特開 2022-65206 元素分析装置、元素分析装置用プログラム、及び元素分析方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022065206

(43)【公開日】2022-04-27

(54)【発明の名称】元素分析装置、元素分析装置用プログラム、及び元素分析方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 31/00 20060101AFI20220420BHJP

   G01N 31/12 20060101ALI20220420BHJP

【ＦＩ】

G01N31/00 Z

G01N31/12 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2018242173

(22)【出願日】2018-12-26

(71)【出願人】

【識別番号】000155023

【氏名又は名称】株式会社堀場製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(74)【代理人】

【識別番号】100129702

【弁理士】

【氏名又は名称】上村 喜永

(72)【発明者】

【氏名】平野 彰弘

(72)【発明者】

【氏名】中村 龍人

【テーマコード（参考）】

2G042

【Ｆターム（参考）】

2G042AA01

2G042BB01

2G042BB04

2G042BB05

2G042DA03

(57)【要約】

【課題】黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインを用いてベースライン補正をすることで、分析精度のさらなる向上を図る。
【解決手段】黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析装置１００であって、ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付部１１と、信号強度の経時変化を示すスペクトルＳのピークの立ち上がり点Ａの信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点Ｂの信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、スペクトルＳをベースライン補正するベースライン補正部１２とを有し、補正関数を、始点強度及び終点強度に収束するとともに、立ち上がり点Ａ及び下がり終わり点Ｂの間に、これら２点を結ぶ直線Ｚの傾きとは異なる傾きの部分Ｘを有する関数とした。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析装置であって、
ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付部と、
前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正部とを有し、
前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら２点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数である、元素分析装置。

【請求項2】

前記始点強度よりも前記終点強度の方が低く、
前記補正関数が、前記直線よりも傾きの小さい部分を有する単調減少関数である、請求項１記載の元素分析装置。

【請求項3】

前記補正関数が、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に変曲点を有する関数である、請求項２記載の元素分析装置。

【請求項4】

前記変曲点が、前記スペクトルのピークよりも前記立ち上がり点側にある、請求項３記載の元素分析装置。

【請求項5】

前記補正関数が、前記スペクトルのピーク又は当該ピークよりも前記立ち上がり点側において、前記終点強度に収束する、請求項４記載の元素分析装置。

【請求項6】

黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析装置に用いられるプログラムであって、
ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付部と、
前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正部としてのコンピュータに発揮させるものであり、
前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら２点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数である、元素分析装置用プログラム。

【請求項7】

黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析方法であって、
ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付ステップと、
前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正ステップとを有し、
前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら２点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数である、元素分析方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、元素分析装置、元素分析装置用プログラム、及び元素分析方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来の元素分析装置としては、特許文献１に示すように、黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱溶融し、その際に発生するガスを分析することによって、試料に含まれる元素を測定するものがある。

【0003】

かかる元素分析装置において、ガス検出器により得られた信号強度の経時変化、すなわち信号強度のスペクトルは、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度をベースとし、その上に試料から発生するガス起因の信号強度が重畳されたものであるから、試料に含まれる各種成分の濃度等の算出にはベースライン補正が必要である。

【0004】

ところで、上述した信号強度のスペクトルは、図６に示すように、ピークの立ち上がり点の前よりも、ピークの下がり終わり点の後の方が低くなる。これは、試料が溶融することで、試料と黒鉛るつぼとが反応して黒鉛るつぼに流れる電流への抵抗値が変化し、黒鉛るつぼの温度が変わり、黒鉛るつぼから発生するガス量が変化するからである。なお、試料の種類や測定する元素によっては、信号強度スペクトルにおけるピークの立ち上がり点の前よりも、ピークの下がり終わり点の後の方が高くなる場合もある。

【0005】

そこで、これまでは、同図６に示す直線Ｌ、すなわちピークの立ち上がり点及び下がり終わり点を結んだ直線Ｌを黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化とみなし、その直線Ｌをベースラインとしたベースライン補正がなされていた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２０１３－２５００６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

