特開2022-162791軸シール構造体及び真空ポンプ
発明の名称 軸シール構造体及び真空ポンプ
出願人 株式会社アルバック （識別番号 231464）
特許公開件数ランキング 607 位（41件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 541 位（30件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2022-162791
公報発行日 2022年10月25
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-162791
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