特開 2022-25712 キャリアハンドル及びカセット搬送構造

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022025712

(43)【公開日】2022-02-10

(54)【発明の名称】キャリアハンドル及びカセット搬送構造

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20220203BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 S

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020128717

(22)【出願日】2020-07-29

(71)【出願人】

【識別番号】308033711

【氏名又は名称】ラピスセミコンダクタ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】特許業務法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山出 勝博

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA22

5F131CA12

5F131CA49

5F131DA05

5F131DA42

5F131DC28

5F131EC02

5F131GA03

(57)【要約】

【課題】キャリアハンドル及びカセット搬送構造において、複数枚のウェハが収容されたウェハカセットを縦型拡散炉装置内に楽に搬送することができるようにする。
【解決手段】キャリアハンドル１０は、一対の脚部１１と、一対の脚部１１に架設される梁部１２とで構成された二股部材１３と、一対の脚部１１の各々に設けられ、複数のウェハ３０が出し入れされる開口部２０Ａを有するウェハカセット２０の両側壁に設けられた被係止部２２２に係止する係止部１１２と、梁部１２から立ち上がる支柱部１６と、被係止部２２２に係止部１１２が係止された状態で支柱部１６からウェハ３０を挿入する方向に向かって延出する把持部１７と、を含む。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

一対の脚部と、該一対の脚部に架設される梁部とで構成された二股部材と、
前記一対の脚部の各々に設けられ、複数のウェハが出し入れされる開口部を有するウェハカセットの両側壁に設けられた被係止部に係止する係止部と、
前記梁部から立ち上がる支柱部と、
前記被係止部に前記係止部が係止された状態で前記支柱部から前記ウェハを挿入する方向に向かって延出する把持部と、
を含むキャリアハンドル。

【請求項2】

前記係止部は、前記被係止部に引っ掛かる爪部を有し両側から前記ウェハカセットを把持する請求項１に記載のキャリアハンドル。

【請求項3】

前記被係止部に前記係止部が係止された状態で、前記開口部を臨むカバーを含む請求項１又は２に記載のキャリアハンドル。

【請求項4】

前記カバーは、透明部材で形成される請求項３に記載のキャリアハンドル。

【請求項5】

複数のウェハが出し入れされる開口部を有するウェハカセット本体と、
該ウェハカセット本体に形成され、ウェハを並列して保持する保持部と、
前記ウェハカセット本体の側壁に設けられた被係止部と、
を備えてなるウェハカセットと、
一対の脚部と、該一対の脚部に架設される梁部とで構成された二股部材と、
前記一対の脚部の各々に設けられ、前記被係止部に係止する係止部と、
前記梁部から立ち上がる支柱部と、
前記被係止部に前記係止部が係止された状態で前記支柱部から前記ウェハを挿入する方向に向かって延出する把持部と、
を備えてなるキャリアハンドルと、
を含み、
前記開口部を上方に位置させて載置された前記ウェハカセットの前記被係止部に、前記係止部を係止させた状態で、前記把持部を手前側から上方に回転させて、前記開口部を手前側に向けた状態で前記ウェハカセットを縦型拡散炉装置にセットするカセット搬送構造。

【請求項6】

前記把持部を上方に位置させた状態で、前記ウェハカセットを前記縦型拡散炉装置から取り出す請求項５に記載のカセット搬送構造。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

開示の技術は、ウェハカセットを保持するキャリアハンドル及びウェハカセットを搬送するカセット搬送構造に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、複数のウェハを収容するウェハカセットを搬送する手段として、ウェハカセットを保持するキャリアハンドルが使用されている。例えば特許文献１には、ウェハカセットに設けられている鍔部にカセット把持溝を嵌合させることにより、ウェハカセットを両側から挟んで保持するキャリアハンドルが開示されている。また、特許文献２には、ウェハカセットにおいてウェハが出し入れされる開口部の両側端に設けられたオーバーハングの部分を囲い込む形で保持するキャリアハンドルが開示されている。

