(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022162791
(43)【公開日】2022-10-25
(54)【発明の名称】軸シール構造体及び真空ポンプ
(51)【国際特許分類】
F16J 15/447 20060101AFI20221018BHJP
F04C 27/00 20060101ALI20221018BHJP
F04C 25/02 20060101ALI20221018BHJP
F04B 37/16 20060101ALI20221018BHJP
【ＦＩ】
F16J15/447
F04C27/00 331
F04C25/02 M
F04B37/16 F
【審査請求】未請求
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021067786
(22)【出願日】2021-04-13
(71)【出願人】
【識別番号】000231464
【氏名又は名称】株式会社アルバック
(74)【代理人】
【識別番号】100104215
【弁理士】
【氏名又は名称】大森 純一
(74)【代理人】
【識別番号】100196575
【弁理士】
【氏名又は名称】高橋 満
(74)【代理人】
【識別番号】100168181
【弁理士】
【氏名又は名称】中村 哲平
(74)【代理人】
【識別番号】100144211
【弁理士】
【氏名又は名称】日比野 幸信
(72)【発明者】
【氏名】嶽 良太
【テーマコード（参考）】
3H076
3H129
3J042
【Ｆターム（参考）】
3H076AA16
3H076AA21
3H076BB10
3H076CC36
3H129AA03
3H129AA05
3H129AB06
3H129BB16
3H129CC16
3H129CC20
3J042AA04
3J042BA02
3J042CA10
3J042CA21
3J042DA09
3J042DA10
3J042DA13
(57)【要約】
【課題】信頼性の高い軸シール構造体、真空ポンプを提供することにある。
【解決手段】軸シール構造体において、ロータ軸は、第１端部と、上記第１端部とは反対側の第２端部と、上記第１端部及び上記第２端部に連なる外周面と、内部に設けられた連通路とを有し、中心軸を中心に回転可能になっている。回転軸シールは、上記第１端部と上記第２端部との間において、上記ロータ軸の上記外周面の周りに上記ロータ軸と同心状に設けられる。フィルタ部は、上記第１端部の側において上記ロータ軸に付設され、上記連通路への浸入物の浸入を抑制し、上記ロータ軸とともに上記中心軸を中心に回転可能になっている。上記フィルタ部の抑制側から浸入した上記浸入物は、上記フィルタ部が回転することによって生じる上記フィルタ部の遠心力によって上記浸入物が上記浸入物が浸入した方向とは逆方向に移動する。
【選択図】図２
【解決手段】軸シール構造体において、ロータ軸は、第１端部と、上記第１端部とは反対側の第２端部と、上記第１端部及び上記第２端部に連なる外周面と、内部に設けられた連通路とを有し、中心軸を中心に回転可能になっている。回転軸シールは、上記第１端部と上記第２端部との間において、上記ロータ軸の上記外周面の周りに上記ロータ軸と同心状に設けられる。フィルタ部は、上記第１端部の側において上記ロータ軸に付設され、上記連通路への浸入物の浸入を抑制し、上記ロータ軸とともに上記中心軸を中心に回転可能になっている。上記フィルタ部の抑制側から浸入した上記浸入物は、上記フィルタ部が回転することによって生じる上記フィルタ部の遠心力によって上記浸入物が上記浸入物が浸入した方向とは逆方向に移動する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１端部と、前記第１端部とは反対側の第２端部と、前記第１端部及び前記第２端部に連なる外周面と、内部に設けられた連通路とを有し、中心軸を中心に回転可能なロータ軸と、
前記第１端部と前記第２端部との間において、前記ロータ軸の前記外周面の周りに前記ロータ軸と同心状に設けられた回転軸シールと、
前記第１端部の側において前記ロータ軸に付設され、前記連通路への浸入物の浸入を抑制し、前記ロータ軸とともに前記中心軸を中心に回転可能なフィルタ部と、
を具備し、
前記ロータ軸には、前記第１端部から前記回転軸シールまでのいずれか箇所において、前記連通路の一端を開口し、前記フィルタ部によって塞がれる第１開口が設けられるとともに、前記第２端部から前記回転軸シールまでのいずれかの箇所において、前記連通路の他端を開口する第２開口が設けられ、
前記フィルタ部の抑制側から侵入した前記浸入物は、前記フィルタ部が回転することによって生じる前記フィルタ部の遠心力によって前記浸入物が前記浸入物が浸入した方向とは逆方向に移動する
軸シール構造体。
前記第１端部と前記第２端部との間において、前記ロータ軸の前記外周面の周りに前記ロータ軸と同心状に設けられた回転軸シールと、
前記第１端部の側において前記ロータ軸に付設され、前記連通路への浸入物の浸入を抑制し、前記ロータ軸とともに前記中心軸を中心に回転可能なフィルタ部と、
を具備し、
前記ロータ軸には、前記第１端部から前記回転軸シールまでのいずれか箇所において、前記連通路の一端を開口し、前記フィルタ部によって塞がれる第１開口が設けられるとともに、前記第２端部から前記回転軸シールまでのいずれかの箇所において、前記連通路の他端を開口する第２開口が設けられ、
前記フィルタ部の抑制側から侵入した前記浸入物は、前記フィルタ部が回転することによって生じる前記フィルタ部の遠心力によって前記浸入物が前記浸入物が浸入した方向とは逆方向に移動する
軸シール構造体。
【請求項2】
請求項１に記載された軸シール構造体であって、
前記外周面には、前記第１端部の側からの前記回転軸シールへの前記浸入物の浸入を抑制する第１フリンガが設けられる
軸シール構造体。
前記外周面には、前記第１端部の側からの前記回転軸シールへの前記浸入物の浸入を抑制する第１フリンガが設けられる
軸シール構造体。
【請求項3】
請求項２に記載された軸シール構造体であって、
前記外周面には、前記第２端部の側からの前記回転軸シールへの別の浸入物の浸入を抑制する第２フリンガが設けられる
軸シール構造体。
前記外周面には、前記第２端部の側からの前記回転軸シールへの別の浸入物の浸入を抑制する第２フリンガが設けられる
軸シール構造体。
【請求項4】
請求項１～３のいずれか1つに記載された軸シール構造体であって、
前記フィルタ部は、前記ロータ軸に接するケース本体と、前記ケース本体に収納されたフィルタ部材とを有し、
前記フィルタ部材は、前記中心軸から前記外周面に向かう方向において、前記外周面よりも遠方に位置する
軸シール構造体。
前記フィルタ部は、前記ロータ軸に接するケース本体と、前記ケース本体に収納されたフィルタ部材とを有し、
