特開 2023-103725 光学測定用セル、光学分析装置、窓形成部材、及び光学測定用セルの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023103725

(43)【公開日】2023-07-27

(54)【発明の名称】光学測定用セル、光学分析装置、窓形成部材、及び光学測定用セルの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/03 20060101AFI20230720BHJP

   G01N 21/01 20060101ALI20230720BHJP

【ＦＩ】

G01N21/03 Z

G01N21/01 B

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022004415

(22)【出願日】2022-01-14

(71)【出願人】

【識別番号】000127961

【氏名又は名称】株式会社堀場エステック

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(74)【代理人】

【識別番号】100206151

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 惇志

(74)【代理人】

【識別番号】100218187

【弁理士】

【氏名又は名称】前田 治子

(72)【発明者】

【氏名】中田 嘉昭

(72)【発明者】

【氏名】南 雅和

(72)【発明者】

【氏名】坂口 有平

(72)【発明者】

【氏名】志水 徹

(72)【発明者】

【氏名】赤松 武

【テーマコード（参考）】

2G057

2G059

【Ｆターム（参考）】

2G057AA01

2G057AB02

2G057AC01

2G057AC03

2G057BA01

2G057BA05

2G057BB09

2G057BC05

2G057BD03

2G057BD04

2G057DB02

2G057DC06

2G059AA01

2G059BB01

2G059BB04

2G059DD12

2G059EE01

2G059GG02

2G059HH01

2G059JJ03

2G059KK02

2G059MM01

2G059MM12

2G059NN02

(57)【要約】

【課題】気密性や耐熱性等の要求される種々の性能を満たす光学測定用セルを原子拡散接合により製造するうえで、窓材の割れを防ぐ。
【解決手段】光が透過する透光窓Ｗ１、Ｗ２を有し、内部に試料が導入される光学測定用セル２であって、透光窓Ｗ１、Ｗ２を形成する窓材２２１と、金属薄膜Ｍを介して窓材２２１が接合されたフランジ部材２２２とを備え、窓材２２１の熱膨張係数に対するフランジ部材２２２の熱膨張係数の比率が、０．５倍以上、１．５倍以下であるようにした。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

光が透過する透光窓を有し、内部に試料が導入される光学測定用セルであって、
前記透光窓を形成する窓材と、
金属薄膜を介して前記窓材が接合されたフランジ部材とを備え、
前記窓材の熱膨張係数に対する前記フランジ部材の熱膨張係数の比率が、０．５倍以上、１．５倍以下であることを特徴とする光学測定用セル。

【請求項2】

前記窓材がセレン化亜鉛又はサファイアからなり、前記フランジ部材がチタン又はステンレスインバーからなる、請求項１記載の光学測定用セル。

【請求項3】

前記窓材がフッ化バリウムからなり、前記フランジ部材がステンレス又はニッケルからなる、請求項１記載の光学測定用セル。

【請求項4】

請求項１乃至３の何れか一項に記載の光学測定用セルと、
前記光学測定用セルに光を照射する光照射部と、
前記光学測定用セルを透過した光を検出する光検出部と、
前記光検出部により得られた光強度信号を用いて前記試料中の成分濃度を算出する濃度算出部とを備える、光学分析装置。

【請求項5】

光が透過する透光窓を有し、内部に試料が導入される光学測定用セルの製造方法であって、
前記透光窓が、窓材と、前記窓材を支持するフランジ部材とを備え、前記窓材の熱膨張係数に対する前記フランジ部材の熱膨張係数の比率が、０．５以上、１．５倍以下のものにおいて、
前記窓材と前記フランジ部材とを原子拡散接合させることを特徴とする光学測定用セルの製造方法。

【請求項6】

内部に試料が導入される光学測定用セルに用いられる窓形成部材であって、
光が透過する透光窓を形成する窓材と、
金属薄膜を介して前記窓材が接合されたフランジ部材とを備え、
前記窓材の熱膨張係数に対する前記フランジ部材の熱膨張係数の比率が、０．５倍以上、１．５倍以下であることを特徴とする窓形成部材。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光学測定用セル、及び、当該光学測定用セルを用いた光学分析装置等に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、例えばＮＤＩＲなどの光学分析装置に用いられる光学測定用セルは、特許文献１に示すように、セル本体に窓材を有する窓形成部材を取り付ける構成のものが考えられる。