【0003】

ここで図１１～図１３に従来のキャリアハンドルの使用方法を説明するための説明図を示す。従来のキャリアハンドル４０は、図１１に示されるように、複数のウェハ３０が収容されたウェハカセット２０を保持した際に、ユーザに把持される把持部４１がウェハカセット２０から突出する構造となっている。ユーザがこのキャリアハンドル４０を使用して、縦方向に並列に収容されたウェハ３０を処理する縦型拡散炉装置５０の炉５１にウェハカセット２０をセットする場合を考える。この場合、図１２に示されるように、炉５１の炉口５１Ａの形状によっては、把持部４１が炉口５１Ａの上壁に干渉してしまう。把持部４１が炉口５１Ａの上壁に干渉してしまうと、ウェハカセット２０を炉５１内にセットすることができない。

【0004】

また、縦型拡散炉装置５０では、図１１～図１３に示されるように、ウェハ３０を縦方向に並列に収容した状態のウェハカセット２０をセットする必要がある。しかしながら、縦型拡散炉装置５０にセットされる前のウェハカセット２０は、一般的に、ウェハ３０が出し入れされる開口部２０Ａを上にした状態で収納箱６０に入れられている場合（図４参照）が多い。そのため、縦型拡散炉装置５０にウェハカセット２０をセットする際には、開口部２０Ａを上側にした状態のウェハカセット２０を、開口部２０Ａを手前側にした状態にする必要がある。言い換えると、ウェハ３０を横方向に並列して収容した状態のウェハカセット２０を、ウェハ３０を縦方向に並列して収容した状態に回転させなければならない。

【0005】

そこで、従来は、例えば手にミンキー手袋を装着した状態で、ユーザがウェハカセット２０を両手Ｈで把持して、収納箱６０から取り出し、図１３に示されるように、ウェハカセット２０を回転させて向きを変更してから炉５１にセットするという作業をしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】実開平０６－０１３１４２号公報

【特許文献2】特開平０４－１４４１５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、ミンキー手袋を装着した手でウェハカセット２０を把持すると、ウェハ３０を保持するためのウェハ溝の底面が外部と連通している場合には、このウェハ溝からミンキー手袋がウェハ３０に触れてしまう場合がある。ミンキー手袋がウェハ３０に触れてしまうと、縦型拡散炉装置５０内でウェハ３０に対してフィールド酸化膜を成膜した際に、ミンキー手袋が触れたウェハを中心に膜厚が厚くなってしまう場合がある。また、フィールドＶｔ変動の特性に異常が発生してしまう場合もある。

【0008】

一方、把持部４１が炉口５１Ａの上壁に干渉しないように、把持部４１をウェハカセット２０の開口部２０Ａ側（手前側）に向かって延出することが考えられる。この構造によれば、キャリアハンドルを使用してウェハカセット２０を炉５１にセットすることが可能となる。しかしながら、把持部４１を開口部２０Ａ側に延出した態様では、キャリアハンドル１０に保持されたウェハカセット２０の重心Ｇ（図１１参照）から把持部４１を把持する手までの距離が長くなってしまう場合がある。重心Ｇから手までの距離が長くなると、キャリアハンドル１０を把持してウェハカセット２０を持ち上げている腕にキャリアハンドル１０を通じて大きなモーメントがかかるため、ウェハカセット２０の炉５１への搬送作業に負担がかかる。

【0009】

本開示の技術は上記の点に鑑みてなされたものであり、複数枚のウェハが収容されたウェハカセットを縦型拡散炉装置内に楽に搬送することができるキャリアハンドル及びカセット搬送構造を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本開示に係るキャリアハンドルは、
一対の脚部と、該一対の脚部に架設される梁部とで構成された二股部材と、
前記一対の脚部の各々に設けられ、複数のウェハが出し入れされる開口部を有するウェハカセットの両側壁に設けられた被係止部に係止する係止部と、
前記梁部から立ち上がる支柱部と、
前記被係止部に前記係止部が係止された状態で前記支柱部から前記ウェハを挿入する方向に向かって延出する把持部と、を含む。

