特開 2022-72852 液化ガス濾過用フィルタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022072852

(43)【公開日】2022-05-17

(54)【発明の名称】液化ガス濾過用フィルタ

(51)【国際特許分類】

   B01D 46/24 20060101AFI20220510BHJP

   B01D 39/20 20060101ALI20220510BHJP

【ＦＩ】

B01D46/24 Z

B01D39/20 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020182517

(22)【出願日】2020-10-30

(71)【出願人】

【識別番号】000231556

【氏名又は名称】日本精線株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100104134

【弁理士】

【氏名又は名称】住友 慎太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100156225

【弁理士】

【氏名又は名称】浦 重剛

(74)【代理人】

【識別番号】100168549

【弁理士】

【氏名又は名称】苗村 潤

(74)【代理人】

【識別番号】100200403

【弁理士】

【氏名又は名称】石原 幸信

(72)【発明者】

【氏名】奥田 慎一

(72)【発明者】

【氏名】進藤 侑也

(72)【発明者】

【氏名】小森 栄一

【テーマコード（参考）】

4D019

4D058

【Ｆターム（参考）】

4D019AA01

4D019AA02

4D019BA02

4D019BB01

4D019BD01

4D019CA03

4D019DA02

4D019DA03

4D058JA02

4D058JB03

4D058JB22

4D058JB41

4D058KA03

4D058LA01

4D058UA01

(57)【要約】

【課題】 装置内での温度ムラを抑制し、ひいては、液化ガスの濾過中での変質や再液化を防止する。
【解決手段】 濾過用フィルタ１であって、熱伝導性を有するハウジング２００と、フィルタ部材３００と、熱伝導性を有する伝熱部材４００とを含む。ハウジング２００は、軸心方向Ａの一端側に設けられたガス入口２０１と、その他端側に設けられたガス出口２０２と、これらの間を延びる濾過室２０３とを備える。伝熱部材４００は、濾過室２０３を、上流側流路２１０と下流側流路２２０とに区画するようにハウジング２００の内部に配される。伝熱部材は、ガス入口２０１の側でハウジング２００に固定された第１部材４０１と、ガス出口２０２の側でハウジング２００に固定された第２部材４０２と、これらに間を軸心方向Ａに延びるガス透過性を有する筒状の第３部材４０３と、第１部材４０１及び／又は第２部材４０２から、第３部材４０３が囲む被包囲空間２２０Ａの中に延びる第４部材４０４とを含む。フィルタ部材３００が第３部材４０３に固定されている。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液化ガスを濾過するための液化ガス濾過用フィルタであって、
熱伝導性を有するハウジングと、フィルタ部材と、熱伝導性を有する伝熱部材とを含み、
前記ハウジングは、軸心方向を規定する筒状であり、前記軸心方向の一端側に設けられたガス入口と、前記軸心方向の他端側に設けられたガス出口と、前記ガス入口と前記ガス出口との間を延びる濾過室とを備え、
前記フィルタ部材は、筒状の多孔質体であって、前記ハウジングの中に配されており、
前記伝熱部材は、前記濾過室を、前記ガス入口から前記フィルタ部材に至る上流側流路と、前記フィルタ部材から前記ガス出口までの下流側流路とに区画するように、前記ハウジングの内部に配されており、
前記伝熱部材は、前記ガス入口の側で前記ハウジングに固定された第１部材と、前記ガス出口の側で前記ハウジングに固定された第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とに接し、かつ、これらの間を前記軸心方向に延びるガス透過性を有する筒状の第３部材と、前記第１部材及び／又は前記第２部材から、前記第３部材が囲む被包囲空間の中に延びる第４部材とを含み、
前記フィルタ部材が前記第３部材に固定されている、
液化ガス濾過用フィルタ。

【請求項2】

前記第１部材及び前記第２部材は、前記ハウジングと同一の材料で形成されている、請求項１に記載の液化ガス濾過用フィルタ。

【請求項3】

前記第１部材及び前記第２部材は、前記ハウジングとは異なる材料で形成されており、前記第１部材及び前記第２部材の熱伝導率が、前記ハウジングの熱伝導率よりも大きい、請求項１に記載の液化ガス濾過用フィルタ。

