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特開2022-164656測定プローブ、測定システム及び測定プローブにおける方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022164656
(43)【公開日】2022-10-27
(54)【発明の名称】測定プローブ、測定システム及び測定プローブにおける方法
(51)【国際特許分類】
G01R 1/067 20060101AFI20221020BHJP
G01R 15/00 20060101ALI20221020BHJP
G01R 21/06 20060101ALI20221020BHJP
【ＦＩ】
G01R1/067 D
G01R15/00 500
G01R21/06 D
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
【外国語出願】
(21)【出願番号】P 2022068311
(22)【出願日】2022-04-18
(31)【優先権主張番号】63/176,041
(32)【優先日】2021-04-16
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(31)【優先権主張番号】17/721,294
(32)【優先日】2022-04-14
(33)【優先権主張国・地域又は機関】US
(71)【出願人】
【識別番号】391002340
【氏名又は名称】テクトロニクス・インコーポレイテッド
【氏名又は名称原語表記】ＴＥＫＴＲＯＮＩＸ，ＩＮＣ．
(74)【代理人】
【識別番号】100090033
【弁理士】
【氏名又は名称】荒船 博司
(74)【代理人】
【識別番号】100093045
【弁理士】
【氏名又は名称】荒船 良男
(72)【発明者】
【氏名】ジョシュア・ジェイ・オブライエン
(72)【発明者】
【氏名】ジョサイヤ・エイ・バートレット
【テーマコード（参考）】
2G011
2G025
【Ｆターム（参考）】
2G011AC11
2G011AC31
2G025AB05
(57)【要約】
【課題】複数の測定を同時により簡単に行う。
【解決手段】試験測定装置１４０用の試験信号を生成する測定プローブ１００は、ＤＵＴ１３０の少なくとも第１試験ポイント及び第２試験ポイントに接続されるように構成されたプローブ・ヘッドと、ＤＵＴの第１試験ポイントと第２試験ポイントとの間に流れる電流を求めるように構成された測定プローブ内の電流検出部と、第１試験ポイントからの電圧信号又は第２試験ポイントからの電圧信号を、選択された電圧試験信号として装置１４０に配信させる第１セレクタブル信号経路と、電流検出部の出力からの電流信号を、選択された電流試験信号として測定装置に配信させる第２セレクタブル信号経路とを有する。
【選択図】図１
【解決手段】試験測定装置１４０用の試験信号を生成する測定プローブ１００は、ＤＵＴ１３０の少なくとも第１試験ポイント及び第２試験ポイントに接続されるように構成されたプローブ・ヘッドと、ＤＵＴの第１試験ポイントと第２試験ポイントとの間に流れる電流を求めるように構成された測定プローブ内の電流検出部と、第１試験ポイントからの電圧信号又は第２試験ポイントからの電圧信号を、選択された電圧試験信号として装置１４０に配信させる第１セレクタブル信号経路と、電流検出部の出力からの電流信号を、選択された電流試験信号として測定装置に配信させる第２セレクタブル信号経路とを有する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
測定装置用に試験信号を生成する測定プローブであって、
被試験デバイス（ＤＵＴ）の少なくとも第１試験ポイント及び第２試験ポイントに接続されるように構成されたプローブ・ヘッドと、
上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に流れる電流を求めるように構成された上記測定プローブ内の電流検出部と、
上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号を、選択された電圧試験信号として上記測定装置に配信させる第１セレクタブル信号経路と、
上記電流検出部の出力部からの電流信号を、選択された電流試験信号として測定装置に配信させる第２セレクタブル信号経路と
を具える測定プローブ。
被試験デバイス（ＤＵＴ）の少なくとも第１試験ポイント及び第２試験ポイントに接続されるように構成されたプローブ・ヘッドと、
上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に流れる電流を求めるように構成された上記測定プローブ内の電流検出部と、
上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号を、選択された電圧試験信号として上記測定装置に配信させる第１セレクタブル信号経路と、
上記電流検出部の出力部からの電流信号を、選択された電流試験信号として測定装置に配信させる第２セレクタブル信号経路と
を具える測定プローブ。
【請求項2】
上記選択された電圧試験信号と上記選択された電流試験信号とが同時に上記測定装置に供給される請求項１の測定プローブ。
【請求項3】
ユーザが、上記選択された電圧試験信号及び上記選択された電流試験信号のいずれかを選択して、上記測定装置に供給する請求項１の測定プローブ。
【請求項4】
上記第１セレクタブル信号から上記第２セレクタブル信号に切り替える際に、上記プローブ・ヘッドと上記ＤＵＴとの間の接続を壊す必要がない請求項３の測定プローブ。
【請求項5】
上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に結合されたデバイスに出入りする電力量を求めるように構成された上記測定プローブ内の電力検出部と、
該電力検出部の出力部からの電力信号を、選択された電流試験信号として上記測定装置に配信させる第３セレクタブル信号経路と
を更に具える請求項１の測定プローブ。
該電力検出部の出力部からの電力信号を、選択された電流試験信号として上記測定装置に配信させる第３セレクタブル信号経路と
を更に具える請求項１の測定プローブ。
【請求項6】
測定信号を受けるように構成された測定装置と、
該測定装置用に上記測定信号を生成する測定プローブと
を具え、該測定プローブが
被試験デバイス（ＤＵＴ）の少なくとも第１試験ポイント及び第２試験ポイントに接続されるように構成されたプローブ・ヘッドと、
上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に流れる電流を求めるように構成された上記測定プローブ内の電流検出部と、
