特開 2022-172157 テープ付きウェーハの加工装置及びその加工方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022172157

(43)【公開日】2022-11-15

(54)【発明の名称】テープ付きウェーハの加工装置及びその加工方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 9/00 20060101AFI20221108BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20221108BHJP

【ＦＩ】

B24B9/00 601G

H01L21/304 601B

【審査請求】有

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022129831

(22)【出願日】2022-08-17

(62)【分割の表示】P 2018081523の分割

【原出願日】2018-04-20

(71)【出願人】

【識別番号】000151494

【氏名又は名称】株式会社東京精密

(74)【代理人】

【識別番号】100083116

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲三

(74)【代理人】

【識別番号】100170069

【弁理士】

【氏名又は名称】大原 一樹

(74)【代理人】

【識別番号】100128635

【弁理士】

【氏名又は名称】松村 潔

(74)【代理人】

【識別番号】100140992

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 憲政

(72)【発明者】

【氏名】下田 杏優華

(57)【要約】

【課題】エッジトリミングの加工品質の向上とスループットの向上を両立することができるテープ付きウェーハの加工装置及びその加工方法を提供する。
【解決手段】ウェーハＷの裏面をチャックテーブル１６に保持し、チャックテーブル１６を、中心軸１６Ａを中心に回転移動させながら、出射部５４からの紫外光を面取部６６に貼着されたテープ６０に向けて照射した後、チャックテーブル１６を、中心軸１６Ａを中心に回転移動させながら、紫外光によって硬化した光硬化接着剤６２を含む面取部６６をテープ６０と共にブレード７２によって切削する。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面の最外周に面取部を有するウェーハと、
前記ウェーハの前記表面に光硬化接着剤を介して貼着されるとともに、前記光硬化接着剤が硬化する波長の光を透過可能なテープと、
中心軸を中心として回転し、前記テープ付きウェーハの裏面を保持するテーブルと、
前記テーブルを回転させながら、前記面取部に前記光を照射する光照射手段と、
前記テーブルを回転させながら、前記光によって硬化した前記光硬化接着剤を含む前記面取部を前記テープと共に切削するブレードと、
を備える、テープ付きウェーハの加工装置。

【請求項2】

前記光照射手段から前記面取部よりも内側に向かう光を遮断する遮光部材を備える、請求項１に記載のテープ付きウェーハの加工装置。

【請求項3】

表面の最外周に面取部を有するウェーハと、前記ウェーハの前記表面に光硬化接着剤を介して貼着されるとともに、前記光硬化接着剤が硬化する波長の光を透過可能なテープと、中心軸を中心として回転し、前記テープ付きウェーハの裏面を保持するテーブルと、を備える加工装置に適用されるテープ付きウェーハの加工方法であって、
前記テープ付きウェーハの裏面を保持し、
前記テーブルを回転させながら、前記面取部に前記光を照射し、
前記テーブルを回転させながら、前記光によって硬化した前記光硬化接着剤を含む前記面取部を前記テープと共に切削する、テープ付きウェーハの加工方法。

【請求項4】

前記面取部よりも内側に向かう光を遮光部材によって遮断する、請求項３に記載のテープ付きウェーハの加工方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、バックグラインドテープ等のテープが貼着されたテープ付きウェーハを加工するテープ付きウェーハの加工装置及びその加工方法に関する。

【背景技術】

【0002】

表面に半導体素子が形成されたウェーハは、ダイシング装置によって切断又は溝入れ等の切削加工が施される。ダイシング装置は、スピンドルによって高速回転される薄い円盤状のブレードと、ウェーハを吸着保持するチャックテーブルと、を備え、チャックテーブルに吸着保持されたウェーハに対し、高速回転するブレードによってウェーハを、例えば格子状のダイシングラインに沿って切削加工する。ブレードとチャックテーブルは、ダイシング装置に備えられたＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向の各移動部によって相対的に移動される。これによって、ウェーハがダイシングラインに沿って切削加工される。

【0003】

近年、半導体製造分野においてはウェーハが年々大型化する傾向にある。また、実装密度を高めるためにウェーハの薄膜化が進んでおり、ウェーハを薄膜化するために、ウェーハの裏面を研削するバックグラインド（裏面研削）が行われている。

