特開 2022-187717 画像形成装置、及びその作動方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022187717

(43)【公開日】2022-12-20

(54)【発明の名称】画像形成装置、及びその作動方法

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/10 20060101AFI20221213BHJP

   G02B 26/08 20060101ALI20221213BHJP

   H04N 5/74 20060101ALI20221213BHJP

【ＦＩ】

G02B26/10 A

G02B26/10 104Z

G02B26/10 C

G02B26/08 E

H04N5/74 A

H04N5/74 H

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021095860

(22)【出願日】2021-06-08

(71)【出願人】

【識別番号】306037311

【氏名又は名称】富士フイルム株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】弁理士法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】田中 伸也

(72)【発明者】

【氏名】園田 慎一郎

【テーマコード（参考）】

2H045

2H141

5C058

【Ｆターム（参考）】

2H045AB01

2H045AB08

2H045AB13

2H045AB24

2H045AB81

2H045BA12

2H045BA24

2H045CA98

2H141MA12

2H141MB24

2H141MC09

2H141MD12

2H141MD13

2H141MD16

2H141MD20

2H141MD24

2H141ME01

2H141ME13

2H141ME21

2H141ME24

2H141ME25

2H141ME29

2H141MF05

2H141MF12

2H141MG04

2H141MZ06

2H141MZ15

2H141MZ16

2H141MZ30

5C058BA35

5C058EA05

5C058EA27

(57)【要約】

【課題】画像の乱れを抑制することを可能とする画像形成装置、及びその作動方法を提供する。
【解決手段】画像形成装置は、光を出射する発光装置と、発光装置から出射された光を反射する可動ミラーと、可動ミラーを第１軸の周りに揺動させる第１アクチュエータと、可動ミラーの第１軸周りの振れ角が第１基準角となる時点を推測して第１基準信号を出力する第１基準信号出力部と、第１基準信号出力部から出力された第１基準信号に基づいて発光装置に光を出射させる発光制御部と、可動ミラーにより反射された光を撮像する撮像装置と、撮像装置により取得された撮像情報に基づいて、第１基準信号出力部が出力する第１基準信号のタイミングを補正する補正部と、を備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

光を出射する発光装置と、
前記発光装置から出射された前記光を反射する可動ミラーと、
前記可動ミラーを第１軸の周りに揺動させる第１アクチュエータと、
前記可動ミラーの前記第１軸周りの振れ角が第１基準角となる時点を推測して第１基準信号を出力する第１基準信号出力部と、
前記第１基準信号出力部から出力された前記第１基準信号に基づいて前記発光装置に前記光を出射させる発光制御部と、
前記可動ミラーにより反射された前記光を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置により取得された撮像情報に基づいて、前記第１基準信号出力部が出力する前記第１基準信号のタイミングを補正する補正部と、
を備える画像形成装置。

【請求項2】

前記可動ミラーを第２軸の周りに揺動させる第２アクチュエータと、
前記可動ミラーの前記第２軸周りの振れ角が第２基準角となる時点を推測して第２基準信号を出力する第２基準信号出力部と、を備え、
前記補正部は、前記撮像装置により撮像された撮像情報に基づいて、前記第１基準信号出力部が出力する前記第１基準信号のタイミングと、前記第２基準信号出力部が出力する前記第２基準信号のタイミングとを補正する、
請求項１に記載の画像形成装置。

【請求項3】

前記第１基準角は、前記可動ミラーの前記第１軸周りの振れ角がゼロとなる角度であり、前記第２基準角は、前記可動ミラーの前記第２軸周りの振れ角がゼロとなる角度である、
請求項２に記載の画像形成装置。

【請求項4】

前記第１基準角は、前記可動ミラーの前記第１軸周りの振れ角が最大又は最小となる角度であり、前記第２基準角は、前記可動ミラーの前記第２軸周りの振れ角が最大又は最小となる角度である、
請求項２に記載の画像形成装置。

【請求項5】

前記第１基準信号出力部は、前記第１アクチュエータに与えられる第１駆動信号に基づいて、前記可動ミラーの前記第１軸周りの振れ角が第１基準角となる時点を推測し、
前記第２基準信号出力部は、前記第２アクチュエータに与えられる第２駆動信号に基づいて、前記可動ミラーの前記第２軸周りの振れ角が第２基準角となる時点を推測する、
請求項２から請求項４のうちいずれか１項に記載の画像形成装置。

【請求項6】

前記可動ミラーにより反射された前記光の光路上に、前記光の一部を前記撮像装置へ導く光学素子を備える、
請求項１から請求項５のうちいずれか１項に記載の画像形成装置。

【請求項7】

光を出射する発光装置と、
前記発光装置から出射された前記光を反射する可動ミラーと、
前記可動ミラーを第１軸の周りに揺動させる第１アクチュエータと、
前記可動ミラーの前記第１軸周りの振れ角が第１基準角となる時点を推測して第１基準信号を出力する第１基準信号出力部と、
前記第１基準信号出力部から出力された前記第１基準信号に基づいて前記発光装置に前記光を出射させる発光制御部と、
前記可動ミラーにより反射された前記光を撮像する撮像装置と、
を備える光走査装置の作動方法であって、
前記撮像装置により取得された撮像情報に基づいて、前記第１基準信号出力部が出力する前記第１基準信号のタイミングを補正する、
を備える画像形成装置の作動方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示の技術は、画像形成装置、及びその作動方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）により構成された光走査装置に光を照射することにより、スクリーン等に画像を描画する画像形成装置が知られている。光走査装置は、直交する２つの軸周りに揺動する可動ミラーを備える。例えば、光走査装置は、入力画像に応じて強度変調された光をリサージュ走査する。可動ミラーは、周波数が異なる２つの正弦波により共振駆動される。リサージュ走査では、可動ミラーは、２つの軸周りに共振駆動されるため、振れ角が大きく、光の走査範囲を大きくすることができるという利点がある。

【0003】

この光走査装置により画像を描画するには、可動ミラーが揺動している際の振れ角を正確に推測し、推測した振れ角に応じて可動ミラーに所定の強度の光を照射する必要がある。可動ミラーの振れ角の推測精度が低い場合には、光走査装置により描画される画像が乱れてしまう。例えば、可動ミラーの揺動の往路と復路とで照射タイミングがずれることにより、光走査装置により描画される画像が乱れてしまう。

