特開 2022-190858 被加工物の研削方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022190858

(43)【公開日】2022-12-27

(54)【発明の名称】被加工物の研削方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 7/04 20060101AFI20221220BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20221220BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20221220BHJP

【ＦＩ】

B24B7/04 B

B24B41/06 L

H01L21/304 631

【審査請求】未請求

【請求項の数】1

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021099332

(22)【出願日】2021-06-15

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075384

【弁理士】

【氏名又は名称】松本 昂

(74)【代理人】

【識別番号】100172281

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100206553

【弁理士】

【氏名又は名称】笠原 崇廣

(74)【代理人】

【識別番号】100189773

【弁理士】

【氏名又は名称】岡本 英哲

(74)【代理人】

【識別番号】100184055

【弁理士】

【氏名又は名称】岡野 貴之

(74)【代理人】

【識別番号】100185959

【弁理士】

【氏名又は名称】今藤 敏和

(72)【発明者】

【氏名】中野 恵助

(72)【発明者】

【氏名】島津 陵

【テーマコード（参考）】

3C034

3C043

5F057

【Ｆターム（参考）】

3C034AA08

3C034AA13

3C034BB73

3C034BB76

3C034DD07

3C034DD09

3C034DD20

3C043BA02

3C043BA07

3C043BA12

3C043BA15

3C043BA16

3C043CC02

3C043DD05

5F057AA05

5F057BA15

5F057CA14

5F057DA11

(57)【要約】

【課題】チャックテーブルの複数の保持面のそれぞれで被加工物を保持した状態でクリープフィード研削を行う際に、特定の被加工物が２回研削されることを防止する。
【解決手段】平面視において互いに点対称な位置に配置されている第１保持面及び第２保持面を含むチャックテーブルの基準面の中心からみて研削ユニット側に第１保持面を位置付けた状態で第１保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削を行う。この時、第２保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削を行わない。そして、チャックテーブルを所定の角度回転させることによって、基準面の中心からみて研削ユニット側に第２保持面が位置付けられた後、第２保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削を行う。この時、第１保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削を行わない。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基準面と、平面視において該基準面の中心を中心として互いに点対称な位置に配置されている第１保持面及び第２保持面と、を含み、該第１保持面及び該第２保持面のそれぞれで被加工物を保持するチャックテーブルと、
複数の研削砥石が環状に配置された研削ホイールが先端部に装着されるスピンドルを有する研削ユニットと、
該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第１保持面及び該第２保持面のそれぞれに平行な第１方向に沿って相対的に移動させる第１移動機構と、
該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第１保持面及び該第２保持面のそれぞれに垂直な第２方向に沿って相対的に移動させる第２移動機構と、
該第２方向に沿い、かつ、該基準面の中心を通る直線を回転軸として該チャックテーブルを回転させる回転機構と、を備える研削装置を用いて該被加工物を研削する被加工物の研削方法であって、
該第１方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとが離隔された状態で、該第１保持面及び該第２保持面のそれぞれに該被加工物を保持させる保持ステップと、
該保持ステップ後、該基準面の中心からみて該研削ユニット側に該第１保持面を位置付けるとともに、該複数の研削砥石のそれぞれの先端面の該第２方向における位置を該第１保持面に保持された該被加工物の表面と裏面との間に位置付ける第１位置付けステップと、
該第１位置付けステップ後、該スピンドルを回転させた状態で、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第１方向に沿って相対的に移動させ、該第１保持面に保持された該被加工物の該第１方向における一端から他端までを研削し、かつ、該第２保持面に保持された該被加工物を研削しない第１研削ステップと、
該第１研削ステップ後、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第２方向に沿って相対的に移動させてから、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第１方向に沿って相対的に移動させることによって、該第２方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとが重畳しなくなるまで該第１方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとを離隔させる離隔ステップと、
該離隔ステップ後、該基準面の中心からみて該研削ユニット側に該第２保持面が位置付けられるように該チャックテーブルを所定の角度回転させる回転ステップと、
該離隔ステップ後、該複数の研削砥石のそれぞれの先端面の該第２方向における位置を該第２保持面に保持された該被加工物の表面と裏面との間に位置付ける第２位置付けステップと、
該回転ステップ及び該第２位置付けステップ後、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第１方向に沿って相対的に移動させ、該第２保持面に保持された該被加工物の該第１方向における一端から他端までを研削し、かつ、該第１保持面に保持された該被加工物を研削しない第２研削ステップと、
を備えることを特徴とする被加工物の研削方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、クリープフィード研削によって被加工物を研削する被加工物の研削方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）及びＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面に多数のデバイスが形成されたウェーハを個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。

