特開 2022-133682 切削ブレードの管理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022133682

(43)【公開日】2022-09-14

(54)【発明の名称】切削ブレードの管理方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 49/12 20060101AFI20220907BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20220907BHJP

   B23Q 17/09 20060101ALI20220907BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20220907BHJP

【ＦＩ】

B24B49/12

B24B27/06 M

B23Q17/09 C

H01L21/78 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】1

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021032507

(22)【出願日】2021-03-02

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】古場 光彦

【テーマコード（参考）】

3C029

3C034

3C158

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C029DD04

3C029DD20

3C034AA13

3C034AA19

3C034BB73

3C034BB93

3C034CA22

3C034CB03

3C034CB13

3C034DD10

3C034DD18

3C034DD20

3C158AA03

3C158AC02

3C158BA01

3C158BC01

3C158BC02

3C158CB03

3C158DA17

5F063AA23

5F063AA40

5F063AA48

5F063DD20

5F063DE23

5F063DE36

(57)【要約】

【課題】鋸刃状の切削ブレードの破損を自動的に検出できる切削ブレードの管理方法を提供すること。
【解決手段】刃先の形状が鋸刃状の切削ブレード２１を管理する切削ブレードの管理方法は、検知部３１を切削ブレード２１の径方向に進退させ、回転する切削ブレード２１の刃先で受光部が受光する光が部分的に遮られて、受光量が所定範囲になる測定位置に検知部３１を配置する検知部位置調整ステップと、所定時間毎の受光量の平均値の変動から切削ブレード２１の破損の有無を判定しながら、被加工物１００を切削ブレード２１で切削する切削ステップと、を有する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを含む切削ユニットと、切削ブレードの破損を検出する破損検出ユニット、を備える切削装置を用いて、刃先の形状が鋸刃状の該切削ブレードを管理する切削ブレードの管理方法であって、
該破損検出ユニットは、該切削ブレードが進入する隙間を挟んで対向する発光部及び受光部を有する検知部と、該受光部に入射した光量に対応する値の電気信号を出力する光電変換部と、該電気信号の変動から該切削ブレードの破損を判定する判定部と、を有し、
該検知部を該切削ブレードの径方向に進退させ、回転する該切削ブレードの刃先で該受光部が受光する光が部分的に遮られて、受光量が所定範囲になる測定位置に該検知部を配置する検知部位置調整ステップと、
所定時間毎の該受光量の平均値の変動から該切削ブレードの破損の有無を判定しながら、被加工物を該切削ブレードで切削する切削ステップと、を有することを特徴とする切削ブレードの管理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、切削ブレードの管理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウエーハや樹脂パッケージ基板等の被加工物の切削に、スピンドルにブレードを装着した切削装置が用いられることが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第２８７９４４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このような切削装置では、切削ブレードは、切削中、被加工物が動いたり、チップが飛散して衝突したりするなどにより、破損する事がある。切削ブレードが部分的に破損した場合、見た目でも判別がつきにくく、切削が続行されることがあり、その場合、切削により形成される切削溝の欠けが非常に大きくなってしまうなど異常加工となってしまう。そこで、切削中の切削ブレードの破損を常時検出するブレード破損検出機構が考案された。

【0005】

このブレード破損検出機構は、切削ブレードを挟んで並ぶ発光部と受光部を備え、受光部の単位時間当たりの平均受光量が増加した際に、切削ブレードの欠け（破損）を検出し、加工を停止できるものである。このブレード破損検出機構は、破損していない切削ブレードの刃先を、直径数ｍｍの光芒に対し適切な測定位置に検知部を位置付ける事が重要になる。光芒を遮らない位置に配置すると破損を全く検出出来ず、光芒を全て隠してしまった場合は、刃先だけの破損だと検出できない。そのため、切削ブレードの回転を停止した状態で検知部を切削ブレードの径方向に進退させ、適切な位置に微調整する。

【0006】

切削ブレードの中でも、延性材料をバリの発生を抑制して切削できる鋸刃状のメタルソーが用いられる場合、これまで切削ブレードの形状からしてブレード破損検出機構によるブレード破損検出は難しいとされてきた。しかし、鋸刃状のメタルソーを大量生産に用い、製造不良を抑えるためには、自動的な破損検出は必須であり、メタルソーの導入が進まない要因となっていた。

