特開 2023-12047 機能液測定装置および機能液測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023012047

(43)【公開日】2023-01-25

(54)【発明の名称】機能液測定装置および機能液測定方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/02 20060101AFI20230118BHJP

   B05C 5/00 20060101ALI20230118BHJP

   B05C 11/00 20060101ALI20230118BHJP

【ＦＩ】

G01B11/02 H

B05C5/00 101

B05C11/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】13

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021115451

(22)【出願日】2021-07-13

(71)【出願人】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】太田 義治

【テーマコード（参考）】

2F065

4F041

4F042

【Ｆターム（参考）】

2F065AA22

2F065AA59

2F065DD03

2F065FF04

2F065FF61

2F065JJ03

2F065JJ26

2F065QQ21

2F065QQ31

2F065SS04

4F041AA02

4F041AA05

4F041AA17

4F041AB01

4F041BA01

4F041BA10

4F041BA13

4F041BA34

4F041BA59

4F042AA06

4F042AA28

4F042AB00

4F042BA12

4F042BA25

4F042CB08

4F042CC04

4F042CC09

4F042DH01

4F042DH09

(57)【要約】

【課題】機能液の液滴の吐出量の測定を電子天秤等の重量測定器を用いることなく精度良く行うことができる技術を提供する。
【解決手段】本開示による機能液測定装置は、１以上のノズルを有するインクジェットヘッドから吐出された機能液の吐出量を測定する機能液測定装置であって、液受部と、撮像部と、算出部とを備える。液受部は、複数の溝部が形成された液受面を有し、インクジェットヘッドから吐出された機能液の液滴を液受面において受ける。撮像部は、溝部に入り込み溝部に沿って延びた機能液を撮像する。算出部は、撮像部によって撮像された画像に基づき、吐出量を算出する。また、液受面において複数の溝部が形成された領域は、液滴の直径よりも大きい。また、溝部の幅は、液滴の直径よりも小さい。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

１以上のノズルを有するインクジェットヘッドから吐出された機能液の吐出量を測定する機能液測定装置であって、
複数の溝部が形成された液受面を有し、前記インクジェットヘッドから吐出された前記機能液の液滴を前記液受面において受ける液受部と、
前記溝部に入り込み前記溝部に沿って延びた前記機能液を撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された画像に基づき、前記吐出量を算出する算出部と
を備え、
前記液受面において前記複数の溝部が形成された領域は、前記液滴の直径よりも大きく、前記溝部の幅は、前記液滴の直径よりも小さい、機能液測定装置。

【請求項2】

前記算出部は、前記画像を用いて、前記溝部に沿って延びた前記機能液の長さを算出し、算出した前記長さに基づいて前記吐出量を算出する、請求項１に記載の機能液測定装置。

【請求項3】

前記機能液の液種ごとに、前記溝部における前記機能液の膜厚に関する膜厚情報を記憶する記憶部
を備え、
前記算出部は、前記長さと前記膜厚情報とに基づいて前記吐出量を算出する、請求項２に記載の機能液測定装置。

【請求項4】

前記溝部は、直線状である、請求項１～３のいずれか一つに記載の機能液測定装置。

【請求項5】

前記溝部は、親液性の底面を有する、請求項１～４のいずれか一つに記載の機能液測定装置。

【請求項6】

前記溝部は、撥液性の側面および上面を有する、請求項１～５のいずれか一つに記載の機能液測定装置。

【請求項7】

前記インクジェットヘッドおよび前記撮像部を制御する制御部を備え、
前記制御部は、
前記インクジェットヘッドを制御して、同一の前記ノズルから前記機能液の液滴を前記液受面に複数回吐出させた後、前記撮像部を制御して、前記溝部に沿って延びた前記機能液を撮像させる、請求項１～６のいずれか一つに記載の機能液測定装置。

【請求項8】

前記インクジェットヘッドおよび前記撮像部を制御する制御部を備え、
前記制御部は、
前記インクジェットヘッドを制御して、同一の前記ノズルから前記機能液の液滴を前記液受面に複数回吐出させた後、前記撮像部を制御して、前記溝部に沿って延びた前記機能液を撮像させ、
前記算出部は、
同一の前記ノズルから前記機能液の液滴を前記液受面にｎ（ｎは１以上の整数）回吐出させた後に前記撮像部によって撮像された前記画像と、同一の前記ノズルから前記機能液の液滴を前記液受面にｎ＋ｍ（ｍは１以上の整数）回吐出させた後に前記撮像部によって撮像された前記画像との差分に基づいて、前記吐出量を算出する、請求項１～６のいずれか一つに記載の機能液測定装置。

【請求項9】

前記液受部は、板状である、請求項１～８のいずれか一つに記載の機能液測定装置。

【請求項10】

前記液受部は、フィルム状である、請求項１～８のいずれか一つに記載の機能液測定装置。

【請求項11】

前記液受部を収容するチャンバと、
前記チャンバに収容された前記液受部に対して洗浄液を供給する洗浄液供給部と、
前記チャンバに収容された前記液受部に対して気体を供給する気体供給部と
を備える、請求項１～１０のいずれか一つに記載の機能液測定装置。

