特開2022-160791ベーパーチャンバ

発明の名称　ベーパーチャンバ

出願人　古河電気工業株式会社　（識別番号 5290）

　　　　特許公開件数ランキング 212 位（51件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 73 位（115件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-160791

公報発行日　2022年10月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-160791

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