特開 2022-177740 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022177740

(43)【公開日】2022-12-01

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   B23Q 17/00 20060101AFI20221124BHJP

   B23Q 1/00 20060101ALI20221124BHJP

【ＦＩ】

B23Q17/00 A

B23Q1/00 T

B23Q17/00 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021084191

(22)【出願日】2021-05-18

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】和田 昌大

(72)【発明者】

【氏名】井上 篤史

【テーマコード（参考）】

3C029

3C048

【Ｆターム（参考）】

3C029EE01

3C029FF00

3C048AA03

3C048BB01

(57)【要約】

【課題】加工装置の傾きを連続的に監視し、加工品質への影響を低減できる加工装置を提供すること。
【解決手段】加工装置１は、被加工物１００を保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０に保持された被加工物１００を加工する加工ユニット２０と、制御ユニット７０と、を備える。加工装置１は、加工装置１の任意の箇所に設置され、加工装置１の傾きを検出する傾斜センサ４０を有する。制御ユニット７０は、傾斜センサ４０が検出する傾斜の値を記録する記録部７１と、傾斜の値が閾値を超えた場合、報知する報知部７２と、を備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
制御ユニットと、を備えた加工装置であって、
該加工装置は、
該加工装置の任意の箇所に設置され、該加工装置の傾きを検出する傾斜センサを有し、
該制御ユニットは、
該傾斜センサが検出する傾斜の値を記録する記録部と、
該傾斜の値が閾値を超えた場合、報知する報知部と、
を備えることを特徴とする加工装置。

【請求項2】

該加工装置は、第１の表示パネルを有し、
該制御ユニットは、該第１の表示パネルに該傾斜センサが検出する傾きの情報を表示させることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。

【請求項3】

該加工装置は、有線または無線で第２の表示パネルを有する情報機器と接続され、
該制御ユニットは、該加工装置に接続された該情報機器に、該傾斜センサが検出する傾きの情報を送信し、
該情報機器は、該第２の表示パネルに該傾きの情報を表示することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

保持テーブルによる被加工物の水平保持状態を検出する水準器が設けられた加工装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００３－２９７７３４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

通常、加工装置の出荷前には、加工装置を組み立てる工場にて、水準器を加工装置内の平坦の箇所に設置して、加工装置を水平にした状態で加工の精度を確認し、求められる加工精度を実現できるよう加工装置の調整を行う。その後、輸送され加工現場に加工装置を設置する際には、加工の精度出しを行ったときと同じ傾きにして加工精度を再現したいため、再度加工装置内に水準器を用いて、水平出しの作業を行う。

【0005】

しかし、例え加工装置の設置時に同じ傾きに調整したとしても、加工装置を稼働していくと、振動や劣化による加工装置内の部品の変形や、加工現場の床の劣化や沈下などにより加工装置が傾き、加工精度が悪化してくる恐れがある。ところが、従来、加工装置の傾きは、設置時しか検出していなかったため、稼働後には管理できていなかった。

【0006】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工装置の傾きを連続的に監視し、加工品質への影響を低減できる加工装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、制御ユニットと、を備えた加工装置であって、該加工装置は、該加工装置の任意の箇所に設置され、該加工装置の傾きを検出する傾斜センサを有し、該制御ユニットは、該傾斜センサが検出する傾斜の値を記録する記録部と、該傾斜の値が閾値を超えた場合、報知する報知部と、を備えることを特徴とする。

【0008】

該加工装置は、第１の表示パネルを有し、該制御ユニットは、該第１の表示パネルに該傾斜センサが検出する傾きの情報を表示させてもよい。

【0009】

該加工装置は、有線または無線で第２の表示パネルを有する情報機器と接続され、該制御ユニットは、該加工装置に接続された該情報機器に、該傾斜センサが検出する傾きの情報を送信し、該情報機器は、該第２の表示パネルに該傾きの情報を表示してもよい。

【発明の効果】

【0010】

本発明は、加工装置の傾きを連続的に監視し、加工品質への影響を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１の加工装置の記録部が記録する傾斜値データを示す図である。