【請求項12】

前記液受面は、
前記複数の溝部が形成された第１領域と、
アライメントマークが形成された第２領域と
を備える、請求項１～１１のいずれか一つに記載の機能液測定装置。

【請求項13】

１以上のノズルを有するインクジェットヘッドから吐出された機能液の吐出量を測定する機能液測定方法であって、
複数の溝部が形成された液受面を有する液受部を用いて、前記インクジェットヘッドから吐出された前記機能液の液滴を前記液受面において受ける液受工程と、
前記液受工程の後、前記溝部に入り込み前記溝部に沿って延びた前記機能液を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程によって撮像された画像に基づき、前記吐出量を算出する算出工程と
を含み、
前記液受面において前記複数の溝部が形成された領域は、前記液滴の直径よりも大きく、前記溝部の幅は、前記液滴の直径よりも小さい、機能液測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、機能液測定装置および機能液測定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、吐出ヘッドから検査シートに機能液の液滴を吐出させ、検査シート上の機能液をカメラで撮像し、撮像された画像に基づいて、吐出ヘッドが機能液の液滴を正常に吐出しているか否か（ノズル詰まりがないか）を検査する技術が開示されている。また、特許文献１には、吐出ヘッドから吐出された機能液の重量を電子天秤にて測定し、測定された重量に基づいて機能液の液滴の吐出量を算出する技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８－２３３８３３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、機能液の液滴の吐出量の測定を電子天秤等の重量測定器を用いることなく精度良く行うことができる技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一態様による機能液測定装置は、１以上のノズルを有するインクジェットヘッドから吐出された機能液の吐出量を測定する機能液測定装置であって、液受部と、撮像部と、算出部とを備える。液受部は、複数の溝部が形成された液受面を有し、インクジェットヘッドから吐出された機能液の液滴を液受面において受ける。撮像部は、溝部に入り込み溝部に沿って延びた機能液を撮像する。算出部は、撮像部によって撮像された画像に基づき、吐出量を算出する。また、液受部において複数の溝部が形成された領域は、液滴の直径よりも大きい。また、溝部の幅は、液滴の直径よりも小さい。

【発明の効果】

【0006】

本開示によれば、機能液の液滴の吐出量の測定を電子天秤等の重量測定器を用いることなく精度良く行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。

【図2】図２は、実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。

【図3】図３は、実施形態に係るノズルヘッドの配置の一例を示す図である。

【図4】図４は、実施形態に係る液受部の一部を拡大した模式的な平面図である。

【図5】図５は、図４におけるＶ－Ｖ線矢視における模式的な断面図である。

【図6】図６は、液受部に吐出された機能液の液滴の広がり方の一例を示す図である。

【図7】図７は、実施形態に係る洗浄部の構成を示す模式的な断面図である。

【図8】図８は、実施形態に係る検査処理の手順を示すフローチャートである。

【図9】図９は、実施形態に係る検査処理における検査機構の移動を示す模式的な側面図である。

【図10】図１０は、実施形態に係る検査処理における検査機構の移動を示す模式的な側面図である。

【図11】図１１は、実施形態に係る検査処理における検査機構の移動を示す模式的な側面図である。

【図12】図１２は、第１変形例に係る検査処理の手順を示すフローチャートである。

【図13】図１３は、第２変形例に係る液受部の一部を拡大した模式的な平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下に、本開示による機能液測定装置および機能液測定方法を実施するための形態（以下、「実施形態」と記載する）について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態により本開示が限定されるものではない。また、各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、以下の各実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。

【0009】

また、以下に示す実施形態では、「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、例えば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。

【0010】

また、以下参照する各図面では、説明を分かりやすくするために、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を規定し、Ｚ軸正方向を鉛直上向き方向とする直交座標系を示す場合がある。

【0011】

従来、吐出ヘッドから吐出された機能液の重量を電子天秤にて測定し、測定された重量に基づいて機能液の液滴の吐出量を算出する技術が知られている（特許文献１参照）。これに対し、たとえば高速処理化あるいは省スペース化の観点から、電子天秤等の重量測定器を用いることなく機能液の液滴の吐出量を測定することが期待されている。

【0012】

一方、吐出ヘッドから検査シートに機能液の液滴を吐出させ、検査シート上の機能液をカメラで撮像し、撮像された画像に基づいて機能液の液滴の吐出量を測定する技術が知られている。この技術によれば、電子天秤等の重量測定器を用いることなく機能液の液滴の吐出量を測定することができる。しかしながら、この技術は、２次元の情報である画像から３次元の情報である吐出量を算出するものである。すなわち、検査シート上において機能液の液滴は、たとえばお椀状に膨らんでいるが、画像からでは平面的な情報しか得ることができず、高さ方向の情報（液滴がどれだけ盛り上がっているか）を得ることはできない。したがって、この技術は、機能液の液滴の吐出量を精度良く測定するという点で改善の余地がある。

【0013】

そこで、機能液の液滴の吐出量の測定を電子天秤等の重量測定器を用いることなく精度良く行うことができる技術が期待されている。

【0014】

（液滴吐出装置の構成）
実施形態に係る液滴吐出装置１について、図１および図２を参照して説明する。図１は、実施形態に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す側面図である。図２は、実施形態に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す平面図である。

【0015】

液滴吐出装置１は、基板Ｗを搬送方向に沿って搬送しながら、インクジェット方式で基板Ｗに描画を行う描画装置である。基板Ｗは、例えば、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である。

【0016】

液滴吐出装置１は、チャンバルーム１００に収容される。チャンバルーム１００には、不活性ガス（例えば、窒素ガス）が供給される。液滴吐出装置１は、不活性ガス雰囲気化で機能液を基板Ｗに吐出し、基板Ｗに描画を行う。なお、液滴吐出装置１は、チャンバルーム１００に収容されない装置であってもよい。

【0017】

機能液には、インクの他に、正孔注入層（ＨＩＬ：Hole Injection Layer）や、正孔輸送層（ＨＴＬ：Hole Transport Layer）などを形成する液が含まれていてもよい。

【0018】

チャンバルーム１００には、制御装置９などが収容される電気室１０１が併設される。また、チャンバルーム１００には、機能液が貯留される図示しない機能液タンクを交換するための交換室１０２が設けられる。

【0019】

液滴吐出装置１は、架台２と、第１ガイドレール３と、基板搬送機構４と、第２ガイドレール５と、描画機構６と、検査機構７と、洗浄部８と、制御装置９とを備える。

【0020】

架台２は、基板Ｗの搬送方向（ここでは、Ｙ軸方向）に沿って延びるように形成される。

【0021】

第１ガイドレール３は、架台２の上面に配置される。一対の第１ガイドレール３，３は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に互いに間隔をあけて配置される。各第１ガイドレール３は、搬送方向に沿って延びるように形成される。

【0022】

基板搬送機構４は、ワークステージ４０と、ステージ回転部４１と、スライダ４２とを備える。基板搬送機構４は、基板Ｗを搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って搬送する。

【0023】

ワークステージ４０は、例えば、真空吸着ステージであり、基板Ｗを吸着する。ステージ回転部４１は、ワークステージ４０の下方に設けられ、上下方向と平行な軸を中心にワークステージ４０を回動させる。すなわち、ワークステージ４０は、ステージ回転部４１によって上下方向と平行な軸を中心に回動自在に支持される。