【0003】

この窓形成部材において窓材を気密に固定する構造としてＯリングを用いた場合には、わずかではあるがガスがＯリングとシール箇所との隙間から又はＯリング自体を透過して漏れてしまい、高気密のシールができない。また、ガスが反応性を有するものの場合には、当該ガスによってＯリングが劣化することもある。

【0004】

このＯリングに代えてメタルＯリングを用いることも考えられるが、この場合には、シール時の線荷重が小さいと一時的にはシール性を保てても、熱サイクルが繰り返されるとリークに至る。一方、線荷重を大きくすると、窓材が割れてしまう。

【0005】

そこで、気密性を担保する構造として、図７に示すように、窓材の平面部（主面）にフランジ部材に形成した接合部を接合させる構造が考えられている。

【0006】

そして、この構造の接合部分には、非常に低いリークレートが要求されるだけでなく、プロセス中の温度（２００℃）に耐えられる耐熱性をも求められ、しかも製造過程における窓材の割れをも防ぐ必要があるなど、種々の性能が要求される。

【0007】

このような中で、本願発明者は、窓材をフランジ部材の接合部に気密に接合する方法として、例えば接着剤やろう付けを検討したものの、何れの方法も要求される種々の性能を全て満たすことは極めて困難であるとの結論に到った。

【0008】

そこで、本願発明者はさらなる鋭意検討を重ねた結果、窓材と接合部とを原子拡散接合により接合することで、要求される種々の性能を全て満たし得る可能性を見出した。

【0009】

しかしながら、フランジ部材として例えばステンレス鋼からなるものを用いて、窓材として例えばＺｎＳｅからなるものを用いる場合など、フランジ部材と窓材との熱膨張係数の差が大きいと、例えばプロセス中の熱影響により窓材が撓んだり、フランジ部材が熱変形したりして、窓材が割れてしまうという問題が生じる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２０１７－４０６５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

そこで、本発明は、上述した問題点を一挙に解決すべくなされたものであり、気密性や耐熱性等の要求される種々の性能を満たす光学測定用セルを原子拡散接合により製造するうえで、窓材の割れを防ぐことをその主たる課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0012】

すなわち、本発明に係る光学測定用セルは、光が透過する透光窓を有し、内部に試料が導入される光学測定用セルであって、前記透光窓を形成する窓材と、金属薄膜を介して前記窓材が接合されたフランジ部材とを備え、前記窓材の熱膨張係数に対する前記フランジ部材の熱膨張係数の比率が、０．５倍以上、１．５倍以下であることを特徴とするものである。

【0013】

このように構成された光学測定用セルによれば、フランジ部材に金属膜を介して窓材が接合されており、言い換えれば、フランジ部材に窓材が原子拡散接合されているので、これらの間に要求される気密性や耐熱性等の種々の性能を満たすことができる。
しかも、窓材の熱膨張係数に対するフランジ部材の熱膨張係数の比率が０．５倍以上、１．５倍以下であり、両部材の熱膨張係数が近いことから、窓材の割れを防ぐことができる。

【0014】

具体的な実施態様としては、前記窓材がセレン化亜鉛又はサファイアからなり、前記フランジ部材がチタン又はステンレスインバーからなる態様や、前記窓材がフッ化バリウムからなり、前記フランジ部材がステンレス又はニッケルからなる態様を挙げることができる。なお、窓材として、セレン化亜鉛又はフッ化バリウムからなるものを用いる態様は、長波長域の光（例えば７μｍ以上の赤外線）を用いた分析に資する。

【0015】

また、本発明に係る光学分析装置は、上述した光学測定用セルと、前記光学測定用セルに光を照射する光照射部と、前記光学測定用セルを透過した光を検出する光検出部と、前記光検出部により得られた光強度信号を用いて前記試料中の成分濃度を算出する濃度算出部とを備えることを特徴とするものである。

