特開 2022-174549 切削装置、及び、マウントフランジの修正方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022174549

(43)【公開日】2022-11-24

(54)【発明の名称】切削装置、及び、マウントフランジの修正方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 27/06 20060101AFI20221116BHJP

   B24B 7/04 20060101ALI20221116BHJP

   B24B 49/12 20060101ALI20221116BHJP

   B24B 45/00 20060101ALI20221116BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20221116BHJP

【ＦＩ】

B24B27/06 M

B24B7/04 Z

B24B49/12

B24B45/00 A

H01L21/78 F

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021080424

(22)【出願日】2021-05-11

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100142804

【弁理士】

【氏名又は名称】大上 寛

(72)【発明者】

【氏名】寺田 一貴

【テーマコード（参考）】

3C034

3C043

3C158

5F063

【Ｆターム（参考）】

3C034AA19

3C034BB52

3C034CA09

3C034CA22

3C034CB20

3C034DD18

3C043BA03

3C043CC02

3C043DD01

3C043DD05

3C158AA03

3C158AB04

3C158AC02

3C158AC05

3C158BA09

3C158BC02

3C158BC03

3C158CB03

3C158CB06

3C158DA17

5F063AA23

5F063CA04

5F063DD03

5F063DD22

(57)【要約】      （修正有）

【課題】マウントフランジの切削ブレード等に対する当接面の修正に要する工程や手間を削減することを可能とする新規な技術を提供する。
【解決手段】切削ブレードの状態を検出するブレード検出ユニットを備えた切削装置であって、ブレード検出ユニットは、切削ブレードが挿入される間隔を有して互いに対向して配設された発光部と受光部とを有する検出部とを選択的に覆うカバーと、検出部を露出させる開位置と検出部を覆う閉位置とにカバーを位置づける開閉駆動ユニットとを有し、切削装置は、カバーに付設され、切削ブレードが取り外されてスピンドル２３の先端に固定された状態のマウントフランジ２４の修正を行う修正具８０を備え、カバーが開位置に位置づけられることで、修正具８０がマウントフランジ２４を修正するための修正位置に位置づけられるとともに、カバーが閉位置に位置づけられることで、修正具８０が退避位置に位置づけられる、切削装置とする。
【選択図】図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持する保持ユニットと、該保持ユニットで保持された被加工物を切削する切削ブレードがスピンドルに着脱自在に固定される切削ユニットと、該切削ブレードの状態を検出するブレード検出ユニットと、を備えた切削装置であって、
該切削ブレードは、該スピンドル先端に固定されたマウントフランジと、固定具と、の間に固定され、
該ブレード検出ユニットは、
該切削ブレードが挿入される間隔を有して互いに対向して配設された発光部と受光部とを有する検出部と、
該検出部を選択的に覆うカバーと、
該検出部を露出させる開位置と該検出部を覆う閉位置とに該カバーを位置づける開閉駆動ユニットと、を有し、
該切削装置は、
該カバーに付設され、該固定具と該切削ブレードとが取り外されて該スピンドルの先端に固定された状態の該マウントフランジの修正を行う修正具を備え、
該カバーが該開位置に位置づけられることで、該修正具が該マウントフランジを修正するための修正位置に位置づけられるとともに、該カバーが該閉位置に位置づけられることで、該修正具が退避位置に位置づけられる、切削装置。

【請求項2】

該修正具は、
マウントフランジの回転軸に対し垂直な第一面を研磨するための第一研磨面と、
マウントフランジの回転軸に対し平行な第二面を研磨するための第二研磨面と、
を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の切削装置。

【請求項3】

該スピンドルの先端に固定された該切削ブレードを交換するブレード交換ユニットと、
少なくとも該ブレード交換ユニットと該開閉駆動ユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、所定のタイミングで該開閉駆動ユニットを制御して修正具を該修正位置に位置づけ、該マウントフランジの修正を行うように制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の切削装置。

【請求項4】

請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の切削装置において該マウントフランジの修正を行う修正方法であって、
該マウントフランジを修正する該修正位置に該修正具を位置づける位置づけステップと、
該マウントフランジが固定された該スピンドルを回転させるスピンドル回転ステップと、
回転する該マウントフランジに該修正具を当接させて該マウントフランジを修正する修正ステップと、を備えたマウントフランジの修正方法。