【図3】図３は、図１の加工装置の第１の表示パネルが表示する表示画面の一例を示す図である。

【図4】図４は、実施形態２に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。

【図5】図５は、実施形態３に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。

【図6】図６は、実施形態４に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0013】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置１の構成例を示す斜視図である。実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すように、ベース部２と、コラム３と、フレーム部４と、外装カバー５と、保持テーブル１０と、加工ユニット２０と、Ｘ軸方向移動ユニット３１と、Ｙ軸方向移動ユニット３２と、Ｚ軸方向移動ユニット３３と、傾斜センサ４０と、傾斜調整機構５０と、第１の表示パネル６０と、制御ユニット７０と、を備える。ここで、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、加工装置１に設定された座標軸であり、互いに直交する。

【0014】

ベース部２は、加工装置１の土台を構成している。ベース部２の上面７は、平坦にかつ、ＸＹ平面に平行に形成され、加工装置１の傾斜（傾き）が０である際に水平面と平行となる。コラム３は、ベース部２の上面７に立設されており、実施形態１では門型に形成されている。ベース部２及びコラム３は、フレーム部４及び外装カバー５と比較して剛性が高く、例えば鋼やステンレス等の材料で形成されている。フレーム部４は、外装カバー５を取り付け用の骨格（骨組み）であり、ベース部２の上方に設けられている。外装カバー５は、フレーム部４に取り付けられ、ベース部２及びコラム３の上方を覆う。フレーム部４及び外装カバー５は、ベース部２及びコラム３よりも軽い材料で形成されており、例えば、アルミニウムや樹脂等の材料で形成されている。

【0015】

保持テーブル１０は、保持面１１を上方に向けて、ベース部２の上方に設けられている。加工ユニット２０、Ｙ軸方向移動ユニット３２及びＺ軸方向移動ユニット３３は、コラム３に設けられている。Ｘ軸方向移動ユニット３１及び制御ユニット７０は、ベース部２の内部に設けられている。傾斜調整機構５０は、ベース部２の下方に突出して設けられている。第１の表示パネル６０は、加工装置１の前方の外装カバー５に、表示側を外側に向けて設けられている。

【0016】

加工装置１が加工する加工対象である被加工物１００は、実施形態１では、例えば、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素、ガラスなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどである。被加工物１００は、図１に示すように、平坦な表面１０１の格子状に形成される複数の分割予定ライン１０２によって区画された領域にチップサイズのデバイス１０３が形成されている。被加工物１００は、実施形態１では、表面１０１の裏側の裏面１０４に粘着テープ１０５が貼着され、粘着テープ１０５の外縁部に環状フレーム１０６が装着されているが、本発明ではこれに限定されない。また、被加工物１００は、本発明では、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、又はガラス板等でも良い。

【0017】

保持テーブル１０は、凹部が形成された円盤状の枠体と、凹部内に嵌め込まれた円盤形状の吸着部と、を備える。保持テーブル１０の吸着部は、多数のポーラス孔を備えたポーラスセラミック等から形成され、図示しない真空吸引経路を介して図示しない真空吸引源と接続されている。保持テーブル１０の吸着部の上面は、図１に示すように、被加工物１００が載置されて、載置された被加工物１００を吸引保持する保持面１１である。保持面１１は、実施形態１では、被加工物１００が表面１０１を上方に向けて載置され、載置された被加工物１００を裏面１０４側から粘着テープ１０５を介して吸引保持する。保持面１１と保持テーブル１０の枠体の上面とは、同一平面上に配置されており、ＸＹ平面に平行に形成され、加工装置１の傾斜が０である際に水平面と平行となる。

【0018】

加工ユニット２０は、実施形態１では、スピンドルの先端に装着された切削ブレード２１を有する切削ユニットである。加工ユニット２０は、スピンドルによりＹ軸方向と平行な軸心周りの回転動作が加えられた切削ブレード２１で、保持テーブル１０の保持面１１で保持された被加工物１００を切削する。

【0019】

Ｘ軸方向移動ユニット３１は、Ｘ軸方向に沿って、保持テーブル１０を加工ユニット２０に対して相対的に移動させる。Ｙ軸方向移動ユニット３２は、Ｙ軸方向に沿って、加工ユニット２０を保持テーブル１０に対して相対的に移動させる。Ｚ軸方向移動ユニット３３は、Ｚ軸方向に沿って、加工ユニット２０を保持テーブル１０に対して相対的に移動させる。

