特開 2022-98875 チャックテーブル機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022098875

(43)【公開日】2022-07-04

(54)【発明の名称】チャックテーブル機構

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20220627BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20220627BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 P

H01L21/78

【審査請求】未請求

【請求項の数】1

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2020212519

(22)【出願日】2020-12-22

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075177

【弁理士】

【氏名又は名称】小野 尚純

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(74)【代理人】

【識別番号】100202692

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 吉文

(72)【発明者】

【氏名】遠藤 智章

【テーマコード（参考）】

5F063

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F063AA29

5F063FF01

5F063FF09

5F131AA02

5F131BA31

5F131BA32

5F131BA37

5F131CA09

5F131CA24

5F131CA46

5F131DA13

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA36

5F131DA42

5F131DB62

5F131DB72

5F131DB76

5F131EA05

5F131EA22

5F131EB01

5F131EB31

5F131EB32

(57)【要約】      （修正有）

【課題】チャックテーブルが重くても、チャックテーブルをテーブルベースに容易に装着できるチャックテーブル機構を提供する。
【解決手段】チャックテーブル機構３は、被加工物を吸引保持する保持面３４ａ及び保持面３４ａの反対側の下面３０ｂを備えたチャックテーブル３０と、テーブルベース１２０と、を含む。テーブルベース１２０は、支持面１２２と、環状凸部１２４と、回転規制ピン１２５と、下面保持吸引孔１２６と、を備える。チャックテーブル３０の下面３０ｂには、環状凸部係合凹部と、回転規制ピン係合凹部とが配設され、チャックテーブル３０をテーブルベース１２０の支持面１２２に装着する際に下面保持吸引孔１２６に圧縮エアーＨを供給して、チャックテーブル３０の下面３０ｂとテーブルベース１２０の支持面１２２との間にエアー層を形成する圧縮エアー供給手段１４０を備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被加工物を吸引保持する保持面及び該保持面の反対側の下面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルの下面を着脱自在に支持するテーブルベースと、を含み、
該テーブルベースは、該チャックテーブルの下面を支持する支持面と、該支持面の中央部に形成された中央吸引孔を囲繞する環状凸部と、該環状凸部の外周側に隣接して形成された該チャックテーブルの回転を規制する回転規制ピンと、該支持面に形成された該チャックテーブルの下面を吸引保持する下面保持吸引孔と、を備え、
該チャックテーブルの下面には、該環状凸部が係合する環状凸部係合凹部と、該回転規制ピンが係合する回転規制ピン係合凹部とが配設され、
該テーブルベースの支持面に形成された該環状凸部、及び該回転規制ピンは、弾性部材を介して上下方向に進退自在に構成され、
該チャックテーブルを該テーブルベースの支持面に装着する際に該下面保持吸引孔に圧縮エアーを供給して、該チャックテーブルの下面と該テーブルベースの支持面との間にエアー層を形成する圧縮エアー供給手段を備えた、チャックテーブル機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を吸引保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルを着脱自在に支持するテーブルベースと、を備えたチャックテーブル機構に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが、分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって裏面が研削され、所望の厚みに形成された後、レーザー加工装置、切削装置等の加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

【0003】

加工装置は、ウエーハを吸引保持する保持テーブルを備え、該保持テーブルに保持されたウエーハを研削手段、レーザー照射手段、切削手段等の各加工手段によって、ウエーハを所望の形態に加工する。

【0004】

また、ウエーハの直径は、５インチ、６インチ、８インチ等と複数種類存在し、ウエーハの大きさに対応したチャックテーブルを用意し、ウエーハの大きさに応じてチャックテーブルを適宜交換している（例えば、特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第３４２４０５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、作業者がチャックテーブルを持ってテーブルベースに載せ、テーブルベース側の凸部と、チャックテーブルの下面側において該テーブルベース側の凸部を係合させる凹部とを一致させるのに時間が掛かり、重量物（１０～３０ｋｇ）であるチャックテーブルをテーブルベースに装着するのが困難であるという問題がある。