【請求項5】

該マウントフランジは、
該マウントフランジの回転軸に対し垂直な第一面であって、
該切削ブレードがハブブレードである場合のハブ基台の後面、
又は、
該切削ブレードがワッシャーブレードである場合の切り刃の後面、
に当接するための第一面となる環状端面を有し、
該修正ステップでは、該修正具を該環状端面に当接させる、ことを含む、
ことを特徴とする、請求項４に記載のマウントフランジの修正方法。

【請求項6】

該マウントフランジは、
該マウントフランジの回転軸に対し平行な第二面であって、
該切削ブレードがハブブレードである場合のハブ基台の嵌合孔の内周部、
又は、
該切削ブレードがワッシャーブレードである場合の該固定具の前フランジ部の嵌合孔の内周部、
と嵌合するための第二面となるボス外周面を有し、
該修正ステップでは、該修正具を該ボス外周面に当接させる、ことを含む、
ことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のマウントフランジの修正方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、切削ブレードを備える切削装置、及び、切削ブレードを固定するためのマウントフランジの修正方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ダイヤモンド等の砥粒をボンド材で結合した砥石からなる切削ブレードは、被加工物の切削に伴って摩耗する。摩耗した切削ブレードは新品の切削ブレードに交換できるように、切削装置のスピンドル先端に着脱自在に固定される。

【0003】

切削ブレードは二種類が存在する。一つは、ハブ基台とハブ基台の外周縁に形成された砥石とからなるハブブレードである。ハブブレードは、固定具である固定ナットと、マウントフランジと、で挟持された状態でスピンドルに固定される。もう一つは、リング状の砥石からなるワッシャーブレードである。ワッシャーブレードは、前フランジと固定ナットの組み合わせからなる固定具と、マウントフランジと、で挟持された状態でスピンドルに固定される。

【0004】

スピンドルの軸心に対し、切削ブレードが傾斜して固定されると、回転中に砥石部分がばたつき高精度な加工が施せないことになる。このため、マウントフランジにおいて、切削ブレード、前フランジ等に対する当接面は平坦化されている。

【0005】

しかし、切削中に切削ブレードが空転した場合や破損した場合には、切削ブレードの取り付け時において、この当接面が損傷して平坦面ではなくなってしまう場合がある。

【0006】

このような問題に鑑み、例えば、特許文献１に開示されるように、マウントフランジにおいて当接面となる環状端面を端面修正用治具にて修正し、環状端面を平坦化するための技術が知られている

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開平８－３３９９７７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

特許文献１に開示されるような従来技術では、切削装置において被加工物を保持する保持テーブルを治具保持用のテーブルに交換し、テーブルで端面修正治具を保持することで、マウントフランジの当接面を修正するものであった。そして、当接面の修正後には、治具保持用のテーブルを交換して再び保持テーブルに戻し、切削ブレードを取り付けることで被加工物の加工を再開するものであった。

【0009】

しかし、上述した従来の修正の方法では、マウントフランジの当接面となる環状端面の修正に多くの工程と手間を要しており、改善が切望されていた。

【0010】

本発明は以上の問題に鑑み、マウントフランジの切削ブレード等に対する当接面の修正に要する工程や手間を削減することを可能とする新規な技術を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0011】

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

【0012】

本発明の一態様によれば、
被加工物を保持する保持ユニットと、該保持ユニットで保持された被加工物を切削する切削ブレードがスピンドルに着脱自在に固定される切削ユニットと、該切削ブレードの状態を検出するブレード検出ユニットと、を備えた切削装置であって、
該切削ブレードは、該スピンドル先端に固定されたマウントフランジと、固定具と、の間に固定され、
該ブレード検出ユニットは、
該切削ブレードが挿入される間隔を有して互いに対向して配設された発光部と受光部とを有する検出部と、
該検出部を選択的に覆うカバーと、
該検出部を露出させる開位置と該検出部を覆う閉位置とに該カバーを位置づける開閉駆動ユニットと、を有し、
該切削装置は、
該カバーに付設され、該固定具と該切削ブレードとが取り外されて該スピンドルの先端に固定された状態の該マウントフランジの修正を行う修正具を備え、
該カバーが該開位置に位置づけられることで、該修正具が該マウントフランジを修正するための修正位置に位置づけられるとともに、該カバーが該閉位置に位置づけられることで、該修正具が退避位置に位置づけられる、切削装置とする。

