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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023123192
(43)【公開日】2023-09-05
(54)【発明の名称】移載装置、研磨設備、及び移載方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/677 20060101AFI20230829BHJP
H01L 21/304 20060101ALI20230829BHJP
H01L 21/463 20060101ALI20230829BHJP
B24B 37/08 20120101ALI20230829BHJP
B24B 37/28 20120101ALI20230829BHJP
B24B 49/12 20060101ALI20230829BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 A
H01L21/304 621A
H01L21/463
B24B37/08
B24B37/28
B24B49/12
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022027114
(22)【出願日】2022-02-24
(71)【出願人】
【識別番号】390004879
【氏名又は名称】三菱マテリアルテクノ株式会社
(71)【出願人】
【識別番号】302006854
【氏名又は名称】株式会社ＳＵＭＣＯ
(74)【代理人】
【識別番号】100149548
【弁理士】
【氏名又は名称】松沼 泰史
(74)【代理人】
【識別番号】100175802
【弁理士】
【氏名又は名称】寺本 光生
(74)【代理人】
【識別番号】100142424
【弁理士】
【氏名又は名称】細川 文広
(74)【代理人】
【識別番号】100140774
【弁理士】
【氏名又は名称】大浪 一徳
(72)【発明者】
【氏名】齋藤 貢
(72)【発明者】
【氏名】金井 隆一
(72)【発明者】
【氏名】三浦 雅史
(72)【発明者】
【氏名】廣嶋 俊洋
(72)【発明者】
【氏名】森田 優
(72)【発明者】
【氏名】江▲崎▼ 圭佑
【テーマコード（参考）】
3C034
3C158
5F057
5F131
【Ｆターム（参考）】
3C034AA19
3C034BB75
3C034BB76
3C034BB93
3C034CA22
3C034CB11
3C034DD10
3C034DD20
3C158AB03
3C158AB08
3C158AC02
3C158CB03
3C158DA06
3C158DA09
3C158EA02
3C158EB02
5F057AA37
5F057BB03
5F057BB11
5F057FA32
5F057FA33
5F131AA02
5F131AA03
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5F131DA05
5F131DA32
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5F131DB62
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5F131DB76
5F131DB82
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5F131EA06
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5F131GA33
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5F131KA05
5F131KA14
5F131KA72
5F131KB05
5F131KB09
5F131KB12
5F131KB32
5F131KB54
5F131KB55
(57)【要約】
【課題】内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせる移載装置を提供する。
【解決手段】定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有する研磨部に、平板状であって、外周縁に設けられ内歯車及び太陽歯車に嵌め合い可能な複数の歯部、及び基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを移載させる移載装置４６であって、キャリアを移載させる移載部と、内歯車の複数の歯部の一部及び太陽歯車の複数の歯部の一部の像を取得する撮像部５４と、移載部を制御する制御部と、を備え、制御部は、像に基づいて、移載部により、内歯車及び太陽歯車に対する、支持面に沿う沿面方向のキャリアの位置、及び支持面に直交する軸線Ｏ５周りのキャリアの向きを調整し、移載部により、内歯車の複数の歯部及び太陽歯車の複数の歯部にキャリアの複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる。
【選択図】図４
【解決手段】定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有する研磨部に、平板状であって、外周縁に設けられ内歯車及び太陽歯車に嵌め合い可能な複数の歯部、及び基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを移載させる移載装置４６であって、キャリアを移載させる移載部と、内歯車の複数の歯部の一部及び太陽歯車の複数の歯部の一部の像を取得する撮像部５４と、移載部を制御する制御部と、を備え、制御部は、像に基づいて、移載部により、内歯車及び太陽歯車に対する、支持面に沿う沿面方向のキャリアの位置、及び支持面に直交する軸線Ｏ５周りのキャリアの向きを調整し、移載部により、内歯車の複数の歯部及び太陽歯車の複数の歯部にキャリアの複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部に、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合い可能な複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを移載させる移載装置であって、
前記キャリアを移載させる移載部と、
前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、
前記移載部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記像に基づいて、前記移載部により、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、
前記移載部により、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる、移載装置。
前記キャリアを移載させる移載部と、
前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、
前記移載部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記像に基づいて、前記移載部により、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、
前記移載部により、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる、移載装置。
【請求項2】
前記移載部は、
連結軸に沿って並べて配置された複数のリンクと、
前記連結軸に沿って隣り合う前記複数のリンク同士を回転可能に連結する関節と、
前記複数のリンクのうち前記連結軸に沿った最も第１側の前記リンクである先端リンクに設けられ、前記キャリアを着脱可能に保持する保持部と、
を有し、
前記複数のリンクのうち前記連結軸に沿った最も第２側の前記リンクは、設置面により支持され、
前記関節により、前記保持部は、前記内歯車及び前記太陽歯車に対して、前記沿面方向、及び前記軸線周りに移載可能である、請求項１に記載の移載装置。
連結軸に沿って並べて配置された複数のリンクと、
前記連結軸に沿って隣り合う前記複数のリンク同士を回転可能に連結する関節と、
前記複数のリンクのうち前記連結軸に沿った最も第１側の前記リンクである先端リンクに設けられ、前記キャリアを着脱可能に保持する保持部と、
を有し、
前記複数のリンクのうち前記連結軸に沿った最も第２側の前記リンクは、設置面により支持され、
前記関節により、前記保持部は、前記内歯車及び前記太陽歯車に対して、前記沿面方向、及び前記軸線周りに移載可能である、請求項１に記載の移載装置。
【請求項3】
前記撮像部は、
前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を取得する第１撮像部と、
前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を取得する第２撮像部と、
を有し、
前記第１撮像部及び前記第２撮像部は、前記先端リンクに設けられている、請求項２に記載の移載装置。
前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を取得する第１撮像部と、
前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を取得する第２撮像部と、
を有し、
前記第１撮像部及び前記第２撮像部は、前記先端リンクに設けられている、請求項２に記載の移載装置。
【請求項4】
前記キャリアの前記複数の歯部が前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に嵌め合うときの、
前記第１撮像部が取得した前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を、第１基準像と規定し、
前記第２撮像部が取得した前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を、第２基準像と規定したときに、
前記制御部は、
前記第１撮像部が取得する前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像が、前記第１基準像に一致するように、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記沿面方向に沿う前記キャリアの移動量、及び前記軸線周りの前記キャリアの回転量を含む第１移動量を算出し、
前記第１移動量移動及び回転したときの前記第２撮像部が取得する前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像と、前記第２基準像との差に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記沿面方向に沿う前記キャリアの移動量、及び前記軸線周りの前記キャリアの回転量を含む第２移動量を算出し、
前記移載部により、前記キャリアを前記第１移動量及び前記第２移動量移動及び回転させた後で、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる、請求項３に記載の移載装置。
前記第１撮像部が取得した前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を、第１基準像と規定し、
前記第２撮像部が取得した前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を、第２基準像と規定したときに、
前記制御部は、
前記第１撮像部が取得する前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像が、前記第１基準像に一致するように、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記沿面方向に沿う前記キャリアの移動量、及び前記軸線周りの前記キャリアの回転量を含む第１移動量を算出し、
前記第１移動量移動及び回転したときの前記第２撮像部が取得する前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像と、前記第２基準像との差に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記沿面方向に沿う前記キャリアの移動量、及び前記軸線周りの前記キャリアの回転量を含む第２移動量を算出し、
前記移載部により、前記キャリアを前記第１移動量及び前記第２移動量移動及び回転させた後で、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる、請求項３に記載の移載装置。
【請求項5】
定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部から、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合う複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを、前記研磨部の外部に移載させる移載装置であって、
前記キャリアを着脱可能に保持する保持部を有し、前記キャリアを移載させる移載部と、
前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、
前記移載部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記像に基づいて、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部にそれぞれ前記キャリアの前記複数の歯部が嵌め合っている状態の、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを検出し、
前記位置及び前記向きを調整した前記保持部により、前記キャリアを保持し、
前記移載部により、前記キャリアを前記研磨部の外部に移載する、移載装置。
前記キャリアを着脱可能に保持する保持部を有し、前記キャリアを移載させる移載部と、
前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、
前記移載部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記像に基づいて、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部にそれぞれ前記キャリアの前記複数の歯部が嵌め合っている状態の、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを検出し、
前記位置及び前記向きを調整した前記保持部により、前記キャリアを保持し、
前記移載部により、前記キャリアを前記研磨部の外部に移載する、移載装置。
【請求項6】
請求項１から５のいずれか一項に記載の移載装置と、
前記研磨部と、
を備える、研磨設備。
前記研磨部と、
を備える、研磨設備。
【請求項7】
定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部に、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合い可能な複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを移載させる移載方法であって、
前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、
前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる、移載方法。
前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、
前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる、移載方法。
【請求項8】
定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部から、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合う複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを、前記研磨部の外部に移載させる移載方法であって、
前記内歯車の複数の歯部及び前記太陽歯車の複数の歯部にそれぞれ前記キャリアの複数の歯部が嵌め合っている状態の、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを検出し、
