特開2022-73967化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明の名称　化合物、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

出願人　住友化学株式会社　（識別番号 2093）

　　　　特許公開件数ランキング 39 位（552件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 59 位（386件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-73967

公報発行日　2022年5月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-73967

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