上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号を、選択された電圧試験信号として上記測定装置に配信させる第１セレクタブル信号経路と、
上記電流検出部の出力部からの電流信号を、選択された電流試験信号として上記測定装置に配信させる第２セレクタブル信号経路と
を有する測定システム。
該測定装置用に上記測定信号を生成する測定プローブと
を具え、該測定プローブが
被試験デバイス（ＤＵＴ）の少なくとも第１試験ポイント及び第２試験ポイントに接続されるように構成されたプローブ・ヘッドと、
上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に流れる電流を求めるように構成された上記測定プローブ内の電流検出部と、
上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号を、選択された電圧試験信号として上記測定装置に配信させる第１セレクタブル信号経路と、
上記電流検出部の出力部からの電流信号を、選択された電流試験信号として上記測定装置に配信させる第２セレクタブル信号経路と
を有する測定システム。
【請求項7】
上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に結合されたデバイスに出入りする電力量を求めるように構成された上記測定プローブ内の電力検出部と、
該電力検出部の出力部からの電力信号を、選択された電流試験信号として上記測定装置に配信させる第３セレクタブル信号経路と
を更に具える請求項６の測定システム。
該電力検出部の出力部からの電力信号を、選択された電流試験信号として上記測定装置に配信させる第３セレクタブル信号経路と
を更に具える請求項６の測定システム。
【請求項8】
測定装置による試験用信号を生成する測定プローブであって、ＤＵＴの抵抗の電圧ソース側の第１試験ポイントに結合されると共に上記ＤＵＴの上記抵抗の負荷側の第２試験ポイントに結合される上記測定プローブにおける方法であって、
上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間の上記抵抗に流れる抵抗電流を示す信号を生成する処理と、
上記抵抗電流、上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号のいずれかを上記測定装置による上記試験用信号として上記測定装置に配信する処理と
を具える測定プローブにおける方法。
上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間の上記抵抗に流れる抵抗電流を示す信号を生成する処理と、
上記抵抗電流、上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号のいずれかを上記測定装置による上記試験用信号として上記測定装置に配信する処理と
を具える測定プローブにおける方法。
【請求項9】
上記抵抗に出入りする電力を示す電力信号を生成する処理と、
上記抵抗電流、上記電力信号、上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号のいずれかを上記測定装置による上記試験用信号として上記測定装置に配信する処理と
を更に具える請求項８の測定プローブにおける方法。
上記抵抗電流、上記電力信号、上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号のいずれかを上記測定装置による上記試験用信号として上記測定装置に配信する処理と
を更に具える請求項８の測定プローブにおける方法。
【請求項10】
ユーザから上記測定装置による所望の試験用信号の選択を受ける処理と、
ユーザが選択した上記試験用信号を上記測定装置に供給する処理と
を更に具える請求項９の測定プローブにおける方法。
ユーザが選択した上記試験用信号を上記測定装置に供給する処理と
を更に具える請求項９の測定プローブにおける方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、試験測定システムに関し、特に、試験測定システムにおいて使用するための試験測定プローブに関する。
【背景技術】
【0002】
測定プローブは、試験測定装置と組み合わせて使用され、被試験デバイス（ＤＵＴ）の特定の部分をプロービング又は選択する。例えば、開発中の基板であるＤＵＴ上の様々な接触ポイントに測定プローブの電圧プローブ・チップを接触させて、これらのポイントの電圧を測定することができる。直流（ＤＣ）電圧や低周波信号などの一部の信号の測定には、測定試験プローブを手で操作するので十分であるが、他の信号では、プローブ・チップをＤＵＴ上の試験ポイントに直接はんだ付けして、ＤＵＴと試験プローブ間の良好な電気的接触を確保することで測定の質を高めても良く、これによって、測定精度が向上する。
【0003】
シングルエンド測定は、接地（グラウンド）を基準に信号特性を測定するが、差動測定は、ＤＵＴの２つの信号ライン又は試験ポイント間で行われる測定である。ソース又は負荷で測定される電圧はシングルエンド測定であり、ソース及び負荷の間の電圧差を同時に測定する測定は差動測定である。プローブは、負荷を通過する電流を測定するためにも使用される。現在、ＤＵＴ内の試験ポイントの電圧と電流の両方を測定するには、電圧測定がシングルエンドか差動かに応じて、複数のプローブ・チップをＤＵＴにはんだ付けする必要がある（１つは電流用、１つ又は２つが電圧用）。試験システムにプローブが１つしかない場合には、プローブを試験ポイント間で移動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１６－０３１３７２号公報
【非特許文献】
【0005】
【非特許文献1】「P7700 Series TriMode Probes Datasheet」、テクトロニクス社、［オンライン］、［２０２２年４月１８日検索］、インターネット<https://www.tek.com/en/datasheet/trimode(tm)-probe-family>
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
同時に測定を行うには、２つのプローブが必要である。複数のプローブが必要になると、試験システムのコストが増加し、試験シーケンス中にプローブを移動させると、試験の実行に必要な時間が長くなる。
【0007】