【0013】

また、本発明の一態様によれば、
該修正具は、
マウントフランジの回転軸に対し垂直な第一面を研磨するための第一研磨面と、
マウントフランジの回転軸に対し平行な第二面を研磨するための第二研磨面と、
を有する、切削装置とする。

【0014】

また、本発明の一態様によれば、
該スピンドルの先端に固定された該切削ブレードを交換するブレード交換ユニットと、
少なくとも該ブレード交換ユニットと該開閉駆動ユニットとを制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、所定のタイミングで該開閉駆動ユニットを制御して修正具を該修正位置に位置づけ、該マウントフランジの修正を行うように制御する、
切削装置とする。

【0015】

また、本発明の一態様によれば、
上記切削装置において該マウントフランジの修正を行う修正方法であって、
該マウントフランジを修正する該修正位置に該修正具を位置づける位置づけステップと、
該マウントフランジが固定された該スピンドルを回転させるスピンドル回転ステップと、
回転する該マウントフランジに該修正具を当接させて該マウントフランジを修正する修正ステップと、を備えたマウントフランジの修正方法とする。

【0016】

また、本発明の一態様によれば、
該マウントフランジは、
該マウントフランジの回転軸に対し垂直な第一面であって、
該切削ブレードがハブブレードである場合のハブ基台の後面、
又は、
該切削ブレードがワッシャーブレードである場合の切り刃の後面、
に当接するための第一面となる環状端面を有し、
該修正ステップでは、該修正具を該環状端面に当接させる、ことを含む、
マウントフランジの修正方法とする。

【0017】

また、本発明の一態様によれば、
該マウントフランジは、
該マウントフランジの回転軸に対し平行な第二面であって、
該切削ブレードがハブブレードである場合のハブ基台の嵌合孔の内周部、
又は、
該切削ブレードがワッシャーブレードである場合の該固定具の前フランジ部の嵌合孔の内周部、
と嵌合するための第二面となるボス外周面を有し、
該修正ステップでは、該修正具を該ボス外周面に当接させる、ことを含む、
マウントフランジの修正方法とする。

【発明の効果】

【0018】

本発明によれば、修正具と、修正具をマウントフランジを修正する修正位置と、退避位置とに移動させる開閉駆動ユニットと、を備えることで、必要に応じマウントフランジの必要箇所を平坦化することが可能となる。このため、従来のように、治具保持用のテーブルに交換する必要がなくなり、マウントフランジの必要箇所の平坦化を短時間で行うことができる。また、切削装置内の切削ユニットが配置される加工室に作業者が手を入れる必要がないため、高い安全性が担保できるとともに、加工室内の汚れが加工室外に出ることを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】切削ユニットを備える切削装置について示す図である。

【図2】被加工物の一例について示す図である。

【図3】切削ブレードを自動で交換するためのブレード交換ユニット等について示す図である。

【図4】ハブブレードとして構成される切削ブレードの構成について示す図である。

【図5】ワッシャーブレードとして構成される切削ブレードの構成について示す図である。

【図6】（Ａ）はブレード検出ユニットのカバーを開いた状態について示す図。（Ｂ）はブレード検出ユニットのカバーを閉じた状態について示す図。

【図7】修正方法のフローチャートについて示す図。

【図8】（Ａ）は修正具を修正位置に位置づけた状態について示す図。（Ｂ）は修正具を退避位置に位置づけた状態について示す図。

【図9】（Ａ）はマウントフランジの環状端面の修正を行う状態について一方向から見た図である。（Ｂ）はマウントフランジの環状端面の修正を行う状態について他方向から見た図である。

【図10】（Ａ）はマウントフランジのボス外周面の修正を行う状態について一方向から見た図である。（Ｂ）はマウントフランジのボス外周面の修正を行う状態について他方向から見た図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

