特開 2022-191043 デバイスの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022191043

(43)【公開日】2022-12-27

(54)【発明の名称】デバイスの製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20221220BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20221220BHJP

   B23K 26/57 20140101ALI20221220BHJP

   B23K 26/18 20060101ALI20221220BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 P

H01L21/78 M

H01L21/02 B

B23K26/57

B23K26/18

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021099660

(22)【出願日】2021-06-15

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 克彦

(72)【発明者】

【氏名】木内 逸人

(72)【発明者】

【氏名】小田中 健太郎

(72)【発明者】

【氏名】北原 信康

(72)【発明者】

【氏名】下房 大悟

【テーマコード（参考）】

4E168

5F063

【Ｆターム（参考）】

4E168AD02

4E168AD18

4E168AE05

4E168DA02

4E168DA43

4E168FD01

4E168FD03

4E168HA02

4E168JA12

4E168JA17

5F063AA11

5F063BA07

5F063BA11

5F063BA31

5F063BA32

5F063CA04

5F063CA06

5F063DD25

5F063DD87

5F063DG03

5F063DG16

5F063DG23

5F063EE21

5F063EE36

5F063EE38

5F063EE42

5F063EE43

5F063EE44

5F063EE46

5F063EE71

5F063FF01

(57)【要約】

【課題】デバイス層のみからなるデバイスを製造する新規なプロセスを実現することができるデバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】デバイスの製造方法は、基材と、基材上に積層されたレーザビーム吸収層と、レーザビーム吸収層の上面で交差する複数の分割予定ラインで区画された領域にデバイスが形成されたデバイス層を備えたウェーハを準備するウェーハ準備ステップ１００１と、分割予定ラインに沿って少なくともデバイス層を個々のデバイスに分割する分割溝を形成するデバイス層分割ステップ１００２と、デバイス層分割ステップ１００２を実施した後、レーザビーム吸収層で吸収される波長のレーザビームを基材側から照射し、デバイスを基材上からリフトオフするリフトオフステップ１００４と、を備える。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

デバイスの製造方法であって、
基材と、該基材上に積層されたレーザビーム吸収層と、該レーザビーム吸収層の上面で交差する複数の分割予定ラインで区画された領域にデバイスが形成されたデバイス層を備えたウェーハを準備するウェーハ準備ステップと、
該分割予定ラインに沿って少なくとも該デバイス層を個々のデバイスに分割する分割溝を形成するデバイス層分割ステップと、
該デバイス層分割ステップを実施した後、該レーザビーム吸収層で吸収される波長のレーザビームを該基材側から照射し、該デバイスを該基材上からリフトオフするリフトオフステップと、を備えたデバイスの製造方法。

【請求項2】

該リフトオフステップを実施する前に該デバイス層表面に移設用部材を配設する移設用部材配設ステップと、を備えた請求項１に記載のデバイスの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、デバイスの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

電子機器の薄型化に伴い、デバイスも１００μｍ以下に薄化することが求められ、例えば、ウェーハのデバイスに対応した領域のみを薄化して外周部は厚いまま残存させることでハンドリング時の破損を防止する技術が広く採用されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２１－５６２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、ウェーハにはシリコン等の基材上にＳｉＯ_２からなるＢＯＸ層（Buried Oxide Layer）と呼ばれる絶縁層が形成され、その上にデバイスを構成する再配線層を含むデバイス層を形成する所謂ＳＯＩ（Silicon on Insulator）ウェーハがある。

【0005】

近年、このＳＯＩウェーハのシリコン等の基材を完全に除去してデバイス層のみからなるデバイスとすることでデバイスの更なる薄化を実現したいという要望がある。

【0006】

本発明の目的は、デバイス層のみからなるデバイスを製造する新規なプロセスを実現することができるデバイスの製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のデバイスの製造方法は、デバイスの製造方法であって、基材と、該基材上に積層されたレーザビーム吸収層と、該レーザビーム吸収層の上面で交差する複数の分割予定ラインで区画された領域にデバイスが形成されたデバイス層を備えたウェーハを準備するウェーハ準備ステップと、該分割予定ラインに沿って少なくとも該デバイス層を個々のデバイスに分割する分割溝を形成するデバイス層分割ステップと、該デバイス層分割ステップを実施した後、該レーザビーム吸収層で吸収される波長のレーザビームを該基材側から照射し、該デバイスを該基材上からリフトオフするリフトオフステップと、を備えたことを特徴とする。