【0016】

さらに、本発明に係る光学測定用セルの製造方法は、光が透過する透光窓を有し、内部に試料が導入される光学測定用セルの製造方法であって、前記透光窓が、窓材と、前記窓材を支持するフランジ部材とを備え、前記窓材の熱膨張係数に対する前記フランジ部材の熱膨張係数の比率が、０．５倍以上、１．５倍以下のものにおいて、前記窓材と前記フランジ部材とを原子拡散接合させることを特徴とする方法である。

【0017】

加えて、本発明に係る窓形成部材は、内部に試料が導入される光学測定用セルに用いられる窓形成部材であって、光が透過する透光窓を形成する窓材と、金属薄膜を介して前記窓材が接合されたフランジ部材とを備え、前記窓材の熱膨張係数に対する前記フランジ部材の熱膨張係数の比率が、０．５倍以上、１．５倍以下であることを特徴とするものである。

【0018】

これらの本発明に係る光学分析装置、光学測定用セルの製造方法、及び窓形成部材によれば、上述した光学測定用セルと同様の作用効果を奏し得る。

【発明の効果】

【0019】

以上に述べた本発明によれば、気密性や耐熱性等の要求される種々の性能を満たす光学測定用セルを原子拡散接合により製造しつつも、窓材の割れを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の一実施形態に係るガス分析装置の全体模式図である。

【図2】同実施形態の窓形成部材の構造を示す（ａ）斜視図、及び（ｂ）正面図である。

【図3】同実施形態の窓形成部材の構造を示す断面図である。

【図4】同実施形態の窓形成部材の形成方法の一例を示す模式図である。

【図5】同実施形態の窓形成部材を用いた実験結果を示す写真。

【図6】その他の実施形態の窓形成部材を用いた実験結果を示す写真。

【図7】従来の窓形成部材の構造を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下に、本発明の一実施形態に係るガス分析装置について、図面を参照して説明する。

【0022】

＜１．全体構成＞
本実施形態のガス分析装置１００は、例えば非分散型赤外線吸収法（ＮＤＩＲ）を用いて試料ガス中の成分を分析するものである。なお、試料ガスとしては、半導体製造プロセスに用いられる材料ガスや内燃機関から排出される排ガス等が考えられる。

【0023】

具体的にガス分析装置１００は、図１に示すように、試料ガスが導入される光学測定用セル２と、当該光学測定用セル２に赤外光を照射する光照射部３と、光学測定用セル２を通過した赤外光を検出する光検出部４と、光検出部４により得られた光強度信号を用いて試料ガス中の成分濃度を算出する濃度算出部５とを備えている。

【0024】

光学測定用セル２は、赤外光が透過する一対の透光窓Ｗ１、Ｗ２を有し、導入ポートＰ１から試料ガスが導入されて、導出ポートＰ２から試料ガスが導出されるフローセルタイプのものである。

【0025】

具体的に光学測定用セル２は、導入ポートＰ１及び導出ポートＰ２が設けられたセル本体２１と、セル本体２１に固定されるとともに、透光窓Ｗ１、Ｗ２を形成する窓材２２１を有した窓形成部材２２とを備えている。なお、光学測定用セル２の窓形成部材２２の詳細構造は、後述する。

【0026】

光照射部３は、光学測定用セル２に赤外光を照射するものであり、例えば赤外線ランプである。その他、赤外光を射出するＬＥＤであっても良い。この光照射部３から射出された赤外光は、光学測定用セル２の一方の透光窓Ｗ１を通って、光学測定用セル２の内部空間を通過し、他方の透光窓Ｗ２を通って、光検出部４により検出される。

【0027】

光検出部４は、光学測定用セル２を通過した赤外光を検出するものであり、光学測定用セル２の他方の透光窓Ｗ２から出た赤外光を検出する光検出器４１と、他方の透光窓Ｗ２及び光検出器４１の間の光路上に設けられ、赤外光のうち一部の波長のみを通過させる波長選択フィルタ４２とを有している。光検出器４１により得られた光強度信号は濃度算出部５に出力される。

【0028】

濃度算出部５は、光検出器４１により得られた光強度信号を用いて試料ガス中の所定成分の濃度を算出するものである。具体的に濃度算出部５は、光強度信号から吸光度を演算し、当該吸光度と予め作成されメモリに記録された検量線とに基づいて試料ガス中の所定成分の分圧を求める。そして、濃度算出部５は、光学測定用セル２又はその前後の配管に設けられた圧力計（不図示）によって測定された光学測定用セル２内の試料ガスの全圧に基づいて、所定成分の濃度（＝所定成分の分圧／試料ガスの全圧）を算出する。なお、濃度算出部５は、例えばＣＰＵ、メモリ、ＡＤ変換器、入出力インターフェース等からなるコンピュータにより、その機能が発揮される。

