(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2022189268
(43)【公開日】2022-12-22
(54)【発明の名称】ブレードケース
(51)【国際特許分類】
B23Q 13/00 20060101AFI20221215BHJP
B65D 85/30 20060101ALI20221215BHJP
【ＦＩ】
B23Q13/00
B65D85/30 500
【審査請求】未請求
【請求項の数】1
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021097763
(22)【出願日】2021-06-11
(71)【出願人】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】100075384
【弁理士】
【氏名又は名称】松本 昂
(74)【代理人】
【識別番号】100172281
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 知広
(74)【代理人】
【識別番号】100206553
【弁理士】
【氏名又は名称】笠原 崇廣
(74)【代理人】
【識別番号】100189773
【弁理士】
【氏名又は名称】岡本 英哲
(74)【代理人】
【識別番号】100184055
【弁理士】
【氏名又は名称】岡野 貴之
(74)【代理人】
【識別番号】100185959
【弁理士】
【氏名又は名称】今藤 敏和
(72)【発明者】
【氏名】溝口 亜矢
(72)【発明者】
【氏名】小林 将之
【テーマコード（参考）】
3E096
【Ｆターム（参考）】
3E096AA01
3E096BA16
3E096BB02
3E096CA01
3E096CB02
3E096CC02
3E096DA23
3E096DC01
3E096EA02X
3E096FA07
3E096GA03
(57)【要約】
【課題】ワッシャー型のブレードがブレードケースへ貼り付く際の密着力を低減する。
【解決手段】円環状のワッシャー型のブレードを収容するブレードケースであって、ブレードが載置される載置領域と、載置領域よりも突出する態様で設けられており載置領域に載置されたブレードの貫通穴に挿入された状態でブレードの移動を規制する規制部と、を有し、載置領域に対応する領域に形成されている開口を含む収容部と、収容部の開口を開閉可能な蓋部と、を備え、規制部の外周側面よりも外側に位置する載置領域には凹凸が形成されているブレードケースを提供する。
【選択図】図１
【解決手段】円環状のワッシャー型のブレードを収容するブレードケースであって、ブレードが載置される載置領域と、載置領域よりも突出する態様で設けられており載置領域に載置されたブレードの貫通穴に挿入された状態でブレードの移動を規制する規制部と、を有し、載置領域に対応する領域に形成されている開口を含む収容部と、収容部の開口を開閉可能な蓋部と、を備え、規制部の外周側面よりも外側に位置する載置領域には凹凸が形成されているブレードケースを提供する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
円環状のワッシャー型のブレードを収容するブレードケースであって、
該ブレードが載置される載置領域と、該載置領域よりも突出する態様で設けられており該載置領域に載置された該ブレードの貫通穴に挿入された状態で該ブレードの移動を規制する規制部と、を有し、該載置領域に対応する領域に形成されている開口を含む収容部と、
該開口を開閉可能な蓋部と、
を備え、
該規制部の外周側面よりも外側に位置する該載置領域には凹凸が形成されていることを特徴とするブレードケース。
該ブレードが載置される載置領域と、該載置領域よりも突出する態様で設けられており該載置領域に載置された該ブレードの貫通穴に挿入された状態で該ブレードの移動を規制する規制部と、を有し、該載置領域に対応する領域に形成されている開口を含む収容部と、
該開口を開閉可能な蓋部と、
を備え、
