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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022155640
(43)【公開日】2022-10-14
(54)【発明の名称】両面金属張積層板の製造方法
(51)【国際特許分類】
B32B 15/08 20060101AFI20221006BHJP
【ＦＩ】
B32B15/08 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021058971
(22)【出願日】2021-03-31
(71)【出願人】
【識別番号】000006644
【氏名又は名称】日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100115118
【弁理士】
【氏名又は名称】渡邊 和浩
(74)【代理人】
【識別番号】100095588
【弁理士】
【氏名又は名称】田治米 登
(74)【代理人】
【識別番号】100094422
【弁理士】
【氏名又は名称】田治米 惠子
(74)【代理人】
【識別番号】110000224
【氏名又は名称】弁理士法人田治米国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】安藤 慎悟
(72)【発明者】
【氏名】重松 義浩
【テーマコード（参考）】
4F100
【Ｆターム（参考）】
4F100AB01A
4F100AB01E
4F100AB17A
4F100AB17E
4F100AB33A
4F100AB33E
4F100AK01B
4F100AK01D
4F100AK49C
4F100BA05
4F100BA06
4F100BA10A
4F100BA10E
4F100CB00C
4F100EH46C
4F100EJ17
4F100EJ19
4F100EJ42B
4F100EJ86C
4F100GB41
4F100JA02C
4F100JA06
4F100JA07C
4F100JG04B
4F100JG04D
4F100YY00
4F100YY00B
4F100YY00C
(57)【要約】
【課題】ロール・トゥ・ロール方式で両面金属張積層板を連続的に製造する場合にしわによる外観不良の発生を防止する。
【解決手段】 第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとを重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂ間を通過させることによって、第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとを熱圧着して両面金属張積層板１００を製造する。熱圧着の際の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離は、しわの発生を防止する観点から、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１に対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節する。熱圧着時の圧力は、１．０ＭＰａ以下とすることが好ましい。
【選択図】図１
【解決手段】 第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとを重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂ間を通過させることによって、第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとを熱圧着して両面金属張積層板１００を製造する。熱圧着の際の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離は、しわの発生を防止する観点から、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１に対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節する。熱圧着時の圧力は、１．０ＭＰａ以下とすることが好ましい。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１の金属層と、前記第１の金属層の片側の面に積層された第１の絶縁樹脂層と、を有する第１の片面金属張積層板と、
第２の金属層と、前記第２の金属層の片側の面に積層された第２の絶縁樹脂層と、を有する第２の片面金属張積層板の前記第２の金属層と反対の面に接着剤層が積層されている接着剤層付片面金属張積層板と、
を、前記第１の絶縁樹脂層と前記接着剤層とが接するように重ね合わせて連続的に一対のラミネートロール間を通過させることによってラミネートして両面金属張積層板を製造する方法であって、
前記一対のラミネートロールの間の距離を、前記両面金属張積層板の厚みに対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節してラミネートすることを特徴とする両面金属張積層板の製造方法。
第２の金属層と、前記第２の金属層の片側の面に積層された第２の絶縁樹脂層と、を有する第２の片面金属張積層板の前記第２の金属層と反対の面に接着剤層が積層されている接着剤層付片面金属張積層板と、
を、前記第１の絶縁樹脂層と前記接着剤層とが接するように重ね合わせて連続的に一対のラミネートロール間を通過させることによってラミネートして両面金属張積層板を製造する方法であって、
前記一対のラミネートロールの間の距離を、前記両面金属張積層板の厚みに対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節してラミネートすることを特徴とする両面金属張積層板の製造方法。
【請求項2】
前記接着剤層付片面金属張積層板が、前記第２の片面金属張積層板の前記第２の金属層と反対の面に樹脂組成物を塗布・乾燥して前記接着剤層を形成する工程を経て得られたものである請求項１に記載の両面金属張積層板の製造方法。
【請求項3】
第１の金属層と、前記第１の金属層の片側の面に積層された第１の絶縁樹脂層と、を有する第１の片面金属張積層板と、
第２の金属層と、前記第２の金属層の片側の面に積層された第２の絶縁樹脂層と、を有する第２の片面金属張積層板と、
自己支持性の接着性フィルムと、
を、前記第１の絶縁樹脂層と前記第２の絶縁樹脂層との間に前記接着性フィルムが介在するように重ね合わせて連続的に一対のラミネートロール間を通過させることによってラミネートして両面金属張積層板を製造する方法であって、
前記一対のラミネートロールの間の距離を、前記両面金属張積層板の厚みに対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節してラミネートすることを特徴とする両面金属張積層板の製造方法。
第２の金属層と、前記第２の金属層の片側の面に積層された第２の絶縁樹脂層と、を有する第２の片面金属張積層板と、
自己支持性の接着性フィルムと、
を、前記第１の絶縁樹脂層と前記第２の絶縁樹脂層との間に前記接着性フィルムが介在するように重ね合わせて連続的に一対のラミネートロール間を通過させることによってラミネートして両面金属張積層板を製造する方法であって、
前記一対のラミネートロールの間の距離を、前記両面金属張積層板の厚みに対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節してラミネートすることを特徴とする両面金属張積層板の製造方法。
【請求項4】
前記接着性フィルムが、
基材に樹脂組成物を塗布・乾燥して自己支持性フィルムを形成する工程と、
前記自己支持性フィルムを前記基材上から剥離する工程と、
を経て得られたものである請求項３に記載の両面金属張積層板の製造方法。
基材に樹脂組成物を塗布・乾燥して自己支持性フィルムを形成する工程と、
前記自己支持性フィルムを前記基材上から剥離する工程と、
を経て得られたものである請求項３に記載の両面金属張積層板の製造方法。
【請求項5】
前記一対のラミネートロールによる圧力を１．０ＭＰａ以下とする請求項１から４のいずれか１項に記載の両面金属張積層板の製造方法。
【請求項6】
前記一対のラミネートロールの少なくとも一方が、金属ロールの表面に弾性体による被覆層を有する被覆ロールである請求項１～５のいずれか１項に記載の両面金属張積層板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、電子製品に使用されるフレキシブル回路基板(ＦＰＣ；Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ)などの材料となる両面金属張積層板の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ＦＰＣは、一般に、絶縁樹脂層と銅層を積層した銅張積層板（ＣＣＬ；Ｃｏｐｐｅｒ Ｃｌａｄ Ｌａｍｉｎａｔｅ）の銅層をエッチングして回路配線加工することによって製造される。ＦＰＣに使用されるＣＣＬは、絶縁樹脂層の片側のみに銅箔が積層する片面銅張積層板（以下、片面ＣＣＬ）、絶縁樹脂層の両側に銅箔が積層する両面銅張積層板（以下、両面ＣＣＬ）が知られている。
【0003】
ＣＣＬの製造方法として、例えば金属製のプレスロールを用いて、銅箔と樹脂フィルムとを熱圧着するラミネート法が知られている。このラミネート法でＣＣＬを製造する際に、少なくとも片側の加圧ロールの圧迫面をフィルム状緩衝材によって被覆した状態で熱圧着を行う方法が提案されている（例えば、特許文献１）。
【0004】
また、ラミネート法に関し、液晶ポリマーフィルムと金属箔とを積層する際に、積層体の外観を良好にするため、金属製のプレスロールの表面に厚さ０．０２～５ｍｍのフッ素ゴム、シリコンゴム又はポリイミドの樹脂被覆層を設けたものを使用することが提案されている（例えば、特許文献２）。
【0005】
ところで、最近では機器の高性能化が進んだことから、伝送信号の高周波化への対応が必要とされている。高周波信号を伝送する際に、伝送経路における伝送損失が大きい場合、電気信号のロスや信号の遅延時間が長くなるなどの不都合が生じる。そのため、ＦＰＣについても、高周波信号の伝送損失を抑制することが強く求められている。ＦＰＣの伝送損失を抑制するための一つのアプローチとして、絶縁樹脂層全体の厚みを大きくすることが効果的であることから、絶縁樹脂層を５０μｍ以上の厚みに形成することが検討されている。