【0004】

特許文献１には、光走査装置内に歪センサを設け、歪センサからのセンサ信号に基づいて可動ミラーの振れ角を推測する構成が開示されている。

【0005】

また、特許文献２には、測定画像を投影して撮像することにより投影距離を測定し、測定した投影距離に基づいてキャリブレーション画像を投影してキャリブレーションを行う画像の位置を補正する方法が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】米国特許第８５５９０８６号明細書

【特許文献2】特開２０２０－３９０８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

可動ミラーの振れ角は、特許文献１に記載の歪センサの他に、可動ミラーを駆動するための駆動信号、又は圧電素子により構成された角度センサにより推測することが可能である。

【0008】

しかしながら、駆動信号又はセンサ信号には、ノイズ等により時間的な遅れが生じるため、可動ミラーの振れ角を正確に推測することは難しい。

【0009】

また、特許文献２には、キャリブレーション画像を投影することにより、表示面に表示される画像上の位置と撮像画像上の位置とを対応付けるキャリブレーションを行うことが記載されているが、これは投影ユニットによる投影タイミングを補正するものではない。

【0010】

本開示の技術は、画像の乱れを抑制することを可能とする画像形成装置、及びその作動方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記目的を達成するために、本開示の画像形成装置は、光を出射する発光装置と、発光装置から出射された光を反射する可動ミラーと、可動ミラーを第１軸の周りに揺動させる第１アクチュエータと、可動ミラーの第１軸周りの振れ角が第１基準角となる時点を推測して第１基準信号を出力する第１基準信号出力部と、第１基準信号出力部から出力された第１基準信号に基づいて発光装置に光を出射させる発光制御部と、可動ミラーにより反射された光を撮像する撮像装置と、撮像装置により取得された撮像情報に基づいて、第１基準信号出力部が出力する第１基準信号のタイミングを補正する補正部と、を備える。

【0012】

可動ミラーを第２軸の周りに揺動させる第２アクチュエータと、可動ミラーの第２軸周りの振れ角が第２基準角となる時点を推測して第２基準信号を出力する第２基準信号出力部と、を備え、補正部は、撮像装置により撮像された撮像情報に基づいて、第１基準信号出力部が出力する第１基準信号のタイミングと、第２基準信号出力部が出力する第２基準信号のタイミングとを補正することが好ましい。

【0013】

第１基準角は、可動ミラーの第１軸周りの振れ角がゼロとなる角度であり、第２基準角は、可動ミラーの第２軸周りの振れ角がゼロとなる角度であることが好ましい。

【0014】

第１基準角は、可動ミラーの第１軸周りの振れ角が最大又は最小となる角度であり、第２基準角は、可動ミラーの第２軸周りの振れ角が最大又は最小となる角度であることが好ましい。

【0015】

第１基準信号出力部は、第１アクチュエータに与えられる第１駆動信号に基づいて、可動ミラーの第１軸周りの振れ角が第１基準角となる時点を推測し、第２基準信号出力部は、第２アクチュエータに与えられる第２駆動信号に基づいて、可動ミラーの第２軸周りの振れ角が第２基準角となる時点を推測することが好ましい。

【0016】

可動ミラーにより反射された光の光路上に、光の一部を撮像装置へ導く光学素子を備えることが好ましい。

【0017】

本開示の画像形成装置の作動方法は、光を出射する発光装置と、発光装置から出射された光を反射する可動ミラーと、可動ミラーを第１軸の周りに揺動させる第１アクチュエータと、可動ミラーの第１軸周りの振れ角が第１基準角となる時点を推測して第１基準信号を出力する第１基準信号出力部と、第１基準信号出力部から出力された第１基準信号に基づいて発光装置に光を出射させる発光制御部と、可動ミラーにより反射された光を撮像する撮像装置と、を備える光走査装置の作動方法であって、撮像装置により取得された撮像情報に基づいて、第１基準信号出力部が出力する第１基準信号のタイミングを補正する、を備える。

【発明の効果】

【0018】

本開示の技術によれば、画像の乱れを抑制することを可能とする画像形成装置、及びその作動方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】画像形成装置の構成の一例を示す模式図である。

【図2】ＭＥＭＳミラーの構成の一例を示す概略斜視図である。

【図3】ミラー部が揺動する際の振れ角について説明する図であり、（Ａ）は第１振れ角を示し、（Ｂ）は第２振れ角を示す。

【図4】制御装置の機能構成の一例を示すブロック図である。

【図5】第１駆動信号、第１ゼロクロス信号、及び第１基準信号の一例を示す図である。

【図6】第２駆動信号、第２ゼロクロス信号、及び第２基準信号の一例を示す図である。

【図7】ＬＵＴの一例を示す図である。

【図8】キャリブレーションモードにおいて投影面に描画されるパターンの一例を示す図である。

【図9】ミラー部の揺動と第１基準信号及び第２基準信号のタイミングとの間にずれが生じた場合に、投影面に描画されるパターンの一例を示す図である。

【図10】補正部の機能構成の一例を示す図である。

【図11】信号補正部によるタイミング補正の一例を示す図であり、（Ａ）は第１基準信号のタイミングを補正する例を示し、（Ｂ）は第２基準信号のタイミングを補正する例を示す。

【図12】第１基準線及び第２基準線の位置設定に係る第１変形例を示す図である。

【図13】第１基準線及び第２基準線の位置設定に係る第２変形例を示す図である。

【図14】リサージュ走査の１走査周期内にレーザ光を１回のみ照射する例を示す図である。

【図15】画像形成装置の第１変形例を示す図である。

【図16】画像形成装置の第２変形例を示す図である。

【図17】第１基準角を第１振れ角が最大又は最小となる角度とし、第２基準角を第２振れ角が最大又は最小となる角度とする例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下、図面を参照して本開示の技術に係る実施形態を詳細に説明する。一例として、以下の実施形態では、本開示の技術を、レーザ光をリサージュ方式により走査することにより投影面に画像を形成する画像形成装置に適用した形態について説明する。

