特開 2022-173891 研削ホイール用治具及び研削ホイール用ケース

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022173891

(43)【公開日】2022-11-22

(54)【発明の名称】研削ホイール用治具及び研削ホイール用ケース

(51)【国際特許分類】

   B24B 45/00 20060101AFI20221115BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20221115BHJP

【ＦＩ】

B24B45/00 A

H01L21/304 631

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021079935

(22)【出願日】2021-05-10

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】前田 夕斗

(72)【発明者】

【氏名】中塚 敦

【テーマコード（参考）】

3C034

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C034AA08

3C034BB52

5F057AA35

5F057BA11

5F057CA11

5F057DA11

5F057EB30

(57)【要約】

【課題】マウントに研削ホイールを装着する際にマウントの下方からボルトを挿入可能な研削ホイール用治具を提供する。
【解決手段】円環状の基台の一面側に配置された環状の砥石部を有する研削ホイールを、スピンドルの下端部に取り付けられた円板状のマウントの下面側に装着する際に使用される、研削ホイール用治具であって、研削ホイール用治具は、環状の砥石部を収容する有底円筒状の砥石収容部と、砥石収容部の高さ方向において砥石収容部の底部とは反対側に位置しており、砥石収容部の外径よりも大きな外径を有し、基台の少なくとも一部を収容可能な円環状の基台収容部と、それぞれ、基台収容部の底部に設けられ、ボルトの頭部を収容可能である円筒状の複数のボルト収容部と、を備え、各ボルト収容部は、ボルトの頭部に締結工具を挿入可能な開口を底部に有する研削ホイール用治具を提供する。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

円環状の基台の一面側に配置された環状の砥石部を有する研削ホイールを、スピンドルの下端部に取り付けられた円板状のマウントの下面側に装着する際に使用される、研削ホイール用治具であって、
該研削ホイール用治具は、
該環状の砥石部を収容する有底円筒状の砥石収容部と、
該砥石収容部の高さ方向において該砥石収容部の底部とは反対側に位置しており、該砥石収容部の外径よりも大きな外径を有し、該基台の少なくとも一部を収容可能な円環状の基台収容部と、
それぞれ、該基台収容部の底部に設けられ、ボルトの頭部を収容可能である円筒状の複数のボルト収容部と、
を備え、
各ボルト収容部は、該ボルトの頭部に締結工具を挿入可能な開口を底部に有することを特徴とする研削ホイール用治具。

【請求項2】

該基台収容部の側部の内周側面は、該基台収容部に収容された該基台を該マウントの下面に接触させたときに、該マウントの外周側面と接触することを特徴とする請求項１に記載の研削ホイール用治具。

【請求項3】

円環状の基台の一面側に配置された環状の砥石部を有する研削ホイールを収容する研削ホイール用ケースであって、
該環状の砥石部を収容する有底円筒状の砥石収容部と、該砥石収容部の高さ方向において該砥石収容部の底部とは反対側に位置しており、該砥石収容部の外径よりも大きな外径を有し、該基台の少なくとも一部を収容可能な円環状の基台収容部と、それぞれ、該基台収容部の底部に設けられ、ボルトの頭部を収容可能である円筒状の複数のボルト収容部と、を備え、各ボルト収容部は、該ボルトの頭部に締結工具を挿入可能な開口を底部に有する研削ホイール用治具と、
該基台収容部の開口を塞ぐ蓋部と、
を備えることを特徴とする研削ホイール用ケース。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スピンドルの下端部に取り付けられた円板状のマウントの下面側に研削ホイールを装着する際に使用される研削ホイール用治具と、研削ホイールを収容する研削ホイールケースと、に関する。

【背景技術】

【0002】

シリコンウェーハ等の被加工物を研削する際には、研削装置が使用される。研削装置は、円柱状のスピンドルを含む研削ユニットを備える。スピンドルは、例えば鉛直方向に略平行に配置されており、スピンドルの下端部には、円板状のマウント（ホイールマウント）が固定されている。マウントの下面側には、円環状の研削ホイールが装着される。

