特開2023-10613ウエハ搬送方法およびウエハロードシステム

発明の名称　ウエハ搬送方法およびウエハロードシステム

出願人　台湾積體電路製造股▲ふん▼有限公司　（識別番号 500262038）

　　　　特許公開件数ランキング 3235 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 979 位（23件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-10613

公報発行日　2023年1月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-10613

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