【0004】

例えば、特許文献１には、表面に半導体素子が形成されたウェーハを個々のチップに分割する方法として、ＤＢＧ（Dicing Before Grinding）法と称されるダイシング方法が提案されている。ＤＢＧ法は、ウェーハの表面（半導体素子の形成面）側からダイシングラインに沿って所定の深さの切削溝を形成して、ウェーハの表面に保持用のテープを貼着した後、切削溝に到達するまでウェーハの裏面を研削することで個々のチップに分割する方法である。

【0005】

ところで、ウェーハの外周端部には、例えば断面形状が略円弧形状の面取部が形成されている。このため、ＤＢＧ法によってウェーハを薄く研削すると、面取部がナイフエッジのように鋭利となるので、ウェーハに割れを発生させる原因となる。そこで、特許文献２には、ウェーハの裏面を研削する前に、面取部の一部をブレードによって切削するエッジトリミング加工を実施することが提案されている。引用文献２のエッジトリミング加工によれば、接着剤を介してウェーハの表面にシートを貼着した後、一つのブレードを使用してシートと共に面取部の一部を切削している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平９－２１３６６２号公報

【特許文献2】特開２０１５－２１７４６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、特許文献２のウェーハ加工装置は、エッジトリミング加工中にシート（テープに相当）の接着剤がブレードに付着して目詰まりが発生するので、エッジトリミングの加工品質が低下するという問題があった。

【0008】

上記の目詰まりの問題は、ウェーハ専用の番手の大きいブレードによって接着剤（具体的には接着剤の層）を切削したことに原因がある。そこで、接着剤専用の番手の小さいブレードを準備しておき、このブレードでテープ及び接着剤層を切削した後、ウェーハ専用のブレードに交換してウェーハの面取部の一部を切削すれば、上記の目詰まりの問題を解消することができる。しかしながら、このように番手の異なる２種類のブレードを準備する上記の加工方法は、ブレードの交換に時間がかかるのでスループットが低下するという問題があった。

【0009】

このように従来の技術では、スループットを低下させることなく、エッジトリミングの加工品質の低下を防止することは困難であった。

【0010】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、エッジトリミングの加工品質の向上とスループットの向上を両立することができるテープ付きウェーハの加工装置及びその加工方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明のテープ付きウェーハの加工装置は、本発明の目的を達成するために、表面に平坦部及び平坦部の外周部に沿って形成された面取部を有するウェーハと、ウェーハの表面の全面に光硬化接着剤を介して貼着されるとともに、光硬化接着剤が硬化する波長の光を透過可能なテープと、を含むテープ付きウェーハに対し加工を行うテープ付きウェーハの加工装置において、中心軸を有し、テープ付きウェーハの裏面を保持するテーブルと、テーブルに対向して配置され、面取部に貼着されたテープに向けて光を照射する光照射手段と、テーブルに対向して配置され、光によって硬化した光硬化接着剤を含む面取部の一部を面取部に貼着されたテープと共に切削するブレードと、光照射手段とブレードとに対し、中心軸を中心としてテーブルを相対的に回転移動させる回転移動手段と、を備える。

【0012】

本発明のテープ付きウェーハの加工装置の一形態は、光の照射領域に配置され、光照射手段から平坦部に向かう光を遮蔽する遮蔽部材を備えることが好ましい。

【0013】

本発明のテープ付きウェーハの加工装置の一形態は、光硬化接着剤は、紫外線硬化接着剤であり、光照射手段は、紫外線照射手段であることが好ましい。

【0014】

本発明のテープ付きウェーハの加工方法は、本発明の目的を達成するために、表面に平坦部及び平坦部の外周部に沿って形成された面取部を有するウェーハと、ウェーハの表面の全面に光硬化接着剤を介して貼着されるとともに、光硬化接着剤が硬化する波長の光を透過可能なテープと、を含むテープ付きウェーハに対し加工を行うテープ付きウェーハの加工方法において、テープ付きウェーハの裏面を、中心軸を有するテーブルに保持するウェーハ保持工程と、テーブルとテーブルに対向して配置された光照射手段とを中心軸を中心に相対的に回転移動させながら、光照射手段からの光を面取部に貼着されたテープに向けて照射する光照射工程と、テーブルとテーブルに対向して配置されたブレードとを中心軸を中心に相対的に回転移動させながら、光によって硬化した光硬化接着剤を含む面取部の一部を面取部に貼着されたテープと共にブレードによって切削する切削工程と、を備える。