【0011】

本開示に係るカセット搬送構造は、
複数のウェハが出し入れされる開口部を有するウェハカセット本体と、
該ウェハカセット本体に形成され、ウェハを並列して保持する保持部と、
前記ウェハカセット本体の側壁に設けられた被係止部と、
を備えてなるウェハカセットと、
一対の脚部と、該一対の脚部に架設される梁部とで構成された二股部材と、
前記一対の脚部の各々に設けられ、前記被係止部に係止する係止部と、
前記梁部から立ち上がる支柱部と、
前記被係止部に前記係止部が係止された状態で前記支柱部から前記ウェハを挿入する方向に向かって延出する把持部と、
を備えてなるキャリアハンドルと、を含み、
前記開口部を上方に位置させて載置された前記ウェハカセットの前記被係止部に、前記係止部を係止させた状態で、前記把持部を手前側から上方に回転させて、前記開口部を手前側に向けた状態で前記ウェハカセットを縦型拡散炉装置にセットする。

【発明の効果】

【0012】

本開示の技術によれば、キャリアハンドル及びカセット搬送構造において複数枚のウェハが収容されたウェハカセットを縦型拡散炉装置内に楽に搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】本開示の第１実施形態に係るキャリアハンドルの一例を示す正面斜視図である。

【図2】本開示の第１実施形態に係るキャリアハンドルの一例を示す背面斜視図である。

【図3】本開示の第１実施形態に係るウェハカセットの一例を示す斜視図である。

【図4】収納箱に収容された状態のウェハカセットの斜視図である。

【図5】収納箱に収容された状態のウェハカセットを保持するキャリアハンドルの斜視図である。

【図6】ウェハを横方向に並列して収容したウェハカセットを搬送する際のキャリアハンドルの斜視図である。

【図7】ウェハを縦方向に並列して収容したウェハカセットを縦型拡散炉装置へセットする際のキャリアハンドルの斜視図である。

【図8】ウェハカセットを縦型拡散炉装置へセットする際のキャリアハンドルの正面図である。

【図9】ウェハカセットを縦型拡散炉装置へセットする際の本開示の第２実施形態にかかるキャリアハンドルの正面図である。

【図10】他の縦型拡散炉装置を説明する説明図である。

【図11】従来のキャリアハンドルの使用方法を説明するための説明図

【図12】従来のキャリアハンドルの使用方法を説明するための説明図

【図13】従来のキャリアハンドルの使用方法を説明するための説明図

【発明を実施するための形態】

【0014】

（第１実施形態）
＜キャリアハンドル＞
以下、開示の第１実施形態のキャリアハンドル１０について、図面を参照しつつ説明する。なお、各図面において同一又は等価な構成要素及び部分には同一の参照符号を付与している。図１、図２は各々本開示の一実施形態に係るキャリアハンドルの一例を示す正面斜視図、及び背面斜視図である。なお、図１は、便宜上、手前側を正面、上側を上方として以下説明する。

【0015】

開示の第１実施形態のキャリアハンドル１０は、図１に示されるように、四角柱で形成された一対の脚部１１と、一対の脚部１１に架設される四角柱で形成された梁部１２とで構成された二股部材１３を備える。二股部材１３は、例えば、塩化ビニルで形成されている。

【0016】

脚部１１はその下端に、先端に平坦部１１１Ａを有して正面側に突出する突出部１１１を有している。脚部１１はその背面に、図２に示されるように背面側に突出する爪部１１２を有している。爪部１１２は、本開示の係止部に対応し、後述するウェハカセット２０の切欠部２２２に係止する。爪部１１２は、脚部１１から斜め上方に向かって延設された傾斜部１１２Ａと、傾斜部１１２Ａから上方に延設された直線部１１２Ｂを有している。爪部１１２は、直線部１１２Ｂと脚部１１との間隙に形成された凹部１１２Ｃを有している。

【0017】

梁部１２は、図２に示されるように、背面の両端部に直方体状に突出して設けられ、後述するウェハカセット２０の庇部２２Ｄの端面２２３が当接する当接部１２１を有している。また、梁部１２は、中央部に一定の間隔で形成された３つの孔部１２２を有している。

【0018】

また、キャリアハンドル１０は、図１に示されるように、梁部１２と接続される接続部１４、接続部１４に固定される土台部１５、土台部１５から立ち上がる支柱部１６、及び支柱部１６から前方に延出する把持部１７とで構成されたハンドル部１８を備える。ハンドル部１８は、例えばアルミニウムで形成されている。