前記フィルタ部材は、前記中心軸から前記外周面に向かう方向において、前記外周面よりも遠方に位置する
軸シール構造体。
【請求項5】
請求項２～４のいずれか1つに記載された軸シール構造体であって、
前記フィルタ部の空気に対するコンダクタンスと前記連通路の空気に対するコンダクタンスとの合計は、前記回転軸シールの空気に対するコンダクタンスよりも大きい
軸シール構造体。
前記フィルタ部の空気に対するコンダクタンスと前記連通路の空気に対するコンダクタンスとの合計は、前記回転軸シールの空気に対するコンダクタンスよりも大きい
軸シール構造体。
【請求項6】
請求項４または５に記載された軸シール構造体であって、
前記フィルタ部が前記ロータ軸とともに回転した場合、前記フィルタ部材の任意の箇所における周速が１３（ｍ／秒）よりも大きくなるように構成された
軸シール構造体。
前記フィルタ部が前記ロータ軸とともに回転した場合、前記フィルタ部材の任意の箇所における周速が１３（ｍ／秒）よりも大きくなるように構成された
軸シール構造体。
【請求項7】
第１端部と、前記第１端部とは反対側の第２端部と、前記第１端部及び前記第２端部に連なる外周面と、内部に設けられた連通路とを有し、中心軸を中心に回転可能なロータ軸と、
前記第１端部と前記第２端部との間において、前記ロータ軸の前記外周面の周りに前記ロータ軸と同心状に設けられた回転軸シールと、
前記第１端部の側において前記ロータ軸に付設され、前記連通路への潤滑油の浸入を抑制し、前記ロータ軸とともに前記中心軸を中心に回転可能なフィルタ部と、
前記ロータ軸及び前記回転軸シールを収容し、前記ロータ軸の前記第１端部が突き出ることが可能とする開口部を有する第１ハウジングと、
前記第１ハウジングに取り付けられ、前記第１ハウジングとともに、前記ロータ軸の前記第１端部と、前記フィルタ部とを封止し、前記潤滑油を収容する第２ハウジングと、
を具備し、
前記ロータ軸には、前記第１端部から前記回転軸シールまでのいずれか箇所において、前記連通路の一端を開口し、前記フィルタ部によって塞がれる第１開口が設けられるとともに、前記第２端部から前記回転軸シールまでのいずれかの箇所において、前記連通路の他端を開口する第２開口が設けられ、
前記フィルタ部の抑制側から浸入した前記フィルタ部に前記潤滑油は、前記フィルタ部が回転することによって生じる前記フィルタ部の遠心力によって前記潤滑油が前記潤滑油が浸入した方向とは逆方向に移動する
真空ポンプ。
前記第１端部と前記第２端部との間において、前記ロータ軸の前記外周面の周りに前記ロータ軸と同心状に設けられた回転軸シールと、
前記第１端部の側において前記ロータ軸に付設され、前記連通路への潤滑油の浸入を抑制し、前記ロータ軸とともに前記中心軸を中心に回転可能なフィルタ部と、
前記ロータ軸及び前記回転軸シールを収容し、前記ロータ軸の前記第１端部が突き出ることが可能とする開口部を有する第１ハウジングと、
前記第１ハウジングに取り付けられ、前記第１ハウジングとともに、前記ロータ軸の前記第１端部と、前記フィルタ部とを封止し、前記潤滑油を収容する第２ハウジングと、
を具備し、
前記ロータ軸には、前記第１端部から前記回転軸シールまでのいずれか箇所において、前記連通路の一端を開口し、前記フィルタ部によって塞がれる第１開口が設けられるとともに、前記第２端部から前記回転軸シールまでのいずれかの箇所において、前記連通路の他端を開口する第２開口が設けられ、
前記フィルタ部の抑制側から浸入した前記フィルタ部に前記潤滑油は、前記フィルタ部が回転することによって生じる前記フィルタ部の遠心力によって前記潤滑油が前記潤滑油が浸入した方向とは逆方向に移動する
真空ポンプ。
【請求項8】
請求項７に記載された真空ポンプであって、
前記外周面には、前記第１端部の側からの前記回転軸シールへの前記潤滑油の浸入を抑制する第１フリンガが設けられる
真空ポンプ。
前記外周面には、前記第１端部の側からの前記回転軸シールへの前記潤滑油の浸入を抑制する第１フリンガが設けられる
真空ポンプ。
【請求項9】
請求項８に記載された真空ポンプであって、
前記外周面には、前記第２端部の側からの前記回転軸シールへの浸入物の浸入を抑制する第２フリンガが設けられる
真空ポンプ。
前記外周面には、前記第２端部の側からの前記回転軸シールへの浸入物の浸入を抑制する第２フリンガが設けられる
真空ポンプ。
【請求項10】
請求項７～９のいずれか1つに記載された真空ポンプであって、
前記フィルタ部は、前記ロータ軸に接するケース本体と、前記ケース本体に収納されたフィルタ部材とを有し、
前記フィルタ部材は、前記中心軸から前記外周面に向かう方向において、前記外周面よりも遠方に位置する
真空ポンプ。
前記フィルタ部は、前記ロータ軸に接するケース本体と、前記ケース本体に収納されたフィルタ部材とを有し、
前記フィルタ部材は、前記中心軸から前記外周面に向かう方向において、前記外周面よりも遠方に位置する
真空ポンプ。
【請求項11】
請求項９～１０のいずれか1つに記載された真空ポンプであって、
前記フィルタ部の空気に対するコンダクタンスと前記連通路の空気に対するコンダクタンスとの合計は、前記回転軸シールの空気に対するコンダクタンスよりも大きい
真空ポンプ。
前記フィルタ部の空気に対するコンダクタンスと前記連通路の空気に対するコンダクタンスとの合計は、前記回転軸シールの空気に対するコンダクタンスよりも大きい
真空ポンプ。
【請求項12】
請求項１０または１１に記載された真空ポンプであって、
前記フィルタ部が前記ロータ軸とともに回転した場合、前記フィルタ部材の任意の箇所における周速が１３（ｍ／秒）よりも大きくなるように構成された
真空ポンプ。
前記フィルタ部が前記ロータ軸とともに回転した場合、前記フィルタ部材の任意の箇所における周速が１３（ｍ／秒）よりも大きくなるように構成された
真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、軸シール構造体及び真空ポンプに関する。
【背景技術】
【0002】
コンプレッサ等の圧縮機においては、ロータ軸を支持する軸受部材に対して潤滑が必要になる。このため、潤滑油を格納した軸受室から軸受部材に潤滑油が供給される。但し、潤滑油を格納した軸受室からロータ軸を格納したロータ室に潤滑油が漏れないようにロータ室の手前でロータ軸に回転軸シールが取り付けられことが一般的になっている（例えば、特許文献１参照）。
【0003】
一方、ロータリポンプ等に代表される真空ポンプにおいても、同様にロータ軸を支持する軸受部材に対して潤滑が必要となる。このため、軸受部材を収容する軸受室に潤滑油を貯留させ、ロータ軸の回転とともに潤滑油を掻き揚げる掻き揚げ板を軸受室に設けて、軸受部材に潤滑油を満遍なく行き渡らせる技術がある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第６６７７５１５号公報