該規制部の外周側面よりも外側に位置する該載置領域には凹凸が形成されていることを特徴とするブレードケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、円環状のワッシャー型のブレードを収容するブレードケースに関する。
【背景技術】
【0002】
表面側に複数の分割予定ラインが設定され当該複数の分割予定ラインで区画された各領域にＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスが形成された半導体ウェーハを、各分割予定ラインに沿って分割し、複数のデバイスチップを製造するためには、例えば、切削装置が使用される。
【0003】
切削装置は、半導体ウェーハを吸引保持するためのチャックテーブルを有する。チャックテーブルの上方には、切削ユニットが配置されている。切削ユニットは、円柱状のスピンドルを有し、スピンドルの一端部には、切削ブレード（以下、単にブレード）が装着される。
【0004】
例えば、スピンドルの一端部に固定されたブレードマウントと、押さえフランジとで、ワッシャー型（ハブレス型とも称される）のブレードを挟持することで、スピンドルの一端部にワッシャー型のブレードが装着される。
【0005】
ワッシャー型のブレードは、砥粒と結合材とを含む切り刃のみで構成されており、一般的に、１００μｍ以下の刃厚を有する。このブレードを搬送する際には、ブレードが破損しない様に、透明又は半透明の合成樹脂で形成されたブレードケースに収容することが一般的である（例えば、特許文献１参照）。
【0006】
ブレードケースは、ワッシャー型のブレードを収容する収容部と、収容部の開口を開閉可能な蓋部と、を有する。収容部には、ブレードの貫通穴に挿入される円板状の突起部が設けられており、ブレードは、この突起部の周囲に位置する略平坦な載置面に載置される。それゆえ、ブレードが帯電していたり、載置面に接するブレードの一面に水が付着していたりすると、ブレードが載置面に貼り付いてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特開２００６－８２８１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
ブレードを取り出す際には、例えば、作業者が手で収容部からブレードを取り出す。このとき、ブレードが載置面に貼り付いていると、ブレードの厚さ方向に力がかかり、ブレードが破損するという問題がある。
【0009】
本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、ブレードがブレードケースへ貼り付く際の密着力を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の一態様によれば、円環状のワッシャー型のブレードを収容するブレードケースであって、該ブレードが載置される載置領域と、該載置領域よりも突出する態様で設けられており該載置領域に載置された該ブレードの貫通穴に挿入された状態で該ブレードの移動を規制する規制部と、を有し、該載置領域に対応する領域に形成されている開口を含む収容部と、該開口を開閉可能な蓋部と、を備え、該規制部の外周側面よりも外側に位置する該載置領域には凹凸が形成されているブレードケースが提供される。
【発明の効果】
【0011】
本発明の一態様に係るブレードケースの載置領域には、凹凸が形成されている。それゆえ、載置領域を略平坦な平面のみで構成する場合に比べて、ブレードと、載置領域との接触面積を減らすことができる。従って、帯電等に起因する密着力を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】第１の実施形態に係るブレードケースの平面図である。
【図2】ブレードケースの断面図である。
【図3】変形例に係るブレードケースの断面図である。
【図4】第２の実施形態に係るブレードケースの平面図である。
【図5】第３の実施形態に係るブレードケースの平面図である。
【図6】第４の実施形態に係るブレードケースの平面図である。