【0006】
なお、絶縁樹脂層の厚みが大きなＣＣＬの製造方法として、ポリイミドの前駆体溶液をキャストする工程を複数回くり返すことによって絶縁樹脂層を厚膜化する方法が提案されている（例えば、特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特開２０２０－６６８５号公報（特許請求の範囲など）
【特許文献2】特開２００４－３５８６７８号公報（特許請求の範囲など）
【特許文献3】特開２０１７－１４９１２８号公報（特許請求の範囲など）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
ロール・トゥ・ロール方式で両面ＣＣＬを連続的に製造する際に、絶縁樹脂層の厚みを大きくするために、片面ＣＣＬを出発材料として、他の被圧着材料（接着性シートや他の片面ＣＣＬなど）とラミネートすることがある。しかし、片面ＣＣＬを他の被圧着材料とともに一対のラミネートロール間に導入し、熱圧着させる場合に、被圧着材料の合計厚みが５０μｍを超えると、製造された両面ＣＣＬの表面にしわが発生し、外観不良を引き起こすことがあり、その解決が求められていた。
【0009】
従って本発明は、ロール・トゥ・ロール方式で両面金属張積層板を連続的に製造する場合にしわによる外観不良の発生を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、ロール・トゥ・ロール方式で両面ＣＣＬを連続的に製造する際に発生するしわは、連続搬送によって生じた撓みをラミネート時に巻き込んでしまうことが原因であり、材料として使用する片面ＣＣＬの熱膨張係数が低い一方で、絶縁樹脂層の厚みを大きくするために介在させる厚みの大きな接着剤層の熱膨張係数が大きい場合にしわが発生しやすくなるとの知見を得た。そして、ロール・トゥ・ロール方式で両面金属張積層板を製造する際に、一対の加圧ロール間のクリアランスを考慮して熱圧着を行うことによって、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成した。
【0011】
すなわち、本発明の第１の観点の両面金属張積層板の製造方法は、
第１の金属層と、前記第１の金属層の片側の面に積層された第１の絶縁樹脂層と、を有する第１の片面金属張積層板と、
第２の金属層と、前記第２の金属層の片側の面に積層された第２の絶縁樹脂層と、を有する第２の片面金属張積層板の前記第２の金属層と反対の面に接着剤層が積層されている接着剤層付片面金属張積層板と、
を、前記第１の絶縁樹脂層と前記接着剤層とが接するように重ね合わせて連続的に一対のラミネートロール間を通過させることによってラミネートして両面金属張積層板を製造する方法である。
そして、本発明の第１の観点の両面金属張積層板の製造方法は、前記一対のラミネートロールの間の距離を、前記両面金属張積層板の厚みに対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節してラミネートすることを特徴とする。
第１の金属層と、前記第１の金属層の片側の面に積層された第１の絶縁樹脂層と、を有する第１の片面金属張積層板と、
第２の金属層と、前記第２の金属層の片側の面に積層された第２の絶縁樹脂層と、を有する第２の片面金属張積層板の前記第２の金属層と反対の面に接着剤層が積層されている接着剤層付片面金属張積層板と、
を、前記第１の絶縁樹脂層と前記接着剤層とが接するように重ね合わせて連続的に一対のラミネートロール間を通過させることによってラミネートして両面金属張積層板を製造する方法である。
そして、本発明の第１の観点の両面金属張積層板の製造方法は、前記一対のラミネートロールの間の距離を、前記両面金属張積層板の厚みに対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節してラミネートすることを特徴とする。
【0012】
本発明の第１の観点の両面金属張積層板の製造方法は、前記接着剤層付片面金属張積層板が、前記第２の片面金属張積層板の前記第２の金属層と反対の面に樹脂組成物を塗布・乾燥して前記接着剤層を形成する工程を経て得られたものであってよい。
【0013】
本発明の第２の観点の両面金属張積層板の製造方法は、
第１の金属層と、前記第１の金属層の片側の面に積層された第１の絶縁樹脂層と、を有する第１の片面金属張積層板と、
第２の金属層と、前記第２の金属層の片側の面に積層された第２の絶縁樹脂層と、を有する第２の片面金属張積層板と、
自己支持性の接着性フィルムと、
を、前記第１の絶縁樹脂層と前記第２の絶縁樹脂層との間に前記接着性フィルムが介在するように重ね合わせて連続的に一対のラミネートロール間を通過させることによってラミネートして両面金属張積層板を製造する方法である。
そして、本発明の第２の観点の両面金属張積層板の製造方法は、前記一対のラミネートロールの間の距離を、前記両面金属張積層板の厚みに対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節してラミネートすることを特徴とする。
第１の金属層と、前記第１の金属層の片側の面に積層された第１の絶縁樹脂層と、を有する第１の片面金属張積層板と、
第２の金属層と、前記第２の金属層の片側の面に積層された第２の絶縁樹脂層と、を有する第２の片面金属張積層板と、
自己支持性の接着性フィルムと、
を、前記第１の絶縁樹脂層と前記第２の絶縁樹脂層との間に前記接着性フィルムが介在するように重ね合わせて連続的に一対のラミネートロール間を通過させることによってラミネートして両面金属張積層板を製造する方法である。
そして、本発明の第２の観点の両面金属張積層板の製造方法は、前記一対のラミネートロールの間の距離を、前記両面金属張積層板の厚みに対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節してラミネートすることを特徴とする。
【0014】
本発明の第２の観点の両面金属張積層板の製造方法は、前記接着性フィルムが、
基材に樹脂組成物を塗布・乾燥して自己支持性フィルムを形成する工程と、
前記自己支持性フィルムを前記基材上から剥離する工程と、
を経て得られたものであってよい。
基材に樹脂組成物を塗布・乾燥して自己支持性フィルムを形成する工程と、
前記自己支持性フィルムを前記基材上から剥離する工程と、
を経て得られたものであってよい。
【0015】
本発明の第１及び第２の観点の両面金属張積層板の製造方法は、前記一対のラミネートロールによる圧力を１．０ＭＰａ以下としてもよい。
【0016】
本発明の第１及び第２の観点の両面金属張積層板の製造方法は、前記一対のラミネートロールの少なくとも一方が、金属ロールの表面に弾性体による被覆層を有する被覆ロールであってよい。
【発明の効果】
【0017】
本発明によれば、ロール・トゥ・ロール方式で両面金属張積層板を製造する際に、一対のラミネートロールの間の距離を、両面金属張積層板の厚みに対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節し、熱圧着時に被圧着材料に過剰な圧力を加えないことによって、しわの発生を効果的に防止できる。したがって、本発明方法によれば、相間の密着性に優れ、しわがなく、外観が良好な両面金属張積層板を効率良く製造することが可能となり、両面金属張積層板の生産性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】本発明の第１の実施の形態の両面金属張積層板の製造方法を説明する図面である。
【図2】一対の加圧ロール間の距離を説明する図面である。
【図3】第１の実施の形態の製造される両面金属張積層板の断面構造を示す説明図である。
【図4】第１の実施の形態の両面金属張積層板の製造方法の概略工程図である。
【図5】本発明の第２の実施の形態の両面金属張積層板の製造方法を説明する図面である。
【図6A】第２の実施の形態の両面金属張積層板の製造方法の概略工程図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、適宜図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。なお、各図面において、各構成部分の大きさ、長さ、厚み、距離、これらの比率などは、説明の便宜上、誇張して図示していることがある。
【0020】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る両面金属張積層板の製造方法の要部説明図である。図２は、この方法に使用する被覆加圧ロールの拡大断面図である。本実施の形態の両面金属張積層板の製造方法は、第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとを重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂ間を通過させることによって、第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとを熱圧着して両面金属張積層板１００を製造する。なお、図１では、長尺な第１の金属張積層板１０、接着剤層付金属張積層板２０Ａの一部分のみを図示している。また、図１中の矢印は、搬送方向や回転方向を示しており、巻出ロール、巻取ロール、ガイドロールなどの図示は省略している。また、一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂは、それぞれ加熱機構（図示省略）を備えていてもよい。
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る両面金属張積層板の製造方法の要部説明図である。図２は、この方法に使用する被覆加圧ロールの拡大断面図である。本実施の形態の両面金属張積層板の製造方法は、第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとを重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂ間を通過させることによって、第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとを熱圧着して両面金属張積層板１００を製造する。なお、図１では、長尺な第１の金属張積層板１０、接着剤層付金属張積層板２０Ａの一部分のみを図示している。また、図１中の矢印は、搬送方向や回転方向を示しており、巻出ロール、巻取ロール、ガイドロールなどの図示は省略している。また、一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂは、それぞれ加熱機構（図示省略）を備えていてもよい。