本発明を実施するための実施形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。
図１は、切削ブレードを自動で交換するためのブレード交換ユニット３を備える切削装置１の構成例について示すものである。

【0021】

図１に示すように、切削装置１は、装置基台６を有し、装置基台６に設けられる各種機構がコントローラ４によって制御され、図２に示す被加工物Ｗを切削加工する装置として構成される。

【0022】

図２に示すように、被加工物Ｗは、例えばシリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等のウェーハである。被加工物Ｗは、表面Ｗａに格子状に設定された複数の分割予定ラインＳによって格子状に区画された領域にデバイスＤが形成されている。なお、被加工物Ｗは、上記の例に限定されるものではない。

【0023】

図２において、被加工物Ｗは粘着テープＴに貼着され、また、被加工物Ｗを取り囲むように環状フレームＦが粘着テープＴに貼着され、被加工物Ｗと環状フレームＦが一体化したウェーハユニットＵが構成される。このウェーハユニットＵがウェーハカセット４２（図１）に収容される。

【0024】

図１に示すように、切削装置１は、保持ユニット１０をＸ軸方向に加工送りする図示せぬＸ軸移動ユニットと、切削ユニット２０をＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニットＵｙと、切削ユニット２０をＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニットＵｚと、を備える。また、保持ユニット１０は、吸引保持面を構成する保持テーブルにて構成され、図示せぬ回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられる。

【0025】

図１に示すように、切削装置１は、被加工物Ｗ（図２）を切削する切削ユニット２０と、自動で切削ブレード２１を交換するブレード交換ユニット３と、を備える。図１の構成では、切削ユニット２０を２つ備える構成として、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置として構成される。

【0026】

図１に示すように、被加工物を撮像するための撮像ユニット３０が、各切削ユニット２０と一体的に移動するように設けられる。

【0027】

図１に示すように、２つの切削ユニット２０は、それぞれ、門型の支持フレーム５に設けられるＹ軸移動ユニットＵｙ及びＺ軸移動ユニットＵｚにより、保持ユニット１０に対するＹ軸方向、及び、Ｚ軸方向において、相対移動可能に構成されている。

【0028】

図１に示すように、切削装置１は、切削前後の被加工物を収容するウェーハカセット４２を昇降可能に支持するカセットエレベータ４１と、切削後の被加工物を洗浄する洗浄ユニット４４と、ウェーハカセット４２に被加工物を出し入れするとともに被加工物を搬送する搬送手段である搬送ユニット４６とを備える。

【0029】

図１及び図３に示すように、切削装置１は、切削ブレードを自動で交換するためのブレード交換ユニット３を備える。図３に示すように、ブレード交換ユニット３は、切削ブレード２１に対向する位置に移動し、ブレード固定ナット２６を回転させて締結／取外しをするためのナットホルダ３２と、切削ブレード２１を着脱するためのブレードホルダ３４と、を有して構成される。

【0030】

図４に示すように、切削ユニット２０は、Ｚ軸移動ユニットＵｚのＺ軸移動プレート１９（図１）の下部に固定されるスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２から突出し図示せぬモータにより回転駆動されるスピンドル２３と、スピンドル２３の先端部に装着されるマウントフランジ２４とを備える。

【0031】

切削ユニット２０は、マウントフランジ２４をスピンドル２３の先端部に固定するマウント固定ボルト２５と、マウントフランジ２４に装着される切削ブレード２１と、切削ブレード２１をマウントフランジ２４との間で挟んで固定するための固定具であるブレード固定ナット２６とを備える。

【0032】

マウントフランジ２４は、円筒状のボス部２４１と、ボス部２４１のスピンドルハウジング２２側の一端部に設けられたフランジ部２４２とを備えている。フランジ部２４２には、ボス部２４１の外径より大径の円環状に形成され、切削ブレード２１のハブ基台２１２の後面に当接するための環状端面２４４が形成される。マウントフランジ２４のボス部２４１の他端部の外周には、雄ネジ２４３が形成される。