【0020】

加工装置１は、加工ユニット２０の切削ブレード２１を回転させながら、Ｘ軸方向移動ユニット３１、Ｙ軸方向移動ユニット３２及びＺ軸方向移動ユニット３３により、回転中の切削ブレード２１を、保持テーブル１０上の被加工物１００に切り込ませて、被加工物１００に対して相対的に分割予定ライン１０２に沿って移動させることにより、回転中の切削ブレード２１で被加工物１００を分割予定ライン１０２に沿って切削加工する。

【0021】

傾斜センサ４０は、加工装置１内の任意の箇所に設置されている。ここで、傾斜センサ４０が設置される加工装置１内の任意の箇所は、加工装置１の動作により駆動しない固定部であり、具体的には、ベース部２、コラム３、フレーム部４及び外装カバー５である。傾斜センサ４０は、実施形態１では、加工装置１の固定部のうち相対的に剛性が高い部分に設置されていることが好ましく、すなわち、フレーム部４及び外装カバー５よりも剛性が高いベース部２及びコラム３に設置されていることが好ましい。加工装置１の固定部のうち相対的に剛性が高い部分は、経時変化により歪むなどの変形の可能性が少ないので、傾斜センサ４０は、このような部分に設置されていることにより、加工装置１の経時変化の影響を受けにくい。傾斜センサ４０は、具体的には、第１の傾斜センサ４１と、第２の傾斜センサ４２とを有し、第１の傾斜センサ４１がベース部２の上面７に、第２の傾斜センサ４２がコラム３に形成された平坦な側面８に、それぞれ設置されている。以下において、第１の傾斜センサ４１と第２の傾斜センサ４２とを互いに区別する必要がない場合には、単に傾斜センサ４０と記載する。

【0022】

傾斜センサ４０は、加工装置１の傾斜の値を検出し、検出した加工装置１の傾斜の値を制御ユニット７０に出力する。ここで、加工装置１の傾斜の値は、ベース部２の上面７や保持面１１等のＸＹ平面に平行に形成された加工装置１の基準面の水平面に対する傾斜の具合を表す数値等である。傾斜センサ４０は、実施形態１では、加工装置１の傾斜の値として、加工装置１のＸ軸方向の傾斜値及び加工装置１のＹ軸方向の傾斜値を検出する。加工装置１のＸ軸方向の傾斜値及び加工装置１のＹ軸方向の傾斜値は、それぞれ、加工装置１の基準面においてＸ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに１ｍ（メートル）移動することにより発生する水平面に対する鉛直方向のズレの長さ（例えば、μｍの単位）を指す。なお、傾斜センサ４０は、本発明ではこれに限定されず、例えば、加工装置１の基準面の水平面に対する傾斜角及び傾斜方向等で加工装置１の傾斜の値を検出してもよい。

【0023】

傾斜センサ４０は、具体的には、加速度センサ、角速度センサ（ジャイロセンサ）、及びデジタル水準器が使用される。加速度センサや角速度センサは、重力の方向を検出することにより、加工装置１の傾斜の値を検出する。デジタル水準器は、吊るしたおもりの方向や液面の方向等に基づいて重力の方向を検出することにより、加工装置１の傾斜の値を検出する。

【0024】

傾斜調整機構５０は、加工装置１の支持脚であり、ベース部２の下方に３本以上設けられていればよく、実施形態１では、ベース部２の下方の四隅に１本ずつ、合計４本設けられている。傾斜調整機構５０は、ベース部２の下面からの突出長さを変化させることにより、ベース部２の下面と加工装置１が設置される床とのＺ軸方向の間隔を変化させることで、加工装置１の傾斜を変化させる。傾斜調整機構５０は、実施形態１ではネジを回すことによりベース部２の下面からの突出長さを変化させるが、本発明ではこれに限定されず、アクチュエータ等によりベース部２の下面からの突出長さを変化させてもよい。

【0025】

第１の表示パネル６０は、加工装置１の加工条件及び加工結果の画面や、傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の情報の画面等を表示する。ここで、加工装置１の傾斜の情報は、オペレータが加工装置１の傾斜の大きさ（傾斜値や傾斜角等）及び方向（傾斜方向）を認識可能であればどのような形態でもよく、加工装置１の傾斜の大きさ及び方向に関する数値を表示してもよく、加工装置１の傾斜の大きさ及び方向を認識可能な図やグラフを表示してもよい。第１の表示パネル６０は、実施形態１では、液晶表示装置等により構成される。第１の表示パネル６０は、オペレータが加工装置１の加工条件等の各種設定に関する情報等を入力する際に使用する入力部６１が設けられている。第１の表示パネル６０に設けられた入力部６１は、実施形態１では、第１の表示パネル６０に設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。