【請求項4】

前記第４部材は、前記ハウジングと同じかそれよりも大きい熱伝導率を有する、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液化ガス濾過用フィルタ。

【請求項5】

前記被包囲空間は円柱状であり、前記第４部材は円柱状であり、前記第４部材は、前記被包囲空間と同軸状に配されて、前記第４部材の周囲にパイプ状流路を画定する、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液化ガス濾過用フィルタ。

【請求項6】

前記パイプ状流路の前記軸心方向と直交する断面積は、前記ガス出口の前記軸心方向と直交する断面積以上である、請求項５に記載の液化ガス濾過用フィルタ。

【請求項7】

前記下流側流路は、前記軸心方向において、前記パイプ状流路と前記第２部材との間に円柱状流路をさらに含み、前記円柱状流路の外周面の表面積は、前記ガス出口の前記断面積以上である、請求項６に記載の液化ガス濾過用フィルタ。

【請求項8】

前記フィルタ部材が、前記第３部材の外周面側に固定されている、請求項１ないし７のいずれか１項に記載の液化ガス濾過用フィルタ。

【請求項9】

前記フィルタ部材は、金属繊維の焼結体である、請求項１ないし８のいずれか１項に記載の液化ガス濾過用フィルタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液化ガス中に含まれる微細不純物を濾過処理するために用いられる液化ガス濾過用フィルタに関する。

【背景技術】

【0002】

下記特許文献１は、液化ガスを濾過するためのフィルタ及びフィルタシステムが開示されている。このフィルタは、ハウジングと、その内部を上流側と下流側とに区分する仕切部材とを含む。前記ハウジングは、外部からの熱供給を受けるための受熱部を含む。また、前記仕切部材は、略円筒状の支持体と、前記支持体の周囲に配されかつ前記ハウジングの内周面との間で前記液化ガスが流れ込む流路を画定する略円筒状の多孔質フィルタ部と、前記支持体の一端側を前記ハウジングに連結しかつ前記受熱部からの熱を前記支持体に伝えるための熱伝導部材とを含む。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０２０－１８９８１号

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

一般に、常温常圧の環境下において液化する液化ガスから不純物を除去する場合、その温度を高め（例えば、２００℃程度）、気化した状態で濾過が行われる。しかしながら、液化ガスは、所定の温度ｔ１よりも高くなると変質し、所定の温度ｔ２よりも低くなると再液化する性質があることから、濾過室内の温度は、温度ｔ１よりも低くかつ温度ｔ２よりも高く維持する必要がある。特に、温度ｔ１及びｔ２の差が著しく小さい液化ガスを濾過する場合、濾過室内のよりシビアな温度管理が必要となる。

【0005】

本発明は、以上のような問題点を解決するために案出なされたものであり、濾過室内での温度ムラを抑制し、ひいては、濾過中での液化ガスの変質や再液化を防止しうる液化ガス濾過用フィルタを提供することを主な課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、液化ガスを濾過するための液化ガス濾過用フィルタであって、熱伝導性を有するハウジングと、フィルタ部材と、熱伝導性を有する伝熱部材とを含み、前記ハウジングは、軸心方向を規定する筒状であり、前記軸心方向の一端側に設けられたガス入口と、前記軸心方向の他端側に設けられたガス出口と、前記ガス入口と前記ガス出口との間を延びる濾過室とを備え、前記フィルタ部材は、筒状の多孔質体であって、前記ハウジングの中に配されており、前記伝熱部材は、前記濾過室を、前記ガス入口から前記フィルタ部材に至る上流側流路と、前記フィルタ部材から前記ガス出口までの下流側流路とに区画するように、前記ハウジングの内部に配されており、前記伝熱部材は、前記ガス入口の側で前記ハウジングに固定された第１部材と、前記ガス出口の側で前記ハウジングに固定された第２部材と、前記第１部材と前記第２部材とに接し、かつ、これらの間を前記軸心方向に延びるガス透過性を有する筒状の第３部材と、前記第１部材及び／又は前記第２部材から、前記第３部材が囲む被包囲空間の中に延びる第４部材とを含み、前記フィルタ部材が前記第３部材に固定されている、液化ガス濾過用フィルタである。