【0003】

さらに、このウェーハは、チップの小型化及び軽量化等を目的として、その分割前に薄化されることが多い。ウェーハを薄化する方法としては、研削装置による研削が挙げられる。この研削装置は、例えば、ウェーハを保持する保持面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルの上方に設けられ、かつ、複数の研削砥石が環状に離散して配置された研削ホイールを下端部に着脱可能なスピンドルを有する研削ユニットとを備える。

【0004】

このような研削装置においては、クリープフィード研削とも呼ばれる研削方法によってウェーハを薄化することがある（例えば、特許文献１参照）。この研削方法においては、まず、チャックテーブルの保持面にウェーハの表面側を保持させる。次いで、チャックテーブルからみて研削ユニットを後方に位置付けた状態で、複数の研削砥石のそれぞれの下面をウェーハの裏面（上面）及び表面（下面）の間の高さに位置付ける。

【0005】

そして、チャックテーブルと研削ユニットとを前後方向に沿って相対的に移動させながら、回転する研削ホイールの前側に位置する複数の研削砥石をチャックテーブルに保持されたウェーハの上面（裏面）側にその後側から接触させる。これにより、複数の研削砥石でウェーハの上面（裏面）側の後端から前端までが研削される。その結果、ウェーハが所定の仕上げ厚さになるように薄化される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００５－２８５５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

研削装置は、円盤状のウェーハの薄化のみならず、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）基板又はＱＦＮ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｎｏｎ－ｌｅａｄｅｄ ｐａｃｋａｇｅ）基板等の直方体状のパッケージ基板等の被加工物を薄化する際にも用いられる。このような被加工物の研削に用いられる研削装置は、一般的に、それぞれが同じ形状（例えば、矩形）を有し、かつ、互いに平行な複数の保持面が前後方向に並ぶように設けられたチャックテーブルを備える。

【0008】

そして、この複数の保持面のそれぞれで被加工物を保持した状態でクリープフィード研削を行うと、複数の被加工物のうち後端に位置する被加工物から順に研削が行われる。その結果、複数の被加工物のそれぞれが所定の仕上げ厚さになるように薄化される。

【0009】

ただし、このように複数の被加工物を薄化する場合、複数の被加工物のうち後端に位置する被加工物のみが２回研削されることがある。具体的には、この被加工物は、まず、回転する研削ホイールの前側に位置する複数の研削砥石によって研削され、その後、回転する研削ホイールの後側に位置する複数の研削砥石によって再び研削されることがある。

【0010】

この場合、研削後の複数の被加工物の厚さにばらつきが生じるおそれがある。また、複数の被加工物のうち後端に位置する被加工物の上面に意図しないソーマークが形成され、この被加工物にスクラッチ又はクラックが生じるおそれもある。

【0011】

この点に鑑み、本発明の目的は、チャックテーブルの複数の保持面のそれぞれで被加工物を保持した状態でクリープフィード研削を行う際に、特定の被加工物が２回研削されることを防止することである。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明によれば、基準面と、平面視において該基準面の中心を中心として互いに点対称な位置に配置されている第１保持面及び第２保持面と、を含み、該第１保持面及び該第２保持面のそれぞれで被加工物を保持するチャックテーブルと、複数の研削砥石が環状に配置された研削ホイールが先端部に装着されるスピンドルを有する研削ユニットと、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第１保持面及び該第２保持面のそれぞれに平行な第１方向に沿って相対的に移動させる第１移動機構と、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第１保持面及び該第２保持面のそれぞれに垂直な第２方向に沿って相対的に移動させる第２移動機構と、該第２方向に沿い、かつ、該基準面の中心を通る直線を回転軸として該チャックテーブルを回転させる回転機構と、を備える研削装置を用いて該被加工物を研削する被加工物の研削方法であって、該第１方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとが離隔された状態で、該第１保持面及び該第２保持面のそれぞれに該被加工物を保持させる保持ステップと、該保持ステップ後、該基準面の中心からみて該研削ユニット側に該第１保持面を位置付けるとともに、該複数の研削砥石のそれぞれの先端面の該第２方向における位置を該第１保持面に保持された該被加工物の表面と裏面との間に位置付ける第１位置付けステップと、該第１位置付けステップ後、該スピンドルを回転させた状態で、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第１方向に沿って相対的に移動させ、該第１保持面に保持された該被加工物の該第１方向における一端から他端までを研削し、かつ、該第２保持面に保持された該被加工物を研削しない第１研削ステップと、該第１研削ステップ後、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第２方向に沿って相対的に移動させてから、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第１方向に沿って相対的に移動させることによって、該第２方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとが重畳しなくなるまで該第１方向において該チャックテーブルと該研削ユニットとを離隔させる離隔ステップと、該離隔ステップ後、該基準面の中心からみて該研削ユニット側に該第２保持面が位置付けられるように該チャックテーブルを所定の角度回転させる回転ステップと、該離隔ステップ後、該複数の研削砥石のそれぞれの先端面の該第２方向における位置を該第２保持面に保持された該被加工物の表面と裏面との間に位置付ける第２位置付けステップと、該回転ステップ及び該第２位置付けステップ後、該チャックテーブルと該研削ユニットとを該第１方向に沿って相対的に移動させ、該第２保持面に保持された該被加工物の該第１方向における一端から他端までを研削し、かつ、該第１保持面に保持された該被加工物を研削しない第２研削ステップと、を備える被加工物の研削方法が提供される。