【0021】
第１の金属張積層板１０は、図示は省略するが、第１の金属層と、第１の金属層に積層された第１の絶縁樹脂層と、を有する片面金属張積層板である。第１の金属張積層板１０は、長尺に形成され、図１において、加圧ロール４０Ａに接する側に第１の金属層が接するような向きで搬送される。
接着剤層付金属張積層板２０Ａは、第２の金属張積層板２０と接着剤層３０とが積層された構造を有する。第２の金属張積層板２０は、図示は省略するが、第２の金属層と、第２の金属層に積層された第２の絶縁樹脂層と、を有する片面金属張積層板である。この第２の金属張積層板２０の第２の金属層と反対の面に接着剤層３０が積層されている。接着剤層付金属張積層板２０Ａは、長尺に形成され、図１において、加圧ロール４０Ｂに接する側に第２の金属層が接するような向きで搬送される。
なお、第１の金属張積層板１０と第２の金属張積層板２０の構成は同じでもよいし、異なっていてもよい。
接着剤層付金属張積層板２０Ａは、第２の金属張積層板２０と接着剤層３０とが積層された構造を有する。第２の金属張積層板２０は、図示は省略するが、第２の金属層と、第２の金属層に積層された第２の絶縁樹脂層と、を有する片面金属張積層板である。この第２の金属張積層板２０の第２の金属層と反対の面に接着剤層３０が積層されている。接着剤層付金属張積層板２０Ａは、長尺に形成され、図１において、加圧ロール４０Ｂに接する側に第２の金属層が接するような向きで搬送される。
なお、第１の金属張積層板１０と第２の金属張積層板２０の構成は同じでもよいし、異なっていてもよい。
【0022】
図１において、片側の加圧ロール４０Ａは、被覆層５０を有する金属製ロールであり、他方の加圧ロール４０Ｂは被覆層５０を有しない金属製ロールである。加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの片方を被覆加圧ロールとし、他方のロールを、被覆層５０を有さず、加熱機構（図示省略）を有する金属製ロールとすることは、圧着部位に熱を効率的に伝えるために有効である。
【0023】
図１では、接着剤層付金属張積層板２０Ａの側の加圧ロール４０Ｂを、被覆層５０を有しない金属製ロールとしているが、第１の金属張積層板１０の側に被覆層５０を有さず、加熱機構（図示省略）を有する金属製ロールを配置してもよい。また、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの両方が被覆層５０を有する被覆加圧ロールであってもよい。加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの両方を被覆加圧ロールとすることは、しわなどの外観不良の発生防止に有効である。
【0024】
被覆層５０は、熱圧着時の圧力の偏りを緩和して圧力を均等に配分する作用を有し、第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとを均一に接着させる効果がある。被覆層５０は、例えば、シリコンゴム、天然ゴム、エラストマー、フッ素ゴム、ウレタンなどの弾性体によって形成されていることが好ましい。被覆層５０を構成している材料の硬度は、圧力を均等に配分する緩衝材としての機能を担保するために、ＪＩＳ Ｋ６３０１に従うＡ型スプリング式硬さ試験に基づくスプリング硬さ（ＪＩＳＡ）で、例えば６０～９０度の範囲内であることが好ましい。
【0025】
被覆層５０の厚みは、特に限定されないが、例えば１～５０ｍｍの範囲内であることが好ましく、３～１５ｍｍの範囲内であることがより好ましい。被覆層５０の厚みの下限は、圧力を均等に配分する緩衝材としての機能を担保するために３ｍｍ以上であることが好ましく、上限は、熱を効率的に伝えるために１５ｍｍ以下であることが好ましい。
【0026】
ここで、本実施の形態の方法によって製造される両面金属張積層板１００の好ましい構成例について、図３を参照しながら説明する。図３は、両面金属張積層板１００の断面構造を示す模式図である。両面金属張積層板１００は、第１の金属層及び第２の金属層としての金属層１０１，１０１と、第１の絶縁樹脂層及び第２の絶縁樹脂層としてのポリイミド層１１０，１１０と、接着剤層３０を備えている。ここで、金属層１０１およびポリイミド層１１０は、第１の金属張積層板１０又は第２の金属張積層板２０から形成されたものであり、接着剤層３０は接着剤層付金属張積層板２０Ａの接着剤層３０から形成されたものである。図３における符号Ｔ１は、両面金属張積層板１００の総厚みを示しており、符号Ｔ２は、両面金属張積層板１００から２つの金属層１０１を除いた絶縁樹脂積層全体の厚みを示し、符号Ｔ３は、接着剤層３０の厚みを示している。
【0027】
第１の絶縁樹脂層及び第２の絶縁樹脂層の厚みは、共に、例えば、１０～５０μｍの範囲内にあることが好ましく、１２～３８μｍの範囲内がより好ましい。第１の絶縁樹脂層及び第２の絶縁樹脂層の厚みが上記の下限値に満たないと、両面金属張積層板１００の反りなどの問題が生じることがある。第１の絶縁樹脂層及び第２の絶縁樹脂層の厚みが上記の上限値を超えると、生産性が低下するなどの不具合が生じる。なお、第１の絶縁樹脂層と第２の絶縁樹脂層は、必ずしも同じ厚みでなくてもよい。
【0028】
また、接着剤層３０の厚みＴ３は、例えば１２～４５０μｍの範囲内にあることが好ましく、２５～２５０μｍの範囲内がより好ましく、５０～１００μｍの範囲内が更に好ましい。接着剤層３０の厚みＴ３が上記下限値に満たないと、高周波基板として伝送損失が大きくなることがある。一方、接着剤層３０の厚みＴ３が上記上限値を超えると、寸法安定性が低下するなどの不具合が生じることがある。
【0029】
両面金属張積層板１００の総厚みＴ１は、両面金属張積層板１００のフレキシブル性及び耐折り曲げ性並びに高周波伝送における伝送損失を低減するため、例えば５０μｍ以上、好ましくは５０～２００μｍの範囲内に形成されていてもよい。また、両面金属張積層板１００において絶縁樹脂層全体の厚みＴ２は、高周波伝送における伝送損失を低減するため、例えば３８μｍ以上、好ましくは５０～２００μｍの範囲内、より好ましくは５０～１５０μｍの範囲内に形成されていてもよい。また、絶縁樹脂層全体の厚みＴ２に対して、接着剤層３０の厚みＴ３の比率（Ｔ３／Ｔ２）は、寸法安定性を確保しつつ、絶縁樹脂積層体の厚みを大きくして誘電特性を改善する観点から、例えば０．３～０．８の範囲内、好ましくは０．５～０．８の範囲内の厚み比率で形成されていてもよい。
【0030】
金属層１０１の材質として、例えば、銅、アルミニウム、ステンレス、鉄、銀、パラジウム、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、ジルコニウム、金、コバルト、チタン、タンタル、亜鉛、鉛、錫、シリコン、ビスマス、インジウム又はこれらの合金などから選択される金属を挙げることができる。導電性の点で特に好ましいものは銅又は銅合金である。
【0031】
ポリイミド層１１０，１１０は、いずれも、複数のポリイミド層が積層された構造であってもよい。例えば、図３に示す態様では、ベース層として、非熱可塑性ポリイミドからなる非熱可塑性ポリイミド層１１１，１１１と、非熱可塑性ポリイミド層１１１，１１１の両側にそれぞれ設けられた、熱可塑性ポリイミドからなる熱可塑性ポリイミド層１１２，１１２とを備えた３層構造をなしている。ここで、「非熱可塑性ポリイミド」とは、一般に加熱しても軟化、接着性を示さないポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置（ＤＭＡ）を用いて測定した、３０℃における貯蔵弾性率が１．０×１０９Ｐａ以上であり、３００℃における貯蔵弾性率が３．０×１０８Ｐａ以上であるポリイミドをいう。また、「熱可塑性ポリイミド」とは、一般にガラス転移温度（Ｔｇ）が明確に確認できるポリイミドのことであるが、本発明では、動的粘弾性測定装置（ＤＭＡ）を用いて測定した、３０℃における貯蔵弾性率が１．０×１０９Ｐａ以上であり、３２０℃における貯蔵弾性率が３．０×１０８Ｐａ未満であるポリイミドをいう。なお、ポリイミド層１１０，１１０は、それぞれ３層構造に限らない。
【0032】
非熱可塑性ポリイミド層１１１に用いるポリイミドは、芳香族テトラカルボン酸無水物成分を含む酸無水物成分と、脂肪族ジアミン及び／又は芳香族ジアミン等を含むジアミン成分と、を反応させて得られる非熱可塑性ポリイミドが好ましい。酸無水物成分及びジアミン成分としては、非熱可塑性ポリイミドの合成に一般的に用いられるモノマーを使用できる。
また、熱可塑性ポリイミド層１１２に用いるポリイミドは、芳香族テトラカルボン酸無水物成分を含む酸無水物成分と、脂肪族ジアミン及び／又は芳香族ジアミンと、を反応させて得られる熱可塑性ポリイミドが好ましい。酸無水物及びジアミンとしては、熱可塑性ポリイミドの合成に一般的に用いられるモノマーを使用できる。
非熱可塑性ポリイミド層１１１及び熱可塑性ポリイミド層１１２において、上記酸無水物成分及びジアミン成分の種類や、２種以上の酸無水物又はジアミンを使用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、熱膨張性、接着性、ガラス転移温度等を制御することができる。
また、熱可塑性ポリイミド層１１２に用いるポリイミドは、芳香族テトラカルボン酸無水物成分を含む酸無水物成分と、脂肪族ジアミン及び／又は芳香族ジアミンと、を反応させて得られる熱可塑性ポリイミドが好ましい。酸無水物及びジアミンとしては、熱可塑性ポリイミドの合成に一般的に用いられるモノマーを使用できる。
非熱可塑性ポリイミド層１１１及び熱可塑性ポリイミド層１１２において、上記酸無水物成分及びジアミン成分の種類や、２種以上の酸無水物又はジアミンを使用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、熱膨張性、接着性、ガラス転移温度等を制御することができる。
【0033】
図３に示す両面金属張積層板１００において、第１の金属張積層板１０と第２の金属張積層板２０における外側の熱可塑性ポリイミド層１１２，１１２は、それぞれ接着剤層３０に貼り合わされ、両面金属張積層板１００を形成している。