本開示技術の実施形態は、既存の試験システムにおけるこれら及び他の制約に対処する。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本開示技術の実施形態には、マルチモード測定プローブがあり、これは、被試験デバイス（ＤＵＴ）から試験信号を取り込み、測定装置用に任意の個数の様々な試験信号を生成する。プローブ・チップとＤＵＴとの間の接続を変更又は再配置することなく、様々な測定を行うことができる。以下に説明するように、ユーザは、適切なモードを選択することによって、電圧、電流又は電力を測定できる。測定プローブに電力モードがあると、接続された試験測定装置は、電力しきい値に基づいてトリガ・イベントを生成したり、パワー・コンポーネントを含む事前定義された条件を満たすことができる。
【0009】
本開示技術の実施形態の態様、特徴及び効果は、添付の図面を参照した実施形態の以下の説明から明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
図１は、実施形態によるマルチモード試験測定プローブ１００の構成の一部を示す機能ブロック図である。図１において、測定プローブ１００は、被試験測定装置１４０と被試験デバイス（ＤＵＴ）１３０との間に接続されている。図１に例示されるように、測定プローブ１００には、概して、プローブ・チップ１０４と、１つ以上のプローブ・ケーブル１１０及び１１１と、補償ボックス１２０がある。
【0012】
上述したように、プローブ・チップ１０４は、測定プローブ１００の一部分であり、測定プローブ１００をＤＵＴ１３０に物理的に接続し、分析対象のＤＵＴ１３０から信号１０５を取得する。プローブ・チップ１０４は、以下で更に詳細に説明する。プローブ・ケーブル１１０及び１１１は、典型的には、ある程度の長さ、概して、１メートル以上であり、ＤＵＴ１３０から取得した信号１０５を、プローブ・チップ１０４と補償ボックス１２０との間で伝導する。
【0013】
補償ボックス１２０は、測定プローブ１００の一部であり、概して、装置インタフェース１２４を介して、装置１４０に接続される。装置インタフェース１２４は、プローブ１００を装置１４０に機械的及び電気的に接続するための機械的及び電気的接続部を有していても良い。補償ボックス１２０又は「コンプボックス（compbox）」は、試験測定産業における標準用語であり、プローブ・ケーブル１１０及び１１１と、装置インタフェース１２４との間の電子回路又はコンポーネントを指し、これらは、多くの場合、ハウジング又はボックスに収容される。補償ボックス１２０内の回路又はデバイスは、プローブ・チップ１０４やケーブル１１０及び１１１の様々な電気的特性を補償するために使用できる。補償ボックス１２０は、また、測定モード・セレクタ１２２を含み、これを通して、ユーザは、以下に説明するように、多種多様な測定モードを選択できる。補償ボックス１２０は、装置インタフェース１２４を介して装置１４０と通信する。いくつかの実施形態では、装置インタフェースが、Ｉ2Ｃ通信を使用するが、他の実施形態では、通信が、データ・バス、例えば、ユニバーサル・シリアル・バス（ＵＳＢ）での通信によって行われる。装置インタフェース１２４ついては、他の通信方法も同様に可能である。後述するように、ユーザは、測定モード・セレクタ１２２を含む測定プローブ１００の動作を、測定プローブ１００及び装置１４０のいずれか一方又は両方を介して制御できる。
【0014】
補償ボックス１２０は、ボタン（buttons）若しくはライト（lights）又はその両方の形態のようなユーザ・インタフェース１２６があっても良く、これにより、ユーザは、測定プローブ１００又は試験測定装置１４０の設定又は機能を監視及び制御できる。例えば、ユーザ・インタフェース１２６には、メニュー・ボタンがあり、ユーザが押すと、装置１４０上にメニュー・オプションが現れ、これにより、ユーザは、測定プローブに様々なモードを設定できる。あるいは、ユーザ・インタフェース１２６上のボタンを押すと、選択されたオプションの隣のライトが光るなどにより、特定の選択されたものが示されても良い。これに代えて、以下に説明するように、ユーザは、装置１４０のユーザ・インタフェースを用いて、測定モード・セレクタ１２２を含む測定プローブ１００の動作を制御しても良い。
【0015】
装置１４０は、オシロスコープなど、測定プローブに接続される任意のタイプの試験測定装置であっても良い。装置１４０には、１つ以上の入力部１４２があり、これは、任意の電気信号媒体であってもよく、測定プローブ１００からの測定又は試験のための信号を受け入れるための試験インタフェースとして機能しても良い。入力部１４２は、チャンネル毎に別々であってもよく、ここで、各チャンネルは、測定又は試験のために別々の信号を受信するように構成され、装置１４０は、ユーザの指示に従って、各チャンネルを独立して管理するように又はチャンネルを組み合わせるように構成される。
【0016】
装置１４０には、１つ以上のプロセッサ１４４がある。図を簡単にするために、１つのプロセッサ１４４のみが図１に示されているが、当業者であればわかるように、単一のプロセッサ１４４ではなく、様々なタイプの複数のプロセッサが組み合わされて使用されても良い。１つ以上のプロセッサ１４４は、メモリ１４６と連動して動作し、メモリ１４６が、１つ以上のプロセッサを制御するための命令、又は、試験信号の測定若しくは装置１４０の一般的な動作に関連するデータ若しくはその他のデータを記憶しても良い。メモリ１４６は、プロセッサ・キャッシュ、ランダム・アクセス・メモリ（ＲＡＭ）、読み取り専用メモリ（ＲＯＭ）、ソリッド・ステート・メモリ、ハード・ディスク・ドライブ、その他の任意のメモリ形式として実装されても良い。
【0017】
ユーザからの入力を受け、出力をユーザに送るためのユーザ・インタフェース１４８が、装置１４０に結合されるか又は装置１４０と一体化される。ユーザ・インタフェース１４８は、キーボード、マウス、タッチスクリーン又はユーザが装置１４０をインタラクティブに操作するために利用可能な他の任意の操作装置を含んでも良い。ユーザ・インタフェース１４８の表示部/出力部は、ユーザの入力を受け入れ、装置の出力を提供するタッチスクリーン・ディスプレイであっても良い。あるいは、表示部/出力部は、ユーザ・インタフェース１４８と連動して動作する出力のみのディスプレイであっても良い。ユーザ・インタフェース１４８の表示部/出力部は、本願で説明するように、試験結果又は他の結果をユーザに表示するためのデジタル画面、コンピュータ・モニタ又は他の任意のモニタであっても良い。ユーザ・インタフェース１４８は、また、１つ以上のデータ出力部を有していても良く、これは、視覚的表示と相関していても、していなくても良い。ユーザ・インタフェース１４８からのデータ出力は、ローカル・エリア・ネットワークなどのデータ・ネットワークに送信することができ、これは、データを表示するためのホスト・コンピュータに結合されても良い。ユーザ・インタフェース１４８は、また、ホスト・コンピュータによってインターネットを介してアクセス可能なクラウド・ネットワークなどのリモート・ネットワークにデータを送信しても良い。装置１４０の構成要素は、装置１４０と一体化されているものとして描かれているが、当業者であればわかるように、これらの構成要素の任意のものが、装置１４０の外部にあって、有線や無線の通信媒体や他の機構などの任意の従来の方法で試験装置１４０に結合されても良い。