【0024】

なお、ワークステージ４０の上方には、ワークステージ４０上の基板Ｗのアライメントマークを撮像するワークアライメントカメラ（不図示）が設けられている。ステージ回転部４１は、ワークアライメントカメラによって撮像された画像に基づいて上下方向と平行な軸を中心に回動し、基板Ｗの位置を補正する。

【0025】

スライダ４２は、ステージ回転部４１の下方に設けられ、ステージ回転部４１、およびワークステージ４０を支持する。スライダ４２は、一対の第１ガイドレール３，３に取り付けられ、一対の第１ガイドレール３，３のうち少なくとも一方に設けられた駆動部（不図示）、例えば、リニアモータによって一対の第１ガイドレール３，３に沿って移動可能である。

【0026】

すなわち、ワークステージ４０、およびステージ回転部４１は、スライダ４２が一対の第１ガイドレール３，３に沿って搬送方向に移動することで、スライダ４２と共に搬送方向に移動する。これにより、基板Ｗが搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って搬送される。

【0027】

なお、基板搬送機構４は、浮上式の搬送機構であってもよい。浮上式の搬送機構は、例えば、基板Ｗの端を下方から支持し、基板Ｗに向けて下方から圧縮空気を吹き付けて基板Ｗを水平に保持しつつ、基板Ｗを移動させる。

【0028】

一対の第２ガイドレール５，５は、搬送方向に互いに間隔をあけて配置される。各第２ガイドレール５は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って延びるように形成される。各第２ガイドレール５は、例えば、門型に形成される支持部５ａの上面に取り付けられる。

【0029】

一対の第２ガイドレール５，５は、例えば、架台２の外方に延びるように設けられる。架台２の外方に延びる一対の第２ガイドレール５，５の間には、メンテナンス部５０が配置される。一対の第２ガイドレール５，５は、基板Ｗに描画を行う描画位置と、メンテナンス部５０によってメンテナンスを行うメンテナンス位置との間で、描画機構６が搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に移動可能となるように設けられる。

【0030】

メンテナンス部５０は、後述するノズルヘッド６３のメンテナンスを行い、ノズルヘッド６３の吐出不良などを解消、または防止する。

【0031】

描画機構６は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って複数配置される。例えば、描画機構６は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って３個配置される。なお、描画機構６の数は、これに限られることない。各描画機構６は、キャリッジプレート６０と、キャリッジ回動部６１と、キャリッジ６２と、複数のノズルヘッド６３（インクジェットヘッドの一例）とを備える。

【0032】

キャリッジプレート６０は、一対の第２ガイドレール５，５に取り付けられ、一対の第２ガイドレール５，５のうち少なくとも一方に設けられた駆動部（不図示）、例えば、リニアモータによって一対の第２ガイドレール５，５に沿って、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に移動可能である。なお、複数のキャリッジプレート６０を一体として搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に移動可能としてもよい。

【0033】

キャリッジ回動部６１は、キャリッジプレート６０の下方に配置される。キャリッジ回動部６１は、搬送方向におけるキャリッジプレート６０の中央に取り付けられる。キャリッジ回動部６１の下端には、キャリッジ６２が取り付けられる。キャリッジ回動部６１は、キャリッジ６２を鉛直軸（Ｚ軸）を中心に回動自在に支持する。

【0034】

なお、キャリッジ回動部６１は、ワークステージ４０に設けられたキャリッジアライメントカメラ（不図示）によって撮像された画像に基づいて、鉛直軸を中心にキャリッジを回動させる。これにより、キャリッジ６２の位置が補正される。

【0035】

複数のノズルヘッド６３は、キャリッジ６２に設けられる。各ノズルヘッド６３は、図示しない供給チューブを介して図示しない機能液タンクに接続され、機能液タンクから供給チューブを介して機能液が供給され、基板Ｗ（ワーク）に機能液の液滴を吐出する。各ノズルヘッド６３は、複数種類（たとえば、Ｒ，Ｇ，Ｂ）の機能液を吐出することができる。

【0036】

複数のノズルヘッド６３は、キャリッジ６２の下面において、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に所定の間隔で配置されており、また、搬送方向に所定の間隔で配置されている。

【0037】

図３は、実施形態に係るノズルヘッド６３の配置の一例を示す図である。図３には、キャリッジ６２を上側から見た平面図が示されており、ノズルヘッド６３を設けた配置位置が破線により示されている。キャリッジ６２は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延びる長辺と搬送方向に延びる短辺とを有する長方形状に形成される。キャリッジ６２の下面には、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）及び搬送方向に隣接する複数のノズルヘッド６３が配置されている。

【0038】

複数のノズルヘッド６３は、第１ノズルヘッド群６３ａ（第１吐出ヘッド群の一例）と、第２ノズルヘッド群６３ｂ（第２吐出ヘッド群の一例）とを有する。以下では、第１ノズルヘッド群６３ａに属するノズルヘッド６３を第１ノズルヘッド６３１（第１吐出ヘッドの一例）と記載し、第２ノズルヘッド群６３ｂに属するノズルヘッド６３を第２ノズルヘッド６３２（第２吐出ヘッドの一例）と記載する。第１ノズルヘッド群６３ａは、第１ノズルヘッド６３１が搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に複数配列されて形成される。第２ノズルヘッド群６３ｂは、第１ノズルヘッド群６３ａに対して搬送方向（Ｙ軸方向）に隣接する位置において、第２ノズルヘッド６３２が搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に複数配列されて形成される。第２ノズルヘッド群６３ｂの各第２ノズルヘッド６３２は、第１ノズルヘッド群６３ａの各第１ノズルヘッド６３１とは搬送方向（Ｙ軸方向）において重ならない位置に位置する。言い換えると、搬送方向に隣接する第１ノズルヘッド群６３ａの各第１ノズルヘッド６３１および第２ノズルヘッド群６３ｂの各第２ノズルヘッド６３２が搬送方向と直交する方向において異なる位置に配置される。これにより、ノズルヘッド６３の配置が高密度化される。

【0039】

第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂは、搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って複数列設けられる。例えば、第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂは、搬送方向に沿って２列設けられる。なお、第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂの組みは、搬送方向において１列であってもよく、また、３列以上の複数列設けられてもよい。各ノズルヘッド６３は、複数のノズルを備えており、各ノズルから機能液を吐出する。

