特開2022-43365検査装置、検査方法、欠陥検出プログラム

発明の名称　検査装置、検査方法、欠陥検出プログラム

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 221 位（141件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 75 位（294件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-43365

公報発行日　2022年3月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-43365

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