特開2022-90651研磨パッド用シート、研磨パッド及び半導体素子の製造方法

発明の名称　研磨パッド用シート、研磨パッド及び半導体素子の製造方法

出願人　エスケーシー　ソルミックス　カンパニー，リミテッド　（識別番号 505232852）

　　　　特許公開件数ランキング 1327 位（15件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1893 位（8件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2022-90651

公報発行日　2022年6月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-90651

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