特開 2022-189425 搬送トレイ及び搬送トレイの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022189425

(43)【公開日】2022-12-22

(54)【発明の名称】搬送トレイ及び搬送トレイの製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20221215BHJP

   B65D 85/86 20060101ALI20221215BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 U

B65D85/86 400

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021097990

(22)【出願日】2021-06-11

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 章文

【テーマコード（参考）】

3E096

5F131

【Ｆターム（参考）】

3E096AA09

3E096BA09

3E096BB03

3E096CA06

3E096CB02

3E096CC02

3E096FA11

5F131AA04

5F131BA52

5F131CA32

5F131CA49

5F131DA32

5F131GA05

5F131GA23

5F131GA42

5F131GA53

5F131GA62

5F131GA66

5F131GA68

5F131GA72

5F131KB24

5F131KB38

(57)【要約】

【課題】チップを置く位置の目印やどのチップが収容されているか等の搬送トレイを用いる使用者にとって有用な情報を取得できる搬送トレイ及び搬送トレイの製造方法を提供すること。
【解決手段】搬送トレイ１は、デバイスチップ２０３を仮固定する粘着層３が配置されている。粘着層３は可視光を透過する透明または半透明に形成されている。粘着層３の下面には、搬送トレイ１を用いる使用者に目視可能な情報９を表示する情報表示部４が配置されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

チップを仮固定する粘着層が配置された搬送トレイであって、
該粘着層は可視光を透過する透明または半透明に形成され、
該粘着層の下面には、搬送トレイを用いる使用者に目視可能な情報を表示する情報表示部が配置されている搬送トレイ。

【請求項2】

該情報表示部は、仮固定する該チップの固定位置を示す目印情報、チップの製造工程に関連する情報を示す製造情報、該チップの種類情報、又は広告情報が表示されている請求項１に記載の搬送トレイ。

【請求項3】

該情報表示部は、該情報を色、文字、コードで表示する請求項１又は２に記載の搬送トレイ。

【請求項4】

該情報表示部は、外的刺激によって情報を書き換え可能である請求項１，２又は３に記載の搬送トレイ。

【請求項5】

該情報表示部は、携帯端末の画面である請求項１，２，３又は４に記載の搬送トレイ。

【請求項6】

搬送トレイの製造方法であって、
チップを収容するトレイを準備するトレイ準備ステップと、
該トレイの底面に情報を表示する情報表示部を配置する情報表示部配置ステップと、
該情報表示部の上面に、粘着力があり可視光を透過する樹脂層を被覆する樹脂層被覆ステップと、を備える搬送トレイの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、チップを仮固定して搬送する搬送トレイ及び搬送トレイの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体デバイス製造工程においては、ウェーハの表面に格子状に配列された多数の領域にＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスを形成し、各領域を区画する分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することにより個々のデバイスを製造している。このようにして分割されたデバイスは、金属フレームや樹脂によってパッケージ基板となり、更に個々のパッケージデバイスチップに分割され、携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。

【0003】

パッケージ基板を分割する際は、切削装置のチャックテーブルに直接固定され、個々のパッケージデバイスチップに分割後、チップを収容、搬送、保管する際に、搬送トレイに収容される。搬送トレイは通常、チップのサイズに合わせた仕切りがあり、それぞれのチップのサイズに合わせた搬送トレイを用意するが、チップを仮固定可能な粘着力やタック力のある粘着層をトレイの底面に敷設し、チップのサイズを問わない搬送トレイが開発された（例えば特許文献１、２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第５６７９７３５号公報

【特許文献2】特開２０１２－１４４２６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、この搬送トレイは仕切りが無いため、チップを置く位置の目印が無く使用に戸惑ったりする恐れがあった。また、チップのサイズを限定しない事で、搬送トレイにどのチップが収容されているかわからないという新たな課題もあった。

【0006】

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、チップを置く位置の目印やどのチップが収容されているか等の搬送トレイを用いる使用者にとって有用な情報を取得できる搬送トレイ及び搬送トレイの製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の搬送トレイは、チップを仮固定する粘着層が配置された搬送トレイであって、該粘着層は可視光を透過する透明または半透明に形成され、該粘着層の下面には、搬送トレイを用いる使用者に目視可能な情報を表示する情報表示部が配置されている。