接着剤層３０は、両面金属張積層板１００において、第１の金属張積層板１０と第２の金属張積層板２０を貼り合わせるための接着層であり、かつ、寸法安定性を確保しつつ、絶縁樹脂積層全体の厚みＴ２を大きくして誘電特性を改善する機能を有するものである。接着剤層３０を構成する樹脂材料としては、特に制限はなく、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂によって構成されてよい。そのような樹脂としては、例えばポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、スチレン樹脂、ポリエステル樹脂（液晶ポリエステル樹脂を含む）、フェノール樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコーン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、スチレン－マレイミド共重合体、マレイミド－ビニル化合物共重合体、又は（メタ）アクリル共重合体、ベンゾオキサジン樹脂、ビスマレイミド樹脂、シアネートエステル樹脂等を挙げることができる。
接着剤層３０は、両面金属張積層板１００において、第１の金属張積層板１０と第２の金属張積層板２０を貼り合わせるための接着層であり、かつ、寸法安定性を確保しつつ、絶縁樹脂積層全体の厚みＴ２を大きくして誘電特性を改善する機能を有するものである。接着剤層３０を構成する樹脂材料としては、特に制限はなく、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂によって構成されてよい。そのような樹脂としては、例えばポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、スチレン樹脂、ポリエステル樹脂（液晶ポリエステル樹脂を含む）、フェノール樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、シリコーン樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、スチレン－マレイミド共重合体、マレイミド－ビニル化合物共重合体、又は（メタ）アクリル共重合体、ベンゾオキサジン樹脂、ビスマレイミド樹脂、シアネートエステル樹脂等を挙げることができる。
【0034】
接着剤層３０を構成する樹脂としては、樹脂成分の主成分として熱可塑性ポリイミドを含有する樹脂が好ましく、より好ましくは樹脂成分の７０重量％以上、さらに好ましくは樹脂成分の９０重量％以上、最も好ましくは樹脂成分の全部として熱可塑性ポリイミドを含有することがよい。なお、樹脂成分の主成分とは、全樹脂成分に対して５０重量％を超えて含まれる成分を意味する。接着剤層３０の形成に用いる好ましい熱可塑性ポリイミドとしては、芳香族テトラカルボン酸無水物成分を含む酸無水物成分と、脂肪族ジアミン及び／又は芳香族ジアミンと、を反応させて得られる熱可塑性ポリイミドが好ましい。酸無水物及びジアミンとしては、熱可塑性ポリイミドの合成に一般的に用いられるモノマーを使用できるが、全ジアミン成分に対して、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が１級アミノメチル基又はアミノ基に置換されてなるダイマージアミンを主成分とするダイマージアミン組成物を、好ましくは５０モル％以上、より好ましくは７０モル％以上、さらに好ましくは８０～９９モル％の範囲内で使用して得られる熱可塑性ポリイミドがよい。ダイマージアミン組成物を上記の量で使用することによって、ポリイミドのガラス転移温度の低温化（低Ｔｇ化）による熱圧着特性の改善及び低弾性率化による内部応力の緩和が可能になる。
【0035】
接着剤層３０は、良好な接着性を担保する観点から、周波数１１Ｈｚで測定される５０℃における貯蔵弾性率が１８００ＭＰａ以下であってもよい。また、接着剤層３０の熱膨張係数は１１０ｐｐｍ／Ｋであってもよい。このように柔軟性に富み、熱膨張係数が大きく、かつ厚みＴ３が比較的大きな接着剤層３０を、相対的に熱膨張係数が小さな第１の金属張積層板１０とロール・トゥ・ロール方式で連続的に貼り合わせるために、本実施の形態の製造方法では、次に述べるような熱圧着条件を採用している。
【0036】
＜熱圧着条件＞
図２に示すように、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離（クリアランス）Ｌは、しわの発生を防止する観点から、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１に対して７０％以上９７％以下の範囲内、好ましくは８０％以上９７％以下の範囲内に調節することがよい。しわの発生は、貯蔵弾性率が低く、熱膨張係数が大きく、かつ、厚みが大きな接着剤層３０を有する接着剤層付金属張積層板２０Ａを、相対的に熱膨張係数が小さな第１の金属張積層板１０と連続搬送することによって第１の金属張積層板１０及び／又は接着剤層付金属張積層板２０Ａに撓みが生じ、この撓みを熱圧着時に巻き込んでしまうことが原因であると考えられる。一般的に、総厚みが５０μｍ未満の両面金属張積層板を製造する場合には、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離Ｌを０μｍに設定することが多いが、本実施の形態では、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１を考慮して距離Ｌを上記範囲に調節し、熱圧着時に被圧着材料である第１の金属張積層板１０及び接着剤層付金属張積層板２０Ａに過剰な圧力を加えないことによって、たわみを逃がし、しわの発生を効果的に防止している。
なお、距離Ｌは、加圧ロール４０Ａの表面と、加圧ロール４０Ｂの被覆層５０の表面との間隔であり、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂを加熱する前に、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの軸方向の両端部において計測される間隔を意味する。
図２に示すように、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離（クリアランス）Ｌは、しわの発生を防止する観点から、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１に対して７０％以上９７％以下の範囲内、好ましくは８０％以上９７％以下の範囲内に調節することがよい。しわの発生は、貯蔵弾性率が低く、熱膨張係数が大きく、かつ、厚みが大きな接着剤層３０を有する接着剤層付金属張積層板２０Ａを、相対的に熱膨張係数が小さな第１の金属張積層板１０と連続搬送することによって第１の金属張積層板１０及び／又は接着剤層付金属張積層板２０Ａに撓みが生じ、この撓みを熱圧着時に巻き込んでしまうことが原因であると考えられる。一般的に、総厚みが５０μｍ未満の両面金属張積層板を製造する場合には、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離Ｌを０μｍに設定することが多いが、本実施の形態では、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１を考慮して距離Ｌを上記範囲に調節し、熱圧着時に被圧着材料である第１の金属張積層板１０及び接着剤層付金属張積層板２０Ａに過剰な圧力を加えないことによって、たわみを逃がし、しわの発生を効果的に防止している。
なお、距離Ｌは、加圧ロール４０Ａの表面と、加圧ロール４０Ｂの被覆層５０の表面との間隔であり、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂを加熱する前に、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの軸方向の両端部において計測される間隔を意味する。
【0037】
加圧ロール４０Ａ，４０Ｂによって、第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとを熱圧着する時の圧力は、特に限定されないが、しわの発生を防止する観点から、例えば１．０ＭＰａ以下とすることが好ましく、０～０．５ＭＰａの範囲内がより好ましい。上記のとおり、しわの発生は、貯蔵弾性率が低く、熱膨張係数が大きく、かつ、厚みが大きな接着剤層３０を有する接着剤層付金属張積層板２０Ａを、相対的に熱膨張係数が小さな第１の金属張積層板１０と連続搬送することによって第１の金属張積層板１０及び／又は接着剤層付金属張積層板２０Ａに撓みが生じ、この撓みを熱圧着時に巻き込んでしまうことが原因であると考えられるため、熱圧着時に被圧着材料である第１の金属張積層板１０及び接着剤層付金属張積層板２０Ａに加わる圧力を１．０ＭＰａ以下に調節することによって、たわみを逃がし、しわの発生を防止できる。
なお、熱圧着時の圧力とは、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの軸方向における平均の圧力である。加圧方式は、所定の圧力を加えることができるものであれば特に限定されず、例えば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等が挙げられる。
なお、熱圧着時の圧力とは、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの軸方向における平均の圧力である。加圧方式は、所定の圧力を加えることができるものであれば特に限定されず、例えば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等が挙げられる。
【0038】
また、熱圧着時の温度は、例えば５０℃以上が好ましく、より好ましくは６０～１３０℃の範囲内である。加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの加熱方法は、特に限定されず、例えば、熱媒循環方式、熱風加熱方式、誘電加熱方式等が挙げられる。なお、熱圧着時の温度は、加熱機構を有する金属製ロール表面の温度を意味する。
【0039】