前記位置及び前記向きを調整した保持部により、前記キャリアを保持し、
前記キャリアを前記研磨部の外部に移載する、移載装置。
前記内歯車の複数の歯部及び前記太陽歯車の複数の歯部にそれぞれ前記キャリアの複数の歯部が嵌め合っている状態の、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを検出し、
前記位置及び前記向きを調整した保持部により、前記キャリアを保持し、
前記キャリアを前記研磨部の外部に移載する、移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、移載装置、研磨設備、及び移載方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、互いに合体されたキャリア及びワーク（基板）を、研磨部の回転定盤上に搬送する移載装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この移載装置では、キャリアは円形の外歯車である。キャリアが有する収容孔（貫通孔）内にワークが収容されることにより、キャリアにワークが合体する。
研磨部では、回転定盤の中心に太陽歯車、外周部に内歯車が設けられる。これらは回転定盤上に配置された複数のキャリアに噛み合い、それぞれの回転速度によってキャリアの自転、及び公転速度が決定される。
合体したキャリア及びワークは、第２ワーク搬送部（移載部）により搬送される。
研磨部では、回転定盤の中心に太陽歯車、外周部に内歯車が設けられる。これらは回転定盤上に配置された複数のキャリアに噛み合い、それぞれの回転速度によってキャリアの自転、及び公転速度が決定される。
合体したキャリア及びワークは、第２ワーク搬送部（移載部）により搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特許第４２３５３１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
近年、研磨部の大型化により、動作する太陽歯車及び内歯車が停止するときの、目標とする停止位置と実際の停止位置との差である停止誤差が大きくなっている。さらに、この停止誤差は、移載部にも生じる。
停止誤差が大きくなると、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ嵌め合わせ難くなったり、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に移載させ難くなる。
停止誤差が大きくなると、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ嵌め合わせ難くなったり、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に移載させ難くなる。
【0005】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせるか、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させる移載装置、この移載装置を備える研磨設備、及び移載方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
前記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
（１）この発明の第１態様は、定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部に、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合い可能な複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを移載させる移載装置であって、前記キャリアを移載させる移載部と、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、前記移載部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記像に基づいて、前記移載部により、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、前記移載部により、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる。
（１）この発明の第１態様は、定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部に、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合い可能な複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを移載させる移載装置であって、前記キャリアを移載させる移載部と、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、前記移載部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記像に基づいて、前記移載部により、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、前記移載部により、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる。
【0007】
この発明では、撮像部が取得した像には、研磨部における、実際の内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び実際の太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像が含まれる。このため、例えば、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、制御部が、この像に基づいて、移載部により、内歯車及び太陽歯車に対する、沿面方向のキャリアの位置、及び軸線周りのキャリアの向きを調整することにより、内歯車の複数の歯部及び太陽歯車の複数の歯部にキャリアの複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせやすくなる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
【0008】
（２）前記（１）に記載の移載装置では、前記移載部は、連結軸に沿って並べて配置された複数のリンクと、前記連結軸に沿って隣り合う前記複数のリンク同士を回転可能に連結する関節と、前記複数のリンクのうち前記連結軸に沿った最も第１側の前記リンクである先端リンクに設けられ、前記キャリアを着脱可能に保持する保持部と、を有し、前記複数のリンクのうち前記連結軸に沿った最も第２側の前記リンクは、設置面により支持され、前記関節により、前記保持部は、前記内歯車及び前記太陽歯車に対して、前記沿面方向、及び前記軸線周りに移載可能であってもよい。
この発明では、関節を駆動させて複数のリンクを移動させることにより、保持部に保持されたキャリアを設置面に対して移載させることができる。そして、関節により、保持部に保持されたキャリアを、内歯車及び太陽歯車に対して、沿面方向、及び軸線周りに移載させることができる。
この発明では、関節を駆動させて複数のリンクを移動させることにより、保持部に保持されたキャリアを設置面に対して移載させることができる。そして、関節により、保持部に保持されたキャリアを、内歯車及び太陽歯車に対して、沿面方向、及び軸線周りに移載させることができる。
【0009】
（３）前記（２）に記載の移載装置では、前記撮像部は、前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を取得する第１撮像部と、前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を取得する第２撮像部と、を有し、前記第１撮像部及び前記第２撮像部は、前記先端リンクに設けられていてもよい。
この発明では、太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像、内歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を、第１撮像部、第２撮像部により別々に取得することができる。そして、移載部の関節を駆動させて複数のリンクを移動させることにより、第１撮像部及び第２撮像部を移動させて、第１撮像部及び第２撮像部が取得する像に写される対象を変化させることができる。
この発明では、太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像、内歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を、第１撮像部、第２撮像部により別々に取得することができる。そして、移載部の関節を駆動させて複数のリンクを移動させることにより、第１撮像部及び第２撮像部を移動させて、第１撮像部及び第２撮像部が取得する像に写される対象を変化させることができる。
【0010】
（４）前記（３）に記載の移載装置では、前記キャリアの前記複数の歯部が前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に嵌め合うときの、前記第１撮像部が取得した前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を、第１基準像と規定し、前記第２撮像部が取得した前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像を、第２基準像と規定したときに、前記制御部は、前記第１撮像部が取得する前記太陽歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像が、前記第１基準像に一致するように、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記沿面方向に沿う前記キャリアの移動量、及び前記軸線周りの前記キャリアの回転量を含む第１移動量を算出し、前記第１移動量移動及び回転したときの前記第２撮像部が取得する前記内歯車の前記複数の歯部の少なくとも一部の前記像と、前記第２基準像との差に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記沿面方向に沿う前記キャリアの移動量、及び前記軸線周りの前記キャリアの回転量を含む第２移動量を算出し、前記移載部により、前記キャリアを前記第１移動量及び前記第２移動量移動及び回転させた後で、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせてもよい。
【0011】
この発明では、移載部により、制御部が算出する第１移動量キャリアを移動させることにより、太陽歯車の複数の歯部に対してキャリアの複数の歯部が嵌め合う位置に、キャリアを移載させることができる。さらに、移載部により、制御部が算出する第２移動量キャリアを移動させることにより、内歯車の複数の歯部に対してキャリアの複数の歯部が嵌め合う位置に、キャリアを移載させることができる。
こうして、キャリアを第１移動量及び第２移動量移動及び回転させた後で、内歯車の複数の歯部及び太陽歯車の複数の歯部にキャリアの複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせることにより、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれさらに容易に嵌め合わせることができる。
こうして、キャリアを第１移動量及び第２移動量移動及び回転させた後で、内歯車の複数の歯部及び太陽歯車の複数の歯部にキャリアの複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせることにより、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれさらに容易に嵌め合わせることができる。
【0012】
（５）この発明の第２態様は、定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部から、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合う複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを、前記研磨部の外部に移載させる移載装置であって、前記キャリアを着脱可能に保持する保持部を有し、前記キャリアを移載させる移載部と、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像を取得する撮像部と、前記移載部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記像に基づいて、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部にそれぞれ前記キャリアの前記複数の歯部が嵌め合っている状態の、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを検出し、前記位置及び前記向きを調整した前記保持部により、前記キャリアを保持し、前記移載部により、前記キャリアを前記研磨部の外部に移載する。
【0013】
この発明では、撮像部が取得した像には、研磨部における、実際の内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び実際の太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像が含まれる。このため、例えば、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、制御部は、この像に基づいて、内歯車及び太陽歯車に対する、これら内歯車及び太陽歯車に嵌め合うキャリアの沿面方向の位置、及び軸線周りの向きを検出する。さらに制御部は、これらの位置及び向きに基づいて、保持部の沿面方向の位置、及び軸線周りの向きを調整することにより、キャリアを保持部により保持しやすくなる。そして、保持部を有する移載部により、キャリアを研磨部の外部に移載させることができる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる。
なお、研磨部の外部に移載させたキャリアは、例えば、移載部によりセットテーブル等の台上に精度良く配置される。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる。
なお、研磨部の外部に移載させたキャリアは、例えば、移載部によりセットテーブル等の台上に精度良く配置される。
【0014】
（６）この発明の第３態様は、前記（１）から（５）のいずれかに記載の移載装置と、前記研磨部と、を備える研磨設備である。
この発明では、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせるか、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる移載装置を用いて、研磨設備を構成することができる。
この発明では、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせるか、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる移載装置を用いて、研磨設備を構成することができる。
【0015】
（７）この発明の第４態様は、定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部に、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合い可能な複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを移載させる移載方法であって、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを調整し、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部に前記キャリアの前記複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせる。
【0016】