【0007】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、鋸刃状の切削ブレードの破損を自動的に検出できる切削ブレードの管理方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードの管理方法は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを含む切削ユニットと、切削ブレードの破損を検出する破損検出ユニット、を備える切削装置を用いて、刃先の形状が鋸刃状の該切削ブレードを管理する切削ブレードの管理方法であって、該破損検出ユニットは、該切削ブレードが進入する隙間を挟んで対向する発光部及び受光部を有する検知部と、該受光部に入射した光量に対応する値の電気信号を出力する光電変換部と、該電気信号の変動から該切削ブレードの破損を判定する判定部と、を有し、該検知部を該切削ブレードの径方向に進退させ、回転する該切削ブレードの刃先で該受光部が受光する光が部分的に遮られて、受光量が所定範囲になる測定位置に該検知部を配置する検知部位置調整ステップと、所定時間毎の該受光量の平均値の変動から該切削ブレードの破損の有無を判定しながら、被加工物を該切削ブレードで切削する切削ステップと、を有することを特徴とする。

【発明の効果】

【0009】

本発明は、鋸刃状の切削ブレードの破損を自動的に検出できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施形態に係る切削ブレードの管理方法を実施する切削装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、鋸刃状の切削ブレードを示す側面図である。

【図3】図３は、鋸刃状の切削ブレードを示す断面図である。

【図4】図４は、図１の切削装置の要部の構成例を示す側面図である。

【図5】図５は、図１の切削装置の要部の構成例を示す断面図である。

【図6】図６は、図１の切削装置が取得する受光量の測定結果の第１例を示すグラフである。

【図7】図７は、図１の切削装置が取得する受光量の測定結果の第２例を示すグラフである。

【図8】図８は、実施形態に係る切削ブレードの管理方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0012】

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る切削ブレードの管理方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る切削ブレードの管理方法を実施する切削装置１の構成例を示す斜視図である。図２は、鋸刃状の切削ブレード２１を示す側面図である。図３は、鋸刃状の切削ブレード２１を示す断面図であり、図２の（ＩＩＩ）－（ＩＩＩ）断面図である。図４は、図１の切削装置１の要部の構成例を示す側面図である。図５は、図１の切削装置１の要部の構成例を示す断面図である。図６は、図１の切削装置１が取得する受光量の測定結果の第１例を示すグラフである。図７は、図１の切削装置１が取得する受光量の測定結果の第２例を示すグラフである。切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０と、切削ユニット２０と、破損検出ユニット３０と、Ｘ軸移動ユニット４１と、Ｙ軸移動ユニット４２と、Ｚ軸移動ユニット４３と、を備える。

【0013】

実施形態に係る切削ブレードの管理方法を実施する切削装置１における加工対象、すなわち切削装置１が切削加工する加工対象である被加工物１００は、例えば、焼結前のセラミックスである生セラミックスが円板状に形成されて積層されたものである。被加工物１００は、平坦な表面１０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン１０２によって区画された領域に複数のチップコンデンサ等のデバイス１０３が形成されている。被加工物１００は、表面１０１の裏側の裏面１０４に粘着テープ１０５が貼着され、粘着テープ１０５の外縁部に環状フレーム１０６が装着されている。なお、被加工物１００は、本発明ではこれに限定されず、樹脂により封止され金属の電極を備えたデバイスを複数有した矩形状の樹脂パッケージ基板等でも良い。

【0014】

チャックテーブル１０は、凹部が形成された円盤状の枠体と、凹部内に嵌め込まれた円盤形状の吸着部と、を備える。チャックテーブル１０の吸着部は、ポーラス状のポーラスセラミック等から形成され、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。チャックテーブル１０の吸着部の上面は、被加工物１００が載置されて、載置された被加工物１００を吸引保持する保持面１１である。保持面１１は、本実施形態では、被加工物１００が表面１０１を上方に向けて載置され、載置された被加工物１００を裏面１０４側から粘着テープ１０５を介して吸引保持する。保持面１１とチャックテーブル１０の枠体の上面とは、同一平面上に配置されており、水平面に平行なＸＹ平面に沿って形成される。チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット４１により、水平方向と平行なＸ軸方向に沿って移動自在に設けられる。チャックテーブル１０は、不図示の回転駆動源により鉛直方向に平行でかつＸＹ平面に直交するＺ軸回りに回転自在に設けられている。

【0015】

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０で保持された被加工物１００を分割予定ライン１０２に沿って加工して切削溝を形成する。切削ユニット２０は、図４及び図５に示すように、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、スピンドルハウジング２３と、ブレードマウント２４と、ブレードカバー２５と、給水ノズル２６－１，２６－２と、給水源接続部２７と、を備える。

