特開2022-86589蒸着装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法

発明の名称　蒸着装置、成膜装置、成膜方法及び電子デバイスの製造方法

出願人　キヤノントッキ株式会社　（識別番号 591065413）

　　　　特許公開件数ランキング 1066 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 574 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-86589

公報発行日　2022年6月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-86589

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