特開 2022-130160 自動搬送システム、及びマップ情報作成方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022130160

(43)【公開日】2022-09-06

(54)【発明の名称】自動搬送システム、及びマップ情報作成方法

(51)【国際特許分類】

   G05D 1/02 20200101AFI20220830BHJP

   B61B 13/00 20060101ALI20220830BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20220830BHJP

【ＦＩ】

G05D1/02 P

G05D1/02 J

B61B13/00 D

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021029174

(22)【出願日】2021-02-25

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】萩原 涼太

【テーマコード（参考）】

3D101

5F131

5H301

【Ｆターム（参考）】

3D101BA02

3D101BB01

5F131AA02

5F131AA21

5F131AA22

5F131AA23

5F131BA31

5F131CA35

5F131CA42

5F131CA43

5F131DA05

5F131DA22

5F131DA32

5F131DD02

5F131DD16

5F131DD17

5F131DD19

5F131DD28

5F131DD29

5F131DD33

5F131DD35

5F131DD43

5F131DD47

5F131DD56

5F131DD63

5F131DD74

5F131DD84

5F131EA05

5F131JA36

5F131KA02

5F131KA43

5F131KA53

5F131KA72

5F131KB06

5F131KB32

5F131KB48

5F131KB49

5F131KB58

5H301AA01

5H301BB05

5H301CC03

5H301CC06

5H301CC10

5H301DD05

5H301DD15

5H301FF05

5H301FF11

5H301GG06

5H301GG08

5H301HH19

5H301KK03

5H301KK08

5H301KK18

(57)【要約】

【課題】搬送路のマップ情報を自動的に作成する。
【解決手段】自動搬送システムであって、目印が設けられた搬送路と、センサーが固定されたフレームと車輪を回転させるモーターを有する自動搬送車と、該搬送路のマップ情報を記憶できるマップ情報記憶部と該マップ情報に基づいて道順を決定し該道順に従って走行するように該自動搬送車を制御する搬送制御部と、を含む制御ユニットと、を含み、該制御ユニットは、該自動搬送車に該搬送路の探索動作を実施させる探索制御部と該搬送路の該マップ情報を作成するマップ情報作成部を備え、該探索制御部は、該センサーに該目印を検出させながら該搬送路上を該自動搬送車に走行させ、交差点の位置を検出し、行き止まりの位置を検出し、該マップ情報作成部は、該交差点の位置と、該行き止まりの位置と、に基づいて該搬送路の該マップ情報を作成し、該マップ情報を該マップ情報記憶部に記憶させる。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

自動搬送システムであって、
目印が設けられた搬送路と、
荷台と、該搬送路の該目印を検出するセンサーと、情報を送受信する第１の送受信器と、が固定されたフレームと、該フレームに接続された車輪を回転させるモーターと、を有する自動搬送車と、
該第１の送受信器との間で情報を送受信する第２の送受信器と、該搬送路のマップ情報を記憶できるマップ情報記憶部と、該マップ情報に基づいて出発地から目的地までの道順を決定し該道順に従って走行するように該自動搬送車を制御する搬送制御部と、を含む制御ユニットと、を含み、
該自動搬送車または該制御ユニットは、該自動搬送車に該搬送路の探索動作を実施させる探索制御部を備え、
該自動搬送車または該制御ユニットは、該搬送路の該マップ情報を作成するマップ情報作成部を備え、
該探索制御部は、
該センサーに該目印を検出させながら該搬送路上を該自動搬送車に走行させ、
該目印により該搬送路の交差点が検出されたときに該自動搬送車の走行距離に基づいて該交差点の位置を検出し、該センサーで該目印を検出することで該交差点から延びる該搬送路の方向を検出し、
該目印により該搬送路の行き止まりが検出されたとき、該自動搬送車の走行距離に基づいて該行き止まりの位置を検出し、
該マップ情報作成部は、該交差点の位置と、該行き止まりの位置と、に基づいて該搬送路の該マップ情報を作成し、該マップ情報を該マップ情報記憶部に記憶させることを特徴とする自動搬送システム。

【請求項2】

該探索制御部は、該モーターの回転数と、該車輪の円周と、該自動搬送車の走行時間と、から該自動搬送車の該走行距離を算出することを特徴とする請求項１に記載の自動搬送システム。

【請求項3】

該探索制御部は、該目印により該搬送路の該交差点が検出されたときに該センサーで該目印を検出させながら該交差点で該自動搬送車を旋回させることで該交差点から延びる該搬送路の方向を検出することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の自動搬送システム。

【請求項4】

該搬送路は、該交差点を構成する交差点パネルと、該行き止まりを構成する行き止まりパネルと、を含む複数の路面パネルから構成され、
該探索制御部は、
該目印により該交差点パネルを検出することで該交差点の位置を検出し、該交差点パネルの向きを検出することで該交差点から延びる該搬送路の方向を検出し、
該目印により該行き止まりパネルを検出することで該行き止まりの位置を検出できることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の自動搬送システム。

【請求項5】

該探索制御部は、該交差点から延びる該搬送路の方向が２つ以上検出された場合、該自動搬送車が走行しておらず、かつ、他の方向よりも優先順位が高い方向の進路に向けて該自動搬送車を走行させることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の自動搬送システム。

【請求項6】

該搬送路は、複数の加工装置の上面に固定されており、該自動搬送車は、被加工物又は工具を該荷台に収容して該加工装置に搬送することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の自動搬送システム。

【請求項7】

目印が設けられた搬送路と、自動搬送車と、該自動搬送車を制御する制御ユニットと、を備える自動搬送システムにおいて、該搬送路のマップ情報を作成するマップ情報作成方法であって、
該自動搬送車は、荷台と、該搬送路の該目印を検出するセンサーと、情報を送受信する第１の送受信器と、が固定されたフレームと、該フレームに接続された車輪を回転させるモーターと、を有し、
該制御ユニットは、該第１の送受信器との間で情報を送受信する第２の送受信器と、該搬送路の該マップ情報を記憶できるマップ情報記憶部と、該マップ情報に基づいて出発地から目的地までの道順を決定し該道順に従って走行するように該自動搬送車を制御する搬送制御部と、を含み、
該マップ情報作成方法は、
該自動搬送車を該搬送路上に配置する配置ステップと、
該自動搬送車が配置された位置に設けられた該目印を該センサーに検出させ、該位置についての情報を取得する初動ステップと、
該センサーに該目印を検出させながら該自動搬送車に該搬送路を走行させ、該自動搬送車の走行距離を記録する走行ステップと、
該センサーで検出された該目印に基づいて、該自動搬送車が走行する領域についての情報を取得する領域識別ステップと、
該搬送路の該マップ情報を作成し、該マップ情報を該マップ情報記憶部に記憶させるマップ情報記録ステップと、を含み、
該領域識別ステップでは、
該目印により該搬送路の交差点が検出されたとき、該自動搬送車の該走行距離に基づいて該交差点の位置を検出し、該センサーで該目印を検出することで該交差点から延びている該搬送路の方向を検出し、
該目印により該搬送路の行き止まりが検出されたとき、該自動搬送車の該走行距離に基づいて該行き止まりの位置を検出し、
該マップ情報記録ステップでは、該交差点の位置と、該行き止まりの位置と、に基づいて該搬送路の該マップ情報を作成することを特徴とするマップ情報作成方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工装置で加工される被加工物等の物品を自動搬送車で搬送する自動搬送システムと、該自動搬送システムにおいて該自動搬送車が走行する搬送路のマップ情報を作成するマップ情報作成方法と、に関する。

【背景技術】

【0002】

電子機器等に組み込まれるデバイスチップの製造工程では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が様々な加工装置によって加工される。この加工装置に対して被加工物を搬送する際には、通常、複数の被加工物を収容できるカセットが用いられる。加工装置は、複数の被加工物を収容した状態のカセットを受け取ると、このカセットから被加工物を順に取り出して加工する。

【0003】

被加工物の加工にかかる効率を高めるために、複数の加工装置が並行して用いられることもある。この場合には、複数の加工装置のそれぞれに対して適切なタイミングで被加工物を搬送しなくてはならない。そこで、複数の加工装置を搬送用の経路（搬送路）で繋いで、各加工装置への被加工物の搬送を実現した自動搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

【0004】

また、搬送路を自動走行する自動搬送車により物品を搬送する自動搬送システムが知られている。この自動搬送システムでは、搬送路の上方にカメラを設置し、このカメラで搬送路を撮影してマップを作成する。そして、搬送路を走行する自動搬送車を該カメラで撮影して該自動搬送車の位置を検出し、目的の位置まで移動するように自動搬送車を制御する（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開平６－１７７２４４号公報

【特許文献2】特開２０１８－９２３９３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

この自動搬送システムでは、例えば、搬送路や自動搬送車を撮影するためのカメラを建物の天井等に設置する必要がある。その上、加工装置の配置変更により搬送路の構成が変更されたとき、その都度カメラを設置しなおす必要がある。

【0007】

そこで、例えば、自動搬送車の制御システムに搬送路のマップ情報を予め登録し、該搬送路に設けられた目印を自動搬送車が備えるセンサーで読み取ることで該自動搬送車の現在地を特定し、目的の位置まで移動するように自動搬送車を制御することが考えられる。この場合、搬送路の構成を変更するときに新しいマップを制御システムに登録すればよく、カメラの設置や再設置が不要である。

【0008】

しかしながら、この場合、新しいマップ情報を作成するために搬送路の寸法等を測定する必要がある。その上、登録したマップ情報に間違いがある場合、自動搬送車が正常に動かなくなり工程が停止するだけでなく、搬送路の寸法等を測定してマップ情報を作り直す必要がある。

【0009】

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、搬送路のマップ情報を自動的に生成できる自動搬送システムと、該マップ情報を自動的に作成できるマップ情報作成方法と、を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一態様によれば、自動搬送システムであって、目印が設けられた搬送路と、荷台と、該搬送路の該目印を検出するセンサーと、情報を送受信する第１の送受信器と、が固定されたフレームと、該フレームに接続された車輪を回転させるモーターと、を有する自動搬送車と、該第１の送受信器との間で情報を送受信する第２の送受信器と、該搬送路のマップ情報を記憶できるマップ情報記憶部と、該マップ情報に基づいて出発地から目的地までの道順を決定し該道順に従って走行するように該自動搬送車を制御する搬送制御部と、を含む制御ユニットと、を含み、該自動搬送車または該制御ユニットは、該自動搬送車に該搬送路の探索動作を実施させる探索制御部を備え、該自動搬送車または該制御ユニットは、該搬送路の該マップ情報を作成するマップ情報作成部を備え、該探索制御部は、該センサーに該目印を検出させながら該搬送路上を該自動搬送車に走行させ、該目印により該搬送路の交差点が検出されたときに該自動搬送車の走行距離に基づいて該交差点の位置を検出し、該センサーで該目印を検出することで該交差点から延びる該搬送路の方向を検出し、該目印により該搬送路の行き止まりが検出されたとき、該自動搬送車の走行距離に基づいて該行き止まりの位置を検出し、該マップ情報作成部は、該交差点の位置と、該行き止まりの位置と、に基づいて該搬送路の該マップ情報を作成し、該マップ情報を該マップ情報記憶部に記憶させることを特徴とする自動搬送システムが提供される。