【0015】

本発明のテープ付きウェーハの加工方法の一形態は、光照射工程において、光照射手段から平坦部に向かう光を遮蔽部材によって遮蔽することが好ましい。

【0016】

本発明のテープ付きウェーハの加工方法の一形態は、光硬化接着剤は、紫外線硬化接着剤であり、光照射手段は、紫外線照射手段であることが好ましい。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、エッジトリミングの加工品質の向上とスループットの向上を両立することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】本発明が適用されたダイシング装置の斜視図

【図2】図１に示したダイシング装置の加工部の構造を示す斜視図

【図3】図２に示した加工部の要部平面図

【図4】紫外線硬化接着剤を介してテープが貼着されたウェーハの要部断面図

【図5】エッジトリミング加工方法を説明するためのフローチャート

【図6】エッジトリミング用のブレードがスピンドルに装着された加工部の平面図

【図7】ブレードの下降移動位置を示したウェーハの要部断面図

【図8】ウェーハの外周部にエッジトリミング部が形成されたウェーハの要部断面図

【図9】紫外光を一括照射した場合のトリミングラインを示した説明図

【図10】実施形態の加工装置によるトリミングラインを示した説明図

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、添付図面に従って本発明に係るテープ付きウェーハの加工装置及びその加工方法の好ましい実施形態について詳説する。

【0020】

図１は、本発明が適用されたダイシング装置１０の全体斜視図である。

【0021】

図１に示すダイシング装置１０は、一対のブレード１２Ａ、１２Ｂが対向して配置されたツインスピンドルダイサーと称されるダイシング装置である。このダイシング装置１０は、加工部２０を備えている。この加工部２０は、先端部にブレード１２Ａ、１２Ｂが装着された高周波モータ内蔵型の一対のスピンドル１４Ａ、１４Ｂと、円盤状のウェーハＷが搭載されてウェーハＷを吸着保持するチャックテーブル１６と、ウェーハＷの表面を観察するカメラ１８（図３参照）とを有している。

【0022】

また、ダイシング装置１０には、加工済みのウェーハＷをスピン洗浄する洗浄部２２と、複数枚のウェーハＷを収納したカセットが載置されるロードポート２４と、ウェーハＷを搬送する搬送装置２６とがそれぞれ所定の位置に配置される。更に、ダイシング装置１０には、ダイシング装置１０の各部の動作を制御する制御部２８が内蔵されている。

【0023】

図２は、加工部２０の構造を示す斜視図である。

【0024】

図２に示すように、加工部２０は、Ｘキャリッジ３０を備える。Ｘキャリッジ３０は、Ｘベース３２に設けられたＸガイド３４、３４によってガイドされ、リニアモータ３６によって矢印Ｘ－Ｘで示すＸ軸方向に駆動される。Ｘキャリッジ３０の上面にはθ方向に回転する回転テーブル３８が固定されている。この回転テーブル３８には、円盤状のチャックテーブル１６が設けられており、このチャックテーブル１６は、その中心軸１６Ａが回転テーブル３８の回転中心に合致された状態で回転テーブル３８に設けられている。よって、チャックテーブル１６は、Ｘキャリッジ３０によってＸ軸方向に移動され、かつ回転テーブル３８によってθ方向に回転される。なお、実施形態のチャックテーブル１６は、本発明の構成要素であるテーブルの一例であり、実施形態の回転テーブル３８は、本発明の構成要素である回転移動手段の一例である。

【0025】

加工部２０は、Ｘベース３２を跨ぐように門型に構成されたＹベース４０を備える。Ｙベース４０の壁面には、一対のＹキャリッジ４２Ａ、４２Ｂが設けられる。一対のＹキャリッジ４２Ａ、４２Ｂは、Ｙベース４０の壁面に固定されたＹガイド４４、４４によってガイドされ、図示しないモータとボールスクリューとからなる駆動装置によって矢印Ｙ－Ｙで示すＹ軸方向に駆動される。