【特許文献2】特許第６４７３２８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
真空ポンプにおいては、動作時にロータ室に相当するポンプ室が減圧状態になる。また、掻き揚げプレートによって掻き揚げられた潤滑油は、動作時には絶えず軸受室でミスト状となって蒸気または微粒子となって飛遊する。
【0006】
このため、真空ポンプにおいては、軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩、特に飛遊する微粒子の漏洩をより確実に抑制できる信頼性の高い軸シール構造が求められている。特に、高速排気が要求される真空ポンプでは、ロータ軸の回転速度が益々増加する傾向にある。このような過酷な状況下において、軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩をより確実に抑制させた信頼性の高い真空ポンプが求められている。
【0007】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、信頼性の高い軸シール構造体と、その構造体を備えた真空ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る軸シール構造体は、ロータ軸と、回転軸シールと、フィルタ部と、を具備する。
ロータ軸は、第１端部と、上記第１端部とは反対側の第２端部と、上記第１端部及び上記第２端部に連なる外周面と、内部に設けられた連通路とを有し、中心軸を中心に回転可能になっている。
回転軸シールは、上記第１端部と上記第２端部との間において、上記ロータ軸の上記外周面の周りに上記ロータ軸と同心状に設けられる。
フィルタ部は、上記第１端部の側において上記ロータ軸に付設され、上記連通路への浸入物の浸入を抑制し、上記ロータ軸とともに上記中心軸を中心に回転可能になっている。
上記ロータ軸には、上記第１端部から上記回転軸シールまでのいずれか箇所において、上記連通路の一端を開口し、上記フィルタ部によって塞がれる第１開口が設けられるとともに、上記第２端部から上記回転軸シールまでのいずれかの箇所において、上記連通路の他端を開口する第２開口が設けられ、
上記フィルタ部の抑制側から浸入した上記浸入物は、上記フィルタ部が回転することによって生じる上記フィルタ部の遠心力によって上記浸入物が上記浸入物が浸入した方向とは逆方向に移動する。
ロータ軸は、第１端部と、上記第１端部とは反対側の第２端部と、上記第１端部及び上記第２端部に連なる外周面と、内部に設けられた連通路とを有し、中心軸を中心に回転可能になっている。
回転軸シールは、上記第１端部と上記第２端部との間において、上記ロータ軸の上記外周面の周りに上記ロータ軸と同心状に設けられる。
フィルタ部は、上記第１端部の側において上記ロータ軸に付設され、上記連通路への浸入物の浸入を抑制し、上記ロータ軸とともに上記中心軸を中心に回転可能になっている。
上記ロータ軸には、上記第１端部から上記回転軸シールまでのいずれか箇所において、上記連通路の一端を開口し、上記フィルタ部によって塞がれる第１開口が設けられるとともに、上記第２端部から上記回転軸シールまでのいずれかの箇所において、上記連通路の他端を開口する第２開口が設けられ、
上記フィルタ部の抑制側から浸入した上記浸入物は、上記フィルタ部が回転することによって生じる上記フィルタ部の遠心力によって上記浸入物が上記浸入物が浸入した方向とは逆方向に移動する。
【0009】
このような軸シール構造体であれば、軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0010】
上記軸シール構造体においては、上記外周面には、上記第１端部の側からの上記回転軸シールへの上記浸入物の浸入を抑制する第１フリンガが設けられてもよい。
【0011】
このような軸シール構造体であれば、第１フリンガの配置により軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0012】
上記軸シール構造体においては、上記外周面には、上記第２端部の側からの上記回転軸シールへの別の浸入物の浸入を抑制する第２フリンガが設けられてもよい。
【0013】
このような軸シール構造体であれば、第２フリンガの配置により軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0014】
上記軸シール構造体においては、上記フィルタ部は、上記ロータ軸に接するケース本体と、上記ケース本体に収納されたフィルタ部材とを有し、上記フィルタ部材は、上記中心軸から上記外周面に向かう方向において、上記外周面よりも遠方に位置してもよい。
【0015】
このような軸シール構造体であれば、フィルタ部材の上記配置により軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0016】
上記軸シール構造体においては、上記フィルタ部の空気に対するコンダクタンスと上記連通路の空気に対するコンダクタンスとの合計は、上記回転軸シールの空気に対するコンダクタンスよりも大きくてもよい。
【0017】
このような軸シール構造体であれば、上記コンダクタンスの設定により軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0018】
上記軸シール構造体においては、上記フィルタ部が上記ロータ軸とともに回転した場合、上記フィルタ部材の任意の箇所における周速が１３（ｍ／秒）よりも大きくなるように構成されてもよい。
【0019】
このような軸シール構造体であれば、フィルタ部材の上記設定により軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0020】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る真空ポンプは、
上記軸シール構造体と、
上記ロータ軸及び上記回転軸シールを収容し、上記ロータ軸の上記第１端部が突き出ることが可能とする開口部を有する第１ハウジングと、
上記第１ハウジングに取り付けられ、上記第１ハウジングとともに、上記ロータ軸の上記第１端部と、上記フィルタ部とを封止し、潤滑油を収容する第２ハウジングと、
を具備する。
上記軸シール構造体と、
上記ロータ軸及び上記回転軸シールを収容し、上記ロータ軸の上記第１端部が突き出ることが可能とする開口部を有する第１ハウジングと、
上記第１ハウジングに取り付けられ、上記第１ハウジングとともに、上記ロータ軸の上記第１端部と、上記フィルタ部とを封止し、潤滑油を収容する第２ハウジングと、
を具備する。
【0021】
このような真空ポンプであれば、軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0022】