【0007】

本発明の他の態様では、前記第１部材及び前記第２部材は、前記ハウジングと同一の材料で形成されても良い。

【0008】

本発明の他の態様では、前記第１部材及び前記第２部材は、前記ハウジングとは異なる材料で形成されており、前記第１部材及び前記第２部材の熱伝導率が、前記ハウジングの熱伝導率よりも大きくても良い。

【0009】

本発明の他の態様では、前記第４部材は、前記ハウジングと同じかそれよりも大きい熱伝導率を有しても良い。

【0010】

本発明の他の態様では、前記被包囲空間は円柱状であり、前記第４部材は円柱状であり、前記第４部材は、前記被包囲空間と同軸状に配されて、前記第４部材の周囲にパイプ状流路を画定しても良い。

【0011】

本発明の他の態様では、前記パイプ状流路の前記軸心方向と直交する断面積は、前記ガス出口の前記軸心方向と直交する断面積以上であっても良い。

【0012】

本発明の他の態様では、前記下流側流路は、前記軸心方向において、前記パイプ状流路と前記第２部材との間に円柱状流路をさらに含み、前記円柱状流路の外周面の表面積は、前記ガス出口の前記断面積以上であっても良い。

【0013】

本発明の他の態様では、前記フィルタ部材が、前記第３部材の外周面側に固定されていても良い。

【0014】

本発明の他の態様では、前記フィルタ部材は、金属繊維の焼結体であっても良い。

【発明の効果】

【0015】

本発明の液化ガス濾過用フィルタは、上記の構成を採用したことにとり、濾過室内での温度の均一化を図り、ひいては、濾過中における液化ガスの変質や再液化を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本実施形態の液化ガス濾過用フィルタの断面図である。

【図2】図１のII－II線断面図である。

【図3】図１のIII－III線断面図である。

【図4】図１のIV－IV線断面図である。

【図5】（Ａ）は、円柱状流路付近の要部拡大図、（Ｂ）は、その要部斜視図を示す。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の実施の一形態が図面に基づき説明される。
図面は、本発明の理解を助けるために、実際の構造の寸法比とは異なる表現が含まれていることが理解されなければならない。また、複数の実施形態がある場合、明細書を通して、同一又は共通する要素については同一の符号が付されており、重複する説明が省略される。さらに、実施形態及び図面に表された具体的な構成は、本発明の内容理解のためのものであって、本発明は、図示されている具体的な構成に限定されるものではない。

【0018】

［フィルタ］
図１は、本発明の一実施形態を示す液化ガス濾過用フィルタ（以下、単に「フィルタ」という）１ の断面図である。本実施形態のフィルタ１は、例えば、半導体の製造等に用いられる液化ガスＧからの微細な不純物を濾過するためのものである。本実施形態の液化ガスＧは、例えば、常温常圧では液体を呈するが、高温とされることで気化するものである。なお、液化ガスＧの種類や用途については、上述の態様に限定されるものではない。

【0019】

図１に示されるように、フィルタ１は、ハウジング２００と、フィルタ部材３００と、伝熱部材４００とを含んで構成されている。

【0020】

［ハウジング］
ハウジング２００は、フィルタ１の外装材であって、軸心方向Ａを規定する筒状に形成されている。軸心方向Ａは、筒の軸心ＣＬに沿った方向である。本実施形態のハウジング２００は、円筒状に形成されている。他の態様では、ハウジング２００は、断面が多角形の筒状であっても良い。

【0021】

ハウジング２００は、軸心方向Ａの一端側に設けられたガス入口２０１と、軸心方向Ａの他端側に設けられたガス出口２０２と、ガス入口２０１とガス出口２０２との間を延びる濾過室２０３とを備える。

【0022】

本実施形態のハウジング２００は、内径ｄ１のガス入口２０１及びガス出口２０２を画定する一対の小径部２００Ａを含む。小径部２００Ａは、共通の軸心ＣＬ上に位置するようにレイアウトされている。

【0023】

また、本実施形態のハウジング２００は、一対の小径部２００Ａの間に、内径ｄ２（＞ｄ１）の濾過室２０３を画定する大径部２００Ｂを含む。小径部２００Ａと大径部２００Ｂとの間には、ハウジング２００の径方向Ｂ（軸心方向Ａと直交する方向で、以下同じ。）にのびる径方向壁２００Ｃが設けられる。なお、径方向Ｂは、軸心方向Ａの周りに３６０度存在するが、図１には、その一例が符号Ｂとして表示されている。