【0040】

（検査機構の構成）
図１および図２に示すように、検査機構７は、液受部７１と、スライダ７２とを備える。液受部７１は、ノズルヘッド６３から吐出された機能液の液滴を受ける。実施形態において、液受部７１は、板状部材である。板状部材である液受部７１は、たとえばガラス板である。なお、液受部７１は、フィルム状の部材であってもよい。この場合、検査機構７は、フィルム状の液受部７１を搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に送るフィルム送り部、および、フィルム状の液受部７１を吸着する吸着ステージ等を備えていてもよい。

【0041】

スライダ７２は、一対の第１ガイドレール３，３に取り付けられ、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って延びるように形成される。スライダ７２は、一対の第１ガイドレール３，３のうち少なくとも一方に設けられた駆動部（不図示）、例えば、リニアモータによって一対の第１ガイドレール３，３に沿って移動可能である。すなわち、スライダ７２は、搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って移動可能である。

【0042】

上述した液受部７１は、スライダ７２の上面に設けられる。スライダ７２は、搬送方向に沿って設定される吐出位置、撮像位置、待機位置および洗浄位置間で液受部７１を移動させる。

【0043】

吐出位置は、複数のノズルヘッド６３の下方となる位置である。なお、実施形態において、吐出位置は、第１吐出位置と、第２吐出位置とを含む。第１吐出位置は、複数のノズルヘッド６３のＹ軸負方向から１列目の第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂによって吐出される検査用の機能液の液滴を液受部７１で受ける位置である。第２吐出位置は、複数のノズルヘッド６３のＹ軸負方向から２列目の第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂによって吐出される検査用の機能液の液滴を液受部７１で受ける位置である。

【0044】

撮像位置は、吐出位置よりもＹ軸正方向に位置する。また、撮像位置は、撮像部７４の直下に位置する。待機位置は、撮像位置よりもさらにＹ軸正方向に位置する。洗浄位置は、待機位置よりもさらにＹ軸正方向に位置する。具体的には、洗浄位置は、後述する洗浄部８が有するチャンバ８１の内部に位置する。

【0045】

撮像部７４は、図１に示すように、第２ガイドレール５にベース７４ａを介して取り付けられる。ベース７４ａには、撮像部７４を搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に移動させる移動機構（不図示）が設けられる。撮像部７４は、一対の第２ガイドレール５，５のうち、搬送方向下流側に配置された第２ガイドレール５に取り付けられる。すなわち、撮像部７４は、キャリッジ６２よりも搬送方向下流側に配置される。

【0046】

撮像部７４は、たとえばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等である。撮像部７４は、液受部７１に吐出された機能液の液滴を撮像する。

【0047】

なお、撮像部７４を複数設け、液受部７１に吐出された機能液の液滴を複数の撮像部７４によって撮像してもよい。この場合、撮像部７４を搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に移動可能とはせずに、第２ガイドレール５に固定してもよい。

【0048】

洗浄部８は、検査機構７よりも搬送方向下流側（Ｙ軸正方向側）に配置される。洗浄部８は、液受部７１の洗浄を行う。かかる洗浄部８の構成については後述する。

【0049】

制御装置９は、例えば、コンピュータであり、制御部９１と記憶部９２とを備える。記憶部９２は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ（Flash Memory）などの半導体メモリ素子、または、ハードディスク、光ディスクなどの記憶装置によって実現される。

【0050】

制御部９１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ、入出力ポート等を含むマイクロコンピュータや各種回路を含む。マイクロコンピュータのＣＰＵは、ＲＯＭに記憶されているプログラムを読み出して実行することにより、基板搬送機構４、描画機構６、検査機構７および洗浄部８等の制御を実現する。

【0051】

なお、プログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体に記録されており、記憶媒体から制御装置９の記憶部９２にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体としては、たとえばハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルディスク（ＭＯ）、メモリカードなどがある。

【0052】

（液受部の構成）
次に、液受部７１の構成について図４～図６を参照して説明する。図４は、実施形態に係る液受部７１の一部を拡大した模式的な平面図である。また、図５は、図４におけるＶ－Ｖ線矢視における模式的な断面図である。また、図６は、液受部７１に吐出された機能液の液滴の広がり方の一例を示す図である。

【0053】

図４に示すように、液受部７１は、複数の溝部７１２を有する。実施形態において、複数の溝部７１２は、搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って直線状に延在している。また、複数の溝部７１２は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って並べられている。

【0054】

図６には、液受部７１に着弾した直後の機能液の液滴Ｄの外形を一点鎖線で示している。図６に示すように、液受部７１において複数の溝部７１２が形成された領域は、機能液の液滴Ｄの直径と比較して十分に大きい。一例として、複数の溝部７１２は、液受部７１の上面の略全面に形成されてもよい。また、各溝部７１２の幅は、機能液の液滴Ｄの直径よりも小さい。一例として、溝部７１２の幅は、１μｍ以上１００μｍ以下である。また、バンク７１２ｂの幅は、１μｍ以上１００μｍ以下である。

【0055】

図５に示すように、複数の溝部７１２は、板状の基材７１１の上部に形成されている。基材７１１は、たとえばガラス板である。複数の溝部７１２は、基材７１１の上面に形成された膜７１２ａと、膜７１２ａの上面に形成された複数のバンク７１２ｂとを含んで構成される。複数のバンク７１２ｂは、搬送方向（Ｙ軸方向）に沿って直線状に延在している。また、複数のバンク７１２ｂは、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って並べられている。膜７１２ａは、親液性を有し、複数のバンク７１２ｂは、撥液性を有する。なお、複数のバンク７１２ｂが延びる方向は、必ずしも搬送方向（Ｙ軸方向）であることを要しない。複数のバンク７１２ｂが延びる方向は、搬送方向と直交する方向（Ｘ軸方向）であってもよい。

【0056】

１つの溝部７１２は、隣接する２つのバンク７１２ｂと膜７１２ａとにより構成される。具体的には、膜７１２ａの上面は、溝部７１２の底面を構成し、バンク７１２ｂの側面は、溝部７１２の側面を構成する。溝部７１２の幅、すなわち、隣接する２つのバンク７１２ｂ間の距離は、略一定である。また、溝部７１２の深さ、すなわち、バンク７１２ｂの高さも、略一定である。