【0026】

制御ユニット７０は、加工装置１の各構成要素の動作を制御して、被加工物１００の加工処理（切削加工処理）を加工装置１に実施させる。制御ユニット７０は、図１に示すように、記録部７１と、報知部７２と、を備える。

【0027】

図２は、図１の加工装置１の記録部７１が記録する傾斜値データ２００を示す図である。記録部７１は、傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の値を記録する。記録部７１は、具体的には、第１の傾斜センサ４１が検出したＸ軸方向の傾斜値及びＹ軸方向の傾斜値（図２の「センサ１」の欄）と、第２の傾斜センサ４２が検出したＸ軸方向の傾斜値及びＹ軸方向の傾斜値（図２の「センサ２」の欄）とを、当該傾斜値を検出した時間と互いに対照付けて、例えば図２に示すような傾斜値データ２００として記録する。

【0028】

図３は、図１の加工装置１の第１の表示パネル６０が表示する表示画面３００の一例を示す図である。報知部７２は、傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えたか否かを判定する。報知部７２は、具体的には、第１の傾斜センサ４１及び第２の傾斜センサ４２がそれぞれ検出したＸ軸方向及びＹ軸方向の各傾斜値が所定の閾値（例えば、０．１μｍ～０．３μｍ）を超えたか否かを判定する。報知部７２は、これらの傾斜値の少なくとも１つが所定の閾値を超えた場合、加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えたと判定し、これらの傾斜値のいずれもが所定の閾値を超えなかった場合、加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えなかったと判定する。報知部７２は、加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えたという判定結果を得た場合、例えば図３に示すような表示画面３００を第１の表示パネル６０に表示させることにより、当該判定結果をオペレータに視認可能に報知する。

【0029】

表示画面３００は、図３に示す例では、加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えたという判定結果と、当該判定結果を得た際に傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の情報とを表示する画面である。加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えたという判定結果は、図３に示す表示画面３００の例では、表示画面３００の上部に文字列で表示されている。加工装置１の傾斜の情報は、図３に示す表示画面３００の例では、加工装置１のＸ軸方向の傾斜値を表す数値及び図、加工装置１のＹ軸方向の傾斜値を表す数値及び図、並びに、水平面に対する加工装置１の基準面の傾斜方向を表す図が所定のレイアウトに従って配列されて表されている。報知部７２は、これらの表示画面３００に表示される数値や図を、第１の傾斜センサ４１及び第２の傾斜センサ４２がそれぞれ検出したＸ軸方向及びＹ軸方向の各傾斜値に基づいて、算出及び生成する。

【0030】

なお、報知部７２は、本発明では第１の表示パネル６０に表示画面３００等を表示させる形態に限定されず、加工装置１の傾斜の判定結果を、例えば、発光ダイオードなどで構成される不図示の発光ユニットの点灯や点滅や光の色彩等によりオペレータに認識可能に報知してもよいし、スピーカなどで構成され音声を発信する音声ユニットの音声によりオペレータに認識可能に報知してもよい。

【0031】

制御ユニット７０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット７０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット７０の演算処理装置は、制御ユニット７０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、制御ユニット７０の入出力インターフェース装置を介して加工装置１の各構成要素に出力する。

【0032】

記録部７１の機能は、実施形態１では、制御ユニット７０の記憶装置により実現される。報知部７２の機能は、実施形態１では、制御ユニット７０の演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを実行することにより実現される。

【0033】

次に、本明細書は、実施形態１に係る加工装置１の動作を説明する。加工装置１の制御ユニット７０は、加工装置１の主電源がＯＮに切り替えられた後、入力部６１からオペレータにより被加工物１００の加工処理の開始の旨の入力を受け付けると、被加工物１００の加工処理を開始する前に、傾斜センサ４０により加工装置１の傾斜の値を検出して、検出した加工装置１の傾斜の値を取得する。制御ユニット７０は、取得した加工装置１の傾斜の値を、当該傾斜の値を検出した時間と互いに対照付けて記録部７１に記録する。制御ユニット７０の報知部７２は、取得した加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えたか否かを判定し、判定結果を第１の表示パネル６０に表示する。制御ユニット７０は、報知部７２により加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えなかったという判定結果を得た場合、入力部６１からオペレータにより入力を受け付けていた被加工物１００の加工処理を開始する。