【図7】第５の実施形態に係るブレードケースの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、第１の実施形態に係るブレードケース２の開放状態の平面図であり、図２は、Ａ－Ａにおけるブレードケース２の開放状態の断面図である。
【0014】
ブレードケース２は、円環状のワッシャー型のブレード１１を収容する収容部４と、収容部４に形成されている開口１０ａを開閉可能な蓋部６と、を有する。収容部４及び蓋部６は、透明又は半透明な合成樹脂で形成されている。
【0015】
収容部４は、平面視において半円弧状の一端部４ａと、直線状の他端部４ｂとを有する。蓋部６は、平面視において収容部４と略同じ外形を有し、半円弧状の一端部６ａと、直線状の他端部６ｂとを有する。
【0016】
収容部４及び蓋部６は、図２に示す様に、収容部４における外面４ｃの一端部４ａ側の領域と、蓋部６における外面６ｃの一端部６ａ側の領域と、に貼り付けられたシール部材８により連結されている。
【0017】
シール部材８は、例えば、粘着層と基材層とを有する矩形状のプラスチックフィルムであり、収容部４に対して蓋部６を開閉する際のヒンジとして機能する。ところで、図１に示す様に、収容部４の側部には、外周壁１０が形成されている。
【0018】
外周壁１０は、他端部４ｂ及び切り欠き１０ｃを除く収容部４の外周部に形成されている。外周壁１０よりも内側には、ブレード１１の外周縁１１ｂよりも大きなサイズを有する開口１０ａが存在する。
【0019】
外周壁１０よりも内側の領域の中央部には、外面４ｃからブレードケース２の厚さ方向Ｂ（図２参照）に沿って突出する態様で、円板状の第１凸部（規制部）１２が設けられている。
【0020】
第１凸部１２の径は、ブレードケース２に収容されるブレード１１の略中央に位置する円形の貫通穴１１ａの径と、略等しい。第１凸部１２の径方向において第１凸部１２の外周側面１２ａよりも外側は、ブレード１１が載置される載置領域１０ｂとなる。
【0021】
載置領域１０ｂは、略平坦な載置面１０ｂ１を有する。また、載置領域１０ｂには、載置面１０ｂ１よりも外面４ｃ側へ凹んでいる各々溝状の複数の凹部１０ｂ２が形成されている。各凹部１０ｂ２は、他端部４ｂと略平行、且つ、一端部４ａから他端部４ｂへ進む方向で互いに等間隔に配置されている。
【0022】
載置領域１０ｂにブレード１１を載置すると、載置面１０ｂ１（載置領域１０ｂの最上部に位置する）よりも突出している第１凸部１２が貫通穴１１ａに挿入（例えば、嵌合）され、載置面１０ｂ１と平行な方向におけるブレード１１の移動が規制されると共に、ブレード１１の一面１１ｃ（図２参照）が載置面１０ｂ１に接触する。
【0023】
載置領域１０ｂには、載置面１０ｂ１及び凹部１０ｂ２を含む凹凸が形成されているので、載置領域１０ｂを略平坦な平面のみで構成する場合に比べて、ブレード１１と、載置領域１０ｂとの接触面積を減らすことができる。
【0024】
従って、ブレード１１が帯電していたり、載置面１０ｂ１に接するブレード１１の一面１１ｃに水が付着していたりしても、載置領域１０ｂと一面１１ｃとの密着力を低減できる。これにより、例えば、ブレード１１の載置領域１０ｂへの貼り付きを抑制できる。
【0025】
なお、図２では、載置面１０ｂ１に載置されたブレード１１を破線で示している。第１凸部１２の中央部には、第１凸部１２よりも小径の円板状の第２凸部１４が設けられている。第２凸部１４は、第１凸部１２と略同心状に配置され、厚さ方向Ｂで第１凸部１２よりも突出している。
【0026】
蓋部６は、その厚さ方向Ｃで外面６ｃとは反対側に略平坦な内面６ｄを有する。内面６ｄの略中央には環状凹部１６が形成されている。また、環状凹部１６の径方向において、環状凹部１６よりも内側には、環状凹部１６と同心状の貫通孔１８が形成されている。
【0027】
シール部材８を軸として蓋部６を回動させ、蓋部６の一端部６ａに設けられている爪部２０を、外周壁１０の一端部４ａ側に形成されている切り欠き１０ｃに係合させると、載置領域１０ｂに対応する領域に形成されている開口１０ａが蓋部６により閉じられる。