【0057】

図６に示すように、液受部７１に着弾した機能液の液滴は、溝部７１２に入り込む。そして、溝部７１２に入り込んだ機能液は、溝部７１２に沿って直線状に延びる。なお、図６には、４つの溝部７１２に機能液が入り込んだ例を示している（図６に示すハッチング部参照）。

【0058】

ここで、バンク７１２ｂは撥液性である。したがって、実施形態に係る液受部７１によれば、バンク７１２ｂの上面に着弾した機能液がバンク７１２ｂの上面に残存することを抑制することができる。すなわち、バンク７１２ｂの上面に機能液が残存することによる機能液の吐出量の測定精度の低下を抑制することができる。また、バンク７１２ｂの側面も撥液性であるため、溝部７１２に入り込んだ機能液が溝部７１２から漏れ出ることを抑制することができる。

【0059】

また、膜７１２ａの上面は親液性である。かかる構成によれば、溝部７１２に入り込んだ機能液を溝部７１２に沿って広げ易くすることができる。また、膜７１２ａの上面（すなわち、溝部７１２の底面）が親液性であり、かつ、バンク７１２ｂの側面（すなわち、溝部７１２の側面）が撥液性であることで、溝部７１２に入り込んだ機能液を溝部７１２に留め易くすることができる。

【0060】

なお、図４に示すように、液受部７１は、複数のバンク７１２ｂのうち他のバンク７１２ｂと比較して長さが短いバンク７１２ｂを有していてもよい。長さが短いバンク７１２ｂは、たとえば、機能液の着弾位置を撮像部７４で撮像する際の位置確認用の座標として利用することができる。

【0061】

（洗浄部の構成）
次に、洗浄部８の構成について図７を参照して説明する。図７は、実施形態に係る洗浄部８の構成を示す模式的な断面図である。

【0062】

図７に示すように、洗浄部８は、チャンバ８１と、洗浄液供給部８２と、気体供給部８３とを備える。チャンバ８１は、検査機構７（液受部７１およびスライダ７２）を収容可能である。一対の第１ガイドレール３，３は、チャンバ８１の内部に入り込んでいる。検査機構７は、一対の第１ガイドレール３，３に沿って移動することで、チャンバ８１の内部（すなわち、洗浄位置）に移動することができる。チャンバ８１は、検査機構７の搬入出口８１１と、搬入出口８１１を開閉可能なシャッター８１２とを備えていてもよい。

【0063】

洗浄液供給部８２は、チャンバ８１の内部に配置される。洗浄液供給部８２は、開閉弁や流量調整弁といった流量調整機器８２１を介して洗浄液供給源８２２に接続される。洗浄液供給部８２は、チャンバ８１に収容された液受部７１の上面に対し、洗浄液供給源８２２から供給される洗浄液を供給する。洗浄液供給部８２から供給される洗浄液としては、たとえば有機溶媒等のソルベントが用いられ得る。

【0064】

気体供給部８３は、チャンバ８１の内部に配置される。気体供給部８３は、開閉弁や流量調整弁といった流量調整機器８３１を介して気体供給源８３２に接続される。気体供給部８３は、チャンバ８１に収容された液受部７１の上面に対し、気体供給源８３２から供給される気体を供給する。気体供給部８３から供給される気体としては、たとえばドライエアの他、窒素ガス等の不活性ガスが用いられ得る。

【0065】

このように、実施形態に係る液滴吐出装置１によれば、洗浄部８を備えることで、液受部７１を繰り返し使用することができる。

【0066】

（検査処理の手順）
次に、実施形態に係る液滴吐出装置１が実行する検査処理の手順について図８～図１１を参照して説明する。図８は、実施形態に係る検査処理の手順を示すフローチャートである。また、図９～図１１は、実施形態に係る検査処理における検査機構７の移動を示す模式的な側面図である。なお、図８に示す各処理手順は、制御部９１の制御に従って実行される。

【0067】

検査機構７のスライダ７２は、検査処理を行わない場合、例えば、描画機構６によって基板Ｗに機能液を吐出している場合や、液滴吐出装置１が使用されていない場合などには、図１に示すように待機位置に位置している。

【0068】

図８に示すように、液滴吐出装置１では、まず、液滴吐出処理が行われる（ステップＳ１０１）。具体的には、図９に示すように、制御部９１は、検査機構７のスライダ７２を制御して、液受部７１を待機位置から第１吐出位置へ移動させる。具体的には、制御部９１は、Ｙ軸負方向から１列目の第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂの直下に液受部７１を位置させる。

【0069】

そして、制御部９１は、Ｙ軸負方向から１列目の第１ノズルヘッド群６３ａの各第１ノズルヘッド６３１から液受部７１の上面（液受面の一例）に機能液の液滴を吐出させる。また、制御部９１は、Ｙ軸負方向から１列目の第２ノズルヘッド群６３ｂの各第２ノズルヘッド６３２から液受部７１の上面に機能液の液滴を吐出する。

【0070】

つづいて、制御部９１は、検査機構７のスライダ７２を制御して、液受部７１を第１吐出位置から第２吐出位置へ移させる。すなわち、制御部９１は、Ｙ軸負方向から２列目の第１ノズルヘッド群６３ａおよび第２ノズルヘッド群６３ｂ（図３参照）の直下に液受部７１を位置させる。そして、制御部９１は、Ｙ軸負方向から２列目の第１ノズルヘッド群６３ａの各第１ノズルヘッド６３１から液受部７１の上面に機能液の液滴を吐出させる。また、制御部９１は、Ｙ軸負方向から２列目の第２ノズルヘッド群６３ｂの各第２ノズルヘッド６３２から液受部７１の上面に機能液の液滴を吐出する。

【0071】

各ノズルヘッド６３から吐出された機能液の液滴は、複数の溝部７１２が形成された領域に着弾した後、溝部７１２に入り込み、溝部７１２に沿って延びる（図６参照）。

【0072】

つづいて、液滴吐出装置１では、撮像処理が行われる（ステップＳ１０２）。具体的には、図１０に示すように、制御部９１は、検査機構７のスライダ７２を制御して、液受部７１を撮像位置に移動させる。すなわち、制御部９１は、液受部７１を撮像部７４の直下に位置させる。そして、制御部９１は、液受部７１に吐出された機能液の液滴を撮像部７４により撮像する。