【0018】
装置１４０は、概して、１つ以上の測定ユニット１５０を有していても良い。このような測定ユニットは、入力部１４２を介して受信された信号の特性（例えば、電圧、アンペア数、振幅など）を測定できる任意の構成要素を含む。装置１４０は、また、測定プローブ１００から受信された入力信号を処理するために一般的に使用されるような、受信した信号を波形に変換する処理のための、調整回路（conditioning circuits）、アナログ・デジタル・コンバータ、その他の回路などの追加のハードウェアやプロセッサを含んでも良い。装置１４０の特定の構成要素が図１に描かれているが、ＤＵＴからの試験信号のタイプ及び特性に応じて、多くの追加構成要素が装置内に存在しても良い。
【0019】
図２は、本発明の実施形態による、ユーザによって選択可能な複数のモードを有する測定プローブ２００を示す機能ブロック図である。測定プローブ１００と同様に、測定プローブ２００には、ＤＵＴの１つ以上の試験ポイントに接続するためのプローブ・チップ２２０がある。図２において、センス抵抗ＲSは、ＤＵＴ（図２では図示せず）内の試験される負荷を表す。センス抵抗ＲSは、後述するように、ＤＵＴ内の電流を測定するための電流シャントを表すこともある。プローブ・チップには、第１接続ポイント２２５からセンス抵抗の第１端に結合された第１リード２１５があり、一方、第２リード２１７は、第２接続ポイント２２７からセンス抵抗の第２端に結合される。リード線２１５に結合された第１端は、本願ではソース側、（＋）又はＶAと呼び、ＤＵＴ内のソース電圧（source voltage）に接続されていると仮定する。リード線２１７に結合された第２端は、本願では負荷側、（－）又はＶBと呼び、ＤＵＴ内の試験されている負荷に結合されていると仮定する。プローブ・チップ２２０には、また、２つの接地リード線２１１及び２１３もあり、これらはそれぞれＤＵＴの接地ノード（ground nodes）２０１及び２０３に結合される。概して、リード線２１１、２１３、２１５、２１７は、ＤＵＴ内の所定の位置にはんだ付けされ、測定プローブ２００への良好な電気的接続を保証する。
【0020】
プローブ・チップ２２０には、ケーブル２３２に送られる前にセンス抵抗ＲSのソース側からの電圧信号ＶAを増幅するように構成された増幅器２２１がある。同様に、増幅器２２２は、ケーブル２３６に送られる前に、センス抵抗ＲSの負荷側からの電圧信号ＶBを増幅するように構成されている。増幅器２２１及び２２２は、例えば、定格で１２～４８ボルト及び１ＧＨｚ～８ＧＨｚの帯域幅としても良いが、ＤＵＴの測定パラメータに応じて変化させることができる。実装形態に応じて、プローブ・チップ２２０は、図２に図示されていない他の信号調節回路を含んでもよい。いくつかの試験環境では、増幅器２２１、２２２が、増幅器ではなく減衰器として構成され、ケーブル２３２、２３６に渡す前に、検出された信号の振幅を減少させるように構成される。
【0021】
ケーブル２３２、２３６は、増幅された電圧信号ＶA及びＶBを、測定プローブ２００のプローブ・チップ２２０から補償ボックス２４０に伝送する。ケーブル２３２、２３６は、それぞれ、シールドされた同軸ケーブルであっても良く、これらは、それぞれ電圧信号ＶA及びＶBを伝送すると共に、ノード２０１、２０３の接地基準電位を伝送する。いくつかの実施形態では、１つの接地のみ（リード線２１１又は２１３）が、プローブ・チップ２２０で使用され、接地基準電位が単一の接地ノードから両方のケーブル２３２、２３６へ伝送される。一般的な測定プローブは、ソース（信号源）又は負荷のいずれかからの電圧を測定するシングルエンド・プローブか又は、ソースと負荷の間の電圧差を測定する差動プローブのどちらかである。
【0022】
しかしながら、本発明の実施形態は、図２の測定プローブ２００のように、ソース電圧及び負荷電圧を独立して伝送する。ソース電圧と負荷電圧を分離しておくことで、補償ボックス内の回路は検出した電圧信号に対して測定動作を実行でき、以下で詳しく説明するように、測定装置に送信するいくつかの異なる信号の１つを選択するようにユーザが制御できる。具体的には、測定プローブ２００の出力は、ソース電圧ＶA、負荷電圧ＶB、センス抵抗を流れる電流及びＤＵＴの負荷に供給される電力又はＤＵＴの負荷から受ける電力を表す信号を提供できる。なお、これら回路及びモード・セレクタは、補償ボックス内にあるものとして図示されているが、他の実施形態では、これらの回路は、測定プローブ２００内のどこにあってもよく、補償ボックス内に収容されている必要はない。
【0023】
マルチモード電流プローブ２００のアクティブな出力をどの測定にするかの選択は、マルチプレクサ２７０を制御することによって行われ、その出力は、図１の試験測定装置１４０などの測定装置に供給される。ユーザは、上述のようにマルチプレクサ２７０を制御するのに、マルチプレクサ２７０に制御信号を送信するが、これは、図１のユーザ・インタフェース１２６ような補償ボックスのユーザ・インタフェース上のボタン又は構成要素（element）を押すか、又は、試験測定装置１４０上で選択を行い、これが、図１のインタフェース１２４のような装置インタフェースを介して電流プローブに伝達されるかのいずれかによる。マルチプレクサ２７０の出力を選択する他の方法もあり得る。
【0024】
マルチプレクサ２７０の選択オプション（１）は、マルチモード測定プローブ２００の出力としてソース電圧ＶAを選択する。同様に、マルチプレクサ２７０のオプション（４）を選択すると、負荷電圧ＶBを測定プローブ２００の出力として選択する。マルチプレクサ２７０のオプション（１）への流れをたどると、ソース電圧ＶAは、マルチプレクサ２７０に供給される前に、増幅器２４１及び減衰器２４５によって処理されることがわかる。別の実施形態では、ソース電圧ＶAが、測定プローブ２００の出力として装置に供給されるのに望ましい増幅又は減衰のレベルに応じて、補償ボックス２４０に入るときと減衰器２４５を出るときの間の経路の途中のどこかで選択されても良い。測定のために装置に送る前に相当の増幅を必要とする傾向がある電流と比較して、ソース電圧ＶAなどの電圧は、概して、装置によって容易に感知されるため、測定プローブで多くの利得又は増幅を必要としていない。