【0011】

好ましくは、該探索制御部は、該モーターの回転数と、該車輪の円周と、該自動搬送車の走行時間と、から該自動搬送車の該走行距離を算出する。

【0012】

また、好ましくは、該探索制御部は、該目印により該搬送路の該交差点が検出されたときに該センサーで該目印を検出させながら該交差点で該自動搬送車を旋回させることで該交差点から延びる該搬送路の方向を検出する。

【0013】

また、好ましくは、該搬送路は、該交差点を構成する交差点パネルと、該行き止まりを構成する行き止まりパネルと、を含む複数の路面パネルから構成され、該探索制御部は、該目印により該交差点パネルを検出することで該交差点の位置を検出し、該交差点パネルの向きを検出することで該交差点から延びる該搬送路の方向を検出し、該目印により該行き止まりパネルを検出することで該行き止まりの位置を検出できる。

【0014】

また、好ましくは、該探索制御部は、該交差点から延びる該搬送路の方向が２つ以上検出された場合、該自動搬送車が走行しておらず、かつ、他の方向よりも優先順位が高い方向の進路に向けて該自動搬送車を走行させる。

【0015】

また、好ましくは、該搬送路は、複数の加工装置の上面に固定されており、該自動搬送車は、被加工物又は工具を該荷台に収容して該加工装置に搬送する。

【0016】

また、本発明の他の一態様によると、目印が設けられた搬送路と、自動搬送車と、該自動搬送車を制御する制御ユニットと、を備える自動搬送システムにおいて、該搬送路のマップ情報を作成するマップ情報作成方法であって、該自動搬送車は、荷台と、該搬送路の該目印を検出するセンサーと、情報を送受信する第１の送受信器と、が固定されたフレームと、該フレームに接続された車輪を回転させるモーターと、を有し、該制御ユニットは、該第１の送受信器との間で情報を送受信する第２の送受信器と、該搬送路の該マップ情報を記憶できるマップ情報記憶部と、該マップ情報に基づいて出発地から目的地までの道順を決定し該道順に従って走行するように該自動搬送車を制御する搬送制御部と、を含み、該マップ情報作成方法は、該自動搬送車を該搬送路上に配置する配置ステップと、該自動搬送車が配置された位置に設けられた該目印を該センサーに検出させ、該位置についての情報を取得する初動ステップと、該センサーに該目印を検出させながら該自動搬送車に該搬送路を走行させ、該自動搬送車の走行距離を記録する走行ステップと、該センサーで検出された該目印に基づいて、該自動搬送車が走行する領域についての情報を取得する領域識別ステップと、該搬送路の該マップ情報を作成し、該マップ情報を該マップ情報記憶部に記憶させるマップ情報記録ステップと、を含み、該領域識別ステップでは、該目印により該搬送路の交差点が検出されたとき、該自動搬送車の該走行距離に基づいて該交差点の位置を検出し、該センサーで該目印を検出することで該交差点から延びている該搬送路の方向を検出し、該目印により該搬送路の行き止まりが検出されたとき、該自動搬送車の該走行距離に基づいて該行き止まりの位置を検出し、該マップ情報記録ステップでは、該交差点の位置と、該行き止まりの位置と、に基づいて該搬送路の該マップ情報を作成することを特徴とするマップ情報作成方法が提供される。

【発明の効果】

【0017】

自動搬送車が走行する搬送路の上面には、目印が設けられる。自動搬送車は、この目印を検出するセンサーを備える。搬送路は交差点と行き止まり等を含み、自動搬送車は交差点等の間を直進走行し目印を参照して該交差点を検出して進行方向を変更する。

【0018】

本発明の一態様にかかる自動搬送システム及びマップ情報作成方法では、搬送路の構成が変更されたとき等に搬送路のマップ情報を作成する際には、センサーで目印を検出させながら自動搬送車に搬送路を走行させ、搬送路を探索させる。る。そして、目印を検出することで交差点等を検出するとともにその位置を検出する。また、交差点に設けられた目印により、該交差点から延びる搬送路の方向を検出する。

【0019】

そして、自動搬送車に直進走行と、交差点等の検出と、をくり返し実施させることで搬送路を隈なく探索させる。これにより、収集された各交差点等の位置に関する情報から搬送路のマップ情報を作成できる。そのため、管理者等がマップ情報を自身で作成する必要がなく、マップ情報に間違いが生じない。

【0020】

したがって、本発明の一態様によると、搬送路のマップ情報を自動的に生成できる自動搬送システムと、該マップ情報を自動的に作成できるマップ情報作成方法と、が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】自動搬送システムの構成例を模式的に示す斜視図である。

【図2】自動搬送システムの接続関係の例を示す機能ブロック図である。

【図3】図３（Ａ）は、自動搬送車の内部構成の上面側を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、自動搬送車の内部構成の底面側を模式的に示す斜視図である。

【図4】荷台が載置領域に載置された状態の自動搬送車の内部構成を模式的に示す斜視図である。

【図5】図５（Ａ）は、Ｔ字路パネルを模式的に示す平面図であり、図５（Ｂ）は、十字路パネルを模式的に示す平面図であり、図５（Ｃ）は、開口部パネルを模式的に示す平面図であり、図５（Ｄ）は、待機位置パネルを模式的に示す平面図であり、図５（Ｅ）は、調整パネルを模式的に示す平面図である。

【図6】搬送路の構成例を模式的に示す平面図である。

【図7】Ｔ字路パネルと、自動搬送車の一部の構成要素と、の位置関係を模式的に示す平面図である。

【図8】開口部パネルと、自動搬送車の一部の構成要素と、の位置関係を模式的に示す平面図である。

【図9】配置ステップを模式的に示す平面図である。

【図10】図１０（Ａ）は、初動ステップを模式的に示す平面図であり、図１０（Ｂ）は、走行ステップを模式的に示す平面図である。

【図11】マップ情報作成方法の各ステップの流れを説明するフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0022】

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下の実施形態では、被加工物等の物品の搬送先となる複数の加工装置がいずれも切削装置である場合について説明するが、自動搬送システムは、任意の種類の加工装置に対して物品を搬送できるように構成されていれば良い。すなわち、被加工物等の搬送先は、切削装置以外の加工装置でもよく、複数のレーザー加工装置に対して被加工物等を搬送できるように構成されることがある。

【0023】

また、自動搬送システムは、一連の加工に使用される複数の種類の加工装置に対して順に被加工物等を搬送できるように構成されることもある。さらに、自動搬送システムは、被加工物等の加工に付随する任意の処理で使用される様々な装置に被加工物を搬送できるように構成されても良い。つまり、被加工物等の搬送先には、被加工物の加工を目的としないテープ貼付装置、紫外線照射装置、洗浄装置等が含まれ得る。

【0024】

図１は、本実施形態にかかる自動搬送システム２の構成例を示す斜視図であり、図２は、自動搬送システム２の接続関係の例を示す機能ブロック図である。図１に示すように、本実施形態にかかる自動搬送システム２は、加工装置（切削装置）４によって加工される板状の被加工物等の物品を搬送するための搬送路６を含んでいる。

【0025】

被加工物は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。この被加工物の表面側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等のデバイスが形成されている。

【0026】

なお、被加工物の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等を被加工物として用いることもできる。同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物には、デバイスが形成されていなくても良い。更に、被加工物がテープを介してフレームに支持された被加工物ユニットを搬送の対象としているが、テープが貼付されていない被加工物や、フレームに支持されていない被加工物等が搬送の対象となることもある。

【0027】

また、本実施形態に係る自動搬送システム２では、被加工物以外の物品が搬送されてもよい。例えば、加工装置４で被加工物を加工する際に使用される工具（例えば、切削ブレード）や、加工装置４で消費される消耗品（例えば、ドレッサーボード）等が搬送されてもよい。以下、自動搬送システム２で搬送される物品が被加工物である場合を中心に本実施形態について説明するが、物品は被加工物に限定されない。

【0028】

また、この被加工物を加工する加工装置４は、被加工物等の物品の搬送先として自動搬送システム２に接続されているが、必ずしも自動搬送システム２の構成要素ではない。よって、加工装置４は、上述のように、自動搬送システム２の使用の態様に合わせて変更、省略されても良い。本実施形態では、被加工物等の物品の搬送先として、２台以上の加工装置４が必要になる。すなわち、自動搬送システム２に接続される加工装置４の数は、２以上である。

【0029】

搬送路６は、複数の加工装置４を連結するように、各加工装置４の上部に設置されている。この搬送路６を通じて、各加工装置４に物品が搬送される。なお、搬送路６は、加工装置４の上方に設置されているので、各加工装置４の側面に接続される配管等に対して搬送路６が干渉することはない。

【0030】

搬送路６の下方には、加工装置４の他に、被加工物が収容されるローダー・アンローダー（搬送装置）８が設けられている。ローダー・アンローダー８に収容されている加工前の被加工物は、任意のタイミングで自動搬送車１０へと搬入される。なお、ローダー・アンローダー８には、被加工物の他に切削ブレード等の工具やドレッサーボード等の消耗品が収容されていてもよい。

【0031】

自動搬送車１０は、搬送路６上を走行し、ローダー・アンローダー８から受け取った加工前の被加工物、使用前の工具や消耗品等の物品を各加工装置４へと搬送する。また、自動搬送車１０は、加工装置４から加工後の被加工物、使用済みの工具、消耗品等の物品を受け取ると、搬送路６上を走行し、物品をローダー・アンローダー８へと搬送する。

【0032】

ただし、自動搬送車１０は、ある加工装置４から加工後の被加工物を受け取ると、搬送路６上を走行し、該被加工物を次の工程で使用される装置へと搬送することがある。なお、図２では、２台の自動搬送車１０ａ，１０ｂを示しているが、自動搬送車１０の数に制限はない。

【0033】

図２に示すように、加工装置４、ローダー・アンローダー８、自動搬送車１０には、これらの動作を制御する制御ユニット１２が無線で接続されている。ただし、制御ユニット１２は、加工装置４、ローダー・アンローダー８、自動搬送車１０等の動作を制御できるように構成されていれば良く、これらに対して有線で接続されることもある。

【0034】

図１には、搬送路６上を走行して物品を搬送できる自動搬送車１０の外観を模式的に示す斜視図が含まれている。また、図３（Ａ）は、自動搬送車１０の内部構成の上面側を示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、自動搬送車１０の内部構成の底面側を示す斜視図である。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、自動搬送車１０は、各種の構成要素が搭載される板状のフレーム８２を備える。

【0035】

フレーム８２の前方側の両側端部には、一対の車軸８４が配置されている。車軸８４は、一端側がフレーム８２の側面から突出するように、フレーム８２の下面側に装着される。一対の車軸８４の一端側には、それぞれ、車輪（前輪）８６が固定されている。また、フレーム８２の後端部の幅方向に離れた２つの位置には、一対の車輪（後輪）８８が配置されている。車輪８８は、例えば、高さ方向に沿う回転軸の周りに３６０°回転できるキャスターであり、フレーム８２の下面側に装着されている。