【発明の効果】

【0013】

本発明においては、まず、平面視において互いに点対称な位置に配置されている第１保持面及び第２保持面を含むチャックテーブルの基準面の中心からみて研削ユニット側に第１保持面を位置付けた状態で第１保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削が行われる。この時、第２保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削は行われない。

【0014】

そして、チャックテーブルを所定の角度回転させることによって、基準面からみて研削ユニット側に第２保持面が位置付けられた後、第２保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削が行われる。この時、第１保持面に保持された被加工物に対するクリープフィード研削は行われない。そのため、本発明においては、第１保持面及び第２保持面のそれぞれに保持された被加工物が２回研削されることを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】図１（Ａ）は、チャックテーブルの一例を模式的に示す上面図であり、図１（Ｂ）は、チャックテーブルの一例を模式的に示す側面図である。

【図2】図２は、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示されるチャックテーブルを備える研削装置の一例を模式的に示す一部断面側面図である。

【図3】図３は、図２に示される研削装置を用いて被加工物を研削する被加工物の研削方法の一例を模式的に示すフローチャートである。

【図4】図４（Ａ）は、保持ステップの様子を模式的に示す側面図であり、図４（Ｂ）は、第１位置付けステップの様子を模式的に示す側面図であり、図４（Ｃ）は、第１研削ステップの様子を模式的に示す側面図である。

【図5】図５（Ａ）は、離隔ステップの様子を模式的に示す側面図であり、図５（Ｂ）は、回転ステップ及び第２位置付けステップの様子を模式的に示す側面図であり、図５（Ｃ）は、第２研削ステップの様子を模式的に示す側面図である。

【図6】図６（Ａ）は、チャックテーブルの変形例を模式的に示す上面図であり、図６（Ｂ）は、チャックテーブルの変形例を模式的に示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１（Ａ）は、チャックテーブルの一例を模式的に示す上面図であり、図１（Ｂ）は、チャックテーブルの一例を模式的に示す側面図である。図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示されるチャックテーブル２は、例えば、セラミックス等からなる円盤状の基台部４を有する。

【0017】

この基台部４は、平坦な上面（基準面）４ａを有する。そして、この基準面４ａには、基準面４ａに平行な第１方向（Ｄ１）に沿って並び、かつ、基準面４ａに垂直な第２方向（Ｄ２）に沿って突出するように直方体状の複数（例えば、４つ）の保持部６，８，１０，１２が設けられている。

【0018】

複数の保持部６，８，１０，１２のそれぞれは、セラミックス等からなる直方体状の枠体６ａ，８ａ，１０ａ，１２ａを有し、各枠体６ａ，８ａ，１０ａ，１２ａの上部には凹部が形成されている。この凹部には、セラミックス等からなる直方体状のポーラス板６ｂ，８ｂ，１０ｂ，１２ｂが固定されている。

【0019】

さらに、ポーラス板６ｂ，８ｂ，１０ｂ，１２ｂは、基準面４ａに平行な上面を有する。また、基台部４及び複数の保持部６，８，１０，１２のそれぞれの内部には、ポーラス板６ｂ，８ｂ，１０ｂ，１２ｂの下面側をエジェクタ等の吸引源に連通させるための吸引路が設けられている。

【0020】

そして、この吸引路が吸引源に連通した状態で吸引源が動作すると、ポーラス板６ｂ，８ｂ，１０ｂ，１２ｂの上面近傍の空間に負圧が生じる。そのため、複数の保持部６，８，１０，１２のそれぞれにおいては、その上面６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃが被加工物を保持する保持面として機能する。

【0021】

なお、基台部４の基準面４ａは、平面視において保持部６，８，１０，１２の上面（保持面）６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃを囲むように設けられている。また、複数の保持面６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃのそれぞれは、基準面４ａに平行である。また、複数の保持面６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃの基準面４ａからの高さは、概ね等しい。

【0022】

また、複数の保持面６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃは、同じ形状を有する。具体的には、複数の保持面６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃのそれぞれの形状は、第１方向に沿って延在する一対の短辺と、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向（Ｄ３）に沿って延在する一対の長辺とを有する矩形状である。