この発明では、像には、研磨部における、実際の内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び実際の太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像が含まれる。このため、例えば、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、この像に基づいて、内歯車及び太陽歯車に対する、沿面方向のキャリアの位置、及び軸線周りのキャリアの向きを調整することにより、内歯車の複数の歯部及び太陽歯車の複数の歯部にキャリアの複数の歯部をそれぞれ嵌め合わせやすくなる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
【0017】
（８）この発明の第５態様は、定盤の支持面上で回転する内歯車及び太陽歯車を有し、基板の厚さ方向を向く面を研磨する遊星歯車装置式の研磨部から、平板状であって、外周縁に設けられ前記内歯車及び前記太陽歯車にそれぞれ嵌め合う複数の歯部、及び前記基板を収容する貫通孔が形成されたキャリアを、前記研磨部の外部に移載させる移載方法であって、前記内歯車の前記複数の歯部及び前記太陽歯車の前記複数の歯部にそれぞれ前記キャリアの前記複数の歯部が嵌め合っている状態の、前記内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び前記太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像に基づいて、前記内歯車及び前記太陽歯車に対する、前記支持面に沿う沿面方向の前記キャリアの位置、及び前記支持面に直交する軸線周りの前記キャリアの向きを検出し、前記位置及び前記向きを調整した保持部により、前記キャリアを保持し、前記キャリアを前記研磨部の外部に移載する。
【0018】
この発明では、像には、研磨部における、実際の内歯車の複数の歯部の少なくとも一部及び実際の太陽歯車の複数の歯部の少なくとも一部の像が含まれる。このため、例えば、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、この像に基づいて、内歯車及び太陽歯車に対する、これら内歯車及び太陽歯車に嵌め合うキャリアの沿面方向の位置、及び軸線周りの向きを検出する。さらに、これらの位置及び向きに基づいて、保持部の沿面方向の位置、及び軸線周りの向きを調整することにより、キャリアを保持部により保持しやすくなる。そして、保持部を移載することにより、キャリアを研磨部の外部に移載させることができる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる。
従って、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる。
【発明の効果】
【0019】
本発明の移載装置、研磨設備、及び移載方法によれば、内歯車、太陽歯車、及び移載部に停止誤差がある場合でも、内歯車及び太陽歯車にキャリアをそれぞれ容易に嵌め合わせるか、内歯車及び太陽歯車にキャリアがそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリアを研磨部の外部に容易に移載させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0020】
【図1】本発明の一実施形態の研磨設備の概略構成を示す図である。
【図2】同研磨設備における研磨部の拡大図である。
【図3】同研磨設備における第２搬送装置の斜視図である。
【図4】同研磨設備における保持部の斜視図である。
【図6】吸着パッドが潰れる前後の状態を説明する図である。
【図7】セットテーブル上にキャリア及び基板が配置された状態を示す断面図である。
【図8】同保持部によりキャリア及び基板を保持した状態の断面図である。
【図9】本発明の一実施形態の移載方法が用いられる研磨方法を示すフローチャートである。
【図10】同研磨方法における準備工程を説明する図である。
【図11】第１基準像の一例を示す図である。
【図12】第２基準像の一例を示す図である。
【図13】同研磨方法において移載工程を説明する図である。
【図14】同研磨方法の第１移載方法において第１移動量算出工程を説明する図である。
【図15】同第１移載方法において嵌め合わせ工程を説明する図である。
【図16】基準位置における内歯車、太陽歯車、及びキャリアの位置の一例を示す図である。
【図17】基準位置から内歯車及び太陽歯車が変位する一例を示す図である。
【図18】基準位置から内歯車及び太陽歯車が変位する他の例を示す図である。
【図19】太陽歯車を固定した場合の、キャリアの公転を説明する図である。
【図20】太陽歯車を固定した場合の、キャリアの自転を説明する図である。
【図21】各歯部に設定される座標等を説明する図である。
【図22】保持部の中心から基準像における各歯部までの距離等を説明する図である。
【図23】第１基準像の第１歯部３７の像と実際の第１歯部の像とを一致させた状態を説明する図である。
【図24】変換ｅＴｅ’を行う前の、第１基準像における歯部の位置と実際の歯部の位置とを説明する図である。
【図25】変換ｅＴｅ’を行った後の、第１基準像における歯部の位置と実際の歯部の位置とを説明する図である。
【図26】距離（ｄｓ１ｘ－ｄｉ１ｘ，ｄｓ１ｙ－ｄｉ１ｙ）を説明する図である。
【図27】角度（△ψｉ－△ψｓ）を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【0021】
【0022】
（１．研磨設備）
図１に示す研磨設備１は、基板２００の厚さ方向を向く面を研磨するための設備である。例えば、図１及び図２に示すように、基板２００は、基板２００の厚さ方向から見たときに円形状を呈する平板状に形成される。例えば、基板２００は、シリコン製である。
なお、図２中に、基板２００、後述するキャリア２０５を保持する、第１保持部５２及び第２保持部５３を示す。基板は、ガラス製等でもよい。
以下では、研磨設備１により研磨される前の基板２００を、基板２００Ａとも言う。研磨設備１により研磨された後の基板２００を、基板２００Ｂとも言う。例えば、基板２００Ａの厚さは、７８０μｍ（マイクロメートル）である。基板２００Ｂの厚さは、７７０μｍである。
図１に示す研磨設備１は、基板２００の厚さ方向を向く面を研磨するための設備である。例えば、図１及び図２に示すように、基板２００は、基板２００の厚さ方向から見たときに円形状を呈する平板状に形成される。例えば、基板２００は、シリコン製である。
なお、図２中に、基板２００、後述するキャリア２０５を保持する、第１保持部５２及び第２保持部５３を示す。基板は、ガラス製等でもよい。
以下では、研磨設備１により研磨される前の基板２００を、基板２００Ａとも言う。研磨設備１により研磨された後の基板２００を、基板２００Ｂとも言う。例えば、基板２００Ａの厚さは、７８０μｍ（マイクロメートル）である。基板２００Ｂの厚さは、７７０μｍである。
【0023】
キャリア２０５は、キャリア２０５の厚さ方向から見たときに円形状を呈する平板状に形成される。キャリア２０５には、複数（本実施形態では３つ）の貫通孔２０６が設けられる。複数の貫通孔２０６は、キャリア２０５の中心軸回りに等角度ごとに形成される。複数の貫通孔２０６は、キャリア２０５を厚さ方向に貫通する。貫通孔２０６の径及び基板２００の径は、互いに同等である。基板２００は、貫通孔２０６内に収容される。このとき、キャリア２０５の厚さ方向と、基板２００の厚さ方向とが一致する。
図２に示すように、キャリア２０５の外周縁には、複数の歯部２０７が設けられる。複数の歯部２０７は、外歯である。キャリア２０５の周方向に隣り合う歯部２０７の間には、半円状の窪み２０８が形成される。
図２に示すように、キャリア２０５の外周縁には、複数の歯部２０７が設けられる。複数の歯部２０７は、外歯である。キャリア２０５の周方向に隣り合う歯部２０７の間には、半円状の窪み２０８が形成される。
【0024】
例えば、キャリア２０５の外径は７２０ｍｍ、厚さは７７０μｍである。キャリア２０５は、ステンレス鋼等で形成される。
平坦な支持面等の上で、キャリア２０５の貫通孔２０６内に基板２００を収容するときには、キャリア２０５及び基板２００は撓んでいない。このとき、キャリア２０５の下面と基板２００の下面とはほぼ面一であり、キャリア２０５の上面と基板２００の上面とはほぼ面一である。
なお、キャリア２０５に設けられる貫通孔２０６の数に制限は無く、貫通孔２０６の数は１つでもよい。
平坦な支持面等の上で、キャリア２０５の貫通孔２０６内に基板２００を収容するときには、キャリア２０５及び基板２００は撓んでいない。このとき、キャリア２０５の下面と基板２００の下面とはほぼ面一であり、キャリア２０５の上面と基板２００の上面とはほぼ面一である。
なお、キャリア２０５に設けられる貫通孔２０６の数に制限は無く、貫通孔２０６の数は１つでもよい。
【0025】
図１に示すように、この研磨設備１は、搬入バスケット１０と、搬出バスケット１５と、セットテーブル２０と、第１搬送装置２５と、研磨装置３０と、主制御部８０と、を備える。
搬入バスケット１０は、基板２００Ａを収容した状態で、図示しない搬入装置により研磨設備１に搬入される。搬出バスケット１５は、基板２００Ｂを収容した状態で、図示しない搬出装置により研磨設備１から搬出される。
搬入バスケット１０は、基板２００Ａを収容した状態で、図示しない搬入装置により研磨設備１に搬入される。搬出バスケット１５は、基板２００Ｂを収容した状態で、図示しない搬出装置により研磨設備１から搬出される。
【0026】
セットテーブル２０は、基板２００及びキャリア２０５を置くための台である。図７に示すように、セットテーブル２０の上面２１は水平面に沿う。上面２１は、平坦である。
図１に示すように、例えば、第１搬送装置２５は、マニピュレータである。第１搬送装置２５は、バスケット１０，１５とセットテーブル２０との間で基板２００を搬送する。
図１に示すように、例えば、第１搬送装置２５は、マニピュレータである。第１搬送装置２５は、バスケット１０，１５とセットテーブル２０との間で基板２００を搬送する。
【0027】
研磨装置３０は、研磨部３１と、本実施形態の第２搬送装置（移載装置）４６と、を有する。
本実施形態の研磨部３１は、遊星歯車装置式である。図１及び図２に示すように、研磨部３１は、第１定盤（定盤）３２と、太陽歯車３３と、内歯車３４と、第２定盤（不図示）と、を有する。
例えば、第１定盤３２の第１支持面（支持面）３２ａは、水平面に沿うように配置される。第１支持面３２ａは、平坦である。以下では、第１支持面３２ａに沿う方向を、沿面方向と言う。沿面方向には、第１支持面３２ａに沿う一方向である第１沿面方向と、第１支持面３２ａに沿うとともに第１沿面方向に直交する第２沿面方向とが含まれる。
第１定盤３２は、上下方向に沿い、第１支持面３２ａに直交する第１軸線Ｏ１周りの第１の向きに回転する。
本実施形態の研磨部３１は、遊星歯車装置式である。図１及び図２に示すように、研磨部３１は、第１定盤（定盤）３２と、太陽歯車３３と、内歯車３４と、第２定盤（不図示）と、を有する。
例えば、第１定盤３２の第１支持面（支持面）３２ａは、水平面に沿うように配置される。第１支持面３２ａは、平坦である。以下では、第１支持面３２ａに沿う方向を、沿面方向と言う。沿面方向には、第１支持面３２ａに沿う一方向である第１沿面方向と、第１支持面３２ａに沿うとともに第１沿面方向に直交する第２沿面方向とが含まれる。
第１定盤３２は、上下方向に沿い、第１支持面３２ａに直交する第１軸線Ｏ１周りの第１の向きに回転する。
【0028】
太陽歯車３３は、第１支持面３２ａ上に第１軸線Ｏ１と同軸に配置される。図２に示すように、太陽歯車３３の外周縁には、複数の歯部３７が設けられる。例えば、複数の歯部３７は、円柱状の外歯である。複数の歯部３７は、太陽歯車３３の周方向に互いに間隔を空けて配置される。太陽歯車３３は、第１支持面３２ａ上で回転する。複数の歯部３７は、キャリア２０５の複数の歯部２０７に嵌め合う。太陽歯車３３は、キャリア２０５に内接する。
内歯車３４の内周縁には、複数の歯部３９が設けられる。複数の歯部３９は、円柱状の内歯である。複数の歯部３９は、内歯車３４の周方向に互いに間隔を空けて配置される。内歯車３４は、第１支持面３２ａ上で回転する。複数の歯部３９は、キャリア２０５の複数の歯部２０７に嵌め合う。内歯車３４は、キャリア２０５に外接する。
内歯車３４の内周縁には、複数の歯部３９が設けられる。複数の歯部３９は、円柱状の内歯である。複数の歯部３９は、内歯車３４の周方向に互いに間隔を空けて配置される。内歯車３４は、第１支持面３２ａ上で回転する。複数の歯部３９は、キャリア２０５の複数の歯部２０７に嵌め合う。内歯車３４は、キャリア２０５に外接する。
【0029】
第２定盤は、第１定盤３２とともに太陽歯車３３及び内歯車３４を挟む挟み状態と、太陽歯車３３及び内歯車３４から離間した退避状態と、の間で切り替えできる。
挟み状態の第２定盤は、第１軸線Ｏ１と同軸に配置され、第１軸線Ｏ１周りの前記第１の向きとは反対の第２の向きに回転する。
挟み状態の第２定盤は、第１軸線Ｏ１と同軸に配置され、第１軸線Ｏ１周りの前記第１の向きとは反対の第２の向きに回転する。
【0030】
第２搬送装置４６は、研磨部３１にキャリア２０５を移載させる。図３及び図４に示すように、第２搬送装置４６は、マニピュレータ（移載部）４７と、撮像部５４と、後述する第１制御部８１（図１参照）と、を有する。
マニピュレータ４７は、キャリア２０５及び複数の基板２００を移載させる。マニピュレータ４７は、複数のリンク４８と、複数の関節４９と、保持部５０とを有する、いわゆる多関節ロボットである。
図３に示すように、複数のリンク４８は、連結軸Ｏ３に沿って並べて配置されている。以下では、複数のリンク４８のうち連結軸Ｏ３に沿った最も第１側のリンク４８を、先端リンク４８Ａとも言う。複数のリンク４８のうち連結軸Ｏ３に沿った最も第１側とは反対側の第２側のリンク４８を、基端リンク４８Ｂとも言う。
各関節４９は、連結軸Ｏ３に沿って隣り合う複数のリンク４８の端部同士を回転可能に連結する。先端リンク４８Ａには、保持部５０が設けられている。基端リンク４８Ｂは、設置面Ｆにより支持されている。
複数の関節４９により、保持部５０は、研磨部３１の内歯車３４及び太陽歯車３３に対して、キャリア２０５及び複数の基板２００を、沿面方向、及び後述する第２軸線Ｏ５周りに移載可能である。
なお、第２搬送装置が備える関節４９の数に制限は無い。
マニピュレータ４７は、キャリア２０５及び複数の基板２００を移載させる。マニピュレータ４７は、複数のリンク４８と、複数の関節４９と、保持部５０とを有する、いわゆる多関節ロボットである。
図３に示すように、複数のリンク４８は、連結軸Ｏ３に沿って並べて配置されている。以下では、複数のリンク４８のうち連結軸Ｏ３に沿った最も第１側のリンク４８を、先端リンク４８Ａとも言う。複数のリンク４８のうち連結軸Ｏ３に沿った最も第１側とは反対側の第２側のリンク４８を、基端リンク４８Ｂとも言う。
各関節４９は、連結軸Ｏ３に沿って隣り合う複数のリンク４８の端部同士を回転可能に連結する。先端リンク４８Ａには、保持部５０が設けられている。基端リンク４８Ｂは、設置面Ｆにより支持されている。
複数の関節４９により、保持部５０は、研磨部３１の内歯車３４及び太陽歯車３３に対して、キャリア２０５及び複数の基板２００を、沿面方向、及び後述する第２軸線Ｏ５周りに移載可能である。
なお、第２搬送装置が備える関節４９の数に制限は無い。
【0031】
保持部５０は、キャリア２０５及び複数の基板２００を着脱可能に保持する。
図４及び図５に示すように、保持部５０は、フレーム５１と、第１保持部５２と、第２保持部５３と、吸引部（不図示）と、を有する。
フレーム５１は、第２軸線（軸線）Ｏ５に対して複数回の回転対称（本実施形態では３回対称）に形成される。なお、第１保持部５２及び複数の第２保持部５３は、フレーム５１の径方向に沿う同一直線上には配置されていないが、図５では、第１保持部５２及び複数の第２保持部５３の保持部５０の周方向における位置を変えて示している。
図５に示すように、フレーム５１は、天板５７と、第１周壁５８と、第２周壁５９と、第１底板６０と、第２底板６１と、を有する。
天板５７は、円板状に形成される。天板５７は、複数のリンク４８及び複数の関節４９により、水平面に沿うように支持される。
図４及び図５に示すように、保持部５０は、フレーム５１と、第１保持部５２と、第２保持部５３と、吸引部（不図示）と、を有する。
フレーム５１は、第２軸線（軸線）Ｏ５に対して複数回の回転対称（本実施形態では３回対称）に形成される。なお、第１保持部５２及び複数の第２保持部５３は、フレーム５１の径方向に沿う同一直線上には配置されていないが、図５では、第１保持部５２及び複数の第２保持部５３の保持部５０の周方向における位置を変えて示している。
図５に示すように、フレーム５１は、天板５７と、第１周壁５８と、第２周壁５９と、第１底板６０と、第２底板６１と、を有する。