【0036】

フレーム８２の前端部には、一対の車輪８６を駆動する駆動ユニット９０が搭載されている。駆動ユニット９０は、それぞれ、車軸８４等を介して車輪８６に連結された一対のモーター９２を備える。モーター９２は、回転軸（出力シャフト）９２ａを備え、車輪８６を回転させる動力を生成する。

【0037】

図３（Ｂ）に示すように、車軸８４の他端側には、プーリー９４が設けられている。モーター９２の回転軸９２ａとプーリー９４とには、ベルト、チェーン等の無端の連結部材（不図示）が架けられている。モーター９２の回転軸９２ａ、プーリー９４、及び連結部材によって動力伝達機構が構成され、車軸８４とモーター９２とが連結される。これにより、モーター９２によって生成された動力（回転力）が車輪８６に伝達され、車輪８６が回転する。

【0038】

駆動ユニット９０は、一対のモーター９２によって一対の車輪８６の回転する方向を独立に制御する。一対の車輪８６を同方向に回転させることにより、自動搬送車１０が前進又は後退する。また、一対の車輪８６を互いに逆方向に回転させることにより、高さ方向に沿う回転軸の周りに自動搬送車１０を旋回させて、自動搬送車１０の進行する方向を制御できる。なお、車輪８６及び車輪８８の構造に制限はない。例えば、車輪８６及び車輪８８として、傾斜した樽状（筒状）の複数の回転体が搬送路６と接触する外周面に取り付けられた、いわゆる、メカナムホイールを用いることもできる。

【0039】

駆動ユニット９０には、モーター９２等に電力を供給するバッテリー（二次電池）９６が接続される。バッテリー９６は、例えば、フレーム８２の前端部に装着され、車輪８６を回転させるための電力をモーター９２に供給する。バッテリー９６としては、リチウムイオン電池等が用いられる。

【0040】

図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、フレーム８２の下側には、被加工物ユニット等の物品を収容する荷台（カセット）１０２が格納される格納領域１０４が設けられている。格納領域１０４は、一対の車輪８６と一対の車輪８８とによって周りを囲まれており、且つ、車輪８６及び車輪８８の下端よりも上方に位置する。この格納領域１０４には、１又は複数の被加工物ユニット等の物品を収容できる荷台１０２が配置される。

【0041】

図４には、荷台１０２を示す斜視図が含まれている。荷台１０２は、例えば、平面視で六角柱状に形成され、その内部に物品を収容可能な収容部（収容空間）１０２ａを備える。荷台１０２の一側面側には、開口１０２ｂが設けられている。物品は、開口１０２ｂを通過して収容部１０２ａに搬出入される。

【0042】

荷台１０２は、例えば、大きさの異なる２種類の被加工物ユニット等を収容できるように構成されていても良い。荷台１０２の収容部１０２ａには、一対の第１ガイドレール１０６と、一対の第２ガイドレール１０８とが設けられている。また、荷台１０２の収容部１０２ａは、切削ブレード等の工具や、ドレッサーボード等の消耗品等の物品を収容する場合に、該物品の形状に対応した構造を有する支持機構が設けられるとよい。

【0043】

自動搬送車１０は、荷台１０２で物品を支持して搬送路６を走行することで該物品を搬送する。被加工物ユニット等の物品を自動搬送車１０によって搬送する際には、図３（Ａ）に示すように、荷台１０２が格納領域１０４に格納される。このとき、荷台１０２の下面は、車輪８６の下端や車輪８８の下端よりも上方に位置付けられる。そのため、自動搬送車１０の走行中に荷台１０２が搬送路６と接触することはない。

【0044】

格納領域１０４の上方に位置するフレーム８２の上面側の領域には、荷台１０２を吊り下げて昇降させる昇降ユニット（昇降機構）１１０が設けられている。昇降ユニット１１０は、格納領域１０４に格納された荷台１０２を降下させて、所定の載置領域に載置する。また、昇降ユニット１１０は、所定の載置領域に載置された荷台１０２を上昇させて、荷台１０２を格納領域１０４に格納する。

【0045】

図４は、荷台１０２が載置領域Ａに載置された状態の自動搬送車１０を示す斜視図である。昇降ユニット１１０は、一端側（下端側）が荷台１０２に接続された吊り下げ部材１１２と、吊り下げ部材１１２の巻き取り及び送り出しを行う駆動機構１１４とを備える。なお、載置領域Ａは、例えば、ローダー・アンローダー８の載置台、または、加工装置４の昇降台の上面である。

【0046】

図４に示すように、昇降ユニット１１０は、４本の吊り下げ部材１１２を備える。吊り下げ部材１１２としては、例えば、所定の幅を有するベルトが用いられる。４本の吊り下げ部材１１２の先端部（下端部）は、それぞれ、荷台１０２の上面側の４つの位置に接続されている。なお、吊り下げ部材１１２としては、ワイヤロープ等のベルト以外の部材を用いても良い。

【0047】

フレーム８２の後端部の下側には、カバー１２０が設けられている。カバー１２０は、荷台１０２が格納領域１０４に格納される際に、荷台１０２の開口１０２ｂを覆う。開口１０２ｂがカバー１２０によって覆われると、自動搬送車１０の走行中に荷台１０２の収容部１０２ａに異物が入り込むことを防止でき、搬送されている物品への異物の付着が防止される。また、自動搬送車１０の走行中に荷台１０２が傾いたり振動したりしても、物品の開口１０２ｂからの飛び出しがカバー１２０によって防止される。

【0048】

フレーム８２の前端部及び後端部には、一対の第１センサー１２２が設けられている。すなわち、一対の第１センサー１２２は、フレーム８２の長さ方向（車長方向）に離れた２つの位置に設けられている。また、フレーム８２の両側端部には、一対の第２センサー１２４が設けられている。すなわち、一対の第２センサー１２４は、フレーム８２の幅方向（車幅方向）に離れた２つの位置に配置されている。

【0049】

第１センサー１２２と第２センサー１２４とは、それぞれ、自動搬送車１０が走行する搬送路６と対向するようにフレーム８２に固定され、搬送路６に設けられた目印を検出する。第１センサー１２２及び第２センサー１２４による目印の検出結果に基づいて、自動搬送車１０の走行、旋回、停車等が制御される。第１センサー１２２及び第２センサー１２４を用いた自動搬送車１０の制御の詳細については後述する。

【0050】

さらに、図３（Ａ）等に示すように、フレーム８２の前端部には、自動搬送車１０が障害物に衝突したことを検知する第３センサー１２６が設けられている。例えば、フレーム８２の前端部の両端側に、一対の第３センサー１２６が装着される。第３センサー１２６としては、例えば、押しボタン式のスイッチが用いられる。

【0051】

自動搬送車１０の前端部が障害物に衝突すると、第３センサー１２６が作動して自動搬送車１０の衝突が検知される。そして、第３センサー１２６により自動搬送車１０の衝突が検知されると、自動搬送車１０は動作を停止する。自動搬送車１０は、衝突等に起因する衝撃を弱めることのできる柔軟な外装カバー１０ｃ（図１参照）によって覆われる。そして、自動搬送車１０を覆う外装カバー１０ｃが障害物に衝突すると、外装カバー１０ｃが変形して第３センサー１２６に接触し、自動搬送車１０の衝突が検知される。

【0052】

図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、昇降ユニット１１０の上側には、フレーム８２に固定された板状の支持台１２８が設けられている。この支持台１２８の上面には、自動搬送車１０の動作を制御する制御部１３０が固定されている。制御部１３０は、自動搬送車１０の各構成要素（駆動ユニット９０、昇降ユニット１１０、第１センサー１２２、第２センサー１２４、第３センサー１２６等）に接続されており、各構成要素の動作を制御する。

【0053】

制御部１３０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御部１３０の機能が実現される。

【0054】

また、支持台１２８上には、外部からの制御信号（情報）を受信して制御部１３０に送る受信器１３２ａと、制御部１３０から受け取った通知信号（情報）を外部に送信する送信器１３２ｂと、が固定されている。受信器１３２ａと送信器１３２ｂとは、それぞれ、制御部１３０に接続されている。そして、受信器１３２ａと送信器１３２ｂとは、第１の送受信器１３４として機能する。

【0055】

受信器１３２ａは、例えば、自動搬送システム２の制御ユニット１２（図２参照）から送信される制御信号を受信して制御部１３０に送る。制御部１３０は、例えば、受信器１３２ａから受け取った制御信号に基づき、自動搬送車１０の動作を制御する。また、制御部１３０は、例えば、通知用の信号（通知信号）を生成して送信器１３２ｂに送る。送信器１３２ｂは、例えば、制御部１３０から受け取った通知信号を自動搬送システム２の制御ユニット１２に送信する。

【0056】

なお、自動搬送車１０の各構成要素（昇降ユニット１１０、第１センサー１２２、第２センサー１２４、第３センサー１２６、制御部１３０、受信器１３２ａ、送信器１３２ｂ等）は、給電用の配線を介してバッテリー９６に接続されており、このバッテリー９６から供給される電力によって動作する。

【0057】

制御ユニット１２からの制御信号を自動搬送車１０の受信器１３２ａが受信し、この信号に基づく指示を制御部１３０が受けると、制御部１３０は、目的地に向けて自動搬送車１０を走行させる。自動搬送システム２を利用することで、加工装置は、加工前の被加工物ユニットを適時に受け取り、加工後の被加工物ユニットを適時に回収させることができる。

【0058】

加工装置（切削装置）４は、被加工物を加工する工具である切削ブレードを加工ユニットに着脱するオートブレードチェンジャー（不図示）と呼ばれる機構を備えても良い。オートブレードチェンジャーは、加工ユニットに装着された古い切削ブレードを取り外し、新しい切削ブレードを加工ユニットに装着する機能を有する。

【0059】

本実施形態に係る自動搬送システム２は、工具として切削ブレードを自動搬送車１０で加工装置４に搬送してもよい。この場合、加工装置４は、新しい切削ブレードを載置領域Ａに置かれた荷台１０２から取り出してブレードホルダーに搬入し、古い切削ブレードをブレードホルダーから取り出して荷台１０２に搬送するブレード搬送機構をさらに備える。

【0060】

さらに、本実施形態に係る自動搬送システム２は、消耗品として切削ブレードの真円出しやドレッシングに使用されるドレッサーボードを加工装置４に搬送してもよい。また、加工装置４において切削ブレードを切り込ませることで切削溝の太さや長さ、形状を確認できるテストボードが搬送されてもよい。これら場合、加工装置４は、載置領域Ａに置かれた荷台１０２からドレッサーボード等を搬送するための搬送機構をさらに備える。