【0028】
環状凹部１６の内径は、第１凸部１２の外径と略同じであり開口１０ａを蓋部６で閉じると、環状凹部１６には第１凸部１２が嵌合し、環状凹部１６の内周側面１６ａと、第１凸部１２の外周側面１２ａとが接する。
【0029】
また、貫通孔１８の内径は、第２凸部１４の外径と略同じであり、開口１０ａを蓋部６で閉じると、貫通孔１８には第２凸部１４が嵌合し、貫通孔１８の外面６ｃ側の内周側面１８ａと、第２凸部１４の外周側面１４ａとが接する。
【0030】
この様にして、ブレード１１は、収容部４の載置面１０ｂ１と蓋部６の内面６ｄとで挟持され、ブレードケース２に収容される。一方、開口１０ａを開放状態にすると、ブレードケース２からブレード１１を取り出すことができ、また、空の収容部４にブレード１１を収めることができる。
【0031】
（変形例）次に、第１の実施形態の変形例について説明する。図３は、変形例に係るブレードケース２２の開放状態の断面図である。図３は、図２に対応する断面図である。ブレードケース２２は、載置領域１０ｂの形状が第１の実施形態と異なる。
【0032】
載置領域１０ｂは、略平坦な底面１０ｂ３と、収容部４の厚さ方向Ｂにおいて底面１０ｂ３よりも突出しており平面視で各々直線状の複数の凸部１０ｂ４と、を含む。各凸部１０ｂ４は、凹部１０ｂ２と同様に、他端部４ｂと略平行且つ互いに略等間隔に配置されている。
【0033】
載置領域１０ｂにブレード１１を載置すると、凸部１０ｂ４よりも突出している第１凸部１２が貫通穴１１ａに挿入され、ブレード１１の移動が規制されると共に、ブレード１１の一面１１ｃが凸部１０ｂ４に接触する。
【0034】
変形例では、凸部１０ｂ４が載置領域１０ｂの最上部に位置している。但し、凸部１０ｂ４の高さ位置は、第１の実施形態における載置面１０ｂ１の高さ位置と、略同じとなる。
【0035】
変形例においても、底面１０ｂ３及び凸部１０ｂ４により凹凸が形成されているので、載置領域１０ｂを略平坦な平面のみで構成する場合に比べて、ブレード１１と、載置領域１０ｂとの接触面積を減らすことができる。
【0036】
従って、ブレード１１が帯電していたり、凸部１０ｂ４に接するブレード１１の一面１１ｃに水が付着していたりしても、載置領域１０ｂと一面１１ｃとの密着力を低減できる。これにより、例えば、ブレード１１の載置領域１０ｂへの貼り付きを抑制できる。
【0037】
また、凹部１０ｂ２に代えて凸部１０ｂ４とすることにより、作業者がブレード１１の一面１１ｃ側に指先を当てて収容部４からブレード１１を取り出す際に、取り出し易くなるというメリットもある。
【0038】
次に、第２の実施形態について説明する。図４は、第２の実施形態に係るブレードケース３２の開放状態の平面図である。ブレードケース３２の載置領域１０ｂは、略平坦な載置面１０ｂ１と、載置面１０ｂ１よりも外面４ｃ側へ凹んでおり平面視で各々ドット状の複数の凹部１０ｂ５と、を含む。
【0039】
各凹部１０ｂ５は、載置領域１０ｂに略等間隔に配置されている。第２の実施形態では、載置領域１０ｂの最上部が載置面１０ｂ１となる。載置領域１０ｂにブレード１１を載置すると、第１凸部１２が貫通穴１１ａに挿入され、ブレード１１の移動が規制されると共に、ブレード１１の一面１１ｃが載置面１０ｂ１に接触する。
【0040】
第２の実施形態においても、載置面１０ｂ１及び凹部１０ｂ５により凹凸が形成されているので、載置領域１０ｂを略平坦な平面のみで構成する場合に比べて、ブレード１１と、載置領域１０ｂとの接触面積を減らすことができる。従って、帯電等に起因するブレード１１と載置領域１０ｂとの密着力を低減できる。
【0041】
ところで、第２の実施形態の変形例においても、第１の実施形態の変形例と同様に、凹部１０ｂ５を凸部（不図示）に変形してもよい。第２の実施形態の変形例では、載置領域１０ｂの最上部が凹部１０ｂ５ではなく凸部となる。但し、凸部の高さ位置は、第２の実施形態における載置面１０ｂ１の高さ位置と、略同じとなる。
【0042】
当該変形例において、載置領域１０ｂにブレード１１を載置すると、第１凸部１２が貫通穴１１ａに挿入され、ブレード１１の移動が規制されると共に、ブレード１１の一面１１ｃが凸部に接触する。
