特開2022-95187IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

静電チャック、基板固定装置

要約特許出願時に添付された[要約書]

【課題】静電チャックにおいて、放電の発生を抑制する。
【解決手段】本静電チャックは、吸着対象物が載置される載置面を有する基体と、前記基体に内蔵された電極と、を有し、前記基体には、前記載置面側に開口し、前記電極までは達しない溝が設けられ、前記基体の厚さ方向において、前記溝の底面と前記電極との間に、前記溝に近い側から、セラミックスからなる低抵抗領域と、前記低抵抗領域よりも体積抵抗率が高いセラミックスからなる高抵抗領域と、が順次配置されている。
【選択図】図１

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかしながら、ウェハを吸着保持する載置面に凹凸構造を有する場合、凹部の底面と基体に内蔵された静電電極との距離が近づくため、放電が生じやすくなるおそれがある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本静電チャックは、吸着対象物が載置される載置面を有する基体と、前記基体に内蔵された電極と、を有し、前記基体には、前記載置面側に開口し、前記電極までは達しない溝が設けられ、前記基体の厚さ方向において、前記溝の底面と前記電極との間に、前記溝に近い側から、セラミックスからなる低抵抗領域と、前記低抵抗領域よりも体積抵抗率が高いセラミックスからなる高抵抗領域と、が順次配置されている。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

開示の技術によれば、静電チャックにおいて、放電の発生を抑制できる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 第１基板固定装置を簡略化して例示する図である。
【図2】 第１基板固定装置の製造工程を例示する図である。
【図3】 第１実施形態の変形例１に係る基板固定装置を簡略化して例示する図である。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

１、１Ａ 基板固定装置 １０ ベースプレート １１ ガス供給部 ２０ 接着層 ３０ 静電チャック ３１ 基体 ３１ａ 載置面 ３１ｘ 溝 ３２ 静電電極 ３３ 高抵抗領域 １１１ ガス流路 １１２ ガス注入部 １１３ ガス排出部

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