上記真空ポンプにおいては、上記外周面には、上記第１端部の側からの上記回転軸シールへの上記潤滑油の浸入を抑制する第１フリンガが設けられてもよい。
【0023】
このような真空ポンプであれば、第１フリンガの配置により軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0024】
上記真空ポンプにおいては、上記外周面には、上記第２端部の側からの上記回転軸シールへの浸入物の浸入を抑制する第２フリンガが設けられてもよい。
【0025】
このような真空ポンプであれば、第２フリンガの配置により軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0026】
上記真空ポンプにおいては、上記フィルタ部は、上記ロータ軸に接するケース本体と、上記ケース本体に収納されたフィルタ部材とを有し、上記フィルタ部材は、上記中心軸から上記外周面に向かう方向において、上記外周面よりも遠方に位置してもよい。
【0027】
このような真空ポンプであれば、フィルタ部材の上記配置により軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0028】
上記真空ポンプにおいては、上記フィルタ部の空気に対するコンダクタンスと上記連通路の空気に対するコンダクタンスとの合計は、上記回転軸シールの空気に対するコンダクタンスよりも大きくてもよい。
【0029】
このような真空ポンプであれば、上記コンダクタンスの設定により軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【0030】
上記真空ポンプにおいては、上記フィルタ部が上記ロータ軸とともに回転した場合、上記フィルタ部材の任意の箇所における周速が１３（ｍ／秒）よりも大きくなるように構成されてもよい。
【0031】
このような真空ポンプであれば、フィルタ部材の上記設定により軸受室からポンプ室への潤滑油の漏洩がより確実に抑制される。
【発明の効果】
【0032】
以上述べたように、本発明によれば、信頼性の高い軸シール構造体及び真空ポンプが提供される。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】本実施形態に係る真空ポンプを示す模式的断面図である。
【図2】本実施形態に係る真空ポンプに含まれる軸シール構造体の要部を示す模式的断面図である。
【図3】本実施形態の真空ポンプの動作を示す模式的断面図である。
【図4】軸シール構造体の変形例１を示す模式的断面図である。
【図5】軸シール構造体の変形例２を示す模式的断面図である。
【図6】軸シール構造体の変形例３を示す模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0034】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。各図面には、ＸＹＺ軸座標が導入される場合がある。例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向は相互に直交する水平方向を示しており、Ｚ軸方向はこれらに直交する鉛直方向（重力方向）を示している。
【0035】
【0036】
図１（ａ）、（ｂ）に例示される真空ポンプ１としては、一例として、スクリューポンプ、が示されている。本実施形態に係る真空ポンプは、スクリューポンプに限らず、メカニカルブースタポンプ、ロータリポンプ等であってもよい。
【0037】
図１（ａ）に示すように、真空ポンプ１は、ポンプ本体１０と、駆動部２０と、制御ユニット３０とを備える。
【0038】
（ポンプ本体）
【0039】
ポンプ本体１０は、ハウジング１３１、１３２、１４２と、筒状体１４１と、ポンプロータ１１、１２と、ロータ軸１１０、１２０と、軸受部材１５１、１５２、１６１、１６２と、回転軸シール１５５、１５６と、フィルタ部１７５Aと、潤滑油１８０を掻き揚げる掻揚板１７０とを有する。なお、図１（ａ）では、後述するフリンガが示されていない。本実施形態において、ハウジング１３１は、第１ハウジング、ハウジング１４２は、第２ハウジングとする。
【0040】
ハウジング１３１は、筒状の容器であり、ハウジング１３２は、隔壁板である。ハウジング１３２は、ハウジング１３１に固定され、Ｘ軸方向においてハウジング１３１に並ぶ。筒状体１４１は、回転することなく、ハウジング１３１に固定され、その一部がハウジング１３１に収容される。ハウジング１３１、１３２、及び筒状体１４１によって、ポンプ室Ｐ１が形成され、ポンプ室Ｐ１の気密性が確保される。ポンプロータ１１、１２は、ポンプ室Ｐ１に収容されている。ポンプ室Ｐ１圧の圧力は、真空ポンプ１の停止時には、大気圧となり、真空ポンプ１の動作時には、１０Ｐａ程度になる。
【0041】
ポンプロータ１１、１２は、Ｙ軸方向に相互に対向して配置される。ポンプロータ１１は、Ｘ軸方向に延在するロータ軸１１０を有する。ポンプロータ１２は、Ｘ軸方向に延在するロータ軸１２０を有する。ロータ軸１１０、１２０のそれぞれの外径は、１８ｍｍ～１００ｍｍに設計される。
【0042】
ロータ軸１１０の端部１１２の側は、ハウジング１３２に固定された軸受部材１５１に回転可能に支持される。ロータ軸１１０の端部１１１の側は、筒状体１４１に固定された軸受部材１６１に回転可能に支持される。ロータ軸１２０の端部１２２の側は、ハウジング１３２に固定された軸受部材１５２に回転可能に支持される。ロータ軸１２０の端部１２１の側は、筒状体１４１に固定された軸受部材１６２に回転可能に支持される。また、ポンプロータ１１とポンプロータ１２との間、及び、ポンプロータ１１、１２と、ポンプ室Ｐ１の内壁との間には所定の隙間が形成されており、それぞれに非接触で回転するように構成される。
【0043】
軸受部材１５１、１５２は、図示しないシールリング部材を介して、ボルト締めによってカバー１５３により覆われる。また、軸受部材１６１、１６２は、図示しないシールリング部材を介して、ボルト締めによってカバー１６３により覆われる。軸受部材１６１、１６２がカバー１６３により覆われることで、供給口１６５、１６６のそれぞれは、軸受室（潤滑室）Ｓ１に通じる経路が確保される。
【0044】
真空ポンプ１においては、例えば、軸受部材１５１、１５２は、スラスト方向で固定され、軸受部材１６１、１６２は、スラスト方向で移動可能に配置されている。Ｚ軸方向において、軸受部材１６１の上方には、軸受部材１６１に潤滑油を供給することが可能な供給口１６５が設けられている。同様に、軸受部材１６２の上方には、軸受部材１６２に潤滑油を供給することが可能な供給口１６６が設けられている。供給口１６５、１６６のそれぞれは、軸受室Ｓ１の底部に通じている。