【0023】

さらに、保持面６ｃ及び保持面１２ｃは、平面視において基準面４ａの中心Ｃを中心として互いに点対称な位置に配置されている。すなわち、中心Ｃを基準として保持面６ｃ（保持面１２ｃ）を１８０°回転させれば保持面１２ｃ（保持面６ｃ）に重なるように、保持面６ｃ及び保持面１２ｃが設けられている。

【0024】

同様に、保持面８ｃ及び保持面１０ｃは、平面視において基準面４ａの中心Ｃを中心として互いに点対称な位置に配置されている。すなわち、中心Ｃを基準として保持面８ｃ（保持面１０ｃ）を１８０°回転させれば保持面１０ｃ（保持面８ｃ）に重なるように、保持面８ｃ及び保持面１０ｃが設けられている。

【0025】

図２は、チャックテーブル２を備える研削装置の一例を模式的に示す一部断面側面図である。なお、図１に示されるＸ軸方向（前後方向）及びＹ軸方向（左右方向）は、水平面上において互いに垂直な方向であり、また、Ｚ軸方向（上下方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に垂直な方向（鉛直方向）である。

【0026】

図２に示される研削装置１４は、各構成要素を支持又は収容する基台１６を備える。基台１６の上面側には、直方体状の開口１６ａが設けられている。そして、開口１６ａの内側にはＸ軸移動機構（第１移動機構）１８が設けられている。このＸ軸移動機構１８は、後述するようにチャックテーブル２に連結されており、チャックテーブル２をＸ軸方向に沿って移動させる。

【0027】

Ｘ軸移動機構１８は、開口１６ａの底面に固定され、かつ、Ｘ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール２０を有する。一対のガイドレール２０の上面側には、一対のガイドレール２０に沿ってスライド可能な態様で移動プレート２２が連結されている。

【0028】

一対のガイドレール２０の間には、Ｘ軸方向に沿って延在するねじ軸２４が配置されている。ねじ軸２４の一端（後端）部には、ねじ軸２４を回転させるためのモータ２６が連結されている。また、ねじ軸２４の螺旋状の溝が形成された表面には、回転するねじ軸２４の表面を転がるボールを収容するナット部２８が設けられ、ボールねじが構成されている。

【0029】

すなわち、ねじ軸２４が回転すると、ボールがナット部２８内を循環して、ナット部２８がＸ軸方向に沿って移動する。また、ナット部２８は、移動プレート２２の下面側に固定されている。そのため、モータ２６でねじ軸２４を回転させれば、ナット部２８とともに移動プレート２２がＸ軸方向に沿って移動する。

【0030】

移動プレート２２の上面側には、チャックテーブル２が回転可能な態様でチャックテーブル２を支持する円柱状の支持部材３０が設けられている。なお、図２においては、チャックテーブル２の第１方向（Ｄ１）、第２方向（Ｄ２）及び第３方向（Ｄ３）がＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ平行になるように支持部材３０に装着されている。

【0031】

この支持部材３０は、Ｚ軸方向に沿って延在する円柱状のスピンドル（不図示）と、このスピンドルを回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）とを含む回転機構を有する。このスピンドルの上端部は、チャックテーブル２の下部が取り外し可能に連結されている。そして、この回転駆動源がスピンドルを回転させると、このスピンドルとともにチャックテーブル２が、Ｚ軸方向に沿い、かつ、基準面４ａの中心Ｃを通る直線を回転軸として回転する。

【0032】

さらに、研削装置１４は、吸引源（不図示）を内蔵しており、この吸引源は、バルブ（不図示）等を介して基台部４及び複数の保持部６，８，１０，１２のそれぞれの内部に設けられた吸引路に連通している。そのため、この吸引源を動作させた状態でバルブを開くことで、複数の保持部６，８，１０，１２の保持面６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃにおいて被加工物を保持することができる。

【0033】

チャックテーブル２及びＸ軸移動機構１８の後方（図２の紙面右側）には、直方体状の支持構造３２が設けられている。そして、支持構造３２の表面（前面）側には、Ｚ軸移動機構（第２移動機構）３４が設けられている。このＺ軸移動機構３４は、後述の研削ユニット４６に連結されており、研削ユニット４６をＺ軸方向に沿って移動させる。

【0034】

Ｚ軸移動機構３４は、支持構造３２の表面側に固定され、かつ、Ｚ軸方向に沿って延在する一対のガイドレール３６を有する。一対のガイドレール３６の前面側には、一対のガイドレール３６に沿ってスライド可能な態様で移動プレート３８が連結されている。