【0073】

その後、図１１に示すように、制御部９１は、検査機構７のスライダ７２を制御して、液受部７１を洗浄位置に移動させる。すなわち、制御部９１は、液受部７１を洗浄部８のチャンバ８１の内部に位置させる。そして、制御部９１は、洗浄部８を制御して、液受部７１の洗浄処理および乾燥処理を行う。具体的には、制御部９１は、洗浄液供給部８２から液受部７１の上面に洗浄液を供給することにより、液受部７１から機能液を除去する。その後、制御部９１は、気体供給部８３から液受部７１の上面に乾燥用の気体を供給することにより、液受部７１から洗浄液を除去する。その後、制御装置９は、検査機構７のスライダ７２を制御して、液受部７１を待機位置へ戻す。

【0074】

液滴吐出装置１では、撮像処理の後、長さ算出処理が行われる（ステップＳ１０３）。長さ算出処理において、制御部９１は、撮像処理において撮像された画像を用いて、溝部７１２に沿って延びた機能液の長さを算出する。たとえば、図６に示す例では、４つの溝部７１２に機能液が入り込んでいる。この場合、制御部９１は、たとえば、溝部７１２ごとに機能液の長さを算出する。そして、制御部９１は、溝部７１２ごとに算出した４つの機能液の長さの合計（以下、「機能液の全長」と記載する）を算出する。

【0075】

つづいて、液滴吐出装置１では、吐出量算出処理が行われる（ステップＳ１０４）。吐出量算出処理において、制御部９１は、長さ算出処理において算出した機能液の全長に基づいて機能液の吐出量を算出する。

【0076】

たとえば、制御装置９が有する記憶部９２には、溝部７１２の幅および深さの情報が予め記憶されていてもよい。この場合、制御部９１は、長さ算出処理において算出した機能液の全長と、既知の値である溝部７１２の幅と、既知の値である溝部７１２の深さとを乗じることにより、溝部７１２に入り込んだ機能液の体積（すなわち、吐出量）を算出することができる。

【0077】

上記の例では、溝部７１２の深さを用いて機能液の体積を算出することとしたが、溝部７１２内における機能液の膜厚に関する情報（膜厚情報）を事前の実験等により取得しておき、かかる膜厚情報を用いて機能液の体積を算出してもよい。膜厚情報は、たとえば、溝部７１２内における機能液の平均膜厚を示す情報であってもよい。このように、膜厚情報を用いて機能液の体積を算出することにより、機能液の吐出量の測定精度を高めることができる。

【0078】

ここで、本願発明者は、溝部７１２の幅方向における機能液の膜厚分布が、機能液の液種（たとえば、Ｒ，Ｇ，Ｂ）によって異なることを見出した。そこで、液滴吐出装置１は、液種ごとの膜厚情報を記憶部９２に記憶させてもよい。この場合、制御部９１は、長さ算出処理において算出した機能液の全長と、既知の値である溝部７１２の幅と、吐出された機能液の液種に対応する膜厚情報に示される膜厚とを乗じることにより、溝部７１２に入り込んだ機能液の体積を算出してもよい。

【0079】

このように、液種ごとに異なる膜厚情報を用いて機能液の体積を算出することにより、機能液の吐出量の測定精度をさらに高めることができる。

【0080】

つづいて、液滴吐出装置１では、判定処理が行われる（ステップＳ１０５）。判定処理において、制御部９１は、吐出量算出処理において算出した吐出量が適量であるか否かを判定する。たとえば、制御部９１は、吐出量算出処理において算出した吐出量が閾値範囲（吐出量の下限値および上限値を有する範囲）に収まっているか否かを判定する。そして、制御部９１は、算出した吐出量が閾値範囲に収まっている場合、吐出量が正常であると判定する。一方、算出した吐出量が閾値範囲から外れている場合、制御部９１は、吐出量が異常であると判定する。制御部９１は、ノズルごとに判定処理を行う。

【0081】

このように、実施形態に係る液滴吐出装置１では、ノズルヘッド６３から液受部７１上に形成された複数の溝部７１２に対して機能液の液滴を吐出させる。そして、実施形態に係る液滴吐出装置１では、溝部７１２に沿って延びた機能液の長さに基づいて機能液の吐出量を算出することとした。

【0082】

機能液は、溝部７１２に沿って延びる。そして、溝部７１２の深さは既知である。このため、２次元の情報である画像を取得することで、たとえば、取得した機能液の画像と溝部７１２の深さとに基づいて３次元の情報である機能液の体積を得ることができる。したがって、実施形態に係る機能液測定装置によれば、機能液の液滴の吐出量の測定を電子天秤を用いることなく精度良く行うことができる。

【0083】

また、溝部７１２に入り込んだ機能液の膜厚は、（検査フィルム等の）平坦面に機能液の液滴を吐出させた場合と比較して、測定ごとのバラツキが生じにくい。すなわち、予め取得しておいた機能液の膜厚と実際の機能液の膜厚との差が生じにくい。このため、予め取得しておいた機能液の膜厚を用いて機能液の体積を算出することで、機能液の液滴の吐出量の測定をさらに精度良く行うことができる。

【0084】

なお、液滴吐出装置１では、ステップＳ１０１において、１つのノズルから液受部７１上の同じ場所に機能液の液滴を複数回吐出させてもよい。この場合、制御部９１は、ステップＳ１０２において、複数回吐出した後の機能液の液滴を撮像し、撮像した画像に基づき、ステップＳ１０４において、複数回分の機能液の吐出量を算出してもよい。このように、１つのノズルから複数回分の機能液を吐出させることで、機能液の１回の吐出量が検査に必要な量より少ない場合であっても吐出量を適切に測定することができる。なお、制御部９１は、ステップＳ１０４において、複数回分の機能液の吐出量を吐出回数で除した値、すなわち、１回分の吐出量を算出してもよい。