【0003】

被加工物の裏面側（即ち、デバイスが形成されている表面とは反対側）の全体を研削する際に使用される通常の研削装置では、円環状の基台（ホイール基台）を有する通常の研削ホイールが、上述のマウントに装着される。

【0004】

マウントの外周部には、マウントの周方向に沿って複数の貫通穴が設けられており、通常の研削ホイールの基台の一面側（即ち、研削砥石が設けられている他面とは反対側）の外周部には、各貫通穴に対応する様に、基台の周方向に沿って複数のねじ穴が設けられている。

【0005】

通常の研削ホイールをマウントに装着する際には、マウントの上方からマウントの各貫通穴にボルトを挿入し、各ボルトの下端部を研削ホイールのねじ穴に締結する。また、研削ホイールからマウントを取り外す際には、マウントの上方から各ボルトを取り外す。

【0006】

この様な通常の研削ホイールをマウントに対して着脱する際には、研削砥石等を保護するために、研削ホイールの側部及び下部の全体を被覆可能な環状の凹部を有する治具を使用することが知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0007】

ところで、被加工物の表面側に設けられているデバイス領域に対応する被加工物の裏面側における円形の所定領域を研削するが、裏面側の外周部を研削せずに残すことで、円板状の凹部を裏面側に形成する、ＴＡＩＫＯ（登録商標）と称される研削が知られている。この研削を行う場合には、通常の研削装置とは異なる専用の研削装置が用いられる。

【0008】

当該専用の研削装置では、マウントの下面側の外周部に、マウントの周方向に沿って複数のねじ穴が設けられている。また、マウントに装着される研削ホイールの基台（ホイール基台）は、円環状のフランジを有し、フランジの下面側の外周部には、フランジの周方向に沿って複数の貫通穴が設けられている。

【0009】

フランジの下面側において、複数の貫通穴よりもフランジの中心側には、フランジと略同心状に、フランジよりも小径の円環状の砥石被装着部が固定されている。砥石被装着部の下面側には、基台の周方向に沿って各々セグメント状の複数の研削砥石が配置されている。

【0010】

この様な研削ホイールをマウントに装着する際には、まず、マウントの下方に研削ホイールを配置して、フランジの貫通穴と、マウントのねじ穴とを、位置合わせする。この状態で、フランジの下面側からマウントへボルトを挿入し、各ボルトをマウントのねじ穴に締結する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0011】

【特許文献1】特開２０１１－１２１１２８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0012】

しかし、通常の研削ホイール用の治具と同様に、研削ホイールの側部及び下部の全体を覆う治具を使用すると、マウントの下方から貫通穴及びねじ穴へボルトを挿入しようとしても、ボルトの挿入は治具により遮られる。

【0013】

一方で、治具を使用しない場合、作業者の手が研削砥石に触れて、作業者が怪我をする可能性や、工具の接触により研削砥石が損傷する可能性がある。また、研削砥石等に付着した研削屑が落下して研削装置の内部が汚染される可能性もある。

【0014】

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、マウントに研削ホイールを装着する際にマウントの下方からボルトを挿入可能な研削ホイール用治具を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0015】

本発明の一態様によれば、円環状の基台の一面側に配置された環状の砥石部を有する研削ホイールを、スピンドルの下端部に取り付けられた円板状のマウントの下面側に装着する際に使用される、研削ホイール用治具であって、該研削ホイール用治具は、該環状の砥石部を収容する有底円筒状の砥石収容部と、該砥石収容部の高さ方向において該砥石収容部の底部とは反対側に位置しており、該砥石収容部の外径よりも大きな外径を有し、該基台の少なくとも一部を収容可能な円環状の基台収容部と、それぞれ、該基台収容部の底部に設けられ、ボルトの頭部を収容可能である円筒状の複数のボルト収容部と、を備え、各ボルト収容部は、該ボルトの頭部に締結工具を挿入可能な開口を底部に有する研削ホイール用治具が提供される。