【0007】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、チャックテーブルが重くても、チャックテーブルをテーブルベースに容易に装着できるチャックテーブル機構を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を吸引保持する保持面及び該保持面の反対側の下面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルの下面を着脱自在に支持するテーブルベースと、を含み、該テーブルベースは、該チャックテーブルの下面を支持する支持面と、該支持面の中央部に形成された中央吸引孔を囲繞する環状凸部と、該環状凸部の外周側に隣接して形成された該チャックテーブルの回転を規制する回転規制ピンと、該支持面に形成された該チャックテーブルの下面を吸引保持する下面保持吸引孔と、を備え、該チャックテーブルの下面には、該環状凸部が係合する環状凸部係合凹部と、該回転規制ピンが係合する回転規制ピン係合凹部とが配設され、該テーブルベースの支持面に形成された該環状凸部、及び該回転規制ピンは、弾性部材を介して上下方向に進退自在に構成され、該チャックテーブルを該テーブルベースの支持面に装着する際に該下面保持吸引孔に圧縮エアーを供給して、該チャックテーブルの下面と該テーブルベースの支持面との間にエアー層を形成する圧縮エアー供給手段を備えた、チャックテーブル機構が提供される。

【発明の効果】

【0009】

本発明のチャックテーブル機構は、被加工物を吸引保持する保持面及び該保持面の反対側の下面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルの下面を着脱自在に支持するテーブルベースと、を含み、該テーブルベースは、該チャックテーブルの下面を支持する支持面と、該支持面の中央部に形成された中央吸引孔を囲繞する環状凸部と、該環状凸部の外周側に隣接して形成された該チャックテーブルの回転を規制する回転規制ピンと、該支持面に形成された該チャックテーブルの下面を吸引保持する下面保持吸引孔と、を備え、該チャックテーブルの下面には該環状凸部が係合する環状凸部係合凹部と、該回転規制ピンが係合する回転規制ピン係合凹部とが配設されて、該テーブルベースの支持面に形成された該環状凸部及び該回転規制ピンは、弾性部材を介して上下方向に進退自在に構成され、該チャックテーブルを該テーブルベースの支持面に装着する際に該下面保持吸引孔に圧縮エアーを供給して、該チャックテーブルの下面と該テーブルベースの支持面との間にエアー層を形成する圧縮エアー供給手段を備えているので、テーブルベースに装着するチャックテーブルが比較的重い重量物であっても、チャックテーブルの下面とテーブルベースの支持面との間にエアー層が形成されて、チャックテーブルの水平方向の移動が容易になり、チャックテーブルのテーブルベースに対する装着が困難であるという問題が解消する。また、テーブルベースの支持面に形成された環状凸部、及び回転規制ピンは、弾性部材を介して上下方向に進退自在に構成されていることにより、テーブルベース上でチャックテーブルを水平方向に移動させる際に、チャックテーブルの下面が該環状凸部、回転規制ピンによって損傷することが防止される。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】チャックテーブル機構が装着された切削装置の斜視図である。

【図2】図１の切削装置に装着されたチャックテーブル機構の一部を拡大して分解した斜視図である。

【図3】（ａ）図２に示すテーブルベースの平面図、（ｂ）（ａ）のＡ－Ａ断面図である。

【図4】（ａ）５インチ用のチャックテーブルの斜視図、Ｂ－Ｂ断面図、平面図、（ｂ）６インチ用のチャックテーブルの斜視図、Ｃ－Ｃ断面図、平面図、（ｃ）８インチ用のチャックテーブルの斜視図、Ｄ－Ｄ断面図、平面図である。

【図5】テーブルベースにチャックテーブルを載置して吸引保持させる実施態様を示す斜視図である。

【図6】（ａ）～（ｃ）図５に示す実施態様を、経過に応じて示すチャックテーブル及びテーブルベースの一部拡大断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明に基づいて構成されるチャックテーブル機構に係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0012】

