特開2022-154819保護膜形成装置および保護膜形成方法

発明の名称　保護膜形成装置および保護膜形成方法

出願人　株式会社ディスコ　（識別番号 134051）

　　　　特許公開件数ランキング 41 位（547件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 42 位（487件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-154819

公報発行日　2022年10月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-154819

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