【0016】

切削ブレード２１は、水平方向と平行でＸ軸方向と直交するＹ軸と平行な軸心周りの回転動作が加えられて、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００を切削する。切削ブレード２１は、図２及び図３に示すように、鋸刃状のメタルソーであり、ブレード本体２１１と、歯２１２と、を有する。歯２１２は、ブレード本体２１１の外周縁に等間隔で複数形成され、ブレード本体２１１の外周から突出して形成されている。切削ブレード２１のブレード本体２１１と歯２１２とは、一体に形成されていても良いし、ブレード本体２１１に歯２１２が固定されていても良い。ブレード本体２１１は、中央にブレードマウント２４に固定されるための挿入穴２１３を有し、環状に形成されている。切削ブレード２１は、薄鋼板ブレードであり、例えば、高速度鋼（high-speed steel）や、タングステンカーバイド、コバルト、ニッケル等を焼結して得られた超硬合金からなる。切削ブレード２１は、例えば、厚みが５０μｍ～３００μｍ程度のものが使用される。

【0017】

スピンドル２２は、図４及び図５に示すように、軸心がＹ軸方向に沿って設けられ、先端で軸心周りに回転可能に切削ブレード２１を支持する。スピンドル２２は、切削装置１が備える制御ユニット５０からの制御に従ってＹ軸周りに回転駆動する。スピンドルハウジング２３は、スピンドル２２をＹ軸周りの回転動作を可能に収納する。切削ユニット２０は、スピンドルハウジング２３が、チャックテーブル１０に保持された被加工物１００に対して、Ｙ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

【0018】

ブレードマウント２４は、円板状のフランジ部で切削ブレード２１を挟持して、円筒状のボス部が挿入穴２１３に挿入されてスピンドル２２の先端に装着されることで、切削ブレード２１を軸心周りに回転可能にスピンドル２２の先端に装着する。

【0019】

ブレードカバー２５は、スピンドルハウジング２３の先端側に装着されており、切削ブレード２１の上方、前方及び後方を覆う。ブレードカバー２５は、制御ユニット５０の開閉指示部５１からの制御に従って、切削ブレード２１を覆う閉位置と、切削ブレード２１から離間して開放する開位置との間を移動する。ブレードカバー２５は、内部に複数の水路が形成されており、図４に示すように、複数の水路の下側の一端には給水ノズル２６－１，２６－２が設けられ、複数の水路の上側の他端には給水源接続部２７が設けられている。給水ノズル２６－１は、給水源接続部２７から供給される切削水を切削ブレード２１の側方に供給する。給水ノズル２６－２は、給水源接続部２７から供給される切削水を切削ブレード２１の前方に供給する。切削水は、例えば、純水であり、制御ユニット５０によりその流量が制御される。

【0020】

破損検出ユニット３０は、図１及び図５に示すように、検知部３１と、光電変換部３２と、判定部３３と、を有する。検知部３１は、溝状部材３１１と、発光部３１２と、受光部３１３とを有し、昇降部３１４が接続されている。光電変換部３２及び判定部３３は、制御ユニット５０により実現される。制御ユニット５０は、図５に示すように、光電変換部３２と、基準値記憶部３３１及び閾値記憶部３３２を有する判定部３３と、開閉指示部５１と、発光素子５２と、受光素子５３と、アンプ５４と、を有する。制御ユニット５０は、切削装置１の各構成要素の動作を制御して、被加工物１００の切削加工処理や、本実施形態に係る切削ブレードの管理方法を切削装置１に実施させる。

【0021】

溝状部材３１１は、図５に示すように、切削ブレード２１の厚みよりも広い幅の溝３１５が形成されている。溝状部材３１１は、ブレードカバー２５に設けられ、溝３１５により切削ブレード２１の歯２１２が形成された刃先の上端側が進入する隙間を形成している。昇降部３１４は、検知部３１を昇降移動させることにより、溝状部材３１１の溝３１５によって形成された隙間への切削ブレード２１の刃先の上端側の進入位置を変動させる。昇降部３１４は、本実施形態では自動で溝状部材３１１を昇降移動させるが、本発明ではこれに限定されず、オペレータの手動により溝状部材３１１を昇降移動させてもよい。