【0043】
当該変形例においても、帯電等に起因するブレード１１と載置領域１０ｂとの密着力を低減できる。また、凹部１０ｂ５に代えて凸部とすることにより、作業者がブレード１１の一面１１ｃ側に指先を当ててブレード１１を取り出しやすくなる。
【0044】
次に、第３の実施形態について説明する。図５は、第３の実施形態に係るブレードケース４２の開放状態の平面図である。ブレードケース４２の載置領域１０ｂは、略平坦な載置面１０ｂ１と、載置面１０ｂ１よりも外面４ｃ側へ凹んでおり平面視で各々環状の複数の凹部１０ｂ６と、を含む。
【0045】
各凹部１０ｂ６は、第１凸部１２と略同心状に配置されており、第１凸部１２よりも大きな径を有する。第３の実施形態では、載置領域１０ｂの最上部が載置面１０ｂ１となる。載置領域１０ｂにブレード１１を載置すると、貫通穴１１ａに第１凸部１２が挿入され、ブレード１１の移動が規制されると共に、ブレード１１の一面１１ｃが載置面１０ｂ１に接触する。
【0046】
第３の実施形態においても、載置面１０ｂ１及び凹部１０ｂ６により凹凸が形成されているので、載置領域１０ｂを略平坦な平面のみで構成する場合に比べて、ブレード１１と、載置領域１０ｂとの接触面積を減らすことができる。従って、帯電等に起因するブレード１１と載置領域１０ｂとの密着力を低減できる。
【0047】
ところで、第３の実施形態の変形例においても、第１の実施形態の変形例と同様に、凹部１０ｂ６を凸部（不図示）に変形してもよい。第３の実施形態の変形例では、載置領域１０ｂの最上部が凹部１０ｂ６ではなく、凸部（不図示）となる。但し、凸部の高さ位置は、第３の実施形態における載置面１０ｂ１の高さ位置と、略同じとなる。
【0048】
当該変形例において、載置領域１０ｂにブレード１１を載置すると、第１凸部１２が貫通穴１１ａに挿入され、ブレード１１の移動が規制されると共に、ブレード１１の一面１１ｃが凸部に接触する。
【0049】
当該変形例においても、帯電等に起因するブレード１１と載置領域１０ｂとの密着力を低減できる。また、凹部１０ｂ６に代えて凸部とすることにより、作業者がブレード１１の一面１１ｃ側に指先を当ててブレード１１を取り出しやすくなる。
【0050】
次に、第４の実施形態について説明する。図６は、第４の実施形態に係るブレードケース５２の開放状態の平面図である。ブレードケース５２の載置領域１０ｂは、略平坦な載置面１０ｂ１と、載置面１０ｂ１よりも外面４ｃ側へ凹んでおり平面視で第１凸部１２を中心として放射状に配置された各々直線状の複数の凹部１０ｂ７と、を含む。
【0051】
各凹部１０ｂ７は、第１凸部１２の外周側面１２ａから、外周壁１０の内周側面まで形成されている。第４の実施形態では、載置領域１０ｂの最上部が載置面１０ｂ１となる。載置領域１０ｂにブレード１１を載置すると、第１凸部１２が貫通穴１１ａに挿入され、ブレード１１の移動が規制されると共に、ブレード１１の一面１１ｃが載置面１０ｂ１に接触する。
【0052】
第４の実施形態においても、載置面１０ｂ１及び凹部１０ｂ７により凹凸が形成されているので、載置領域１０ｂを略平坦な平面のみで構成する場合に比べて、ブレード１１と、載置領域１０ｂとの接触面積を減らすことができる。従って、帯電等に起因するブレード１１と載置領域１０ｂとの密着力を低減できる。
【0053】
ところで、第４の実施形態の変形例においても、第１の実施形態の変形例と同様に、凹部１０ｂ７を凸部（不図示）に変形してもよい。第４の実施形態の変形例では、載置領域１０ｂの最上部が凹部１０ｂ７ではなく、凸部（不図示）となる。但し、凸部の高さ位置は、第４の実施形態における載置面１０ｂ１の高さ位置と、略同じとなる。
【0054】
当該変形例において、載置領域１０ｂにブレード１１を載置すると、第１凸部１２が貫通穴１１ａに挿入され、ブレード１１の移動が規制されると共に、ブレード１１の一面１１ｃが凸部に接触する。
【0055】