【0008】

該情報表示部は、仮固定する該チップの固定位置を示す目印情報、チップの製造工程に関連する情報を示す製造情報、該チップの種類情報、又は広告情報が表示されてもよい。

【0009】

該情報表示部は、該情報を色、文字、コードで表示してもよい。

【0010】

該情報表示部は、外的刺激によって情報を書き換え可能であってもよい。

【0011】

該情報表示部は、携帯端末の画面であってもよい。

【0012】

また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の搬送トレイの製造方法は、搬送トレイの製造方法であって、チップを収容するトレイを準備するトレイ準備ステップと、該トレイの底面に情報を表示する情報表示部を配置する情報表示部配置ステップと、該情報表示部の上面に、粘着力があり可視光を透過する樹脂層を被覆する樹脂層被覆ステップと、を備える。

【発明の効果】

【0013】

本発明は、搬送トレイを用いる使用者にとって有用な情報を取得できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、実施形態１に係る搬送トレイの構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、図１の搬送トレイを示す断面図である。

【図3】図３は、図１の搬送トレイに収容されるデバイスチップを製造する加工装置を示す斜視図である。

【図4】図４は、実施形態１に係る搬送トレイの製造方法の処理の手順の一例を示すフローチャートである。

【図5】図５は、実施形態２に係る搬送トレイの構成例を示す斜視図である。

【図6】図６は、実施形態３に係る搬送トレイの構成例を示す斜視図である。

【図7】図７は、実施形態４に係る搬送トレイの構成例を示す斜視図である。

【図8】図８は、実施形態５に係る搬送トレイの構成例を示す斜視図である。

【図9】図９は、実施形態６に係る搬送トレイの構成例を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0016】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る搬送トレイ１及び搬送トレイの製造方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る搬送トレイ１の構成例を示す斜視図である。図２は、図１の搬送トレイ１を示す断面図である。搬送トレイ１は、図１及び図２に示すように、デバイスチップ（パッケージデバイスチップ、特許請求の範囲に記載されたチップに相当）２０３を収容して搬送するものであり、トレイ本体２（特許請求の範囲に記載されたトレイに相当）と、粘着層３と、情報表示部４とを備える。

【0017】

トレイ本体２は、図１に示すように、平面形状が矩形の平板状に形成され、被加工物２００（図３参照）を収容可能な大きさの凹部からなるデバイス支持部６と、デバイス支持部６の外周を囲繞して形成された枠体７とを備える。

【0018】

デバイス支持部６は、搬送トレイ１の上面から凹の凹部からなり、実施形態１では、被加工物２００の平面形状よりも大きな矩形状に形成されている。デバイス支持部６は、粘着層３及び情報表示部４を介して複数のデバイスチップ２０３を支持する底面６－１を底に有する。底面６－１は、平坦に形成されている。デバイス支持部６の底面６－１は、被加工物２００から個片化された複数のデバイスチップ２０３を一度に収容できるように設定されている。枠体７は、デバイス支持部６の底面６－１の外周を囲繞して、底面６－１から上方に凸に形成されている。

【0019】

情報表示部４は、図２に示すように、トレイ本体２のデバイス支持部６の底面６－１に配置されている。粘着層３は、デバイス支持部６の底面６－１と情報表示部４との上方を覆うように、デバイス支持部６の底面６－１と情報表示部４との全体上に配置されている。粘着層３は、デバイス支持部６上に露出しており、デバイス支持部６上の露出面が平坦に形成されている。すなわち、情報表示部４は、デバイス支持部６の底面６－１と粘着層３の下面との間に配置されている。

【0020】

粘着層３は、複数のデバイスチップ２０３を貼着して仮固定する粘着力を有する。ここで、デバイスチップ２０３を仮固定するとは、一定の衝撃が加えられたり、所定以下の角度に搬送トレイ１が傾けられてもデバイスチップ２０３が移動しない状態、なおかつ、搬送トレイ１を用いる使用者によりデバイスチップ２０３を容易に取り外して移動させることが可能な状態にすることをいう。粘着層３は、可視光を透過する材料、すなわち可視光に対して透明または半透明である材料で構成されている。このため、粘着層３は、搬送トレイ１を用いる使用者により粘着層３越しに情報表示部４に表示された情報９を目視可能にしている。粘着層３は、実施形態１では、例えば、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂、エチレン－不飽和カルボン酸共重合樹脂、エチレン－酢酸ビニル共重合樹脂、アイオノマー、エチレン－酢酸ビニル－無水マレイン酸三元共重合樹脂、エチレン－酢酸ビニル共重合体ケン化樹脂、並びに、エチレン－ビニルアルコール共重合樹脂等から選択される一種または二種以上の樹脂を含む樹脂層により構成することができる。