このような中で、本発明者は、分析精度のさらなる向上を図るべく鋭意検討を重ね、試料の溶融が図６の直線Ｌに示されるような線形的に進行する現象ではなく、実際には、例えばあるタイミングで非線形的に進行する現象であることに初めて着目し、従来のベースライン（すなわち、図６の直線Ｌ）では、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を表せていないことを見出した。

【0008】

本発明は、上述した鋭意検討によりなされたものであり、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインを用いてベースライン補正できるようにすることで、分析精度のさらなる向上を図ることを主な課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

すなわち、本発明に係る元素分析装置は、黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析装置であって、ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付部と、前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正部とを有し、前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら２点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数であることを特徴とするものである。

【0010】

このように構成された元素分析装置であれば、補正関数が、ピークの立ち上がり点及び下がり終わり点の間に、これら２点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有するので、その異なる傾き部分によって、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインを表すことができる。これにより、この補正関数を用いてベースライン補正することで、分析精度のさらなる向上を図れる。

【0011】

黒鉛るつぼから発生する実際のガス量の変化が試料の溶融に伴って単調減少であることに鑑みれば、前記始点強度よりも前記終点強度の方が低く、前記補正関数が、前記直線よりも傾きの小さい部分を有する単調減少関数であることが好ましい。

【0012】

黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化をより尤もらしく模擬するためには、前記補正関数が、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に変曲点を有する関数であることが好ましい。

【0013】

溶融した試料と黒鉛るつぼとの反応は、試料の燃焼により生じるガス量がピークになるタイミングの手前で収束する傾向にあることから、前記変曲点が、前記スペクトルのピークよりも前記立ち上がり点側にあることが好ましい。

【0014】

上述したように、試料と黒鉛るつぼとの反応が、試料の燃焼により生じるガス量がピークになるタイミングの手前で収束することに鑑みれば、前記補正関数が、前記スペクトルのピーク又は当該ピークよりも前記立ち上がり点側において、前記終点強度に収束することが好ましい。

【0015】

また、本発明に係る元素分析装置用プログラムは、黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析装置に用いられるプログラムであって、ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付部と、前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正部としてのコンピュータに発揮させるものであり、前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら２点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数であることを特徴とするものである。

【0016】

さらに、本発明に係る元素分析方法は、黒鉛るつぼ内に収容された試料を加熱して生じるガスを分析する元素分析方法であって、ガス検出器により得られた信号強度を受け付ける信号強度受付ステップと、前記信号強度の経時変化を示すスペクトルのピークの立ち上がり点の信号強度である始点強度、及び、当該ピークの下がり終わり点の信号強度である終点強度をパラメータとした補正関数を用いて、前記スペクトルをベースライン補正するベースライン補正ステップとを有し、前記補正関数が、前記始点強度及び前記終点強度に収束するとともに、前記立ち上がり点及び前記下がり終わり点の間に、これら２点を結ぶ直線の傾きとは異なる傾きの部分を有する関数であることを特徴とする方法である。

【0017】

このような元素分析装置用プログラムや元素分析方法であっても、上述した元素分析装置と同様の作用効果を奏し得る。

【発明の効果】

【0018】

このように構成した本発明によれば、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインを用いてベースライン補正をすることができ、分析精度のさらなる向上を図れる。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本実施形態の元素分析装置の構成を示す模式図。

【図2】同実施形態に係る演算装置の機能を示す機能ブロック図。

【図3】同実施形態に係るベースライン補正部の機能を説明するための図。

【図4】同実施形態に係る補正関数を説明するための図。

【図5】同実施形態に係る補正関数を説明するための図。

【図6】従来のベースライン補正を説明するための図。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下に、本発明に係る元素分析装置を図面に基づいて説明する。

【0021】

本実施形態の元素分析装置１００は、るつぼＲ内に収容された金属試料又はセラミック試料（以下、単に試料ともいう。）を加熱溶融し、その際に発生するガス成分を分析することによって、当該試料内部に含まれている元素を測定するものである。

【0022】

具体的に元素分析装置１００は、図１に示すように、加熱炉１内に発生した試料ガスをキャリアガス（例えばＨｅガス等）とともに流通させるガス流路２を有し、当該ガス流路２にＣＯ検出器３、酸化部４、ＣＯ_２検出器５、Ｈ_２Ｏ検出器６、ＣＯ_２除去部７、Ｈ_２Ｏ除去部８及びＮ_２検出器９が、この順に直列に設けられている。なお、必ずしもこれらの検出器を全て備えている必要はなく、検出器の数や配置は適宜変更して構わない。