図１には、本実施形態のチャックテーブル機構３が適用された切削装置１が示されている。図示の実施形態における切削装置１は、略直方体状の装置ハウジング２を備え、被加工物であるウエーハＷを保持する保持手段として配設されたチャックテーブル機構３と、チャックテーブル機構３に保持されたウエーハＷを切削する切削ブレード４１を備えた切削手段４と、を含み構成されている。なお、本実施形態において加工されるウエーハＷは、図に示すように、例えば、直径が６インチの略円板形状の半導体ウエーハであって、複数のデバイスが分割予定ラインによって区画された表面に形成されたものであり、粘着テープＴを介して環状のフレームＦに支持されている。

【0013】

さらに、切削装置１は、複数のウエーハＷを収容するカセット５（２点鎖線で示す）と、カセット５に収容されたウエーハＷを搬出して仮置きする仮置きテーブル６と、仮置きテーブル６にウエーハＷを搬出する搬出入手段７と、仮置きテーブル６に搬出されたウエーハＷをチャックテーブル機構３上に旋回して搬送する搬送手段８と、切削手段４により切削加工されたウエーハＷを洗浄する洗浄手段９（詳細は省略している）と、切削加工されたウエーハＷをチャックテーブル機構３から洗浄手段９へ搬送する洗浄搬送手段１１と、チャックテーブル機構３上のウエーハＷを撮像する撮像手段１２と、図示を省略する制御手段と、を備えている。カセット５は、図示しない昇降手段によって上下に移動可能に配設されたカセットテーブル５ａ上に載置されており、カセット５からウエーハＷを搬出入手段７によって搬出する際には、カセット５の高さが適宜調整される。

【0014】

装置ハウジング２内には、チャックテーブル機構３と切削手段４とを相対的に加工送りする手段であって、チャックテーブル機構３を切削送り方向である矢印Ｘで示すＸ軸方向に移動させるＸ軸送り手段（図示は省略する）が配設されている。

【0015】

図２には、切削装置１に装着されるチャックテーブル機構３であって、上記したウエーハＷを吸引保持するチャックテーブル３０をチャックテーブル機構３から上方に取り外した状態の斜視図が示されている。チャックテーブル機構３は、図に示すように、６インチ径のウエーハＷを吸引保持する保持面３４ａ及び保持面３４ａの反対側の下面３０ｂを備えたチャックテーブル３０と、チャックテーブル３０の下面３０ｂを着脱自在に支持するテーブルベース１２０とを備えている。チャックテーブル３０は、図示しない回転駆動機構によって回転可能に構成されている。

【0016】

テーブルベース１２０は、上記したチャックテーブル３０の下面３０ｂを支持する支持面１２２と、支持面１２２の中央部に形成された中央吸引孔１２３を囲繞する環状凸部１２４と、環状凸部１２４の外周側に隣接して形成されたチャックテーブル３０の回転移動を規制する回転規制ピン１２５と、支持面１２２に形成されたチャックテーブル３０の下面３０ｂを吸引保持する下面保持吸引孔１２６、１２６と、を備えている。図３（ａ）に示すテーブルベース１２０の平面図、及び図３（ｂ）に示す図３（ａ）のＡ－Ａ断面図から理解されるように、環状凸部１２４、及び回転規制ピン１２５は、弾性部材Ｓ１、Ｓ２を介して上下方向に進退自在に構成されている。なお、本実施形態において採用される弾性部材Ｓ１、Ｓ２は、コイルスプリングであり、より好ましくは円錐ばねである。

【0017】

図２に示すように、本実施形態のチャックテーブル機構３を構成するテーブルベース１２０の下面保持吸引孔１２６、１２６には、圧縮エアー供給手段１４０、吸引手段１５０が接続されている。圧縮エアー供給手段１４０は、圧縮エアー供給路１４２、圧縮エアー供給路１４２上に配設された開閉弁１４４、及び連通路１４６を介して、テーブルベース１２０の下面保持吸引孔１２６に圧縮エアーＨを供給する。また、吸引手段１５０は、吸引経路１５２、及び吸引経路１５２上に配設された開閉弁１５４を介して、圧縮エアーＨの供給にも使用される連通路１４６に接続され、吸引手段１５０を作動してテーブルベース１２０の下面保持吸引孔１２６に吸引負圧Ｖを供給することができる。なお、支持面１２２の中央部に形成された中央吸引孔１２３に対しても、図示を省略する圧縮エアー供給路及び吸引経路が接続されており、下面保持吸引孔１２６、１２６とは別に、任意のタイミングで圧縮エアーＨ、又は吸引負圧Ｖを適宜切り替えて供給することができるように構成されている。

