特開 2022-190829出願番号 特願 2021-99286
基板処理装置及び情報処理システム
出願人 株式会社荏原製作所（識別番号 239）
2026年 特許公開件数ランキング 154位 165件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 214位 104件（※）
公報発行日 2022年12月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-190829 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】欠陥検査装置で検査することなく基板処理後の基板が不良品であるか否かを推定する基板処理装置及び情報処理システムを提供する。
【解決手段】基板の研磨中及び／又は洗浄中及び／又は乾燥中において対象の物理量を検出する少なくとも一つのセンサと、学習済みの機械学習モデルに対して、センサが検出する研磨中及び／又は洗浄中及び／又は乾燥中のセンサ値を処理ステップ毎に特徴量に変換する変換部と、特徴量を含む対象データを前記モデルに入力することで、対象の基板の欠陥の数、欠陥のサイズ及び欠陥の位置のうち少なくとも一つの予測値を出力する推論部と、を備える。機械学習モデルは、対象の生産ライン若しくは同種の生産ラインにおいて検出されたセンサ値が処理ステップ毎に変換された特徴量を含む入力データとし、且つ、基板の欠陥の数、欠陥のサイズ、欠陥の位置を少なくとも一つを出力データとする学習データセットを用いて学習される。
【選択図】図２
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一態様によれば、欠陥検査装置で検査することなく基板処理後の基板の欠陥の数、欠陥のサイズ、欠陥の位置のうち少なくとも一つの予測値が得られるので、欠陥検査装置で検査することなく基板処理後の基板が不良品であるか否かを推定することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図2出願人が指定した本件の代表的な図
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