【0008】

前記デバイスの製造方法において、該リフトオフステップを実施する前に該デバイス層表面に移設用部材を配設する移設用部材配設ステップと、を備えても良い。

【発明の効果】

【0009】

本発明は、デバイス層のみからなるデバイスを製造する新規なプロセスを実現することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施形態１に係るデバイスの製造方法の加工対象のウェーハの斜視図である。

【図2】図２は、図１に示されたウェーハの断面図である。

【図3】図３は、実施形態１に係るデバイスの製造方法の流れを示すフローチャートである。

【図4】図４は、図３に示されたデバイスの製造方法のデバイス層分割ステップを模式的に示す斜視図である。

【図5】図５は、図３に示されたデバイスの製造方法のデバイス層分割ステップ後のウェーハを模式的に示す断面図である。

【図6】図６は、図３に示されたデバイスの製造方法の移設用部材配設ステップ後のウェーハを模式的に示す断面図である。

【図7】図７は、図３に示されたデバイスの製造方法のリフトオフステップにおいてレーザビームを照射する状態を模式的に示す断面図である。

【図8】図８は、図３に示されたデバイスの製造方法のリフトオフステップのレーザビームの集光点の軌跡を示す平面図である。

【図9】図９は、図３に示されたデバイスの製造方法のリフトオフステップにおいて基材を除去する状態を模式的に示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0012】

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るデバイスの製造方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るデバイスの製造方法の加工対象のウェーハの斜視図である。図２は、図１に示されたウェーハの断面図である。図３は、実施形態１に係るデバイスの製造方法の流れを示すフローチャートである。

【0013】

実施形態１に係るデバイスの製造方法は、図１に示されたウェーハ１の加工方法である。実施形態１に係るデバイスの製造方法の加工対象のウェーハ１は、図１及び図２に示すように、基材２と、基材２上に積層されたレーザビーム吸収層３と、レーザビーム吸収層３の上面３１に設けられたデバイス層４とを備えた円板状の半導体ウェーハ等のウェーハである。

【0014】

実施形態１において、基材２は、シリコンにより構成され、円板状に形成されている。レーザビーム吸収層３は、樹脂により構成され、実施形態１では、ポリイミドにより構成されている。レーザビーム吸収層３は、基材２の表面２１の全面に亘って基材２上に積層されている。

【0015】

デバイス層４は、図１に示すように、交差する複数の分割予定ライン５で区画された領域にデバイス６が形成されている。デバイス６は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、パワーデバイス、又はＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）である。

【0016】

デバイス層４は、図２に示すように、レーザビーム吸収層３の上面３１上に形成された絶縁層７と、絶縁層７上に形成されたシリコン層８と、シリコン層８上に形成された再配線層９とを含む。絶縁層７は、ＳｉＯ_２からなるＢＯＸ層（Buried Oxide Layer）と呼ばれるものである。シリコン層８は、シリコンにより構成されている。再配線層９は、デバイス６を構成するものである。

【0017】

このように、実施形態１では、ウェーハ１は、レーザビーム吸収層３の上面３１上にデバイス層４を形成する所謂ＳＯＩ（Silicon on Insulator）ウェーハである。実施形態１では、ウェーハ１は、基材２及びレーザビーム吸収層３が除去され、分割予定ライン５に沿って個々のデバイス６に分割される。実施形態１では、個々に分割されるデバイス６は、デバイス層４のみで構成され、厚みが１０μｍ程度である。

【0018】

前述したウェーハ１は、例えば、基材２上にレーザビーム吸収層３と絶縁層７とが順に積層されたシリコンウェーハと、シリコン層８となる基材上に再配線層９が積層されたシリコンウェーハとが貼り合わされることで製造される。また、ウェーハ１は、例えば、基材２上にレーザビーム吸収層３が積層されたシリコンウェーハと、シリコン層８となる基材の一方の面上に絶縁層７が積層され他方の面上に再配線層９が積層されたシリコンウェーハとが貼り合わされることで製造される。

【0019】

実施形態１に係るデバイスの製造方法は、ウェーハ１の基材２及びレーザビーム吸収層３を除去し、分割予定ライン５に沿って分割して、個々のデバイス６を製造する方法である。デバイスの製造方法は、図３に示すように、ウェーハ準備ステップ１００１と、デバイス層分割ステップ１００２と、移設用部材配設ステップ１００３と、リフトオフステップ１００４と、デバイスピックアップステップ１００５とを備える。

【0020】

（ウェーハ準備ステップ）
ウェーハ準備ステップ１００１は、前述した構成のウェーハを準備するステップである。ウェーハ準備ステップ１００１では、前述した構成のウェーハ１を準備する。