当該変形例においても、帯電等に起因するブレード１１と載置領域１０ｂとの密着力を低減できる。また、凹部１０ｂ７に代えて凸部とすることにより、作業者がブレード１１の一面１１ｃ側に指先を当ててブレード１１を取り出しやすくなる。
【0056】
次に、第５の実施形態について説明する。図７は、第５の実施形態に係るブレードケース６２の開放状態の平面図である。ブレードケース６２の載置領域１０ｂは、略平坦な載置面１０ｂ１と、載置面１０ｂ１よりも外面４ｃ側へ凹んでおり第１凸部１２の周方向に沿って離散的に配置された複数の凹部１０ｂ８と、を含む。
【0057】
各凹部１０ｂ８は、平面視において一端部が半円弧状で、他端部が直線状であり、直線状の他端部が第１凸部１２の外周側面１２ａに近接する様に配置されている。図７に示す例では、６つの凹部１０ｂ８が形成されているが、凹部１０ｂ８の形状、大きさ、配置等は、図７に示す形態に限定されるものではない。
【0058】
第５の実施形態では、載置領域１０ｂの最上部が載置面１０ｂ１となる。載置領域１０ｂにブレード１１を載置すると、第１凸部１２が貫通穴１１ａに挿入され、ブレード１１の移動が規制されると共に、ブレード１１の一面１１ｃが載置面１０ｂ１に接触する。
【0059】
第５の実施形態においても、載置面１０ｂ１及び凹部１０ｂ８により凹凸が形成されているので、載置領域１０ｂを略平坦な平面のみで構成する場合に比べて、ブレード１１と、載置領域１０ｂとの接触面積を減らすことができる。従って、帯電等に起因するブレード１１と載置領域１０ｂとの密着力を低減できる。
【0060】
ところで、第５の実施形態の変形例においても、第１の実施形態の変形例と同様に、凹部１０ｂ８を凸部（不図示）に変形してもよい。第５の実施形態の変形例では、載置領域１０ｂの最上部が凹部１０ｂ８ではなく、凸部（不図示）となる。但し、凸部の高さ位置は、第５の実施形態における載置面１０ｂ１の高さ位置と、略同じとなる。
【0061】
当該変形例において、載置領域１０ｂにブレード１１を載置すると、第１凸部１２が貫通穴１１ａに挿入され、ブレード１１の移動が規制されると共に、ブレード１１の一面１１ｃが凸部に接触する。
【0062】
当該変形例においても、帯電等に起因するブレード１１と載置領域１０ｂとの密着力を低減できる。また、凹部１０ｂ８に代えて凸部とすることにより、作業者がブレード１１の一面１１ｃ側に指先を当ててブレード１１を取り出しやすくなる。
【0063】
その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、開放状態のブレードケース２等に接近し、ブレード１１を吸引保持して取り出す、ブレード１１の自動交換装置においても、上述のブレードケース２等を使用できる。
【符号の説明】
【0064】
２，２２，３２，４２，５２，６２：ブレードケース
４：収容部、４ａ：一端部、４ｂ：他端部、４ｃ：外面
６：蓋部、６ａ：一端部、６ｂ：他端部、６ｃ：外面、６ｄ：内面、８：シール部材
１０：外周壁、１０ａ：開口、１０ｂ：載置領域、１０ｂ１：載置面
１０ｂ２，１０ｂ５，１０ｂ６，１０ｂ７，１０ｂ８：凹部
１０ｂ３：底面、１０ｂ４：凸部、１０ｃ：切り欠き
１１：ブレード、１１ａ：貫通穴、１１ｂ：外周縁、１１ｃ：一面
１２：第１凸部（規制部）、１２ａ：外周側面
１４：第２凸部、１４ａ：外周側面
１６：環状凹部、１６ａ：内周側面
１８：貫通孔、１８ａ：内周側面
２０：爪部、Ｂ，Ｃ：厚さ方向
４：収容部、４ａ：一端部、４ｂ：他端部、４ｃ：外面
６：蓋部、６ａ：一端部、６ｂ：他端部、６ｃ：外面、６ｄ：内面、８：シール部材
１０：外周壁、１０ａ：開口、１０ｂ：載置領域、１０ｂ１：載置面
１０ｂ２，１０ｂ５，１０ｂ６，１０ｂ７，１０ｂ８：凹部
１０ｂ３：底面、１０ｂ４：凸部、１０ｃ：切り欠き
１１：ブレード、１１ａ：貫通穴、１１ｂ：外周縁、１１ｃ：一面
１２：第１凸部（規制部）、１２ａ：外周側面
１４：第２凸部、１４ａ：外周側面
１６：環状凹部、１６ａ：内周側面
１８：貫通孔、１８ａ：内周側面
２０：爪部、Ｂ，Ｃ：厚さ方向
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】