【0025】
差動増幅器２４３は、数式１に示す電流と電圧の関係によって、センス抵抗ＲSを流れる電流量を求めるように構成される。
【0026】
数式１
ＩRS＝(ＶA－ＶB)/ＲSENSE
ここで、
(ＶA－ＶB)＝ソースと負荷の間の瞬時電圧差（instantaneous voltage difference）
ＲSENSE＝センス抵抗ＲSの抵抗値
ＩRS＝(ＶA－ＶB)/ＲSENSE
ここで、
(ＶA－ＶB)＝ソースと負荷の間の瞬時電圧差（instantaneous voltage difference）
ＲSENSE＝センス抵抗ＲSの抵抗値
【0027】
センス抵抗ＲSの値は、非常に小さいことがあるため、上述のように、回路内の電流の測定は、通常、回路内の電圧の測定よりも多くの利得を必要とする。そこで、小さな抵抗値を補償するため、ソース電圧ＶA及び負荷電圧ＶBは、反転差動増幅器２４３に提供される前に、増幅器２４１、２４２によって増幅される。反転差動増幅器２４３は、数式１の割り算機能を実現する。増幅器２４１、２４２で必要とされる利得の量は、状況に応じて実装して良い。いくつかの実施形態では、増幅器２４１、２４２は、デジタル・アナログ・コンバータ（ＤＡＣ）と同様にモデル化されてもよく、可変利得減衰器として動作する。
【0028】
上記の数式１によれば、ソースと負荷との間の瞬時電圧差以外で、反転差動増幅器２４３が利用する他の唯一の変数は、ＲSENSEの値であり、これは、ＤＵＴが使用するセンス抵抗ＲSの抵抗値である。ユーザは、ＤＵＴが使用するセンス抵抗ＲSの大きさを知っているので、本発明の実施形態は、図２に示すように、センス抵抗ＲSに使用する値をユーザから受ける。この値は、上述のユーザ・インタフェースの１つを使用して、セットアップ中に又は後で、測定プローブ２００に伝達されても良い。そして、差動増幅器２４３は、センス抵抗ＲSの値を受けた後、増幅器２４１、２４２の出力からの電圧差情報と、ユーザからの抵抗値情報とを用いて、差動増幅器２４３の出力に、瞬時電流値（instantaneous current value）ＩRSを生成する。図２を再度参照すると、瞬時電流値ＩRSは、マルチプレクサ２７０のオプション（３）を選択することによって、測定プローブ２００の出力として選択することができ、また、後述するように、乗算器（multiplier）２６０にも提供される。
【0029】
測定プローブ２００の乗算器２６０のコンポーネントは、ＤＵＴの負荷によって消費又は供給される瞬時電力（instantaneous power）を求めるために使用されても良い。電気回路における電力と電流の関係を数式２に示す。
【0030】
数式２ａ
ＰS＝ソースの電力（Power at source）＝ＶA＊((ＶA－ＶB)/ＲSENSE)
ＰS＝ソースの電力（Power at source）＝ＶA＊((ＶA－ＶB)/ＲSENSE)
【0031】
数式２ｂ
ＰL＝負荷の電力（Power at load）＝ＶB＊((ＶA－ＶB)/ＲSENSE)
ＰL＝負荷の電力（Power at load）＝ＶB＊((ＶA－ＶB)/ＲSENSE)
【0032】
これらの数式は、上記の数式１から次のように単純化できる。
【0033】
数式３ａ
ソースの電力＝ＶA＊ＩRS
ソースの電力＝ＶA＊ＩRS
【0034】
数式４ａ
負荷の電力＝ＶB＊ＩRS
負荷の電力＝ＶB＊ＩRS
【0035】
以上の説明から、ＩRSが差動増幅器２４３の出力であるとわかる。そこで、数式３ａに従ってソースの電力（Power at source）を求めるために、乗算器２６０において、電圧ＶAが、差動増幅器２４３の出力と乗算される。そして、数式３ｂに従って負荷の電力（Power at load）を求めるために、電圧ＶBが、差動増幅器２４３の出力と乗算される。しかし、増幅器２４１、２４２は、電圧信号ＶA及びＶBを、差動増幅器２４３に供給される前に増幅したことを思い出してほしい。このため、これらの増幅された電圧信号は、選択マルチプレクサ２５０に供給される前に、減衰器２４５、２４６によって減衰される。
【0036】
選択マルチプレクサ２５０は、ソース又は負荷のどちらの電力の測定値を、測定プローブ２００の出力とし、そして、マルチプレクサ２７０のオプション（２）を選択することによって測定装置に送りたいかを決めるために、ユーザによって制御されても良い。ＶAを選択することにより、減衰器２４５の出力が、マルチプレクサ２５０から乗算器２６０に渡され、ユーザは、乗算器２６０の出力が、数式３ａにより、ソースの電力を表すようにする。ＶBを選択することにより、減衰器２４６の出力が、マルチプレクサ２５０から乗算器２６０に渡され、ユーザは、乗算器２６０の出力が、数式３ｂにより、負荷の電力を表すようにする。ソースの電力と負荷の電力の差は、センス抵抗ＲSによって失われる電力量を示す。乗算器２６０は、アナログ信号を乗算することで知られるギルバート乗算器（Gilbert multiplier）又は他の乗算器として構成されても良い。
【0037】
上述のように、増幅器２４１、２４２は、試験されるＤＵＴのタイプに応じて異なる形態をとっても良い。例えば、高電圧のＤＵＴの利得レベルは、低電圧で動作するＤＵＴとは、相対的に異なる。同様に、減衰器２４５、２４６も、状況に応じて実装して良い。一実施形態では、減衰器２４５、２４６によって減衰される信号レベルは、システムセットアップ中又は測定が行われている間のいずれかで、ユーザによって制御可能である。一実施形態では、減衰器２４５、２４６は、受信信号に様々なレベルの抵抗を加えることによって実装されても良い。いくつかの実施形態では、減衰器２４５、２４６が、切り替え可能な抵抗の構造体（switchable resistance structure）であっても良い。
【0038】
図２の測定プローブ２００は、装置に単一の測定値の出力のみ（即ち、マルチプレクサ２７０の出力）を提供するものとして図示されているが、本発明の実施形態は、上述の複数の測定値の中の任意のもの又は全部を同時に測定装置の異なるチャンネルに出力することもできる。例えば、測定プローブ２００は、チャンネル１にソース電圧ＶAを出力すると共に、チャンネル２に瞬時電流ＩRSを同時に出力できる。測定装置において、追加で２つのチャンネルを利用できるのなら、負荷電圧ＶBをチャンネル３に出力し、電力レベルＰL又はＰSのいずれかをチャンネル４に出力することもできる。