【0021】

（デバイス層分割ステップ）
図４は、図３に示されたデバイスの製造方法のデバイス層分割ステップを模式的に示す斜視図である。図５は、図３に示されたデバイスの製造方法のデバイス層分割ステップ後のウェーハを模式的に示す断面図である。実施形態１において、デバイス層分割ステップ１００２は、分割予定ライン５に沿って少なくともデバイス層４を個々のデバイス６に分割する分割溝１０を形成するステップである。

【0022】

実施形態１において、デバイス層分割ステップ１００２では、周知のマウンタが、図４に示すように、ウェーハ１の基材２の表面２１の裏側の裏面２２にウェーハ１よりも大径な円板状のテープ１１を貼着するとともに、テープ１１の外周縁に内径がウェーハ１の外径よりも大きな環状のフレーム１２を貼着して、ウェーハ１を環状のフレーム１２の内側の開口内に支持する。

【0023】

実施形態１において、デバイス層分割ステップ１００２では、レーザ加工装置５０が、チャックテーブル５１の保持面５２にテープ１１を介してウェーハ１の基材２の裏面２２側を吸引保持する。実施形態１において、デバイス層分割ステップ１００２では、レーザ加工装置５０が、レーザビーム５３の集光点５４をデバイス層４に設定し、チャックテーブル５１をレーザビーム照射ユニット５５に対して分割予定ライン５に沿って相対的に移動させながらレーザビーム照射ユニット５５からウェーハ１に対して吸収性を有する波長のレーザビーム５３をウェーハ１の分割予定ライン５に照射して、ウェーハ１にアブレーション加工を施す。

【0024】

実施形態１において、デバイス層分割ステップ１００２では、レーザ加工装置５０が、ウェーハ１の分割予定ライン５にアブレーション加工を施して、デバイス層４を個々のデバイス６毎に分割する分割溝１０を形成する。実施形態１において、デバイス層分割ステップ１００２では、レーザ加工装置５０は、図５に示すように、ウェーハ１の全ての分割予定ライン５に分割溝１０を形成する。なお、実施形態１では、分割溝１０は、デバイス層４とレーザビーム吸収層３とをデバイス６毎に分割している。

【0025】

なお、実施形態１において、デバイス層分割ステップ１００２では、レーザ加工装置５０が、ウェーハ１の分割予定ライン５にアブレーション加工を施して分割溝１０を形成したが、本発明では、デバイス層分割ステップ１００２において、切削装置が、ウェーハ１のデバイス層４の分割予定ライン５に切削ブレードを切り込ませて分割溝１０を形成しても良い。また、本発明では、デバイス層分割ステップ１００２において、ウェーハ１のデバイス層４の分割予定ライン５にウェットエッチングやドライエッチング等のエッチングを施して分割溝１０を形成しても良い。

【0026】

（移設用部材配設ステップ）
図６は、図３に示されたデバイスの製造方法の移設用部材配設ステップ後のウェーハを模式的に示す断面図である。移設用部材配設ステップ１００３は、リフトオフステップ１００４を実施する前にデバイス層４の表面４１に移設用部材１３を配設するステップである。

【0027】

実施形態１において、移設用部材配設ステップ１００３では、ウェーハ１のデバイス層４の表面４１に外的刺激が付与されることにより接着力が低下する接着剤１４が塗布され、図６に示すように、接着剤１４に移設用部材１３が貼着されて、デバイス層４の表面２１に移設用部材１３が配設されるとともに、テープ１１が裏面３２から剥離される。なお、実施形態１において、外的刺激が付与されることは、例えば、紫外線が照射されること又は加熱されることである。

【0028】

実施形態１では、移設用部材１３は、硬質な材質で構成され、ウェーハ１と同径の円板状に形成されている。実施形態１では、移設用部材１３は、ガラスにより構成されている。

【0029】

また、本発明では、移設用部材１３は、デバイス層４の表面４１に液状樹脂（ディスコ社製、ResiFlat（登録商標））が塗布され、液状樹脂が硬化して形成されても良い。また、本発明では、移設用部材１３は、基材と糊層とからなる表面保護テープでも良く、金属、セラミクス、シリコン等の硬質な材料で構成された円板状のプレートを接着剤１４を介してデバイス層４の表面４１に配設してもよい。

【0030】

（リフトオフステップ）
図７は、図３に示されたデバイスの製造方法のリフトオフステップにおいてレーザビームを照射する状態を模式的に示す断面図である。図８は、図３に示されたデバイスの製造方法のリフトオフステップのレーザビームの集光点の軌跡を示す平面図である。図９は、図３に示されたデバイスの製造方法のリフトオフステップにおいて基材を除去する状態を模式的に示す断面図である。