熱圧着における第１の金属張積層板１０の加圧ロール４０Ａへの挿入角θ１は、特に限定されるものではないが、熱膨張によって生じた両面金属張積層板１００の撓みが拡幅しやすいという理由から、例えば３～４５°の範囲内とすることが好ましい。また、熱圧着における接着剤層付金属張積層板２０Ａの加圧ロール４０Ｂへの挿入角（図示せず）は、特に限定されるものではないが、熱膨張によって生じた両面金属張積層板１００の撓みが拡幅しやすいという理由から、例えば３～４５°の範囲内とすることが好ましい。なお、第１の金属張積層板１０の加圧ロール４０Ａへの挿入角θ１は、第１の金属張積層板１０と断面円形の加圧ロール４０Ａとが接触する部位（接触点）における接線方向に対して第１の金属張積層板１０がなす角度を意味し、接着剤層付金属張積層板２０Ａの加圧ロール４０Ｂへの挿入角（図示せず）は、接着剤層付金属張積層板２０Ａと断面円形の加圧ロール４０Ｂとが接触する部位（接触点）における接線方向に対して接着剤層付金属張積層板２０Ａがなす角度を意味する。
【0040】
図４は、本実施の形態の両面金属張積層板の製造工程の一例を示す説明図である。本実施の形態では、接着剤層付金属張積層板２０Ａが、第２の金属張積層板２０の第２の金属層と反対の面に樹脂組成物を塗布・乾燥して接着剤層３０を形成する工程を経て得られたものである。
【0041】
第２の金属張積層板２０は、長尺に形成されており、ロール・トゥ・ロール方式で搬送される構成となっている。つまり、本実施の形態では、長尺状の第２の金属張積層板２０が、巻出ロール２０１と巻取ロール２０２との間で搬送可能に形成されている。第２の金属張積層板２０をロール・トゥ・ロール方式で搬送しながら、その第２の絶縁樹脂層側に、塗布装置２１０によって接着剤層３０となる溶液状の樹脂組成物Ｓを塗布する。接着剤層３０がポリイミドからなる場合は、樹脂組成物Ｓとして、ポリイミド溶液又はポリアミド酸溶液を用いることができる。塗布された樹脂組成物Ｓは、加熱部２２０において加熱乾燥され、接着剤層３０となる。このように搬送途中で接着剤層付金属張積層板２０Ａが作製され、一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂへ搬送されていく。一方、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの手前では、供給ロール２３０から第１の金属張積層板１０が供給され、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂによって、第１の金属張積層板１０と接着剤層付金属張積層板２０Ａとが熱圧着され、積層されることによって両面金属張積層板１００が製造される。両面金属張積層板１００は、巻取ロール２０２によって巻き取られ、製品として回収される。
【0042】
図４に例示する製造工程において、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離Ｌを、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１に対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節し、熱圧着時に第１の金属張積層板１０及び接着剤層付金属張積層板２０Ａに過剰な圧力を加えないことによって、しわの発生を効果的に防止できる。したがって、本実施の形態の製造方法によれば、しわがなく、外観が良好な両面金属張積層板１００を効率良く製造することが可能となり、両面金属張積層板１００の生産性を高めることができる。また、本実施の形態の方法によって製造された両面金属張積層板１００は、しわの発生が防止されていることにより、外観良好であるだけでなく、両面金属張積層板１００を回路加工して得られる回路基板の信頼性向上にも寄与する。
【0043】
［第２の実施の形態］
図５は、本発明の第２の実施の形態に係る両面金属張積層板の製造方法の要部説明図である。本実施の形態の両面金属張積層板１００の製造方法は、第１の金属張積層板１０と接着性シート３０Ａと第２の金属張積層板２０とをこの順序で重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂ間を通過させることによって、第１の金属張積層板１０と接着性シート３０Ａと第２の金属張積層板２０とを熱圧着して両面金属張積層板１００を製造する。なお、図５では、長尺な第１の金属張積層板１０、接着性シート３０Ａ、第２の金属張積層板２０の一部分のみを図示している。また、図５中の矢印は、搬送方向や回転方向を示しており、巻出ロール、巻取ロール、ガイドロールなどの図示は省略している。
図５は、本発明の第２の実施の形態に係る両面金属張積層板の製造方法の要部説明図である。本実施の形態の両面金属張積層板１００の製造方法は、第１の金属張積層板１０と接着性シート３０Ａと第２の金属張積層板２０とをこの順序で重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂ間を通過させることによって、第１の金属張積層板１０と接着性シート３０Ａと第２の金属張積層板２０とを熱圧着して両面金属張積層板１００を製造する。なお、図５では、長尺な第１の金属張積層板１０、接着性シート３０Ａ、第２の金属張積層板２０の一部分のみを図示している。また、図５中の矢印は、搬送方向や回転方向を示しており、巻出ロール、巻取ロール、ガイドロールなどの図示は省略している。
【0044】
本実施の形態において、第１の金属張積層板１０、第２の金属張積層板２０、一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂ及び両面金属張積層板１００の構成は、第１の実施の形態と同様である。また、接着性シート３０Ａは、自己支持性のフィルムである点を除き、その材質、厚み、物性などは第１の実施の形態の接着剤層３０と同様である。第１の金属張積層板１０は、図５において、加圧ロール４０Ａに接する側に第１の金属層が接するような向きで搬送される。第２の金属張積層板２０は、図５において、加圧ロール４０Ｂに接する側に第２の金属層が接するような向きで搬送される。そして、第１の金属張積層板１０の第１の絶縁樹脂層と第２の金属張積層板２０の第２の絶縁樹脂層との間に接着性シート３０Ａが介在するように重ね合わせて連続的に一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂ間を通過させることによってラミネートして両面金属張積層板１００を製造する。
【0045】
第１の金属張積層板１０と接着性シート３０Ａと第２の金属張積層板２０とをラミネートするための熱圧着条件は、第１の実施の形態と同様である。
すなわち、図２に示すように、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離（クリアランス）Ｌは、しわの発生を防止する観点から、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１に対して７０％以上９７％以下の範囲内、好ましくは８０％以上９７％以下の範囲内に調節することがよい。しわの発生は、貯蔵弾性率が低く、熱膨張係数が大きく、かつ、厚みが大きな接着性シート３０Ａを、相対的に熱膨張係数が小さな第１の金属張積層板１０及び第２の金属張積層板２０と連続搬送することによって第１の金属張積層板１０及び／又は第２の金属張積層板２０に撓みが生じ、この撓みを熱圧着時に巻き込んでしまうことが原因であると考えられる。一般的に、総厚みが５０μｍ未満の両面金属張積層板を製造する場合には、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離Ｌを０μｍに設定することが多いが、本実施の形態では、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１を考慮して距離Ｌを上記範囲に調節し、熱圧着時に被圧着材料である第１の金属張積層板１０と接着性シート３０Ａと第２の金属張積層板２０に過剰な圧力を加えないことによって、たわみを逃がし、しわの発生を効果的に防止している。
なお、距離Ｌは、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂを加熱する前に、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの軸方向の両端部において計測される間隔を意味する。
すなわち、図２に示すように、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離（クリアランス）Ｌは、しわの発生を防止する観点から、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１に対して７０％以上９７％以下の範囲内、好ましくは８０％以上９７％以下の範囲内に調節することがよい。しわの発生は、貯蔵弾性率が低く、熱膨張係数が大きく、かつ、厚みが大きな接着性シート３０Ａを、相対的に熱膨張係数が小さな第１の金属張積層板１０及び第２の金属張積層板２０と連続搬送することによって第１の金属張積層板１０及び／又は第２の金属張積層板２０に撓みが生じ、この撓みを熱圧着時に巻き込んでしまうことが原因であると考えられる。一般的に、総厚みが５０μｍ未満の両面金属張積層板を製造する場合には、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離Ｌを０μｍに設定することが多いが、本実施の形態では、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１を考慮して距離Ｌを上記範囲に調節し、熱圧着時に被圧着材料である第１の金属張積層板１０と接着性シート３０Ａと第２の金属張積層板２０に過剰な圧力を加えないことによって、たわみを逃がし、しわの発生を効果的に防止している。
なお、距離Ｌは、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂを加熱する前に、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの軸方向の両端部において計測される間隔を意味する。
【0046】
加圧ロール４０Ａ，４０Ｂによる第１の金属張積層板１０と接着性シート３０Ａと第２の金属張積層板２０との熱圧着時の圧力は特に限定されないが、しわの発生を防止する観点から、例えば１．０ＭＰａ以下とすることが好ましく、０～０．５ＭＰａの範囲内がより好ましい。上記のとおり、しわの発生は、貯蔵弾性率が低く、熱膨張係数が大きく、かつ、厚みが大きな接着性シート３０Ａを、相対的に熱膨張係数が小さな第１の金属張積層板１０及び第２の金属張積層板２０と連続搬送することによって第１の金属張積層板１０及び／又は第２の金属張積層板２０に撓みが生じ、この撓みを熱圧着時に巻き込んでしまうことが原因であると考えられるため、熱圧着時に被圧着材料である第１の金属張積層板１０と接着性シート３０Ａと第２の金属張積層板２０に加わる圧力を１．０ＭＰａ以下に調節することによって、たわみを逃がし、しわの発生を防止できる。