天板５７は、円板状に形成される。天板５７は、複数のリンク４８及び複数の関節４９により、水平面に沿うように支持される。
【0032】
第１周壁５８は、筒状に形成され、第２軸線Ｏ５と同軸に配置される。第１周壁５８は、天板５７の下面に固定される。
第２周壁５９は、筒状に形成され、第２軸線Ｏ５と同軸に配置される。第２周壁５９は、第１周壁５８を外側から囲い、天板５７の外周縁の下面に固定される。前記第１周壁５８の下端は、第２周壁５９の下端よりも下方に突出している。
第１底板６０は、円板状に形成され、第１周壁５８内に配置される。第１底板６０は、第１周壁５８における上下方向の中間部に固定される。
第２底板６１は、環状に形成され、第１周壁５８と第２周壁５９との間に配置される。第２底板６１は、第１周壁５８の下端部及び第２周壁５９の下端にそれぞれ固定される。第２底板６１には、複数の連通孔６１ａが形成される。
第２周壁５９は、筒状に形成され、第２軸線Ｏ５と同軸に配置される。第２周壁５９は、第１周壁５８を外側から囲い、天板５７の外周縁の下面に固定される。前記第１周壁５８の下端は、第２周壁５９の下端よりも下方に突出している。
第１底板６０は、円板状に形成され、第１周壁５８内に配置される。第１底板６０は、第１周壁５８における上下方向の中間部に固定される。
第２底板６１は、環状に形成され、第１周壁５８と第２周壁５９との間に配置される。第２底板６１は、第１周壁５８の下端部及び第２周壁５９の下端にそれぞれ固定される。第２底板６１には、複数の連通孔６１ａが形成される。
【0033】
図４に示すように、保持部５０は、第１保持部５２を複数有する。複数の第１保持部５２は、第２軸線Ｏ５回りに互いに間隔を空けて配置される。複数の第１保持部５２は、キャリア２０５の外周部を厚さ方向から保持する。ここで言う外周部とは、円形状の保持対象の半径をｒとしたときに、保持対象の外周縁から中心に向かって（０．４ｒ）の範囲のことを意味する。このとき、キャリア２０５は、キャリア２０５の中心軸がフレーム５１の第２軸線Ｏ５に一致するように、複数の第１保持部５２に保持される。
図５に示すように、各第１保持部５２は、第１本体６４と、第１移動部６５と、を有する。第１移動部６５は、吸着パッド６７と、可動管６８と、を有する。
吸着パッド６７は、合成ゴム等の弾性を有する材料でコーン状（円錐面状）に形成される。吸着パッド６７は、下方に向かうに従い漸次、外径が大きくなるように配置される。
可動管６８は、吸着パッド６７から上方（厚さ方向の他方側）に向かって延びる。可動管６８内の空間は、吸着パッド６７の凹部に連なる。
例えば、可動管６８の上端部における外周面には、第１係合部６８ａが固定される。可動管６８における第１係合部６８ａよりも下方の部分は、第２底板６１の連通孔６１ａ内に配置される。
図５に示すように、各第１保持部５２は、第１本体６４と、第１移動部６５と、を有する。第１移動部６５は、吸着パッド６７と、可動管６８と、を有する。
吸着パッド６７は、合成ゴム等の弾性を有する材料でコーン状（円錐面状）に形成される。吸着パッド６７は、下方に向かうに従い漸次、外径が大きくなるように配置される。
可動管６８は、吸着パッド６７から上方（厚さ方向の他方側）に向かって延びる。可動管６８内の空間は、吸着パッド６７の凹部に連なる。
例えば、可動管６８の上端部における外周面には、第１係合部６８ａが固定される。可動管６８における第１係合部６８ａよりも下方の部分は、第２底板６１の連通孔６１ａ内に配置される。
【0034】
第１本体６４は、内径が可動管６８の外径よりも大きい管状である。第１本体６４は、Ｌ字状に折れている。第１本体６４の第１端部６４ａは上下方向に沿って延びている。例えば、第１端部６４ａの下端の内周面には、第２係合部６４ｂが固定される。第２係合部６４ｂは、第１本体６４の第１端部６４ａの全周にわたって形成される。第２係合部６４ｂは、第１係合部６８ａを、第１係合部６８ａの下方から支持する。第２係合部６４ｂと可動管６８との間は、気密に封止される。可動管６８は、第２係合部６４ｂ（第１本体６４の第１端部６４ａ）に対して上下方向に移動できる。
第１本体６４は、フレーム５１の第２底板６１等に固定される。図５に示す状態から、第１本体６４に対して可動管６８が下方に移動することはできない。一方で、図５に示す状態から、第１本体６４に対して可動管６８が上方に移動できる。
第１本体６４は、フレーム５１の第２底板６１等に固定される。図５に示す状態から、第１本体６４に対して可動管６８が下方に移動することはできない。一方で、図５に示す状態から、第１本体６４に対して可動管６８が上方に移動できる。
【0035】
図６に示すように、第１保持部５２の吸着パッド６７の下端をキャリア２０５の外周部の上面に接触させる。
吸着パッド６７の凹部内の空気を吸引すると、二点鎖線Ｌ１で示すように吸着パッド６７が潰れるように変形し、吸着パッド６７に接触していたキャリア２０５が吸着パッド６７に保持される。
吸着パッド６７の凹部内の空気を吸引すると、二点鎖線Ｌ１で示すように吸着パッド６７が潰れるように変形し、吸着パッド６７に接触していたキャリア２０５が吸着パッド６７に保持される。
【0036】
図７に、セットテーブル２０の上面２１上に、キャリア２０５及び基板２００が配置された状態を示す。基板２００は、キャリア２０５の貫通孔２０６内に収容される。
この状態のキャリア２０５及び基板２００に対して、上方から保持部５０を近づけ、第１保持部５２の吸着パッド６７をキャリア２０５の外周部の上面に接触させる。
吸着パッド６７の凹部内の空気を吸引すると、第１保持部５２の潰れた吸着パッド６７が、キャリア２０５の外周部を保持する。このとき、可動管６８の第１係合部６８ａは、第１本体６４の第２係合部６４ｂから上方に離間する。
このときの、フレーム５１に対する潰れた吸着パッド６７の下端の位置を、基準位置Ｐ５２１と言う。基準位置Ｐ５２１は、フレーム５１に対する、潰れた吸着パッド６７の下端における、吸着パッド６７の周方向の平均位置であることが好ましい。
この状態のキャリア２０５及び基板２００に対して、上方から保持部５０を近づけ、第１保持部５２の吸着パッド６７をキャリア２０５の外周部の上面に接触させる。
吸着パッド６７の凹部内の空気を吸引すると、第１保持部５２の潰れた吸着パッド６７が、キャリア２０５の外周部を保持する。このとき、可動管６８の第１係合部６８ａは、第１本体６４の第２係合部６４ｂから上方に離間する。
このときの、フレーム５１に対する潰れた吸着パッド６７の下端の位置を、基準位置Ｐ５２１と言う。基準位置Ｐ５２１は、フレーム５１に対する、潰れた吸着パッド６７の下端における、吸着パッド６７の周方向の平均位置であることが好ましい。
【0037】
この状態から、マニピュレータ４７により保持部５０を上方に移動させると、図８に示すように、第１保持部５２に保持されたキャリア２０５が、セットテーブル２０の上面２１から上方に離間する。キャリア２０５、吸着パッド６７等に作用する重力により、第１保持部５２の第１本体６４に対してキャリア２０５、吸着パッド６７等が下方に移動する。可動管６８の第１係合部６８ａが第１本体６４の第２係合部６４ｂに、第２係合部６４ｂの上方から係止すると、第１本体６４（フレーム５１）に対してキャリア２０５、吸着パッド６７等が、これ以上下方に移動できなくなる。
キャリア２０５を保持して潰れ、フレーム５１に対して下方に移動できなくなったときの、フレーム５１に対する吸着パッド６７の下端の位置を、下端位置Ｐ５２２と言う。下端位置Ｐ５２２は、第１保持部５２の吸着パッド６７の移動範囲における下方の端の位置である。
図６中に、吸着パッド６７の基準位置Ｐ５２１を、二点鎖線Ｌ４で示す。以下では、潰れた吸着パッド６７における、基準位置Ｐ５２１と下端位置Ｐ５２２との上下方向の距離を、伸長距離Ｍ５２と言う。伸長距離Ｍ５２は、第１保持部５２がキャリア２０５を保持した状態から、第１保持部５２が下方（厚さ方向の一方側）に伸びる長さである。
このように、第１保持部５２は、キャリア２０５を保持した状態から下方に向かって伸びることができる。
キャリア２０５を保持して潰れ、フレーム５１に対して下方に移動できなくなったときの、フレーム５１に対する吸着パッド６７の下端の位置を、下端位置Ｐ５２２と言う。下端位置Ｐ５２２は、第１保持部５２の吸着パッド６７の移動範囲における下方の端の位置である。
図６中に、吸着パッド６７の基準位置Ｐ５２１を、二点鎖線Ｌ４で示す。以下では、潰れた吸着パッド６７における、基準位置Ｐ５２１と下端位置Ｐ５２２との上下方向の距離を、伸長距離Ｍ５２と言う。伸長距離Ｍ５２は、第１保持部５２がキャリア２０５を保持した状態から、第１保持部５２が下方（厚さ方向の一方側）に伸びる長さである。
このように、第１保持部５２は、キャリア２０５を保持した状態から下方に向かって伸びることができる。
【0038】
第２保持部５３は、キャリア２０５の貫通孔２０６内の基板２００を、上下方向から保持する。図４及び図５に示すように、保持部５０は、第２保持部５３として、第２保持部５３Ａ、第２保持部５３Ｂ、第２保持部５３Ｃを有する。
第２保持部５３Ａ，５３Ｂは、伸長距離Ｍ５２の設定以外は第１保持部５２と同一の構成である。
図５に示すように、第２保持部５３Ａは、第１保持部５２の第１本体６４、第１移動部６５、吸着パッド６７、可動管６８と略同一の構成の、第２本体７１Ａ、第２移動部７２Ａ、吸着パッド７４Ａ、可動管７５Ａを有する。
第２移動部７２Ａは、第２本体７１Ａに対して上下方向に移動できる。第２移動部７２Ａの吸着パッド７４Ａは、基板２００を保持する。
第２保持部５３Ａの吸着パッド７４Ａに対しても、第１保持部５２の吸着パッド６７に対する基準位置Ｐ５２１、下端位置Ｐ５２２、伸長距離Ｍ５２と同様に、基準位置Ｐ５３Ａ１、下端位置Ｐ５３Ａ２、伸長距離Ｍ５３Ａがそれぞれ規定される（図７及び図８参照）。
伸長距離Ｍ５３Ａは、第２保持部５３Ａが基板２００を保持した状態から、第２保持部５３Ａが下方に伸びる長さである。
第２保持部５３Ａ，５３Ｂは、伸長距離Ｍ５２の設定以外は第１保持部５２と同一の構成である。
図５に示すように、第２保持部５３Ａは、第１保持部５２の第１本体６４、第１移動部６５、吸着パッド６７、可動管６８と略同一の構成の、第２本体７１Ａ、第２移動部７２Ａ、吸着パッド７４Ａ、可動管７５Ａを有する。
第２移動部７２Ａは、第２本体７１Ａに対して上下方向に移動できる。第２移動部７２Ａの吸着パッド７４Ａは、基板２００を保持する。
第２保持部５３Ａの吸着パッド７４Ａに対しても、第１保持部５２の吸着パッド６７に対する基準位置Ｐ５２１、下端位置Ｐ５２２、伸長距離Ｍ５２と同様に、基準位置Ｐ５３Ａ１、下端位置Ｐ５３Ａ２、伸長距離Ｍ５３Ａがそれぞれ規定される（図７及び図８参照）。
伸長距離Ｍ５３Ａは、第２保持部５３Ａが基板２００を保持した状態から、第２保持部５３Ａが下方に伸びる長さである。
【0039】
第２保持部５３Ｂは、第１保持部５２の第１本体６４、第１移動部６５、吸着パッド６７、可動管６８と略同一の構成の、第２本体７１Ｂ、第２移動部７２Ｂ、吸着パッド７４Ｂ、可動管７５Ｂを有する。
第２移動部７２Ｂは、第２本体７１Ｂに対して上下方向に移動できる。第２移動部７２Ｂの吸着パッド７４Ｂは、基板２００を保持する。
第２保持部５３Ｂの吸着パッド７４Ｂに対しても、第１保持部５２の吸着パッド６７に対する基準位置Ｐ５２１、下端位置Ｐ５２２、伸長距離Ｍ５２と同様に、基準位置Ｐ５３Ｂ１、下端位置Ｐ５３Ｂ２、伸長距離Ｍ５３Ｂがそれぞれ規定される（図７及び図８参照）。
伸長距離Ｍ５３Ｂは、第２保持部５３Ｂが基板２００を保持した状態から、第２保持部５３Ｂが下方に伸びる長さである。
第２移動部７２Ｂは、第２本体７１Ｂに対して上下方向に移動できる。第２移動部７２Ｂの吸着パッド７４Ｂは、基板２００を保持する。
第２保持部５３Ｂの吸着パッド７４Ｂに対しても、第１保持部５２の吸着パッド６７に対する基準位置Ｐ５２１、下端位置Ｐ５２２、伸長距離Ｍ５２と同様に、基準位置Ｐ５３Ｂ１、下端位置Ｐ５３Ｂ２、伸長距離Ｍ５３Ｂがそれぞれ規定される（図７及び図８参照）。
伸長距離Ｍ５３Ｂは、第２保持部５３Ｂが基板２００を保持した状態から、第２保持部５３Ｂが下方に伸びる長さである。
【0040】
第２保持部５３Ｃは、第１本体６４の形状、伸長距離Ｍ５２の設定以外は第１保持部５２と同一の構成である。
図５に示すように、第２保持部５３Ｃは、第１保持部５２の第１移動部６５、吸着パッド６７、可動管６８と略同一の構成の、第２移動部７２Ｃ、吸着パッド７４Ｃ、可動管７５Ｃを有する。
第２保持部５３Ｃが有する第２本体７８Ｃは、真っすぐな管状である。第２本体７８Ｃは、上下方向に沿って延び、フレーム５１の第１底板６０に固定される。
以上のように、フレーム５１は、第１本体６４及び第２本体７１Ａ，７１Ｂ，７８Ｃを互いに連結する。
第２保持部５３Ｃの吸着パッド７４Ｃに対しても、第１保持部５２の吸着パッド６７に対する基準位置Ｐ５２１、下端位置Ｐ５２２、伸長距離Ｍ５２と同様に、基準位置Ｐ５３Ｃ１、下端位置Ｐ５３Ｃ２、伸長距離Ｍ５３Ｃがそれぞれ規定される（図７及び図８参照）。
伸長距離Ｍ５３Ｃは、第２保持部５３Ｃが基板２００を保持した状態から、第２保持部５３Ｃが下方に伸びる長さである。
図５に示すように、第２保持部５３Ｃは、第１保持部５２の第１移動部６５、吸着パッド６７、可動管６８と略同一の構成の、第２移動部７２Ｃ、吸着パッド７４Ｃ、可動管７５Ｃを有する。
第２保持部５３Ｃが有する第２本体７８Ｃは、真っすぐな管状である。第２本体７８Ｃは、上下方向に沿って延び、フレーム５１の第１底板６０に固定される。
以上のように、フレーム５１は、第１本体６４及び第２本体７１Ａ，７１Ｂ，７８Ｃを互いに連結する。
第２保持部５３Ｃの吸着パッド７４Ｃに対しても、第１保持部５２の吸着パッド６７に対する基準位置Ｐ５２１、下端位置Ｐ５２２、伸長距離Ｍ５２と同様に、基準位置Ｐ５３Ｃ１、下端位置Ｐ５３Ｃ２、伸長距離Ｍ５３Ｃがそれぞれ規定される（図７及び図８参照）。
伸長距離Ｍ５３Ｃは、第２保持部５３Ｃが基板２００を保持した状態から、第２保持部５３Ｃが下方に伸びる長さである。
【0041】
このように、第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃは、基板２００を保持した状態からそれぞれ下方に向かって伸びることができる。
図８に示す二点鎖線Ｌ４上に、基準位置Ｐ５３Ａ１，Ｐ５３Ｂ１，Ｐ５３Ｃ１が配置される。
図２及び図４に示すように、第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃは、各基板２００に対して、基板２００の軸線回りに等角度ごとに配置される。
本実施形態では、伸長距離Ｍ５３Ａ，Ｍ５３Ｂ，Ｍ５３Ｃは、互いに同等である。伸長距離Ｍ５２は、伸長距離Ｍ５３Ａ，Ｍ５３Ｂ，Ｍ５３Ｃよりも、キャリア２０５の厚さ（厚さ方向の長さ）を超えて長い。伸長距離Ｍ５２は、伸長距離Ｍ５３Ａ，Ｍ５３Ｂ，Ｍ５３Ｃよりも、キャリア２０５の厚さの２倍を超えて長いことが好ましい。
図８に示す二点鎖線Ｌ４上に、基準位置Ｐ５３Ａ１，Ｐ５３Ｂ１，Ｐ５３Ｃ１が配置される。
図２及び図４に示すように、第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃは、各基板２００に対して、基板２００の軸線回りに等角度ごとに配置される。
本実施形態では、伸長距離Ｍ５３Ａ，Ｍ５３Ｂ，Ｍ５３Ｃは、互いに同等である。伸長距離Ｍ５２は、伸長距離Ｍ５３Ａ，Ｍ５３Ｂ，Ｍ５３Ｃよりも、キャリア２０５の厚さ（厚さ方向の長さ）を超えて長い。伸長距離Ｍ５２は、伸長距離Ｍ５３Ａ，Ｍ５３Ｂ，Ｍ５３Ｃよりも、キャリア２０５の厚さの２倍を超えて長いことが好ましい。
【0042】
吸引部は、図示はしないが、吸引ポンプと、複数の開閉弁と、を有する。
吸引ポンプは、図示しないチューブにより第１本体６４、第２本体７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃにそれぞれ接続される。吸引ポンプは、チューブ、第１本体６４、第２本体７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ、可動管６８，７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃを通して吸着パッド６７，７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃの凹部内の空気を吸引できる。
複数の開閉弁は、複数のチューブを独立して開閉できる。
吸引ポンプは、図示しないチューブにより第１本体６４、第２本体７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃにそれぞれ接続される。吸引ポンプは、チューブ、第１本体６４、第２本体７１Ａ，７１Ｂ，７１Ｃ、可動管６８，７５Ａ，７５Ｂ，７５Ｃを通して吸着パッド６７，７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃの凹部内の空気を吸引できる。