【0023】

ＣＯ検出器３は、試料ガスに含まれる一酸化炭素（ＣＯ）を検出してその濃度を測定（検出）するものであり、非分散型赤外線ガス分析計（ＮＤＩＲ）により構成されている。

【0024】

酸化部４は、ＣＯ検出器３の下流側に設けられ、試料ガスに含まれる一酸化炭素（ＣＯ）を二酸化炭素（ＣＯ_２）に酸化するとともに、水素（Ｈ）を水（Ｈ_２Ｏ）に酸化して水蒸気を生成するものである。本実施形態の酸化部４は、例えば酸化銅（ＣｕＯ）を用いて構成されており、具体的には、石英管内に酸化銅（ＣｕＯ）を充填することにより構成され、その酸化銅（ＣｕＯ）は、約６００度程度に加熱されている。この酸化銅（ＣｕＯ）の加熱方法は、発熱抵抗体により加熱する方法等が考えられる。

【0025】

ＣＯ_２検出器５は、試料ガスに含まれる二酸化炭素（ＣＯ_２）を検出してその濃度を測定するものであり、非分散型赤外線ガス分析計（ＮＤＩＲ）により構成されている。

【0026】

Ｈ_２Ｏ検出器６は、試料ガスに含まれる水（水蒸気）を検出してその濃度を測定するものであり、非分散型赤外線ガス分析計（ＮＤＩＲ）により構成されている。

【0027】

ＣＯ_２除去部７は、酸化部６を通過した試料ガスから二酸化炭素（ＣＯ_２）を吸着して除去するものであり、試料ガスに含まれる窒素（Ｎ_２）に対して反応及び吸着等しないものであり、例えば、アスカライト又はゼオライト系モレキュラーシーブ等を用いることができる。

【0028】

Ｈ_２Ｏ除去部８は、酸化部６を通過した試料ガスから水（水蒸気）を吸着して除去するものであり、試料ガスに含まれる窒素（Ｎ_２）に対して反応及び吸着等しないものであり、例えば、過塩素酸マグネシウム又は塩化カルシウム等を用いることができる。

【0029】

Ｎ_２検出器９は、試料ガスに含まれる窒素（Ｎ_２）を検出してその濃度を測定するものであり、熱伝導度型分析計（ＴＣＤ）により構成されている。

【0030】

各検出器により得られた測定信号（各ガス成分の濃度を示す測定値）は、演算装置１０に出力される。

【0031】

演算装置１０は、例えばＣＰＵ、内部メモリ、入出力インタフェース、ＡＤ変換器等からなる汎用又は専用のコンピュータである。なお、演算装置１０は、コンピュータによることなくバッファや増幅器、比較器等を用いたディスクリートアナログ回路を用いて構成しても構わない。

【0032】

この演算装置１０は、前記内部メモリの所定領域に格納してあるプログラムに基づいてＣＰＵやその周辺機器等が作動することにより、図２に示すように、各検出器により得られた測定信号を受け付ける信号強度受付部１１と、測定信号強度の経時変化を示すスペクトルをベースライン補正するベースライン補正部１２と、ベースライン補正された測定信号強度に基づいてガスに含まれる各種成分の濃度を算出する濃度算出部１３などの機能を発揮するように構成されている。

【0033】

ここではベースライン補正部１２が特徴的であるので、以下に詳述する。

【0034】

まず、測定信号強度のスペクトルＳ（以下、測定スペクトルＳともいう）は、図３に示すように、ガスに含まれる検出成分の濃度に応じた高さのピークが現れるものである。ここで、例えばＣＯ検出器３やＣＯ_２検出器５を構成する非分散型赤外線ガス分析計（ＮＤＩＲ）からの測定信号強度を信号強度受付部１１が受け付けた場合、その測定スペクトルＳは、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度をベースとし、その上に試料から発生するガス起因の信号強度が重畳されたものとなる。