【0024】

本実施形態のハウジング２００は、熱伝導性を有する材料で形成されている。すなわち、ハウジング２００は、高温側から低温側へ熱を伝えることができる材料からなる。

【0025】

また、本実施形態のハウジング２００のガス入口２０１の近傍には、受熱部２０５が設けられる。受熱部２０５は、例えば、電気ヒータＨなどの熱源が接続されることで、外部からの熱を受ける。この熱は、ハウジング２００の全体に伝わり、ハウジング２００を高温にする。高温となったハウジング２００は、輻射によって、濾過室２０３を流れる液化ガスＧを加熱する。

【0026】

本実施形態のハウジング２００は、上述のような熱伝導性を有する材料として、ステンレス鋼で形成されている。好ましい態様では、ハウジング２００には、オーステナイト系ステンレスが用いられ、とりわけ、高耐食性を有するＳＵＳ３１６Ｌが好適である。

【0027】

［フィルタ部材］
フィルタ部材３００は、液化ガスＧから不純物を取り除くためのものである。本実施形態のフィルタ部材３００は、内部に多数の連続孔を有する多孔質体で構成されている。

【0028】

多孔質体としては、例えば、金属繊維の焼結体が好適である。金属繊維としては、例えば、ステンレス鋼の長繊維の金属繊維が好適である。ステンレス鋼としては、例えば、オーステナイト系ステンレスが用いられ、とりわけ、高耐食性を有するＳＵＳ３１６Ｌが好適である。金属繊維（長繊維）の平均繊維径は、例えば、１～１００μｍ程度が望ましい。このようなフィルタ部材３００は、液化ガスＧ の微細な不純物（ミストや埃）を高精度で捕捉することができる。

【0029】

フィルタ部材３００の平均空隙率は、特に限定されないが、例えば、８０％以上が望ましく、また９４％以下が望ましい。なお、フィルタ部材３００は、平均空隙率が異なる複数の層が積層された構造であっても良い。

【0030】

［伝熱部材］
伝熱部材４００は、ハウジング２００の濾過室２０３を、上流側流路２１０と、下流側流路２２０とに区画するように、ハウジング２００の内部に配されている。また、伝熱部材４００は、ハウジング２００と同様に、熱伝導性を有する。

【0031】

上流側流路２１０は、ガス入口２０１からフィルタ部材３００に至るまでの流路を意味する。したがって、この上流側流路２１０を流れる液化ガスＧは、未濾過の状態である。また、本実施形態において、下流側流路２２０は、フィルタ部材３００からガス出口２０２までの流路を意味する。したがって、下流側流路２２０を流れる液化ガスＧは、濾過された状態である。これらの詳細は、後で述べる。

【0032】

また、伝熱部材４００は、第１部材４０１、第２部材４０２、第３部材４０３及び第４部材４０４を含んで構成される。

【0033】

［第１部材］
第１部材４０１は、ガス入口２０１の側でハウジング２００に固定されている。図２は、図１のII－II線断面図を示す。図１及び２に示されるように、本実施形態の第１部材４０１は、例えば、ハウジング２００の径方向Ｂに延びる円板状の部材である。本実施形態の第１部材４０１は、その外周縁が、ハウジング２００の大径部２００Ｂの内周面に固着されている。

【0034】

本実施形態の第１部材４０１は、例えば、溶接によりハウジング２００に固着されている。このような第１部材４０１は、ハウジング２００からの熱を受け取ることにより、高温に制御され得る。

【0035】

また、図２に示されるように、第１部材４０１の外周縁側には、この第１部材４０１を軸心方向Ａに貫通する複数の通気孔４０１Ａが形成されている。また、図１に示されるように、第１部材４０１のガス出口２０２の側には、第３部材４０３を固着するための第１取付部４０１Ｂが形成されている。

【0036】

第１部材４０１は、通気孔４０１Ａを除いて、ガス入口２０１から流入する液化ガスＧの下流側への移動を妨げる。したがって、ガス入口２０１からハウジング２００に流入した高圧の液化ガスＧは、第１部材４０１の外周縁側から通気孔４０１Ａを通って、第１部材４０１の下流側へと流れる。