【0029】

＜２．光学測定用セル２の窓形成部材２２の詳細構造＞
次に、光学測定用セル２の窓形成部材２２の詳細構造について説明する。
なお、一方の透光窓Ｗ１を形成する窓形成部材２２の詳細構造と、他方の透光窓Ｗ２を形成する窓形成部材２２の詳細構造とは同一又は類似しているので、以下では、一方の透光窓Ｗ１を形成する窓形成部材２２の詳細構造を代表して説明する。

【0030】

窓形成部材２２は、図２及び図３に示すように、透光窓Ｗ１を形成する平板状の窓材２２１と、当該窓材２２１が接合されることにより窓材２２１を支持するフランジ部材２２２とを有しており、フランジ付き観察窓とも称されるものである。なお、ここでいう平板状とは、全く曲がりのない平板のみならず、球面又は非球面の平凸のレンズ形状やウエッジ角度の付いたくさび形状なども含む概念である。

【0031】

窓材２２１は、赤外光を透過させる材質から形成されており、平面視において円形状をなす平板である。本実施形態の窓材２２１は、７μｍ以上の長波長の赤外光を透過するものであり、この実施形態ではセレン化亜鉛（ZnSe）から形成されている。

【0032】

フランジ部材２２２は、特に図３に示すように、窓材２２１を支持する筒状の接合支持部２２２ａと、窓材２２１を取り囲むように接合支持部２２２ａに連続して設けられたフランジ部２２２ｂとを有している。また、フランジ部材２２２の中央部には、窓材２２１を通過した赤外光が通過する通過孔Ｈ１が形成されている。さらに、本実施形態では、接合支持部２２２ａ及びフランジ部２２２ｂは一体形成されている。

【0033】

接合支持部２２２ａは、窓材２２１の主面（平面部）を支持するものであり、本実施形態では円筒形状をなすものである。

【0034】

フランジ部２２２ｂは、その一方の面に接合支持部２２２ａが設けられており、本実施形態では円環形状をなすものである。このフランジ部２２２ｂは、例えば金属製のガスケット（不図示）を介してセル本体２１に取り付けられるものであり、フランジ部２２２ｂにおけるセル本体２１への取付面には、ＩＣＦ規格のナイフエッジ部２２２ｘが形成されている。また、フランジ部２２２ｂには、セル本体２１にネジ固定するための貫通孔２２２ｈが周方向に複数形成されている。

【0035】

上述した構成において、窓材２２１とフランジ部材２２２との間を気密に接合する方法としては、これらの部材を例えば接着剤、ろう付け等により接合する方法が考えられる。
しかしながら、接着剤を用いる場合は、接着剤からの脱ガス、腐食性ガスによる劣化、窓材２２１とフランジ部材２２２との熱膨張率の差による窓材２２１の割れなどが懸念される。
また、ろう付けをする場合は、ろう材に銀や銅などが含まれていると、半導体プロセスにおけるメタルコンタミとなるので使用することができず、そうするとセレン化亜鉛からなる窓材２２１に適するろう材が無い。仮に、使用可能なろう材があったとしても、接着剤と同様に窓材２２１の割れが懸念される。

【0036】

そこで、本実施形態の窓形成部材２２は、窓材２２１とフランジ部材２２２とを原子拡散接合により接合することで構成されている。

【0037】

原子拡散接合とは、２つの部材それぞれの接合面の間に金属膜を介在させ、これらの部材を加圧することにより接合する方法である。この実施形態では、窓材２２１及びフランジ部材２２２は、例えば数百ｎｍ程度のＡｕ膜等の金属薄膜Ｍを介して加圧接合されている。

【0038】

ところで、上述したように窓材２２１とフランジ部材２２２とを原子拡散接合してなる窓形成部材２２は、例えばプロセス中の熱影響を受けることから、窓材２２１の熱膨張係数と、フランジ部材２２２の熱膨張係数との差が大きい場合、窓材２２１が撓んだりフランジ部材２２２が熱変形したりして、窓材２２１の割れが生じ得る。