【0035】

そこで、ベースライン補正部１２は、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の影響を測定スペクトルＳから除くものであり、具体的には、図３に示すように、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインＢＬを作成し、そのベースラインＢＬを測定スペクトルＳから差し引くことでベースライン補正するように構成されている。

【0036】

つまり、ここでいうベースライン補正とは、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の影響を測定スペクトルＳから除くことであり、具体的には、ベースラインＢＬから測定スペクトルＳまでの距離に応じた信号強度やその信号強度の時系列変化を補正結果データとして得ることである。
なお、このベースライン補正としては、各時間それぞれにおいてベースラインＢＬの信号強度を測定スペクトルＳの信号強度から差し引いた値を補正結果データとして算出しても良いし、所定区間（例えば立ち上がり点Ａから下がり終わり点Ｂまでの区間）におけるベースラインＢＬの信号強度の積算値を同区間における測定スペクトルＳの信号強度の積算値から差し引いた値を補正結果データとして算出しても良い。

【0037】

本実施形態のベースライン補正部１２は、ベースラインＢＬを表す補正関数を作成し、その補正関数を用いてベースライン補正するように構成されている。なお、補正関数は、時間を変数として信号強度を表す関数である。

【0038】

ここで、測定スペクトルＳは、図３に示すように、ピークの立ち上がり点Ａの前よりも、ピークの下がり終わり点Ｂの後の方が低く、立ち上がり点Ａの信号強度である始点強度よりも、下がり終わり点Ｂの信号強度である終点強度の方が低い。これは、試料が溶融することで、溶融した試料と黒鉛るつぼとが反応し、黒鉛るつぼに流れる電流に対する抵抗値が変化し、黒鉛るつぼの温度が変わり、黒鉛るつぼから発生するガス量が変化するからである。なお、この場合に黒鉛るつぼから発生するガスとしては、黒鉛るつぼに含まれる酸素と黒鉛るつぼの材質である炭素とが反応して生じるＣＯやＣＯ_２が挙げられる。

【0039】

そこで、ベースライン補正部１２は、まず測定スペクトルＳのピークの立ち上がり点Ａと、その立ち上がり点Ａよりも低いピークの下がり終わり点Ｂを特定し、これらの点の座標、すなわち立ち上がり点Ａの時間及び始点強度と、下がり終わり点Ｂの時間及び終点強度とを取得する。

【0040】

そして、ベースライン補正部１２は、始点強度及び終点強度をパラメータとしてベースラインＢＬを表す補正関数を作成する。

【0041】

より詳細に説明すると、ベースライン補正部１２は、図３に示すように、少なくともピークの立ち上がり点Ａから下がり終わり点Ｂまでの区間における信号強度を表す関数を補正関数として作成するように構成されており、ここでの補正関数は、単調減少する非線形関数である。

【0042】

ここで、測定スペクトルＳのピーク前後は測定信号強度が殆ど変化せず安定していることから、本実施形態のベースライン補正部１２は、始点強度及び終点強度に収束するように、言い換えればピークの立ち上がり点Ａより前のピーク前ラインＬ１、及び、下がり終わり点Ｂより後のピーク後ラインＬ２が漸近線となるように補正関数を作成する。

【0043】

そして、この補正関数は、図３に示すように、立ち上がり点Ａ及び下がり終わり点Ｂの間に、これら２点を結ぶ直線Ｚよりも傾きが小さい部分である急峻部Ｘを有する。

【0044】

より具体的に説明すると、補正関数は、急峻部Ｘよりも立ち上がり点Ａ側では直線Ｚよりも値が大きくなり、急峻部Ｘよりも下がり終わり点Ｂ側では直線Ｚよりも値が小さくなるように作成されており、ここでは例えばアークタンジェント関数を含む関数である。なお、変曲点は、上述した急峻部Ｘに含まれており、ここでは測定スペクトルＳのピークよりも立ち上がり点Ａ側に設定されている。

【0045】

このように、ベースライン補正部１２は、ベースラインＢＬを表す補正関数を作成するとともに、そのベースラインＢＬから測定スペクトルＳまでの距離に応じた信号強度を補正結果データとして算出し、その補正結果データに基づいて、ガスに含まれる成分の濃度等が濃度算出部１３によって算出される。