【0045】
ハウジング１４２は、ハウジング１３１に取り付けられる。ハウジング１４２は、ハウジング１３１及び筒状体１４１とともに、潤滑油１８０を貯留する軸受室Ｓ１を形成する。潤滑油１８０は、軸受室Ｓ１の底部に貯留されている。筒状体１４１には、ロータ軸１１０の端部１１１と、ロータ軸１２０の端部１２１とが貫通している。これらの端部１１１、１２１は、軸受室Ｓ１にまで到達している。さらに、端部１１１には、掻揚板１７０が取り付けられる。掻揚板１７０は、軸受室Ｓ１に収容される。
【0046】
図１（ｂ）に示すように、掻揚板１７０の下側は、潤滑油１８０に浸漬されている。掻揚板１７０には、複数の切り欠き部１７１が設けられている。ロータ軸１１０の回転によって掻揚板１７０が回転すると、潤滑油１８０が切り欠き部１７１によって油面１８０ｓから持ち上げられ、潤滑油１８０が油面１８０ｓより上方に掻き揚げられる。掻き揚げられた潤滑油１８０は、軸受室Ｓ１の上方に向けて飛散する。
【0047】
軸受室Ｓ１の上方に向けて飛散した潤滑油１８０は、ハウジング１４２の内壁に当たる。例えば、油面１８０ｓから上方に位置した内壁上部１４２ｗｕに潤滑油１８０が当たる。そして、真空ポンプ１では、内壁上部１４２ｗｕに、潤滑油１８０を供給口１６５、１６６上まで移動させることが可能な凹部１９０が設けられている。また、内壁上部１４２ｗｕと、内壁上部１４２ｗｕより下側の内壁下部１４２ｗｄとは、曲面となって構成されている。
【0048】
また、掻揚板１７０は、ロータ軸１２０の端部１２１に取り付けられてもよい。さらに、掻揚板１７０は、端部１１１、１２１の双方に取り付けられてもよい。この場合、端部１１１、１２１同士に取り付けた掻揚板１７０が互いに接触しないように取り付けられる。例えば、２つの掻揚板１７０がＸ軸方向に相互にずらして設置される。
【0049】
（駆動部）
【0050】
駆動部２０は、モータ２１と、同期ギア２２、２３と、ハウジング２４と、カバー２５とを有する。
【0051】
ポンプロータ１１のロータ軸１１０の端部１１２及びポンプロータ１２のロータ軸１２０の端部１２２は、ハウジング１３２を貫通する。ロータ軸１１０の端部１１２には、モータ２１が固定される。さらに、端部１１２には、モータ２１と軸受部材１５１との間に同期ギア２２が固定される。ロータ軸１２０の端部１２２には、同期ギア２２と噛み合う同期ギア２３が固定されている。
【0052】
モータ２１及び同期ギア２２、２３は、ハウジング２４、１３２に収容される。モータ２１とハウジング２４との間は、気密性が保たれている。換言すれは、真空ポンプ１は、いわゆるCanned Motor Pumpである。ギア室Ｇには、同期ギア２２、２３及び軸受部材１５１、１６１を潤滑するための潤滑油が収容されている。潤滑油の成分は、潤滑油１８０と同じであってもよく、異なってもよい。
【0053】
ハウジング２４の先端は、カバー２５で被覆されている。カバー２５には外気と連通可能な通孔が設けられており、駆動部２０に隣接して配置された、図示しない空冷式、または、水冷式よってモータ２１を冷却することができる。
【0054】
モータ２１の駆動により、ポンプロータ１１、１２は、同期ギア２２、２３を介して相互に逆方向に回転する。例えば、回転数は、５００ｒｐｍ以上１３０００ｒｐｍ以下である。これにより、ポンプ本体１０の上側に設けられている吸気口Ｅ１から、ポンプ本体１０の下側に設けられている排気口Ｅ２へ気体が移送される。吸気口Ｅ１には、図示しない真空チャンバの内部と連絡する吸気管が接続され、排気口Ｅ２には、図示しない排気管あるいは補助ポンプの吸気口と接続される。
【0055】
また、駆動部２０にも、軸受部材１５１、１６１を潤滑するための供給口や、ハウジング１３２の内壁上部に供給口までに潤滑油を移動させる凹部を形成してもよい。この場合、同期ギア２２、２３が掻き揚げプレートの機能を兼ね備える。さらに、潤滑油を掻き揚げる手段としては、端部１１２、１２２の少なくともいずれかに掻揚板を取り付けてもよい。
【0056】
（制御ユニット）
【0057】
制御ユニット３０は、ハウジング２４に設置された金属製のケース内に収容された回路基板、その上に搭載された各種電子部品で構成される。回路基板には、例えば、インバータ回路等が配置されている。制御ユニット３０によって、例えば、ポンプロータ１１、１２の回転数が制御される。
【0058】
ハウジング１３１、１３２、筒状体１４１は、例えば、鋳鉄、ステンレス鋼等の鉄系材料で構成されている。ハウジング１４２、２４は、例えば、アルミニウム合金等の非鉄材料で構成される。これらのハウジングは、図示しないシールリング部材を介してボルト締めによって相互に結合されている。また、ポンプロータ１１、１２は、鋳鉄等の鉄系材料からなるスクリュー型ロータで構成される。
【0059】
また、潤滑油としては、真空ポンプ１として要求されるポンプ室Ｐ１の到達圧力を満たすために、その蒸気圧が低いことが好ましい。例えば、８０℃における潤滑油の蒸気圧は、１×１０－２Ｐａ以下であることが好ましい。具体的な潤滑油として、フッ素オイル（動粘度：９７ｍｍ２／ｓ（４０℃）、１３ｍｍ２／ｓ（１００℃））、鉱物油（動粘度：５７ｍｍ２／ｓ（４０℃）、３ｍｍ２／ｓ（１００℃））、密度：０．８８ｇ／ｃｍ３（１５℃）、引火点：２５０℃以上、流動点：－１２．５℃以下、全酸価：０．０５ｍｇＫＯＨ／ｇ）、合成油（ＩＳＯ粘度グレード：１００、動粘度：９４．７ｍｍ２／ｓ（４０℃）、１２．６ｍｍ２／ｓ（１００℃））、ＡＳＴＭ色：Ｌ１．０、密度：０．９０ｇ／ｃｍ３（１５℃）、引火点：２５０℃以上、流動点：－１０℃以下、全酸価：０．３０ｍｇＫＯＨ／ｇ）のいずれかが適用される。なお、これら潤滑油の物性値は、一例であり、これらの値に限らない。
【0060】
（軸シール構造体）
【0061】
図２（ａ）、（ｂ）は、本実施形態に係る真空ポンプに含まれる軸シール構造体の要部を示す模式的断面図である。図２（ａ）には、図１（ａ）のＣ１－Ｃ２線に沿った位置での断面が示されている。図２（ｂ）には、図２（ａ）の回転軸シール付近の断面が示されている。図２（ａ）、（ｂ）には、ロータ軸１１０、フィルタ部１７５Ａ、回転軸シール１５５、フリンガ１７６、１７７を有する軸シール構造体２Ａが示されている。
【0062】
ロータ軸１１０は、端部１１１（第１端部）と、端部１１１とは反対側の端部１１２（第２端部）と、端部１１１及び端部１１２に連なった外周面１１３とを有する。さらに、ロータ軸１１０は、その内部に設けられた連通路１１４を有する。連通路１１４は、例えば、Ｌ字状に曲がった流路１１４ａと、中心軸１１０ｃ方向において流路１１４ａに連通し、流路１１４ａより内径が大きい流路１１４ｂとを有する。ロータ軸１１０は、モータ２１の作動によって中心軸１１０ｃを中心に回転できる。
【0063】