【0018】

本実施形態のチャックテーブル機構３は、外径寸法が異なる複数のチャックテーブルが使用できるようにチャックテーブルが着脱自在に構成されており、図２、及び図４（ｂ）に示す６インチ径のウエーハＷを保持するためのチャックテーブル３０のみならず、図４（ａ）に示す５インチ径のウエーハＷを保持するチャックテーブル２０、図４（ｃ）に示す８インチ径のウエーハＷを保持するチャックテーブル４０を支持することができる。図４（ａ）には、上段から、チャックテーブル２０の斜視図、チャックテーブル２０のＢ－Ｂ断面図、チャックテーブル２０の平面図が示されている。同様に、図４（ｂ）には、上段から、チャックテーブル３０の斜視図、チャックテーブル３０のＣ－Ｃ断面図、チャックテーブル３０の平面図が示され、図４（ｃ）には、上段から、チャックテーブル４０の斜視図、チャックテーブル４０のＤ－Ｄ断面図、チャックテーブル４０の平面図が示されている。

【0019】

図４（ａ）から理解されるように、チャックテーブル２０は、５インチ径のウエーハＷを吸引保持する保持面２４ａを備えた円盤状の吸着チャック２４と、吸着チャック２４を囲繞して外周を支持すると共に図示を省略する圧縮エアー供給手段、吸引手段に連通され、圧縮エアー、吸引負圧を吸着チャック２４に供給する枠体２２と、から少なくとも構成される。吸着チャック２４と、枠体２２とにより、内部空間２２１が形成されている。チャックテーブル２０の下面２０ｂには、該内部空間２２１に連通され上記したテーブルベース１２０に形成された環状凸部１２４が係合する環状凸部係合凹部２２２と、テーブルベース１２０に形成された回転規制ピン１２５が係合する回転規制ピン係合凹部２２３とが配設されている。テーブルベース１２０の環状凸部１２４が該環状凸部係合凹部２２２に係合し、テーブルベース１２０に形成された回転規制ピン１２５が該回転規制ピン係合凹部２２３に係合することにより、テーブルベース１２０にチャックテーブル２０が支持される際の位置が一義的に決まる。なお、枠体２２は、ＳＵＳ等の金属から形成され、吸着チャック２４は、例えばアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）等の多孔質セラミックスから形成される。

【0020】

図４（ｂ）には、図４（ａ）に示されたチャックテーブル２０に対し、保持されるウエーハのサイズが６インチである点で異なるチャックテーブル３０が示されている。図４（ｂ）に示されるチャックテーブル３０は、６インチ径のウエーハＷを吸引保持する保持面３４ａを備えた円盤状の吸着チャック３４と、吸着チャック３４を囲繞して外周を支持すると共に図示を省略する圧縮エアー供給手段、吸引手段に連通され、圧縮エアー、吸引負圧を吸着チャック３４に供給する枠体３２と、から少なくとも構成される。吸着チャック３４と、枠体３２とにより、内部空間３２１が形成されている。チャックテーブル３０の下面３０ｂには、該内部空間３２１に連通され上記したテーブルベース１２０に形成された環状凸部１２４が係合する環状凸部係合凹部３２２と、テーブルベース１２０に形成された回転規制ピン１２５が係合する回転規制ピン係合凹部３２３とが配設されている。テーブルベース１２０の環状凸部１２４が該環状凸部係合凹部３２２に係合し、テーブルベース１２０に形成された回転規制ピン１２５が該回転規制ピン係合凹部３２３に係合することにより、テーブルベース１２０にチャックテーブル３０が支持される際の位置が一義的に決まる。なお、チャックテーブル２０と同様に、枠体３２は、ＳＵＳ等の金属から形成され、吸着チャック３４は、例えばアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）等の多孔質セラミックスから形成される。