複数の開閉弁は、複数のチューブを独立して開閉できる。
【0043】
図４に示すように、第２搬送装置４６は、撮像部５４として、第１撮像部５４Ａと、第２撮像部５４Ｂと、を有する。撮像部５４Ａ，５４Ｂは、フレーム５１の第２周壁５９に固定される。すなわち、撮像部５４Ａ，５４Ｂは、マニピュレータ４７の先端リンク４８Ａに設けられている。撮像部５４Ａ，５４Ｂは、フレーム５１を、フレーム５１の径方向に挟むように配置される。
撮像部５４Ａ，５４Ｂは、図示しない撮像素子をそれぞれ有する。撮像部５４Ａ，５４Ｂは、撮像部５４Ａ，５４Ｂに対して下方に配置された物の像を、前記撮像素子により取得する。具体的には、撮像部５４Ａ，５４Ｂは、内歯車３４の複数の歯部３９の少なくとも一部及び太陽歯車３３の複数の歯部３７の少なくとも一部の像を取得する。撮像部５４Ａ，５４Ｂが取得する像の詳細については、後述する研磨方法で詳しく説明する。
撮像部５４Ａ，５４Ｂは、取得した像を主制御部８０に送る。
撮像部５４Ａ，５４Ｂは、図示しない撮像素子をそれぞれ有する。撮像部５４Ａ，５４Ｂは、撮像部５４Ａ，５４Ｂに対して下方に配置された物の像を、前記撮像素子により取得する。具体的には、撮像部５４Ａ，５４Ｂは、内歯車３４の複数の歯部３９の少なくとも一部及び太陽歯車３３の複数の歯部３７の少なくとも一部の像を取得する。撮像部５４Ａ，５４Ｂが取得する像の詳細については、後述する研磨方法で詳しく説明する。
撮像部５４Ａ，５４Ｂは、取得した像を主制御部８０に送る。
【0044】
図１に示すように、第２搬送装置４６及びセットテーブル２０のそれぞれから近い位置には、複数のキャリア２０５が積み重ねられたストッカ８５がある。ストッカ８５にあるキャリア２０５には、基板２００が収容されていない。
主制御部８０は、図示はしないが、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、メモリ等を有する。メモリには、ＣＰＵを動作させるための制御プログラム等が記憶される。
主制御部８０は、第１搬送装置２５及び研磨装置３０に接続され、第１搬送装置２５及び研磨装置３０を制御する。
主制御部８０は、機能的に第１制御部（制御部）８１と、第２制御部８２と、を有する。
第１制御部８１は、研磨装置３０の第２搬送装置４６を制御する。第２制御部８２は、第１搬送装置２５、及び研磨装置３０の研磨部３１を制御する。
主制御部８０は、図示はしないが、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、メモリ等を有する。メモリには、ＣＰＵを動作させるための制御プログラム等が記憶される。
主制御部８０は、第１搬送装置２５及び研磨装置３０に接続され、第１搬送装置２５及び研磨装置３０を制御する。
主制御部８０は、機能的に第１制御部（制御部）８１と、第２制御部８２と、を有する。
第１制御部８１は、研磨装置３０の第２搬送装置４６を制御する。第２制御部８２は、第１搬送装置２５、及び研磨装置３０の研磨部３１を制御する。
【0045】
（２．研磨方法）
次に、以上のように構成された研磨設備１を用いた、研磨方法について説明する。この研磨方法では、本実施形態の第１移載方法（移載方法）を用いる。図９は、研磨方法Ｓを示すフローチャートである。
予め、準備工程（図９に示すステップＳ１）を行う。準備工程Ｓ１では、図１０に示すように、キャリア２０５の複数の歯部２０７を内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７に嵌め合わせておく。なお、図１０、及び後述する図１３から図１５では、キャリア２０５の複数の歯部２０７を示さず、内歯車３４の複数の歯部３９の一部、及び太陽歯車３３の複数の歯部３７の一部のみを示す。
太陽歯車３３の複数の歯部３７のピッチを、ＰＳと規定する。内歯車３４の複数の歯部３９のピッチを、ＰＩと規定する。ピッチＰＳ及びピッチＰＩは、互いに同等である。
内歯車３４及び太陽歯車３３に対してキャリア２０５を第２軸線Ｏ５周りのこの向きに配置すると、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５を嵌め合わせやすく、また、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５が嵌め合っている状態から、キャリア２０５を研磨部３１の外部に移載させやすい。
次に、以上のように構成された研磨設備１を用いた、研磨方法について説明する。この研磨方法では、本実施形態の第１移載方法（移載方法）を用いる。図９は、研磨方法Ｓを示すフローチャートである。
予め、準備工程（図９に示すステップＳ１）を行う。準備工程Ｓ１では、図１０に示すように、キャリア２０５の複数の歯部２０７を内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７に嵌め合わせておく。なお、図１０、及び後述する図１３から図１５では、キャリア２０５の複数の歯部２０７を示さず、内歯車３４の複数の歯部３９の一部、及び太陽歯車３３の複数の歯部３７の一部のみを示す。
太陽歯車３３の複数の歯部３７のピッチを、ＰＳと規定する。内歯車３４の複数の歯部３９のピッチを、ＰＩと規定する。ピッチＰＳ及びピッチＰＩは、互いに同等である。
内歯車３４及び太陽歯車３３に対してキャリア２０５を第２軸線Ｏ５周りのこの向きに配置すると、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５を嵌め合わせやすく、また、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５が嵌め合っている状態から、キャリア２０５を研磨部３１の外部に移載させやすい。
【0046】
本実施形態では、太陽歯車３３の複数の歯部３７の中で、研磨方法による制御で、周方向に隣り合う２本の歯部３７Ａ（太陽歯車３３の複数の歯部３７の少なくとも一部）が用いられる。内歯車３４の複数の歯部３９の中で、研磨方法による制御で、１本の歯部３９Ａ（内歯車３４の複数の歯部３９の少なくとも一部）が用いられる。
第１支持面３２ａ上における第１撮像部５４Ａの撮像範囲ＲＡには、２本の歯部３７Ａが含まれる。すなわち、第１撮像部５４Ａは、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像を取得する。第１撮像部５４Ａが取得した太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像を、第１基準像ＩＳと規定する。第１基準像ＩＳの一例を、図１１に示す。
図１０に示すように、第１支持面３２ａ上における第２撮像部５４Ｂの撮像範囲ＲＢには、１本の歯部３９Ａが含まれる。すなわち、第２撮像部５４Ｂは、内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像を取得する。第２撮像部５４Ｂが取得した内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像を、第２基準像ＩＩと規定する。第２基準像ＩＩの一例を、図１２に示す。
以下では、基準像ＩＳ，ＩＩが取得されたときの、沿面方向の内歯車３４及び太陽歯車３３の位置を、基準位置と言う。基準像ＩＳ，ＩＩが取得されたときの、第２軸線Ｏ５周りの内歯車３４及び太陽歯車３３の向きを、基準向きと言う。
第１支持面３２ａ上における第１撮像部５４Ａの撮像範囲ＲＡには、２本の歯部３７Ａが含まれる。すなわち、第１撮像部５４Ａは、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像を取得する。第１撮像部５４Ａが取得した太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像を、第１基準像ＩＳと規定する。第１基準像ＩＳの一例を、図１１に示す。
図１０に示すように、第１支持面３２ａ上における第２撮像部５４Ｂの撮像範囲ＲＢには、１本の歯部３９Ａが含まれる。すなわち、第２撮像部５４Ｂは、内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像を取得する。第２撮像部５４Ｂが取得した内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像を、第２基準像ＩＩと規定する。第２基準像ＩＩの一例を、図１２に示す。
以下では、基準像ＩＳ，ＩＩが取得されたときの、沿面方向の内歯車３４及び太陽歯車３３の位置を、基準位置と言う。基準像ＩＳ，ＩＩが取得されたときの、第２軸線Ｏ５周りの内歯車３４及び太陽歯車３３の向きを、基準向きと言う。
【0047】
なお、研磨方法における制御で用いられる太陽歯車３３の複数の歯部３７の少なくとも一部は、１本の歯部３７でもよいし、３本以上の歯部３７でもよい。
同様に、研磨方法における制御で用いられる内歯車３４の複数の歯部３９の少なくとも一部は、２本以上の歯部３９でもよい。
同様に、研磨方法における制御で用いられる内歯車３４の複数の歯部３９の少なくとも一部は、２本以上の歯部３９でもよい。
【0048】
以下では、互いに嵌め合う内歯車３４、太陽歯車３３、キャリア２０５の位置、及び２本の歯部３７Ａが第１撮像部５４Ａの撮像範囲ＲＡに含まれ、１本の歯部３９Ａが第２撮像部５４Ｂの撮像範囲ＲＢに含まれた撮像部５４Ａ，５４Ｂの位置を、基準位置と言う。撮像部５４Ａ，５４Ｂが基準位置にあるときには、撮像部５４Ａ，５４Ｂは、２本の歯部３７Ａ、１本の歯部３９Ａに対向するように配置される。
図１０に、２本の歯部３７Ａ、１本の歯部３９Ａに対応する基準位置Ｐ３７Ａ１，Ｐ３９Ａ１を示す。撮像部５４Ａ，５４Ｂに対応する基準位置Ｐ５４Ａ１，Ｐ５４Ｂ１を示す。
図１０に、２本の歯部３７Ａ、１本の歯部３９Ａに対応する基準位置Ｐ３７Ａ１，Ｐ３９Ａ１を示す。撮像部５４Ａ，５４Ｂに対応する基準位置Ｐ５４Ａ１，Ｐ５４Ｂ１を示す。
【0049】
基準像ＩＳ，ＩＩが取得された後で、研磨装置３０が適宜使用されるが、研磨部３１の内歯車３４、太陽歯車３３、及び第２搬送装置４６の撮像部５４は、研磨部３１にキャリア２０５を載置したり、研磨部３１の外部にキャリア２０５を移載させる際に、基準位置に配置される。この際に、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に、基準像ＩＳ，ＩＩを取得したときの位置に対して停止誤差が生じる場合がある。しかし、この停止誤差の合計は、例えば、歯部３７のピッチＰＳの半分よりも小さい。
すなわち、制御対象となる２本の歯部３７Ａ、１本の歯部３９Ａは、撮像範囲ＲＡ，ＲＢ内で、ピッチＰＳの半分よりもずれない。
すなわち、制御対象となる２本の歯部３７Ａ、１本の歯部３９Ａは、撮像範囲ＲＡ，ＲＢ内で、ピッチＰＳの半分よりもずれない。
【0050】
搬入装置により、基板２００Ａを収容した搬入バスケット１０を搬送しておく。研磨部３１の第２定盤は、退避状態になっている。
第１制御部８１は、マニピュレータ４７の吸引部を駆動し、複数の開閉弁を閉じた状態にする。
第１制御部８１は、マニピュレータ４７の吸引部を駆動し、複数の開閉弁を閉じた状態にする。
【0051】
次に、前記第１移載方法（ステップＳ５）を行う。第１移載方法Ｓ５では、キャリア２０５と、キャリア２０５の貫通孔２０６内に収容される基板２００Ａとを、セットテーブル２０から研磨部３１に移載させる。
まず、第１収容工程（ステップＳ６）において、第２制御部８２は、第１搬送装置２５により、搬入バスケット１０内の基板２００Ａを、セットテーブル２０上のキャリア２０５の貫通孔２０６に収容する。
第１収容工程Ｓ６が終了すると、ステップＳ７に移行する。
まず、第１収容工程（ステップＳ６）において、第２制御部８２は、第１搬送装置２５により、搬入バスケット１０内の基板２００Ａを、セットテーブル２０上のキャリア２０５の貫通孔２０６に収容する。
第１収容工程Ｓ６が終了すると、ステップＳ７に移行する。
【0052】
次に、移載工程（ステップＳ７）において、第２搬送装置４６により、キャリア２０５の外周部及び基板２００Ａを、キャリア２０５及び基板２００Ａが互いに離間するようにそれぞれ保持する。
具体的には、第１制御部８１はマニピュレータ４７により、図７に示すように、セットテーブル２０上のキャリア２０５及び基板２００に対して、上方から保持部５０を近づけ、第１保持部５２の吸着パッド６７を、キャリア２０５の外周部の上面に接触させる。第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃの吸着パッド７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃを、基板２００Ａの上面に接触させる。
複数の開閉弁を開いた状態にすると、吸着パッド６７，７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃの凹部内の空気がそれぞれ吸引され、吸着パッド６７，７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃが潰れるように変形する。第１保持部５２の潰れた吸着パッド６７により、キャリア２０５の外周部が上方から保持され、第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃの潰れた吸着パッド７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃにより、基板２００Ａの外周部が上方から保持される。
具体的には、第１制御部８１はマニピュレータ４７により、図７に示すように、セットテーブル２０上のキャリア２０５及び基板２００に対して、上方から保持部５０を近づけ、第１保持部５２の吸着パッド６７を、キャリア２０５の外周部の上面に接触させる。第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃの吸着パッド７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃを、基板２００Ａの上面に接触させる。
複数の開閉弁を開いた状態にすると、吸着パッド６７，７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃの凹部内の空気がそれぞれ吸引され、吸着パッド６７，７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃが潰れるように変形する。第１保持部５２の潰れた吸着パッド６７により、キャリア２０５の外周部が上方から保持され、第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃの潰れた吸着パッド７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃにより、基板２００Ａの外周部が上方から保持される。
【0053】
そして、マニピュレータ４７により保持部５０を上方に移動させると、図８に示すように、保持部５２，５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃに保持されたキャリア２０５、基板２００Ａが、セットテーブル２０の上面２１から上方に離間する。
このとき、伸長距離Ｍ５２は、伸長距離Ｍ５３Ａ，Ｍ５３Ｂ，Ｍ５３Ｃよりもキャリア２０５の厚さを超えて長い。このため、第１保持部５２により保持されたキャリア２０５が湾曲しない場合であっても、キャリア２０５は、基板２００Ａよりもキャリア２０５の厚さを超えて下方に移動し、キャリア２０５の上面が二点鎖線Ｌ５で示す位置に配置される。第１保持部５２に保持されるキャリア２０５及び第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃに保持される基板２００Ａが、互いに離間する。
このとき、伸長距離Ｍ５２は、伸長距離Ｍ５３Ａ，Ｍ５３Ｂ，Ｍ５３Ｃよりもキャリア２０５の厚さを超えて長い。このため、第１保持部５２により保持されたキャリア２０５が湾曲しない場合であっても、キャリア２０５は、基板２００Ａよりもキャリア２０５の厚さを超えて下方に移動し、キャリア２０５の上面が二点鎖線Ｌ５で示す位置に配置される。第１保持部５２に保持されるキャリア２０５及び第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃに保持される基板２００Ａが、互いに離間する。
【0054】
さらに、キャリア２０５の中央部（キャリア２０５における厚さ方向に見たときの中央部）は、キャリア２０５に作用する重力により下方に向かって凸となるように湾曲する。
この場合、湾曲するキャリア２０５の変位の最大値（図８中に示す最大撓み量Ｍ１）は、シミュレーションにより２ｍｍ程度であることが分かっている。
キャリア２０５が下方に向かって凸となるように湾曲することにより、第１保持部５２に保持されるキャリア２０５及び第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃに保持される基板２００Ａが、互いにさらに離間する。
