】

以上のような構成を有する実施形態２に係る拡張装置１は、実施形態１において、さらに、センサ７３により蓋体５０の種類を検出し、判定部８２により、加工条件記憶部８１に記憶された被加工物１００のサイズまたは蓋体５０の種類と、センサ７３が検出した蓋体５０の種類とが対応するか否かを判定し、報知部８３により、その判定部８２による判定結果を報知する。このため、実施形態２に係る拡張装置１は、拡張装置１で分割する被加工物１００を、当該被加工物１００のサイズに対応する種類の蓋体５０で密閉することを促すので、エキスパンドシート１０５の加熱により発生するガスによるデバイス１０３の不良の恐れをさらに低減できる。

【0053】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0054】

１ 拡張装置
１０ フレーム固定部
２０ シート拡張ユニット
３０ 進退部
４０ 加熱ユニット
５０ 蓋体
５１ 凹状の空間
５２ 縁
５８ 遮蔽位置
５９ 開放位置
６０ 排気ユニット
７３ センサ
８１ 加工条件記憶部
８２ 判定部
８３ 報知部
１００ 被加工物
１０２ 分割予定ライン
１０５ エキスパンドシート
１０６ 環状フレーム
１０７ 開口
１０８ 環状領域
１１０ フレームユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】