【0021】

情報表示部４は、情報９を表示する側が搬送トレイ１の上面側に向けられて配置されており、搬送トレイ１の上面側から搬送トレイ１を用いる使用者に目視可能な情報９を表示する。情報表示部４は、実施形態１では、水平方向に延びる薄い媒体、例えば、搬送トレイ１の上面側に向けて情報９を表示する紙、カード、シート、薄板等により構成することができる。なお、情報９を表示する情報表示部４は、本発明ではこれに限定されず、情報９を直接表示するデバイス支持部６の底面６－１であってもよい。

【0022】

情報表示部４に表示されている情報９は、例えば搬送トレイ１を用いる使用者にとって有用な情報であり、実施形態１では、図１に示すように、仮固定するデバイスチップ２０３の固定位置を示す目印情報９－１である。目印情報９－１は、図１に示す例では、隣接するデバイスチップ２０３の固定位置の間に破線で示された境界線であるが、本発明ではこれに限定されず、使用者がデバイスチップ２０３を固定する際に目印になるものであればどのような形態でもよく、例えば、デバイスチップ２０３の外周に対応した四角形の枠線でも、デバイスチップ２０３の固定位置の中心に形成されたスポットでもよい。

【0023】

情報９は、本発明では目印情報９－１に限定されず、例えば、デバイスチップ２０３の製造に関する情報を示す製造情報、デバイスチップ２０３の種類情報、デバイスチップ２０３や使用者に関する広告情報等でもよい。デバイスチップ２０３の製造情報は、デバイスチップ２０３の製造工程の情報を示す工程情報、デバイスチップ２０３を製造する工場の情報を示す工場情報、デバイスチップ２０３の限度見本等の品質管理に関する情報を示す品質情報、デバイスチップ２０３の製造において所定の装置に入力が必要な情報を示す入力情報、等を含む。また、デバイスチップ２０３の製造情報は、搬送トレイ１を用いる使用者への作業に関する指示情報も含む。指示情報は、例えば、搬送トレイ１がデバイスチップ２０３の製造工程において所定の２台の加工装置の間の運搬で使用する旨の指示や、デバイスチップ２０３の出荷先を明示した指示等である。デバイスチップ２０３や使用者に関する広告情報は、例えば、デバイスチップ２０３の製造に必要な装置や機器や交換部材等の新規開発品、加工装置１００のメーカーの商品、または、搬送トレイ１の新製品等を宣伝する広告情報である。

【0024】

情報表示部４は、実施形態１では、情報９を破線で表示しているが、本発明ではこれに限定されず、情報９を、例えば、破線も含む図形、色彩、写真、文字、コードから選択される一種または二種以上を用いて表示してもよい。ここで、情報９を表示する図形は、例えば、目印情報９－１のように、搬送トレイ１を用いる使用者が一目見て感覚的に情報９を理解可能な図形が使用される。また、情報９を表示する色彩は、例えば、搬送トレイ１を用いる使用者にとって有用性の高いものほど目立つ色彩が使用される。搬送トレイ１を用いる使用者にとっての有用性は、例えば、使用者が搬送トレイ１に収容するデバイスチップ２０３について実施する作業に対する関連性である。また、情報９を表示する写真は、例えば、搬送トレイ１を用いる使用者にとって理解すべき情報９の見本等をわかりやすく表現する写真が使用される。情報９を表示する写真は、撮像したままの生写真でもよいし、情報９をわかりやすく表現するために適宜加工した写真（画像）でもよい。また、情報９を表示する文字は、例えば、搬送トレイ１を用いる使用者にとって理解すべき情報９の要点を端的に表現する文字が使用される。また、コードは、記号でもよく、所定の読み取り機で読み取ることで情報９を読み取るバーコードやＱＲコード（登録商標）に例示される２次元コード等も含む。コードに含まれる記号は、上記の図形と同様に、搬送トレイ１を用いる使用者が一目見て感覚的に情報９を理解可能な記号が使用されてもよいし、上記の文字と同様に、搬送トレイ１を用いる使用者にとって理解すべき情報９の要点を端的に表現する記号が使用されてもよい。