【0035】

一対のガイドレール３６の間には、Ｚ軸方向に沿って延在するねじ軸４０が配置されている。ねじ軸４０の一端（上端）部には、ねじ軸４０を回転させるためのモータ４２が連結されている。また、ねじ軸４０の螺旋状の溝が形成された表面には、回転するねじ軸４０の表面を転がるボールを収容するナット部４４が設けられ、ボールねじが構成されている。

【0036】

すなわち、ねじ軸４０が回転すると、ボールがナット部４４内を循環して、ナット部４４がＺ軸方向に沿って移動する。また、ナット部４４は、移動プレート３８の裏面（後面）側に固定されている。そのため、モータ４２でねじ軸４０を回転させれば、ナット部４４とともに移動プレート３８がＺ軸方向に沿って移動する。

【0037】

移動プレート３８の表面（前面）側には、研削ユニット４６が設けられている。研削ユニット４６は、移動プレート３８の表面側に固定された中空の円柱状の支持部材４８を有する。支持部材４８には、中空の円柱状のハウジング５０が収容されている。ハウジング５０は、その下面に設けられた接続部材５２を介して、支持部材４８の底壁に固定されている。

【0038】

ハウジング５０には、Ｚ軸方向に沿って延在する円柱状のスピンドル５４が回転可能な態様で収容されている。このスピンドル５４の先端（下端）部は、ハウジング５０から露出しており、支持部材４８の底壁に設けられた開口を通って支持部材４８の底面から下方に突出している。また、スピンドル５４の先端部には、金属等からなる円盤状のマウント５６が固定されている。

【0039】

このマウント５６の径は、チャックテーブル２の径（基台部４の基準面４ａの径）の８０％程度である。また、マウント５６の下面側には、取り外し可能な態様で環状の研削ホイール５８が装着されている。この研削ホイール５８は、例えば、アルミニウム又はステンレス等の金属からなる円環状のホイール基台６０を有し、このホイール基台６０の外径はマウント５６の径と概ね等しい。

【0040】

そして、ホイール基台６０の上面側は、ボルト等の固定具によってマウント５６の下面側に固定されている。また、ホイール基台６０の下面側には、環状に離散して配置された複数の研削砥石６２が固定されている。複数の研削砥石６２のそれぞれは、例えば、直方体状の形状を有し、ホイール基台６０の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。

【0041】

研削砥石６２は、ダイヤモンド又はｃＢＮ（ｃｕｂｉｃ Ｂｏｒｏｎ Ｎｉｔｒｉｄｅ）等からなる砥粒を、メタルボンド、レジンボンド又はビトリファイドボンド等からなる結合材（ボンド材）で固定することによって形成される。ただし、研削砥石６２の材質、形状、構造又は大きさ等に制限はない。また、複数の研削砥石６２の数は任意に設定される。

【0042】

また、スピンドル５４の基端（上端）部には、スピンドル５４を回転させるためのモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。この回転駆動源がＺ軸方向に沿った回転軸でスピンドル５４を回転させると、スピンドル５４とともにマウント５６及び研削ホイール５８（ホイール基台６０及び複数の研削砥石６２）が回転する。

【0043】

図３は、研削装置１４を用いて被加工物を研削する被加工物の研削方法の一例を模式的に示すフローチャートである。この方法においては、まず、チャックテーブル２の複数の保持面６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃのそれぞれに被加工物を保持させる（保持ステップ：Ｓ１）。図４（Ａ）は、保持ステップ（Ｓ１）の様子を模式的に示す側面図である。

【0044】

この保持ステップ（Ｓ１）においては、まず、Ｘ軸方向において研削ユニット４６から離隔した位置にチャックテーブル２を位置付けるようにＸ軸移動機構１８を動作させる。次いで、複数の被加工物１１をチャックテーブル２の複数の保持面６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃのそれぞれに搬入する。

【0045】

なお、被加工物１１は、例えば、ＣＳＰ基板又はＱＦＮ基板等の直方体状のパッケージ基板であり、その表面（上面）及び裏面（下面）の形状が複数の保持面６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃの形状とほぼ同じである。次いで、バルブ等を介してチャックテーブル２の内部に設けられた吸引路に連通する吸引源を動作させた状態で、このバルブを開く。これにより、保持ステップ（Ｓ１）が完了する。

【0046】

保持ステップ（Ｓ１）後、研削ユニット４６を所定の位置に位置付ける（第１位置付けステップ：Ｓ２）。図４（Ｂ）は、第１位置付けステップ（Ｓ２）の様子を模式的に示す側面図である。この第１位置付けステップ（Ｓ２）においては、複数の研削砥石６２のそれぞれの先端面（下面）の高さ（Ｚ軸方向における位置）を保持面６ｃ，８ｃに保持された被加工物１１の表面（上面）と裏面（下面）との間に位置付けるように、Ｚ軸移動機構３４が研削ユニット４６の位置を調整する。