【0033】

図４に示す切削ブレード２１は、いわゆるハブブレードとして構成されるものであり、アルミニウム合金等の金属で構成された円環状のハブ基台２１２と、ハブ基台２１２の外周を囲むように形成される円環状の切り刃２１３を備える。ハブ基台２１２には、マウントフランジ２４のボス部２４１に装着するための嵌合孔２１４が中央に設けられる。嵌合孔２１４は、内側にマウントフランジ２４のボス部２４１が貫挿される。切り刃２１３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Ｃｕｂｉｃ Ｂｏｒｏｎ Ｎｉｔｒｉｄｅ）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。

【0034】

切削ブレード２１は、ハブ基台２１２の嵌合孔２１４をマウントフランジ２４の円筒状のボス部２４１のボス外周面２４６に嵌合させた状態とし、ブレード固定ナット２６をボス部２４１の雄ネジ２４３に締結することで、マウントフランジ２４に固定される。この状態で、切削ブレード２１は、ブレード固定ナット２６とマウントフランジ２４の間で挟持され、ハブ基台２１２の後面は、マウントフランジ２４に形成される環状端面２４４に当接して支持される。

【0035】

切削ブレード２１の固定具となるブレード固定ナット２６の端面には、ブレード交換ユニット３のナットホルダ３２（図３）の図示せぬ係合部と係合するための４個のピン係合孔２６１がそれぞれ９０度の間隔を開けて設けられる。また、ブレード固定ナット２６は円環状に構成され、外周面には環状の係合溝２６２が形成される。

【0036】

切削ブレード２１を装着した状態において、スピンドル２３、マウントフランジ２４、切削ブレード２１の軸心は同軸上に配置され、Ｙ軸方向と平行となる。

【0037】

また、以上の構成において、マウントフランジ２４は、マウントフランジ２４の回転軸に対し垂直な第一面であって、切削ブレード２１のハブ基台２１２の後面に当接するための第一面となる環状端面２４４を有する構成となる。

【0038】

また、マウントフランジ２４は、マウントフランジ２４の回転軸に対し平行な第二面であって、切削ブレード２１のハブ基台２１２の嵌合孔２１４の内周部と嵌合するための第二面となるボス外周面２４６を有する構成となる。

【0039】

図５は、リング状の砥石からなるワッシャーブレードとして構成される切削ブレード２１Ａを備える切削ユニット２０Ａの構成例である。切削ブレード２１Ａは、ブレード固定ナット２６と前フランジ２７の組み合わせからなる固定具と、マウントフランジ２４との間で挟持される。その他の構成は、図４の構成と同様である。

【0040】

図５に示すように、切削ブレード２１Ａがワッシャーブレードで構成される場合には、切削ブレード２１Ａの後面が、マウントフランジ２４の環状端面２４４に当接し、前フランジ２７の嵌合孔２７４がボス外周面２４６に嵌合する。

【0041】

図１に示すように、切削ユニット２０の切削ブレード２１を位置づけ可能な位置には、ブレード検出ユニット６０が配置される。図３に示すように、ブレード検出ユニット６０は、切削ブレード２１の状態を検出するものであり、具体的には、切り刃２１３のＺ方向位置の位置や摩耗状態を検出するためのものである。

【0042】

図６（Ａ）に示すように、ブレード検出ユニット６０は、直方体状の検出台６１を有しており、この検出台６１の上面には、切削ブレード２１が挿入される間隔を有して互いに対向して配設された発光部６３と受光部６４とを有する検出部６２が設けられている。本実施例では、ブレード挿入溝６６を形成し、ブレード挿入溝６６の両側の壁部６６ａ，６６ｂの互いの対向面に、それぞれ発光部６３と受光部６４が設けられる。

【0043】

検出部６２には、発光部６３と受光部６４に向けて洗浄水やエアーを供給するための洗浄ノズル６５ａ，６５ｂが設けられる。

【0044】

検出台６１において、ブレード挿入溝６６が形成される側の反対側には、開閉駆動ユニット６８（カバー開閉ユニット）により開閉し、検出部６２を選択的に覆うカバー６７が設けられる。開閉駆動ユニット６８は、ブレード検出時には、図６（Ａ）に示すように、検出部６２を露出させる開位置にカバー６７を位置づけ、ブレード検出を行わないときには、図６（Ｂ）に示すように、検出部６２を覆う閉位置にカバー６７を位置付ける。