【0039】
上述したように、本発明の実施形態によれば、ＤＵＴにおけるプローブ・チップの接続を変更する必要なしに、上述した複数の試験信号の中の任意のものを測定プローブ２００で選択することが可能になる。言い換えると、ＤＵＴについての電圧測定、電流測定及び電力測定を、複数のプローブを必要とせず、ＤＵＴの別の試験ポイントへとプローブの接続を変更することなく、行うことができる。
【0040】
図３は、本発明の実施形態による位相調整を含む測定プローブの構成要素の機能ブロック図である。具体的には、補償ボックス３４０の構成要素は、図２の補償ボックス２４０と類似しており、そのため、同一又は類似の構成要素の説明は、簡単のため省略する。補償ボックス３４０は、上述した測定プローブの他の要素と組み合わせて使用されても良い。
【0041】
図３の補償ボックス３４０と図２に示す補償ボックス２４０との主な違いは、位相調整部３４２の存在である。位相調整部３４２は、乗算器２６０で組み合わせる前に、マルチプレクサ２５０から出力される電圧の位相を、差動増幅器２４３から出力される電流に調整するために、一部の測定プローブで存在しても良い。回路によっては、電流が電圧より進んでいたり、遅れていたりすることがある。位相調整部３４２は、位相差を補償し、電流信号及び電圧信号を乗算器２６０に渡す前に整合させる。電流を電圧に整合させることにより、乗算器２６０の出力における電力測定の精度が向上する。図３に例示されるように、位相調整の角度は、上述の方法を用いて、ユーザによって提供されても良い。他の実施形態では、位相調整部３４２が使用する位相角の調整は、既知のソースを用いた校正プロセスによって、製造中に決定されても良い。
【0042】
図４は、本発明の実施形態による、他の測定に加えて、コモン・モード測定を行う能力を含む測定プローブの構成要素の機能ブロック図である。図４に例示するように、補償ボックス４４０の構成要素は、図２の補償ボックス２４０の構成要素と類似しており、同一又は類似の構成要素の説明は、簡単のため省略する。補償ボックス４４０は、上述した測定プローブの他の要素と組み合わせて使用されても良い。図４の補償ボックス４４０と図２に示す補償ボックス２４０との主な違いは、コモン・モード電圧部４４４の存在である。図４に示す実施形態では、ソース電圧ＶAと負荷電圧ＶBとの間のコモン・モード電圧は、数式４に示すものと定義される。
【0043】
数式４
ＶCM＝(ＶA＋ＶB)/２
ＶCM＝(ＶA＋ＶB)/２
【0044】
コモン・モード電圧部４４４は、数式４の機能を実行し、その出力端にコモン・モード電圧ＶCMを生じる。コモン・モード電圧部４４４への入力は、必要な減衰量に応じて、減衰器２４５、２４６のどちら側からでも行うことができる。このコモン・モード電圧部４４４の出力のコモン・モード電圧ＶCMは、マルチプレクサ４４８へのもう１つ別の入力の選択肢として供給され、ＶA及びＶBに加えて、もう１つ別のオプションの出力信号としてユーザによって選択されても良い。乗算器２６０への入力としてコモン・モード電圧ＶCMを使用すると、ソース電力及び負荷電力の平均の電力測定値を生成し、これは、ＤＵＴにおける双方向の電力使用量を調査する際に有用であろう。ユーザは、今や、マルチプレクサ２７０から出力される３つの異なる電力信号「ソース電力、負荷電力及びコモン・モード電力（ソース電力と負荷電力の平均）」の中から選択しても良いことに留意されたい。ユーザは、マルチプレクサ４４８を用いて所望の選択をすることによって、乗算器２６０によって生成される特定の電力信号を選択する。
【0045】
図５は、本発明の実施形態による、電圧及び電流測定値を同時に供給するように構成された測定プローブの構成要素の機能ブロック図である。補償ボックス５４０は、上述した測定プローブの他の要素と組み合わせて使用されても良い。図２の補償ボックス２４０と比較して、図５に示す補償ボックス５４０は、より少ない構成要素を有する。注目すべきことに、マルチプレクサ２５０及び乗算器２６０は除去され、従って、図２の乗算器２６０から出力される電力信号は、補償ボックス５４０の出力を決定するマルチプレクサ５７０で選択可能ではなくなっている。代わりに、図５の補償ボックス５４０に図示される構成要素を含む測定プローブは、上述したように、ソース電圧ＶA、負荷電圧ＶB又は差動増幅器２４３によって求められる電流ＩRSを表す信号を生成する。
【0046】
図５に示すような補償ボックス５４０と図２に示すようなプローブ・チップ２２０とで作られた測定プローブは、プローブ・チップのいずれのリード線も変更することなく、電圧信号又は電流信号のいずれかを測定装置に出力できる。そして、上述したように、補償ボックス５４０からマルチプレクサ５７０を省略又はバイパスすることにより、電源電圧ＶA、負荷電圧ＶB及び電流ＩRSを同時に、測定装置の３つのチャンネルに同時に配信できる。あるいは、マルチプレクサ５７０が、ソース電圧ＶAと負荷電圧ＶBとの間で選択するように構成され、差動増幅器２４３からの出力が専用のチャンネルに配信された場合では、ユーザは、第１チャンネルについてソース電圧ＶA又は負荷電圧ＶBのいずれかを選択することができ、同時に、電流ＩRSを測定装置の別のチャンネルに供給する。
【0047】
本開示技術の態様は、特別に作成されたハードウェア、ファームウェア、デジタル・シグナル・プロセッサ又はプログラムされた命令に従って動作するプロセッサを含む特別にプログラムされた汎用コンピュータ上で動作できる。本願における「コントローラ」又は「プロセッサ」という用語は、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、ＡＳＩＣ及び専用ハードウェア・コントローラ等を意図する。本開示技術の態様は、１つ又は複数のコンピュータ（モニタリング・モジュールを含む）その他のデバイスによって実行される、１つ又は複数のプログラム・モジュールなどのコンピュータ利用可能なデータ及びコンピュータ実行可能な命令で実現できる。概して、プログラム・モジュールとしては、ルーチン、プログラム、オブジェクト、コンポーネント、データ構造などを含み、これらは、コンピュータその他のデバイス内のプロセッサによって実行されると、特定のタスクを実行するか、又は、特定の抽象データ形式を実現する。コンピュータ実行可能命令は、ハードディスク、光ディスク、リムーバブル記憶媒体、ソリッド・ステート・メモリ、ＲＡＭなどのコンピュータ可読記憶媒体に記憶しても良い。当業者には理解されるように、プログラム・モジュールの機能は、様々な実施例において必要に応じて組み合わせられるか又は分散されても良い。更に、こうした機能は、集積回路、フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ（ＦＰＧＡ）などのようなファームウェア又はハードウェア同等物において全体又は一部を具体化できる。特定のデータ構造を使用して、本開示技術の１つ以上の態様をより効果的に実施することができ、そのようなデータ構造は、本願に記載されたコンピュータ実行可能命令及びコンピュータ使用可能データの範囲内と考えられる。