【0047】

第１位置付けステップ（Ｓ２）後、所定の保持面（保持面６ｃ，８ｃ）に保持された被加工物１１に対するクリープフィード研削を行う（第１研削ステップ：Ｓ３）。図４（Ｃ）は、第１研削ステップ（Ｓ３）の様子を模式的に示す側面図である。

【0048】

この第１研削ステップ（Ｓ３）においては、まず、スピンドル５４とともに研削ホイール５８を回転させるように、スピンドル５４の基端部に連結されている回転駆動源を動作させる。次いで、研削ホイール５８を回転させたまま、チャックテーブル２をＸ軸方向に沿って後方に移動させるように、Ｘ軸移動機構１８を動作させる。

【0049】

この時、Ｘ軸移動機構１８は、保持面６ｃ，８ｃに保持された被加工物１１の上面側のＸ軸方向における一端から他端までが研削ホイール５８の前側に位置する複数の研削砥石６２によって研削されるようにチャックテーブル２を移動させる。そして、Ｘ軸移動機構１８は、研削ホイール５８の前側に位置する複数の研削砥石６２を保持面１０ｃ，１２ｃに保持された被加工物１１に接触させないようにチャックテーブル２を停止させる。

【0050】

なお、このように保持面６ｃ，８ｃに保持された被加工物１１を研削し、かつ、保持面１０ｃ，１２ｃに保持された被加工物１１を研削しないために、第１研削ステップ（Ｓ３）に先立って保持面６ｃ，８ｃを基準面４ａの中心Ｃからみて研削ユニット４６側（チャックテーブル２の後側）に位置付ける必要がある。

【0051】

ここでは、保持面６ｃ，８ｃが予め基準面４ａの中心Ｃからみて研削ユニット４６側（チャックテーブル２の後側）に位置付けられているため、第１研削ステップ（Ｓ３）に先立ってチャックテーブル２の位置を調整する必要がない。ただし、保持面６ｃ，８ｃがチャックテーブル２の前側に位置付けられているような場合には、第１位置付けステップ（Ｓ２）において、保持面６ｃ，８ｃが後側に位置付けられるように回転機構がチャックテーブル２の位置を調整する。

【0052】

第１研削ステップ（Ｓ３）後、チャックテーブル２と研削ユニット４６とを離隔させる（離隔ステップ：Ｓ４）。図５（Ａ）は、第１研削ステップ（Ｓ３）の様子を模式的に示す側面図である。この離隔ステップ（Ｓ４）においては、研削ユニット４６を上昇させるようにＺ軸移動機構３４を動作させてから、チャックテーブル２を前方に移動させるようにＸ軸移動機構１８を動作させる。これにより、チャックテーブル２と研削ユニット４６とは、Ｚ軸方向においてチャックテーブル２と研削ユニット４６とが重畳しなくなるまでＸ軸方向において離隔する。

【0053】

離隔ステップ（Ｓ４）後、チャックテーブル２を所定の角度回転させ（回転ステップ：Ｓ５）、研削ユニット４６を所定の位置に位置付ける（第２位置付けステップ：Ｓ６）。なお、回転ステップ（Ｓ５）及び第２位置付けステップ（Ｓ６）の順序は限定されない。図５（Ｂ）は、回転ステップ（Ｓ５）及び第２位置付けステップ（Ｓ６）の様子を模式的に示す側面図である。

【0054】

この回転ステップ（Ｓ５）においては、基準面４ａの中心Ｃからみて研削ユニット４６側に保持面１０ｃ，１２ｃが位置付けられるように、チャックテーブル２に連結されている回転機構を動作させる。具体的には、Ｚ軸方向に沿い、かつ、基準面４ａの中心Ｃを通る直線を回転軸として、この回転機構がチャックテーブル２を１８０°回転させる。

【0055】

また、この第２位置付けステップ（Ｓ６）においては、複数の研削砥石６２のそれぞれの先端面（下面）の高さ（Ｚ軸方向における位置）を保持面１０ｃ，１２ｃに保持された被加工物１１の表面（上面）と裏面（下面）との間に位置付けられるように、Ｚ軸移動機構３４が研削ユニット４６の位置を調整する。

【0056】

回転ステップ（Ｓ５）及び第２位置付けステップ（Ｓ６）後、別の保持面（保持面１０ｃ，１２ｃ）に保持された被加工物１１に対するクリープフィード研削を行う（第２研削ステップ：Ｓ７）。図５（Ｃ）は、第２研削ステップ（Ｓ７）の様子を模式的に示す側面図である。

