発明の名称 半導体ウェーハの製造方法
出願人 福電資材株式会社 (識別番号 519068021)
特許公開件数ランキング 30184 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 8968 位(1件)(共同出願を含む)
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所 (識別番号 301021533)
特許公開件数ランキング 187 位(254件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 139 位(264件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2023-101222
公報発行日 2023年7月20
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-101222
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