ロータ軸１１０には、端部１１１から回転軸シール１５５までのいずれか箇所において、連通路１１４の一端を開口し、フィルタ部１７５Ａによって塞がれる開口１１０ａ（第１開口）が設けられる。また、ロータ軸１１０には、端部１１２から回転軸シール１５５までのいずれかの箇所において、連通路１１４の他端を開口する開口１１０ｂ（第２開口）が設けられる。
【0064】
また、軸シール構造体２Ａにおいては、筒状体１５７と筒状体１４１とによって回転軸シール１５５（符号１５５が示す破線で囲まれる部分）が構成される（図２（ｂ））。回転軸シール１５５は、環状であって、端部１１１と端部１１２との間において、ロータ軸１１０の外周面１１３の周りにロータ軸１１０と同心状に設けられる。回転軸シール１５５は、ラビリンスシール等の非接触型シールである。回転軸シール１５５によって、軸受室Ｓ１と、ポンプ室Ｐ１とが雰囲気遮断される。
【0065】
回転軸シール１５５を構成する筒状体１５７は、ロータ軸１１０の外周面１１３に接し、外周面１１３の周りにロータ軸１１０と同心状に設けられる。筒状体１５７には、筒状体１４１と対向する面に複数の油溝１５７２が設けられている。筒状体１５７は、非接触型シールのロータとして機能する。
【0066】
一方、回転軸シール１５５を構成するもう一つの部材である筒状体１４１には、筒状体１５７に対向する領域部１４１１が設けられる。領域部１４１１には、筒状体１５７と対向する面に複数の凸部１４１２が設けられる。領域部１４１１は、非接触型シールのステータとして機能する
【0067】
領域部１４１１の凸部１４１２が油溝１５７２に入り込むことで、回転軸シール１５５には、領域部１４１１と筒状体１５７との間に極狭の間隙１５８（ラビリンス隙間）が形成される。間隙１５８は、潤滑油１８０にとっての粘性摩擦抵抗となり、回転軸シール１５５において、軸受室Ｓ１からポンプ室Ｐ１への潤滑油１８０の通過が抑制される。
【0068】
フィルタ部１７５Ａは、ロータ軸１１０の端部１１１の側でロータ軸１１０に付設される。フィルタ部１７５Ａは、連通路１１４への浸入物（例えば、潤滑油１８０）の浸入を抑制する。フィルタ部１７５Ａは、ロータ軸１１０とともに中心軸１１０ｃを中心に回転することができる。
【0069】
フィルタ部１７５Ａは、ケース本体１７５ｃと、ケース本体１７５ｃに収納された環状のフィルタ部材１７５ｆとを有する。ケース本体１７５ｃは、ロータ軸１１０に接し、ロータ軸１１０の端部１１１に、例えば、ねじ込み式で固定される。ケース本体１７５ｃには、連通路１１４ａに挿通される凸部１７５ｐと、連通路１１４に連通する流路１７５ａと、流路１７５ａに連通する内部空間１７５ｓと、内部空間１７５ｓに連通する流路１７５ｂと、流路１７５ｂに連通し、フィルタ部材１７５ｆを収容する環状の溝１７５ｔと、溝１７５ｔに連通する孔部１７５ｈとが設けられている。
【0070】
内部空間１７５ｓと溝１７５ｔとに連通する流路１７５ｂは、複数設けられてもよい。また、孔部１７５ｈは、ケース本体１７５ｃの外周面１７５ｄに複数設けられてもよい。溝１７５ｔに収容されたフィルタ部材１７５ｆは、ケース本体１７５ｃと、筒状体１４１の側から溝１７５ｔを塞ぐ掻揚板１７０とによって封止される。
【0071】
ケース本体１７５ｃにおいて、流路１７５ａと、流路１７５ｂとは互いに直交する。また、孔部１７５ｈは、ケース本体１７５ｃの外周面１７５ｄにおいて、フィルタ部材１７５ｆまたは溝１７５ｔを軸受室Ｓ１に開放する。外周面１７５ｄは、中心軸１１０ｃに対して平行になっている。また、フィルタ部材１７５ｆの任意の箇所は、ロータ軸１１０の中心軸１１０ｃからロータ軸１１０の外周面１１３に向かう方向において、ロータ軸１１０の外周面１１３よりも遠方に位置する。
【0072】
これにより、フィルタ部材１７５ｆがロータ軸１１０とともに回転するときには、ロータ軸１１０の外周面１１３の周速よりも、フィルタ部材１７５ｆの任意の箇所における周速のほうが速くなる。例えば、フィルタ部１７５Ａがロータ軸１１０とともに回転した場合、フィルタ部１７５Ａに含まれるフィルタ部材１７５ｆの任意の箇所における周速は、接触式シールの許容周速を超えるように構成されている。この周速は、設計条件によって異なり、例えば、１３（ｍ／秒）以上に設定される。
【0073】
フィルタ部１７５Ａの抑制側からフィルタ部１７５Ａに、浸入物（例えば、ミスト状の潤滑油１８０）が浸入した場合、フィルタ部１７５Ａが回転することによって生じるフィルタ部１７５Ａの遠心力によって、この浸入物は、浸入物が浸入した方向（孔部１７５ｈから内部空間１７５ｓに向かう方向）とは逆方向（内部空間１７５ｓから孔部１７５ｈに向かう方向）に移動する。ここで、「抑制側」とは、フィルタ部１７５Ａにおける遠心力の強弱で定義され、遠心力が強い側を抑制側とする。一例として、浸入物がフィルタ部材１７５ｆに侵入した場合、浸入物に対してフィルタ部１７５Ａの遠心力が強く働く側、すなわち、浸入物が浸入する孔部１７５ｈの側が抑制側に相当する。これにより、浸入物の連通路１１４への浸入が抑制される。
【0074】
フィルタ部材１７５ｆは、例えば、撥油性フィルタ部材が用いられる。これにより、掻揚板１７０によって跳ね上げられた潤滑油１８０がフィルタ部１７５Ａの外周部に落下しても、フィルタ部材１７５ｆに浸透しないため、フィルタ部１７５Ａの空気の濾過速度が低下しない。例えば、フィルタ部材１７５ｆの材料としては、化繊フェルトが用いられ、その素材は、メタ型アラミド、ＰＴＦＥ、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂等から必要な耐熱性と耐薬品性に応じて適宜選定される。そのほか、フィルタ部材１７５ｆの材料としては、焼結金属、多孔質セラミック、樹脂系（ＰＥＥＫ、ＰＴＦＥ等の多孔質フィルタ）、スポンジ（フッ素ゴムスポンジ連続気泡タイプ、ミツフクフォームなど）が用途に応じて使用される。フィルタ部材１７５ｆは、一重構造でもよく、複数のフィルタ部材が同心状に重ねられた多重構造であってもよい。
【0075】
また、ロータ軸１１０の外周面１１３には、端部１１１の側から回転軸シール１５５の間隙１５８への浸入物の浸入を抑制するフリンガ１７６（第１フリンガ）が設けられる。さらに、ロータ軸１１０の外周面１１３には、端部１１２の側から回転軸シール１５５の間隙１５８への別の浸入物（例えば、ポンプ室Ｐ１で発した金属粉）の浸入を抑制するフリンガ１７７（第２フリンガ）が設けられる。
【0076】
フィルタ部１７５Ａの空気に対するコンダクタンス（孔部１７５ｈからフィルタ部材１７５ｆを介して、通路１７５ｂ、内部空間１７５ｓを経て通路１７５ａまでのコンダクタンス）と、連通路１１４の空気に対するコンダクタンスとの合計Ｃｔは、回転軸シール１５５の間隙１５８の空気に対するコンダクタンスＣｇよりも大きい。例えば、Ｃｔは、Ｃｇの８倍～１５倍になっている。Ｃｔは、この値に限らず、Ｃｇの１５倍以上でもよい。