【0021】

図４（ｃ）には、図４（ａ）、図４（ｂ）に示されたチャックテーブル２０、３０に対し、保持されるウエーハのサイズが８インチ径である点で異なるチャックテーブル４０が示されている。図４（ｃ）に示されるチャックテーブル４０は、８インチ径のウエーハＷを吸引保持する保持面４４ａを備えた円盤状の吸着チャック４４と、吸着チャック４４を囲繞して外周を支持すると共に図示を省略する圧縮エアー供給手段、吸引手段に連通され、圧縮エアー、吸引負圧を吸着チャック４４に供給する枠体４２と、から少なくとも構成される。吸着チャック４４と、枠体４２とにより、内部空間４２１が形成されている。チャックテーブル４０の下面４０ｂには、該内部空間４２１に連通され上記したテーブルベース１２０に形成された環状凸部１２４が係合する環状凸部係合凹部４２２と、テーブルベース１２０に形成された回転規制ピン１２５が係合する回転規制ピン係合凹部４２３とが配設されている。テーブルベース１２０の環状凸部１２４が該環状凸部係合凹部４２２に係合し、テーブルベース１２０に形成された回転規制ピン１２５が該回転規制ピン係合凹部４２３に係合することにより、テーブルベース１２０にチャックテーブル４０が固定される際の位置が一義的に決まる。なお、チャックテーブル２０、３０と同様に、枠体４２は、ＳＵＳ等の金属から形成され、吸着チャック４４は、例えばアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）等の多孔質セラミックスから形成される。

【0022】

上記した環状凸部係合凹部２２２、３２２、４２２は全て同一の寸法であり、回転規制ピン係合凹部２２３、３２３、４２３も同一の寸法で形成される。また、環状凸部係合凹部２２２及び回転規制ピン係合凹部２２３、環状凸部係合凹部３２２及び回転規制ピン係合凹部３２３、環状凸部係合凹部４２２及び回転規制ピン係合凹部４２３の位置関係は、それぞれが同一になるように設定される。

【0023】

図２に戻り説明を続けると、本実施形態のチャックテーブル機構３は、テーブルベース１２０が配置されるテーブル基台１１０を備え、テーブル基台１１０及びテーブルベース１２０の間に配置される４つのクランプ機構１３０と、を備えている。テーブル基台１１０は、円柱状に形成され、図示しないサーボモータによって所望の角度になるように回転駆動可能に構成されている。テーブルベース１２０は、平面視で円形をなしており、５インチ用のチャックテーブル２０と略同一の直径に設定されている。

【0024】

クランプ機構１３０は、テーブル基台１１０とテーブルベース１２０との間であって、周方向に９０°の角度で均等に４つ配設されている。各クランプ機構１３０は、外方に突出する一対のガイドレール１３１と、ガイドレール１３１に沿って径方向に移動可能に装着されるクランプ部１３２と、クランプ部１３２をガイドレール１３１に固定するためのロック部１３３とから構成される。

【0025】

クランプ部１３２は、クランプ部１３２に供給されるエアーによって矢印Ｒ１で示す方向に回転駆動されるクランプ爪１３４を備え、このクランプ爪１３４によって、チャックテーブル３０上に載置されるウエーハＷを保持するフレームＦを押し下げて、クランプ部１３２に固定する。

【0026】

ガイドレール１３１には、チャックテーブル機構３に載置されるウエーハを保持する環状のフレームの大きさに合わせて矢印Ｒ２で示す方向に移動させられるクランプ部１３２を固定するための位置決め用凹溝が複数個形成されている。図に示される位置決め用凹溝１３１ａは、８インチのウエーハを保持するフレームを保持する際にクランプ部１３２を固定するためのものであり、位置決め用凹溝１３１ｂは、６インチのウエーハを保持するフレームを保持する際にクランプ部１３２を固定するためのものである。図２に示されるクランプ部１３２は、５インチのウエーハＷを保持するフレームＦを固定する位置に位置付けられており、５インチ用の位置決め用凹溝１３１ｃ（図５を参照）に、ロック部１３３の先端部（図示は省略する）が係合させられている。