【0061】

自動搬送システム２を構成する搬送路６は、例えば、各加工装置４の上面や、ローダー・アンローダー８の上面等に直接設置される。すなわち、搬送路６は、複数の加工装置４やローダー・アンローダー８等の間を接続するように、加工装置４やローダー・アンローダー８等の真上に配置されている。

【0062】

そのため、加工装置４の側面に設けられている配管接続部や扉等の構造に対して、搬送路６が干渉することはない。つまり、搬送路６を設計する際に、加工装置４の側面の構造を考慮する必要がなくなる。これにより、自動搬送システム２を容易に構築できる。また、工場の天井等に比べて低い場所に搬送路６が配置されるので、搬送路６の設置にかかる作業も容易になる。

【0063】

そして、例えば、複数の加工装置４等が既に設置されている環境で搬送路６を構築する場合には、工場の天井等に搬送路を設ける場合のように、加工装置４等を移動させて作業スペースを確保する必要がない。更に、既に設置されている加工装置４等が搬送路６の土台になるので、新たに土台を設ける場合等に比べて作業の工数も少なくなる。ただし、搬送路６は、加工装置４等の上方に設けられる場合に限定されず、加工装置４等の側方に設けられてもよい。

【0064】

搬送路６は、例えば、平板状の複数の路面パネル１３８を水平な方向に並べることによって形成される。例えば、搬送路６を形成する際には、加工装置４の上面等に組まれたフレーム構造（不図示）に各路面パネル１３８を固定する。複数の路面パネル１３８を組み合わせて搬送路６を形成するこの方法によると、複数の加工装置４やローダー・アンローダー８の配置に合う搬送路６を容易かつ迅速に構築できる。ただし、搬送路６は、複数の路面パネル１３８により構成されていなくてもよい。

【0065】

路面パネル１３８は、例えば、ポリアミドやポリカーボネート、ＣＦＲＰ（Carbon Fiber Reinforced Plastic：炭素繊維強化プラスチック）等の軽量で強度の高い材料を用いて平面視で矩形状に形成され、自動搬送車１０の走行に適した平坦な上面を有している。

【0066】

搬送路６を自動搬送車１０が走行すると、例えば、自動搬送車１０の車輪８６等と、搬送路６と、の摩擦により静電気が生じ、自動搬送車１０の荷台１０２に収容された物品に悪影響が及ぶことがある。例えば、搬送される物品である被加工物に半導体デバイスが形成されている場合には、この半導体デバイスが静電気によって破壊されるおそれがある。そこで、搬送路６となる路面パネル１３８の上面の車輪８６等が接触する部分には、導電性部材を露出させておくことが好ましい。

【0067】

導電性部材としては、例えば、アルミニウムや銅等の金属の他に、ＣＦＲＰ等が用いられる。なお、路面パネル１３８がＣＦＲＰで構成されている場合には、その上面にもＣＦＲＰが露出する。路面パネル１３８の上面に導電性部材を露出させておくことで、摩擦による静電気の発生と、その蓄積と、を抑制して、被加工物等に悪影響が及ぶのを防ぐことができる。

【0068】

なお、路面パネル１３８の上面に露出した導電性部材は、導線（不図示）等を介して接地されても良い。この場合には、車輪８６等と路面パネル１３８との接触により生じた静電気が導線を通じて放電するので、路面パネル１３８に蓄積しない。よって、被加工物等は、自動搬送車１０によって、より安全に搬送される。

【0069】

図６は、複数の路面パネル１３８を並べて構成される搬送路６を模式的に示す平面図である。また、図５（Ａ）乃至図５（Ｅ）に路面パネル１３８の種別の例を示す。図５（Ａ）は、Ｔ字路パネル１４０を模式的に示す平面図であり、図５（Ｂ）は、十字路パネル１４２を模式的に示す平面図であり、図５（Ｃ）は、開口部パネル１４４を模式的に示す平面図であり、図５（Ｄ）は、待機位置パネル１４６を模式的に示す平面図であり、図５（Ｅ）は、調整パネル１４８を模式的に示す平面図である。

【0070】

各路面パネル１３８には、複数の種類の目印１５０が設けられる。自動搬送車１０は、第１センサー１２２と、第２センサー１２４と、で検出される各種の目印１５０に基づいて、走行、旋回、停車等の動作を行う。目印１５０は、例えば、路面パネル１３８の上面の他の領域とは異なる色彩を持つ直線状に構成された領域である。

【0071】

ただし、目印１５０の態様に制限はない。目印１５０は、例えば、曲線状の領域を含んでも良いし、破線状に構成されても良い。また、目印１５０として、文字、数字、図柄等を用いることもできる。更に、目印１５０の色彩等にも制限はない。例えば、異なる色彩の複数の目印１５０を用いるとともに、この目印１５０の色彩に基づき各種の制御を行うように自動搬送車１０を構成しても良い。

【0072】

また、路面パネル１３８には、上下に貫通する開口部が設けられる。各開口部の用途については、後述する。そして、路面パネル１３８に設けられた各開口部は、自動搬送車１０の第１センサー１２２と、第２センサー１２４と、により検出可能であり、各開口部は目印１５０としても機能できる。

【0073】

各種の路面パネル１３８について詳述する。図５（Ａ）に示すＴ字路パネル１４０は、自動搬送車１０の３つの進路が設定された正方形状のパネルである。自動搬送車１０は、Ｔ字路パネル１４０の第１の辺１５２ａ、第３の辺１５６ａ、及び第４の辺１５８ａ側から該Ｔ字路パネル１４０に進退可能である一方で、第２の辺１５４ａ側から進退できない。Ｔ字路パネル１４０の第２の辺１５４ａには、自動搬送車１０の進退を防止し搬送路６からの脱落を防止する壁状のガード部１６０が設けられる。

【0074】

Ｔ字路パネル１４０の上面には、該上面の中心付近で互いに直交する２つの直線状の進路目印１５０ａが設けられている。より詳細には、第１の辺１５２ａから第３の辺１５６ａに至る進路目印１５０ａと、第２の辺１５４ａから第４の辺１５８ａに至る進路目印１５０ａと、が設けられている。

【0075】

進路目印１５０ａは、主に自動搬送車１０の第１センサー１２２により検出され、直進走行する自動搬送車１０に進行方向を示す。そして、２つの進路目印１５０ａの交点は、自動搬送車１０の進行方向の切り替えが可能な交差点１６２となる。Ｔ字路パネル１４０は交差点１６２を含むため、交差点１６２を構成する交差点パネルに分類できる。

【0076】

なお、自動搬送車１０が交差点１６２に進入すると、それまでに自動搬送車１０の第１センサー１２２により検出されていた進路目印１５０ａに交差する進路目印１５０ａが第１センサー１２２及び第２センサー１２４により検出される。そして、第１センサー１２２及び第２センサー１２４によりこの交差する進路目印１５０ａが検出されることにより交差点１６２の存在とその位置が検出される。ただし、交差点１６２は、第１センサー１２２及び第２センサー１２４の一方のみで検出されてもよい。

【0077】

また、Ｔ字路パネル１４０の上面には、進路目印１５０ａに直交する３つの短い線状の参照目印１５０ｂが設けられている。より詳細には、交差点１６２及び第１の辺１５２ａの間に２つの参照目印１５０ｂが設けられており、交差点１６２及び第４の辺１５８ａの間に１つの参照目印１５０ｂが設けられている。参照目印１５０ｂは、自動搬送車１０の第１センサー１２２及び第２センサー１２４により検出される。

【0078】

参照目印１５０ｂは、Ｔ字路パネル１４０の交差点１６２の位置、後述する開口部１６４の位置、その他の特徴点の位置等を示す。また、参照目印１５０ｂは、後述の通り、自動搬送車１０が走行する路面パネル１３８の種別がＴ字路パネル１４０であることが判別される際に利用される。参照目印１５０ｂは、その用途に応じて定められた位置でＴ字路パネル１４０の上面に設けられる。

【0079】

また、Ｔ字路パネル１４０には、進路目印１５０ａを跨ぐように設けられた比較的小さな２つの開口部１６４が設けられている。より詳細には、交差点１６２及び第１の辺１５２ａの間に開口部１６４が設けられており、交差点１６２及び第４の辺１５８ａの間に開口部１６４が設けられている。

【0080】

この比較的小さな開口部１６４は、主に、自動搬送車１０で搬送される小型の工具類等の昇降経路として機能する。例えば、Ｔ字路パネル１４０と重なるように下方に加工装置４が設置されている場合、該開口部１６４を通して工具類が該加工装置４に搬出入されてもよい。ただし、すべての開口部１６４で工具類が搬出入される必要はなく、使用されない開口部１６４が存在してもよい。開口部１６４は、第１センサー１２２及び第２センサー１２４により検出可能であり、目印１５０の一種として機能できる。

【0081】

なお、Ｔ字路パネル１４０の上面には、固有の配置で各種の目印１５０が設けられており、他の種別の路面パネル１３８にはこの配置では目印１５０が設けられていない。自動搬送車１０のセンサー１２２，１２４でＴ字路パネル１４０の目印１５０を検出すると、自動搬送車１０が走行する領域がＴ字路パネル１４０であること及び交差点１６２の位置等が検出される。

【0082】

ここで、自動搬送車１０の第１センサー１２２及び第２センサー１２４の位置と、Ｔ字路パネル１４０の各参照目印１５０ｂと、の位置関係について詳述する。図７は、Ｔ字路パネル１４０に載る自動搬送車１０の一部の構成要素と、該Ｔ字路パネル１４０の各構成要素と、の位置関係を模式的に示す平面図である。説明の便宜のために、図７では、自動搬送車１０の車輪８６，８８と、第１センサー１２２ａ，１２２ｂと、第２センサー１２４ａ，１２４ｂと、をハッチングラインを付した四角形により表示している。

【0083】

後述するように、Ｔ字路パネル１４０の中央付近では、自動搬送車１０が第１センサー１２２ａ，１２２ｂと、第２センサー１２４ａ，１２４ｂと、を作動させながらその場で旋回する。Ｔ字路パネル１４０の参照目印１５０ｂは、このときに第１センサー１２２ａ，１２２ｂと、第２センサー１２４ａ，１２４ｂと、により検出可能な位置に設けられる。

【0084】

図７に示す例では、前側の第１センサー１２２ａで第１の辺１５２ａに近い参照目印１５０ｂが検出されると同時に左翼側の第２センサー１２４ａで第３の辺１５６ａに近い参照目印１５０ｂが検出される。このとき、後ろ側の第１センサー１２２ｂと、右翼側の第２センサー１２４ｂは参照目印１５０ｂを検出せず、進路目印１５０ａだけを検出する。

【0085】

さらに、自動搬送車１０をその場で時計回りに９０度回転させたとき、左翼側の第２センサー１２４ａで第１の辺１５２ａに近い参照目印１５０ｂが検出されると同時に後ろ側の第１センサー１２２ｂで第３の辺１５６ａに近い参照目印１５０ｂが検出される。このとき、前側の第１センサー１２２ａ及び右翼側の第２センサー１２４ｂは、参照目印１５０ｂを検出せず進路目印１５０ａだけを検出する。