【0057】

この第２研削ステップ（Ｓ７）においては、まず、スピンドル５４とともに研削ホイール５８を回転させるように、スピンドル５４の基端部に連結されている回転駆動源を動作させる。次いで、研削ホイール５８を回転させたまま、チャックテーブル２をＸ軸方向に沿って後方に移動させるように、Ｘ軸移動機構１８を動作させる。

【0058】

この時、Ｘ軸移動機構１８は、保持面１０ｃ，１２ｃに保持された被加工物１１の上面側のＸ軸方向における一端から他端までが研削ホイール５８の前側に位置する複数の研削砥石６２によって研削されるようにチャックテーブル２を移動させる。そして、Ｘ軸移動機構１８は、研削ホイール５８の前側に位置する複数の研削砥石６２を保持面６ｃ，８ｃに保持された被加工物１１に接触させないようにチャックテーブル２を停止させる。

【0059】

図３に示される被加工物の研削方法においては、まず、平面視において互いに点対称な保持面６ｃ，８ｃ及び保持面１０ｃ，１２ｃを含むチャックテーブル２の基準面４ａからみて研削ユニット４６側に保持面６ｃ，８ｃを位置付けた状態で保持面６ｃ，８ｃに保持された被加工物１１に対するクリープフィード研削が行われる。この時、保持面１０ｃ，１２ｃに保持された被加工物１１に対するクリープフィード研削は行われない。

【0060】

そして、チャックテーブル２を１８０°回転させることによって、基準面４ａからみて研削ユニット４６側に保持面１０ｃ，１２ｃが位置付けられた後、保持面１０ｃ，１２ｃに保持された被加工物１１に対するクリープフィード研削が行われる。この時、保持面６ｃ，８ｃに保持された被加工物１１に対するクリープフィード研削は行われない。そのため、図３に示される被加工物の研削方法においては、保持面６ｃ，８ｃ及び保持面１０ｃ，１２ｃのそれぞれに保持された被加工物１１が２回研削されることを防止できる。

【0061】

なお、上述した内容は本発明の一態様であって、本発明の内容は、上述した内容に限定されない。例えば、本発明において用いられるチャックテーブルにおいては、複数の保持面の形状は、矩形に限定されず、角が３つ若しくは５つ以上存在する多角形、円形又は楕円形であってもよい。

【0062】

また、本発明において用いられるチャックテーブルにおいては、基台部４が直方体状又は楕円板状であってもよい。また、本発明において用いられるチャックテーブルにおいては、複数の保持面が互いに点対称な複数の保持面が設けられていればよく、複数の保持面の配置は図１に示される複数の保持面６ｃ，８ｃ，１０ｃ，１２ｃの配置に限定されない。

【0063】

図６（Ａ）は、チャックテーブルの変形例を模式的に示す上面図であり、図６（Ｂ）は、チャックテーブルの変形例を模式的に示す側面図である。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示されるチャックテーブル６４は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料からなる円盤状の基台部６６を有する。

【0064】

この基台部６６は、平坦な上面（基準面）６６ａを有する。そして、この基準面６６ａには、基準面６６ａに垂直な第２方向（Ｄ２）に沿って突出するように直方体状の複数（例えば、４つ）の保持部６８，７０，７２，７４が設けられている。

【0065】

複数の保持部６８，７０，７２，７４のそれぞれは、ステンレス鋼等の金属材料からなる直方体状の枠体６８ａ，７０ａ，７２ａ，７４ａを有し、各枠体６８ａ，７０ａ，７２ａ，７４ａの上部には凹部が形成されている。この凹部には、セラミックス等からなる直方体状のポーラス板６８ｂ，７０ｂ，７２ｂ，７４ｂが固定されている。

【0066】

さらに、ポーラス板６８ｂ，７０ｂ，７２ｂ，７４ｂは、基準面６６ａに平行な上面を有する。また、基台部６６及び複数の保持部６８，７０，７２，７４のそれぞれの内部には、ポーラス板６８ｂ，７０ｂ，７２ｂ，７４ｂの下面側をエジェクタ等の吸引源に連通させるための吸引路が設けられている。

【0067】

そして、この吸引路が吸引源に連通した状態で吸引源が動作すると、ポーラス板６８ｂ，７０ｂ，７２ｂ，７４ｂの上面近傍の空間に負圧が生じる。そのため、複数の保持部６８，７０，７２，７４のそれぞれにおいては、その上面６８ｃ，７０ｃ，７２ｃ，７４ｃが被加工物を保持する保持面として機能する。