【0021】

図１には、本実施形態の画像形成装置１０の構成の一例を示す。図１に示すように本実施形態の画像形成装置１０は、制御装置２０、ＭＥＭＳドライバ２２、発光装置２４、合波光学系２６、コリメータ２８、ＭＥＭＳミラー３０、及び撮像装置３２を備える。なお、ＭＥＭＳミラー３０は、本開示の技術に係る「光走査装置」の一例である。

【0022】

発光装置２４は、レーザドライバ２５及びレーザ光源２７を有する。本実施形態のレーザドライバ２５は、制御装置２０から供給される強度変調信号に基づいてレーザ光源２７を駆動し、画像を形成するためのレーザ光をレーザ光源２７から出力させる。レーザ光源２７は、例えば、Ｒ（Red）、Ｇ（Green）、及びＢ（Ｂ：Blue）の３色のレーザ光を出力する。なお、レーザ光は、本開示の技術に係る「光」の一例である。

【0023】

レーザ光源２７から出力されたレーザ光は、合波光学系２６により合波された後、コリメータ２８を介してＭＥＭＳミラー３０に照射される。ＭＥＭＳミラー３０に集光されたレーザ光は、ＭＥＭＳミラー３０により投影面３４に向けて反射される。投影面３４は、例えば、画像を投影するためのスクリーン、又は人の目の網膜などである。すなわち、本実施形態の画像形成装置１０は、プロジェクタ、又はＡＲ（Augmented Reality）グラスなどに用いられる。

【0024】

なお、本実施形態において投影面３４は、スクリーン等の実際の物体の表面に限定されず、空間上の仮想面も含むものとする。

【0025】

ＭＥＭＳドライバ２２は、制御装置２０からの制御に基づいて、ＭＥＭＳミラー３０を駆動する。ＭＥＭＳミラー３０では、レーザ光Ｌを反射するミラー部４０（図２参照）が、互いに直交する２つの軸のそれぞれを中心軸として独立して揺動する。本実施形態では、駆動信号に基づいてミラー部４０が揺動することにより、投影面３４においてレーザ光Ｌがリサージュ曲線を描く状態に走査される。リサージュ曲線とは、第１軸周りの揺動周波数、第２軸周りの揺動周波数、及びそれらの位相差によって決まる曲線である。ミラー部４０は、本開示の技術に係る「可動ミラー」の一例である。

【0026】

本実施形態の制御装置２０は、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）２０Ａ、及びメモリ２０Ｂを含む。メモリ２０Ｂは、例えば、揮発性メモリであり、投影面３４に投影する画像を表す画像信号等の各種情報を記憶する。メモリ２０Ｂには、例えば、画像形成装置１０の外部から入力された画像信号が記憶される。

【0027】

撮像装置３２は、ＭＥＭＳミラー３０によりレーザ光Ｌが照射された投影面３４を撮像することにより、撮像画像ＩＰを生成し、生成した撮像画像ＩＰを制御装置２０へ出力する。撮像装置３２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）型イメージセンサ、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）型イメージセンサ等のイメージセンサにより構成されている。また、撮像装置３２は、ＰＳＤ（Position Sensitive Detector）により構成されていてもよい。撮像画像ＩＰは、後述する第１基準信号及び第２基準信号のタイミングの補正に用いられる。撮像画像ＩＰは、本開示の技術に係る「撮像情報」の一例である。

【0028】

図２は、ＭＥＭＳミラー３０の構成の一例を示す。ＭＥＭＳミラー３０は、ミラー部４０、第１支持部４１、第１可動枠４２、第２支持部４３、第２可動枠４４、接続部４５、及び固定枠４６を有する。

【0029】

ミラー部４０は、入射光を反射する反射面４０Ａを有する。反射面４０Ａは、例えば、金（Ａｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、又は銀の合金等の金属薄膜で形成されている。反射面４０Ａの形状は、例えば、円形状である。

【0030】

第１支持部４１は、ミラー部４０の外側に、第２軸ａ_２を挟んで対向する位置にそれぞれ配置されている。第１支持部４１は、第１軸ａ_１上でミラー部４０と接続されており、ミラー部４０を第１軸ａ_１周りに揺動可能に支持している。

【0031】

第１可動枠４２は、ミラー部４０を取り囲む矩形状の枠体であって、第１軸ａ_１上で第１支持部４１を介してミラー部４０と接続されている。第１可動枠４２の上には、第１軸ａ_１を挟んで対向する位置にそれぞれ圧電素子５０が形成されている。このように、第１可動枠４２上に２つの圧電素子５０が形成されることにより、一対の第１アクチュエータ５１が構成されている。

【0032】

一対の第１アクチュエータ５１は、第１軸ａ_１を挟んで対向する位置に配置されている。第１アクチュエータ５１は、ミラー部４０に、第１軸ａ_１周りの回転トルクを作用させることにより、ミラー部４０を第１軸ａ_１周りに揺動させる。

【0033】

第２支持部４３は、第１可動枠４２の外側に、第１軸ａ_１を挟んで対向する位置にそれぞれ配置されている。第２支持部４３は、第２軸ａ_２上で第１可動枠４２と接続されており、第１可動枠４２及びミラー部４０を、第２軸ａ_２周りに揺動可能に支持している。本実施形態では、第２支持部４３は、第２軸ａ_２に沿って延伸したトーションバーである。

【0034】

第２可動枠４４は、第１可動枠４２を取り囲む矩形状の枠体であって、第２軸ａ_２上で第２支持部４３を介して第１可動枠４２と接続されている。第２可動枠４４の上には、第２軸ａ_２を挟んで対向する位置にそれぞれ圧電素子５０が形成されている。このように、第２可動枠４４上に２つの圧電素子５０が形成されることにより、一対の第２アクチュエータ５２が構成されている。

【0035】

一対の第２アクチュエータ５２は、第２軸ａ_２を挟んで対向する位置に配置されている。第２アクチュエータ５２は、ミラー部４０及び第１可動枠４２に、第２軸ａ_２の周りの回転トルクを作用させることにより、第２軸ａ_２の周りにミラー部４０を揺動させる。