【0026】

Ｙキャリッジ４２Ａ、４２Ａには、Ｚキャリッジ４６Ａ、４６Ｂが設けられる。Ｚキャリッジ４６Ａ、４６Ｂは、Ｙキャリッジ４２Ａ、４２Ｂに設けられた不図示のＺガイドにガイドされ、図示しないモータとボールスクリューとからなる駆動装置によって矢印Ｚ－Ｚで示すＺ軸方向に駆動される。Ｚキャリッジ４６Ａ、４６Ｂにはスピンドル１４Ａ、１４Ｂが互いに対向した状態で固定され、スピンドル１４Ａ、１４Ｂの先端部に装着されたブレード１２Ａ、１２Ｂが互いに対向して配置される。

【0027】

上記構成の加工部２０によれば、ブレード１２Ａ、１２ＢはＹキャリッジ４２Ａ、４２ＢによってＹ軸方向にインデックス送りされるとともに、Ｚキャリッジ４６Ａ、４６ＢによってＺ軸方向に切り込み送りされる。また、チャックテーブル１６は、前述の如く、Ｘキャリッジ３０によってＸ軸方向に切削送りされるとともに、チャックテーブル１６によってθ方向に回転される。このようにウェーハＷとブレード１２Ａ、１２Ｂとを相対的に移動させることにより、ウェーハＷの表面（半導体素子の形成面）にダイシングラインに沿った切削溝６５（図４参照：ハーフカット）が形成される。この切削溝６５は、ウェーハＷの厚さよりも浅い分離用の溝である。

【0028】

なお、前述のＸ軸方向とは水平方向における一つの方向を指し、Ｙ軸方向とは水平方向においてＸ軸方向に直交する方向を指す。また、Ｚ軸方向とはＸ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ直交する鉛直方向を指し、θ方向とは鉛直軸を中心軸とする回転方向を指す。

【0029】

上記の如くダイシング装置１０の本来の機能は、ウェーハＷの表面に形成されたダイシングラインを、高速回転するブレード１２Ａ、１２Ｂによって切削加工することにより、ウェーハＷの表面に分離用の切削溝を形成するものであるが、実施形態では、このダイシング装置１０を使用してウェーハＷの面取部の一部を切削するエッジトリミング加工を実施する。以下、エッジトリミング加工を実施するための構成について説明する。

【0030】

図３は、加工部２０の要部平面図である。

【0031】

図３に示すように、Ｚキャリッジ４６Ａには、Ｌ字状のアーム５２を介して紫外線照射装置５０が設けられている。この紫外線照射装置５０は、紫外光をスポット照射する出射部５４（図４参照）を有し、この出射部５４はチャックテーブル１６に対向して配置されている。なお、実施形態の紫外線照射装置５０は、本発明の構成要素である光照射手段の一例である。また、図３ではカメラ１８が示されており、このカメラ１８はＺキャリッジ４６Ｂに取り付けられている。このカメラ１８は、高倍率の顕微鏡５６及び低倍率の顕微鏡５８を備えている。

【0032】

ここで、ウェーハＷについて説明する。図４は、ウェーハＷの表面にバックグライディング用のテープ６０が紫外線硬化接着剤６２を介して貼着されたウェーハＷの要部断面図である。

【0033】

図３、図４に示すようにウェーハＷは、その表面に円形の平坦部６４と、平坦部６４の外周部に沿って形成された平面視リング状の面取部６６とを有する。平坦部６４は、半導体素子の形成面である。また、面取部６６は、図４の如く、断面形状が略円弧状に形成された面取面６８を有している。平坦部６４及び面取部６６を含むウェーハＷの表面の全面に、紫外線硬化接着剤６２を介してテープ６０が貼着されている。このテープ６０は、紫外線硬化接着剤６２が硬化する波長の光、すなわち、紫外光を透過可能なテープである。なお、ウェーハＷの表面の平坦部６４には、図２に示したブレード１２Ａ、１２Ｂによって複数本の切削溝６５が既に形成されている。