【0086】

自動搬送車１０が載る路面パネル１３８（Ｔ字路パネル１４０）の向きと、自動搬送車１０の向きと、により参照目印１５０ｂを検出するセンサー１２２，１２４が変化する。そのため、センサー１２２，１２４に参照目印１５０ｂを検出させることにより、自動搬送車１０及び路面パネル１３８の相対的な向きの検出が可能である。

【0087】

次に、路面パネル１３８の一種である十字路パネル１４２について詳述する。図５（Ｂ）に示す十字路パネル１４２は、自動搬送車１０の４つの進路が設定された正方形状のパネルである。すなわち、自動搬送車１０は、十字路パネル１４２の第１の辺１５２ｂ、第２の辺１５４ｂ、第３の辺１５６ｂ、及び第４の辺１５８ｂ側から該十字路パネル１４２に進退可能である。ここで、十字路パネル１４２の各構成要素についてＴ字路パネル１４０と共通するものについては、機能等について適宜説明を参酌できる。

【0088】

十字路パネル１４２の上面には、該上面の中心付近で互いに直交する２つの直線状の進路目印１５０ａが設けられている。より詳細には、第１の辺１５２ｂから第３の辺１５６ｂに至る進路目印１５０ａと、第２の辺１５４ｂから第４の辺１５８ｂに至る進路目印１５０ａと、が設けられている。２つの進路目印１５０ａの交点は、交差点１６２となる。十字路パネル１４２は交差点１６２を含むため、交差点１６２を構成する交差点パネルに分類できる。

【0089】

十字路パネル１４２の上面には、進路目印１５０ａに直交する２つの短い線状の参照目印１５０ｂが設けられている。より詳細には、該上面の交差点１６２及び第３の辺１５６ｂの間に２つの参照目印１５０ｂが設けられている。また、十字路パネル１４２には、進路目印１５０ａを跨ぐように設けられた比較的小さな１つの開口部１６４が設けられている。より詳細には、２つの参照目印１５０ｂの間に開口部１６４が設けられている。

【0090】

十字路パネル１４２の上面には、固有の配置で参照目印１５０ｂ及び開口部１６４が設けられており、他の種別の路面パネル１３８にはこの配置では参照目印１５０ｂ及び開口部１６４が設けられていない。自動搬送車１０のセンサー１２２，１２４で十字路パネル１４２の進路目印１５０ａ及び参照目印１５０ｂを検出すると、自動搬送車１０が走行する領域が十字路パネル１４２であること及び交差点１６２の位置等が検出される。

【0091】

図５（Ｃ）に示す開口部パネル１４４は、加工装置４等の上方に設けられる正方形状の路面パネル１３８である。開口部パネル１４４の中央には、比較的大きな開口部１６６が形成されている。この比較的大きな開口部１６６は、主に、自動搬送車１０の荷台１０２の昇降経路として機能する。開口部パネル１４４は、該開口部１６６と、加工装置４の載置領域Ａと、が重なるように該加工装置４の上方に設けられる。

【0092】

開口部１６６は、該開口部１６６の上方に到達した自動搬送車１０の荷台１０２が載置領域Ａに載る際の経路となる。そのため、開口部１６６は、荷台１０２が支障なく通過できる大きさ及び形状である必要がある。かつ、自動搬送車１０が開口部１６６の上方に進出したときに前側の車輪８６が脱落しないように、開口部１６６は一対の車輪８６の間隔よりも狭い幅に形成される必要がある。

【0093】

一方で、自動搬送車１０の後ろ側の車輪８８が開口部１６６に脱落しないように、自動搬送車１０が停止するべき位置を示す目印１５０が必要となる。図５（Ｃ）に示す開口部パネル１４４では、自動搬送車１０が第１の辺１５２ｃ側から進入する。そして、開口部パネル１４４の上面の第３の辺１５６ｃ側には、自動搬送車１０の停止位置を示す停止目印１５０ｃが設けられる。

【0094】

停止目印１５０ｃは、荷台１０２が開口部１６６を支障なく通過できる位置に自動搬送車１０が停止できる位置に設けられる。停止目印１５０ｃが第１センサー１２２により検出された際、自動搬送車１０は停止する。

【0095】

また、開口部パネル１４４の上面には開口部１６６から第１の辺１５２ｃに至る直線状の進路目印１５０ａが設けられており、また、この進路目印１５０ａを横切るように参照目印１５０ｂが設けられる。参照目印１５０ｂは、例えば、自動搬送車１０の第１センサー１２２により検出される。さらに、開口部１６４は、第１センサー１２２により検出可能であり、目印１５０の一種として機能できる。

【0096】

自動搬送車１０は、開口部パネル１４４の第２の辺１５４ｃ、第３の辺１５６ｃ、及び第４の辺１５８ｃ側から進退しない。そこで、開口部パネル１４４の上面の第２の辺１５４ｃ、第３の辺１５６ｃ、及び第４の辺１５８ｃには、壁状のガード部１６０が設けられてもよい。なお、図５（Ｃ）においては、第３の辺１５６ｃ側にガード部１６０が設けられていない。

【0097】

そして、第１の辺１５２ｃ側からのみ自動搬送車１０が開口部パネル１４４に進退するため、該開口部パネル１４４は搬送路６の行き止まりを構成する行き止まりパネルに分類される。

【0098】

図５（Ｄ）に示す待機位置パネル１４６は、稼働していない自動搬送車１０が他の自動搬送車１０の搬送を妨げないように待機する待機位置として機能する正方形状のパネルである。第３の辺１５６ｄ側からのみ自動搬送車１０が待機位置パネル１４６に進退するため、該待機位置パネル１４６は搬送路６の行き止まりを構成する行き止まりパネルに分類される。

【0099】

待機位置パネル１４６の上面には、自動搬送車１０が進退する第３の辺１５６ｄから第１の辺１５２ｄに至る直線状の進路目印１５０ａが設けられる。待機位置パネル１４６の上面の第１の辺１５２ｄ側には、自動搬送車１０が停止するべき位置を示す目印１５０として、自動搬送車１０の停止位置を示す停止目印１５０ｃが設けられる。また、待機位置パネル１４６の上面には、進路目印１５０ａに直交する短い線状の参照目印１５０ｂが設けられている。

【0100】

さらに、待機位置パネル１４６には、進路目印１５０ａを跨ぐように設けられた比較的小さな開口部１６４が設けられている。開口部１６４は、主に、自動搬送車１０で搬送される小型の工具類等の昇降経路として機能する。例えば、待機位置パネル１４６と重なるように下方に加工装置４が設置されている場合、該開口部１６４を通して工具類が該加工装置４に搬出入されてもよい。

【0101】

待機位置パネル１４６の進路目印１５０ａ、参照目印１５０ｂ、停止目印１５０ｃ、及び開口部１６４は、自動搬送車１０の第１センサー１２２により検出可能であり、目印１５０の一種として機能できる。

【0102】

自動搬送車１０は、待機位置パネル１４６の第１の辺１５２ｄ、第２の辺１５４ｄ、及び第４の辺１５８ｄ側から進退しない。そこで、待機位置パネル１４６の上面の第１の辺１５２ｄ、第２の辺１５４ｄ、及び第４の辺１５８ｄには、壁状のガード部１６０が設けられてもよい。なお、図５（Ｄ）においては、第１の辺１５２ｄ側にガード部１６０が設けられていない。

【0103】

なお、開口部パネル１４４及び待機位置パネル１４６では、自動搬送車１０が所定の時間停止することが想定される。そこで、自動搬送車１０の停止時間を利用してバッテリー９６を充電できるように、電源（不図示）に接続された給電用の端子１６８（図１参照）が配置されているとよい。図１には、開口部パネル１４４に設けられた一対の端子１６８が模式的に示されている。

【0104】

例えば、開口部パネル１４４や待機位置パネル１４６に自動搬送車１０を停車させて、自動搬送車１０の端子（受電端子）１００を端子１６８に接触させれば、端子１００及び充電用の配線（充電配線）９８を介して、バッテリー（二次電池）９６に充電用の電力が供給される。つまり、バッテリー９６を充電できる。

【0105】

搬送路６は、Ｔ字路パネル１４０、十字路パネル１４２、開口部パネル１４４、及び待機位置パネル１４６等の路面パネル１３８の組み合わせにより構築されるとよい。搬送路６を構成する各路面パネル１３８の構成及び配置は、搬送路６が設けられる工場等における加工装置４やローダー・アンローダー８等の配置に合わせて決定される。各路面パネル１３８は、加工装置４の上面等に固定された図示しないフレームに固定ネジ１７０（図１参照）等により固定される。

【0106】

ここで、単に４種類の路面パネル１３８を組み合わせただけでは、加工装置４やローダー・アンローダー８等の配置に合った好適な搬送路６を構築できない場合がある。そこで、各路面パネル１３８の位置をより自由に調整できるように、図５（Ｅ）に示される調整パネル１４８が使用される。

【0107】

図５（Ｅ）は、調整パネル１４８を模式的に示す平面図である。調整パネル１４８は、第１の辺１５２ｅ及び第３の辺１５６ｅと、第２の辺１５４ｅ及び第４の辺１５８ｅと、の長さの異なる矩形状のパネルである。調整パネル１４８の上面には、自動搬送車１０の進路を示す直線状の進路目印１５０ａが設けられる。進路目印１５０ａは、第２の辺１５４ｅ及び第４の辺１５８ｅと平行である。

【0108】

例えば、第１の辺１５２ｅ及び第３の辺１５６ｅの長さは、他の路面パネル１３８の幅に合わせられる。第２の辺１５４ｅ及び第４の辺１５８ｅの長さは、調整パネル１４８の設置される位置や用途等に応じて適宜設定される。さらに、搬送路６では、第２の辺１５４ｅ及び第４の辺１５８ｅの長さの異なる複数の種類の調整パネル１４８が使用されてもよい。

【0109】

図６は、加工装置４等の上面に構築された搬送路６の一例を模式的に示す平面図であり、図１は、搬送路６の他の一例の一部を拡大して模式的に示す斜視図である。図６に示す搬送路６は、環状に配された１４枚のＴ字路パネル１４０と、各加工装置４等の載置領域Ａの上方に配された４枚の開口部パネル１４４と、分散配置された６枚の待機位置パネル１４６と、２枚の調整パネル１４８と、により構成される。搬送路６上では、複数の自動搬送車１０が走行することで被加工物や工具等の物品が搬送される。

【0110】

制御ユニット１２は、各自動搬送車１０と通信し、各自動搬送車１０を制御する。より詳細には、制御ユニット１２は、搬送路６の構成に関する情報を含むマップ情報を記憶し、該マップ情報に基づいて各自動搬送車１０の出発地から目的地までの道順を決定し、該道順に従って走行するように自動搬送車１０を制御する。

