特開2022-80056カーボンホルダーの再生方法、シリコンの製造方法及びカーボンホルダー

発明の名称　カーボンホルダーの再生方法、シリコンの製造方法及びカーボンホルダー

出願人　株式会社トクヤマ　（識別番号 3182）

　　　　特許公開件数ランキング 277 位（115件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 270 位（107件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-80056

公報発行日　2022年5月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-80056

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