【0039】

そこで、本実施形態の窓形成部材２２は、窓材２２１の熱膨張係数に対するフランジ部材２２２の熱膨張係数の比率が、０．５倍以上、１．５倍以下となるように構成されており、より好ましくは、この比率が０．６６倍以上、１．５倍以下である。
なお、以下で述べる熱膨張係数は、温度を変化させた際の試料の長さを測定することで得られた値や、例えば理科年表などに記載されている公知の値や、例えば下記の規格に基づいて測定した値などである。
・JIS K 0129 熱分析通則

【0040】

より具体的に説明すると、本実施形態の窓材２２１は、上述した通り、セレン化亜鉛（ZnSe）からなるものであり、その熱膨張係数は7.1×10^-6/Kであることから、上述した比率に鑑みて、本実施形態のフランジ部材２２２は、チタンからなるものであり、その熱膨張係数は8.9×10^-6/Kである。
なお、フランジ部材２２２として、熱膨張係数が11.3×10^-6/Kのハステロイを用いた場合、窓材２２１の割れが生じるといった実験結果が得られている。

【0041】

次に、上述した窓材２２１及びフランジ部材２２２の接合方法の一例について図４を参照しながら説明する。

【0042】

まず、図４に示すように、窓材２２１及びフランジ部材２２２の対向面である接合面Ｔ１それぞれに、金属薄膜Ｍを形成する（Ｓ１）。本実施形態では、金属薄膜Ｍを、接合面Ｔ１にスパッタして形成する。

【0043】

そして、金属薄膜Ｍが設けられた接合面Ｔ１を互いに対面させ（Ｓ２）、窓材２２１及びフランジ部材２２２を対向する向きに加圧することにより、窓材２２１及びフランジ部材２２２を原子拡散接合（加圧接合）する（Ｓ３）。

【0044】

このようにして、窓材２２１及びフランジ部材２２２が原子拡散接合されて、窓形成部材２２が構成される。

【0045】

このように構成された窓形成部材２２において、図３に示すように、窓材２２１と接合支持部２２２ａとの間の接合部分に、フランジ部２２２ｂの熱膨張による熱応力が加わりにくくするように構成してある。
具体的には、フランジ部２２２ｂにおいて接合支持部２２２ａ側の面（取付面とは反対側の面）には、接合支持部２２２ａを取り囲むように環状の溝２２２Ｍが形成されている。ここでは、溝２２２Ｍは、接合支持部２２２ａと同軸上に形成された円環状をなすものである。この溝２２２Ｍの深さは、例えば、フランジ部２２２ｂの板厚の半分以上とすることが考えられる。

【0046】

ここで、フランジ部材２２２における溝２２２Ｍの内側に位置する内側壁部２２２Ｋの壁厚（肉厚）は、接合支持部２２２ａの壁厚（肉厚）よりも小さくなるように構成されている。このように、接合支持部２２２ａの壁厚を大きくし、内側壁部２２２Ｋの壁厚を小さくすることにより、窓材２２１と接合支持部２２２ａとの間の接合面積を大きくしつつ、窓材２２１と接合支持部２２２ａとの間の接合部分に対してフランジ部２２２ｂの熱膨張による熱応力が加わりにくくすることができる。

【0047】

さらに、このように溝２２２Ｍを設けることにより、フランジ部材２２２を例えばネジ等で別部材に取り付ける際に生じるフランジ部材２２２の歪みを、窓材２２１と接合支持部２２２ａとの間の接合部分に伝わりにくくすることもできる。

【0048】

＜３．本実施形態の効果＞
このように構成した本実施形態のガス分析装置１００によれば、フランジ部材２２２に窓材２２１が原子拡散接合されているので、これらの間に要求される気密性や耐熱性等の種々の性能を満たすことができる。
しかも、窓材２２１の熱膨張係数に対するフランジ部材２２２の熱膨張係数の比率が近いので、窓材２２１の割れを防ぐことができる。