【0048】
開示された態様は、場合によっては、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェア又はこれらの任意の組み合わせで実現されても良い。開示された態様は、１つ以上のプロセッサによって読み取られ、実行され得る１つ又は複数のコンピュータ可読媒体によって運搬されるか又は記憶される命令として実現されても良い。そのような命令は、コンピュータ・プログラム・プロダクトと呼ぶことができる。本願で説明するコンピュータ可読媒体は、コンピューティング装置によってアクセス可能な任意の媒体を意味する。限定するものではないが、一例としては、コンピュータ可読媒体は、コンピュータ記憶媒体及び通信媒体を含んでいても良い。
【0049】
コンピュータ記憶媒体とは、コンピュータ読み取り可能な情報を記憶するために使用することができる任意の媒体を意味する。限定するものではないが、例としては、コンピュータ記憶媒体としては、ランダム・アクセス・メモリ（ＲＡＭ）、読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）、電気消去可能プログラマブル読み出し専用メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）、フラッシュメモリやその他のメモリ技術、コンパクト・ディスク読み出し専用メモリ（ＣＤ-ＲＯＭ）、ＤＶＤ（Digital Video Disc）やその他の光ディスク記憶装置、磁気カセット、磁気テープ、磁気ディスク記憶装置やその他の磁気記憶装置、及び任意の技術で実装された任意の他の揮発性又は不揮発性の取り外し可能又は取り外し不能の媒体を含んでいても良い。コンピュータ記憶媒体としては、信号そのもの及び信号伝送の一時的な形態は除外される。
実施例
実施例
【0050】
以下では、本願で開示される技術の理解に有益な実施例が提示される。この技術の実施形態は、以下で記述する実施例の１つ以上及び任意の組み合わせを含んでいても良い。
【0051】
実施例１は、測定装置のために試験信号を生成するための測定プローブであって、被試験デバイス（ＤＵＴ）の少なくとも第１試験ポイント及び第２試験ポイントに接続されるように構成されたプローブ・ヘッドと、上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に流れる電流を求めるように構成された上記測定プローブ内の電流検出部と、上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号を、選択された電圧試験信号として上記測定装置に配信させる第１セレクタブル信号経路と、上記電流検出部の出力部からの電流信号を、選択された電流試験信号として測定装置に配信させる第２セレクタブル信号経路とを具える。
【0052】
実施例２は、実施例１による測定プローブであって、上記選択された電圧試験信号と上記選択された電流試験信号とが同時に測定装置に供給される。
【0053】
実施例３は、先行する実施例のいずれかによる測定プローブであって、ユーザが、上記選択された電圧試験信号及び上記選択された電流試験信号のいずれかを選択して、上記測定装置に供給する。
【0054】
実施例４は、実施例３による測定プローブであって、第１セレクタブル信号から第２セレクタブル信号に切り替える際に上記プローブ・ヘッドと上記ＤＵＴとの間の接続を壊す必要がない。
【0055】
実施例５は、先行する実施例のいずれかによる測定プローブであって、上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に結合されたデバイスに出入りする電力量を求めるように構成された上記測定プローブ内の電力検出部と、該電力検出部の出力部からの電力信号を、選択された電流試験信号として上記測定装置に配信させる第３セレクタブル信号経路とを更に具える。
【0056】
実施例６は、実施例５による測定プローブであって、上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に結合された上記デバイスがシャント抵抗である。
【0057】
実施例７は、実施例５による測定プローブであって、上記電力検出部は、乗算器であって、上記電流検出部の出力信号と上記第１試験ポイントからの上記電圧信号又は上記第２試験ポイントからの上記電圧信号とを乗算して電力信号を生成するように構成される。
【0058】
実施例８は、実施例７による測定プローブであって、上記電力検出部は、上記電流検出部の出力信号に、上記第１試験ポイントからの上記電圧信号と上記第２試験ポイントからの電圧信号の平均を乗算してコモン・モード電力信号を生成するように更に構成される。
【0059】
実施例９は、実施例５による測定プローブであって、上記電力検出部への複数の入力信号の位相角度のずれを低減するよう構成された位相整合部（phase aligner）を更に具える。
【0060】
実施例１０は、測定システムであって、測定信号を受けるように構成された測定装置と、該測定装置用に上記測定信号を生成するための測定プローブとを具え、該測定プローブが被試験デバイス（ＤＵＴ）の少なくとも第１試験ポイント及び第２試験ポイントに接続されるように構成されたプローブ・ヘッドと、上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に流れる電流を求めるように構成された上記測定プローブ内の電流検出部と、上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号を、選択された電圧試験信号として上記測定装置に配信させる第１セレクタブル信号経路と、上記電流検出部の出力部からの電流信号を、選択された電流試験信号として上記測定装置に配信させる第２セレクタブル信号経路とを有する。
【0061】
実施例１１は、実施例１０による測定システムであって、上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に結合されたデバイスに出入りする電力量を求めるように構成された上記測定プローブ内の電力検出部と、該電力検出部の出力部からの電力信号を選択された電流試験信号として上記測定装置に配信させる第３セレクタブル信号経路とを更に具える。