【0077】
ハウジング１３１は、ロータ軸１１０及び回転軸シール１５５を収容する。ハウジング１３１には、ロータ軸１１０の端部１１１が軸受室Ｓ１に向けて突き出ることを可能とする開口部１３１ｈが設けられている。筒状体１４１は、ハウジング１３１の開口部１３１ｈに嵌め込まれ、筒状体１４１とハウジング１３１との間には、Ｏリング等のシール部材１７９が設けられている。また、フィルタ部１７５Ａと回転軸シール１５５との間において、筒状体１４１とロータ軸１１０との間に軸受部材１６１が設けられている。
【0078】
ハウジング１４２は、ハウジング１３１に取り付けられる。ハウジング１４２は、ハウジング１３１とともに、ロータ軸１１０の端部１１１と、フィルタ部１７５Ａと、掻揚板１７０と、潤滑油１８０とを封止する。ハウジング１４２は、潤滑油１８０を収容する。例えば、潤滑油１８０は、軸受室Ｓ１においてハウジング１４２の底部に貯留される。また、ハウジング１４２においては、その天井部に凹部１９０が形成される。凹部１９０は、ハウジング１３１に近づくにつれ、その高さが徐々に下る傾斜面となっている。
【0079】
また、真空ポンプ１においては、ハウジング１３１とカバー１６３との間に、凹部１９０から垂れた潤滑油１８０を受ける供給口１６５が形成されている。また、筒状体１４１においては、供給口１６５の下方に、潤滑油１８０を軸受部材１６１付近にまで導入する孔部１６７が設けられている。さらに、筒状体１４１においては、軸受部材１６１を潤滑した潤滑油１８０がハウジング１４２の底部にまで導入される孔部１４１ｈが設けられている。
【0080】
（作用）
【0081】
図３は、本実施形態の真空ポンプの動作を示す模式的断面図である。
【0082】
真空ポンプ１の性能向上に伴い、ポンプロータ１１、１２の回転数が増加する傾向にある。ここで、性能向上とは、真空ポンプの高速排気化、到達圧力の低圧化等である。また、ポンプロータ１１、１２の回転数が増加することにより、回転中のロータ軸１１０、１２０の軸の揺れを防止するため、ロータ軸１１０、１２０の軸径もそれに応じて大きく設計する必要がある。これにより、軸受部材１６１、１６２の転動体の自転速度または公転速度も必然的に増大する。従って、軸受部材１６１、１６２の発熱を防止するために、軸受部材１６１、１６２への適切な潤滑油量を確保することが重要になる。
【0083】
図３に示されるように、真空ポンプ１の動作中には、ハウジング１４２の底部に貯留する潤滑油１８０が掻揚板１７０によって掻き揚げられ（矢印ａ）、ハウジング１４２上部の凹部１９０に当たる。凹部１９０は、ハウジング１３１に向かうにつれ徐々に降下する傾斜面となっているため、凹部１９０に付着した潤滑油１８０は、潤滑油１８０の自重と凹部１９０の傾斜とによって、凹部１９０を伝わりハウジング１３１の手前で供給口１６５に落下する（矢印ｂ）。
【0084】
この後、潤滑油１８０は、供給口１６５下の孔部１６７を通り抜け、軸受部材１６１を浸す（矢印ｃ）。軸受部材１６１を浸し、軸受部材１６１と回転軸シール１５５との間に流出した潤滑油１８０は、孔部１４１ｈを通り抜け、ハウジング１４２の底部に戻される（矢印ｄ）。この潤滑油１８０の循環は、軸受部材１６２に対しても行われる。このような潤滑油１８０の循環プロセスによって、軸受部材１６１、１６２を潤滑する適切な潤滑油量が確保される。
【0085】
さらに、真空ポンプ１においては、真空ポンプ１の排気に伴って、潤滑油１８０が軸受室Ｓ１からポンプ室Ｐ１に流出させないように、軸受室Ｓ１とポンプ室Ｐ１とが回転軸シール１５５で雰囲気分離されている。仮に回転軸シールとして、Ｏリングシール等の接触型シールを用いれば、ロータ軸１１０、１２０に接触する接触部の寿命がロータ軸１１０、１２０の周速によって左右される。このため、接触型シールでは、その接触部の面圧の確保が難しくなってしまう。
【0086】
これに対して、本実施形態では、非接触型の回転軸シール１５５を用いるため、接触型シールを用いた場合に起き得る不具合（接触部の面圧確保の難しさ）は解消される。但し、非接触型の回転軸シール１５５を用いた場合、軸受室Ｓ１からポンプ室Ｐ１への間隙１５８を介した微量な漏れが問題になる。特に、真空ポンプ１を停止状態から作動させた直後は、軸受室Ｓ１よりも先行してポンプ室Ｐ１が大気圧から真空（減圧）となる。
【0087】
このため、真空ポンプ１を停止状態から作動させた直後においては、ポンプ室Ｐ１と軸受室Ｓ１との差圧が起因して、潤滑油１８０が軸受室Ｓ１から回転軸シールを介してポンプ室Ｐ１へ流出する現象が起き得る。特に、軸受室Ｓ１においては、掻揚板１７０によって潤滑油１８０が掻き揚げられることから、真空ポンプ１の動作時には、潤滑油１８０の蒸気及び微粒子（以下、蒸気等）が軸受室Ｓ１に存在する。
【0088】
このような潤滑油１８０の軸受室Ｓ１から回転軸シール１５５を経由してのポンプ室Ｐ１への流出を防止するために、本実施形態では、ロータ軸１１０の内部に連通路１１４を設けている。また、フィルタ部１７５Ａの空気に対するコンダクタンスと、連通路１１４の空気に対するコンダクタンスとの合計Ｃｔは、回転軸シール１５５の間隙１５８の空気に対するコンダクタンスＣｇよりも大きく設定されている。
【0089】
これにより、真空ポンプ１を停止状態から作動させ、ポンプ室Ｐ１が軸受室Ｓ１よりも先行して大気圧から減圧状態になったときには、軸受室Ｓ１の空気は、回転軸シール１５５の間隙１５８よりも優先して連通路１１４を流れる。すなわち、軸受室Ｓ１の空気は、真空ポンプ１の稼働直後から連通路１１４を経由してポンプ室Ｐ１に排気されていく（矢印１１４ｆ）。
【0090】
また、軸受室Ｓ１の空気に含まれる潤滑油１８０の蒸気等も、真空ポンプ１の稼働直後においては、ポンプ室Ｐ１と軸受室Ｓ１との差圧が起因して、連通路１１４に吸引される。但し、ロータ軸１１０の端部１１１には、連通路１１４の手前にフィルタ部１７５Ａが付設されていることから、潤滑油１８０の蒸気等は、連通路１１４に入り込む前にフィルタ部１７５Ａによって遮蔽される。
【0091】
特に、フィルタ部材１７５ｆは、ロータ軸１１０の回転とともに回転している。このため、潤滑油１８０の蒸気等がフィルタ部１７５Ａの孔部１７５ｈから内部空間１７５ｓに向かって吸引されたとしても、潤滑油１８０は、フィルタ部材１７５ｆの遠心力によって、潤滑油１８０が浸入する方向とは逆方向（内部空間１７５ｓから孔部１７５ｈに向かう方向）に弾き飛ばされる（矢印ｅ）。弾き飛ばされた潤滑油１８０は、凹部１９０に当たって軸受部材１６１を潤滑したり、あるいは、ハウジング１４２の底部に戻されたりする。
【0092】