【0049】

ここで、図５に示す写真は、窓材をフランジ部材に１２０℃で原子拡散接合した後、室温に冷却した場合に、窓材に割れが生じるか否かを実験した結果を示すものである。
この実験結果から分かるように、窓材がセレン化亜鉛からなり、フランジ部材がハステロイからなる場合（図５の左側）は、これらの材料の熱膨張係数の差に起因して、窓材に割れが生じているのに対して、本実施形態のように、窓材がセレン化亜鉛からなり、フランジ部材がチタンからなる場合（図５の右側）は、窓材に割れが生じていないことが示されている。

【0050】

また、窓材２２１が、熱膨張率の低いセレン化亜鉛からなるものなので、長波長域（例えば７μｍ以上）の分析に資する。

【0051】

＜４．その他の実施形態＞
例えば、窓形成部材２２は、前記実施形態では、セレン化亜鉛からなる窓材２２１と、チタンからなるフランジ部材２２２とを用いて構成されていたが、セレン化亜鉛からなる窓材２２１と、ステンレスインバーからなるフランジ部材２２２とを用いて構成されていても良い。なお、ステンレスインバーの熱膨張係数は5.0×10^-6/Kである。これらの材料の組み合わせを採用した場合においても、図６に示すように、窓材には割れが生じていないことが分かる。

【0052】

また、窓形成部材２２は、サファイアからなる窓材２２１と、チタン又はステンレスインバーからなるフランジ部材２２２とを用いて構成されていても良い。

【0053】

さらに、窓形成部材２２は、フッ化バリウム（BaF₂）からなる窓材２２１と、ステンレス又はニッケルからなるフランジ部材２２２とを用いて構成されていても良い。なお、フッ化バリウム（BaF₂）の熱膨張係数は18.1×10^-6/Kであり、ステンレス（SUS316）の熱膨張係数は16.0×10^-6/Kであり、ニッケルの熱膨張係数は13.3×10^-6/Kである。

【0054】

セレン化亜鉛の透過波長は0.5～22μｍであり、フッ化バリウムの透過波長は0.15～12μｍであり、何れも長波長（例えば7μｍ以上）の赤外線を透過するものであり、長波長域の分析に資する。

【0055】

前記実施形態では、窓材２２１とフランジ部材２２２とが原子拡散接合されていたが、これらの部材は、例えば溶接、半田付け、ロウ付け、接着剤、陽極接合などにより接合されていても良いし、それぞれの部材をイオンミリング等により界面活性化させて接合する表面活性化法を適用しても良い。

【0056】

さらに、前記実施形態では、原子拡散接合に用いる金属薄膜ＭとしてＡｕ薄膜を採用していたが、金属薄膜としてはこれに限らず、例えば、ＡｌやＣｒなどからなる薄膜であっても良い。

【0057】

前記実施形態の光学測定用セル２は、一対の透光窓Ｗ１、Ｗ２を有する構成であったが、１つの透光窓を有する構成としても良い。この場合、１つの透光窓において光の入射及び出射が行われる。また、光学測定用セル２は、３つ以上の透光窓を有する構成としても良い。

【0058】

前記実施形態では、接合支持部２２２ａとフランジ部２２２ｂとは一体形成されるものであったが、それらを別部品としても良い。

【0059】

前記実施形態の窓材２２１は平面視において円形状をなすものであったが、例えば平面視において矩形状をなすなどのその他の形状であっても良い。

【0060】

加えて、前記実施形態のガス分析装置は、非分散型赤外吸収法（ＮＤＩＲ）を用いたものであったが、フーリエ変換赤外分光法（ＦＴＩＲ）を用いたものであっても良いし、赤外光以外の光を用いた光学分析法を用いたものであっても良い。また、本発明の光学分析装置は、試料としてガスを分析する他に、液体を分析するものであっても良い。

【0061】

その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な実施形態の変形や組み合わせを行っても構わない。

【符号の説明】

【0062】

１００・・・ガス分析装置（光学分析装置）
２・・・光学測定用セル
３・・・光照射部
４・・・光検出部
５・・・濃度算出部
Ｗ１、Ｗ２・・・透光窓
２２１・・・窓材
２２２ａ・・・接合支持部
２２２ｂ・・・フランジ部
Ｔ１・・・接合面
Ｍ・・・金属薄膜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】