【0016】

好ましくは、該基台収容部の側部の内周側面は、該基台収容部に収容された該基台を該マウントの下面に接触させたときに、該マウントの外周側面と接触する。

【0017】

本発明の他の態様によれば、円環状の基台の一面側に配置された環状の砥石部を有する研削ホイールを収容する研削ホイール用ケースであって、該環状の砥石部を収容する有底円筒状の砥石収容部と、該砥石収容部の高さ方向において該砥石収容部の底部とは反対側に位置しており、該砥石収容部の外径よりも大きな外径を有し、該基台の少なくとも一部を収容可能な円環状の基台収容部と、それぞれ、該基台収容部の底部に設けられ、ボルトの頭部を収容可能である円筒状の複数のボルト収容部と、を備え、各ボルト収容部は、該ボルトの頭部に締結工具を挿入可能な開口を底部に有する研削ホイール用治具と、該基台収容部の開口を塞ぐ蓋部と、を備える研削ホイール用ケースが提供される。

【発明の効果】

【0018】

本発明の一態様に係る研削ホイール用治具は、環状の砥石部を収容する砥石収容部を有する。砥石収容部の高さ方向において、砥石収容部の底部とは反対側には、円環状の基台収容部が位置している。基台収容部は、砥石収容部の外径よりも大きな外径を有し、基台の少なくとも一部を収容可能である。

【0019】

この基台収容部の底部には、各々円筒状の複数のボルト収容部が設けられている。各ボルト収容部は、ボルトの頭部に締結工具を挿入可能な挿入穴を底部に有する。それゆえ、研削ホイールが研削ホイール用治具に収容された状態で、マウントの下方から基台の貫通穴にボルトを挿入し、マウントのねじ穴にボルトを締結することで、研削ホイールをマウントに装着できる。

【0020】

更に、砥石部が砥石収容部により収容されているので、着脱作業時において、作業者の砥石部への接触、工具による砥石部の損傷、砥石部や基台からの研削屑の落下等を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】研削ユニットの側面図である。

【図2】図２（Ａ）は被加工物の斜視図であり、図２（Ｂ）は研削後の被加工物の断面図である。

【図3】図３（Ａ）は治具の上部側の斜視図であり、図３（Ｂ）は図３（Ａ）の一点鎖線領域の拡大図である。

【図4】図４（Ａ）は治具の下部側の斜視図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の一点鎖線領域の拡大図である。

【図5】治具に収容された研削ホイールの下方斜視図である。

【図6】治具に収容された研削ホイールの上方斜視図である。

【図7】研削ホイールをマウントに装着する様子を示す一部断面側面図である。

【図8】ケースの一部断面側面図である。

【図9】第２の実施形態に係る治具の側面図である。

【図10】図１０（Ａ）はマウントの側面図であり、図１０（Ｂ）はマウントの一部断面側面図であり、図１０（Ｃ）はマウントの下面図である。

【図11】図１１（Ａ）は研削ホイールを上昇させた様子を示す図であり、図１１（Ｂ）は研削ホイールを回転させた様子を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、研削ホイール１０が装着される研削ユニット２について説明する。図１は、研削ユニット２の側面図である。なお、図１に示すＺ軸方向は、例えば、鉛直方向と平行である。

【0023】

研削ユニット２は、円板状の被加工物１１（図２（Ａ）参照）の裏面１１ｂ側を研削する際に使用される。図２（Ａ）は、被加工物１１の斜視図である。被加工物１１は、例えば、円板状のシリコンウェーハである。被加工物１１の表面１１ａ側には、複数の分割予定ライン１３が格子状に設定されている。

【0024】

複数の分割予定ライン１３で区画された各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイス１５が形成されている。複数のデバイス１５が形成されているデバイス領域１５ａの周囲には、デバイス１５が形成されておらず略平坦な外周余剰領域１５ｂが存在する。

