特開 2022-185727出願番号 特願 2021-93515
供給液体製造装置
出願人 株式会社荏原製作所（識別番号 239）
2026年 特許公開件数ランキング 155位 165件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 213位 105件（※）
公報発行日 2022年12月15
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-185727 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】 ガス溶解液（供給液体）を高濃度化することのできる供給液体製造装置を提供する。
【解決手段】 供給液体製造装置１は、原料ガスを供給する原料ガス供給部２と、原料液体を供給する原料液体供給部３と、原料ガスと原料液体を混合して原料ガス溶解液を生成する気液混合部４と、気液混合部４により生成されたガス溶解液を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される未溶解ガスとに分離する気液分離部１１と、気液混合部４と気液分離部１１との間に配置されている気液接触部１２を備える。気液接触部１２の充填部１７に充填されている充填物を用いて、気液接触部１２に導入されたガス溶解液と未溶解ガスとを接触させてガス溶解液に未溶解ガスを溶解させる。
【選択図】 図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、ガス溶解液（供給液体）を高濃度化することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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