【0085】

（第１変形例）
溝部７１２に入り込んだ機能液の膜厚は、溝部７１２の長手方向に沿って概ね一定となる。しかしながら、機能液の両端部においては液面の形状がその他の部分と比べて変化するため、機能液の両端部における膜厚と、その他の部分の膜厚との間でバラツキが生じる。具体的には、機能液の両端部における膜厚は、その他の部分の膜厚よりも薄くなる傾向がある。このため、機能液の長さ方向の全域にかけて膜厚が一定であると仮定して機能液の体積を算出した場合、機能液の両端部における膜厚とその他の部分の膜厚との差の分だけ、実際の機能液の吐出量との間に差が生じることとなる。

【0086】

そこで、液滴吐出装置１では、機能液の両端部における膜厚の影響を排除したうえで、機能液の長さに基づいて機能液の吐出量を算出してもよい。この点について図１２を参照して説明する。図１２は、第１変形例に係る検査処理の手順を示すフローチャートである。

【0087】

図１２に示すように、制御部９１は、液受部７１を吐出位置（第１吐出位置または第２吐出位置）に配置させた後、同一のノズルから液受部７１に機能液の液滴をｎ（ｎは１以上の整数）回吐出させる（ステップＳ２０１）。つづいて、制御部９１は、液受部７１を撮像位置に移動させた後、液受部７１上の機能液を撮像部７４を用いて撮像する（ステップＳ２０２）。そして、制御部９１は、溝部７１２内の機能液の全長を算出する（ステップＳ２０３）。

【0088】

つづいて、制御部９１は、液受部７１を再度吐出位置に移動させた後、同一のノズルから液受部７１の同一の場所に機能液の液滴をｍ（ｍは１以上の整数）回吐出させる（ステップＳ２０４）。つづいて、制御部９１は、液受部７１を撮像位置に移動させた後、液受部７１上の機能液を撮像部７４を用いて撮像する（ステップＳ２０５）。そして、制御部９１は、溝部７１２内の機能液の全長を算出する（ステップＳ２０６）。

【0089】

つづいて、制御部９１は、ステップＳ２０３において算出したｎ回吐出時の機能液の全長と、ステップＳ２０６において算出したｎ＋ｍ回吐出時の機能液の全長との差分を算出する（ステップＳ２０７）。そして、制御部９１は、ステップＳ２０７において算出した差分と、吐出した機能液の種別に対応する膜厚情報とに基づいて機能液の吐出量を算出する（ステップＳ２０８）。具体的には、制御部９１は、ステップＳ２０７において算出した差分と、吐出した機能液の種別に対応する膜厚情報と、既知の情報である溝部７１２の幅とを乗じることにより、ｍ回吐出時の吐出量を算出する（ステップＳ２０８）。そして、制御部９１は、ステップＳ２０８において算出した吐出量に基づいて判定処理を行う（ステップＳ２０９）。

【0090】

このように、制御部９１は、同一のノズルから機能液の液滴を液受部７１にｎ回吐出させた後に撮像部７４によって撮像された画像と、ｎ＋ｍ回吐出させた後に撮像部７４によって撮像された画像との差分に基づいて機能液の吐出量を算出してもよい。このようにすることで、機能液の両端部の影響を排除することができる。したがって、機能液の吐出量をより精度良く測定することができる。

【0091】

（第２変形例）
図１３は、第２変形例に係る液受部７１の一部を拡大した模式的な平面図である。図１３に示すように、液受部７１は、第１領域７０１と第２領域７０２とを有していてもよい。第１領域７０１は、複数の溝部７１２が形成された領域である。また、第２領域７０２は、アライメントマーク７１５が形成された第２領域７０２を有していてもよい。第２領域７０２には、複数の溝部７１２は形成されていない。

【0092】

この場合、制御部９１は、機能液吐出処理において、ノズルヘッド６３に対して第１領域７０１への機能液の吐出と、第２領域７０２への機能液の吐出を行わせる。そして、制御部９１は、撮像処理において、第１領域７０１に吐出された機能液と、第２領域７０２に吐出された機能液とを撮像する。第１領域７０１に吐出された機能液と、第２領域７０２に吐出された機能液とは、同時に撮像されてもよいし、別々に撮像されてもよい。そして、制御部９１は、第１領域７０１に吐出された機能液の画像に基づいて機能液の吐出量を算出し、第２領域７０２に吐出された機能液の画像に基づいて機能液の吐出位置を算出する。たとえば、制御部９１は、第２領域７０２に着弾した機能液の外形の中心位置を機能液の吐出位置として算出する。そして、制御部９１は、たとえば、アライメントマーク７１５に基づき特定される基準位置と、機能液の画像から算出した機能液の吐出位置とのずれに基づいて、機能液の吐出位置の適否を判定する。

【0093】

このように、液受部７１は、機能液の吐出位置を算出するための第２領域７０２を有していてもよい。

【0094】

なお、制御部９１は、第１領域７０１（複数の溝部７１２が形成された領域）に吐出された機能液の画像に基づいて、機能液の吐出位置を算出してもよい。

【0095】

（その他の変形例）
液受部７１は、溝部７１２の底面、すなわち、膜７１２ａ（図５参照）の上面に複数の凸部または凹部を有していてもよい。かかる構成とすることにより、溝部７１２に入り込んだ機能液を溝部７１２に沿ってより広げ易くすることができる。これにより、機能液の両端部の影響を少なくすることができることから、機能液の吐出量の測定精度を高めることができる。

【0096】

上述した実施形態では、溝部７１２に入り込んだ機能液の長さを算出することとした。これに限らず、制御部９１は、たとえば、撮像部７４によって撮像された画像のうち機能液が占める部分の画素数を計測してもよい。この場合、制御部９１は，計測した画素数に１画素分の面積を乗じることにより、機能液の平面積を算出することができる。そして、制御部９１は、算出した平面積と、事前に取得しておいた膜厚情報（または溝部７１２の深さ）とから機能液の吐出量を算出することができる。また、制御部９１は、溝部７１２に入り込んだ機能液の画像を入力とし、その機能液の吐出量を出力とする学習モデルを用いて、撮像部７４によって撮像された画像から機能液の吐出量を推定してもよい。

【0097】

上述した実施形態では、液受部７１が直線状の溝部７１２を有する場合の例について説明したが、溝部７１２は、必ずしも直線状であることを要しない。溝部７１２は、たとえば、曲線状であってもよいし、円環状であってもよい。