【0031】

リフトオフステップ１００４は、デバイス層分割ステップ１００２を実施した後、レーザビーム吸収層３で吸収される波長のレーザビーム７３を基材２側から照射し、デバイス６を基材２上からリフトオフするステップである。実施形態１において、リフトオフステップ１００４では、レーザ加工装置７０が、吸引路７６に設けられた開閉弁７７を開き、吸引源７８によりチャックテーブル７１の保持面７２を吸引して、チャックテーブル７１の保持面７２に移設用部材１３を介して、ウェーハ１のデバイス層４の表面４１側を吸引保持する。

【0032】

実施形態１において、リフトオフステップ１００４では、レーザ加工装置７０が集光点７４をチャックテーブル７１に保持したウェーハ１のレーザビーム吸収層３に設定して、図７に示すように、レーザビーム照射ユニット７５から基材２に対して透過性を有しレーザビーム吸収層３で吸収される波長のパルス状のレーザビーム７３をウェーハ１の基材２側からレーザビーム吸収層３に照射する。

【0033】

リフトオフステップ１００４では、レーザ加工装置７０が、図８に示すように、最初に集光点７４をウェーハ１即ちレーザビーム吸収層３の最外縁に位置付け、集光点７４が最外縁から周方向に移動しながら徐々に中心に向かうスパイラル状の軌跡７９上を移動するように、レーザビーム７３の集光点７４とチャックテーブル７１とを相対的に移動させながらパルス状のレーザビーム７３を照射する。

【0034】

パルス状のレーザビーム７３は、基材２に対しては透過性を有しレーザビーム吸収層３に対しては吸収性を有する波長を有する。これにより、リフトオフステップ１００４では、レーザビーム７３が照射されたレーザビーム吸収層３が破壊され、ガスを発生する。実施形態１において、リフトオフステップ１００４では、図９に示すように、基材２をウェーハ１のデバイス層４の表面４１の裏側の裏面４２即ち絶縁層７から剥離して、デバイス層４即ちデバイス６から基材２を除去する。なお、実施形態１では、レーザビーム７３の波長は、１０６４ｎｍである。

【0035】

（デバイスピックアップステップ）
デバイスピックアップステップ１００５は、リフトオフステップ１００４を実施した後、移設用部材１３から個片化されたデバイス６をピックアップするステップである。

【0036】

実施形態１において、デバイスピックアップステップ１００５では、接着剤１４に外的刺激を付与して、接着剤１４の接着力を低下させる。実施形態１において、デバイスピックアップステップ１００５では、接着剤１４の接着力を低下させた後、図示しないピッカーがデバイス６を吸引保持するなどして、移設用部材１３からデバイス６を一つずつピックアップする。

【0037】

なお、本発明において、デバイスピックアップステップ１００５では、デバイス層４の裏面側にテープ等を貼着して、デバイス６を転写してからピックアップしても良い。また、本発明において、デバイスピックアップステップ１００５では、移設用部材１３をデバイス６毎に分割して、個片化された移設用部材１３とともにデバイス６をピックアップしても良い。

【0038】

以上、説明した実施形態１に係るデバイスの製造方法は、ウェーハ準備ステップ１００１において基材２と基材２上に積層されたレーザビーム吸収層３とレーザビーム吸収層３の上面３１に交差するに交差する複数の分割予定ライン５で区画された領域にデバイス６が形成されたデバイス層４を備えたウェーハ１を準備し、デバイス層分割ステップ１００２においてデバイス層４を分割した後、リフトオフステップ１００４においてレーザビーム吸収層３で吸収される波長のレーザビーム７３を基材２側から照射することでレーザビーム７３をレーザビーム吸収層３で吸収させて基材２をデバイス層４の裏面４２から除去する。リフトオフステップ１００４後には、ウェーハ１は、デバイス層４のみからなる個々のデバイス６に個片化されることとなる。その結果、実施形態１に係るデバイスの製造方法は、デバイス層４のみからなるデバイス６を製造する新規なプロセスを実現することができるという効果を奏する。

【0039】

なお、本発明は、上記実施形態等に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

【符号の説明】

【0040】

１ ウェーハ
２ 基材
３ レーザビーム吸収層
４ デバイス層
５ 分割予定ライン
６ デバイス
１０ 分割溝
１３ 移設用部材
３１ 上面
４１ 表面
７３ レーザビーム
１００１ ウェーハ準備ステップ
１００２ デバイス層分割ステップ
１００３ 移設用部材配設ステップ
１００４ リフトオフステップ
１００５ デバイスピックアップステップ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】