【0034】

制御ユニット７０は、報知部７２により加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えたという判定結果を得た場合、被加工物１００の加工処理の開始を中止し、報知部７２により、当該判定結果と、当該判定結果を得た際に傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の情報とを表示する表示画面３００を第１の表示パネル６０に表示し、通常モードから傾斜調整モードに切り替わる。制御ユニット７０は、傾斜調整モードでは、連続的にあるいは一定時間ごとに、傾斜センサ４０により加工装置１の傾斜の値を検出し、検出した加工装置１の傾斜の値に基づいて、第１の表示パネル６０に表示する表示画面３００内の加工装置１の傾斜の情報の部分を更新する。オペレータは、第１の表示パネル６０に表示された加工装置１の傾斜の情報を確認しながら、各傾斜調整機構５０の突出長さを変化させて、第１の表示パネル６０に表示される加工装置１の傾斜がＸ軸方向及びＹ軸方向ともに０となるように、加工装置１の傾斜を調整する。制御ユニット７０は、加工装置１の傾斜が調整されることにより、傾斜センサ４０により検出された加工装置１の傾斜の値が、所定の閾値よりも小さい所定の設定上限値以下に収められると、傾斜調整モードを終了して通常モードに戻り、再び入力部６１からオペレータにより被加工物１００の加工処理の開始の旨の入力を受け付けることが可能な状態となる。

【0035】

なお、実施形態１では、加工装置１の傾斜の値の検出及び加工装置１の傾斜の調整を、被加工物１００の加工処理の開始の前に自動で実施する形態について説明したが、本発明ではこれに限定されず、例えば、加工装置１の主電源がＯＮに切り替えられた直後や、加工装置１の各構成要素のメンテナンス時等に、自動で、もしくは、入力部６１からオペレータにより加工装置１の傾斜の値の検出を実施する旨の入力の受け付けに応じて、実施してもよい。

【0036】

以上のような構成を有する実施形態１に係る加工装置１は、加工装置１内に傾斜センサ４０を備え、傾斜センサ４０により加工装置１の傾斜の値を検出し、報知部７２により、傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えた場合にその旨を報知する。このため、実施形態１に係る加工装置１は、従来のように加工現場に加工装置を設置する際に都度、加工装置内に水準器を設置することを必要とせず、加工装置１の設置後も加工装置１の傾斜を連続的に監視し、加工装置１の傾斜による加工品質への影響を低減できるという作用効果を奏する。

【0037】

また、実施形態１に係る加工装置１は、記録部７１により、傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の値の情報を傾斜値データ２００として記録して蓄積するので、加工装置１の傾斜の加工品質への影響を明確にでき、加工装置１の傾斜を制御することによるより高い加工品質の実現を可能にする。

【0038】

また、従来では、加工装置内に水準器を設置して、オペレータが水準器を確認しながら、姿勢をかがませて加工装置の下方の傾斜調整機構を調整する（例えばネジを回す）必要があり、加工装置の傾斜の調整作業が面倒であった。そこで、実施形態１に係る加工装置１は、加工装置１内に備えた傾斜センサ４０により加工装置１の傾斜の値を検出し、報知部７２により、傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の情報を第１の表示パネル６０に表示する。このため、実施形態１に係る加工装置１は、オペレータが、加工装置１内に水準器を設置する必要がなく、第１の表示パネル６０で傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の情報を確認しながら、各傾斜調整機構５０の突出長さを変化させて、加工装置１の傾斜がＸ軸方向及びＹ軸方向ともに０となるように、加工装置１の傾斜を調整することができるので、オペレータによる加工装置１の傾斜の調整作業の効率を向上させることができる。

【0039】

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る加工装置１－２を図面に基づいて説明する。図４は、実施形態２に係る加工装置１－２の構成例を示す斜視図である。図４は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0040】