【0025】

研削ユニット２は、デバイス領域１５ａに対応する被加工物１１の裏面１１ｂ側の円形領域を研削して凹部１１ｃ（図２（Ｂ）参照）を形成する際に使用される。図２（Ｂ）は、研削後の被加工物１１の断面図である。

【0026】

図１に戻って、研削ユニット２は、円筒状のスピンドルハウジング４を有する。スピンドルハウジング４は、ボールねじ式の研削送りユニット（不図示）によりＺ軸方向に沿って移動可能である。スピンドルハウジング４には、円柱状のスピンドル６の一部が回転可能に収容されている。

【0027】

スピンドル６の上端部には、モーター等の回転駆動源（不図示）が設けられている。スピンドル６の下端部６ａは、スピンドルハウジング４の底部よりも下方に突出しており、この下端部６ａには、円板状のマウント８の上面８ａ側の中央部が取り付けられている。

【0028】

マウント８の下面８ｂ側には、マウント８の周方向に沿って略等間隔に複数のねじ穴８ｃが設けられている。本実施形態では、マウント８の周方向に沿って４つのねじ穴８ｃが設けられている。但し、図１では、３つのねじ穴８ｃが示されている。

【0029】

マウント８の下面８ｂ側には、円環状の研削ホイール１０が装着される。研削ホイール１０は、アルミニウム合金、ステンレス鋼等の金属材料で形成されている。研削ホイール１０は、マウント８の外径と略同径の円環状のフランジ１２を有する。

【0030】

フランジ１２の外周部には、フランジ１２の上面１２ａから下面１２ｂまで貫通する複数の貫通穴１２ｃが形成されている。複数の貫通穴１２ｃは、フランジ１２の周方向に沿って略等間隔に離れている。

【0031】

本実施形態では、フランジ１２の周方向に沿って４つの貫通穴１２ｃが設けられている。但し、図１では、３つの貫通穴１２ｃが示されている。ねじ穴８ｃと貫通穴１２ｃとが一対一で対応する様に、フランジ１２をマウント８に配置した後、貫通穴１２ｃにはボルト１４の軸部１４ａが挿入され、ねじ穴８ｃには軸部１４ａが締結される。

【0032】

なお、貫通穴１２ｃの下面１２ｂ側には、ボルト１４の頭部１４ｂを収容可能な座ぐり部１２ｄが形成されている。本実施形態のボルト１４は、頭部１４ｂに六角穴が形成されている六角穴付きボルトである。また、軸部１４ａの外径は、５ｍｍである。

【0033】

フランジ１２の下面１２ｂ側において、フランジ１２の外周よりも内側には、フランジ１２と同じ金属材料で形成された円環状の砥石被装着部１６が固定されている。砥石被装着部１６は、フランジ１２よりも小さい外径を有しており、フランジ１２と略同心状に配置されている。

【0034】

砥石被装着部１６の上面１６ａ側は、フランジ１２の下面１２ｂ側に固定されている。本明細書では、砥石被装着部１６及びフランジ１２を併せて、基台（ホイール基台）１７と称する。

【0035】

砥石被装着部１６の下面（一面）１６ｂ側には、砥石被装着部１６の周方向に沿って環状に、各々セグメント状の複数の研削砥石（砥石部）１８が配置されている。なお、環状の砥石部は、１つの円環状（所謂、コンティニュアス型）の研削砥石であってもよい。

【0036】

マウント８に研削ホイール１０を装着する際には、図１に示す様に、まず、マウント８の下方に研削ホイール１０を配置して、フランジ１２の貫通穴１２ｃと、マウント８のねじ穴８ｃとを、位置合わせする。

【0037】

この状態で、フランジ１２の下面１２ｂ側から、貫通穴１２ｃにボルト１４を挿入し、各ボルト１４をマウント８のねじ穴８ｃに締結する。本実施形態では、マウント８に研削ホイール１０を装着する際に、マウント８の下方からボルト１４を挿入可能な治具（研削ホイール用治具）２０を使用する。