【0025】

情報表示部４は、加熱又は冷却、磁気の印加、紫外線の照射、接触等の物理的な外的刺激によって、情報９を書き換え可能な所謂リライト機能を有するものでもよい。このような場合、情報表示部４は、所定の情報書き換え器によってデバイス支持部６越しまたは粘着層３越しに消去及び印刷する情報９に応じた外的刺激が加えられることにより、先に表示されていた情報９が消去され、新たな情報９が印刷されることにより、情報９が書き換えられる。

【0026】

次に、本明細書は、実施形態１に係る搬送トレイ１に収容されるデバイスチップ２０３について説明する。図３は、図１の搬送トレイ１に収容されるデバイスチップ２０３を製造する加工装置１００を示す斜視図である。加工装置１００は、図３に示すように、被加工物２００を加工してデバイスチップ２０３を製造する装置であり、保持テーブル１１０と、加工ユニット１２０と、撮像ユニット１３０と、Ｘ軸方向移動ユニット１４１と、Ｙ軸方向移動ユニット１４２と、Ｚ軸方向移動ユニット１４３と、制御ユニット１５０と、を備える。

【0027】

加工装置１００によって、実施形態１に係る搬送トレイ１に収容されるデバイスチップ２０３に加工される被加工物２００は、図３に示すように、平面形状が矩形の平板状に形成されている。被加工物２００は、実施形態１では、図３に示すように、ＣＳＰ（Chip Size Package）やＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded Package）等のように、複数の半導体チップを樹脂で封止して構成された所謂パッケージ基板である。被加工物２００の表面２０１には、格子状に複数の分割予定ライン２０２が形成されており、分割予定ライン２０２によって区画された各領域に半導体チップが搭載されている。被加工物２００は、図３に示す加工装置１００によって分割予定ライン２０２が切削されて、個々のデバイスチップ２０３に分割される。

【0028】

保持テーブル１１０は、矩形状に形成され、かつ被加工物２００を保持する保持面１１１を備える。保持面１１１は、被加工物２００及びデバイスチップ２０３を吸引するための吸引口１１２と、切削ブレード２１を逃がすための逃がし溝１１３とを設けている。吸引口１１２は、デバイスチップ２０３と重なる位置に設けられかつ保持面１１１に開口している。逃がし溝１１３は、分割予定ライン２０２に対応する位置に設けられかつ保持面１１１から凹に形成されている。

【0029】

保持テーブル１１０は、吸引口１１２が図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引口１１２が吸引されることで、被加工物２００を保持面１１１に吸引、保持する。また、保持テーブル１１０は、Ｘ軸方向移動ユニット１４１により加工送り方向であるＸ軸方向に移動自在で、図示しない回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。

【0030】

加工ユニット１２０は、被加工物２００を切削加工するものであり、保持テーブル１１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード１２１を装着するスピンドル１２２を備える。切削ブレード１２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。スピンドル１２２は、切削ブレード１２１を回転させることで被加工物２００を切削する。加工ユニット１２０のスピンドル１２２及び切削ブレード１２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。加工装置１００は、図３に示すように、加工ユニット１２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。

【0031】

加工ユニット１２０は、保持テーブル１１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸方向移動ユニット１４２により割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸方向移動ユニット１４３により切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動自在に設けられている。加工ユニット１２０は、Ｙ軸方向移動ユニット１４２及びＺ軸方向移動ユニット１４３により、保持テーブル１１０の保持面１１１の任意の位置に切削ブレード１２１を位置付け可能となっている。加工ユニット１２０は、Ｙ軸方向移動ユニット１４２及びＺ軸方向移動ユニット１４３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動されることによって、Ｘ軸方向移動ユニット１４１によりＸ軸方向に移動される保持テーブル１１０に保持された被加工物２００を分割予定ライン２０２に沿って切削して、被加工物２００を複数のデバイスチップ２０３に分割する。

【0032】

撮像ユニット１３０は、実施形態１では、一方の加工ユニット１２０に取り付けられて、一方の加工ユニット１２０と一体に移動する。撮像ユニット１３０は、保持テーブル１１０に保持された加工前及び加工後の被加工物２００を撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット１３０は、保持テーブル１１０に保持された被加工物２００を撮像して、被加工物２００と切削ブレード１２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するための画像を得、得た画像を制御ユニット１５０に出力する。撮像ユニット１３０は、保持テーブル１１０に保持された被加工物２００を撮像して、被加工物２００に形成された切削溝等の加工痕の品質を確認するカーフチェックを遂行するための画像を得、得た画像を制御ユニット１５０に出力する。