なお、熱圧着時の圧力とは、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの軸方向における平均の圧力である。加圧方式は、所定の圧力を加えることができるものであれば特に限定されず、例えば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等が挙げられる。
なお、熱圧着時の圧力とは、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの軸方向における平均の圧力である。加圧方式は、所定の圧力を加えることができるものであれば特に限定されず、例えば、油圧方式、空気圧方式、ギャップ間圧力方式等が挙げられる。
【0047】
また、熱圧着時の温度は、例えば５０℃以上が好ましく、より好ましくは６０～１３０℃の範囲内である。
【0048】
熱圧着における第１の金属張積層板１０の加圧ロール４０Ａへの挿入角θ２は、特に限定されるものではないが、熱膨張によって生じた両面金属張積層板１００の撓みが拡幅しやすいという理由から、例えば３～４５°の範囲内とすることが好ましい。
また、熱圧着における第２の金属張積層板２０の加圧ロール４０Ｂへの挿入角θ３は、特に限定されるものではないが、熱膨張によって生じた両面金属張積層板１００の撓みが拡幅しやすいという理由から、例えば３～４５°の範囲内とすることが好ましい。
さらに、熱圧着における接着性シート３０Ａの加圧ロール４０Ｂへの挿入角（図示せず）は、特に限定されるものではないが、熱膨張によって生じた両面金属張積層板１００の撓みが拡幅しやすいという理由から、例えば３～４５°の範囲内とすることが好ましい。
なお、第１の金属張積層板１０の加圧ロール４０Ａへの挿入角θ２は、第１の金属張積層板１０と断面円形の加圧ロール４０Ａとが接触する部位（接触点）における接線方向に対して第１の金属張積層板１０がなす角度を意味し、第２の金属張積層板２０の加圧ロール４０Ｂへの挿入角θ３は、第２の金属張積層板２０と断面円形の加圧ロール４０Ｂとが接触する部位（接触点）における接線方向に対して第２の金属張積層板２０がなす角度を意味する。また、接着性シート３０Ａの加圧ロール４０Ｂへの挿入角（図示せず）は、第２の金属張積層板２０と断面円形の加圧ロール４０Ｂとが接触する部位（接触点）における接線方向に対して接着性シート３０Ａがなす角度を意味する。
また、熱圧着における第２の金属張積層板２０の加圧ロール４０Ｂへの挿入角θ３は、特に限定されるものではないが、熱膨張によって生じた両面金属張積層板１００の撓みが拡幅しやすいという理由から、例えば３～４５°の範囲内とすることが好ましい。
さらに、熱圧着における接着性シート３０Ａの加圧ロール４０Ｂへの挿入角（図示せず）は、特に限定されるものではないが、熱膨張によって生じた両面金属張積層板１００の撓みが拡幅しやすいという理由から、例えば３～４５°の範囲内とすることが好ましい。
なお、第１の金属張積層板１０の加圧ロール４０Ａへの挿入角θ２は、第１の金属張積層板１０と断面円形の加圧ロール４０Ａとが接触する部位（接触点）における接線方向に対して第１の金属張積層板１０がなす角度を意味し、第２の金属張積層板２０の加圧ロール４０Ｂへの挿入角θ３は、第２の金属張積層板２０と断面円形の加圧ロール４０Ｂとが接触する部位（接触点）における接線方向に対して第２の金属張積層板２０がなす角度を意味する。また、接着性シート３０Ａの加圧ロール４０Ｂへの挿入角（図示せず）は、第２の金属張積層板２０と断面円形の加圧ロール４０Ｂとが接触する部位（接触点）における接線方向に対して接着性シート３０Ａがなす角度を意味する。
【0049】
図６Ａ及び図６Ｂは、本実施の形態の両面金属張積層板の製造工程の一例を示す説明図である。本実施の形態では、接着性シート３０Ａが、基材に樹脂組成物Ｓを塗布・乾燥して自己支持性フィルムを形成する工程と、自己支持性フィルムを基材上から剥離する工程と、を経て得られたものである。
【0050】
まず、図６Ａに示すように、基材としての離型フィルム３０Ｂは、長尺に形成されており、ロール・トゥ・ロール方式で搬送される構成となっている。つまり、長尺状の離型フィルム３０Ｂは、巻出ロール２０３と巻取ロール２０４との間で搬送可能に形成されている。離型フィルム３０Ｂをロール・トゥ・ロール方式で搬送しながら、その片面側に、塗布装置２１０によって接着性シート３０Ａとなる溶液状の樹脂組成物Ｓを塗布することによって塗布膜付離型フィルム３０Ｃを形成する。接着性シート３０Ａがポリイミドからなる場合は、樹脂組成物Ｓとして、ポリイミド溶液又はポリアミド酸溶液を用いることができる。
【0051】
塗布膜付離型フィルム３０Ｃは、加熱部２２０を通過することによって塗布膜の加熱乾燥が行われ、自己支持性の接着性シート３０Ａが形成された接着剤層付離型フィルム３０Ｄとなる。次に、供給ロール２４０から保護フィルム３０Ｅが供給され、加圧ロール４０Ｃ，４０Ｄにより接着剤層付離型フィルム３０Ｄの接着剤層３０側に保護フィルム３０Ｅを仮圧着することによって、保護フィルム付接着性シート３０Ｆとして巻取ロール２０４に回収される。
【0052】
図６Ｂは、図６Ａに続く工程を示している。図６Ｂに示すように、長尺状の保護フィルム付接着性シート３０Ｆを巻出ロール２０５から巻取ロール２０６へ向けて搬送する。その途中で、保護フィルム３０Ｅと離型フィルム３０Ｂを剥離することによって、自己支持性の接着性シート３０Ａとする。なお、保護フィルム３０Ｅと離型フィルム３０Ｂは、それぞれ巻取ロール２０８，２０９によって回収する。次に、自己支持性の接着性シート３０Ａを搬送しながら、その片面側に供給ロール２５０から供給される第１の金属張積層板１０が、他の面側に供給ロール２６０から供給される第２の金属張積層板２０が重なるように、一対の加圧ロール４０Ａ，４０Ｂで熱圧着し、積層することによって両面金属張積層板１００が製造される。両面金属張積層板１００は、巻取ロール２０６によって巻き取られ、製品として回収される。
【0053】
【0054】
図６Ａ、図６Ｂに例示する製造工程において、加圧ロール４０Ａ，４０Ｂの距離Ｌを、両面金属張積層板１００の総厚みＴ１に対して７０％以上９７％以下の範囲内に調節し、熱圧着時に第１の金属張積層板１０、接着性シート３０Ａ及び第２の金属張積層板２０に過剰な圧力を加えないことによって、しわの発生を効果的に防止できる。したがって、本実施の形態の製造方法によれば、しわがなく、外観が良好な両面金属張積層板１００を効率良く製造することが可能となり、両面金属張積層板１００の生産性を高めることができる。また、本実施の形態の方法によって製造された両面金属張積層板１００は、しわの発生が防止されていることにより、外観良好であるだけでなく、両面金属張積層板１００を回路加工して得られる回路基板の信頼性向上にも寄与する。
なお、第２の実施の形態における他の構成及び効果は第１の実施の形態と同様である。
なお、第２の実施の形態における他の構成及び効果は第１の実施の形態と同様である。
【実施例0055】
以下に実施例を示し、本発明の特徴をより具体的に説明する。ただし、本発明の範囲は、実施例に限定されない。なお、以下の実施例において、特にことわりのない限り各種測定、評価は下記によるものである。
【0056】
［熱膨張係数（ＣＴＥ）の測定］
接着性フィルムから３ｍｍ×２０ｍｍのサンプルを切り出し、サーモメカニカルアナライザー（Ｂｒｕｋｅｒ社製、商品名；４０００ＳＡ）を用い、５．０ｇの荷重を加えながら一定の昇温速度で３０℃から２６５℃まで昇温させ、更にその温度で１０分保持した後、５℃／分の速度で冷却し、２４０℃から１００℃までの平均熱膨張係数（線熱膨張係数）を求めた。
接着性フィルムから３ｍｍ×２０ｍｍのサンプルを切り出し、サーモメカニカルアナライザー（Ｂｒｕｋｅｒ社製、商品名；４０００ＳＡ）を用い、５．０ｇの荷重を加えながら一定の昇温速度で３０℃から２６５℃まで昇温させ、更にその温度で１０分保持した後、５℃／分の速度で冷却し、２４０℃から１００℃までの平均熱膨張係数（線熱膨張係数）を求めた。
【0057】
［貯蔵弾性率の測定］
貯蔵弾性率は、接着性フィルムから５ｍｍ×２０ｍｍに切り出し、１２０℃のオーブンで２時間、１７０℃で３時間加熱した。得られたサンプルを動的粘弾性装置（ＤＭＡ：ユー・ビー・エム社製、商品名；Ｅ４０００Ｆ）を用いて、昇温速度４℃／分で３０℃から４００℃まで段階的に加熱し、周波数１１Ｈｚで測定を行った。
貯蔵弾性率は、接着性フィルムから５ｍｍ×２０ｍｍに切り出し、１２０℃のオーブンで２時間、１７０℃で３時間加熱した。得られたサンプルを動的粘弾性装置（ＤＭＡ：ユー・ビー・エム社製、商品名；Ｅ４０００Ｆ）を用いて、昇温速度４℃／分で３０℃から４００℃まで段階的に加熱し、周波数１１Ｈｚで測定を行った。
【0058】
［密着状態の観察］
熱圧着後の両面銅張積層板から、片面銅張積層板を全幅に渡り引き剥がし、接着性フィルム表面を目視で観察し、全面が均一な色調であるものを全面密着性が「良好」とし、色調が異なる部分があるものを「不良」とした。
熱圧着後の両面銅張積層板から、片面銅張積層板を全幅に渡り引き剥がし、接着性フィルム表面を目視で観察し、全面が均一な色調であるものを全面密着性が「良好」とし、色調が異なる部分があるものを「不良」とした。
【0059】
[アミン価の測定方法]
約２ｇのダイマージアミン組成物を２００～２５０ｍＬの三角フラスコに秤量し、指示薬としてフェノールフタレインを用い、溶液が薄いピンク色を呈するまで、０．１ｍｏｌ／Ｌのエタノール性水酸化カリウム溶液を滴下し、中和を行ったブタノール約１００ｍＬに溶解させる。そこに３～７滴のフェノールフタレイン溶液を加え、サンプルの溶液が薄いピンク色に変わるまで、０．１ｍｏｌ／Ｌのエタノール性水酸化カリウム溶液で攪拌しながら滴定する。そこへブロモフェノールブルー溶液を５滴加え、サンプル溶液が黄色に変わるまで、０．２ｍｏｌ／Ｌの塩酸／イソプロパノール溶液で攪拌しながら滴定する。
アミン価は、次の式（１）により算出する。
アミン価＝｛（Ｖ２×Ｃ２）－（Ｖ１×Ｃ１）｝×ＭＫＯＨ／ｍ ・・・（１）
ここで、アミン価はｍｇ－ＫＯＨ／ｇで表される値であり、ＭＫＯＨは水酸化カリウムの分子量５６．１である。また、Ｖ、Ｃはそれぞれ滴定に用いた溶液の体積と濃度であり、添え字の１、２はそれぞれ０．１ｍｏｌ／Ｌのエタノール性水酸化カリウム溶液、０．２ｍｏｌ／Ｌの塩酸／イソプロパノール溶液を表す。さらに、ｍはグラムで表されるサンプル重量である。