【0036】

接続部４５は、第２可動枠４４の外側に、第１軸ａ_１を挟んで対向する位置にそれぞれ配置されている。接続部４５は、第２軸ａ_２上で第２可動枠４４と接続されている。

【0037】

固定枠４６は、第２可動枠４４を取り囲む矩形状の枠体であって、第２軸ａ_２上で接続部４５を介して第２可動枠４４と接続されている。

【0038】

本実施形態では、第１軸ａ_１と第２軸ａ_２とは互いに直交している。以下の説明では、第１軸ａ_１に平行な方向をＸ方向とし、第２軸ａ_２に平行な方向をＹ方向とし、第１軸ａ_１及び第２軸ａ_２に直交する方向をＺ方向とする。

【0039】

図３は、ミラー部４０が揺動する際の振れ角について説明する。図３（Ａ）は、ミラー部４０の第１軸ａ_１周りの振れ角（以下、第１振れ角という。）θ１を示す。図３（Ｂ）は、ミラー部４０の第２軸ａ_２周りの振れ角（以下、第２振れ角という。）θ２を示す。

【0040】

第１振れ角θ１は、反射面４０Ａの法線が、ＹＺ平面においてＺ方向に対して傾斜する角度である。第２振れ角θ２は、反射面４０Ａの法線が、ＸＺ平面においてＺ方向に対して傾斜する角度である。

【0041】

図４は、制御装置２０の機能構成の一例を示す。図４に示すように、制御装置２０には、画像入力部６０、情報生成部６１、情報記憶部６２、第１基準信号出力部６３Ａ、第２基準信号出力部６３Ｂ、発光制御部６４、補正部６５、テーブル保持部６６、及び湿温度センサ６７が構成されている。画像入力部６０、情報生成部６１、情報記憶部６２、第１基準信号出力部６３Ａ、第２基準信号出力部６３Ｂ、発光制御部６４、補正部６５、及びテーブル保持部６６は、ＦＰＧＡ２０Ａ及びメモリ２０Ｂが協業して動作することにより実現される機能部である。

【0042】

画像入力部６０には、形成する画像を表す画像データＤＴが外部から入力される。以下、画像入力部６０に入力された画像データＤＴに応じた画像を、入力画像という場合がある。一例として、本実施形態では、ＲＧＢ信号で表されるカラーの画像データＤＴが、画像入力部６０に入力される。画像入力部６０に入力された画像データＤＴは、情報生成部６１へ出力される。なお、画像入力部６０に入力される画像データＤＴは、本実施形態に限定されず、形成する画像に応じたデータであればよい。例えば、レーザ光Ｌを出力するか否かを表す２値化されたデータであってもよい。また例えば、出力量の多値を表すデータであってもよい。

【0043】

情報生成部６１は、ＭＥＭＳミラー３０によるレーザ光Ｌの走査位置と、入力画像の信号強度との対応関係を表す強度情報ＳＩを生成する。入力画像がカラー画像の場合、信号強度は、ＲＧＢ信号の各々の強度を表す。情報記憶部６２は、情報生成部６１により生成された強度情報ＳＩを記憶する。

【0044】

ＭＥＭＳドライバ２２は、一例として図５に示す第１駆動信号Ｖ１Ａ及びＶ１Ｂを、ＭＥＭＳミラー３０の一対の第１アクチュエータ５１へ出力するとともに、第１ゼロクロス信号ＺＣ１を生成して第１基準信号出力部６３Ａへ出力する。第１駆動信号Ｖ１Ａと第１駆動信号Ｖ１Ｂとは、位相が１８０°異なる正弦波である。

【0045】

第１ゼロクロス信号ＺＣ１は、第１駆動信号Ｖ１Ａ及びＶ１Ｂがゼロとなる点を表すパルス状の信号である。なお、ＭＥＭＳドライバ２２から第１基準信号出力部６３Ａへ出力される信号は、ゼロクロス信号に限られず、第１駆動信号Ｖ１Ａ及びＶ１Ｂと同一の周期を有する信号であればよい。

【0046】

ＭＥＭＳドライバ２２は、一例として図６に示す第２駆動信号Ｖ２Ａ及びＶ２Ｂを、ＭＥＭＳミラー３０の一対の第２アクチュエータ５２へ出力するとともに、第２ゼロクロス信号ＺＣ２を生成して第２基準信号出力部６３Ｂへ出力する。第２駆動信号Ｖ２Ａと第２駆動信号Ｖ２Ｂとは、位相が１８０°異なる正弦波である。

【0047】

第２ゼロクロス信号ＺＣ２は、第２駆動信号Ｖ２Ａ及びＶ２Ｂがゼロとなる点を表すパルス状の信号である。なお、ＭＥＭＳドライバ２２から第２基準信号出力部６３Ｂへ出力される信号は、ゼロクロス信号に限られず、第２駆動信号Ｖ２Ａ及びＶ２Ｂと同一の周期を有する信号であればよい。

【0048】

第１駆動信号Ｖ１Ａ及びＶ１Ｂの周波数（以下、第１駆動周波数という。）と、第２駆動信号Ｖ２Ａ及びＶ２Ｂの周波数（以下、第２駆動周波数という。）とは、周波数比が異なる。第１駆動周波数と第２駆動周波数との周波数比は、ＭＥＭＳミラー３０が行う光走査のリサージュ曲線の形状に基づいて決定されている。

【0049】

第１基準信号出力部６３Ａは、ミラー部４０の第１振れ角θ１が第１基準角となる時点を推測して第１基準信号ＰＳ１を発光制御部６４へ出力する。本実施形態では、第１基準角を０°とする。第１基準信号出力部６３Ａは、第１駆動信号Ｖ１Ａ及びＶ１Ｂに基づいて第１振れ角θ１が第１基準角となる時点を推測して第１基準信号ＰＳ１を生成する。

【0050】

具体的には、第１基準信号出力部６３Ａは、図５に示すように、ＭＥＭＳドライバ２２から入力される第１ゼロクロス信号ＺＣ１を、遅延時間Ｄ１だけ遅延させた信号を、第１基準信号ＰＳ１として出力する。ミラー部４０が第１軸ａ_１周りに共振する場合には、遅延時間Ｄ１は、理想的には、第１ゼロクロス信号ＺＣ１の周期の１／４倍に相当する時間であるが、環境条件（温度、湿度等）によりずれが生じる。このため、本実施形態では、第１基準信号出力部６３Ａは、湿温度センサ６７により検出された温度及び湿度と、テーブル保持部６６に保持されたルックアップテーブル（以下、ＬＵＴという。）６６Ａとに基づいて遅延時間Ｄ１を取得し、取得した遅延時間Ｄ１に基づいて第１基準信号ＰＳ１を生成する。