このように、本実施形態では、移載工程Ｓ７では、キャリア２０５よりも基板２００Ａが上方に位置するように保持する。
図１３に示すように、撮像部５４Ａ，５４Ｂを、２本の歯部３７Ａ、１本の歯部３９Ａに対向するようにそれぞれ配置し、内歯車３４、太陽歯車３３、キャリア２０５、及び撮像部５４Ａ，５４Ｂを、基準位置に配置する。このとき、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差が生じているとする。停止誤差が生じているときの、撮像部５４Ａ，５４Ｂに対応する位置を、初期位置Ｐ５４Ａ２，Ｐ５４Ｂ２と言う。
移載工程Ｓ７が終了すると、ステップＳ１０に移行する。
この場合、湾曲するキャリア２０５の変位の最大値（図８中に示す最大撓み量Ｍ１）は、シミュレーションにより２ｍｍ程度であることが分かっている。
キャリア２０５が下方に向かって凸となるように湾曲することにより、第１保持部５２に保持されるキャリア２０５及び第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃに保持される基板２００Ａが、互いにさらに離間する。
このように、本実施形態では、移載工程Ｓ７では、キャリア２０５よりも基板２００Ａが上方に位置するように保持する。
図１３に示すように、撮像部５４Ａ，５４Ｂを、２本の歯部３７Ａ、１本の歯部３９Ａに対向するようにそれぞれ配置し、内歯車３４、太陽歯車３３、キャリア２０５、及び撮像部５４Ａ，５４Ｂを、基準位置に配置する。このとき、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差が生じているとする。停止誤差が生じているときの、撮像部５４Ａ，５４Ｂに対応する位置を、初期位置Ｐ５４Ａ２，Ｐ５４Ｂ２と言う。
移載工程Ｓ７が終了すると、ステップＳ１０に移行する。
【0055】
次に、調節・嵌め合わせ工程（ステップＳ１０）を行う。調節・嵌め合わせ工程Ｓ１０では、第１制御部８１は、撮像部５４Ａ，５４Ｂが取得した像に基づいて、マニピュレータ４７により、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する沿面方向のキャリア２０５の位置、及び第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きを調整する。そして、マニピュレータ４７により、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にキャリア２０５の複数の歯部２０７をそれぞれ嵌め合わせる。
具体的には、まず、第１移動量算出工程（ステップＳ１１）において、第１撮像部５４Ａが、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像を取得する。そして、第２撮像部５４Ｂが、内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像を取得する。
第１制御部８１は、第１撮像部５４Ａが取得した太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像が、第１基準像ＩＳに一致するように、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、沿面方向に沿うキャリア２０５の移動量、及び第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の回転量を含む第１移動量を算出する。
なお、第１移動量及び、後述する第２移動量を求める数式等の詳細については、後述する（５．）で説明する。
具体的には、まず、第１移動量算出工程（ステップＳ１１）において、第１撮像部５４Ａが、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像を取得する。そして、第２撮像部５４Ｂが、内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像を取得する。
第１制御部８１は、第１撮像部５４Ａが取得した太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像が、第１基準像ＩＳに一致するように、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、沿面方向に沿うキャリア２０５の移動量、及び第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の回転量を含む第１移動量を算出する。
なお、第１移動量及び、後述する第２移動量を求める数式等の詳細については、後述する（５．）で説明する。
【0056】
本実施形態の第１移載方法Ｓ５では、第１移動量算出工程Ｓ１１において、実際にはキャリア２０５を移動及び回転させず、後述する嵌め合わせ工程Ｓ１３でまとめて移動させる。第１移動量算出工程Ｓ１１で、仮にキャリア２０５を第１移動量移動させた場合には、図１４に示すように、内歯車３４及び太陽歯車３３に対してキャリア２０５が、沿面方向、及び第２軸線Ｏ５周りに移動する。キャリア２０５を第１移動量移動させた後の撮像部５４Ａ，５４Ｂに対応する位置を、第１移載位置Ｐ５４Ａ３，Ｐ５４Ｂ３と言う。
調節・嵌め合わせ工程Ｓ１０の詳細については、後述する（５．）で説明する。
なお、第１移動量算出工程Ｓ１１において、キャリア２０５を第１移動量移動させてもよい。第２移動量算出工程Ｓ１２で、第２撮像部５４Ｂが内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像を取得してもよい。
第１移動量算出工程Ｓ１１が終了すると、ステップＳ１２に移行する。
調節・嵌め合わせ工程Ｓ１０の詳細については、後述する（５．）で説明する。
なお、第１移動量算出工程Ｓ１１において、キャリア２０５を第１移動量移動させてもよい。第２移動量算出工程Ｓ１２で、第２撮像部５４Ｂが内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像を取得してもよい。
第１移動量算出工程Ｓ１１が終了すると、ステップＳ１２に移行する。
【0057】
次に、第２移動量算出工程（ステップＳ１２）において、第１移動量移動したときの第２撮像部５４Ｂが取得する内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像と、第２基準像ＩＩとの差に基づいて、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、沿面方向に沿うキャリア２０５の移動量、及び第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の回転量を含む第２移動量を算出する。
なお、第２移動量算出工程Ｓ１２では、実際にキャリア２０５を移動させずに、第２移動量の算出のみを行う。
第２移動量算出工程Ｓ１２が終了すると、ステップＳ１３に移行する。
なお、第２移動量算出工程Ｓ１２では、実際にキャリア２０５を移動させずに、第２移動量の算出のみを行う。
第２移動量算出工程Ｓ１２が終了すると、ステップＳ１３に移行する。
【0058】
次に、嵌め合わせ工程（ステップＳ１３）において、マニピュレータ４７により、キャリア２０５を第１移動量及び第２移動量移動させる。このとき、図１５に示すように、内歯車３４及び太陽歯車３３に対してキャリア２０５が沿面方向に移動し、第２軸線Ｏ５周りに回転する。キャリア２０５を第１移動量及び第２移動量移動させた後の撮像部５４Ａ，５４Ｂに対応する位置を、第２移載位置Ｐ５４Ａ４，Ｐ５４Ｂ４と言う。
そして、その後で、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３９にキャリア２０５の複数の歯部２０７をそれぞれ嵌め合わせる。
そして、その後で、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３９にキャリア２０５の複数の歯部２０７をそれぞれ嵌め合わせる。
【0059】
このとき、第１定盤３２の第１支持面３２ａ上にキャリア２０５を配置してキャリア２０５を平坦にする。そして、キャリア２０５を平坦にしたときに、基板２００Ａをキャリア２０５よりも上方に離間させる。具体的には、第１制御部８１はマニピュレータ４７により、第１支持面３２ａの上方に保持部５０を移動させる。そして、保持部５０を下方に移動させることにより、第１支持面３２ａ上に保持部５０の保持部５２，５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃが保持するキャリア２０５及び基板２００Ａを降ろしていく。
第１支持面３２ａ上にキャリア２０５を配置したときには、図８中に二点鎖線Ｌ５で示すようにキャリア２０５が平坦になるため、基板２００Ａはキャリア２０５よりも上方に離間している。
第１支持面３２ａ上にキャリア２０５を配置したときには、図８中に二点鎖線Ｌ５で示すようにキャリア２０５が平坦になるため、基板２００Ａはキャリア２０５よりも上方に離間している。
【0060】
次に、第１支持面３２ａ上において、キャリア２０５の貫通孔２０６内に、上方から基板２００Ａを収容させる。具体的には、第１制御部８１は、マニピュレータ４７により、保持部５０を下方に移動させて、キャリア２０５の貫通孔２０６内に基板２００Ａを収容させる。
第２搬送装置４６の複数の開閉弁を閉じ、保持部５２，５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃによるキャリア２０５及び基板２００Ａの保持を解除する。マニピュレータ４７により、保持部５０を第１支持面３２ａ上から退避させる。
嵌め合わせ工程Ｓ１３が終了すると、調節・嵌め合わせ工程Ｓ１０の全工程が終了し、さらに第１移載方法Ｓ５の全工程が終了する。第１制御部８１は、ステップＳ１５に移行する。
第２搬送装置４６の複数の開閉弁を閉じ、保持部５２，５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃによるキャリア２０５及び基板２００Ａの保持を解除する。マニピュレータ４７により、保持部５０を第１支持面３２ａ上から退避させる。
嵌め合わせ工程Ｓ１３が終了すると、調節・嵌め合わせ工程Ｓ１０の全工程が終了し、さらに第１移載方法Ｓ５の全工程が終了する。第１制御部８１は、ステップＳ１５に移行する。
【0061】
第１移載方法Ｓ５が終了すると、第２制御部８２は、研磨部３１の第２定盤を挟み状態にし、第１定盤３２及び第２定盤を第１軸線Ｏ１周りの所定の向きに回転させるとともに、太陽歯車３３及び内歯車３４の少なくとも一方を第１軸線Ｏ１周りに回転させる。
第１定盤３２、第２定盤等を所定の時間回転させると、第１定盤３２及び第２定盤により、基板２００Ａの厚さ方向を向く面が研磨され、基板２００Ａが、研磨された後の基板２００Ｂとなる。
第２制御部８２は、研磨部３１の第２定盤を退避状態にする。
第１制御部８１は、前記第１移載方法Ｓ５とはほぼ逆の工程である第２移載方法（移載方法。ステップＳ１５）を行うことにより、研磨部３１からキャリア２０５を、研磨部３１の外部に移載させる。
予め、第１制御部８１はマニピュレータ４７により、撮像部５４Ａ，５４Ｂを、２本の歯部３７Ａ、１本の歯部３９Ａにそれぞれ対向するように配置しておく。
第１定盤３２、第２定盤等を所定の時間回転させると、第１定盤３２及び第２定盤により、基板２００Ａの厚さ方向を向く面が研磨され、基板２００Ａが、研磨された後の基板２００Ｂとなる。
第２制御部８２は、研磨部３１の第２定盤を退避状態にする。
第１制御部８１は、前記第１移載方法Ｓ５とはほぼ逆の工程である第２移載方法（移載方法。ステップＳ１５）を行うことにより、研磨部３１からキャリア２０５を、研磨部３１の外部に移載させる。
予め、第１制御部８１はマニピュレータ４７により、撮像部５４Ａ，５４Ｂを、２本の歯部３７Ａ、１本の歯部３９Ａにそれぞれ対向するように配置しておく。
【0062】
第２移載方法Ｓ１５では、第１制御部８１は、研磨部３１の第１支持面３２ａ上のキャリア２０５の位置及び向きに基づいて、マニピュレータ４７の保持部５０の位置及び向き（姿勢）を調整する。そして、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にキャリア２０５の複数の歯部２０７がそれぞれ嵌め合っている状態から、マニピュレータ４７により、キャリア２０５を研磨部３１の外部に移載させる。
【0063】
具体的には、まず、第１移動量算出工程（ステップＳ１７）、第２移動量算出工程（ステップＳ１８）において、前記第１移動量算出工程Ｓ１１、第２移動量算出工程Ｓ１２と同様の工程を行い、第１移動量及び第２移動量を算出する。すなわち、第１移動量算出工程Ｓ１７及び第２移動量算出工程Ｓ１８では、後述する（５．）で説明される数式を用いて、第１移動量及び第２移動量が求められる。
次に、取り外し工程（ステップＳ１９）において、第１制御部８１は、第１基準像ＩＳ及び第２基準像ＩＩに基づいて、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にそれぞれキャリア２０５の複数の歯部２０７が嵌め合っている状態の、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、沿面方向のキャリア２０５の位置、及び第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きを検出する。
ここで言う沿面方向のキャリア２０５の位置は、基準位置及び基準向きである内歯車３４及び太陽歯車３３に嵌まり合うキャリア２０５の位置に対する、沿面方向のキャリア２０５の位置のズレとも言える。ここで言う第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きは、基準位置及び基準向きである内歯車３４及び太陽歯車３３に嵌まり合うキャリア２０５の向きに対する、第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きのズレとも言える。
次に、取り外し工程（ステップＳ１９）において、第１制御部８１は、第１基準像ＩＳ及び第２基準像ＩＩに基づいて、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にそれぞれキャリア２０５の複数の歯部２０７が嵌め合っている状態の、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、沿面方向のキャリア２０５の位置、及び第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きを検出する。
ここで言う沿面方向のキャリア２０５の位置は、基準位置及び基準向きである内歯車３４及び太陽歯車３３に嵌まり合うキャリア２０５の位置に対する、沿面方向のキャリア２０５の位置のズレとも言える。ここで言う第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きは、基準位置及び基準向きである内歯車３４及び太陽歯車３３に嵌まり合うキャリア２０５の向きに対する、第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きのズレとも言える。
【0064】
第１制御部８１は、位置及び向きを調整した保持部５０により、キャリア２０５を保持する。具体的には、保持部５０の保持部５２，５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃによりキャリア２０５及び基板２００Ｂを保持する。保持部５０の位置及び向きを調整することにより、第１保持部５２によりキャリア２０５を確実に保持するとともに、第２保持部５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃにより基板２００Ｂを確実に保持することができる。
マニピュレータ４７により、保持部５０を第１移動量及び第２移動量移動させ、キャリア２０５及び基板２００Ｂを研磨部３１の外部であるセットテーブル２０の上面２１上に移載する。
取り外し工程Ｓ１９が終了すると、第２移載方法Ｓ１５の全工程が終了する。第２制御部８は、ステップＳ２５に移行する。
マニピュレータ４７により、保持部５０を第１移動量及び第２移動量移動させ、キャリア２０５及び基板２００Ｂを研磨部３１の外部であるセットテーブル２０の上面２１上に移載する。
取り外し工程Ｓ１９が終了すると、第２移載方法Ｓ１５の全工程が終了する。第２制御部８は、ステップＳ２５に移行する。
【0065】