【0033】

制御ユニット１５０は、加工装置１００の各構成要素の動作を制御して、被加工物２００を切削加工して複数のデバイスチップ２０３を製造するための各種処理を加工装置１００に実施させる。制御ユニット１５０は、実施形態１では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット１５０が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット１５０の演算処理装置は、制御ユニット１５０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１００を制御するための制御信号を、制御ユニット１５０の入出力インターフェース装置を介して加工装置１００の各構成要素に出力する。

【0034】

搬送トレイ１を用いる使用者は、加工装置１００により被加工物２００を切削加工して製造したデバイスチップ２０３を加工装置１００から取り出し、搬送トレイ１のデバイス支持部６上の粘着層３に貼着することで、デバイスチップ２０３を搬送トレイ１の粘着層３上に仮固定する。なお、搬送トレイ１を用いる使用者は、デバイスチップ２０３の表面２０１側を粘着層３に貼着してもよいし、デバイスチップ２０３の表面２０１とは反対側の裏面２０４側を粘着層３に貼着してもよい。搬送トレイ１を用いる使用者は、このようにデバイスチップ２０３を搬送トレイ１の粘着層３上に仮固定する際に、搬送トレイ１の情報表示部４に表示された情報９を粘着層３越しに目視して取得する。実施形態１では、搬送トレイ１は、情報表示部４に、搬送トレイ１に仮固定するデバイスチップ２０３の固定位置を示す目印情報９－１が表示されているので、搬送トレイ１を用いる使用者は、目印情報９－１を目視で確認しながら、デバイスチップ２０３を搬送トレイ１の粘着層３上の正確な位置に仮固定することができる。

【0035】

次に、本明細書は、実施形態１に係る搬送トレイの製造方法の処理の一例を図面に基づいて説明する。図４は、実施形態１に係る搬送トレイの製造方法の処理の手順の一例を示すフローチャートである。実施形態１に係る搬送トレイの製造方法は、実施形態１に係る搬送トレイ１を製造する方法であり、図４に示すように、トレイ準備ステップ１００１と、情報表示部配置ステップ１００２と、樹脂層被覆ステップ１００３と、を備える。

【0036】

トレイ準備ステップ１００１は、デバイスチップ２０３を収容するトレイ本体２を準備するステップである。情報表示部配置ステップ１００２は、トレイ準備ステップ１００１で準備したトレイ本体２のデバイス支持部６の底面６－１に、情報９を表示する情報表示部４を、情報９を表示している側を底面６－１とは反対側の上方に向けて配置するステップである。

【0037】

樹脂層被覆ステップ１００３は、情報表示部配置ステップ１００２で配置した情報表示部４の情報９を表示している側の上面に、複数のデバイスチップ２０３を貼着して仮固定する粘着力があり、なおかつ、可視光を透過する樹脂層を被覆することにより、樹脂層で構成される粘着層３を形成するステップである。樹脂層被覆ステップ１００３では、デバイス支持部６の底面６－１と情報表示部４との上方を覆うように、かつ、露出面が平坦になるように、粘着層３を形成する。

【0038】

以上のような構成を有する実施形態１に係る搬送トレイ１及び搬送トレイの製造方法は、搬送トレイ１のデバイスチップ２０３を仮固定する粘着層３越しに、搬送トレイ１を用いる使用者にとって有用な情報９が搬送トレイ１を用いる使用者に視認可能に情報表示部４に表示されている。このため、実施形態１に係る搬送トレイ１及び搬送トレイの製造方法は、搬送トレイ１を用いる使用者が、搬送トレイ１を使用する際に、使用者にとって有用な情報９を取得することができるという作用効果を奏する。また、搬送トレイ１及び搬送トレイの製造方法は、搬送トレイ１の粘着層３がデバイス支持部６上に露出しており、デバイス支持部６上の露出面が平坦に形成されているので、搬送トレイ１へデバイスチップ２０３を固定する作業が情報表示部４によって妨げられないという作用効果を奏する。

【0039】

また、実施形態１に係る搬送トレイ１及び搬送トレイの製造方法は、情報表示部４が、仮固定するデバイスチップ２０３の固定位置を示す目印情報９－１を表示している。このため、実施形態１に係る搬送トレイ１及び搬送トレイの製造方法は、搬送トレイ１を用いる使用者が、目印情報９－１を目視で確認しながら、デバイスチップ２０３を搬送トレイ１の粘着層３上の正確な位置に仮固定することができるという作用効果を奏する。