【0022】

発光部３１２は、溝３１５の一方の側壁に設けられ、溝３１５の他方の側壁に向けて光を発する。発光部３１２は、発光素子５２が光ファイバー等により光学的に接続されており、発光素子５２からの光を発して直径数ｍｍの光芒を形成する。受光部３１３は、溝３１５の他方の側壁に発光部３１２と対面する位置に設けられ、発光部３１２で発せられた光が入射する。受光部３１３は、受光素子５３が光ファイバー等により光学的に接続されている。受光素子５３は、受光部３１３に入射した光を検出する。発光部３１２及び受光部３１３は、このように、溝３１５によって形成された切削ブレード２１が進入する隙間を挟んで対向する。アンプ５４は、判定部３３からの制御に従って、発光素子５２からの発光量を増幅することで、発光部３１２から発する発光量を調整する。

【0023】

光電変換部３２は、受光素子５３で検出した受光部３１３での受光量を、受光部３１３に入射した受光量に対応する値の電気信号（本実施形態では、電圧）に変換し、この電気信号を判定部３３に出力する。切削ブレード２１の刃先の上端側が溝３１５に進入するに従って、切削ブレード２１の刃先が発光部３１２と受光部３１３との間の光芒を遮蔽する量が増加すると、受光素子５３で検出する受光部３１３での受光量（光芒の透過量）が徐々に減少することに伴い、光電変換部３２からの出力電圧が徐々に減少する。光電変換部３２は、本実施形態では、例えば、発光部３１２の発光量に対する受光部３１３の受光量の割合である受光率が１００％の時には５Ｖ（最大電圧）、受光率が０％の時には０Ｖ（最小電圧）の電圧を出力する。光電変換部３２は、受光部３１３の受光量が所定光量となったとき、すなわち切削ブレード２１の刃先の上端側の進入位置が発光部３１２と受光部３１３との間の所定位置に達したときに、出力電圧の所定時間の平均値が所定の基準値（本実施形態では、例えば３Ｖ）になるように設定されている。

【0024】

なお、受光部３１３の受光量の所定光量及び出力電圧の所定の基準値は、切削ブレード２１が光芒の少なくとも一部を遮るときの受光量及び電圧値であればよい。また、切削ブレード２１（メタルソー）が、砥粒とボンド材（結合材）とからなるタイプの砥粒系ブレードとは異なり、消耗しないので、受光部３１３の受光量の所定光量及び出力電圧の所定の基準値は、砥粒系ブレードの破損の有無を判定するときよりも高めに設定してもよい。

【0025】

切削ブレード２１を回転中に判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、切削ブレード２１の刃先の外縁が径方向に突き出している場合には減少し、径方向に凹んでいる場合には増大する。光電変換部３２から取得する出力電圧の変動は、受光素子５３で検出した受光部３１３での受光量（光芒の透過量）の変動を示す。このため、判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、スピンドル２２に装着中の切削ブレード２１の刃先の外縁の形状を示すものとなる。ここで、切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら受光部３１３が受光する光の受光量や、判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、切削ブレード２１を回転していることによって、所定時間毎に平均化される。

【0026】

本実施形態では、切削ブレード２１が鋸刃状のメタルソーであるため、破損のない切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、例えば図６に示すように、切削ブレード２１の歯２１２の先端である歯先２１５（図２参照）が溝３１５に進入するときには小さくなり、切削ブレード２１の歯２１２の根元である歯元２１６（図２参照）が溝３１５に進入するときには大きくなり、時間経過に従って歯２１２による周期的な凹凸状の変動を示すものとなる。なお、図６に示すグラフでは、判定部３３が切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら光電変換部３２から出力電圧を取得しているため、出力電圧が所定時間毎に平均化されて歯２１２による凹凸状の変動量が小さく抑制される。

【0027】

一方、切削ブレード２１が破損している場合、すなわち、切削ブレード２１の刃先の外縁に欠けが発生している場合には、切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、例えば図７に示すように、欠けの大きさに応じて、切削ブレード２１の欠けが発生している部分が溝３１５に進入しているとき（図７の時間Ｔ１）に、スパイク状に増加する。例えば切削ブレード２１の歯２１２が１個分欠けた場合、判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、図７に示すように、歯２１２による周期的な凹凸の１個分増加する。なお、図７に示すグラフでは、出力電圧が所定時間毎に平均化されて歯２１２による凹凸状の変動量が小さく抑制されることにより、破損によるスパイク状の増加信号４００が凹凸状の変動に対して浮き上がる。判定部３３は、光電変換部３２から取得する出力電圧に基づいてスパイク状の増加信号４００の有無を判定することにより、切削ブレード２１の破損の有無を判定できる。

