特開2023-105428基板保持装置、静電チャックおよび基板保持方法

発明の名称　基板保持装置、静電チャックおよび基板保持方法

出願人　キヤノントッキ株式会社　（識別番号 591065413）

　　　　特許公開件数ランキング 737 位（31件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 731 位（27件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-105428

公報発行日　2023年7月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-105428

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