約２ｇのダイマージアミン組成物を２００～２５０ｍＬの三角フラスコに秤量し、指示薬としてフェノールフタレインを用い、溶液が薄いピンク色を呈するまで、０．１ｍｏｌ／Ｌのエタノール性水酸化カリウム溶液を滴下し、中和を行ったブタノール約１００ｍＬに溶解させる。そこに３～７滴のフェノールフタレイン溶液を加え、サンプルの溶液が薄いピンク色に変わるまで、０．１ｍｏｌ／Ｌのエタノール性水酸化カリウム溶液で攪拌しながら滴定する。そこへブロモフェノールブルー溶液を５滴加え、サンプル溶液が黄色に変わるまで、０．２ｍｏｌ／Ｌの塩酸／イソプロパノール溶液で攪拌しながら滴定する。
アミン価は、次の式（１）により算出する。
アミン価＝｛（Ｖ２×Ｃ２）－（Ｖ１×Ｃ１）｝×ＭＫＯＨ／ｍ ・・・（１）
ここで、アミン価はｍｇ－ＫＯＨ／ｇで表される値であり、ＭＫＯＨは水酸化カリウムの分子量５６．１である。また、Ｖ、Ｃはそれぞれ滴定に用いた溶液の体積と濃度であり、添え字の１、２はそれぞれ０．１ｍｏｌ／Ｌのエタノール性水酸化カリウム溶液、０．２ｍｏｌ／Ｌの塩酸／イソプロパノール溶液を表す。さらに、ｍはグラムで表されるサンプル重量である。
【0060】
［ＧＰＣ及びクロマトグラムの面積パーセントの算出］
（ａ）ダイマージアミン
（ｂ）炭素数１０～４０の範囲内にある一塩基酸化合物の末端カルボン酸基を１級アミノメチル基又はアミノ基に置換して得られるモノアミン化合物
（ｃ）炭素数４１～８０の範囲内にある炭化水素基を有する多塩基酸化合物の末端カルボン酸基を１級アミノメチル基又はアミノ基に置換して得られるアミン化合物（但し、前記ダイマージアミンを除く）
（ａ）ダイマージアミン
（ｂ）炭素数１０～４０の範囲内にある一塩基酸化合物の末端カルボン酸基を１級アミノメチル基又はアミノ基に置換して得られるモノアミン化合物
（ｃ）炭素数４１～８０の範囲内にある炭化水素基を有する多塩基酸化合物の末端カルボン酸基を１級アミノメチル基又はアミノ基に置換して得られるアミン化合物（但し、前記ダイマージアミンを除く）
【0061】
ＧＰＣは、２０ｍｇのダイマージアミン組成物を２００μＬの無水酢酸、２００μＬのピリジン及び２ｍＬのテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）で前処理した１００ｍｇの溶液を、１０ｍＬのＴＨＦ（１０００ｐｐｍのシクロヘキサノンを含有）で希釈し、サンプルを調製した。調製したサンプルを東ソー株式会社製、商品名；ＨＬＣ－８２２０ＧＰＣを用いて、カラム：ＴＳＫ－ｇｅｌ Ｇ２０００ＨＸＬ，Ｇ１０００ＨＸＬ、フロー量：１ｍＬ／ｍｉｎ、カラム（オーブン）温度：４０℃、注入量：５０μＬの条件で測定した。なお、シクロヘキサノンは流出時間の補正のために標準物質として扱った。
【0062】
このとき、シクロヘキサノンのメインピークのピークトップがリテンションタイム２７分から３１分になるように、且つ、前記シクロヘキサノンのメインピークのピークスタートからピークエンドが２分になるように調整し、シクロヘキサノンのピークを除くメインピークのピークトップが１８分から１９分になるように、且つ、前記シクロヘキサノンのピークを除くメインピークのピークスタートからピークエンドまでが２分から４分３０秒となる条件で、上記の各成分（ａ）～（ｃ）として、
（ａ）メインピークで表される成分；
（ｂ）メインピークにおけるリテンションタイムが遅い時間側の極小値を基準にし、それよりも遅い時間に検出されるＧＰＣピークで表される成分；
（ｃ）メインピークにおけるリテンションタイムが早い時間側の極小値を基準にし、それよりも早い時間に検出されるＧＰＣピークで表される成分；
を検出した。
（ａ）メインピークで表される成分；
（ｂ）メインピークにおけるリテンションタイムが遅い時間側の極小値を基準にし、それよりも遅い時間に検出されるＧＰＣピークで表される成分；
（ｃ）メインピークにおけるリテンションタイムが早い時間側の極小値を基準にし、それよりも早い時間に検出されるＧＰＣピークで表される成分；
を検出した。
【0063】
［粘度の測定］
Ｅ型粘度計（ＤＶ－II＋ＰｒｏＣＰ型）を用いて、ポリイミド溶液を温度；２５℃、回転数；１００ＲＰＭ、測定時間；２分の条件下で、重合直後の粘度を測定した。
Ｅ型粘度計（ＤＶ－II＋ＰｒｏＣＰ型）を用いて、ポリイミド溶液を温度；２５℃、回転数；１００ＲＰＭ、測定時間；２分の条件下で、重合直後の粘度を測定した。
【0064】
[ポリイミドの重量平均分子量（Ｍｗ）の測定]
重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフ（東ソー株式会社製、ＨＬＣ－８２２０ＧＰＣを使用）により測定した。標準物質としてポリスチレンを用い、展開溶媒にテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）を用いた。
重量平均分子量は、ゲル浸透クロマトグラフ（東ソー株式会社製、ＨＬＣ－８２２０ＧＰＣを使用）により測定した。標準物質としてポリスチレンを用い、展開溶媒にテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）を用いた。
【0065】
実施例等で用いた略号は、以下の化合物を示す。
ＢＴＤＡ：３,３’,４,４’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
ＤＤＡ：クローダジャパン株式会社製（商品名；ＰＲＩＡＭＩＮＥ１０７５を蒸留精製したもの（ａ成分；９９．２％、ｂ成分：０％、ｃ成分；０．８％、アミン価：２１０ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｎ－１２：ドデカン二酸ジヒドラジド
ＮＭＰ：Ｎ－メチル－２－ピロリドン
なお、上記ＤＤＡにおいて、ａ成分、ｂ成分、ｃ成分の「％」は、ＧＰＣ測定におけるクロマトグラムの面積パーセントを意味する。また、上記ＤＤＡの分子量は次式により算出した。
分子量＝５６．１×２×１０００／アミン価
ＢＴＤＡ：３,３’,４,４’－ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
ＤＤＡ：クローダジャパン株式会社製（商品名；ＰＲＩＡＭＩＮＥ１０７５を蒸留精製したもの（ａ成分；９９．２％、ｂ成分：０％、ｃ成分；０．８％、アミン価：２１０ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｎ－１２：ドデカン二酸ジヒドラジド
ＮＭＰ：Ｎ－メチル－２－ピロリドン
なお、上記ＤＤＡにおいて、ａ成分、ｂ成分、ｃ成分の「％」は、ＧＰＣ測定におけるクロマトグラムの面積パーセントを意味する。また、上記ＤＤＡの分子量は次式により算出した。
分子量＝５６．１×２×１０００／アミン価
【0066】
（合成例１）
熱電対及び攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、４４．９８ｇのＢＴＤＡ（０．１３９モル）、７５．０２ｇのＤＤＡ（０．１４０モル）、１６８ｇのＮＭＰ及び１１２ｇのキシレンを装入し、４０℃で１時間間良く混合して、ポリアミド酸溶液を調製した。このポリアミド酸溶液を１９０℃に昇温し、５時間加熱攪拌し、１１２ｇのキシレンを加えてイミド化を完結したポリイミド接着剤溶液１を調製した。得られたポリイミド接着剤溶液１における固形分は２９．１重量％であり、粘度は７,８００ｃｐｓであった。ま
た、ポリイミドの重量平均分子量（Ｍｗ）は８７，７００であった。
熱電対及び攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、４４．９８ｇのＢＴＤＡ（０．１３９モル）、７５．０２ｇのＤＤＡ（０．１４０モル）、１６８ｇのＮＭＰ及び１１２ｇのキシレンを装入し、４０℃で１時間間良く混合して、ポリアミド酸溶液を調製した。このポリアミド酸溶液を１９０℃に昇温し、５時間加熱攪拌し、１１２ｇのキシレンを加えてイミド化を完結したポリイミド接着剤溶液１を調製した。得られたポリイミド接着剤溶液１における固形分は２９．１重量％であり、粘度は７,８００ｃｐｓであった。ま
た、ポリイミドの重量平均分子量（Ｍｗ）は８７，７００であった。
【0067】
（合成例２）
合成例１で得られたポリイミド接着剤溶液１を３４．４ｇ（固形分として１０ｇ）と１．２５ｇのＮ－１２および２．５ｇのＥｘｏｌｉｔ ＯＰ９３５（商品名、クラリアントジャパン株式会社製、ジエチルホスフィン酸アルミニウム）を配合し、１．２９７ｇのＮＭＰと３．８６９ｇのキシレンを加えて希釈してポリイミド接着剤溶液２を調製した。
合成例１で得られたポリイミド接着剤溶液１を３４．４ｇ（固形分として１０ｇ）と１．２５ｇのＮ－１２および２．５ｇのＥｘｏｌｉｔ ＯＰ９３５（商品名、クラリアントジャパン株式会社製、ジエチルホスフィン酸アルミニウム）を配合し、１．２９７ｇのＮＭＰと３．８６９ｇのキシレンを加えて希釈してポリイミド接着剤溶液２を調製した。
【0068】
（作製例１）
ポリイミド接着剤溶液１を長尺状の離型ＰＥＴフィルム１（東山フィルム社製、商品名；ＨＹ－Ｓ０５、厚み；２５μｍ）の片面に乾燥後の厚みが５０μｍとなるように塗布し、８０℃から１６０℃まで段階的に加熱乾燥し溶媒を除去し、接着剤層を離型ＰＥＴフィルム１から剥離することによって、厚さが５０μｍの接着性フィルム１を得た。接着性フィルム１のＣＴＥは９５ｐｐｍ／Ｋ、貯蔵弾性率は１２２０ＭＰａであった。
ポリイミド接着剤溶液１を長尺状の離型ＰＥＴフィルム１（東山フィルム社製、商品名；ＨＹ－Ｓ０５、厚み；２５μｍ）の片面に乾燥後の厚みが５０μｍとなるように塗布し、８０℃から１６０℃まで段階的に加熱乾燥し溶媒を除去し、接着剤層を離型ＰＥＴフィルム１から剥離することによって、厚さが５０μｍの接着性フィルム１を得た。接着性フィルム１のＣＴＥは９５ｐｐｍ／Ｋ、貯蔵弾性率は１２２０ＭＰａであった。
【0069】
（作製例２）
乾燥後の厚みが７５μｍとなるように塗布したこと以外、作製例１と同様にして、厚さが７５μｍの接着性フィルム２を得た。接着性フィルム２のＣＴＥは９５ｐｐｍ／Ｋ、貯蔵弾性率は１２２０ＭＰａであった。
乾燥後の厚みが７５μｍとなるように塗布したこと以外、作製例１と同様にして、厚さが７５μｍの接着性フィルム２を得た。接着性フィルム２のＣＴＥは９５ｐｐｍ／Ｋ、貯蔵弾性率は１２２０ＭＰａであった。
【0070】
［実施例１］