【0038】

図３（Ａ）は、治具２０の上部側の斜視図である。本実施形態の治具２０は、透光性を有する樹脂で形成されているが、治具２０は、透明な樹脂で形成されてもよく、透光性を有しない樹脂や他の材料で形成されてもよい。本実施形態の治具２０は、例えば、３Ｄプリンターで作成できるが、３Ｄプリンター以外の装置で作成してもよい。

【0039】

治具２０は、有底円筒状の砥石収容部２２を有する。本実施形態の砥石収容部２２の円筒の外径は、１０２ｍｍであり、治具２０の高さ方向２０ａ（即ち、基台収容部２４の高さ方向）における砥石収容部２２の長さは３７ｍｍである。

【0040】

砥石収容部２２は、各研削砥石１８の外周側面１８ａ及び下面１８ｂ（図１参照）の全体を覆うことで、複数の研削砥石１８を収容する。砥石収容部２２の底部２２ａ側には、砥石収容部２２の径方向の中心側に凹む態様で、略半円柱状の凹部２２ｂが形成されている。

【0041】

本実施形態では、砥石収容部２２の周方向に沿って略等間隔で４つの凹部２２ｂが形成されている。但し、凹部２２ｂの数は４つに限定されない。なお、研削ホイール１０が治具２０に収容された状態で、研削砥石１８の下面１８ｂは、凹部２２ｂの上面２２ｃに接しない（図６参照）。

【0042】

凹部２２ｂは、作業者が治具２０を手で持った際に、治具２０の取り扱いを容易にする目的で設けられている。例えば、凹部２２ｂにより、治具２０の移動や回転を行い易くなる。

【0043】

治具２０の高さ方向２０ａにおいて、底部２２ａとは反対側に位置する頂部には、砥石収容部２２の外径よりも大きな外径を有する円環状の基台収容部２４が連結されている。基台収容部２４は、砥石収容部２２の頂部の外側に接続している円環状の底部２４ａを有する。

【0044】

底部２４ａの外周部には、高さ方向２０ａに沿って突出する様に、円環状の側部２４ｂが設けられている。側部２４ｂ及び底部２４ａは、それぞれ砥石収容部２２と略同じ厚さを有する。

【0045】

基台収容部２４の頂部側は、開口２４ｃとなっている。本実施形態の基台収容部２４の外径は、１２４ｍｍであり、高さ方向２０ａにおける基台収容部２４の長さは２０ｍｍである。

【0046】

基台収容部２４の底部２４ａには、基台収容部２４の周方向に沿って略等間隔で、それぞれ円筒状の複数のボルト収容部２６が設けられている。本実施形態では、４つのボルト収容部２６が設けられているが、ボルト収容部２６の数は、ねじ穴８ｃの数に応じて適宜変更してよい。

【0047】

１つのボルト収容部２６は、治具２０を平面視した場合に、２つの凹部２２ｂの間に位置する。ボルト収容部２６は、ボルト１４の頭部１４ｂの外径と略同径の円柱状の凹部を含む。各ボルト収容部２６の底部２６ａは、基台収容部２４の底部２４ａよりも砥石収容部２２の底部２２ａ側に突出している。

【0048】

図３（Ｂ）に示す様に、頭部１４ｂがボルト収容部２６の底部２６ａで支持され、頭部１４ｂの全体がボルト収容部２６に収容されると、軸部１４ａは、ボルト収容部２６から高さ方向２０ａに突出する。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の一点鎖線領域の拡大図であり、ボルト収容部２６にボルト１４が収容された状態を示す。

【0049】

ボルト収容部２６の底部２６ａには、円形の開口２６ｂ（図４（Ａ）及び図４（Ｂ）参照）が形成されている。例えば、開口２６ｂを介して、ボルト１４の頭部１４ｂの六角穴には、六角レンチ（締結工具）３０（図７参照）が挿入される。