【0051】

第２基準信号出力部６３Ｂは、ミラー部４０の第２振れ角θ２が第２基準角となる時点を推測して第２基準信号ＰＳ２を発光制御部６４へ出力する。本実施形態では、第２基準角を０°とする。第２基準信号出力部６３Ｂは、第２駆動信号Ｖ２Ａ及びＶ２Ｂに基づいて第２振れ角θ２が第２基準角となる時点を推測して第２基準信号ＰＳ２を生成する。

【0052】

具体的には、第２基準信号出力部６３Ｂは、図６に示すように、ＭＥＭＳドライバ２２から入力される第２ゼロクロス信号ＺＣ２を、遅延時間Ｄ２だけ遅延させた信号を、第２基準信号ＰＳ２として出力する。ミラー部４０が第２軸ａ_２周りに共振する場合には、遅延時間Ｄ２は、理想的には、第２ゼロクロス信号ＺＣ２の周期の１／４倍に相当する時間であるが、環境条件（温度、湿度等）によりずれが生じる。このため、本実施形態では、第２基準信号出力部６３Ｂは、湿温度センサ６７により検出された温度及び湿度と、テーブル保持部６６に保持されたＬＵＴ６６Ａとに基づいて遅延時間Ｄ２を取得し、取得した遅延時間Ｄ２に基づいて第２基準信号ＰＳ２を生成する。

【0053】

ＬＵＴ６６Ａには、一例として図７に示すように、遅延時間Ｄ１、温度、及び湿度の関係と、遅延時間Ｄ２、温度、及び湿度の関係とが予め記録されている。これらの関係は、例えば、過去の履歴に基づいて決定されている。

【0054】

発光制御部６４は、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２に基づいて発光装置２４にレーザ光Ｌを出射させる。画像データＤＴに基づく画像を投影面３４に描画する描画モードでは、発光制御部６４は、情報記憶部６２から強度情報ＳＩを読み出し、一定の時間ごと（例えば、クロック周期ごと）に、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２を基準として決定される強度のレーザ光Ｌを、発光装置２４に出射させる。

【0055】

また、本実施形態では、第１基準信号出力部６３Ａ及び第２基準信号出力部６３Ｂがそれぞれ出力する第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正するためのキャリブレーションモードが行われる。発光制御部６４は、キャリブレーションモードでは、第１基準信号出力部６３Ａから第１基準信号ＰＳ１が出力されたタイミング、及び第２基準信号出力部６３Ｂから第２基準信号ＰＳ２が出力されたタイミングに応じて、発光装置２４にレーザ光Ｌを出射させる。すなわち、発光制御部６４は、キャリブレーションモードでは、第１振れ角θ１が第１基準角（本実施形態では０°）となると推定される時点と、第２振れ角θ２が第２基準角（本実施形態では０°）となると推定される時点とにおいて発光装置２４にレーザ光Ｌを出射させる。

【0056】

撮像装置３２は、キャリブレーションモードにおいて、発光装置２４から出射されるレーザ光ＬがＭＥＭＳミラー３０で反射されることにより投影面３４に描画されるパターンを撮像する。撮像装置３２は、投影面３４を撮像することにより生成した撮像画像ＩＰを補正部６５へ出力する。

【0057】

補正部６５は、撮像画像ＩＰに写ったパターンの規定形状からのずれ量に基づいて、第１基準信号出力部６３Ａ及び第２基準信号出力部６３Ｂがそれぞれ出力する第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正する。

【0058】

図８は、キャリブレーションモードにおいて、投影面３４に描画されるパターンの一例を示す。本例では、説明の簡略化のため、第１駆動周波数と第２駆動周波数との周波数比を３：２としている。本例では、ＭＥＭＳミラー３０が行う光走査により、投影面３４に、リサージュ曲線７０が描かれる。

【0059】

図８は、ミラー部４０の揺動と、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングとの間にずれが生じていない場合を示している。このように、ずれが生じていない場合には、発光装置２４は、θ１＝０となる時点、及びθ２＝０となる時点でレーザ光Ｌを出射するので、投影面３４における第１基準線Ｌ１及び第２基準線Ｌ２上にレーザ光Ｌが照射される。本実施形態では、第１基準線Ｌ１は、リサージュ曲線７０の中心を通りＸ方向に平行な直線であり、第２基準線Ｌ２は、リサージュ曲線７０の中心を通りＹ方向に平行な直線である。符号Ｐは、投影面３４においてレーザ光Ｌが照射される点（すなわち輝点）を示している。

【0060】

リサージュ曲線７０をより綿密とするように１駆動周波数と第２駆動周波数との周波数比を設定した場合には、輝点Ｐは、第１基準線Ｌ１及び第２基準線Ｌ２に沿った直線状のパターンを描く。

【0061】

図９は、ミラー部４０の揺動と、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングとの間にずれが生じている場合を示している。このように、ずれが生じている場合には、発光装置２４は、θ１＝０となる時点、及びθ２＝０となる時点からずれた時点でレーザ光Ｌを出射するので、投影面３４において第１基準線Ｌ１及び第２基準線Ｌ２からずれた位置にレーザ光Ｌが照射される。本例では、第１基準線Ｌ１からずれた直線Ｌ１Ａ及びＬ１Ｂ上と、第２基準線Ｌ２からずれた直線Ｌ２Ａ及びＬ２Ｂ上にレーザ光Ｌが照射される。

【0062】

直線Ｌ１Ａは、リサージュ走査の往路においてレーザ光Ｌが照射される線である。直線Ｌ１Ｂは、リサージュ走査の復路においてレーザ光Ｌが照射される線である。また、直線Ｌ２Ａは、リサージュ走査の往路においてレーザ光Ｌが照射される線である。直線Ｌ２Ｂは、リサージュ走査の復路においてレーザ光Ｌが照射される線である。なお、往路とは、Ｙ方向については第１振れ角θ１が増加する経路をいい、Ｘ方向については第２振れ角θ２が増加する経路をいう。復路とは、Ｙ方向については第１振れ角θ１が減少する経路をいい、Ｘ方向については第２振れ角θ２が減少する経路をいう。