【0034】

紫外線照射装置５０には、遮蔽板７０が設けられている。遮蔽板７０は、出射部５４から出射される紫外光の照射領域に対し、ウェーハＷの平坦部６４と面取部６６との境界部にＺ軸方向に沿って配置されている。このような遮蔽板７０を備えることにより、出射部５４から出射された紫外光のうち平坦部６４に向かう紫外光が、遮蔽板７０によって遮蔽される。実施形態では、遮蔽板７０を紫外線照射装置５０に設けたが、これに限定されず、例えば、加工部２０を構成する構成部材に遮蔽板７０を設けてもよい。なお、実施形態の遮蔽板７０は、本発明の構成要素である遮蔽部材の一例である。

【0035】

次に、前記の如く構成された加工部２０によるエッジトリミング加工方法について、図５に示したフローチャートを参照して説明する。

【0036】

まず、Ｓ１０に示すウェーハ保持工程では、ウェーハＷの裏面をチャックテーブル１６に保持させる。このとき、チャックテーブル１６の中心軸１６Ａ（図３参照）に、円盤状のウェーハＷの中心が合致するようにウェーハＷをチャックテーブル１６に保持させることが好ましい。

【0037】

次に、Ｓ２０に示す紫外線照射装置の位置設定工程では、ウェーハＷの面取部６６に対する紫外線照射装置５０の位置を設定する。具体的には、紫外線照射装置５０の出射部５４から出射される紫外光が、チャックテーブル１６に保持されたウェーハＷの面取部６６に有効に照射されるように、チャックテーブル１６をＸ軸方向に移動させるとともに、Ｚキャリッジ４６ＡをＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させて、紫外線照射装置５０の位置を図３及び図４に示す位置に設定する。この時、遮蔽板７０は、図４の如く、ウェーハＷの平坦部６４と面取部６６との境界部にＺ軸方向に沿って配置される。なお、紫外線照射装置５０の位置は、あらかじめ設定された位置でも構わない。

【0038】

次に、Ｓ３０に示す照射工程では、チャックテーブル１６をその中心軸１６Ａを中心に回転移動させながら、出射部５４から紫外光を出射する。これにより、チャックテーブル１６の中心軸１６Ａを中心とする同心円上の面取部６６に、出射部５４からの紫外光が照射されるので、面取部６６の紫外線硬化接着剤６２は、面取部６６のテープ６０を透過した紫外光により硬化していき、所定の露光量に到達したところで完全に硬化する。

【0039】

ところで、Ｓ３０の光照射工程中は、出射部５４から出射された紫外光のうち平坦部６４に向かう紫外光が、遮蔽板７０によって遮蔽されているので、平坦部６４の紫外線硬化接着剤６２が紫外光によって硬化するのが防止されている。このように、平坦部６４の紫外線硬化接着剤６２の硬化を防止することにより、その紫外線硬化接着剤６２の接着力を維持することができる。したがって、エッジトリミング加工の後工程で実施される裏面研削工程中において、テープ６０が平坦部６４から剥離するのを防止することができる。これにより、安定した裏面研削を実施することができる。また、ウェーハＷの平坦部６４に紫外光を嫌うデバイスが形成されている場合には、このデバイスを紫外光から保護することができる。

【0040】

一方、紫外光の露光量は、一般的には「露光量（Ｈ）」＝「照度 ｌｘ （ルクス）」×「露光時間 s （秒）」であらわされるが、実施形態の加工方法では、紫外光の光量とチャックテーブル１６のθ軸速度の逆数と回転回数との積であらわされる。すなわち、実施形態の加工方法によれば、光量を小さくしたり、露光時間を短くしたりした場合でもチャックテーブル１６の回転回数を増やすことによって所定の露光量を得ることができる。これにより、紫外光による面取部６６の温度上昇を抑制することができるので、面取部６６から平坦部６４に与える温度の影響を抑えることができる。

【0041】

次に、Ｓ４０に示すブレード装着工程では、図３に示したスピンドル１４Ｂに、エッジトリミング用のブレード７２（図６参照）を装着する。

【0042】

次に、Ｓ５０に示すブレードの位置設定工程では、ウェーハＷの面取部６６に対するブレード７２の位置を設定する。具体的には、面取部６６の厚さ方向における面取部６６の一部が、面取部６６に貼着されたテープ６０と共にブレード７２によって切削されるように、チャックテーブル１６をＸ軸方向に移動させるとともに、Ｚキャリッジ４６ＢをＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させて、ブレード７２の位置を面取部６６の上方に設定する（図６参照）。なお、図６は、エッジトリミング用のブレード７２がスピンドル１４Ｂに装着された加工部２０の平面図である。ブレード７２の位置は、あらかじめ設定された位置でも構わない。