【0050】

本実施形態の頭部１４ｂには六角穴が形成されているが、頭部１４ｂには六角穴に代えて十字穴や四角穴が形成されている場合には、穴の形状に応じて締結工具は適宜選択される。

【0051】

図４（Ａ）は、治具２０の下部側の斜視図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の一点鎖線領域の拡大図である。なお、図４（Ｂ）では、便宜上、頭部１４ｂが底部２６ａに接した状態で、ボルト収容部２６に収容されたボルト１４を示している。

【0052】

治具２０には、各貫通穴１２ｃにボルト１４が挿入された状態で、研削ホイール１０が収容される。図５は、治具２０に収容された研削ホイール１０の下方斜視図である。

【0053】

図５に示す様に、研削ホイール１０が治具２０に収容されると、フランジ１２の下面１２ｂが、基台収容部２４の底部２４ａで支持され、ボルト１４の頭部１４ｂが、ボルト収容部２６の底部２６ａで支持される。

【0054】

このとき、図６に示す様に、フランジ１２の上面１２ａは、開口２４ｃから突出しない。また、フランジ１２の外周側面は、基台収容部２４の側部２４ｂの内周側面２４ｄ（図７参照）に接する。

【0055】

図６は、治具２０に収容された研削ホイール１０の上方斜視図である。なお、図６に示す様に、ボルト１４がボルト収容部２６に収容されたとき、ボルト１４の軸部１４ａは、上面１２ａから突出しない。

【0056】

次に、治具２０に収容された研削ホイール１０をマウント８に装着する手順について説明する。まず、作業者が治具２０を手に持ち、ねじ穴８ｃと貫通穴１２ｃとが一対一で対応する様に向きを調整した上で、治具２０を上昇させて、フランジ１２の上面１２ａをマウント８の下面８ｂに接触させる。

【0057】

このとき、側部２４ｂの内周側面２４ｄの上部が、マウント８の外周側面８ｄに接触するので、研削ホイール１０の回転中心と、マウント８の回転中心とを、容易に位置合わせできる。また、マウント８を側面視した状態でボルト収容部２６の位置をねじ穴８ｃに合わせることにより、ボルト１４とねじ穴８ｃとを容易に位置合わせできる。

【0058】

次いで、開口２６ｂに六角レンチ３０を挿入し、各ボルト１４をねじ穴８ｃに締結することで、研削ホイール１０をマウント８に装着する（図７参照）。図７は、研削ホイール１０をマウント８に装着する様子を示す一部断面側面図である。

【0059】

研削ホイール１０の装着後、治具２０を研削ホイール１０から取り外す。本実施形態では、研削ホイール１０が治具２０に収容された状態で、マウント８の下方から、ねじ穴８ｃにボルト１４を締結することで、研削ホイール１０をマウント８に装着できる。

【0060】

更に、複数の研削砥石１８が砥石収容部２２により収容されているので、研削ホイール１０の着脱作業時における、作業者の研削砥石１８への接触、工具による研削砥石１８の損傷、研削砥石１８や基台１７からの研削屑の落下等を防止できる。

【0061】

ところで、研削ホイール１０の取り外し時には、装着時と逆の手順を行う。即ち、治具２０を下方から研削ホイール１０に装着した状態で、各ボルト１４を取り外す。その後、研削ホイール１０が治具２０に収容された状態で、研削ホイール１０をマウント８から取り外す。

【0062】

マウント８から取り外された研削ホイール１０は、図８に示す様に、治具２０と、円板状の蓋部３２と、で構成されるケース（研削ホイール用ケース）３４に収容された状態で保管される。図８は、ケース３４の一部断面側面図である。

【0063】

本実施形態の蓋部３２は、治具２０と同じ材料で形成されているが、蓋部３２は治具２０と異なる材料で形成されていてもよい。蓋部３２は、内側に円板状の凹部３２ａを有する。