【0027】

本実施形態のチャックテーブル機構３が装着された切削装置１は、概ね上記した構成を備えており、図２、図５、図６を参照しながら、本実施形態のチャックテーブル機構３の機能、及び作用について説明する。なお、以下の実施形態では、６インチ径のウエーハＷを保持するチャックテーブル３０をテーブルベース１２０に載置して装着する際の実施態様について説明する。

【0028】

チャックテーブル３０をテーブルベース１２０に載置するに際し、まず、図２に示す圧縮エアー供給手段１４０を作動させると共に開閉弁１４４を開とし、圧縮エアー供給路１４２、開閉弁１４４、及び連通路１４６を介して、テーブルベース１２０の下面保持吸引孔１２６から圧縮エアーＨを噴出させる。次いで、図５に示すように、チャックテーブル３０を作業者が両手で持ち、切削装置１に装着されたチャックテーブル機構３のテーブルベース１２０の支持面１２２に上方から載置する。ここで、作業者が、チャックテーブル３０をテーブルベース１２０上に載置する場合、初期の状態では、図６（ａ）に示すように、テーブルベース１２０の環状凸部１２４及び回転規制ピン１２５と、チャックテーブル３０の下面３０ｂ側に形成された環状凸部係合凹部３２２及び回転規制ピン係合凹部３２３（破線で示す）との位置が一致しないため、両者は係合せず、チャックテーブル３０の下面３０ｂに押されて、環状凸部１２４及び回転規制ピン１２５は、テーブルベース１２０の内部側に退避した状態となっている。

【0029】

ここで、上記した圧縮エアー供給手段１４０が作動していることから、チャックテーブル３０の下面３０ｂとテーブルベース１２０の支持面１２２との間に、上記したテーブルベース１２０の下面保持吸引孔１２６から圧縮エアーＨが供給されて、図６（ａ）に示すようにエアー層Ｐが形成される。これにより、テーブルベース１２０の支持面１２２上でチャックテーブル３０が僅かに浮上した状態となり、作業者は、重量物であるチャックテーブル３０を水平（図５において、Ｘ方向、Ｙ方向で規定される平面）方向に容易に移動させることができ、図６（ｂ）に示すように、テーブルベース１２０に形成された環状凸部１２４を、チャックテーブル３０の下面３０ｂに形成された環状凸部係合凹部３２２に、容易に位置付けることができる。環状凸部１２４が、環状凸部係合凹部３２２に位置付けられると、弾性部材Ｓ１の作用により、環状凸部１２４が上昇して、環状凸部１２４と環状凸部係合凹部３２２とが係合する。

【0030】

環状凸部１２４が、環状凸部係合凹部３２２に係合することで、テーブルベース１２０に対して、チャックテーブル３０の中心位置が固定されて、図５に示す矢印Ｒ３で示す回転方向にのみ移動可能な状態となる。ここで、作業者は、Ｒ３で示す方向にチャックテーブル３０を回転させることで、図６（ｃ）に示すように、テーブルベース１２０の回転規制ピン１２５を、チャックテーブル３０の回転規制ピン係合凹部３２３に位置付けて、弾性部材Ｓ２の作用により回転規制ピン１２５を上昇させて、回転規制ピン１２５と回転規制ピン係合凹部３２３とを係合させる。

【0031】

上記したように、環状凸部１２４を環状凸部係合凹部３２２に係合させると共に、回転規制ピン１２５を回転規制ピン係合凹部３２３に係合させることで、テーブルベース１２０に対するチャックテーブル３０の位置が固定される。テーブルベース１２０にチャックテーブル３０が固定されたならば、開閉弁１４４を閉とすると共に、圧縮エアー供給手段１４０の作動を停止して圧縮エアーＨの供給を停止し、チャックテーブル機構３のテーブルベース１２０に対するチャックテーブル３０の装着が完了する。