【0043】

次に、Ｓ６０に示す切削工程では、チャックテーブル１６をその中心軸１６Ａを中心に回転移動させながら、ブレード７２を面取部６６に向けて図７の二点鎖線で示す位置に下降移動することで、エッジトリミング加工を開始する。これにより、面取部６６の一部が面取部６６に貼着されたテープ６０と共にブレード７２によって切削されていき、しかも、面取部６６の紫外線硬化接着剤６２は紫外光によって硬化しているので、ブレード７２に紫外線硬化接着剤６２が目詰まりすることなく、ブレード７２によるエッジトリミング加工が円滑に行われていく。そして、チャックテーブル１６が１回転したところで、図８のウェーハの要部断面図の如く、ウェーハＷの外周部に安定した形状のエッジトリミング部７４が形成される。以上で、実施形態の加工部２０によるエッジトリミング加工が終了する。その後、前述した裏面研削工程が実施される。

【0044】

上記の裏面研削工程では、切削溝６５に到達するまでウェーハＷの裏面を研削する。このような裏面研削工程において、その前工程に実施形態の切削工程（Ｓ６０）を備えているので、面取部６６がナイフエッジのような鋭利とならず、これによって、ウェーハＷが割れるのを防止することができる。なお、裏面研削工程は公知であるので、その詳細な説明は省略する。

【0045】

このように実施形態によれば、ウェーハＷの裏面をチャックテーブル１６に保持し、チャックテーブル１６を、その中心軸１６Ａを中心に回転移動させながら、出射部５４からの紫外光を面取部６６に貼着されたテープ６０に向けて照射した後、チャックテーブル１６を、その中心軸１６Ａを中心に回転移動させながら、紫外光によって硬化した紫外線硬化接着剤６２を含む面取部６６の一部を面取部６６に貼着されたテープ６０と共にブレード７２によって切削するので、エッジトリミングの加工品質の向上とスループットの向上を両立することができる。

【0046】

なお、実施形態の加工方法では、Ｓ３０の光照射工程の後にＳ４０のブレード装着工程を実施したが、Ｓ４０のブレード装着工程は、少なくともＳ５０のブレードの位置設定工程よりも前で実施されていればよいので、例えば、Ｓ１０のウェーハ保持工程の前で実施してもよく、また、Ｓ１０のウェーハ保持工程とＳ２０の紫外線照射装置の位置設定工程との間で実施してもよい。

【0047】

一方、実施形態によれば、以下の効果も得ることができる。

【0048】

比較例として、ウェーハＷの平坦部６４にマスクを被覆し、このウェーハＷに対して紫外光を一括照射することで、面取部６６の紫外線硬化接着剤６２のみを予め硬化させたウェーハＷを準備する。そして、このウェーハＷをチャックテーブル１６に搭載する。このときに、図９の如く、ウェーハＷの中心ＷＣがチャックテーブル１６の中心軸１６Ａに対してずれた状態で、ウェーハＷがチャックテーブル１６に保持された場合、平面視リング形状の紫外光の照射領域の中心と、ブレード７２によるトリミング加工ライン（図９の一点鎖線Ａを参照）の中心（チャックテーブル１６の中心軸１６Ａと等価）とがずれるので、ブレード７２が紫外光の非照射領域（つまり、マスク）を切削する場合がある。そうするとブレード７２は、非硬化状態の紫外線硬化接着剤６２を切削するので、その紫外線硬化接着剤６２によって目詰まりが発生する。このような問題を解消するためには、紫外光の照射領域を大きくとる必要があるが、これはチップのイールドロス（収量低下）になるので採用することはできない。また、搬送装置２６の搬送精度を改善することも考えられるが、これは装置のコストアップにつながるので採用することは難しい。また、紫外線の照射領域がトリミング加工ラインＡの内側に残った場合、裏面研削工程においてテープ６０がウェーハＷから剥離する場合があるので、研削品質の低下やテープ６０とウェーハＷとの間に研削水が侵入することに起因してイールドが低下するおそれがある。