【0068】

なお、基台部６６の基準面６６ａは、平面視において保持部６８，７０，７２，７４の上面（保持面）６８ｃ，７０ｃ，７２ｃ，７４ｃを囲むように設けられている。また、複数の保持面６８ｃ，７０ｃ，７２ｃ，７４ｃのそれぞれは、基準面６６ａに平行である。また、複数の保持面６８ｃ，７０ｃ，７２ｃ，７４ｃの基準面６６ａからの高さは、概ね等しい。

【0069】

さらに、複数の保持面６８ｃ，７０ｃ，７２ｃ，７４ｃは、同じ形状を有し、かつ、平面視において基準面６６ａの中心Ｃを中心として互いに点対称な位置に配置されている。すなわち、中心Ｃを基準として保持面６８ｃを９０°回転させれば保持面７０ｃに重なり、１８０°回転させれば保持面７２ｃに重なり、２７０°回転させれば保持面７４ｃと重なるように、複数の保持面６８ｃ，７０ｃ，７２ｃ，７４ｃが設けられている。

【0070】

そして、チャックテーブル６４の複数の保持面６８ｃ，７０ｃ，７２ｃ，７４ｃのそれぞれに保持された被加工物を研削する際には、例えば、上述の保持ステップ（Ｓ１）及び第１位置付けステップ（Ｓ２）を実施した後、上述の回転ステップ（Ｓ４）におけるチャックテーブル２の回転角度を９０°にして、上述の離隔ステップ（Ｓ３）～第２研削ステップ（Ｓ７）を３回繰り返せばよい。

【0071】

このように複数の保持面６８ｃ，７０ｃ，７２ｃ，７４ｃのそれぞれに保持された被加工物を研削する場合、上述のとおり、被加工物が２回研削されることを防止できる。さらに、この場合には、同じタイミングで複数の被加工物が研削されることがない。そのため、比較的短い径を有する研削ホイール５８（例えば、径がチャックテーブル２の径の６０％以下の研削ホイール５８）を用いる場合であっても、複数の保持面６８ｃ，７０ｃ，７２ｃ，７４ｃのそれぞれに保持された被加工物が２回研削されることを防止できる。

【0072】

また、本発明において用いられる研削装置においては、Ｘ軸移動機構１８が研削ユニット４６をＸ軸方向に沿って移動させるＸ軸移動機構に置換されてもよい。すなわち、本発明において用いられる研削装置においては、チャックテーブル２と、研削ユニット４６とがＸ軸方向に沿って相対的に移動できればよく、そのための構成要素は限定されない。

【0073】

同様に、本発明において用いられる研削装置においては、Ｚ軸移動機構３４がチャックテーブル２をＺ軸方向に沿って移動させるＺ軸移動機構に置換されてもよい。すなわち、本発明において用いられる研削装置においては、チャックテーブル２と、研削ユニット４６とがＺ軸方向に沿って相対的に移動できればよく、そのための構成要素は限定されない。

【0074】

その他、上述した実施形態にかかる構造及び方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

【符号の説明】

【0075】

２ ：チャックテーブル
４ ：基台部（４ａ：上面（基準面））
６ ：保持部（６ａ：枠体、６ｂ：ポーラス板、６ｃ：上面（保持面））
８ ：保持部（８ａ：枠体、８ｂ：ポーラス板、８ｃ：上面（保持面））
１０ ：保持部（１０ａ：枠体、１０ｂ：ポーラス板、１０ｃ：上面（保持面））
１２ ：保持部（１２ａ：枠体、１２ｂ：ポーラス板、１２ｃ：上面（保持面））
１４ ：研削装置
１６ ：基台（１６ａ：開口）
１８ ：Ｘ軸移動機構（第１移動機構）
２０ ：ガイドレール
２２ ：移動プレート
２４ ：ねじ軸
２６ ：モータ
２８ ：ナット部
３０ ：支持部材
３２ ：支持構造
３４ ：Ｚ軸移動機構（第２移動機構）
３６ ：ガイドレール
３８ ：移動プレート
４０ ：ねじ軸
４２ ：モータ
４４ ：ナット部
４６ ：研削ユニット
４８ ：支持部材
５０ ：ハウジング
５２ ：接続部材
５４ ：スピンドル
５６ ：マウント
５８ ：研削ホイール
６０ ：ホイール基台
６２ ：研削砥石
６４ ：チャックテーブル
６６ ：基台部（６６ａ：上面（基準面））
６８ ：保持部（６８ａ：枠体、６８ｂ：ポーラス板、６８ｃ：上面（保持面））
７０ ：保持部（７０ａ：枠体、７０ｂ：ポーラス板、７０ｃ：上面（保持面））
７２ ：保持部（７２ａ：枠体、７２ｂ：ポーラス板、７２ｃ：上面（保持面））
７４ ：保持部（７４ａ：枠体、７４ｂ：ポーラス板、７４ｃ：上面（保持面））

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】