特開2022-153428アルコキシシラ環式又はアシルオキシシラ環式化合物及びそれを使用してフィルムを堆積させるための方法

発明の名称　アルコキシシラ環式又はアシルオキシシラ環式化合物及びそれを使用してフィルムを堆積させるための方法

出願人　バーサム　マテリアルズ　ユーエス，リミティド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 517114182）

　　　　特許公開件数ランキング 1270 位（20件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 894 位（21件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-153428

公報発行日　2022年10月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-153428

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