【0063】

このように、ミラー部４０の揺動と、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングとの間にずれが生じている場合には、第１基準線Ｌ１は直線Ｌ１Ａと直線Ｌ１Ｂとに分離され、第２基準線Ｌ２は直線Ｌ２Ａと直線Ｌ２Ｂとに分離される。

【0064】

リサージュ曲線７０をより綿密とするように１駆動周波数と第２駆動周波数との周波数比を設定した場合には、輝点Ｐは、直線Ｌ１Ａ、直線Ｌ１Ｂ、直線Ｌ２Ａ、及び直線Ｌ２Ｂに沿った直線状のパターンを描く。

【0065】

図１０は、補正部６５の機能構成の一例を示す。補正部６５は、補正量算出部７２及び信号補正部７３を有する。補正部６５には、撮像装置３２から撮像画像ＩＰが入力される。

【0066】

補正量算出部７２は、撮像画像ＩＰに基づき、直線Ｌ１Ａと直線Ｌ１ＢとのＹ方向へのずれ量ΔＹと、直線Ｌ２Ａと直線Ｌ２ＢとのＸ方向へのずれ量ΔＸとを導出する。また、補正量算出部７２は、ΔＸ＝０とするための第１基準信号ＰＳ１のタイミングの補正量δ１と、ΔＹ＝０とするための第２基準信号ＰＳ２のタイミングの補正量δ２とを導出し、導出した補正量δ１，δ２を信号補正部７３へ出力する。補正量算出部７２は、例えば、予め記憶したずれ量ΔＸと補正量δ１との関係、及びずれ量ΔＹと補正量δ２との関係とに基づいて、補正量δ１，δ２を導出する。なお、ずれ量ΔＸと補正量δ１との関係、及びずれ量ΔＹと補正量δ２との関係は、それぞれほぼ比例関係にある。

【0067】

なお、補正量算出部７２は、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正しない状態（すなわちδ１＝０及びδ２＝０とした状態）で得られた撮像画像ＩＰに基づいてずれ量ΔＸ，ΔＹを導出し、導出したずれ量ΔＸ，ΔＹに基づいて補正量δ１，δ２を導出する。

【0068】

信号補正部７３は、補正量算出部７２から入力された補正量δ１に基づいて、第１基準信号出力部６３Ａから出力される第１基準信号ＰＳ１のタイミングを補正し、補正量算出部７２から入力された補正量δ２に基づいて、第２基準信号出力部６３Ｂから出力される第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正する。

【0069】

図１１は、信号補正部７３によるタイミング補正の一例を示す。図１１（Ａ）は、補正量δ１に基づいて第１基準信号ＰＳ１のタイミングを補正する例を示す。図１１（Ｂ）は、補正量δ２に基づいて第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正する例を示す。第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正することにより、ΔＸ＝０及びΔＹ＝０となる。これにより、直線Ｌ１Ａと直線Ｌ１Ｂとが一致し、かつ直線Ｌ２Ａと直線Ｌ２Ｂとが一致する。

【0070】

なお、信号補正部７３は、第１基準信号出力部６３Ａ及び第２基準信号出力部６３Ｂのそれぞれの内部に設けられていてもよい。この場合、第１基準信号出力部６３Ａは、補正量算出部７２から入力される補正量δ１に基づいて第１基準信号ＰＳ１のタイミングを補正する。同様に、第２基準信号出力部６３Ｂは、補正量算出部７２から入力される補正量δ２に基づいて第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正する。

【0071】

上述のキャリブレーションモードは、例えば、画像形成装置１０の起動時に所定期間の間実行される。キャリブレーションモードの終了後、描画モードにおいて、第１基準信号出力部６３Ａ及び第２基準信号出力部６３Ｂは、上述の補正量δ１，δ２に基づくタイミング補正を継続する。なお、キャリブレーションモードは、描画モードの実行中に、定期的に実行されてもよい。

【0072】

以上説明したように、画像形成装置１０は、撮像装置３２により取得された撮像情報に基づいて、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正することにより、投影面３４に描画される画像の乱れを抑制することができる。

【0073】

以下に、上記実施形態の各種の変形例について説明する。

【0074】

上記実施形態では、図８に示したように、第１基準線Ｌ１及び第２基準線Ｌ２をリサージュ曲線７０の中心を通るように設定しているが、第１基準線Ｌ１及び第２基準線Ｌ２の設定位置はこれに限られず、適宜変更可能である。

【0075】

一例として図１２に示すように、レーザ光Ｌの描画領域の端部に第１基準線Ｌ１及び第２基準線Ｌ２の位置を設定してもよい。本例では、ミラー部４０の揺動と、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングとの間にずれが生じていない場合には、レーザ光Ｌは第１基準線Ｌ１及び第２基準線Ｌ２上に照射される。一方、ずれが生じた場合には、第１基準線Ｌ１からずれた直線Ｌ１Ａ及びＬ１Ｂ上と、第２基準線Ｌ２からずれた直線Ｌ２Ａ及びＬ２Ｂ上にレーザ光Ｌが照射される。補正部６５は、上記実施形態と同様に、直線Ｌ１Ａと直線Ｌ１Ｂとが一致し、かつ直線Ｌ２Ａと直線Ｌ２Ｂとが一致するように、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正する。

【0076】

このように、描画領域の端部に第１基準線Ｌ１及び第２基準線Ｌ２の位置を設定すると、第１基準線Ｌ１及び第２基準線Ｌ２をユーザが認識しにくくなるため、投影面３４に画像を表示しながら、ユーザに違和感を与えることなくキャリブレーションを実行することが可能となる。

【0077】

また、上記実施形態では、キャリブレーションモードにおいて、リサージュ走査の往路及び復路においてレーザ光Ｌの照射を行っている。これにより、上述のずれが生じた場合に、第１基準線Ｌ１が直線Ｌ１Ａ及び直線Ｌ１Ｂに分離され、かつ第２基準線Ｌ２が直線Ｌ２Ａ及び直線Ｌ２Ｂに分離される。これに代えて、リサージュ走査の往路及び復路のうち、いずれか一方においてのみレーザ光Ｌの照射を行ってもよい。