【0111】

自動搬送車１０は、制御ユニット１２から指令を受け、搬送路６の路面パネル１３８の上面に設けられた各目印１５０をセンサー１２２，１２４で検出し、自身の位置を確認しつつ該道順に沿って搬送路６上を走行する。より具体的には、自動搬送車１０は、進路目印１５０ａを検出し、進路目印１５０ａに沿って直進する。そして、交差する２つの進路目印１５０ａを検出して交差点１６２を検出し、所定の交差点１６２で旋回して進行方向を変更する。

【0112】

例えば、自動搬送システム２の制御ユニット１２は、自動搬送車１０が旋回するべき交差点１６２を自動搬送車１０の制御部１３０に指示するために、該交差点１６２が何番目に検出される交差点１６２であるかを示す数を該制御部１３０に送る。そして、自動搬送車１０の制御部１３０は、移動する自動搬送車１０が通過する交差点１６２の数をカウントする。そして、検出された交差点１６２の数がこの数に達すると、制御部１３０は自動搬送車１０を旋回させる。

【0113】

最終的に、目的地となる開口部パネル１４４または待機位置パネル１４６に設けられた停止目印１５０ｃを検出し、停止する。このように、各目印１５０は、自動搬送車１０の予定された走行を実現するために参照される

【0114】

自動搬送車１０は、例えば、環状に配された複数のＴ字路パネル１４０に沿う一方の向きに走行し、他方の向きには走行しない（つまり、一方通行）。これにより、自動搬送車１０を簡単な制御で安全に走行させることができる。ただし、搬送路６の構成や自動搬送車１０の走行の態様等に制限はない。例えば、搬送路６は、自動搬送車１０の双方向への走行を許容するように構成されることがある。また、搬送路６は、終端のない環状に形成されている必要はなく、例えば、終端を持つ形状に形成されても良い。

【0115】

待機位置パネル１４６は、例えば、自動搬送車１０を待機させる可能性の高い領域に配置される。待機位置パネル１４６に自動搬送車１０を待機させることで、他の自動搬送車１０は、待機中の自動搬送車１０を追い越すことができる。また、自動搬送車１０の双方向への走行が許容されている場合には、この待機位置パネル１４６で一時的に自動搬送車１０を待機させることで、２台の自動搬送車１０を行き違わせることができる。

【0116】

ここで、制御ユニット１２の構成について説明する。図２には、制御ユニット１２の構成を模式的に示すブロック図が含まれている。制御ユニット１２は、各種の制御を行うための制御信号を生成する制御部１７２を備えている。この制御部１７２は、例えば、ＣＰＵ等の処理装置と、ＤＲＡＭ等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。補助記憶装置に記憶されるソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御部１７２の機能が実現される。

【0117】

制御部１７２には、加工装置４、ローダー・アンローダー８、自動搬送車１０等との間で各種の信号を送受信する第２の送受信器１７４が接続されている。第２の送受信器１７４は、例えば、自動搬送車１０が備える第１の送受信器１３４（図３（Ａ）等参照）との間で情報（信号）を送受信する。

【0118】

また、制御ユニット１２は各種の情報を記憶できる記憶部１７６を備える。記憶部１７６は、例えば、被加工物に関する情報や加工装置４の加工条件等の各種の情報を記憶できる。また、記憶部１７６は、搬送路６のマップ情報を記憶できるマップ情報記憶部として機能できる。

【0119】

ここで、搬送路６のマップ情報とは該搬送路６の構成に関する情報であり、各自動搬送車１０の走行計画の策定時や走行時に参照される情報である。マップ情報は、必ずしも搬送路６の構成を平面的に表現した地図の形態に限定されない。

【0120】

例えば、マップ情報には、搬送路６を構成する各路面パネル１３８の配置や、それぞれの路面パネル１３８の向き等の情報により構成される。さらに、各路面パネル１３８に設けられた各目印１５０の配置や、交差点１６２等の位置、各開口部１６４，１６６の配置に関する情報が含まれてもよい。マップ情報では、各要素の配置を示す平面座標により構成されてもよい。

【0121】

制御ユニット１２の制御部１７２は、記憶部（マップ情報記憶部）１７６に記憶されたマップ情報を読み出し、各自動搬送車１０の走行計画を策定する。例えば、制御部１７２は、マップ情報に基づいて各自動搬送車１０の出発地から目的地までの道順を決定する。そして、該道順に従って走行するように自動搬送車１０に信号を送り、各自動搬送車１０を制御する。このように、制御部１７２は、自動搬送車１０を制御する搬送制御部として機能できる。

【0122】

ここで、自動搬送システム２が稼働する半導体デバイスの工場等では、製造する半導体デバイスや被加工物の加工条件の変更、その他の事情により、各加工装置４の配置が変更されることがある。また、該工場等では、古い加工装置４が取り除かれて新しい加工装置４に入れ替えられたりする。このとき、工場における加工装置４等の新しい配置に対応した搬送路６となるように、搬送路６の構成を変更する必要がある。

【0123】

そして、搬送路６の構成が変更されたとき、記憶部（マップ情報記憶部）１７６に記憶された古いマップ情報が参照されて各自動搬送車１０が制御されると、自動搬送車１０が目的の通りに被加工物等の物品を搬送できない。さらに、開口部１６６への自動搬送車１０の車輪８６，８８の脱落が生じることや、搬送路６からの自動搬送車１０の落下が生じることがある。すなわち、搬送路６の構成が変更された際には、記憶部１７６に新しいマップ情報を登録する必要がある。

【0124】

例えば、自動搬送システム２や加工装置４等の管理者が、制御ユニット１２の記憶部１７６に新しいマップ情報を登録することが考えられる。マップ情報は、例えば、この管理者等が制御ユニット１２やその他の端末を利用して作成する。しかしながら、この場合、新しいマップ情報を作成するために搬送路６の各所の寸法を測定する必要があり、また、搬送路６の構築に使用された各路面パネル１３８の配置及び向き等を確認する必要があり、人的コストや時間的コストがかかる。

【0125】

その上、記憶部１７６に新たに登録したマップ情報に間違いがある場合、自動搬送車１０が正常に動かなくなり工程が停止するだけでなく、自動搬送車１０や加工装置４、被加工物等の物品に損傷が生じる場合がある。そして、再度搬送路６の各所の寸法等を測定してマップ情報を作り直す必要がある。

【0126】

そこで、本実施形態に係る自動搬送システム２では、搬送路６が新設される際や搬送路６の構成が変更された際に、自動搬送車１０に搬送路６を走行させて探索させることで自動的にマップ情報を作成する。自動搬送車１０は、搬送路６に設けられた目印１５０をセンサー１２２，１２４で検出しつつ該搬送路６を走行し、検出される目印１５０の種別や位置等の情報を生成する。そして、各目印１５０の位置（座標）等の情報に基づいてマップ情報を自動的に作成する。

【0127】

制御ユニット１２の制御部１７２は、記憶部１７６に記憶されたプログラムに従って自動搬送車１０に搬送路６の探索動作を実施させる探索制御部１７２ａと、探索の結果に基づいて搬送路６のマップ情報を作成するマップ情報作成部１７２ｂと、を備える。自動搬送システム２の管理者は、制御ユニット１２を操作してこのプログラムを実行させ、探索及びマップ情報の作成工程を開始させる。なお、探索制御部１７２ａ及びマップ情報作成部１７２ｂは、制御ユニット１２に代えて自動搬送車１０が備えてもよい。

【0128】

以下、本実施形態に係る自動搬送システム２において、自動的にマップ情報が作成される過程について詳述する。すなわち、マップ情報を作成するマップ情報作成方法の各ステップについて説明する。図１１は、マップ情報作成方法の各ステップの流れを説明するフローチャートである。

【0129】

まず、自動搬送車１０を搬送路６上に配置する配置ステップＳ１０が実施される。図９は、配置ステップＳ１０を模式的に示す平面図である。図９では、説明の便宜のために搬送路６の一部の構成例として２つの並んだＴ字路パネル１４０を表示しており、搬送路６の他の構成については省略している。また、該構成例では、２つのＴ字路パネル１４０の向きを同一としており、第１の辺１５２ａから第３の辺１５６ａに向く方向をＸ軸方向とし、第４の辺１５８ａから第２の辺１５４ａに向く方向をＹ軸方向とする。

【0130】

配置ステップＳ１０では、管理者等が搬送路６上に自動搬送車１０を置く。このとき自動搬送車１０が置かれる位置に特に制限はないが、自動搬送車１０のセンサー１２２，１２４が最初の目印１５０を検出するまでの間に自動搬送車１０が闇雲に移動する必要のないように、搬送路６に設けられた線状の目印１５０に重ねるように自動搬送車１０を搬送路６上に置くことが好ましい。

【0131】

図９に示す例では、搬送路６を構成する２つのＴ字路パネル１４０のうち左側のＴ字路パネル１４０の交差点１６２に自動搬送車１０の中心が合うように該Ｔ字路パネル１４０の上に自動搬送車１０を載せる。このとき、自動搬送車１０の前方向をＹ軸方向に合わせている。ただし、配置ステップＳ１０はこれに限定されない。

【0132】

なお、搬送路６の構成が部分的に変更される場合等において、自動搬送車１０は、搬送路６の変更の前後にわたり一つの路面パネル１３８（例えば、待機位置パネル１４６）上に載り続けてもよい。この場合、搬送路６の構成の変更が完了した時点で、新たな搬送路６における配置ステップＳ１０が完了したといえる。すなわち、自動搬送車１０を搬送路６上に配置するとは、自動搬送車１０の移動を伴う場合に限定されず、自動搬送車１０が搬送路６上に位置する状態であることを含む。

【0133】

次に、自動搬送車１０が配置された位置に設けられた目印１５０をセンサー１２２，１２４に検出させ、該位置についての情報を取得する初動ステップＳ２０を実施する。図１０（Ａ）は、初動ステップＳ２０を模式的に示す平面図である。初動ステップＳ２０では、目印１５０に基づいて自動搬送車１０の現在の位置についての情報を作成する。

【0134】

まず、センサー１２２，１２４を作動させる。このとき、該自動搬送車１０が配置された位置に設けられた目印１５０がセンサー１２２，１２４により検出されない場合、各センサー１２２，１２４を作動させながら搬送路６上を走行し、最初の目印１５０を検出する。そして、最初の目印１５０が検出されたとき、自動搬送車１０がその場で旋回し、周囲に設けられている目印１５０をセンサー１２２，１２４により検出する。

【0135】

ここで、図５（Ａ）乃至図５（Ｅ）のそれぞれに示す５種類の路面パネル１３８により搬送路６が構成される場合、自動搬送車１０が載っている路面パネル１３８の種別と、該路面パネル１３８の向きと、が判別されるとよい。これにより、自動搬送車１０の現在の位置についての情報が得られる。

【0136】

例えば、図１０（Ａ）に示す通り自動搬送車１０がセンサー１２２，１２４を作動させつつ旋回すると、２つの直交する進路目印１５０ａが検出される。この場合、該進路目印１５０ａに沿った進路が存在することが検出される。また、進行方向を変更できる交差点１６２が存在することと、その位置と、が検出される。交差点１６２が存在する種別の路面パネル１３８は交差点パネル（Ｔ字路パネル１４０、十字路パネル１４２）であるため、この時点で自動搬送車１０が交差点パネルに載っていることが判明する。