【0019】

接続部１４は、Ｌ字状に曲げられた板材で形成されており、梁部１２の前面に当接する前板１４Ａ及び梁部１２の上面に当接する上板１４Ｂを有している。前板１４Ａの背面には上述した梁部１２の孔部１２２に嵌合する円柱部１４１が３つ設けられている。この３つの円柱部１４１を梁部１２の孔部１２２に嵌合することにより、接続部１４と梁部１２とが接続される。また、接続部１４の上板１４Ｂには、土台部１５との接続用のねじ穴（図示せず）が設けられている。

【0020】

土台部１５は矩形状の板材で構成されており、四隅にそれぞれねじ孔１５１が設けられている。前側の２つのねじ孔１５１は、接続部１４の上板１４Ｂに形成されたねじ穴に対応する位置に設けられており、このねじ孔１５１にねじＳを螺合することにより土台部１５が接続部１４に接続される。

【0021】

支柱部１６は、矩形の板材で構成されており、短辺側の下端面には２つのねじ孔（図示せず）が設けられている。支柱部１６は、この下端面を土台部１５に当接させて、土台部１５の後ろ側に設けられた２つのねじ孔（図示せず）からねじを螺合することにより、支柱部１６は土台部１５に接続される。また、図２に示されるように、支柱部１６の上方には板材を貫通するねじ孔１６１が設けられている。なお、本開示の技術において「梁部から立ち上がる支柱部」は、接続部１４及び／又は土台部１５を介して支柱部１６が梁部１２から立ち上がっている態様を含むこととする。

【0022】

把持部１７は、板材で構成されており、後端から前端に亘って、把持し易いように曲線を有する形状となっている。前端は円弧で形成されており、後端は平坦に形成されている。把持部１７の後端には、ねじ穴（図示せず）が設けられており、図２に示されるように、このねじ孔及び支柱部１６のねじ孔１６１にねじＳを螺合することにより、把持部１７は支柱部１６に固定される。把持部１７の前端部には孔１７１が設けられている。例えば壁等に設けられたフックをこの孔１７１に通すことにより、キャリアハンドル１０を収納することができる。

【0023】

以上のようにして第１実施形態のキャリアハンドル１０は構成されている。

【0024】

＜ウェハカセット＞
次に、本開示において使用されるウェハカセット２０について以下図面を参照して説明する。図３は本開示の第１実施形態に係るウェハカセットの一例を示す斜視図である。なお、図３は、便宜上、手前側を正面、上側を上方として以下説明する。

【0025】

ウェハカセット２０は、例えばテフロン（登録商標）で形成されている。ウェハカセット２０は、図３に示されるように、前面に開口部２０Ａを有するウェハカセット本体２１を有している。ウェハカセット本体２１は、両側の側壁２２、上壁２３、及び下壁２４により構成されている。

【0026】

側壁２２は、前側から後ろ側に向かって直線に延びる主板部２２Ａ、主板部２２Ａの後端から内方に向かって延出された中央部２２Ｂ、中央部２２Ｂの後端から後方に向かって直線に延びる後部２２Ｃ、及び主板部２２Ａの前端から略直角に折れ曲がり外側に向かって延出された庇部２２Ｄを有する。主板部２２Ａ及び中央部２２Ｂの内面には、複数のウェハ３０を並列して保持する保持部２２１が設けられている。保持部２２１は、側壁２２の前端から後端に亘って、上下方向に並列して複数形成された溝で構成されており、この溝にウェハ３０が差し込まれる。また、保持部２２１を形成する溝の底面は外部に向けて貫通する貫通孔２２１Ａを有している。

【0027】

庇部２２Ｄは、上下方向の中央よりも上側に矩形状に切り欠かれた切欠部２２２を有している。切欠部２２２は、本開示の係止部に対応し、上述したキャリアハンドル１０の爪部１１２が係止される。

【0028】

上壁２３は、後端から前側に向かって略台形状に一段切り下がった台形部２３１を有している。下壁２４は、前端から後ろ側に向かって略台形状に切り欠かれ、かつ後端から前側に向かって前端側よりも小さな略台形に切り欠かれて形成された長尺状の長尺板部２４１を有している。また、主板部２２Ａの外面前方において、下壁２４から略矩形状に立ち上がる案内部２５を有している。案内部２５は、キャリアハンドル１０が装着される際に、脚部１１の平坦部１１１Ａの上下方向、すなわちキャリアハンドル１０の装着方向の移動を案内する。