【0028】

基準値記憶部３３１は、光電変換部３２に設定する出力電圧の所定の基準値（本実施形態では、例えば３Ｖ）を記憶する。判定部３３は、切削ブレード２１を回転させながら、昇降部３１４により検知部３１を昇降移動させて切削ブレード２１の径方向に進退させることにより、切削ブレード２１の刃先の上端側の進入位置を徐々に変動させながら、光電変換部３２から取得する出力電圧の所定時間毎の平均値と基準値記憶部３３１が記憶する所定の基準値とを比較し、光電変換部３２から取得する出力電圧の所定時間毎の平均値が当該基準値に達したときの検知部３１の昇降方向の位置を、切削ブレード２１の破損の有無を判定する際の検知部３１の測定位置に調整する。

【0029】

なお、この判定部３３が検知部３１の測定位置を調整するときの切削ブレード２１の回転は、オペレータにより手動で所定の回転数（３０～３００ｒｐｍ（rotations per minute、１分間の回転数））で空転させることにより実行してもよいし、スピンドル２２を所定の回転数、例えば被加工物１００を加工する際の加工条件に準じる回転数（５０００～３００００ｒｐｍ）で回転駆動することにより実行してもよい。

【0030】

検知部３１が測定位置に調整されると、受光部３１３が受光する光の受光量は、所定範囲になる。この所定範囲は、上記の所定光量に、所定時間毎に平均化されて小さく抑制された歯２１２による凹凸状の変動量を加算又は減算して求められる範囲である。また、検知部３１が測定位置に調整されると、判定部３３が光電変換部３２から取得する出力電圧は、基準値記憶部３３１で記憶する所定の基準値に、所定時間毎に平均化されて小さく抑制された歯２１２による凹凸状の変動量を加算又は減算して求められる範囲になる。

【0031】

閾値記憶部３３２は、切削ブレード２１の破損の有無を判定するための閾値（本実施形態では、例えば０．１～０．５Ｖ）を記憶する。判定部３３は、検知部３１を測定位置に調整した後に、スピンドル２２により切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら、光電変換部３２から所定時間毎の出力電圧の平均値を取得し、所定時間毎の出力電圧の平均値が、閾値記憶部３３２が記憶する閾値を超えて変動したか否かを判定し、この判定に基づいて破損によるスパイク状の増加信号４００の有無を判定し、これにより切削ブレード２１の破損の有無を判定する。判定部３３は、所定時間毎の出力電圧の平均値が、閾値記憶部３３２が記憶する閾値を超えて変動した場合、破損によるスパイク状の増加信号４００が有ると判定し、切削ブレード２１に破損が有ると判定する。一方、判定部３３は、所定時間毎の出力電圧の平均値が、閾値記憶部３３２が記憶する閾値を超えて変動しなかった場合、破損によるスパイク状の増加信号４００が無いと判定し、切削ブレード２１に破損が無いと判定する。

【0032】

制御ユニット５０は、本実施形態では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット５０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット５０の演算処理装置は、制御ユニット５０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、制御ユニット５０の入出力インターフェース装置を介して切削装置１の各構成要素に出力する。

【0033】

制御ユニット５０が有する光電変換部３２、判定部３３及び開閉指示部５１の各機能は、本実施形態では、制御ユニット５０が含むコンピュータシステムの演算処理装置が、制御ユニット５０が含むコンピュータシステムの記憶装置に記憶されたコンピュータプログラムを実行することにより実現される。制御ユニット５０の判定部３３が有する基準値記憶部３３１及び閾値記憶部３３２は、制御ユニット５０が含むコンピュータシステムの記憶装置により実現される。

【0034】

切削装置１は、図１に示すように、さらに、カセット載置台８１と、洗浄ユニット８２とを備える。カセット載置台８１は、複数の被加工物１００を収容するための収容器であるカセット８５を載置する載置台であり、載置されたカセット８５をＺ軸方向に昇降させる。洗浄ユニット８２は、切削加工後の被加工物１００を洗浄し、被加工物１００に付着した切削屑等の異物を除去する。被加工物１００は、チャックテーブル１０と、洗浄ユニット８２と、カセット８５とのそれぞれの間で、不図示の搬送ユニットにより搬送される。