実施形態２に係る加工装置１－２は、図４に示すように、実施形態１に係る加工装置１において、制御ユニット７０が送信部７３をさらに備えたものである。送信部７３は、実施形態２では、外部の情報機器４００が加工装置１－２の制御ユニット７０から所定の範囲内に接近することで、加工装置１－２の制御ユニット７０と情報機器４００と無線で情報通信可能に接続し、無線で情報機器４００に情報を送信する無線送信機であるが、本発明ではこれに限定されず、加工装置１－２の制御ユニット７０と有線で情報通信可能に接続された情報機器４００に情報を送信する有線送信機でもよい。送信部７３の機能は、実施形態２では、制御ユニット７０の入出力インターフェース装置により実現される。

【0041】

送信部７３から送信される情報を受信する情報機器４００は、第２の表示パネル４０１を有する。第２の表示パネル４０１は、送信部７３からの情報の受信に応じて、傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の情報の画面等を表示する。第２の表示パネル４０１は、実施形態２では、液晶表示装置等により構成される。情報機器４００は、高機能携帯電話（いわゆる、スマートフォン）を含む携帯電話機、タブレット端末、ノート型またはデスクトップ型のＰＣ（Personal Computer）、携帯情報端末であるＰＤＡ（Personal Digital Assistant）、及び、眼鏡型や時計型のウェアラブルデバイス（Wearable Device）、ワイヤレスイヤホンやワイヤレスヘッドホン等が例示される。情報機器４００は、制御ユニット７０と同様のコンピュータシステムを含み、ＣＰＵのようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ又はＲＡＭのようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。情報機器４００の機能は、実施形態２では、情報機器４００が含むコンピュータシステムの演算処理装置が、情報機器４００が含むコンピュータシステムの記憶装置に記憶されたコンピュータプログラムを実行することにより実現される。

【0042】

実施形態２では、報知部７２は、送信部７３により加工装置１－２の制御ユニット７０と情報機器４００とが情報通信可能に接続されており、なおかつ、加工装置１の傾斜の値が所定の閾値を超えたという判定結果を得た場合、送信部７３により、当該判定結果と、当該判定結果を得た際に傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の情報とを、情報機器４００の第２の表示パネル４０１にこれらの情報を表示する旨の指令と合わせて情報機器４００に送信することにより、第２の表示パネル４０１にこれらの情報を表示させる。報知部７２は、例えば、実施形態１と同様の図３に示すような表示画面３００を、第２の表示パネル４０１に表示させてもよいし、第２の表示パネル４０１の大きさ及び形状に応じて表示画面３００の表示のレイアウトを変更した画面を表示させてもよい。

【0043】

以上のような構成を有する実施形態２に係る加工装置１－２は、実施形態１に係る加工装置１において、制御ユニット７０が送信部７３をさらに備えたものであり、報知部７２により、傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の情報を外部の情報機器４００の第２の表示パネル４０１に表示する。このため、実施形態２に係る加工装置１－２は、オペレータが、情報機器４００を手元に置き、情報機器４００の第２の表示パネル４０１で傾斜センサ４０が検出した加工装置１の傾斜の情報を確認しながら、加工装置１の傾斜の調整作業ができるので、さらに、オペレータが加工装置１の傾斜の調整作業における姿勢の変化や手間を省略することができる。

【0044】

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る加工装置１－３を図面に基づいて説明する。図５は、実施形態３に係る加工装置１－３の構成例を示す斜視図である。図５は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0045】

実施形態３に係る加工装置１－３は、図５に示すように、実施形態１に係る加工装置１において、加工ユニット２０（切削ユニット）を加工ユニット２０－３（レーザー加工ユニット）に変更し、この変更に伴う加工装置１－３内のレイアウトの変更により、ベース部２、コラム３、フレーム部４及び外装カバー５の形状及び配置をそれぞれ変更したものである。

【0046】

実施形態３では、Ｘ軸方向移動ユニット３１及びＹ軸方向移動ユニット３２は、ベース部２の上方に設けられており、Ｚ軸方向移動ユニット３３は省略されている。保持テーブル１０は、保持面１１を上方に向けて、Ｘ軸方向移動ユニット３１及びＹ軸方向移動ユニット３２の上方に、Ｘ軸方向移動ユニット３１及びＹ軸方向移動ユニット３２によりそれぞれＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能に設けられている。加工ユニット２０－３は、コラム３に固定して設けられている。第１の傾斜センサ４１は、ベース部２の上面７に設置されており、第２の傾斜センサ４２は、コラム３の側面８に設置されている。傾斜調整機構５０は、ベース部２の下方に突出して設けられている。第１の表示パネル６０は、加工装置１の前方の外装カバー５に、表示側を外側に向けて設けられている。制御ユニット７０は、ベース部２の内部に設けられている。