【0029】

以上のようにして第１実施形態のウェハカセット２０は構成されている。このように構成されたウェハカセット２０はウェハ３０を収容した後で、収納箱に入れられて保管される。図４は収納箱に収容された状態のウェハカセットの斜視図である。第１実施形態においては、図４に示されるように、収納箱６０に２つのウェハカセット２０が収容される。２つのウェハカセット２０は、ウェハ３０を収容した状態で、開口部２０Ａを上側にして、ウェハ３０が直線状に並ぶように直列に配設される。なお、図示は省略しているが、収納箱６０には蓋が被せられる。

【0030】

＜カセット搬送構造＞
次に、第１実施形態のキャリアハンドル１０を使用してウェハカセット２０を縦型拡散炉装置５０にセットするカセット搬送構造について説明する。なお、縦型拡散炉装置５０は、各種工程を行う際に、複数のウェハ３０が縦方向に並列に収容された状態のウェハカセット２０をセットして使用する装置である。

【0031】

先ずユーザは、キャリアハンドル１０を使用してウェハカセット２０を保持する。図５は収納箱６０に収容された状態のウェハカセット２０を保持するキャリアハンドル１０の斜視図である。図５に示されるように、キャリアハンドル１０の把持部１７はユーザによって把持される。そしてユーザの操作によって、収納箱６０に収容されたウェハカセット２０に対して、庇部２２Ｄと案内部２５との間に、突出部１１１側から一対の脚部１１が挿入される。この際に、突出部１１１の平坦部１１１Ａが案内部２５に当接し、案内部２５が脚部１１の挿入方向の移動を案内する。

【0032】

次に、庇部２２Ｄの切欠部２２２に脚部１１の爪部１１２が係止される。具体的には、切欠部２２２の前端に爪部１１２の凹部１１２Ｃの底面が当接し、直線部１１２Ｂが庇部２２Ｄ上に位置することにより、爪部１１２が切欠部２２２に係止する。この際に、ウェハカセット２０の庇部２２Ｄの端面２２３が当接部１２１に当接することによって、ウェハカセット２０の手前方向への移動が制限される。このようにして、キャリアハンドル１０はウェハカセット２０を保持する。

【0033】

図６はウェハ３０を横方向に並列して収容したウェハカセット２０を搬送する際のキャリアハンドル１０の斜視図である。次に、キャリアハンドル１０によって保持されたウェハカセット２０は、図６に示されるように、縦型拡散炉装置５０に搬送される。図６に示される状態においては、ウェハカセット２０に収容されたウェハ３０は、横方向に並列に並んでいる。すなわち、ウェハ３０は、縦型拡散炉装置５０の炉５１の挿入方向に沿って並んでいるので、ウェハ３０を縦方向に並んだ状態にする必要がある。そのため、ユーザは図６に示される矢印Ｍの方向に手を回転させることにより、ウェハカセット２０の向きを回転させる。

【0034】

図７はウェハ３０を縦方向に並列して収容したウェハカセット２０を縦型拡散炉装置５０へセットする際のキャリアハンドル１０の斜視図である。ユーザが図６に示される矢印Ｍの方向に手を回転させることにより、ウェハカセット２０は開口部２０Ａを手前側にした状態になる。すなわち、ウェハカセット２０は、ウェハ３０を横方向に並列して収容した状態から、ウェハ３０を縦方向に並列して収容した状態に回転される。そして、ウェハ３０を縦方向に並列して収容した状態でキャリアハンドル１０に保持されたウェハカセット２０は、炉口５１Ａから縦型拡散炉装置５０の炉５１にセットされる。

【0035】

図８はウェハカセット２０を縦型拡散炉装置５０へセットする際のキャリアハンドル１０の正面図である。ユーザがキャリアハンドル１０を使用して、縦型拡散炉装置５０の炉５１に中にウェハカセット２０がセットされる際、図８に示されるように、ユーザによってキャリアハンドル１０の把持部１７が把持されたままの状態でセットされる。以上のようにして第１実施形態のキャリアハンドル１０を使用してウェハカセット２０が縦型拡散炉装置５０にセットされる。