次に、第２収容工程（ステップＳ２５）において、第２制御部８２は、第１搬送装置２５により、セットテーブル２０上の基板２００Ｂを、搬出バスケット１５内に収容する。基板２００Ｂが収容された搬出バスケット１５は、適宜搬出装置により研磨設備１から搬出される。
【0066】
以上の第１移載方法Ｓ５及び第２移載方法Ｓ１５を繰り返すことにより、研磨設備１により基板２００Ａが連続的に研磨される。
【0067】
以上説明したように、本実施形態の第２搬送装置４６では、撮像部５４が取得した像には、研磨部３１における、実際の内歯車３４の１本の歯部３９Ａ及び実際の太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像が含まれる。このため、例えば、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、第１制御部８１が、この像に基づいて、マニピュレータ４７により、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、沿面方向のキャリア２０５の位置、及び第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きを調整することにより、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にキャリア２０５の複数の歯部２０７をそれぞれ嵌め合わせやすくなる。
従って、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５をそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
従って、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５をそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
【0068】
マニピュレータ４７は、複数のリンク４８と、複数の関節４９と、複数の保持部５０とを有する。このため、複数の関節４９を駆動させて複数のリンク４８を移動させることにより、保持部５０に保持されたキャリア２０５を設置面Ｆに対して移載させることができる。そして、複数の関節４９により、保持部５０に保持されたキャリア２０５を、内歯車３４及び太陽歯車３３に対して、沿面方向、及び第２軸線Ｏ５周りに移載させることができる。
撮像部５４が有する第１撮像部５４Ａ及び第２撮像部５４Ｂは、先端リンク４８Ａに設けられている。従って、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像、内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像を、第１撮像部５４Ａ、第２撮像部５４Ｂにより別々に取得することができる。そして、マニピュレータ４７の複数の関節４９を駆動させて複数のリンク４８を移動させることにより、第１撮像部５４Ａ及び第２撮像部５４Ｂを移動させて、第１撮像部５４Ａ及び第２撮像部５４Ｂが取得する像に写される対象を変化させることができる。
撮像部５４が有する第１撮像部５４Ａ及び第２撮像部５４Ｂは、先端リンク４８Ａに設けられている。従って、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像、内歯車３４の１本の歯部３９Ａの像を、第１撮像部５４Ａ、第２撮像部５４Ｂにより別々に取得することができる。そして、マニピュレータ４７の複数の関節４９を駆動させて複数のリンク４８を移動させることにより、第１撮像部５４Ａ及び第２撮像部５４Ｂを移動させて、第１撮像部５４Ａ及び第２撮像部５４Ｂが取得する像に写される対象を変化させることができる。
【0069】
第１制御部８１は、第１移動量及び第２移動量を算出する。そして、マニピュレータ４７により、キャリア２０５を第１移動量及び第２移動量移動及び回転させた後で、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にキャリア２０５の複数の歯部２０７をそれぞれ嵌め合わせる。
マニピュレータ４７により、第１制御部８１が算出する第１移動量キャリア２０５を移動させることにより、太陽歯車３３の複数の歯部３７に対してキャリア２０５の複数の歯部２０７が嵌め合う位置に、キャリア２０５を移載させることができる。さらに、マニピュレータ４７により、第１制御部８１が算出する第２移動量キャリア２０５を移動させることにより、内歯車３４の複数の歯部３９に対してキャリア２０５の複数の歯部２０７が嵌め合う位置に、キャリア２０５を移載させることができる。
こうして、キャリア２０５を第１移動量及び第２移動量移動させた後で、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にキャリア２０５の複数の歯部２０７をそれぞれ嵌め合わせることにより、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５をそれぞれさらに容易に嵌め合わせることができる。
マニピュレータ４７により、第１制御部８１が算出する第１移動量キャリア２０５を移動させることにより、太陽歯車３３の複数の歯部３７に対してキャリア２０５の複数の歯部２０７が嵌め合う位置に、キャリア２０５を移載させることができる。さらに、マニピュレータ４７により、第１制御部８１が算出する第２移動量キャリア２０５を移動させることにより、内歯車３４の複数の歯部３９に対してキャリア２０５の複数の歯部２０７が嵌め合う位置に、キャリア２０５を移載させることができる。
こうして、キャリア２０５を第１移動量及び第２移動量移動させた後で、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にキャリア２０５の複数の歯部２０７をそれぞれ嵌め合わせることにより、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５をそれぞれさらに容易に嵌め合わせることができる。
【0070】
また、第２搬送装置４６は、研磨部３１からキャリア２０５を研磨部３１の外部に移載させる。撮像部５４が取得した像には、研磨部３１における、実際の内歯車３４の１本の歯部３９Ａ及び実際の太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像が含まれる。このため、例えば、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、第１制御部８１は、この像に基づいて、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、これら内歯車３４及び太陽歯車３３に嵌め合うキャリア２０５の沿面方向の位置、及び第２軸線Ｏ５周りの向きを検出する。さらに第１制御部８１は、これらの位置及び向きに基づいて、保持部５０の沿面方向の位置、及び第２軸線Ｏ５周りの向きを調整することにより、キャリア２０５を保持部５０により保持しやすくなる。そして、保持部５０を有するマニピュレータ４７により、キャリア２０５を研磨部３１の外部に移載させることができる。
従って、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５がそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリア２０５を研磨部３１の外部に容易に移載させることができる。
なお、研磨部３１の外部に移載させたキャリア２０５は、マニピュレータ４７によりセットテーブル２０上に精度良く配置される。
従って、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５がそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリア２０５を研磨部３１の外部に容易に移載させることができる。
なお、研磨部３１の外部に移載させたキャリア２０５は、マニピュレータ４７によりセットテーブル２０上に精度良く配置される。
【0071】
また、本実施形態の研磨設備１では、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５をそれぞれ容易に嵌め合わせることができる第２搬送装置４６を用いて、研磨設備１を構成することができる。
【0072】
また、本実施形態の第１移載方法Ｓ５では、前記像には、研磨部３１における、実際の内歯車３４の１本の歯部３９Ａ及び実際の太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像が含まれる。このため、例えば、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、この像に基づいて、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、沿面方向のキャリア２０５の位置、及び第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きを調整することにより、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にキャリア２０５の複数の歯部２０７をそれぞれ嵌め合わせやすくなる。
従って、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５をそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
従って、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５をそれぞれ容易に嵌め合わせることができる。
【0073】
また、本実施形態の第２移載方法Ｓ１５では、前記像には、研磨部３１における、実際の内歯車３４の１本の歯部３９Ａ及び実際の太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像が含まれる。このため、例えば、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、この像に基づいて、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、これら内歯車３４及び太陽歯車３３に嵌め合うキャリア２０５の沿面方向の位置、及び第２軸線Ｏ５周りの向きを検出する。さらに、これらの位置及び向きに基づいて、保持部５０の沿面方向の位置、及び第２軸線Ｏ５周りの向きを調整することにより、キャリア２０５を保持部５０により保持しやすくなる。そして、保持部５０を移載することにより、キャリア２０５を研磨部３１の外部に移載させることができる。
従って、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５がそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリア２０５を研磨部３１の外部に容易に移載させることができる。
従って、内歯車３４、太陽歯車３３、及びマニピュレータ４７に停止誤差がある場合でも、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５がそれぞれ嵌め合っている状態から、キャリア２０５を研磨部３１の外部に容易に移載させることができる。
【0074】
なお、第２搬送装置４６は、内歯車３４及び太陽歯車３３にキャリア２０５を嵌め合わせること、又は研磨部３１からキャリア２０５を研磨部３１の外部に移載させることができればよい。
【0075】
調節・嵌め合わせ工程では、まず、第２撮像部５４Ｂが取得する内歯車３４の複数の歯部３９の少なくとも一部の像が、第２基準像ＩＩに一致するように、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、沿面方向に沿うキャリア２０５の移動量、及び第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の移動量を含む第２移動量を算出してもよい。そして、第２移動量移動したときの第１撮像部５４Ａが取得する太陽歯車３３の複数の歯部３７の少なくとも一部の像と、第１基準像との差に基づいて、内歯車３４及び太陽歯車３３に対する、沿面方向に沿うキャリア２０５の移動量、及び第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の回転量を含む第１移動量を算出してもよい。
そのうえで、マニピュレータ４７により、キャリア２０５を第２移動量及び第１移動量移動させた後で、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にキャリア２０５の複数の歯部２０７をそれぞれ嵌め合わせてもよい。
そのうえで、マニピュレータ４７により、キャリア２０５を第２移動量及び第１移動量移動させた後で、内歯車３４の複数の歯部３９及び太陽歯車３３の複数の歯部３７にキャリア２０５の複数の歯部２０７をそれぞれ嵌め合わせてもよい。
【0076】
太陽歯車３３の複数の歯部における第１軸線Ｏ１に直交する断面の外縁は、インボリュート曲線でもよい。内歯車３４の複数の歯部も同様であり、キャリア２０５の複数の歯部は、太陽歯車３３及び内歯車３４の複数の歯部にそれぞれ嵌め合うように形成される。
第２搬送装置４６は、２つの撮像部５４Ａ，５４Ｂを有するとした。しかし、第２搬送装置が有する撮像部の数はこれに限定されず、１つでもよいし、３つ以上でもよい。
第２搬送装置４６は、２つの撮像部５４Ａ，５４Ｂを有するとした。しかし、第２搬送装置が有する撮像部の数はこれに限定されず、１つでもよいし、３つ以上でもよい。
【0077】
（３．内歯車及び太陽歯車の停止誤差に対する、キャリアの位置及び向きの調整による対応）
例えば、マニピュレータ４７の停止誤差が無い場合について説明する。基準位置における内歯車３４、太陽歯車３３、及びキャリア２０５の位置が、図１６に示す位置であるとする。キャリア２０５の向きを、「Ｃ」の文字の向きで表す。
図１６に示す基準位置に対して、例えば、図１７に示すように、第１軸線Ｏ１に対して、内歯車３４が時計周りに停止誤差があり、太陽歯車３３が時計周りに停止誤差があるとする。キャリア２０５は、第１軸線Ｏ１に対して時計周りに公転するが、キャリア２０５の第２軸線Ｏ５周りの向きはほとんど変わらない（キャリア２０５はほとんど自転しない）。
この場合には、第１制御部８１は、マニピュレータ４７により、沿面方向のキャリア２０５の位置を調整する。
例えば、マニピュレータ４７の停止誤差が無い場合について説明する。基準位置における内歯車３４、太陽歯車３３、及びキャリア２０５の位置が、図１６に示す位置であるとする。キャリア２０５の向きを、「Ｃ」の文字の向きで表す。
図１６に示す基準位置に対して、例えば、図１７に示すように、第１軸線Ｏ１に対して、内歯車３４が時計周りに停止誤差があり、太陽歯車３３が時計周りに停止誤差があるとする。キャリア２０５は、第１軸線Ｏ１に対して時計周りに公転するが、キャリア２０５の第２軸線Ｏ５周りの向きはほとんど変わらない（キャリア２０５はほとんど自転しない）。
この場合には、第１制御部８１は、マニピュレータ４７により、沿面方向のキャリア２０５の位置を調整する。
【0078】
一方で、図１６に示す基準位置に対して、例えば、図１８に示すように、第１軸線Ｏ１に対して、内歯車３４が反時計周りに停止誤差があり、太陽歯車３３が時計周りに停止誤差があるとする。キャリア２０５は、第１軸線Ｏ１周りにほとんど公転しないが、キャリア２０５の第２軸線Ｏ５周りの向きが変わる（キャリア２０５が自転する）。
この場合には、第１制御部８１は、マニピュレータ４７により、第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きを調整する。
この場合には、第１制御部８１は、マニピュレータ４７により、第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きを調整する。
【0079】
内歯車３４及び太陽歯車３３の一般的な停止誤差は、図１７に示す停止誤差と図１８に示す停止誤差とを組み合わせた停止誤差になる。
第１制御部８１が、マニピュレータ４７により、沿面方向のキャリア２０５の位置を調整し、さらに第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きを調整することにより、内歯車３４及び太陽歯車３３の一般的な停止誤差に対応することができる。
第１制御部８１が、マニピュレータ４７により、沿面方向のキャリア２０５の位置を調整し、さらに第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の向きを調整することにより、内歯車３４及び太陽歯車３３の一般的な停止誤差に対応することができる。
【0080】