【0045】

以上の構成とするブレード検出ユニット６０では、図３に示すように、切削ブレード２１をブレード挿入溝６６に挿入するとともに、発光部６３（図６（Ａ））にて発光される光を受光部６４（図６（Ａ））で受光し、受光量に基づいて切削ブレード２１の上下方向（Ｚ軸方向）の位置の検出が行われる。

【0046】

図３に示すように、新品の切削ブレード２１を装着した際には、ブレード挿入溝６６に切削ブレード２１を上側から進入させ、切削ブレード２１の切り刃２１３の刃先が光を遮ることで受光量の低下が開始したときの切削ブレード２１のＺ方向位置が検出され、このＺ方向位置が基準位置として記憶される。この作業は、非接触セットアップ作業と称される。

【0047】

その後、切削ブレード２１が摩耗した後に再度非接触セットアップ作業を実施し、受光量の低下が開始したときの切削ブレード２１のＺ方向位置を検出することで、摩耗量が検出される。また、この際に検出した切削ブレード２１のＺ方向位置に基づき、切削ブレード２１の切り込み高さ位置（Ｚ方向位置）を検出したり、制御することができる。

【0048】

図６（Ａ）（Ｂ）に示すように、ブレード検出ユニット６０の検出部６２を覆うカバー６７には、切削ブレードが取り外されてスピンドル２３（図８（Ａ））の先端に固定された状態のマウントフランジ２４（図８（Ａ））の修正を行う修正具８０が設けられる。

【0049】

本実施例の修正具８０は、略Ｌ字型のアーム８２の先端に研磨部材８４を設けてなる構成としている。アーム８２の後端は、カバー６７の側面に付設されることで、カバー６７の開閉とともに回動する。カバー６７に付設する構成とすることで、修正具８０を移動させるための他の装置を設けることが不要となり、装置構成の簡素化が図られる。

【0050】

研磨部材８４は、例えば、５ミクロン以下の砥粒と金属を含んでなるブロック状の砥石にて構成され、導電性を有する構成とする。研磨部材８４は、ブロック状の砥石とする他、表面を導電性を有した研磨シートで覆って構成することとしてもよい。

【0051】

研磨部材８４は、導電性を有することで、図９（Ａ）（Ｂ）、及び、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、マウントフランジ２４との接触を導通により検出することが可能となる。なお、研磨部材８４は導電性を有しないものとしてもよく、その場合には、例えば、研磨部材８４がマウントフランジ２４に接触したときのスピンドルの回転数や負荷電流値が変化することを利用して、接触を検出する構成とすることができる。

【0052】

研磨部材８４は、図９（Ａ）（Ｂ）、及び、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、マウントフランジ２４の回転軸に対し垂直な第一面となる環状端面２４４を研磨するための第一研磨面８４ａと、マウントフランジ２４の回転軸に対し平行な第二面となるボス外周面２４６を研磨するための第二研磨面８４ｂと、を有し、マウントフランジ２４の高さに応じ、マウントフランジ２４の異なる二箇所を研磨して修正（平坦化）することができるように構成される。

【0053】

図６（Ａ）及び図８（Ａ）に示すように、カバー６７が開かれて開位置に位置づけられることで、修正具８０はマウントフランジ２４を修正するための修正位置に位置づけられ、研磨部材８４が上側に配置される。

【0054】

図６（Ｂ）及び図８（Ｂ）に示すように、カバー６７が閉じられて閉位置に位置づけられることで、修正具８０は退避位置に位置づけられ、研磨部材８４が下側に配置されることになる。

【0055】

次に、以上の構成を用いた修正方法の例について、図７に示すフローチャートの順に説明する。以下に説明する修正方法は、例えば、新品の切削ブレードに交換される際に実施することができる。

【0056】

＜切削ブレード取外しステップ＞
図８（Ａ）に示すように、マウントフランジ２４から切削ブレードが取り外された状態とするステップである。

【0057】

本実施例では、図３に示すようにスピンドル２３の先端に固定された切削ブレード２１を交換するブレード交換ユニット３を備え、コントローラ４（図１）により、所定のタイミングで切削ブレード２１を取外し、マウントフランジ２４の修正を行うこととする。切削ブレード２１が取り外されることにより、マウントフランジ２４が露出された状態となる。