【0062】
実施例１２は、実施例１１による測定システムであって、上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間に結合された上記デバイスがシャント抵抗である。
【0063】
実施例１３は、実施例１１による測定システムであって、上記電力検出部は、上記電流検出部の出力信号と上記第１試験ポイントからの上記電圧信号又は上記第２試験ポイントからの上記電圧信号とを乗算して電力信号を生成するように構成される乗算器を有する。
【0064】
実施例１４は、実施例１１による測定システムであって、上記電力検出部への複数の入力信号の位相角度のずれを低減するよう構成された位相整合部（phase aligner）を更に具える。
【0065】
実施例１５は、測定装置による試験用信号を生成する測定プローブであって、ＤＵＴの抵抗の電圧ソース（voltage source：電圧源）側の第１試験ポイントに結合されると共に上記ＤＵＴの上記抵抗の負荷側の第２試験ポイントに結合される上記測定プローブにおける方法であって、上記ＤＵＴの上記第１試験ポイントと上記第２試験ポイントとの間の上記抵抗に流れる抵抗電流を示す信号を生成する処理と、上記抵抗電流、上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号のいずれかを上記測定装置による上記試験用信号として上記測定装置に配信する処理とを具える方法。
【0066】
実施例１６は、実施例方法１５による方法であって、上記抵抗に出入りする電力を示す電力信号を生成する処理と、上記抵抗電流、上記電力信号、上記第１試験ポイントからの電圧信号又は上記第２試験ポイントからの電圧信号のいずれかを上記測定装置による上記試験用信号として上記測定装置に配信する処理とを更に具える。
【0067】
実施例１７は、実施例１６による方法であって、上記電圧信号の少なくとも１つと、上記抵抗電流とを同時に上記測定装置に供給する処理を更に具える。
【0068】
実施例１８は、実施例方法１６による方法であって、ユーザから上記測定装置による所望の試験用信号の選択を受ける処理と、ユーザが選択した上記試験用信号を上記測定装置に供給する処理とを更に具える。
【0069】
実施例１９は、実施例方法１５による方法であって、上記抵抗電流を示す信号を生成する処理が、上記ＤＵＴから検出された電圧をユーザ提供の抵抗値で割り算する処理を含む。
【0070】
実施例２０は、実施例１６による方法であって、電力信号を生成する処理が、上記抵抗電流を示す信号に上記ＤＵＴから検出された電圧信号を乗算する処理を含む。
【0071】
特許請求の範囲、要約及び図面を含め、本明細書に開示される全ての特徴と、開示される全ての方法又は処理における全ての工程は、互いに少なくとも一部分が排他的でない限り、任意に組み合わせても良い。特許請求の範囲、要約及び図面を含め、本明細書に開示される特徴の夫々は、特に明記されていない限り、同じ、等価又は類似の目的に寄与する代替の特徴で置き換えても良い。
【0072】
加えて、本願の説明は、特定の特徴に言及している。本明細書における開示には、これらの特定の特徴の全ての可能な組み合わせが含まれると理解すべきである。ある特定の特徴が特定の態様又は実施例に関連して開示される場合、その特徴は、可能である限り、他の態様及び実施例との関連においても利用できる。
【0073】
また、本願において、２つ以上の定義されたステップ又は工程を有する方法に言及する場合、これら定義されたステップ又は工程は、状況的にそれらの可能性を排除しない限り、任意の順序で又は同時に実行しても良い。
【0074】
説明の都合上、本発明の具体的な実施例を図示し、説明してきたが、本発明の要旨と範囲から離れることなく、種々の変更が可能なことが理解できよう。従って、本発明は、添付の請求項以外では、限定されるべきではない。
【符号の説明】
【0075】
１００ マルチモード試験測定プローブ
１０４ プローブ・チップ
１０５ ＤＵＴからの信号
１１０ プローブ・ケーブル
１１１ プローブ・ケーブル
１２０ 補償ボックス
１２２ 測定モード・セレクタ
１２４ 装置インタフェース
１２６ ユーザ・インタフェース
１３０ 被試験デバイス（ＤＵＴ）
１４０ 試験測定装置
１４２ 入力部
１４４ プロセッサ
１４６ メモリ
１４８ ユーザ・インタフェース
１５０ 測定ユニット
２００ 測定プローブ
２０１ 第１接地ノード
２０３ 第２接地ノード
２１１ 第１接地リード線
２１３ 第２接地リード線
２１５ 第１リード線
２１７ 第２リード線
２２０ プローブ・チップ
２２５ 第１接続ポイント
２２７ 第２接続ポイント
２２１ 第１アンプ
２２２ 第２アンプ
２３２ 第１ケーブル
２３６ 第２ケーブル
２４０ 補償ボックス
２４１ 第１アンプ
２４２ 第２アンプ
２４３ 差動アンプ
２４５ 第１減衰器
２４６ 第２減衰器
２５０ マルチプレクサ
２６０ マルチプレクサ
２７０ マルチプレクサ
３４０ 補償ボックス
３４２ 位相調整部
４４０ 補償ボックス
４４４ コモン・モード電圧部
４４８ マルチプレクサ
５４０ 補償ボックス
５７０ マルチプレクサ
ＲS センス抵抗
１０４ プローブ・チップ
１０５ ＤＵＴからの信号
１１０ プローブ・ケーブル
１１１ プローブ・ケーブル
１２０ 補償ボックス
１２２ 測定モード・セレクタ
１２４ 装置インタフェース
１２６ ユーザ・インタフェース
１３０ 被試験デバイス（ＤＵＴ）
１４０ 試験測定装置
１４２ 入力部
１４４ プロセッサ
１４６ メモリ
１４８ ユーザ・インタフェース
１５０ 測定ユニット
２００ 測定プローブ
２０１ 第１接地ノード
２０３ 第２接地ノード
２１１ 第１接地リード線
２１３ 第２接地リード線
２１５ 第１リード線
２１７ 第２リード線
２２０ プローブ・チップ
２２５ 第１接続ポイント
２２７ 第２接続ポイント
２２１ 第１アンプ
２２２ 第２アンプ
２３２ 第１ケーブル
２３６ 第２ケーブル
２４０ 補償ボックス
２４１ 第１アンプ
２４２ 第２アンプ
２４３ 差動アンプ
２４５ 第１減衰器
２４６ 第２減衰器
２５０ マルチプレクサ
２６０ マルチプレクサ
２７０ マルチプレクサ
３４０ 補償ボックス
３４２ 位相調整部
４４０ 補償ボックス
４４４ コモン・モード電圧部
４４８ マルチプレクサ
５４０ 補償ボックス
５７０ マルチプレクサ
ＲS センス抵抗
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【外国語明細書】