【0032】

テーブルベース１２０に対するチャックテーブル３０の装着が完了したならば、切削装置１において、上記したウエーハＷに対する切削加工を実施する。切削加工を実施するに際しては、上記した吸引手段１５０を作動すると共に開閉弁１５４を開として、下面保持吸引孔１２６に吸引負圧を供給して、テーブルベース１２０に対してチャックテーブル３０を吸引固定する。次いで、チャックテーブル３０の保持面３４ａ上に被加工物であるウエーハＷを載置し、上記したクランプ機構１３０を作動してウエーハＷを支持するフレームＦを把持すると共に、図示を省略する吸引経路を介して中央吸引孔１２３に吸引負圧を供給して、ウエーハＷをチャックテーブル３０に保持する。チャックテーブル３０にウエーハＷを保持したならば、図示を省略するＸ軸送り手段を作動して、チャックテーブル機構３を上記した撮像手段１２の直下に位置付けて撮像してアライメント工程を実施する。次いで、該アライメント工程により検出したウエーハＷの加工位置の位置情報に基づいて、チャックテーブル機構３を切削手段４の直下に位置付け、切削手段４の切削ブレード４１によってウエーハＷの分割予定ライン１４を切削して、ウエーハＷを個々のデバイスチップに分割する（詳細については省略する）。ウエーハＷを個々のデバイスチップに分割したならば、クランプ機構１３０を作動してフレームＦの把持を解除すると共に、図示を省略する圧縮エアー供給路を介して、中央吸引孔１２３に圧縮エアーＶを供給して、チャックテーブル３０からウエーハＷを搬出する。なお、上記した実施形態では、チャックテーブル機構３に対して、６インチ径のウエーハＷを保持するチャックテーブル３０をテーブルベース１２０に装着する例を示したが、５インチ径のウエーハＷを保持するチャックテーブル２０、８インチ径のウエーハＷを保持するチャックテーブル４０を装着する場合も、上記した手順によって同様に装着することができ、その詳細については省略する。

【0033】

上記した実施形態によれば、テーブルベース１２０に装着するチャックテーブル３０が比較的重い重量物であっても、チャックテーブル３０の下面３０ｂとテーブルベース１２０の支持面１２２との間に、エアー層Ｐが形成されることにより、チャックテーブル３０の水平方向の移動が容易になり、チャックテーブル３０のテーブルベース１２０に対する装着が困難であるという問題が解消する。また、テーブルベース１２０の支持面１２２に形成された環状凸部１２４、及び回転規制ピン１２５は、弾性部材Ｓ１、Ｓ２を介して上下方向に進退自在に構成されていることにより、テーブルベース１２０上でチャックテーブル３０を水平方向に移動させる際に、チャックテーブル３０の裏面３０ｂに引っ掛かりチャックテーブル３０の下面３０ｂが環状凸部、回転規制ピンによって損傷することが防止される。

【0034】

なお、上記した実施形態では、本実施形態のチャックテーブル機構３を切削装置１に適用した例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、レーザー加工装置、研削装置に適用することもできる。また、テーブルベース１２０に支持されるチャックテーブルの種類が、５インチ、６インチ、８インチであるように説明したが、他のサイズを支持するものであってもよく、上記した実施形態に限定されない。

【符号の説明】

【0035】

１：切削装置
２：装置ハウジング
３：チャックテーブル機構
２０、３０、４０：チャックテーブル
２０ｂ、３０ｂ、４０ｂ：下面
２２、３２、４２：枠体
２２２、３２２、４２２：環状凸部係合凹部
２２３、３２３、４２３：回転規制ピン係合凹部
２４、３４、４４：吸着チャック
２４ａ、３４ａ、４４ａ：保持面４：切削手段
４１：切削ブレード
５：カセット
６：仮置きテーブル
７：搬出入手段
８：搬送手段
９：洗浄手段
１１：洗浄搬送手段
１２：撮像手段
１１０：テーブル基台
１２０：テーブルベース
１２２：支持面
１２３：中央吸引孔
１２４：環状凸部
１２５：回転規制ピン
１２６：下面保持吸引孔
１３０：クランプ機構
１３１：ガイドレール
１３１ａ～１３１ｃ：位置決め用凹溝
１３２：クランプ部
１３３：ロック部
１３４：クランプ爪
１４０：圧縮エアー供給手段
１４２：圧縮エアー供給路
１４４：開閉弁
１４６：連通路
１５０：吸引手段
１５２：吸引経路
１５４：開閉弁
Ｓ１、Ｓ２：弾性部材（円錐ばね）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】