【0036】

なお、ウェハカセット２０を炉５１から取り出す場合には、図７に示すように把持部１７を上方に位置させた状態で把持部１７が把持されて、ウェハカセット２０が炉５１から取り出される。

【0037】

＜第１実施形態の作用効果＞
次に第１実施形態のキャリアハンドル１０による作用効果について説明する。キャリアハンドル１０の把持部１７は、切欠部２２２に爪部１１２が係止された状態で支柱部１６からウェハ３０を挿入する方向に向かって延出する。これにより、把持部１７を縦型拡散炉装置５０の炉５１に干渉させずにウェハカセット２０を炉５１の中に挿入させたり、炉５１の中から取り出したりすることが可能となる。そのため、ユーザがミンキー手袋を装着した両手でウェハカセット２０をつかんで縦型拡散炉装置５０の炉５１内にセットしたり、炉５１の中から取り出したりする必要がない。これにより、ミンキー手袋がウェハ３０に触れるのを防止することができるので、良好な状態のウェハ３０が収容されたウェハカセット２０を搬送することができる。

【0038】

また、キャリアハンドル１０の把持部１７はウェハ３０を挿入する方向、すなわちウェハカセット２０の開口部２０Ａとは反対側の面側に向かって延出されている。このような構造では、炉５１に手を入れないとウェハカセット２０を炉５１にセットすることができないため、使い勝手の観点から、把持部１７をウェハ３０を取り出す方向、すなわちウェハカセット２０の開口部２０Ａ側に向かって延出することが考えられる。この構造によれば、炉５１に手をいれなくてもウェハカセット２０を炉５１にセットすることが可能となる。

【0039】

しかしながら、把持部１７を開口部２０Ａ側に延出した態様では、キャリアハンドル１０に保持されたウェハカセット２０の重心Ｇ（図７参照）から把持部１７を把持する手までの距離が、上記第１実施形態よりも長くなってしまう。重心Ｇから手までの距離が長くなると、キャリアハンドル１０を把持してウェハカセット２０を持ち上げている腕にキャリアハンドル１０を通じて大きなモーメントがかかる。

【0040】

これに対して、上記第１実施形態においては、キャリアハンドル１０に保持されたウェハカセット２０の重心Ｇ（図７参照）から把持部１７を把持する手までの距離をより短くすることができる。そのため、キャリアハンドル１０を把持してウェハカセット２０を持ち上げている腕にキャリアハンドル１０を通じてかかるモーメントを小さくすることができるので、ウェハカセット２０の炉５１への搬送作業が楽になる。

【0041】

また、上記第１実施形態のキャリアハンドル１０は、ウェハカセット２０の切欠部２２２に引っ掛かる爪部１１２を有し両側からウェハカセット２０を把持する。これにより、爪部１１２をウェハカセット２０の切欠部２２２に引っ掛けることで、キャリアハンドル１０をウェハカセット２０に対して係止できるので、ウェハカセット２０にキャリアハンドル１０を容易に取り付けることができる。

【0042】

また、上記第１実施形態のカセット搬送構造によれば、開口部２０Ａを上方に位置させて載置されたウェハカセット２０にキャリアハンドル１０が装着されるので、把持部１７が手前側に位置する（図５参照）。そのため、ユーザは、手前側の把持部１７を把持して回転することにより、把持部１７を上側に位置させることができる。これにより、把持部１７を縦型拡散炉装置５０の炉５１に干渉させずにウェハカセット２０を炉５１の中に挿入させることが可能となる。そのため、ユーザがミンキー手袋を装着した両手でウェハカセット２０をつかんで炉５１内にセットする必要がない。これにより、ミンキー手袋がウェハ３０に触れるのを防止することができるので、良好な状態のウェハ３０が収容されたウェハカセット２０を搬送することができる。

【0043】

（第２実施形態）
＜キャリアハンドル＞
以下、開示の第２実施形態のキャリアハンドル１０Ａについて、図面を参照しつつ説明する。図９はウェハカセットを縦型拡散炉装置へセットする際の本開示の第２実施形態にかかるキャリアハンドルの正面図である。なお、第２実施形態のキャリアハンドル１０Ａは上記第１の実施形態のキャリアハンドル１０に対してカバーを備えた構成である。そのため、図９において同一又は等価な構成要素及び部分には同一の参照符号を付与し、以下説明は省略する。