【0037】

第１部材４０１は、ガス入口２０１の側でハウジング２００に固定されていれば、その具体的形状は、上述のような態様以外にも種々変形可能である。例えば、第１部材４０１は、ハウジング２００と別部材であっても良いし、ハウジング２００と予め一体的に形成されても良い。また、第１部材４０１の固定位置は、ハウジング２００の大径部２００Ｂではなく、例えば、径方向壁２００Ｃであっても良い。

【0038】

［第２部材］
第２部材４０２は、第１部材４０１よりもガス出口２０２の側でハウジング２００に固定されている。図３は、図１のIII－III線断面図を示す。図１及び図３に示されるように、本実施形態の第２部材４０２は、例えば、ガス出口２０２の側の径方向壁２００Ｃからハウジング２００内を軸心方向Ａに延びる筒状（円筒状）の部材である。本実施形態の第２部材４０２は、ガス出口２０２の側の端部が、ハウジング２００の径方向壁２００Ｃの内面に固着されており、その反対側の端部が、ハウジング２００内で終端している。

【0039】

本実施形態の第２部材４０２は、例えば、溶接によりハウジング２００に固着されている。このような第２部材４０２は、ハウジング２００からの熱を受け取ることにより、高温に制御され得る。

【0040】

図３に示されるように、第２部材４０２は、濾過室２０３のガス出口２０２の側を、ハウジング２００の径方向Ｂで内外に区画している。そして、第２部材４０２で囲まれた内側の流路区画は、ガス出口２０２と連通している。また、図１に示されるように、第２部材４０２のガス入口２０１の側の端部には、第３部材４０３を固着するための第２取付部４０２Ｂが形成されている。

【0041】

第２部材４０２は、ガス出口２０２の側でハウジング２００に固定されていれば、その具体的形状は、上述のような態様に限定されるものではなく、種々変形可能である。例えば、第２部材４０２は、本実施形態のように、ハウジング２００と別部材として構成される態様の他、ハウジング２００と予め一体的に形成された態様でも良い。

【0042】

［第３部材］
図４は、図１のIV－IV線断面図である。図１及び図４に示されるように、第３部材４０３は、第１部材４０１と第２部材４０２との間を軸心方向Ａに延びている。本実施形態の第３部材４０３は、円筒状であり、ハウジング２００の軸心ＣＬと同軸に配置されている。

【0043】

また、第３部材４０３は、その軸心方向Ａの一端が、第１部材４０１の第１取付部４０１Ｂに接触し、かつ、その軸心方向Ａの他端が、第２部材４０２の第２取付部４０２Ｂに接触している。このような第３部材４０３は、第１部材４０１及び第２部材４０２の両方から熱を受け取ることができる。

【0044】

また、第３部材４０３は、ガス透過性を有する。本実施形態の第３部材４０３は、その径方向Ｂで液化ガスＧが通過可能な複数の貫通孔４０３Ａ（図４）を有する。本実施形態の第３部材４０３は、ステンレス鋼等の金属材料からなる円筒体の表面に、直径１．０～１．５ｍｍの円形の貫通孔４０３Ａが複数形成されたいわゆるパンチングメタルが用いられている。ただし、第３部材４０３の構成は、このような態様に限定されるものではない。

【0045】

［第４部材］
下流側流路２２０は、第３部材４０３で囲まれた被包囲空間２２０Ａを含む。この被包囲空間２２０Ａは、ハウジング２００の大径部２００Ｂから径方向内側に離れたところに位置することから、他の部分に比べてガス温度が低くなりやすい。第４部材４０４は、被包囲空間２２０Ａを効果的に暖めるために、第１部材４０１及び／又は第２部材４０２から、被包囲空間２２０Ａの中に延びている。

【0046】

本実施形態の第４部材４０４は、例えば、円柱状とされており、その外径は、被包囲空間２２０Ａの径方向寸法よりも小さい。また、第４部材４０４は、例えば、第１部材４０１に設けられており、被包囲空間２２０Ａを通ってガス出口２０２の側に突出している。他の態様では、第４部材４０４は、第２部材４０２の側に設けられても良いし、第１部材４０１及び第２部材４０２の両側に設けられても良い。

