特開2022-14212シリコン基板及びその製造方法

発明の名称　シリコン基板及びその製造方法

出願人　グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社　（識別番号 312007423）

　　　　特許公開件数ランキング 2028 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1622 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-14212

公報発行日　2022年1月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-14212

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