【0044】

開示の第２実施形態のキャリアハンドル１０Ａは、図９に示されるように、カバー７０を有している。カバー７０は、矩形状の透明なアクリル板で構成されており、ウェハカセット２０の切欠部２２２にキャリアハンドル１０の爪部１１２が係止された状態で、キャリアハンドル１０の土台部１５の前端に対応する位置に２つの取付孔７０Ａが設けられている。また、土台部１５の前端にはこの取付孔７０Ａに対応する位置に、ねじ穴が２つ設けられている。カバー７０は、このねじ穴及び取付孔７０Ａにねじを螺合することによりウェハカセット２０の開口部２０Ａを臨むようにキャリアハンドル１０に取り付けられている。

【0045】

＜第２実施形態の作用効果＞
次に第２実施形態のキャリアハンドル１０による作用効果について説明する。第２実施形態のキャリアハンドル１０によれば、開口部２０Ａ側にカバー７０が設けられるので、パーティクル、すなわち塵、ホコリ、異物、及びダスト等のウェハ３０への付着を防止することができる。また、カバー７０を透明部材で形成することにより、ウェハカセット２０に収容されたウェハ３０を視認することができる。

【0046】

なお、上記第１、第２の実施形態においては、ハンドル部１８は、接続部１４、土台部１５、支柱部１６、及び把持部１７が各々別体で構成されるものとしたが、本開示の技術はこれに限られない。ハンドル部１８は、接続部１４、土台部１５、支柱部１６、及び把持部１７を全て一体的に形成してもよいし、何れかの部品を一体的に形成してもよい。

【0047】

また、上記第１、第２の実施形態においては、二股部材１３とハンドル部１８とが別体で構成されるものとしたが、本開示の技術はこれに限られず、一体的に形成してもよい。

【0048】

また、上記第１、第２の実施形態においては、係止部として爪部１１２を採用しているが、本開示の技術はこれに限られない。例えばウェハカセット２０に設けられた被係止部が切欠部２２２ではなく凸部である場合には、係止部を凸部と嵌合する凹部とすることができる。また、ウェハカセット２０に設けられた被係止部が凹部である場合には、係止部を凹部と嵌合する凸部とすることができる。キャリアハンドル１０に設けられる係止部は、被係止部に着脱可能に係止できる構造であればよく、被係止部の形状に合わせて適宜変更することができる。

【0049】

また、上記第２実施形態においては、カバー７０を矩形状としたが本開示の技術はこれに限られない。開口部２０Ａをカバーできる形状であれば、楕円状、円形状、及び高く形状等、何れの形状であってもよい。

【0050】

なお、上記第１、第２の実施形態においては、縦型拡散炉装置５０として複数のウェハ３０が縦方向に並列に収容された状態のウェハカセット２０をセットして使用する装置を例にして説明したが、本開示のキャリアハンドルは他の縦型拡散炉装置にも使用することができる。図１０は他の縦型拡散炉装置５０Ａを説明する説明図である。

【0051】

他の縦型拡散炉装置５０Ａの炉５１の内部には、ウェハカセット２０の向きを複数のウェハ３０が縦方向に並列に収容された状態に回転させる自動搬送装置が搭載されている。そのため、他の縦型拡散炉装置５０Ａにおいては、図１０に示されるように、複数のウェハ３０が横方向に並列に収容された状態のウェハカセット２０、すなわち開口部２０Ａを上側に向けたウェハカセット２０を炉５１にセットして使用する。

【0052】

以上、本発明の実施形態の一例について説明したが、本発明の実施形態は、上記に限定されるものでなく、一実施形態及び各種の変形例を適宜組み合わせて用いても良いし、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得ることは勿論である。

【符号の説明】

【0053】

１０ キャリアハンドル
１１ 脚部
１１２ 爪部（係止部）
１２ 梁部
１３ 二股部材
１６ 支柱部
１７ 把持部
２０ ウェハカセット
２０Ａ 開口部
２２２ 切欠部（被係止部）
３０ ウェハ
４０ キャリアハンドル
５０ 縦型拡散炉装置
５１ 炉
５１Ａ 炉口

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】