【0064】

凹部３２ａの径３２ｂは、基台収容部２４の側部２４ｂの外径と略同じであるので、蓋部３２は、基台収容部２４の開口２４ｃを塞ぐ様に、基台収容部２４の上部側に嵌合可能である。開口２４ｃを蓋部３２で塞ぐことで、研削ホイール１０と、複数のボルト１４と、をケース３４内に一体的に収容できる。

【0065】

凹部３２ａには、それぞれ樹脂で形成され各々円柱状の複数のスペーサ３２ｃが、蓋部３２の周方向に沿って配置されている。本実施形態では、４つのスペーサ３２ｃが蓋部３２の周方向に沿って略等間隔で配置されている。但し、図８では、３つのスペーサ３２ｃが示されている。

【0066】

各スペーサ３２ｃの高さ（厚さ）は、研削ホイール１０を治具２０に収容した場合の開口２４ｃから上面１２ａまでの深さ３６（図６参照）に対応する。本実施形態のスペーサ３２ｃの径は、スペーサ３２ｃが貫通穴１２ｃに嵌らない様に、フランジ１２の貫通穴１２ｃよりも大きい。

【0067】

スペーサ３２ｃを設けることで、ケース３４に収容された研削ホイール１０のケース３４内での移動を抑制できる。なお、円柱状のスペーサ３２ｃに代えて、１つのリング状のスペーサ（不図示）が蓋部３２と同心状に設けられてもよいし、複数の円弧状のスペーサ（不図示）が、蓋部３２の周方向に沿って設けられてもよい。

【0068】

ところで、研削ホイール１０には、被加工物１１の径に応じて複数の異なる径のものが存在する。また、研削ホイール１０の径に応じて、異なる径の治具２０が使用される。それゆえ、研削ホイール１０をマウント８に着脱する際にのみ治具２０を使用する場合には、研削ホイール１０の径に応じた治具２０をその都度探す必要が生じる場合がある。

【0069】

しかし、上述の様に、研削ホイール１０をケース３４内に収容すれば、蓋部３２を取り外すだけで、研削ホイール１０に応じた径を有する治具２０を使用してマウント８に研削ホイール１０を装着できるので、治具２０の管理が容易になるという利点がある。更に、ボルト１４の紛失を防止できるという利点もある。

【0070】

なお、蓋部３２の内周側面と、側部２４ｂの外周側面とには、回転により蓋部３２と基台収容部２４とを固定するための、スクリューキャップの様な係合機構（不図示）が設けられてもよい。また、係合機構に代えて、他の固定機構が設けられてもよい。

【0071】

次に、第２の実施形態について説明する。図９は、第２の実施形態に係る治具（研削ホイール用治具）４０の側面図である。以下では、治具４０と治具２０との相違点を主に説明する。

【0072】

治具４０のボルト収容部２６の凹部の深さは、第１の実施形態のボルト収容部２６に比べて浅い。それゆえ、第２の実施形態のボルト収容部２６に収容されたボルト１４は、その軸部１４ａの先端部が、フランジ１２の上面１２ａから突出する。

【0073】

基台収容部２４の側部２４ｂには、各々矩形状の複数の切り欠き２４ｅが形成されている。各切り欠き２４ｅは、ボルト収容部２６に対応する位置に配置されているので、作業者は、上面１２ａから突出する軸部１４ａの先端部を、治具４０の側方から視認できる。

【0074】

治具４０は、研削ホイール１０をマウント８に対して回転して装着する際に使用される。第２の実施形態で使用されるマウント８は、ねじ穴８ｃよりも下面８ｂ側に、ねじ穴８ｃと略同じ幅を有する円弧状の長溝８ｅを含む（図１０（Ａ）から図１０（Ｃ）参照）。

【0075】

図１０（Ａ）は第２の実施形態に係るマウント８の側面図であり、図１０（Ｂ）は第２の実施形態に係るマウント８の一部断面側面図であり、図１０（Ｃ）は第２の実施形態に係るマウント８の下面図である。