長尺状の片面金属張積層板１ａ（日鉄ケミカル&マテリアル社製、商品名；エスパネックスＦＣ１２－２５－００ＵＥＪ、電解銅箔厚さ；１２μｍ、絶縁樹脂層の厚さ；２５μｍ、横幅；５３０ｍｍ）の絶縁樹脂層側の面にダイコーターを用いて、合成例２で調製したポリイミド接着剤溶液２を乾燥後の厚みが５０μｍとなるように連続的に、均一に塗布した後、８０℃から１６０℃まで段階的に加熱乾燥し溶媒を除去し、接着層付片面金属張積層板１ａ’を得た。
長尺状の片面金属張積層板１ａ（日鉄ケミカル&マテリアル社製、商品名；エスパネックスＦＣ１２－２５－００ＵＥＪ、電解銅箔厚さ；１２μｍ、絶縁樹脂層の厚さ；２５μｍ、横幅；５３０ｍｍ）の絶縁樹脂層側の面にダイコーターを用いて、合成例２で調製したポリイミド接着剤溶液２を乾燥後の厚みが５０μｍとなるように連続的に、均一に塗布した後、８０℃から１６０℃まで段階的に加熱乾燥し溶媒を除去し、接着層付片面金属張積層板１ａ’を得た。
【0071】
次に、接着層付片面金属張積層板１ａ’の接着層側の面と、もう一つの片面金属張積層板１ａの絶縁樹脂層側の面が接するように配置し、これらを、ガイドロールを経由して搬送しながら連続的に、少なくとも１対の、金属製加熱加圧ロールとシリコンゴム（厚さ；１０ｍｍ）を被覆したロールとを有する加熱加圧装置を用いて重ね合わせて連続的に熱圧着させて、両面銅張積層板１を得た。両面銅張積層板１はシワも無く、全面密着性も良好であった。なお、熱圧着の条件は以下のとおりである。ここで、ラミネート圧力とは、１対のラミネートロールの両端のそれぞれに加えるシリンダからの圧力を指す。
金属製加熱加圧ロール表面とシリコンゴム被覆表面との距離（Ｌ）；１２０μｍ
ロール表面温度；１００℃
ラミネート圧力；０．５ＭＰａ
搬送速度；２．０ｍ／分
接着層付片面金属張積層板１ａ’の金属製加熱加圧ロールへの挿入角；４５°
片面金属張積層板１ａのシリコンゴム被覆ロールへの挿入角；４５°
金属製加熱加圧ロール表面とシリコンゴム被覆表面との距離（Ｌ）；１２０μｍ
ロール表面温度；１００℃
ラミネート圧力；０．５ＭＰａ
搬送速度；２．０ｍ／分
接着層付片面金属張積層板１ａ’の金属製加熱加圧ロールへの挿入角；４５°
片面金属張積層板１ａのシリコンゴム被覆ロールへの挿入角；４５°
【0072】
［実施例２］
Ｌの値を１００μｍとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板２を得た。両面銅張積層板２はシワも無く、全面密着性も良好であった。
Ｌの値を１００μｍとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板２を得た。両面銅張積層板２はシワも無く、全面密着性も良好であった。
【0073】
［実施例３］
ラミネート圧力を０．１ＭＰａとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板３を得た。両面銅張積層板３はシワも無く、全面密着性も良好であった。
ラミネート圧力を０．１ＭＰａとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板３を得た。両面銅張積層板３はシワも無く、全面密着性も良好であった。
【0074】
［実施例４］
Ｌの値を１００μｍとし、ラミネート圧力を０．１ＭＰａとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板４を得た。両面銅張積層板４はシワも無く、全面密着性も良好であった。
Ｌの値を１００μｍとし、ラミネート圧力を０．１ＭＰａとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板４を得た。両面銅張積層板４はシワも無く、全面密着性も良好であった。
【0075】
［実施例５］
ポリイミド接着剤溶液２の乾燥後の厚みが７５μｍとなるようにしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板５を得た。両面銅張積層板５はシワも無く、全面密着性も良好であった。
ポリイミド接着剤溶液２の乾燥後の厚みが７５μｍとなるようにしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板５を得た。両面銅張積層板５はシワも無く、全面密着性も良好であった。
【0076】
［実施例６］
ポリイミド接着剤溶液２の乾燥後の厚みが７５μｍとなるようにし、ラミネート圧力を０．１ＭＰａとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板６を得た。両面銅張積層板６はシワも無く、全面密着性も良好であった。
ポリイミド接着剤溶液２の乾燥後の厚みが７５μｍとなるようにし、ラミネート圧力を０．１ＭＰａとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板６を得た。両面銅張積層板６はシワも無く、全面密着性も良好であった。
【0077】
［実施例７］
接着性フィルム１の両面に、２つの長尺状の片面金属張積層板１ａの絶縁樹脂層の面が接するように配置し、これらを、ガイドロールを経由して搬送しながら連続的に、少なくとも１対の、金属製加熱加圧ロールとシリコンゴム（厚さ；１０ｍｍ）を被覆したロールとを有する加熱加圧装置を用いて重ね合わせて連続的に熱圧着させて、両面銅張積層板７を得た。両面銅張積層板７はシワも無く、全面密着性も良好であった。なお、熱圧着の条件は以下のとおりである。
金属製加熱加圧ロール表面とシリコンゴム被覆表面との距離（Ｌ）；１２０μｍ
ロール表面温度；１００℃
ラミネート圧力；０．５ＭＰａ
搬送速度；２．０ｍ／分
片面金属張積層板１ａの金属製加熱加圧ロールへの挿入角；４５°
接着性フィルム１の金属製加熱加圧ロールへの挿入角；３°
片面金属張積層板１ａのシリコンゴム被覆ロールへの挿入角；４５°
接着性フィルム１の両面に、２つの長尺状の片面金属張積層板１ａの絶縁樹脂層の面が接するように配置し、これらを、ガイドロールを経由して搬送しながら連続的に、少なくとも１対の、金属製加熱加圧ロールとシリコンゴム（厚さ；１０ｍｍ）を被覆したロールとを有する加熱加圧装置を用いて重ね合わせて連続的に熱圧着させて、両面銅張積層板７を得た。両面銅張積層板７はシワも無く、全面密着性も良好であった。なお、熱圧着の条件は以下のとおりである。
金属製加熱加圧ロール表面とシリコンゴム被覆表面との距離（Ｌ）；１２０μｍ
ロール表面温度；１００℃
ラミネート圧力；０．５ＭＰａ
搬送速度；２．０ｍ／分
片面金属張積層板１ａの金属製加熱加圧ロールへの挿入角；４５°
接着性フィルム１の金属製加熱加圧ロールへの挿入角；３°
片面金属張積層板１ａのシリコンゴム被覆ロールへの挿入角；４５°
【0078】
［実施例８］
接着性フィルム１の代わりに接着性フィルム２を使用したこと以外、実施例７と同様にして、両面銅張積層板８を得た。両面銅張積層板８はシワも無く、全面密着性も良好であった。
接着性フィルム１の代わりに接着性フィルム２を使用したこと以外、実施例７と同様にして、両面銅張積層板８を得た。両面銅張積層板８はシワも無く、全面密着性も良好であった。
【0079】
（比較例１）
Ｌの値を０μｍとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板９を得た。両面銅張積層板９における全面密着性は良好であったが、シワが発生した。
Ｌの値を０μｍとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板９を得た。両面銅張積層板９における全面密着性は良好であったが、シワが発生した。
【0080】
（比較例２）
Ｌの値を０μｍとし、ラミネート圧力を０．１ＭＰａとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板１０を得た。両面銅張積層板１０における全面密着性は良好であったが、シワが発生した。
Ｌの値を０μｍとし、ラミネート圧力を０．１ＭＰａとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板１０を得た。両面銅張積層板１０における全面密着性は良好であったが、シワが発生した。
【0081】
（比較例３）
Ｌの値を８０μｍとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板１１を得た。両面銅張積層板１１における全面密着性は良好であったが、シワが発生した。
Ｌの値を８０μｍとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板１１を得た。両面銅張積層板１１における全面密着性は良好であったが、シワが発生した。
【0082】
（比較例４）
Ｌの値を１２５μｍとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板１２を得た。両面銅張積層板１２におけるシワは無かったが、全面密着性は不良であった。
Ｌの値を１２５μｍとしたこと以外、実施例１と同様にして、両面銅張積層板１２を得た。両面銅張積層板１２におけるシワは無かったが、全面密着性は不良であった。
【0083】
以上、詳述したように、本実施の形態の金属張積層板の製造方法によれば、外観が良好であり、全面に密着した両面金属張積層板が得られる。このようにして製造された両面金属張積層板をＦＰＣなどの回路基板材料として用いることによって、密着性・信頼性に優れた回路基板を歩留まり良く製造できる。従って、本発明により、回路基板及び回路基板を使用する電子製品の歩留まりと信頼性を向上させることができる。
【0084】
以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはない。
【符号の説明】
【0085】
１０…第１の金属張積層板、２０…第２の金属張積層板、２０Ａ…接着剤層付金属張積層板、３０…接着剤層、３０Ａ…接着性シート、３０Ｂ…離型フィルム、３０Ｃ…塗布膜付離型フィルム、３０Ｄ…接着剤層付離型フィルム、３０Ｅ…保護フィルム、３０Ｆ…保護フィルム付接着性シート、４０Ａ，４０Ｂ…加圧ロール、５０…被覆層、８０Ａ，８０Ｂ…ガイドロール、１００…両面金属張積層板、１０１…金属層、１１０…ポリイミド層、１１１…非熱可塑性ポリイミド層、１１２…熱可塑性ポリイミド層、２０１，２０３，２０５…巻出ロール、２０２，２０４，２０６，２０８，２０９…巻取ロール、２１０…塗布装置、２２０…加熱部、２３０，２４０，２５０，２６０…供給ロール
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6A】
【図6B】