さらに、軸受室Ｓ１の側からポンプ室Ｐ１を見た場合、回転軸シール１５５の手前には、潤滑油１８０の間隙１５８への浸入を抑制するフリンガ１７６が設けられている。これにより、軸受部材１６１を通り抜けた潤滑油１８０がポンプ室Ｐ１と潤滑室Ｓ１との差圧によって間隙１５８に入り込もうとしても、潤滑油１８０は、フリンガ１７６の遠心力によって軸受部材１６１の側に跳ね返される（矢印ｆ）。跳ね返された潤滑油１８０は、孔部１４１ｈを介してハウジング１４２の底部に戻される。
【0093】
このように、真空ポンプ１においては、ロータ軸の高速回転化に伴い、非接触型の回転軸シール１５５を用いたとしても、ポンプ室Ｐ１と軸受室Ｓ１との差圧を起因とする、潤滑油１８０の軸受室Ｓ１からポンプ室Ｐ１へ流出が確実に抑制される。
【0094】
なお、ポンプ室Ｐ１の側から軸受室Ｓ１を見た場合、ポンプ室Ｐ１には、回転軸シール１５５の手前にフリンガ１７７が設けられている。これにより、ポンプロータ１１、１２の回転によってポンプ室Ｐ１で切粉が発したとしても、切粉はフリンガ１７７の遠心力によって跳ね返され（矢印ｇ）、切粉の間隙１５８への浸入が抑制される。
【0095】
（変形例１）
【0096】
図４は、軸シール構造体の変形例１を示す模式的断面図である。
【0097】
フィルタ部は、ロール軸１１０の外周面１１３に取り付けられてもよい。例えば、図４に示す例では、端部１１１に形成された開口１１０ａは、固定治具１９１によって閉塞される。ロール軸１１０には、流路１１４ｂに連通し、端部１１１付近の外周面１１３において、流路１１４ｂを開放する流路１１４ｃが設けられている。流路１１４ｂと流路１１４ｃとは、例えば、直交している。
【0098】
フィルタ部１７５Ｂは、外周面１１３に周設されるケース本体１７５ｅと、ケース本体１７５ｅに収容されるフィルタ部材１７５ｆとを有する。ケース本体１７５ｅには、流路１１４ｃに連通する流路１７５ｂと、流路１７５ｂに連通し、フィルタ部材１７５ｆを収容する環状の溝１７５ｔと、溝１７５ｔに連通する孔部１７５ｈとが設けられている。溝１７５ｔに収容されたフィルタ部材１７５ｆは、ケース本体１７５ｃと、ポンプ室Ｐ１とは反対側から溝１７５ｔを塞ぐ掻揚板１７０とによって封止される。
【0099】
このようなフィルタ部１７５ｂを用いても、潤滑油１８０の蒸気等が孔部１７５ｈから吸引されたとしても、フィルタ部材１７５ｆの遠心力によって、潤滑油１８０が潤滑油１８０が浸入する方向とは逆方向に弾き飛ばされる。これにより、潤滑油１８０の蒸気等は、連通路１１４に入り込む前にフィルタ部１７５Ｂによって適切に遮蔽される。
【0100】
（変形例２）
【0101】
図５は、軸シール構造体の変形例２を示す模式的断面図である。
【0102】
軸シール構造体２Ｃにおいては、筒状体１４１の領域部１４１１がフリンガ１７７に囲まれる。領域部１４１１は、フリンガ１７７の一部に対向する。領域部１４１１には、フリンガ１７７と対向する面に複数の溝１４１３が設けられる。
【0103】
一方、フリンガ１７７には、領域部１４１１と対向する面に複数の凸部１７７１が設けられている。凸部１７７１が溝１４１３に入り込むことで、回転軸シール１５６が形成され、領域部１４１１とフリンガ１７７との間に極狭の間隙１５９（ラビリンス隙間）が形成される。
【0104】
このような回転軸シール１５６を設けることにより、ポンプ室Ｐ１で発した切粉においては、間隙１５８への浸入がさらに抑制される。
【0105】
（変形例３）
【0106】
図６は、軸シール構造体の変形例３を示す模式的断面図である。
【0107】
軸シール構造体２Ｄにおいては、連通路１１４の流路１１４ａがロータ軸１１０を超え、筒状体１５７にまで延在する。連通路１１４の開口１１０ｂは、筒状体１５７の中央においては、間隙１５８で開口されている。このような構成も本実施形態に含まれる。
【0108】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、軸シール構造体２Ａ、２Ｂは、真空ポンプに限らず、基板を支持する回転ホルダ、ロールトゥロール式の巻取装置の回転導入機構等にも適用される。各実施形態は、独立の形態とは限らず、技術的に可能な限り複合することができる。
【符号の説明】
【0109】
１…真空ポンプ
２Ａ、２Ｂ…軸シール構造体
１０…ポンプ本体
１１、１２…ポンプロータ
２０…駆動部
２１…モータ
２２、２３…同期ギア
２４…ハウジング
２５…カバー
３０…制御ユニット
１１０…ロータ軸
１１０ａ…開口
１１０ｂ…開口
１１０ｃ…中心軸
１１１、１１２…端部
１１３…外周面
１１４…連通路
１１４ａ。１１４ｂ、１１４ｃ…流路
１２０…ロータ軸
１２１…端部
１２２…端部
１３１、１３２…ハウジング
１３１ｈ…開口部
１４１…筒状体
１４１ｈ…孔部
１４２…ハウジング
１４２ｗｄ…内壁下部
１４２ｗｕ…内壁上部
１５１、１５２…軸受部材
１５３…カバー
１５５、１５６…回転軸シール
１５７…筒状体
１５８、１５９…間隙
１６１、１６２…軸受部材
１６３…カバー
１６５、１６６…供給口
１６７…孔部
１７０…掻揚板
１７１…切り欠き部
１７５Ａ、１７５Ｂ…フィルタ部
１７５ａ…流路
１７５ｂ…流路
１７５ｃ、１７５ｅ…ケース本体
１７５ｄ…外周面
１７５ｆ…フィルタ部材
１７５ｓ…内部空間
１７５ｈ…孔部
１７５ｔ…溝
１７５ｐ…凸部
１７６、１７７…フリンガ
１７９…シール部材
１８０ｓ…油面
１８０…潤滑油
１９０…凹部
１４１１…領域部
１４１２…凸部
１４１３…溝
１５７２…油溝
１７７１…凸部
Ｓ１…空間部
Ｐ１…ポンプ室
Ｅ１…吸気口
Ｅ２…排気口
２Ａ、２Ｂ…軸シール構造体
１０…ポンプ本体
１１、１２…ポンプロータ
２０…駆動部
２１…モータ
２２、２３…同期ギア
２４…ハウジング
２５…カバー
３０…制御ユニット
１１０…ロータ軸
１１０ａ…開口
１１０ｂ…開口
１１０ｃ…中心軸
１１１、１１２…端部
１１３…外周面
１１４…連通路
１１４ａ。１１４ｂ、１１４ｃ…流路
１２０…ロータ軸
１２１…端部
１２２…端部
１３１、１３２…ハウジング
１３１ｈ…開口部
１４１…筒状体
１４１ｈ…孔部
１４２…ハウジング
１４２ｗｄ…内壁下部
１４２ｗｕ…内壁上部
１５１、１５２…軸受部材
１５３…カバー
１５５、１５６…回転軸シール
１５７…筒状体
１５８、１５９…間隙
１６１、１６２…軸受部材
１６３…カバー
１６５、１６６…供給口
１６７…孔部
１７０…掻揚板
１７１…切り欠き部
１７５Ａ、１７５Ｂ…フィルタ部
１７５ａ…流路
１７５ｂ…流路
１７５ｃ、１７５ｅ…ケース本体
１７５ｄ…外周面
１７５ｆ…フィルタ部材
１７５ｓ…内部空間
１７５ｈ…孔部
１７５ｔ…溝
１７５ｐ…凸部
１７６、１７７…フリンガ
１７９…シール部材
１８０ｓ…油面
１８０…潤滑油
１９０…凹部
１４１１…領域部
１４１２…凸部
１４１３…溝
１５７２…油溝
１７７１…凸部
Ｓ１…空間部
Ｐ１…ポンプ室
Ｅ１…吸気口
Ｅ２…排気口
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