【0078】

図１３は、レーザ光Ｌの描画領域の端部に第１基準線Ｌ１及び第２基準線Ｌ２の位置を設定した場合に、往路においてのみレーザ光Ｌの照射を行う例を示している。本例では、ミラー部４０の揺動と、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングとの間にずれが生じた場合には、第１基準線Ｌ１からずれた直線Ｌ１Ａ上と、第２基準線Ｌ２からずれた直線Ｌ２Ａ上にレーザ光Ｌが照射される。本例では、補正部６５は、直線Ｌ１Ａが第１基準線Ｌ１に一致し、かつ直線Ｌ２Ａが第２基準線Ｌ２に一致するように、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正すればよい。

【0079】

また、上記実施形態では、キャリブレーションモードにおいて、リサージュ走査の１走査周期内に複数回レーザ光Ｌの照射を行っている。リサージュ走査の１走査周期は、投影面３４に投影される画像のフレーム周期に対応する。キャリブレーションモードにおいて、リサージュ走査の１走査周期内にレーザ光Ｌを照射する回数を１回（すなわち１パルス）としてもよい。

【0080】

図１４は、リサージュ走査の１走査周期内にレーザ光Ｌを１回のみ照射する例を示している。本例では、上述のずれが生じていない場合には、基準点Ｐ０にレーザ光Ｌが照射される。一方、上述のずれが生じた場合には、基準点Ｐ０からずれた点Ｐ１にレーザ光Ｌが照射される。本例では、補正部６５は、点Ｐ１が基準点Ｐ０に一致するように、第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正すればよい。

【0081】

なお、図１４に示す例では、基準点Ｐ０を描画領域の端部に設定しているが、基準点Ｐ０は、描画領域の中心位置（すなわちθ１＝０及びθ２＝０となる位置）であってもよい。また、基準点Ｐ０をリサージュ曲線７０が交差する点としてもよい。この場合、リサージュ走査が基準点Ｐ０を通過するたびにレーザ光Ｌを照射（すなわち、リサージュ走査の１走査周期内にレーザ光Ｌを２回照射）することも好ましい。この場合、上述のずれが生じた場合には、基準点Ｐ０は２つの点に分離するので、補正部６５は、分離した２つの点が一致するように第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正すればよい。

【0082】

上記実施形態では、ＭＥＭＳミラー３０からスクリーン等の投影面３４にレーザ光Ｌを照射しているが、ＭＥＭＳミラー３０から人の眼球等にレーザ光Ｌを照射してもよい。この場合、一例として図１５に示すように、ＭＥＭＳミラー３０により反射されたレーザ光Ｌの光路上に、光拡散機能を有する第１光学素子８０が設けられている。第１光学素子８０は、いわゆるアイボックス（目を動かして映像を見ることができる範囲）を拡張する機能を有する。

【0083】

ＭＥＭＳミラー３０には、発光装置２４から出射されたレーザ光Ｌが入射する。ＭＥＭＳミラー３０に入射したレーザ光Ｌは、揺動するミラー部４０により反射方向が変調されて、第１光学素子８０に向けて出射される。

【0084】

第１光学素子８０は、ＭＥＭＳミラー３０から入射したレーザ光Ｌを透過させ、かつ拡散させる。第１光学素子８０は、例えば、マイクロレンズアレーである。第１光学素子８０は、マイクロレンズアレーに限られず、すりガラス、グレーティング、ホログラム等の光学素子であってもよいし、これらを組み合わせたものであってもよい。

【0085】

第１光学素子８０を透過したレーザ光Ｌの光路上には、レーザ光Ｌを眼球Ｅに導くための第２光学素子８１が設けられている。

【0086】

また、第１光学素子８０を透過したレーザ光Ｌの光路上には、レーザ光Ｌの一部を撮像装置３２へ導くための第３光学素子８２が設けられている。第３光学素子８２は、第１光学素子８０を透過したレーザ光Ｌの一部を集光して、撮像装置３２の撮像面に結像する。本例では、第１光学素子８０によりレーザ光Ｌが拡散されるため、レーザ光Ｌを集光する第３光学素子８２を設けることが好ましい。なお、第３光学素子８２は、本開示の技術に係る「光の一部を撮像装置へ導く光学素子」の一例である。

【0087】

第２光学素子８１及び第３光学素子８２は、例えば、ガラス又は樹脂により形成されたレンズである。第２光学素子８１及び第３光学素子８２は、レンズに限られず、ホログラム、凹面鏡等の光学素子であってもよいし、これらを組み合わせたものであってもよい。第３光学素子８２を、ホログラムにより構成することは、液晶などで構成する場合と比較して、小型化の観点で好ましい。

【0088】

また、ＭＥＭＳミラー３０は、例えば、パッケージ９０内に収容されている。パッケージ９０の内部は、揺動するミラー部４０の空気抵抗を減らすために減圧されているか、又は真空とされている。パッケージ９０は、例えばガラスで形成されている。パッケージ９０の少なくとも一部は透光性を有する。発光装置２４から出射されたレーザ光Ｌは、パッケージ９０の透光部９１を介してＭＥＭＳミラー３０に入射し、ミラー部４０により反射されたレーザ光Ｌは、透光部９１を介して外部へ出射される。

【0089】

また、一例として図１６に示すように、撮像装置３２は、パッケージ９０の内部に設けられていてもよい。図１６において、撮像装置３２は、ミラー部４０により反射されたレーザ光Ｌのうち、透光部９１の表面で反射されたレーザ光Ｌの光路上に設けられている。この場合、撮像装置３２は、レーザ光Ｌが拡散される前のレーザ光Ｌを受光するので、レーザ光Ｌを集光するための光学素子（図１５に示した第３光学素子８２）を設ける必要はない。撮像装置３２が撮像動作を行うことにより生成される撮像画像ＩＰは、リード端子３５を介して外部に出力される。このように、撮像装置３２をパッケージ９０の内部に収容することにより、画像形成装置１０の小型化が可能となる。なお、本例では、透光部９１が、本開示の技術に係る「光の一部を撮像装置へ導く光学素子」の一例である。