【0047】

［フィルタ部材の固定］
上述のフィルタ部材３００は、第３部材４０３に固定されている。本実施形態では、フィルタ部材３００は、第３部材４０３の外周面の側に配されている。これにより、フィルタ部材３００は、その上流側において、液化ガスＧとの接触面積を広く確保することができる。他の態様では、フィルタ部材３００は、第３部材４０３の内周面の側に配されても良い。

【0048】

［本実施形態の作用］
以上のように構成された本実施形態のフィルタ１では、図１に示されるように、上流側流路２１０は、ガス入口２０１から第１部材４０１の通気孔４０１Ａを経由して、フィルタ部材３００の外周面に至る流路として区画される。上流側流路２１０の軸心方向Ａの下流側は、ハウジング２００のガス出口２０２の側の径方向壁２００Ｃで閉塞される。

【0049】

また、下流側流路２２０は、フィルタ部材３００から第３部材４０３の貫通孔４０３Ａ（図４）を経て、第３部材４０３と第４部材４０４との間を通り、さらに、第２部材４０２の内周側を通ってガス出口２０２に至る流路として区画される。下流側流路２２０の軸心方向Ａの上流側は、第１部材４０１のガス出口２０２の側の面で閉塞される。

【0050】

ガス入口２０１から高温高圧の液化ガスＧが供給されると、液化ガスＧは、上流側流路２１０を通ってフィルタ部材３００に至る。液化ガスＧは、フィルタ部材３００を通過する際に、ガス中の不純物が取り除かれる。フィルタ部材３００を通過した液化ガスＧは、清浄化され、下流側流路２２０を経て、ガス出口２０２から取り出される。

【0051】

上記濾過プロセスにおいて、ハウジング２００は、液化ガスＧが変質及び液化しない温度に制御されるのが望ましい。本実施形態では、外部熱源である電気ヒータＨから、ハウジング２００の受熱部２０５に熱が供給される。受熱部２０５に加えられた熱は、例えば、ハウジング２００の小径部２００Ａ、大径部２００Ｂ及び径方向壁２００Ｃなど全体に伝わり、ハウジング２００を所定の温度まで温める。また、伝熱部材４００（第１部材４０１、第２部材４０２、第３部材４０３及び第４部材４０４）も、ハウジング２００からの熱を受け、所定の温度まで温められる。

【0052】

したがって、本実施形態の濾過室２０３は、第１部材４０１によって上流側流路２１０が、また第２部材４０２によって下流側流路２２０がそれぞれバランス良く温められる。このため、濾過室２０３内において、軸心方向Ａにおける温度ムラが抑制され、精度の高い温度環境の下で液化ガスＧの濾過を行うことができる。

【0053】

また、本実施形態では、第３部材４０３が、第１部材４０１及び第２部材４０２に接しているため、第３部材４０３は、その軸心方向Ａの両側から熱を受け取る。このような第３部材４０３は、その軸心方向Ａにおける温度分布が均一化され、ひいては濾過室２０３において、軸心方向Ａにおける温度ムラが低減される。

【0054】

さらに、多孔質のフィルタ部材３００は、濾過室２０３内において、断熱材として機能することから、フィルタ部材３００を通過した直後の液化ガスＧ（すなわち、被包囲空間２２０Ａの液化ガスＧ）は、特に温度が低くなる傾向がある。しかし、本実施形態では、第４部材４０４が、被包囲空間２２０Ａの内へと延びているため、被包囲空間２２０Ａの液化ガスＧをその内側から温めることができる。したがって、本実施形態のフィルタ１は、上述のような被包囲空間２２０Ａでの径方向Ｂの温度ムラを抑制することができる。

【0055】

以上説明したように、本実施形態のフィルタ１は、濾過室２０３内での軸心方向Ａ及び径方向Ｂの温度ムラを抑制し、ひいては、濾過中での液化ガスＧの変質や再液化を防止することができる。