【0035】

切削装置１は、さらに、不図示の表示ユニットを備えていてもよく、また、不図示の表示ユニットを備える情報機器と有線又は無線で情報通信可能に接続されていてもよい。表示ユニットは、切削装置１の切削加工処理に関する画面や、判定部３３による切削ブレード２１の破損の有無の判定結果に関する画面を表示する。表示ユニットは、液晶表示装置等により構成される。表示ユニットは、オペレータが切削装置１の切削加工処理に関する情報等を入力する際に使用する入力ユニットが設けられている。表示ユニットに設けられた入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。

【0036】

次に、本明細書は、実施形態に係る切削ブレードの管理方法の処理を、図面を用いて説明する。図８は、実施形態に係る切削ブレードの管理方法の処理手順の一例を示すフローチャートである。実施形態に係る切削ブレードの管理方法は、切削装置１により実施され、図８に示すように、検知部位置調整ステップ１００１と、切削ステップ１００２とを有する。

【0037】

検知部位置調整ステップ１００１は、受光部３１３が受光する光が切削ブレード２１により部分的に遮られて、受光部３１３が受光する光の受光量が所定範囲になる測定位置に検知部３１を配置するステップである。検知部位置調整ステップ１００１では、具体的には、判定部３３は、切削ブレード２１を回転させた状態で、昇降部３１４により検知部３１を昇降移動させて切削ブレード２１の径方向に進退させることにより、切削ブレード２１の刃先の上端側の進入位置を徐々に変動させながら、光電変換部３２から受光部３１３が受光する光の受光量に基づいて取得する出力電圧の所定時間毎の平均値と基準値記憶部３３１が記憶する所定の基準値とを比較し、光電変換部３２から取得する出力電圧の所定時間毎の平均値が当該基準値に達したときの検知部３１の昇降方向の位置を、切削ブレード２１の破損の有無を判定する際の検知部３１の測定位置に調整する。

【0038】

切削ステップ１００２は、検知部位置調整ステップ１００１で検知部３１を測定位置に調整した後に、受光部３１３が受光する光の所定時間毎の受光量の平均値の変動から切削ブレード２１の破損の有無を判定しながら、被加工物１００を切削ブレード２１で切削するステップである。切削ステップ１００２では、具体的には、判定部３３は、スピンドル２２により切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら、光電変換部３２から所定時間毎の出力電圧の平均値を取得し、この所定時間毎の出力電圧の平均値が閾値記憶部３３２で記憶する閾値を超えて変動したか否かに基づいて切削ブレード２１の破損の有無を判定する。切削ステップ１００２では、また、この判定部３３による判定処理と合わせて、制御ユニット５０は、Ｘ軸移動ユニット４１、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３により、スピンドル２２により回転中の切削ブレード２１をチャックテーブル１０に保持された被加工物１００に対して分割予定ライン１０２に沿って相対的に移動させることにより、被加工物１００を切削加工して分割予定ライン１０２に沿って切削溝を形成する。

【0039】

切削ステップ１００２では、制御ユニット５０は、判定部３３が切削ブレード２１に破損が無いと判定した場合、切削ブレード２１による被加工物１００の切削加工処理を継続し、判定部３３が切削ブレード２１に破損が有ると判定した場合、切削ブレード２１による被加工物１００の切削加工処理を中止する。

【0040】

以上のような構成を有する実施形態に係る切削ブレードの管理方法は、判定部３３が、切削ブレード２１を所定の回転速度で回転させながら、光電変換部３２から取得した所定時間毎の出力電圧の平均値に基づいて、切削ブレード２１の破損の有無を判定する際の検知部３１の測定位置を調整し、光電変換部３２から取得した所定時間毎の出力電圧の平均値が、所定の閾値を超えて変動したか否かに基づいて切削ブレード２１の破損の有無を判定する。このため、実施形態に係る切削ブレードの管理方法は、切削ブレード２１の回転により鋸刃状のメタルソーの歯２１２による受光量や出力電圧の凹凸状の変動量を抑制することにより、歯２１２が形成された鋸刃状のメタルソーの破損を自動的に検出できるという作用効果を奏する。

【0041】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0042】

１ 切削装置
１０ チャックテーブル
２０ 切削ユニット
２１ 切削ブレード
２２ スピンドル
３０ 破損検出ユニット
３１ 検知部
３２ 光電変換部
３３ 判定部
１００ 被加工物
３１２ 発光部
３１３ 受光部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】