【0098】

＜効果＞
上述してきたように、実施形態に係る機能液測定装置（一例として、液滴吐出装置１）は、１以上のノズルを有するインクジェットヘッド（一例として、ノズルヘッド６３）から吐出された機能液の吐出量を測定する機能液測定装置である。実施形態に係る機能液測定装置は、液受部（一例として、液受部７１）と、撮像部（撮像部７４）と、算出部（一例として、制御部９１）とを備える。液受部は、複数の溝部（一例として、溝部７１２）が形成された液受面（一例として、液受部７１の上面）、インクジェットヘッドから吐出された機能液の液滴を液受面において受ける。撮像部は、溝部に入り込み溝部に沿って延びた機能液を撮像する。算出部は、撮像部によって撮像された画像に基づき、吐出量を算出する。また、液受面において複数の溝部が形成された領域は、液滴の直径よりも大きい。また、溝部の幅は、液滴の直径よりも小さい。

【0099】

したがって、実施形態に係る機能液測定装置によれば、機能液の液滴の吐出量の測定を電子天秤等の重量測定器を用いることなく精度良く行うことができる。

【0100】

算出部は、画像を用いて、溝部に沿って延びた機能液の長さを算出し、算出した長さに基づいて吐出量を算出してもよい。

【0101】

溝部の幅や深さは既知であるため、溝部内の機能液の長さを算出することで、吐出された機能液の吐出量を容易に算出することができる。

【0102】

実施形態に係る機能液測定装置は、機能液の液種ごとに、溝部における機能液の膜厚に関する膜厚情報を記憶する記憶部（一例として、記憶部９２）を備えていてもよい。この場合、算出部は、機能液の長さと膜厚情報とに基づいて吐出量を算出してもよい。

【0103】

溝部における機能液の液面内の液面の形状（すなわち、膜厚）は、液種（ＲＧＢ）によって傾向が異なる。したがって、液種ごとに予め記憶された膜厚情報を用いて吐出量を算出することで、吐出量の測定精度を高めることができる。

【0104】

溝部は、直線状であってもよい。直線状の溝部とすることで、機能液の長さを容易に算出することができる。

【0105】

溝部は、親液性の底面（一例として、膜７１２ａ）を有していてもよい。かかる構成とすることで、溝部内で機能液が広がりやすくなるため、機能液の両端部の影響を少なくすることができる。

【0106】

溝部は、撥液性の側面（一例として、バンク７１２ｂの側面）および上面（一例として、バンク７１２ｂの上面）を有していてもよい。かかる構成とすることにより、溝部の外に機能液が残存しにくくなることから、機能液の吐出量の測定精度を高めることができる。

【0107】

実施形態に係る機能液測定装置は、インクジェットヘッドおよび撮像部を制御する制御部（一例として、制御部９１）を備えていてもよい。この場合、制御部は、インクジェットヘッドを制御して、同一のノズルから機能液の液滴を液受部に複数回吐出させた後、撮像部を制御して、溝部に沿って延びた機能液を撮像させてもよい。かかる構成とすることにより、１回の吐出量が僅かである場合であっても吐出量を適切に測定することができる。

【0108】

実施形態に係る機能液測定装置は、インクジェットヘッドおよび撮像部を制御する制御部を備えていてもよい。この場合、制御部は、インクジェットヘッドを制御して、同一のノズルから機能液の液滴を液受部に複数回吐出させた後、撮像部を制御して、溝部に沿って延びた機能液を撮像させてもよい。また、算出部は、同一のノズルから機能液の液滴を液受部にｎ（ｎは１以上の整数）回吐出させた後に撮像部によって撮像された画像と、同一のノズルから機能液の液滴を液受部にｎ＋ｍ（ｍは１以上の整数）回吐出させた後に撮像部によって撮像された画像との差分に基づいて、吐出量を算出してもよい。かかる構成とすることにより、機能液の両端部における膜厚の影響を排除したうえで、機能液の長さに基づいて機能液の吐出量を算出することができる。

【0109】

実施形態に係る機能液測定装置は、チャンバ（一例として、チャンバ８１）と、洗浄液供給部（一例として、洗浄液供給部８２）と、気体供給部（一例として、気体供給部８３）とを備えていてもよい。チャンバは、液受部を収容する。洗浄液供給部は、チャンバに収容された液受部に対して洗浄液を供給する。気体供給部は、チャンバに収容された液受部に対して気体を供給する。かかる構成とすることにより、液受部７１を繰り返し使用することができる。

【0110】

液受部は、複数の溝部が形成された第１領域（一例として、第１領域７０１）と、アライメントマーク（一例として、アライメントマーク７１５）が形成された第２領域（一例として、第２領域７０２）とを備えていてもよい。かかる構成とすることにより、機能液の吐出量の測定に加え、機能液の吐出位置の測定を行うことができる。

【0111】

今回開示された実施形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。実に、上記した実施形態は多様な形態で具現され得る。また、上記の実施形態は、添付の請求の範囲およびその趣旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。

【符号の説明】

【0112】

１ 液滴吐出装置
２ 架台
３ 第１ガイドレール
３ ガイドレール
４ 基板搬送機構
５ 第２ガイドレール
５ ガイドレール
５ａ 支持部
６ 描画機構
７ 検査機構
８ 洗浄部
９ 制御装置
４０ ワークステージ
４１ ステージ回転部
４２ スライダ
５０ メンテナンス部
６０ キャリッジプレート
６１ キャリッジ回動部
６２ キャリッジ
６３ ノズルヘッド
６３ａ 第１ノズルヘッド群
６３ｂ 第２ノズルヘッド群
７１ 液受部
７２ スライダ
７４ 撮像部
７４ａ ベース
８１ チャンバ
８２ 洗浄液供給部
８３ 気体供給部
９１ 制御部
９２ 記憶部
１００ チャンバルーム
１０１ 電気室
１０２ 交換室
６３１ 第１ノズルヘッド
６３１ ノズルヘッド
６３２ ノズルヘッド
６３２ 第２ノズルヘッド
７０１ 第１領域
７０２ 第２領域
７１１ 基材
７１２ 溝部
７１２ａ 膜
７１２ｂ バンク
７１２ 溝部
７１５ アライメントマーク
８１１ 搬入出口
８１２ シャッター
８２１ 流量調整機器
８２２ 洗浄液供給源
８３１ 流量調整機器
８３２ 気体供給源

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】