【0040】

また、実施形態１に係る搬送トレイ１及び搬送トレイの製造方法は、情報表示部４が、情報９を図形、色彩、写真、文字、コード等で表示してもよい。このため、実施形態１に係る搬送トレイ１及び搬送トレイの製造方法は、搬送トレイ１を用いる使用者が、情報９を一目見るだけで感覚的に容易に理解したり、使用者にとってより有用な情報９をより確実に取得したり、所定の読み取り機で容易により詳細な情報９を読み取ったりすることができるという作用効果を奏する。

【0041】

また、実施形態１に係る搬送トレイ１及び搬送トレイの製造方法は、情報表示部４が、外的刺激によって情報９を書き換え可能であってもよい。このため、実施形態１に係る搬送トレイ１及び搬送トレイの製造方法は、搬送トレイ１を収容するデバイスチップ２０３の種類やデバイスチップ２０３に関する工程等に応じて情報９を変更することにより、様々な種類のデバイスチップ２０３を収容可能なデバイス支持部６上に仕切りのない搬送トレイ１の使用の自由度を高めることができるという作用効果を奏する。

【0042】

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る搬送トレイ１－２を説明する。図５は、実施形態２に係る搬送トレイ１－２の構成例を示す斜視図である。図５は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0043】

実施形態２に係る搬送トレイ１－２は、実施形態１に係る搬送トレイ１において、情報表示部４に表示されている情報９を目印情報９－１からデバイスチップ２０３の製造情報９－２に変更したものであり、その他の構成は実施形態１に係る搬送トレイ１と同様である。製造情報９－２は、図５に示す例では、搬送トレイ１－２に収容するデバイスチップ２０３の現在の製造工程と、次の製造工程と、両工程間で使用者が実行する作業を実施する旨の指示情報と、の要点を文字列で端的に示した工程情報である。

【0044】

以上のような構成を有する実施形態２に係る搬送トレイ１－２及び搬送トレイ１－２を製造する搬送トレイの製造方法は、情報９が目印情報９－１であることによるものを除き、実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。さらに、実施形態２に係る搬送トレイ１－２及び搬送トレイ１－２を製造する搬送トレイの製造方法は、情報表示部４がデバイスチップ２０３の製造情報９－２の工程情報を表示しているので、搬送トレイ１－２を用いる使用者が、製造情報９－２を目視で確認することで使用者が搬送トレイ１－２に収容して取り扱っているデバイスチップ２０３の製造工程上の位置と現在の工程後に使用者が実行する作業内容とを正確に理解できるという作用効果を奏する。これにより、実施形態２に係る搬送トレイ１－２及び搬送トレイ１－２を製造する搬送トレイの製造方法は、搬送トレイ１－２を用いる使用者の工程上の作業ミスを低減したり、作業効率を向上したりできるという作用効果を奏する。

【0045】

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る搬送トレイ１－３を説明する。図６は、実施形態３に係る搬送トレイ１－３の構成例を示す斜視図である。図６は、実施形態１、２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0046】

実施形態３に係る搬送トレイ１－３は、実施形態１に係る搬送トレイ１において、情報表示部４に表示されている情報９を目印情報９－１からデバイスチップ２０３の製造情報９－３に変更したものであり、その他の構成は実施形態１に係る搬送トレイ１と同様である。製造情報９－３は、図６に示す例では、搬送トレイ１－３に収容するデバイスチップ２０３を製造する工場の上面から見た地図を図形や文字を組み合わせて示した工場情報である。

【0047】

以上のような構成を有する実施形態３に係る搬送トレイ１－３及び搬送トレイ１－３を製造する搬送トレイの製造方法は、情報９が目印情報９－１であることによるものを除き実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。さらに、実施形態３に係る搬送トレイ１－３及び搬送トレイ１－３を製造する搬送トレイの製造方法は、情報表示部４がデバイスチップ２０３の製造情報９－３の工場情報を表示しているので、搬送トレイ１－３を用いる使用者が、製造情報９－３を目視で確認することで使用者が搬送トレイ１－３に収容して取り扱っているデバイスチップ２０３を製造する工場内の各工程を実施する装置や、仕掛品や製品を収納する棚のレイアウト情報を正確に理解できるという作用効果を奏する。これにより、実施形態３に係る搬送トレイ１－３及び搬送トレイ１－３を製造する搬送トレイの製造方法は、搬送トレイ１－３を用いる使用者の工場内の移動ミスを低減したり、移動効率を向上したりできるという作用効果を奏する。