【0090】

また、上記実施形態では、第１基準角及び第２基準角を共に０°としているが、第１基準角及び第２基準角は、０°以外の角度であってもよい。例えば、第１基準角を第１振れ角θ１が最大又は最小となる角度とし、第２基準角を第２振れ角θ２が最大又は最小となる角度としてもよい。この場合、一例として図１７に示すように、投影面３４において、４つの基準線Ｌ１～Ｌ４上にレーザ光Ｌが照射される。基準線Ｌ１～Ｌ４は、リサージュ曲線７０の外形に接する直線である。第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングとの間にずれが生じた場合には、レーザ光Ｌの輝点Ｐは、基準線Ｌ１～Ｌ４から内側に変位する。補正部６５は、撮像画像ＩＰを用いて導出される基準線Ｌ１～Ｌ４からの輝点Ｐの変位量に基づいて第１基準信号ＰＳ１及び第２基準信号ＰＳ２のタイミングを補正すればよい。

【0091】

また、上記実施形態では、第１基準信号出力部６３Ａは、湿温度センサ６７により検出された温度及び湿度とＬＵＴ６６Ａとを用いて第１振れ角θ１が第１基準角となる時点を推測して第１基準信号ＰＳ１を出力している。これに代えて、第１基準信号出力部６３Ａは、第１振れ角θ１を検出する角度センサ（図示せず）に基づいて第１振れ角θ１が第１基準角となる時点を推測して第１基準信号ＰＳ１を出力してもよい。同様に、第２基準信号出力部６３Ｂは、第２振れ角θ２を検出する角度センサ（図示せず）に基づいて第２振れ角θ２が第２基準角となる時点を推測して第２基準信号ＰＳ２を出力してもよい。

【0092】

また、上記実施形態では、光走査装置として２軸のＭＥＭＳミラー３０を用いているが、光走査装置として１軸のＭＥＭＳミラーを用いてもよい。したがって、本開示の技術は、可動ミラーを第１軸の周りに揺動する１軸の光走査装置を備える画像形成装置に適用することも可能である。

【0093】

なお、上記実施形態及び各変形例は、矛盾が生じない限り、適宜組み合わせることが可能である。

【0094】

上記実施形態において、例えば、画像入力部６０、情報生成部６１、情報記憶部６２、第１基準信号出力部６３Ａ、第２基準信号出力部６３Ｂ、発光制御部６４、補正部６５、及びテーブル保持部６６といった各種の処理を実行する処理部（processing unit）のハードウェア的な構造としては、次に示す各種のプロセッサ（processor）を用いることができる。上記各種のプロセッサには、ソフトウェア（プログラム）を実行して各種の処理部として機能する汎用的なプロセッサであるＣＰＵ（Central Processing Unit）に加えて、前述のＦＰＧＡ等の製造後に回路構成を変更可能なプロセッサであるプログラマブルロジックデバイス（Programmable Logic Device: PLD）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等の特定の処理を実行させるために専用に設計された回路構成を有するプロセッサである専用電気回路等が含まれる。

【0095】

１つの処理部は、これらの各種のプロセッサのうちの１つで構成されてもよいし、同種または異種の２つ以上のプロセッサの組み合わせ（例えば、複数のＦＰＧＡの組み合わせ、及び／又は、ＣＰＵとＦＰＧＡとの組み合わせ）で構成されてもよい。また、複数の処理部を１つのプロセッサで構成してもよい。

【0096】

複数の処理部を１つのプロセッサで構成する例としては、第１に、クライアントおよびサーバ等のコンピュータに代表されるように、１つ以上のＣＰＵとソフトウェアの組み合わせで１つのプロセッサを構成し、このプロセッサが複数の処理部として機能する形態がある。第２に、システムオンチップ（System On Chip: SoC）等に代表されるように、複数の処理部を含むシステム全体の機能を１つのＩＣ（Integrated Circuit）チップで実現するプロセッサを使用する形態がある。このように、各種の処理部は、ハードウェア的な構造として、上記各種のプロセッサの１つ以上を用いて構成される。

【0097】

さらに、これらの各種のプロセッサのハードウェア的な構造としては、より具体的には、半導体素子等の回路素子を組み合わせた電気回路（circuitry）を用いることができる。

【0098】

本明細書に記載された全ての文献、特許出願および技術規格は、個々の文献、特許出願および技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。

【符号の説明】

【0099】

１０ 画像形成装置
２０ 制御装置
２０Ａ ＦＰＧＡ
２０Ｂ メモリ
２２ ドライバ
２４ 発光装置
２５ レーザドライバ
２６ 合波光学系
２７ レーザ光源
２８ コリメータ
３０ ＭＥＭＳミラー
３２ 撮像装置
３４ 投影面
３５ リード端子
４０ ミラー部
４０Ａ 反射面
４１ 第１支持部
４２ 第１可動枠
４３ 第２支持部
４４ 第２可動枠
４５ 接続部
４６ 固定枠
５０ 圧電素子
５１ 第１アクチュエータ
５２ 第２アクチュエータ
６０ 画像入力部
６１ 情報生成部
６２ 情報記憶部
６３Ａ 第１基準信号出力部
６３Ｂ 第２基準信号出力部
６４ 発光制御部
６５ 補正部
６６ テーブル保持部
６６Ａ ＬＵＴ
６７ 湿温度センサ
７０ リサージュ曲線
７２ 補正量算出部
７３ 信号補正部
８０ 第１光学素子
８１ 第２光学素子
８２ 第３光学素子
９０ パッケージ
９１ 透光部
ΔＸ，ΔＹ ずれ量
δ１，δ２ 補正量
θ１ 第１振れ角
θ２ 第２振れ角
Ｄ１，Ｄ２ 遅延時間
ＤＴ 画像データ
Ｅ 眼球
ＩＰ 撮像画像
Ｌ レーザ光
Ｌ１ 第１基準線
Ｌ１Ａ，Ｌ１Ｂ 直線
Ｌ２ 第２基準線
Ｌ２Ａ，Ｌ２Ｂ 直線
Ｐ 輝点
Ｐ０ 基準点
Ｐ１ 点
ＰＳ１ 第１基準信号
ＰＳ２ 第２基準信号
ＳＩ 強度情報
Ｖ１Ａ，Ｖ１Ｂ 第１駆動信号
Ｖ２Ａ，Ｖ２Ｂ 第２駆動信号
ＺＣ１ 第１ゼロクロス信号
ＺＣ２ 第２ゼロクロス信号
ａ_１ 第１軸
ａ_２ 第２軸

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】