【0047】

加工ユニット２０－３は、実施形態３では、被加工物１００に対してレーザービームを照射して、レーザービームにより被加工物１００を加工するレーザー加工ユニットである。加工ユニット２０－３は、被加工物１００に対して吸収性を有する波長のレーザービームを照射して、このレーザービームにより被加工物１００をアブレーション（昇華もしくは蒸発）させるいわゆるアブレーション加工を実施する。また、加工ユニット２０－３は、被加工物１００に対して透過性を有する波長のレーザービームを照射して、このレーザービームにより被加工物１００の内部に改質層を形成する。

【0048】

加工装置１－３は、加工ユニット２０－３によりレーザービームを照射しながら、Ｘ軸方向移動ユニット３１及びＹ軸方向移動ユニット３２により、被加工物１００を加工ユニット２０－３に対して相対的に分割予定ライン１０２に沿って移動させることにより、レーザービームで被加工物１００を分割予定ライン１０２に沿ってレーザー加工する。

【0049】

以上のような構成を有する実施形態３に係る加工装置１－３は、実施形態１に係る加工装置１において、加工ユニット２０（切削ユニット）を加工ユニット２０－３（レーザー加工ユニット）に変更し、この変更に伴う加工装置１－３内のレイアウトを変更したものである。このため、実施形態３に係る加工装置１－３は、実施形態１と同様に、加工装置１－３内に傾斜センサ４０を備え、傾斜センサ４０により加工装置１－３の傾斜の値を検出し、報知部７２により、傾斜センサ４０が検出した加工装置１－３の傾斜の値が所定の閾値を超えた場合にその旨を報知する。したがって、実施形態３に係る加工装置１－３は、実施形態１と同様に、従来のように加工装置内に水準器を設置することを必要とせず、加工装置１－３の設置後も加工装置１－３の傾斜を連続的に監視し、加工装置１－３の傾斜による加工品質への影響を低減できるという作用効果を奏する。また、実施形態３に係る加工装置１－３は、その他についても、実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。

【0050】

また、実施形態３に係る加工装置１－３は、実施形態２と同様に、送信部７３をさらに備え、報知部７２により、傾斜センサ４０が検出した加工装置１－３の傾斜の情報を外部の情報機器４００の第２の表示パネル４０１に表示してもよい。実施形態３に係る加工装置１－３は、このような場合、さらに実施形態２と同様の作用効果を奏するものとなる。

【0051】

〔実施形態４〕
本発明の実施形態４に係る加工装置１－４を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態４に係る加工装置１－４の構成例を示す斜視図である。図６は、実施形態１から実施形態３と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0052】

実施形態４に係る加工装置１－４は、図６に示すように、実施形態１に係る加工装置１において、加工ユニット２０（切削ユニット）を加工ユニット２０－４（研削ユニット）に変更し、この変更に伴う加工装置１－４内のレイアウトの変更により、ベース部２、コラム３、フレーム部４及び外装カバー５の形状及び配置をそれぞれ変更したものである。

【0053】

実施形態４では、保持テーブル１０は、保持面１１を上方に向けて、ベース部２の上方に設けられている。保持テーブル１０は、実施形態４では、不図示の回転駆動源によりＺ軸回りに回転自在に設けられている。Ｘ軸方向移動ユニット３１及びＹ軸方向移動ユニット３２は省略されている。加工ユニット２０－４及びＺ軸方向移動ユニット３３は、コラム３に設けられている。加工ユニット２０－４は、Ｚ軸方向移動ユニット３３によりＺ軸方向に移動可能に設けられている。第１の傾斜センサ４１は、ベース部２の上面７に設置されており、第２の傾斜センサ４２は、コラム３の側面８に設置されている。傾斜調整機構５０は、ベース部２の下方に突出して設けられている。第１の表示パネル６０は、加工装置１－４の前方の外装カバー５に、表示側を外側に向けて設けられている。制御ユニット７０は、ベース部２の内部に設けられている。