【0048】

〔実施形態４〕
本発明の実施形態４に係る搬送トレイ１－４を説明する。図７は、実施形態４に係る搬送トレイ１－４の構成例を示す斜視図である。図７は、実施形態１～３と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0049】

実施形態４に係る搬送トレイ１－４は、実施形態１に係る搬送トレイ１において、情報表示部４に表示されている情報９を目印情報９－１からデバイスチップ２０３の製造情報９－４に変更したものであり、その他の構成は実施形態１に係る搬送トレイ１と同様である。製造情報９－４は、図７に示す例では、搬送トレイ１－４に収容するデバイスチップ２０３の限度見本を写真（画像）や文字を組み合わせて示した品質情報である。製造情報９－４は、図７に示す例では、デバイスチップ２０３を切削加工する際に生じたチッピングの限度見本を示している。

【0050】

以上のような構成を有する実施形態４に係る搬送トレイ１－４及び搬送トレイ１－４を製造する搬送トレイの製造方法は、情報９が目印情報９－１であることによるものを除き実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。さらに、実施形態４に係る搬送トレイ１－４及び搬送トレイ１－４を製造する搬送トレイの製造方法は、情報表示部４がデバイスチップ２０３の製造情報９－４の品質情報を表示しているので、搬送トレイ１－４を用いる使用者が、製造情報９－４を目視で確認することで使用者が搬送トレイ１－４に収容して取り扱っているデバイスチップ２０３が限度見本に基づいて品質が合格しているか否かを判断できるという作用効果を奏する。これにより、実施形態４に係る搬送トレイ１－４及び搬送トレイ１－４を製造する搬送トレイの製造方法は、搬送トレイ１－４を用いる使用者が効率よくデバイスチップ２０３の品質の合否が判別でき、例えばデバイスチップ２０３の不合格品を搬送トレイ１－４の特定の領域に分けて収容する場合には適切に分けて収容することができ、後工程を実施する前に取り除く必要がある場合には適切に取り除くことができるという作用効果を奏する。

【0051】

〔実施形態５〕
本発明の実施形態５に係る搬送トレイ１－５を説明する。図８は、実施形態５に係る搬送トレイ１－５の構成例を示す斜視図である。図８は、実施形態１～４と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0052】

実施形態５に係る搬送トレイ１－５は、実施形態１に係る搬送トレイ１において、情報表示部４に表示されている情報９を目印情報９－１からデバイスチップ２０３の製造情報９－５に変更したものであり、その他の構成は実施形態１に係る搬送トレイ１と同様である。製造情報９－５は、図８に示す例では、搬送トレイ１－５に収容するデバイスチップ２０３の製造において所定の装置に入力が必要な情報を２次元コードで示した入力情報である。

【0053】

以上のような構成を有する実施形態５に係る搬送トレイ１－５及び搬送トレイ１－５を製造する搬送トレイの製造方法は、情報９が目印情報９－１であることによるものを除き実施形態１と同様の作用効果を奏するものとなる。さらに、実施形態５に係る搬送トレイ１－５及び搬送トレイ１－５を製造する搬送トレイの製造方法は、情報表示部４がデバイスチップ２０３の製造情報９－５の入力情報を表示しているので、搬送トレイ１－５を用いる使用者が、所定の読み取り機で製造情報９－５を読み取る作業を実施することで、使用者が搬送トレイ１－５に収容して取り扱っているデバイスチップ２０３の製造において所定の装置に入力が必要な製造情報９－５を容易に効率よく入力できるという作用効果を奏する。

【0054】

また、実施形態１から実施形態５では、搬送トレイ１～１－５の情報表示部４に表示されている情報９が目印情報９－１、製造情報９－２～９－５である例を説明したが、本発明ではこれに限定されない。例えば、搬送トレイ１の情報表示部４に表示されている情報９がデバイスチップ２０３の仕様やサイズを示す型番や、製造のロット番号、または品質の合否などの種類情報である場合、この搬送トレイ１及びこの搬送トレイ１を製造する搬送トレイの製造方法は、この搬送トレイ１を用いる使用者が、種類情報を目視で確認することで、使用者がこの搬送トレイ１に収容して取り扱っているデバイスチップ２０３の仕様を容易に確認でき、例えばデバイスチップ２０３の仕様に応じた工程を実施しているか否か等を容易に確認できるという作用効果を奏する。また、搬送トレイ１の情報表示部４に表示されている情報９がデバイスチップ２０３や使用者に関する広告情報である場合、この搬送トレイ１及びこの搬送トレイ１を製造する搬送トレイの製造方法は、この搬送トレイ１を用いる使用者が、広告情報を目視で容易に確認できるという作用効果を奏する。