【0056】

［好ましい態様］
上述の作用をさらに高めるために、第４部材４０４の軸心方向Ａの長さは、被包囲空間２２０Ａの軸心方向Ａの長さの好ましくは５０％以上、より好ましくは６０％以上、さらに好ましくは７０％以上とされるのが望ましい。第４部材４０４の軸心方向Ａの長さが被包囲空間２２０Ａの軸心方向Ａの長さの５０％以上とされることで、フィルタ部材３００のガス出口２０２側の端部まで十分に熱を行き渡らせることができ、ひいては、温度低下による温度ムラをよく確実に防止することができる。したがって、第４部材４０４は、その先端がフィルタ部材３００のガス出口２０２側の端部まで延びているような態様が、特に望ましい。

【0057】

また、本実施形態の第４部材４０４は、ハウジング２００の軸心ＣＬと同軸状に配されている。これにより、第４部材４０４の周囲には、パイプ状流路２２０Ｂが画定される。このようなパイプ状流路２２０Ｂは、被包囲空間２２０Ａの液化ガスＧをより均一に温めるのに役立つ。

【0058】

パイプ状流路２２０Ｂの軸心方向Ａと直交する断面積ａ１（図４に示す）は、ガス出口２０２の軸心方向Ａと直交する断面積ａ２（図３に示す）以上とされるのが望ましい。これにより、濾過室２０３内での圧力損失を低減することができる。

【0059】

また、下流側流路２２０は、軸心方向Ａにおいて、パイプ状流路２２０Ｂと第２部材４０２との間に円柱状流路２２０Ｃをさらに含む。この円柱状流路２２０Ｃは、第４部材４０４の端部よりも下流側に形成され、かつ、ガス出口２０２の内径ｄ１よりも径が大きい上流側の部分である。この円柱状流路２２０Ｃは、パイプ状流路２２０Ｂからの液化ガスＧをガス出口２０２へとスムーズに流す役割を果たす。図５（Ａ）には、円柱状流路２２０Ｃ付近の要部拡大図、図５（Ｂ）は、その要部斜視図を示す。好ましい態様では、図５（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、第４部材４０４の先端の縁４０４ｅと、ガス出口２０２の上流側の開口縁２０２ｅとを接続する仮想円筒Ｖの表面積ａ３（図５（Ｂ）において薄く着色されている。）は、ガス出口２０２の前記断面積ａ２以上とされている。これにより、圧力損失をさらに減らしつつ濾過室２０３内の温度の均一化を向上することができる。

【0060】

また、本実施形態では、ハウジング２００、フィルタ部材３００及び伝熱部材４００が、いずれもステンレス鋼（ＳＵＳ３１６Ｌ）で形成された場合を示した。他の態様では、例えば、液化ガスＧが腐食性を有する場合、前記ＳＵＳ３１６Ｌに代えて、ハステロイ（米ヘインズ社の登録商標）や純ニッケル、ニッケル合金等が採用されても良い。

【0061】

さらに、本実施形態では、第１部材４０１、第２部材４０２及び第３部材４０３は、ハウジング２００と同一の材料で形成されていることから、ハウジング２００と熱伝導率も同一である。他の態様では、第１部材４０１及び第２部材４０２は、ハウジング２００とは異なる材料で形成されても良い。この場合、第１部材４０１及び第２部材４０２は、それらの熱伝導率が、ハウジング２００の熱伝導率よりも大きいものが望ましい。これによって、ハウジング２００の濾過室２０３内に、より効率的に熱を伝えることができる。

【0062】

同様の観点より、第４部材４０４は、ハウジング２００と同じかそれよりも大きい熱伝導率を有するのが望ましい。

【0063】

本実施形態のフィルタ１は、電気ヒータＨとセットとすることで、フィルタシステムを構築することができる。

【0064】

以上、本発明の実施形態が詳細に説明されたが、本発明は、上記の具体的な開示に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲内において、種々変更して実施することができる。

【符号の説明】

【0065】

１ フィルタ
２００ ハウジング
２０１ ガス入口
２０２ ガス出口
２０３ 濾過室
２１０ 上流側流路
２２０ 下流側流路
２２０Ａ 被包囲空間
２２０Ｂ パイプ状流路
２２０Ｃ 円柱状流路
３００ フィルタ部材
４００ 伝熱部材
４０１ 第１部材
４０２ 第２部材
４０３ 第３部材
４０４ 第４部材
Ａ 軸心方向
Ｇ 液化ガス

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】