【0054】

加工ユニット２０－４は、実施形態４では、スピンドルの先端に装着された研削ホイール２１－４を有する研削ユニットである。加工ユニット２０－４は、スピンドルによりＺ軸方向と平行な軸心周りの回転動作が加えられた研削ホイール２１－４で、保持テーブル１０の保持面１１で保持された被加工物１００を研削する。

【0055】

加工装置１－４は、加工ユニット２０－４の研削ホイール２１－４及び保持テーブル１０をそれぞれ回転させながら、Ｚ軸方向移動ユニット３３により、回転中の研削ホイール２１－４を回転中の保持テーブル１０上の被加工物１００にＺ軸方向に沿って押圧することにより、回転中の研削ホイール２１－４で保持テーブル１０上の被加工物１００を研削加工する。

【0056】

以上のような構成を有する実施形態４に係る加工装置１－４は、実施形態１に係る加工装置１において、加工ユニット２０（切削ユニット）を加工ユニット２０－４（研削ユニット）に変更し、この変更に伴う加工装置１－４内のレイアウトを変更したものである。このため、実施形態４に係る加工装置１－４は、実施形態１と同様に、加工装置１－４内に傾斜センサ４０を備え、傾斜センサ４０により加工装置１－４の傾斜の値を検出し、報知部７２により、傾斜センサ４０が検出した加工装置１－４の傾斜の値が所定の閾値を超えた場合にその旨を報知する。したがって、実施形態４に係る加工装置１－４は、実施形態１と同様に、従来のように加工装置内に水準器を設置することを必要とせず、加工装置１－４の設置後も加工装置１－４の傾斜を連続的に監視し、加工装置１－４の傾斜による加工品質への影響を低減できるという作用効果を奏する。また、実施形態４に係る加工装置１－４は、その他についても、実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。

【0057】

また、実施形態４に係る加工装置１－４は、実施形態２と同様に、送信部７３をさらに備え、報知部７２により、傾斜センサ４０が検出した加工装置１－４の傾斜の情報を外部の情報機器４００の第２の表示パネル４０１に表示してもよい。実施形態４に係る加工装置１－４は、このような場合、さらに実施形態２と同様の作用効果を奏するものとなる。

【0058】

また、実施形態４に係る加工装置１－４は、加工ユニット２０－４のスピンドルの先端に装着された研削ホイール２１－４を研磨パッドに変更することにより、加工ユニット２０－４を研削ユニットから研磨ユニットに変更してもよい。

【0059】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。上記実施形態では、加工装置１，１－２，１－３，１－４は、備えられた加工ユニット２０，２０－３，２０－４が切削ユニット、レーザー加工ユニット、研削ユニット及び研磨ユニットである例を説明したが、本発明ではこれに限定されず、被加工物１００の加工面を洗浄する洗浄ユニットでもよく、また、被加工物１００の裏面１０４に粘着テープ１０５を貼着して粘着テープ１０５の外縁部に環状フレーム１０６を装着するテープマウンタユニットでもよい。また、本発明の傾斜センサ４０は、加工装置１，１－２，１－３，１－４内で被加工物１００を加工する際に生じる加工負荷や、加工装置１，１－２，１－３，１－４内で搬送ユニットによって被加工物１００を搬送する際に生じる振動によって、加工装置１，１－２，１－３，１－４が傾斜していないかも同様に確認する事ができる。これにより、加工品質に影響する傾斜が加工中の負荷や搬送中に起こっていた場合、傾斜センサ４０の検出値が閾値を上回るため、早期に発見し、加工不良を防ぐ事ができる。また、加工結果が悪い原因を解明する際、傾斜センサ４０の検出値が閾値を上回っていない場合、加工装置１，１－２，１－３，１－４の剛性に問題ないことを証明でき、加工不良の原因を切り分けて、解決を早期化することができる。

【符号の説明】

【0060】

１，１－２，１－３，１－４ 加工装置
１０ 保持テーブル
２０，２０－３，２０－４ 加工ユニット
４０ 傾斜センサ
４１ 第１の傾斜センサ
４２ 第２の傾斜センサ
６０ 第１の表示パネル
７０ 制御ユニット
７１ 記録部
７２ 報知部
１００ 被加工物
４００ 情報機器
４０１ 第２の表示パネル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】