【0137】

そして、一方の進路目印１５０ａの交差点１６２を挟んだ一方側と、他方の進路目印１５０ａの交差点１６２を挟んだ一方側と、に設けられた２つの参照目印１５０ｂがセンサー１２２，１２４により検出される。交差点パネルのうち、この位置関係で参照目印１５０ｂが設けられているのはＴ字路パネル１４０であるため、この時点で自動搬送車１０がＴ字路パネル１４０に載っていることが判明する。

【0138】

さらに、Ｔ字路パネル１４０の向きもこの時点で判別可能である。Ｔ字路パネル１４０では、交差点１６２から進路目印１５０ａが伸びた４つの進路のうち、参照目印１５０ｂが設けられた進路に第１の辺１５２ａまたは第４の辺１５８ａが存在する。そして、交差点１６２を中心とした時計回り方向において、前方側の参照目印１５０ｂが設けられている進路に第１の辺１５２ａが存在し、後方側の参照目印１５０ｂが設けられている進路に第４の辺１５８ａが存在する。

【0139】

また、Ｔ字路パネル１４０では、交差点１６２から進路目印１５０ａが伸びた４つの進路のうち、参照目印１５０ｂが設けられていない進路に第２の辺１５４ａまたは第３の辺１５６ａが存在する。そして、交差点１６２を中心とした時計回り方向において、参照目印１５０ｂが設けられていない前方側の進路に第３の辺１５６ａが存在し、後方側の進路に第２の辺１５４ａが存在する。すなわち、Ｔ字路パネル１４０の向きが特定される。

【0140】

なお、配置ステップＳ１０において自動搬送車１０が十字路パネル１４２に配置される場合、初動ステップＳ２０では、２つの互いに直交する進路目印１５０ａが検出される。そして、一方の進路目印１５０ａに参照目印１５０ｂが設けられており、他方の進路目印１５０ａに参照目印１５０ｂが設けられていないことが検出される。この特徴は十字路パネル１４２に固有の特徴であるため、自動搬送車１０が十字路パネル１４２に載っていることが検出される。

【0141】

さらに、交差点１６２から伸びた４つの進路のうち、参照目印１５０ｂが設けられた進路に第３の辺１５６ｂが存在し、交差点１６２を中心とした時計回り方向において、第３の辺１５６ｂの前側に第４の辺１５８ｂが存在する。そして、さらにその前側に第１の辺１５２ｂが存在し、さらにその前側に第２の辺１５４ｂが存在する。すなわち、十字路パネル１４２の向きが特定される。

【0142】

このように、初動ステップＳ２０では、自動搬送車１０のセンサー１２２，１２４で搬送路６に設けられた目印１５０を検出することで、配置ステップＳ１０で自動搬送車１０が置かれた位置に関する情報を取得する。

【0143】

なお、自動搬送車１０は、センサー１２２，１２４による目印１５０の検出状況を第１の送受信器１３４により制御ユニット１２に逐一送信してもよい。そして、自動搬送車１０が置かれた位置についての情報は、制御ユニット１２の記憶部１７６に記憶されてもよい。

【0144】

初動ステップＳ２０の後、搬送路６の未探索の領域の構成を特定するために、走行ステップＳ３０を実施する。走行ステップＳ３０では、配置ステップＳ１０で自動搬送車１０が位置する初期位置から該自動搬送車１０を移動させ、搬送路６の未探索の領域を探索させる。ここで、初動ステップＳ２０において該初期位置に交差点１６２が存在することが検出され該交差点１６２から延びる搬送路６の方向（進路）が２つ以上検出されている場合における自動搬送車１０の進路の優先順位が予め設定されていてもよい。

【0145】

例えば、自動搬送車１０の初期位置において最初の目印１５０がセンサー１２２，１２４で検出されたときに自動搬送車１０が向いている方向に最も近い進路目印１５０ａの延びた方向を基準の方向とする。そして、基準の方向を優先順位の最も高い方向とし、自動搬送車１０を時計回りに旋回させるときに次に自動搬送車１０が向く進路目印１５０ａの延びた方向を次に優先順位の高い方向とする。同様に、時計回りに旋回する自動搬送車１０が向く順番で進路の優先順位が決定されるとよい。

【0146】

すなわち、図１０（Ａ）に示す例では、優先順位が最も高い基準の方向はＹ軸方向であり、Ｘ軸方向が次に優先順位の高い方向となる。探索制御部１７２ａは、交差点１６２から延びる搬送路６の方向が２つ以上検出された場合、他の方向よりも優先順位が高い方向の進路に向けて自動搬送車１０を走行させる。

【0147】

ここで、図１０（Ａ）に示す例では、最も優先順が高いＹ軸方向にガード部１６０が設けられており、自動搬送車１０の進路としては不適である。この進路の適否は、自動搬送車１０が置かれた初期位置がＴ字路パネル１４０であることと、該Ｔ字路パネル１４０の向きと、が検出されることで判定される。この場合、次に優先順位の高いＸ軸方向が進路として選定される。この方向への自動搬送車１０の進行には特に問題がない。

【0148】

走行ステップＳ３０では、このように決定された進路に自動搬送車１０を走行させる。走行ステップＳ３０における自動搬送車１０の走行距離は、後にマップ情報を作成するために記録される。走行中、自動搬送車１０は、第１センサー１２２により目印１５０（進路目印１５０ａ）を検出することで進路からの逸脱を防止する。さらに、自動搬送車１０は、搬送路６の次の領域に設けられた各種の目印１５０を検出できるように、第１センサー１２２及び第２センサー１２４を作動させる。

【0149】

図１０（Ｂ）は、走行ステップＳ３０を模式的に示す平面図である。図１０（Ｂ）に示す例では、自動搬送車１０は、２番目のＴ字路パネル１４０に進行する。そして、２番目のＴ字路パネル１４０のＹ軸方向に沿った進路目印１５０ａがセンサー１２２，１２４により検出されたとき、このＴ字路パネル１４０の交差点１６２の位置が検出される。

【0150】

次に、センサー１２２，１２４で検出された目印１５０に基づいて、自動搬送車１０が走行する領域についての情報を取得する領域識別ステップＳ４０を実施する。探索制御部１７２ａは、この交差点１６２を中心として自動搬送車１０を旋回させ、参照目印１５０ｂを検出させる。これにより、自動搬送車１０が２番目のＴ字路パネル１４０に載っていることと、該Ｔ字路パネル１４０の向きと、が検出される。

【0151】

走行ステップＳ３０では、探索制御部１７２ａは、車輪８６を回転させるモーターの回転数と、該車輪８６の円周と、自動搬送車１０の走行時間と、から該自動搬送車１０の直線走行における走行距離を算出する。この走行距離に基づくと、２つのＴ字路パネル１４０の交差点１６２の距離を算出できる。ここで、車輪８６の円周とは、車輪８６を床面上で一回転だけ転がしたときの該車輪８６の移動距離である。車輪８６の円周は、周長とも呼ばれる。

【0152】

ここで、２つのＴ字路パネル１４０の間には、調整パネル１４８（図５（Ｅ）参照）が設けられていてもよい。調整パネル１４８には、進路目印１５０ａ以外の目印が設けられていないため、調整パネル１４８の存在は直接的には検出されない。調整パネル１４８の有無は、２つのＴ字路パネル１４０の交差点１６２の距離に基づいて判定可能である。

【0153】

交差点１６２間の最低距離は、２つのＴ字路パネル１４０が隣接している場合における２つの交差点１６２間の距離である。そのため、走行ステップＳ３０で検出される２つのＴ字路パネル１４０の交差点１６２の距離がこの最低距離と等しい場合、２つのＴ字路パネル１４０の間に調整パネル１４８が存在しないことが確認される。該距離がこの最低距離よりも大きい場合、これらの差に相当する長さの調整パネル１４８が２つのＴ字路パネル１４０の間に設けられていることが判別される。

【0154】

２番目のＴ字路パネル１４０の存在と、その位置及び向きと、が確認された後、上述の初動ステップＳ２０と同様の手順により優先順位の高い進路が選択される。そして、自動搬送車１０は、該進路に向けて進行する。なお、自動搬送車１０の次の進路を決定する際には、自動搬送車１０がまだ走行しておらず、かつ、他の方向よりも優先順位の高い進路が選択される。そして、探索制御部１７２ａは、さらに次の進路に向けて自動搬送車１０を走行させ、搬送路６の探索を続行する。

【0155】

ここで、走行ステップＳ３０において自動搬送車１０が図５（Ｂ）に示す十字路パネル１４２に到達し、領域識別ステップＳ４０において該自動搬送車１０が走行する領域が十字路パネル１４２であることが識別される過程について説明する。

【0156】

自動搬送車１０は、２つの進路目印１５０ａの一方に沿って十字路パネル１４２に進入し、交差点１６２に到達する際にセンサー１２２，１２４により２つの進路目印１５０ａの他方を検出する。これにより、交差点１６２の存在及び位置が認識される。ここで、交差点１６２が存在する種別の路面パネル１３８は交差点パネル（Ｔ字路パネル１４０、十字路パネル１４２）であるため、この時点で自動搬送車１０が交差点パネルに載っていることが判明する。

【0157】

そして、探索制御部１７２ａは、センサー１２２を作動させながら交差点１６２の周りに自動搬送車１０を旋回させる。すると、一方の進路目印１５０ａの交差点１６２を境とした一方側にだけ参照目印１５０ｂが形成されており、該進路目印１５０ａの他方側及び他方の進路目印１５０ａには、参照目印１５０ｂが設けられていないことが検出される。交差点パネルのうち、この態様で参照目印１５０ｂが設けられているのは十字路パネル１４２であるため、自動搬送車１０が十字路パネル１４２に載っていることが判明する。

【0158】

次に、走行ステップＳ３０において自動搬送車１０が図５（Ｃ）に示す開口部パネル１４４に到達し、領域識別ステップＳ４０において該自動搬送車１０が走行する領域が開口部パネル１４４であることが識別される過程について説明する。自動搬送車１０は、第１の辺１５２ｃ側から進路目印１５０ａに沿って開口部パネル１４４に進入する。

【0159】

図８は、第１の辺１５２ｃ側から開口部パネル１４４に進入した自動搬送車１０の構成要素の位置関係を模式的に示す平面図である。自動搬送車１０が開口部パネル１４４に進入すると、前側の第１センサー１２２ａが開口部１６６の上方に到達する。このとき、自動搬送車１０が走行している開口部パネル１４４の床面が第１センサー１２２ａにより検出されなくなる。これにより開口部１６６の存在及び位置が検出される。

【0160】

搬送路６に使用できる路面パネル１３８のうち開口部１６６が設けられているのは開口部パネル１４４のみであるため、この時点で自動搬送車１０が走行している路面パネル１３８が開口部パネル１４４であることが識別される。開口部パネル１４４は行き止まりパネルの一種であり第１の辺１５２ｃ以外の辺では自動搬送車１０が進退できないため、探索制御部１７２ａは、自動搬送車１０の前進を止め自動搬送車１０を後退させる。