【0046】

このように構成された元素分析装置１００によれば、ベースライン補正部１２が、ピークの立ち上がり点Ａ及び下がり終わり点Ｂの間に、これら２点を結ぶ直線よりも傾きが小さい急峻部Ｘを有する補正関数を用いてベースライン補正するので、その急峻部Ｘによって、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化を模擬したベースラインＢＬを作成ることができる。そして、このように作成されたベースラインＢＬを用いたベースライン補正がなされるので、分析精度のさらなる向上を図れる。

【0047】

また、補正関数が測定スペクトルＳのピークよりも立ち上がり点Ａ側に変曲点を有するので、黒鉛るつぼから発生するガス起因の信号強度の経時変化をより尤もらしく模擬することができる。

【0048】

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0049】

例えば、前記実施形態の補正関数は、測定スペクトルＳのピークよりも立ち上がり点Ａ側に変曲点を有するアークタンジェント関数を用いたものであったが、図４に示すように、複数の直線を組み合わせた関数であっても良いし、図５に示すように、測定スペクトルＳのピークよりも下がり終わり点Ｂ側に変曲点を有する関数であっても良い。
また、補正関数は、サイン関数、コサイン関数、タンジェント関数などの１又は複数の三角関数を用いたものであっても良い。

【0050】

さらに、ベースライン補正部１２は、前記実施形態では補正関数を作成するように構成されていたが、１又は複数の補正関数を予め格納させた補正関数格納部から補正関数を取得するように構成されていても良い。
具体的には、補正関数格納部が、例えば試料の種類等に応じて予め作成された複数の補正関数を、その試料の種類と紐付けて格納している場合であれば、ベースライン補正部１２としては、試料の種類を受け付けるとともに、その種類に紐付けられている補正関数を取得する構成が挙げられる。また、別の態様としては、ベースライン補正部１２が、補正関数格納部に格納されている複数の補正関数の中から、オペレータが選択したものを取得するように構成されていても良い。
なお、複数の補正関数としては、前記実施形態で述べた急峻部Ｘを有するベースラインを表す関数の他、例えば立ち上がり点Ａ又は下がり終わり点Ｂを通過し、横軸に平行な直線を表す関数や、立ち上がり点Ａ及び下がり終わり点Ｂを結ぶ直線Ｚを表す関数などが挙げられる。

【0051】

また、前記実施形態では、信号強度受付部１１が非分散型赤外線ガス分析計（ＮＤＩＲ）からの測定信号強度を受け付ける場合について説明したが、信号強度受付部１１としては、その他の光学分析計からの測定信号を受け付けるものであっても良い。
さらに、信号強度受付部１１は、必ずしもＣＯ検出器３及びＣＯ_２検出器５からの測定信号強度を受け付けるものに限らず、その他の成分を検出する検出器からの信号強度を受け付けるものであっても良い。
つまり、前記実施形態のベースライン補正は、非分散型赤外線ガス分析計（ＮＤＩＲ）のみならず、その他の光学分析計に用いることができるし、ＣＯ検出器３及びＣＯ_２検出器５のみならず、その他の成分を検出する検出器にも用いることができる。
なお、試料の種類や測定する元素によっては、立ち上がり点Ａの信号強度よりも下がり終わり点Ｂの方が高くなる場合があり、このような場合においては、補正関数が、始点強度及び終点強度に収束するとともに、立ち上がり点Ａ及び下がり終わり点Ｂの間に、これら２点を結ぶ直線よりも傾きの大きい部分を有する関数であっても良い。

【0052】

その他、本発明は前記各実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【符号の説明】

【0053】

１００・・・元素分析装置
１０ ・・・演算装置
１１ ・・・信号強度受付部
１２ ・・・ベースライン補正部
Ｓ ・・・測定スペクトル
Ａ ・・・立ち上がり点
Ｂ ・・・下がり終わり点
ＢＬ ・・・ベースライン
Ｌ１ ・・・ピーク前ライン
Ｌ２ ・・・ピーク後ライン
Ｘ ・・・急峻部
Ｚ ・・・直線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】