【0055】

〔実施形態６〕
本発明の実施形態６に係る搬送トレイ１－６を説明する。図９は、実施形態６に係る搬送トレイ１－６の構成例を示す断面図である。図９は、実施形態１～５と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

【0056】

実施形態６に係る搬送トレイ１－６は、実施形態１に係る搬送トレイ１において、情報表示部４を携帯端末１０に変更したものであり、その他の構成は実施形態１に係る搬送トレイ１と同様である。

【0057】

携帯端末１０は、図９に示すように、実施形態１～５の情報表示部４と同様に、デバイス支持部６の底面６－１と粘着層３の下面との間に配置されている。携帯端末１０は、図９に示すように、画面４－６と、制御ユニット１５とを備える。携帯端末１０は、実施形態１～５の情報表示部４と同様に、情報９を表示する画面４－６が搬送トレイ１－６の上面側に向けられて配置されている。画面４－６は、制御ユニット１５からの制御に従い、実施形態１～５と同様の情報９を表示する。このように、携帯端末１０の画面４－６は、実施形態１～５の情報表示部４と同様の機能を実現する。

【0058】

携帯端末１０は、実施形態１～５の情報表示部４と同様に、紙、カード、シート、薄板等のような水平方向に延びる薄い形状を有している。携帯端末１０は、高機能携帯電話（いわゆる、スマートフォン）を含む携帯電話機、及び、タブレット端末が例示される。携帯端末１０の制御ユニット１５は、加工装置１００の制御ユニット１５０と同様のコンピュータシステムを含み、ＣＰＵのようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ又はＲＡＭのようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット１５の演算処理装置は、制御ユニット１５の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、携帯端末１０を制御するための制御信号を、制御ユニット１５の入出力インターフェース装置を介して携帯端末１０の各構成要素に出力する。

【0059】

携帯端末１０は、不図示の外部機器と無線で情報通信可能に接続されている。携帯端末１０の制御ユニット１５は、この外部機器から情報９を受信し、画面４－６に表示させることができる。搬送トレイ１－６は、例えば、加工装置１００を含むデバイスチップ２０３の工場の管理者が外部機器に情報９を入力することにより、携帯端末１０の制御ユニット１５が情報９を受信して画面４－６に表示させることにより、画面４－６に表示させている情報９を書き換えることができる。搬送トレイ１－６は、また、工場の管理者が外部機器に情報９を入力することにより、画面４－６に情報９を表示させることで、搬送トレイ１－６を通じて搬送トレイ１－６を用いる使用者に遠隔で情報９を伝達することを可能にする。

【0060】

また、携帯端末１０は、ＧＰＳ（Global Positioning System）と無線で情報通信可能に接続されており、ＧＰＳを利用して携帯端末１０の位置情報を取得し、不図示の外部機器に送信することができる。搬送トレイ１－６は、例えば、加工装置１００を含むデバイスチップ２０３の工場の管理者が外部機器から携帯端末１０の位置情報を取得することにより、搬送トレイ１－６の位置情報を取得して、搬送トレイ１－６の位置を管理し、記録できる。このため、工程内での位置を確認できたり、デバイスチップ２０３を収容して出荷した搬送トレイ１－６の位置を追跡することを可能にする。

【0061】

以上のような構成を有する実施形態６に係る搬送トレイ１－６及び搬送トレイ１－６を製造する搬送トレイの製造方法は、実施形態１に係る搬送トレイ１において、情報表示部４を携帯端末１０の画面４－６に変更したものであるので、外部機器を通じて携帯端末１０に情報９を入力することで、より容易に、情報９を書き換えたり、遠隔で情報９を伝達したり、搬送トレイ１－６の位置情報を取得したりすることができるという作用効果を奏する。

【0062】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0063】

１，１－２，１－３，１－４，１－５，１－６ 搬送トレイ
３ 粘着層
４ 情報表示部
４－６ 画面
９ 情報
９－１ 目印情報
９－２，９－３，９－４，９－５ 製造情報
１０ 携帯端末
２０３ デバイスチップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】