【0058】

なお、ブレード交換ユニット３を備えない構成においては、作業者による手作業により、切削ブレード２１の取外しが行われる。また、所定のタイニングとは、ブレード交換ユニットで交換した切削ブレードの数が所定数に達した場合や、ブレード交換時にブレード交換ユニットにかかる負荷（回転トルク）等をもとにボス部外周面２４６（図４）の異物付着を自動検出し、マウントフランジ２４の修正の要否を判断することとしてもよい。

【0059】

＜位置づけステップ＞
図８（Ａ）に示すように、マウントフランジ２４を修正する修正位置に修正具８０を位置づけるステップである。本実施例では、コントローラ４の制御により、開閉駆動ユニット６８（図６（Ａ））にてカバー６７を開くことで修正具８０の研磨部材８４を修正位置に位置付けされる。

【0060】

＜スピンドル回転ステップ＞
図８（Ａ）に示すように、マウントフランジ２４が固定されたスピンドル２３を回転させるステップである。

【0061】

コントローラ４は、予め設定された回転数によりスピンドル２３を低速で回転させる。回転数は、研磨に適した回転数に設定される。

【0062】

＜修正ステップ＞
図９（Ａ）に示すように、回転するマウントフランジ２４に修正具８０を当接させてマウントフランジ２４を修正するステップである。

【0063】

図９（Ａ）（Ｂ）に示すように、マウントフランジ２４の環状端面２４４が、研磨部材８４の第一研磨面８４ａに接触するまで、切削ユニット２０をＺ軸方向に下降、及び、Ｙ軸方向に移動させる。例えば、環状端面２４４の外径サイズをもとに、環状端面２４４が研磨部材８４の第一研磨面８４ａに対面する位置まで切削ユニット２０をＺ軸方向で下降させるとともに、環状端面２２４が研磨部材８４の第一研磨面８４ａに当接するまで切削ユニット２０をＹ軸方向に移動させる。この際、研磨部材８４は、導電性を有することで、研磨部材８４と環状端面２４４との接触が導通によりコントローラ４（図１）により検出される。

【0064】

コントローラ４は、スピンドル２３の回転を所定時間継続することで、環状端面２４４を研磨部材８４の第一研磨面８４ａによって研磨し、平坦化する。この際、所定のタイミングでスピンドル２３（マウントフランジ２４）をＹ軸方向に微小距離移動させ、研磨部材８４の第一研磨面８４ａに対する環状端面２２４の接触圧を変化させることとしてもよい。

【0065】

なお、環状端面２２４は、図４のハブブレードの構成では、切削ブレード２１のハブ基台２１２の後面に対向する面であり、図５のワッシャーブレードの構成では、切削ブレード２１Ａに対向する面である。

【0066】

同様に、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、マウントフランジ２４のボス外周面２４６が、研磨部材８４の第二研磨面８４ｂに接触するまで、切削ユニット２０をＺ軸方向に下降、及び、Ｙ軸方向に移動させる。例えば、ボス外周面２４６の外径サイズをもとに、ボス部２４１が研磨部材８４の第二研磨面８４ｂに対面する位置まで切削ユニット２０をＺ軸方向で下降させるとともに、ボス外周面２４６が第二研磨面８４ｂに当接する位置となるように切削ユニット２０をＹ移動させる。この際、研磨部材８４は、導電性を有することで、研磨部材８４とボス外周面２４６との接触が導通によりコントローラ４（図１）により検出される。

【0067】

なお、ボス外周面２４６は、図４のハブブレードの構成では、切削ブレード２１のハブ基台２１２の嵌合孔２１４の内周面に嵌合する面であり、図５のワッシャーブレードの構成では、前フランジ２７の嵌合孔２７４の内周面に嵌合する面である。

【0068】

コントローラ４（図１）は、スピンドル２３の回転を所定時間継続することで、ボス外周面２４６を研磨部材８４の第二研磨面８４ｂによって研磨し、平坦化する。この際、所定のタイミングでスピンドル２３（マウントフランジ２４）をＺ軸方向に微小距離移動させ、研磨部材８４の第二研磨面８４ｂに対するボス外周面２４６の接触圧を変化させることとしてもよい。