【0076】

外周側面８ｄのうち、長溝８ｅの一端部に対応する所定の位置には、マーク８ｆが付されている。マーク８ｆは、例えば、レーザー加工により刻印されている。長溝８ｅの他端部の上部には、上述のねじ穴８ｃが設けられている。

【0077】

このマウント８に対して、研削ホイール１０を装着する際には、作業者が、マーク８ｆとボルト１４の軸部１４ａの先端とが対応する様に、研削ホイール１０を収容した治具４０の向きを調整すると共に、治具４０を上昇させる。

【0078】

図１１（Ａ）は、フランジ１２の上面１２ａがマウント８の下面８ｂに接する様に、研削ホイール１０をマウント８に対して上昇させた様子を示す図である。なお、このとき、治具４０を使用するが、図１１（Ａ）では、便宜上、治具４０を省略している。

【0079】

研削ホイール１０を上昇させる際には、治具４０における側部２４ｂの内周側面２４ｄの上部が、マウント８の外周側面８ｄに接触するので、研削ホイール１０の回転中心と、マウント８の回転中心とを、容易に位置合わせできる。

【0080】

上面１２ａが下面８ｂに接触すると、軸部１４ａが長溝８ｅに嵌合する。その後、図１１（Ｂ）に示す様に、治具４０と共に研削ホイール１０を所定方向に回転させて、ボルト１４をねじ穴８ｃの下方に配置する。

【0081】

図１１（Ｂ）は、ボルト１４がねじ穴８ｃの直下に位置するまで研削ホイール１０をマウント８に対して回転させた様子を示す図である。なお、図１１（Ｂ）でも、便宜上、治具４０を省略している。研削ホイール１０を回転させた後、図７と同様に、六角レンチ３０を用いて、各ボルト１４をねじ穴８ｃに締結する。

【0082】

第２の実施形態でも、研削ホイール１０が治具４０に収容された状態で、マウント８の下方から、マウント８のねじ穴８ｃにボルト１４を締結することで、研削ホイール１０をマウント８に装着できる。

【0083】

更に、複数の研削砥石１８が砥石収容部２２により収容されているので、研削ホイール１０の着脱作業時における、作業者の研削砥石１８への接触、工具による研削砥石１８の損傷、研削砥石１８や基台１７からの研削屑の落下等を防止できる。

【0084】

その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、第２の実施形態の治具４０と、蓋部３２とにより、研削ホイール１０用のケースを構成することもできる。

【符号の説明】

【0085】

２：研削ユニット、４：スピンドルハウジング、６：スピンドル、６ａ：下端部
８：マウント、８ａ：上面、８ｂ：下面、８ｃ：ねじ穴、８ｄ：外周側面
８ｅ：長溝、８ｆ：マーク、１０：研削ホイール
１１：被加工物、１１ａ：表面、１１ｂ：裏面、１１ｃ：凹部
１２：フランジ、１２ａ：上面、１２ｂ：下面、１２ｃ：貫通穴、１２ｄ：座ぐり部
１３：分割予定ライン
１４：ボルト、１４ａ：軸部、１４ｂ：頭部
１５：デバイス、１５ａ：デバイス領域、１５ｂ：外周余剰領域
１６：砥石被装着部、１６ａ：上面、１６ｂ：下面（一面）
１７：基台、１８：研削砥石、１８ａ：外周側面、１８ｂ：下面
２０、４０：治具（研削ホイール用治具）、２０ａ：高さ方向
２２：砥石収容部、２２ａ：底部、２２ｂ：凹部、２２ｃ：上面
２４：基台収容部、２４ａ：底部、２４ｂ：側部、２４ｃ：開口、２４ｄ：内周側面
２４ｅ：切り欠き
２６：ボルト収容部、２６ａ：底部、２６ｂ：開口、３０：六角レンチ（締結工具）
３２：蓋部、３２ａ：凹部、３２ｂ：径、３２ｃ：スペーサ
３４：ケース（研削ホイール用ケース）、３６：深さ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】