【0161】

なお、本実施形態に係る自動搬送システム２において物品を搬送する自動搬送車１０は、開口部パネル１４４において、前側の第１センサー１２２ａが停止目印１５０ｃを検出するまで前進する。これに対して、探索制御部１７２ａが自動搬送車１０を制御して搬送路６を探索する際には、自動搬送車１０が走行している路面パネル１３８が開口部パネル１４４であることが検出されたとき、自動搬送車１０をさらに前進させる必要はない。

【0162】

すなわち、前側の第１センサー１２２ａにより開口部１６６が検出されたときに自動搬送車１０はそれ以上前進しなくてもよく、その場から後退してもよい。これにより、自動搬送車１０の不要な移動が削減されるため、搬送路マップが効率的に作成される。

【0163】

次に、走行ステップＳ３０において自動搬送車１０が図５（Ｄ）に示す待機位置パネル１４６に到達し、領域識別ステップＳ４０において該自動搬送車１０が走行する領域が待機位置パネル１４６であることが識別される過程について説明する。自動搬送車１０は、進路目印１５０ａの一方に沿って第３の辺１５６ｄ側から待機位置パネル１４６に進入する。

【0164】

自動搬送車１０が待機位置パネル１４６に進入すると、自動搬送車１０の前側の第１センサー１２２ａがまず参照目印１５０ｂを検出し、その後、開口部１６４を検出する。待機位置パネル１４６では、開口部１６４の後方側には停止目印１５０ｃ以外の目印１５０が形成されておらず、第２センサー１２４が検出できる目印１５０も設けられていない。

【0165】

目印１５０がこの態様で設けられた路面パネル１３８は、待機位置パネル１４６以外にはない。そのため、探索制御部１７２ａは、自動搬送車１０が走行している路面パネル１３８が待機位置パネル１４６であることを判別できる。このとき、待機位置パネル１４６の位置及び向きも判別される。そして、待機位置パネル１４６は行き止まりパネルの一種であるため、自動搬送車１０が走行している路面パネル１３８が待機位置パネル１４６であることが判別したとき、自動搬送車１０はそれ以上前進する必要がない。

【0166】

なお、図５（Ｅ）に示す調整パネル１４８には、センサー１２２，１２４が検出できる目印１５０が設けられていない。そのため、走行ステップＳ３０において自動搬送車１０が調整パネル１４８を走行しても、自動搬送車１０が走行する領域が調整パネル１４８であることが直接的に検出されることはない。しかしながら、他の路面パネル１３８の配置が確認されることで、各路面パネル１３８の間に位置する調整パネル１４８が間接的に検出される。

【0167】

領域識別ステップＳ４０について小括する。領域識別ステップＳ４０では、目印１５０により搬送路６の交差点１６２が検出されたとき、自動搬送車１０の走行距離に基づいて該交差点１６２の位置を検出する。そして、センサー１２２，１２４で目印１５０を検出することで交差点１６２から延びている搬送路６の方向を検出する。また、領域識別ステップＳ４０では、目印１５０により搬送路６の行き止まりが検出されたとき、自動搬送車１０の走行距離に基づいて該行き止まりの位置を検出する。

【0168】

なお、搬送路６には、直線状の走路、交差点、及び行き止まり以外の要素が含まれてもよい。例えば、搬送路６には、カーブや曲がり角等が含まれてもよい。そして、領域識別ステップＳ４０では、目印１５０により搬送路６の曲がり角等が検出されてもよく、自動搬送車１０の該走行距離に基づいてこの曲がり角等の位置が検出されてもよい。

【0169】

このように、探索制御部１７２ａは、自動搬送車１０のセンサー１２２，１２４に目印１５０を検出させながら搬送路６上を自動搬送車１０に走行させる。そして、探索制御部１７２ａは、搬送路６の交差点１６２が検出されたときに自動搬送車１０の走行距離に基づいて該交差点１６２の位置及び交差点１６２から延びる搬送路６の方向（進路）を検出する。また、搬送路６の行き止まりが検出されたとき、自動搬送車１０の走行距離に基づいて該行き止まりの位置を検出する。

【0170】

探索制御部１７２ａは、自動搬送車１０を制御して該搬送路６を構成する各路面パネル１３８の種別及びその向きを次々に明らかにすることにより該搬送路６の未探索領域を次々に探索する。搬送路６に未探索の領域が残っている場合（Ｓ５０）、走行ステップＳ３０と、領域識別ステップＳ４０と、が繰り返される。

【0171】

そして、搬送路６のすべての進路が確認され搬送路６に未探索の領域が残っていない場合（Ｓ５０）、搬送路６の探索を終了する。そして、探索の結果に基づいて搬送路６のマップ情報を作成し、マップ情報を記憶部（マップ情報記憶部）１７６に記憶させるマップ情報記録ステップＳ６０を実施する。マップ情報記録ステップＳ６０では、交差点１６２の位置と、行き止まりの位置と、に基づいて搬送路６のマップ情報を作成する。

【0172】

本実施形態に係る自動搬送システム２の制御ユニット１２の制御部１７２は、探索制御部１７２ａにより実施された搬送路６の探索動作により得られた情報に基づいてマップ情報を作成するマップ情報作成部１７２ｂを備える。マップ情報記録ステップＳ６０は、主にマップ情報作成部１７２ｂの機能により実施される。マップ情報作成部１７２ｂは、交差点１６２の位置と、行き止まりの位置と、に基づいて搬送路６のマップ情報を作成する。

【0173】

マップ情報記録ステップＳ６０で作成されるマップ情報は、例えば、図６に示されるような平面状の図面でもよい。またマップ情報は、例えば、搬送路６を構成する各路面パネル１３８の種別と、各路面パネル１３８の位置及び向きと、を含む情報でもよい。ただし、マップ情報作成部１７２ｂが作成するマップ情報はこれに限定されない。

【0174】

自動搬送車１０が物品を搬送するときに搬送路６上の道順を制御部（搬送制御部）１７２が決定する際に必要となる情報以外の情報は、マップ情報作成部１７２ｂが作成するマップ情報から省略されてもよい。

【0175】

例えば、マップ情報は、搬送路６に含まれる各交差点１６２の位置を表す座標と、各行き止まりの位置を表す座標と、等により構成されてもよく、各路面パネル１３８の配置に関する情報が省略されてもよい。マップ情報作成部１７２ｂが作成したマップ情報は、制御ユニット１２の記憶部（マップ情報記憶部）１７６に記憶される。

【0176】

以上に説明する通り、本実施形態に係る自動搬送システム２及びマップ情報作成方法によると、自動搬送車１０に搬送路６を探索させることで自動的にマップ情報を作成でき、該マップ情報を記憶部（マップ情報記憶部）１７６に記憶できる。そのため、搬送路６の構成が変更されたとき等において、自動搬送システム２の管理者等がマップ情報を作成する必要がない。そして、マップ情報が自動的に作成されるため、誤ったマップ情報が記憶部１７６に登録されることもない。

【0177】

なお、上記の実施形態では、探索制御部１７２ａ及びマップ情報作成部１７２ｂが制御ユニット１２の制御部１７２に設けられる場合を例に本発明の一態様について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。すなわち、探索制御部及びマップ情報作成部の機能は、自動搬送車１０の制御部１３０により実現されてもよい。

【0178】

この場合、制御ユニット１２が第２の送受信器１７４から自動搬送車１０の第１の送受信器１３４に搬送路６の探索動作を実施する指令を含む信号を送信する。そして、第１の送受信器１３４で該信号を受信した自動搬送車１０では、該探索制御部が自動搬送車１０に搬送路６を走行させ、探索動作を実施する。

【0179】

すなわち、搬送路６に設けられた各目印１５０を自動搬送車１０の各センサー１２２，１２４で検出することで搬送路６の構成を明らかにする。そして、マップ情報作成部は、得られた情報から搬送路６のマップ情報を作成する。そして、自動搬送車１０の制御部１３０は、第１の送受信器１３４から制御ユニット１２の第２の送受信器１７４に作成されたマップ情報が格納された信号を送信する。そして、第２の送受信器１７４で該信号を受信した制御ユニット１２では、記憶部１７６にマップ情報を記憶させる。

【0180】

この場合、自動搬送車１０の第１の送受信器１３４と、制御ユニット１２の第２の送受信器１７４と、の間の通信の回数を低減できるため、通信エラーに起因するマップ情報の作成の失敗が生じにくくなる。

【0181】

また、上記の実施形態では、搬送路６が複数の路面パネル１３８により構成され、各路面パネル１３８の配置と向きが検出されることでマップ情報が作成される場合について主に説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。すなわち、搬送路６は、路面パネル１３８により構成されていなくてもよい。

【0182】

この場合においても搬送路６に設けられた目印１５０を自動搬送車１０のセンサー１２２，１２４で検出することによりマップ情報を作成できる。そして、マップ情報は、各交差点及び行き止まり等の位置（座標）及び各交差点から延びる搬送路６の方向等により構成される。

【0183】

その他、上述した実施形態や変形例等にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0184】

２ 自動搬送システム
４ 加工装置
６ 搬送路
８ ローダー・アンローダー
１０，１０ａ，１０ｂ 自動搬送車
１０ｃ 外装カバー
１２ 制御ユニット
８２ フレーム
８４ 車軸
８６，８８ 車輪
９０ 駆動ユニット
９２ モーター
９２ａ 回転軸
９４ プーリー
９６ バッテリー
１００ 端子
１０２ 荷台
１０２ａ収容部
１０２ｂ開口
１０４ 格納領域
１０６，１０８ ガイドレール
１１０ 昇降ユニット
１１２ 吊り下げ部材
１１４ 駆動機構
１２０ カバー
１２２，１２２ａ，１２２ｂ，１２４，１２４ａ，１２４ｂ，１２６ センサー
１２８ 支持台
１３０ 制御部
１３２ａ 受信器
１３２ｂ き０送信器
１３４ 第１の送受信器
１３８ 路面パネル
１４０ Ｔ字路パネル
１４２ 十字路パネル
１４４ 開口部パネル
１４６ 待機位置パネル
１４８ 調整パネル
１５０，１５０ａ，１５０ｂ，１５０ｃ 目印
１５２ａ，１５２ｂ，１５２ｃ，１５２ｄ，１５２ｅ 第１の辺
１５４ａ，１５４ｂ，１５４ｃ，１５４ｄ，１５４ｅ 第２の辺
１５６ａ，１５６ｂ，１５６ｃ，１５６ｄ，１５６ｅ 第３の辺
１５８ａ，１５８ｂ，１５８ｃ，１５８ｄ，１５８ｅ 第４の辺
１６０ ガード部
１６２ 交差点
１６４，１６６ 開口部
１６８ 端子
１７０ 固定ネジ
１７２ 制御部
１７２ａ 探索制御部
１７２ｂ マップ情報作成部
１７４ 第２の送受信器
１７６ 記憶部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】