【0069】

以上のようにして、マウントフランジ２４の環状端面２４４とボス外周面２４６を研磨することができ、平坦化することが可能となる。なお、環状端面２４４とボス外周面２４６のいずれか一方の研磨を行ってもよい。

【0070】

以上のように、本発明によれば、図６（Ａ）（Ｂ）、及び、図８（Ａ）（Ｂ）に示すように、修正具８０と、修正具８０をマウントフランジ２４を修正する修正位置と、退避位置とに移動させる開閉駆動ユニット６８とを備えることで、必要に応じマウントフランジ２４の必要箇所を平坦化することが可能となる。このため、従来のように、治具保持用のテーブルに交換する必要がなくなり、マウントフランジ２４の必要箇所の平坦化を短時間で行うことができる。また、切削装置内の切削ユニットが配置される加工室に作業者が手を入れる必要がないため、高い安全性が担保できるとともに、加工室内の汚れが加工室外に出ることを防止できる。

【0071】

また、図９（Ａ）（Ｂ）、及び、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すように、修正具８０について、第一研磨面８４ａと、第二研磨面８４ｂの異なる研磨面を有することで、修正具８０の交換をすることなく、マウントフランジ２４の異なる二つの環状端面２４４とボス部２４１（ボス外周面２４６）を研磨して平坦化することができ、平坦に要する全体の時間を短縮することが可能となる。

【0072】

また、本願発明は、切削ブレードがハブブレードであるものについて、特に好適に実施され得る。図４に示すように、ハブブレードでは、切削ブレード２１を交換する際にハブ基台２１２の嵌合孔２１４の内周面とマウントフランジ２４のボス部外周面２４６とが擦れ、ハブ基台２１２の金属がボス部外周面２４６に付着し、切削ブレード２１を複数枚交換することで異物となって堆積することが考えられる。この異物の存在により、切削ブレード２１の着脱が困難になることが考えられるため、この異物を除去することは有効なものとなる。

【0073】

さらに、ブレード交換ユニット３（図３）を備える構成においては、上述した修正ステップを所定のタイミングで定期的に実行させることが好ましい。
作業者による交換では切削ブレードの挿入が難しくなったことが感知できて修正作業を行う判断ができるが、ブレード交換ユニットによる切削ブレードの装着では、切削ブレードの挿入が難しくなったことを感知できず、却って修正時間に長時間を要することや、修正ができない程度まで状況が悪化するおそれもあるためである。このことは、装置の全自動化と連続稼働の面から重要なものであり、ブレード交換ユニット３（図３）による切削ブレード２１の自動交換のメリットを最大限に活かすことに繋がるものである。

【符号の説明】

【0074】

１ 切削装置
３ ブレード交換ユニット
４ コントローラ
１０ 保持ユニット
１９ Ｚ軸移動プレート
２０ 切削ユニット
２１ 切削ブレード
２２ スピンドルハウジング
２３ スピンドル
２４ マウントフランジ
２５ マウント固定ボルト
２６ ブレード固定ナット
２７ 前フランジ
３２ ナットホルダ
３４ ブレードホルダ
６０ ブレード検出ユニット
６２ 検出部
６６ ブレード挿入溝
６７ カバー
６８ 開閉駆動ユニット
８０ 修正具
８２ アーム
８４ 研磨部材
８４ａ 第一研磨面
８４ｂ 第二研磨面
２１２ ハブ基台
２１３ 切り刃
２１４ 嵌合孔
２４１ ボス部
２４２ フランジ部
２４３ 雄ネジ
２４４ 環状端面
２４６ ボス外周面
２６１ ピン係合孔
２６２ 係合溝
Ｄ デバイス
Ｆ 環状フレーム
Ｓ 分割予定ライン
Ｔ 粘着テープ
Ｕ ウェーハユニット
Ｕｙ Ｙ軸移動ユニット
Ｕｚ Ｚ軸移動ユニット
Ｗ 被加工物
Ｗａ 表面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】