【0049】

これに対して、実施形態は、チャックテーブル１６にウェーハＷを保持し、チャックテーブル１６を回転させながら面取部６６に紫外光を照射して、面取部６６の紫外線硬化接着剤６２を硬化させた後、ウェーハＷをチャックテーブル１６に保持したままの状態で（すなわち、チャックテーブル１６とウェーハＷとの相対位置（保持位置）を変えることなく）、チャックテーブル１６を回転させながらブレード７２によってエッジトリミングを実施するものである。つまり、実施形態は、光照射工程（Ｓ３０：図５参照）時におけるチャックテーブル１６とウェーハＷとの相対位置と、切削工程（Ｓ６０：図５参照）時におけるチャックテーブル１６とウェーハＷとの相対位置とを不変であり、光照射工程と切削工程を同一のチャックテーブル１６でウェーハＷを保持した状態で行うものである。これにより、図１０の如く、ウェーハＷの中心ＷＣがチャックテーブル１６の中心軸１６Ａに対してずれている場合でも、紫外光の照射領域の中心とブレード７２によるトリミング加工ライン（図１０の一点鎖線Ｂを参照）の中心とが一致するので、ブレード７２は、紫外光の非照射領域を切削することなく、紫外光の照射領域のみを切削する。したがって、実施形態によれば、非硬化状態の紫外線硬化接着剤６２を切削することに起因するブレード７２の目詰まりを防止することができる。また、紫外光の照射領域は、チャックテーブル１６の中心軸１６Ａに対するウェーハＷの中心ＷＣのずれのみに依存するので、既存の搬送装置２６の搬送精度を改善することなく、安定したエッジトリミング加工を実施することができる。また、本実施形態では、紫外線の照射領域がトリミング加工ラインＡの内側に残らずに除去することが可能であるため、裏面研削工程においてテープ６０がウェーハＷから剥離することがない。よって、研削品質の低下やテープ６０とウェーハＷとの間に研削水が侵入することに起因するイールドの低下は発生しない。

【0050】

以上説明した実施形態では、光硬化接着剤として紫外線硬化接着剤６２を例示したが、これに限らず、例えば、可視光、近赤外光又は近紫外光で硬化される光硬化接着剤を適用することもできる。この場合、テープ６０は、可視光、近赤外光又は近紫外光の波長を透過するものとし、光照射手段は、可視光、近赤外光又は近紫外光を照射するものとする。

【0051】

また、実施形態では、チャックテーブル１６をその中心軸１６Ａを中心に回転移動させてエッジトリミング加工を実施したが、チャックテーブル１６を固定して、チャックテーブル１６の中心軸１６Ａを中心に紫外線照射装置５０とブレード７２を回転移動させてエッジトリミング加工を実施してもよい。

【0052】

また、実施形態では、遮蔽板７０を設けることにより、出射部５４から出射された紫外光のうち平坦部６４に向かう紫外光を遮蔽したが、出射部５４のように面取部６６に向けて紫外光をスポット照射するものの場合は、遮蔽板７０は必ずしも設ける必要はない。ただし、このような出射部５４であっても平坦部６４に向かう漏れ光も存在することを考慮すると、遮蔽板７０を設けることが好ましい。また、スポット照射ではなく拡散照射する形態の出射部の場合は、遮蔽板７０を設けることがより好ましい。

【符号の説明】

【0053】

Ｗ…ウェーハ、１０…ダイシング装置、１２Ａ、１２Ｂ…ブレード、１４Ａ、１４Ｂ…スピンドル、１６…チャックテーブル、１８…カメラ、２０…加工部、２２…洗浄部、２４…ロードポート、２６…搬送装置、２８…制御部、３０…Ｘキャリッジ、３２…Ｘベース、３４…Ｘガイド、３６…リニアモータ、３８…回転テーブル、４０…Ｙベース、４２…Ｙキャリッジ、４４…Ｙガイド、４６Ａ、４６Ｂ…Ｚキャリッジ、５０…紫外線照射装置、５２…アーム、５４…出射部、５６、５８…顕微鏡、６０…テープ、６２…紫外線硬化接着剤、６４…平坦部、６６…面取部、６８…面取面、７０…遮蔽板、７２…ブレード、７４…エッジトリミング部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】