（４．太陽歯車を固定した場合の計算方法）
本実施形態の第１移載方法Ｓ５では、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像が第１基準像ＩＳに一致するようにキャリア２０５を第１移動量移動した後で、第２移動量を算出する。
ここで、内歯車３４の歯数（複数の歯部３９の全数）を、ｚiと規定する。太陽歯車３３の歯数を、ｚｓと規定する。キャリア２０５の歯数を、ｚｃと規定する。例えば、歯数ｚiが３６０であるとする。歯数ｚｓが１２０であり、歯数ｚｃが１２０であるとする。
本実施形態の第１移載方法Ｓ５では、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像が第１基準像ＩＳに一致するようにキャリア２０５を第１移動量移動した後で、第２移動量を算出する。
ここで、内歯車３４の歯数（複数の歯部３９の全数）を、ｚiと規定する。太陽歯車３３の歯数を、ｚｓと規定する。キャリア２０５の歯数を、ｚｃと規定する。例えば、歯数ｚiが３６０であるとする。歯数ｚｓが１２０であり、歯数ｚｃが１２０であるとする。
【0081】
図１９に示すように、太陽歯車３３が固定され、内歯車３４が第１軸線Ｏ１に対して反時計周りに回転する場合で説明する。
この場合、キャリア２０５が公転する回数は、（１）式により３／４回転となる。
ｚi／（ｚｓ＋ｚi）
＝３６０／（１２０＋３６０）
＝３／４ ・・（１）
この場合、キャリア２０５が公転する回数は、（１）式により３／４回転となる。
ｚi／（ｚｓ＋ｚi）
＝３６０／（１２０＋３６０）
＝３／４ ・・（１）
【0082】
この時のキャリア２０５の向き（自転角）は、図２０に示すように、正回転（反時計周り）で１．５（３／２）回転自転する。
以上のように、内歯車３４がθＩ回転すると、キャリア２０５は（３／４）θＩ公転し、（３／２）θＩ自転する。
以上のように、内歯車３４がθＩ回転すると、キャリア２０５は（３／４）θＩ公転し、（３／２）θＩ自転する。
【0083】
（５．調節・嵌め合わせ工程の詳細）
以下では、第１軸線Ｏ１に見たときの状態で、第１軸線Ｏ１に沿う方向の距離は考慮せずに説明する。
以下では、第１軸線Ｏ１に見たときの状態で、第１軸線Ｏ１に沿う方向の距離は考慮せずに説明する。
【0084】
（５．１．制御式のまとめ）
図２１に示すように、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａのうち、反時計回り側（内側）の歯部３７Ａを、以下では第１歯部３７Ａ１と言う。太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａのうち、時計回り側（外側）の歯部３７Ａを、以下では第２歯部３７Ａ２と言う。
以下の例では、内歯車３４の歯部３９Ａとして、１本の歯部３９Ａ１を制御対象とする。
第１支持面３２ａに沿い、互いに直交する軸を、ｘ軸、ｙ軸と言う。
マニュピレータ４７の保持部５０の中心の座標を（ｘｅ，ｙｅ）、第２軸線Ｏ５周りの回転角をψｅと規定する。ｘｅ軸及びｙｅ軸は、第１支持面３２ａに沿う（沿面方向に沿う）。
図２１に示すように、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａのうち、反時計回り側（内側）の歯部３７Ａを、以下では第１歯部３７Ａ１と言う。太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａのうち、時計回り側（外側）の歯部３７Ａを、以下では第２歯部３７Ａ２と言う。
以下の例では、内歯車３４の歯部３９Ａとして、１本の歯部３９Ａ１を制御対象とする。
第１支持面３２ａに沿い、互いに直交する軸を、ｘ軸、ｙ軸と言う。
マニュピレータ４７の保持部５０の中心の座標を（ｘｅ，ｙｅ）、第２軸線Ｏ５周りの回転角をψｅと規定する。ｘｅ軸及びｙｅ軸は、第１支持面３２ａに沿う（沿面方向に沿う）。
【0085】
表１及び表２に示すように、各項目に対する記号、設定値、歯数を規定する。
【0086】
【表1】
【0087】
【表2】
【0088】
表１に示すように、キャリア２０５の公転円の半径の記号を、ｒｉ－ｃと規定する。例えば、キャリア２０５の公転円の半径の設計値を、７２０ｍｍとする。第１基準像ＩＳにおける第１歯部３７Ａ１の座標を、（ｘｓ１，ｙｓ１）と規定する。第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１の座標を、（ｘｉ１，ｙｉ１）と規定する。
表２に示すように、例えば、キャリア２０５の歯数ｚｃを、１２０とする。
表２に示すように、例えば、キャリア２０５の歯数ｚｃを、１２０とする。
【0089】
座標（ｘｅ，ｙｅ）及び回転角ψｅの制御は、（４）式に基づいて行われる。なお、（ｘｅ，ｙｅ，ψｅ）は、第１移動量及び第２移動量を統合した移動量である。
【0090】
【数1】
【0091】
ただし、ｒｃは、キャリア２０５のピッチ円の半径である。△ｘｅは、ｘｅ軸方向のキャリア２０５の移動量であり、△ｙｅは、ｙｅ軸方向のキャリア２０５の移動量である。△ψｅは、第２軸線Ｏ５周りのキャリア２０５の回転量である。前記第２移動量は、移動量△ｘｅ,△ｙｅ,△ψｅを含む。
移動量△ｘｓ１は、第１撮像部５４Ａが取得する実際の第１歯部３７Ａ１の像と、第１基準像ＩＳにおける第１歯部３７Ａ１の像との、ｘ軸方向の距離である。移動量△ｙｓ１は、第１撮像部５４Ａが取得する実際の第１歯部３７Ａ１の像と、第１基準像ＩＳにおける第１歯部３７Ａ１の像との、ｙ軸方向の距離である。
移動量△ｘｓ１は、第１撮像部５４Ａが取得する実際の第１歯部３７Ａ１の像と、第１基準像ＩＳにおける第１歯部３７Ａ１の像との、ｘ軸方向の距離である。移動量△ｙｓ１は、第１撮像部５４Ａが取得する実際の第１歯部３７Ａ１の像と、第１基準像ＩＳにおける第１歯部３７Ａ１の像との、ｙ軸方向の距離である。
【0092】
△ｘｓ２は、第１撮像部５４Ａが取得する実際の第２歯部３７Ａ２の像と、第１基準像ＩＳにおける第２歯部３７Ａ２の像との、ｘ軸方向の距離である。△ｙｓ２は、第１撮像部５４Ａが取得する実際の第２歯部３７Ａ２の像と、第１基準像ＩＳにおける第２歯部３７Ａ２の像との、ｙ軸方向の距離である。
△ｘｉ１は、第２撮像部５４Ｂが取得する実際の第１歯部３９Ａ１の像と、第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１の像との、ｘ軸方向の距離である。△ｙｉ１は、第２撮像部５４Ｂが取得する実際の第１歯部３９Ａ１の像と、第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１の像との、ｙ軸方向の距離である。
△ｘｉ１は、第２撮像部５４Ｂが取得する実際の第１歯部３９Ａ１の像と、第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１の像との、ｘ軸方向の距離である。△ｙｉ１は、第２撮像部５４Ｂが取得する実際の第１歯部３９Ａ１の像と、第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１の像との、ｙ軸方向の距離である。
【0093】
保持部５０の中心（マニュピレータ４７の第１側の端）から基準像ＩＳ，ＩＩにおける各歯部までの距離（ベクトル）は、以下のような定数になる。
・保持部５０の中心から第１基準像ＩＳにおける第１歯部３７Ａ１までの距離は、（７）式で表される。
・保持部５０の中心から第１基準像ＩＳにおける第２歯部３７Ａ２までの距離は、（８）式で表される。
・保持部５０の中心から第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１までの距離は、（９）式で表される。
・保持部５０の中心から第１基準像ＩＳにおける第１歯部３７Ａ１までの距離は、（７）式で表される。
・保持部５０の中心から第１基準像ＩＳにおける第２歯部３７Ａ２までの距離は、（８）式で表される。
・保持部５０の中心から第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１までの距離は、（９）式で表される。
【0094】
【数2】
【0095】
第１撮像部５４Ａが取得する実際の第１歯部３７Ａ１の像と、第１基準像ＩＳにおける第１歯部３７Ａ１の像との位相差α（ｒａｄ）は、（１２）式で表される。
【0096】
【数3】
【0097】
なお、atan2（ｘ，ｙ）は、０以上２π未満の値で定義される、tanの逆関数を意味する。
第１撮像部５４Ａが取得した太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像が、第１基準像ＩＳの２本の歯部３７Ａの像に一致した場合の、第２撮像部５４Ｂが取得した第１歯部３９Ａ１の像と、第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１の像との距離は、（１５）式で表される。
第１撮像部５４Ａが取得した太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａの像が、第１基準像ＩＳの２本の歯部３７Ａの像に一致した場合の、第２撮像部５４Ｂが取得した第１歯部３９Ａ１の像と、第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１の像との距離は、（１５）式で表される。
【0098】
【数4】
【0099】
前記の場合における、第２撮像部５４Ｂが取得した第１歯部３９Ａ１の像と、第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１の像との位相差（ｒａｄ）は、（１６）式で表される。
【0100】
【数5】
【0101】
ただし、（△ψｉ，△ψｓ）は、第１移動量移動後のキャリア２０５と内歯車３４との位相差である。
ｐｉｙが正のとき、（△ψｉ－△ψｓ）は正であり、ｐｉｙが負のとき、（△ψｉ－△ψｓ）は負である。
移動量△ｘｅ,△ｙｅ,△ψｅは、（１７）式及び（１８）式で表される。
ｐｉｙが正のとき、（△ψｉ－△ψｓ）は正であり、ｐｉｙが負のとき、（△ψｉ－△ψｓ）は負である。
移動量△ｘｅ,△ｙｅ,△ψｅは、（１７）式及び（１８）式で表される。
【0102】
【数6】
【0103】
保持部５０の中心から各歯部までの距離の誤差は、以下の式で表される。
・保持部５０の中心から第１歯部３７Ａ１までの距離の誤差は、（２６）式で表される。
・保持部５０の中心から第２歯部３７Ａ２までの距離の誤差は、（２７）式で表される。
・保持部５０の中心から第１歯部３９Ａ１までの距離の誤差は、（２８）式で表される。
・保持部５０の中心から第１歯部３７Ａ１までの距離の誤差は、（２６）式で表される。
・保持部５０の中心から第２歯部３７Ａ２までの距離の誤差は、（２７）式で表される。
・保持部５０の中心から第１歯部３９Ａ１までの距離の誤差は、（２８）式で表される。
【0104】
【数7】
【0105】
マニュピレータ４７の保持部５０が、研磨部３１に対するキャリア２０５の搬入及び搬出位置に移動した後で、最初に（２６）式から（２８）式による誤差を検出する。
【0106】
（５．２．制御内容の詳細）
第１基準像ＩＳにおける太陽歯車３３の第１歯部３７Ａ１の像と、第１撮像部５４Ａが取得する実際の第１歯部３７Ａ１の像とを一致させる変換は、（３１）式で表される。（３１）式による変換は、マニュピレータ４７への制御として行われる。
第１基準像ＩＳにおける太陽歯車３３の第１歯部３７Ａ１の像と、第１撮像部５４Ａが取得する実際の第１歯部３７Ａ１の像とを一致させる変換は、（３１）式で表される。（３１）式による変換は、マニュピレータ４７への制御として行われる。
【0107】
【数8】
【0108】
前記一致をさせた後における、第１基準像ＩＳにおける第２歯部３７Ａ２の像と、第２撮像部５４Ｂが取得する実際の第２歯部３７Ａ２の像との距離は、（３２）式で表される。
【0109】
【数9】
【0110】
第１歯部３７Ａ１から第２歯部３７Ａ２までの距離は、（３３）式で表される。
【0111】
【数10】
【0112】
この時点では、図２３に示すように、第１撮像部５４Ａが取得する実際の第１歯部３７Ａ１の像と、第１基準像ＩＳにおける第１歯部３７Ａ１の像とは、座標（ｘｓ１，ｙｓ１）で一致している。
第１基準像ＩＳにおける第２歯部３７Ａ２の像の座標は、（ｘｓ２，ｙｓ２）である。
実際の第２歯部３７Ａ２の座標は、（ｘｓ２＋（△ｘｓ２－△ｘｓ１），ｙｓ２＋（△ｙｓ２－△ｙｓ１））である。
第１基準像ＩＳにおける第２歯部３７Ａ２の像の座標は、（ｘｓ２，ｙｓ２）である。
実際の第２歯部３７Ａ２の座標は、（ｘｓ２＋（△ｘｓ２－△ｘｓ１），ｙｓ２＋（△ｙｓ２－△ｙｓ１））である。
【0113】
図２３に示す、第１基準像ＩＳにおける歯部３７Ａ１，３７Ａ２の像を結ぶ線と、実際の歯部３７Ａ１，３７Ａ２の像を結ぶ線とのなす角度αは、前記（１２）式で表される。
【0114】
マニュピレータ４７を制御して、第１基準像ＩＳにおける歯部３７Ａ１，３７Ａ２の像と、第１撮像部５４Ａが取得する実際の歯部３７Ａ１，３７Ａ２の像とを一致させる変換は、（３７）式で表される。ただし、マニュピレータ４７の保持部５０の中心の座標（ｘｅ，ｙｅ）を、基準とする。
なお、（３７）式は、第１移動量を表す。
なお、（３７）式は、第１移動量を表す。
【0115】
【数11】
【0116】
変換ｅＴｅ’を行う前は、図２４に示すように、第１基準像ＩＳにおける歯部３７Ａ１，３７Ａ２の位置Ｐ３７Ａ１１，Ｐ３７Ａ２１と、実際の歯部３７Ａ１，３７Ａ２の位置Ｐ３７Ａ１２，Ｐ３７Ａ２２とが、それぞれ異なっている。
図２４に示す状態から、変換ｅＴｅ’を行うことにより、図２５に示すように、第１基準像ＩＳにおける歯部３７Ａ１，３７Ａ２の位置Ｐ３７Ａ１１，Ｐ３７Ａ２１と、実際の歯部３７Ａ１，３７Ａ２の位置Ｐ３７Ａ１２，Ｐ３７Ａ２２とが、それぞれ一致する。
図２４に示す状態から、変換ｅＴｅ’を行うことにより、図２５に示すように、第１基準像ＩＳにおける歯部３７Ａ１，３７Ａ２の位置Ｐ３７Ａ１１，Ｐ３７Ａ２１と、実際の歯部３７Ａ１，３７Ａ２の位置Ｐ３７Ａ１２，Ｐ３７Ａ２２とが、それぞれ一致する。
【0117】
実際には保持部５０（キャリア２０５）を移動させないが、第１基準像ＩＳにおける歯部３７Ａ１，３７Ａ２の像と、実際の歯部３７Ａ１，３７Ａ２とをそれぞれ一致させた後での、第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１の像と実際の第１歯部３９Ａ１との距離ｐｉを求める。
第２撮像部５４Ｂの座標の移動（第１歯部３９Ａ１の座標の移動）は、（４０）式で表される。
ただし、距離（ｄｓ１ｘ－ｄｉ１ｘ，ｄｓ１ｙ－ｄｉ１ｙ）は、図２６に示すように、第１歯部３９Ａ１から第１歯部３７Ａ１に向かう距離となる。
第２撮像部５４Ｂの座標の移動（第１歯部３９Ａ１の座標の移動）は、（４０）式で表される。
ただし、距離（ｄｓ１ｘ－ｄｉ１ｘ，ｄｓ１ｙ－ｄｉ１ｙ）は、図２６に示すように、第１歯部３９Ａ１から第１歯部３７Ａ１に向かう距離となる。
【0118】
【数12】
【0119】
従って、前記距離ｐｉのｘｙ座標における距離（ｐｉｘ，ｐｉｙ）は、前記（１５）式で表される。
【0120】
ここで、図２７に示すように、第２基準像ＩＩにおける第１歯部３９Ａ１の位置を、Ｐ３９Ａ１１と規定する。実際の第１歯部３９Ａ１の位置を、Ｐ３９Ａ１２と規定する。
このとき、太陽歯車３３の中心（第２軸線Ｏ５）と位置Ｐ３９Ａ１１とを結ぶ線と、太陽歯車３３の中心と位置Ｐ３９Ａ１２とを結ぶ線とのなす角度（△ψｉ－△ψｓ）は、前記（１６）式で表される。
この時点で、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａは、実物と第１基準像ＩＳとの位置が一致した状態である。このため、内歯車３４の歯部３９Ａ１の実物と第２基準像ＩＩとの位置に誤差がある状態は、ソーラ型の遊星歯車（太陽歯車固定・内歯車が（△ψｉ－△ψｓ）回転）のように回転されているとみなすことができる。
したがって、ソーラ型遊星歯車の回転比率から、キャリア２０５の自転・公転角度が求められる。
それに応じて、マニピュレータ４７を制御すればよい。
このとき、太陽歯車３３の中心（第２軸線Ｏ５）と位置Ｐ３９Ａ１１とを結ぶ線と、太陽歯車３３の中心と位置Ｐ３９Ａ１２とを結ぶ線とのなす角度（△ψｉ－△ψｓ）は、前記（１６）式で表される。
この時点で、太陽歯車３３の２本の歯部３７Ａは、実物と第１基準像ＩＳとの位置が一致した状態である。このため、内歯車３４の歯部３９Ａ１の実物と第２基準像ＩＩとの位置に誤差がある状態は、ソーラ型の遊星歯車（太陽歯車固定・内歯車が（△ψｉ－△ψｓ）回転）のように回転されているとみなすことができる。
したがって、ソーラ型遊星歯車の回転比率から、キャリア２０５の自転・公転角度が求められる。
それに応じて、マニピュレータ４７を制御すればよい。
【0121】
なお、太陽歯車３３を固定したソーラ型における内歯車３４等の回転角度の比率は、表３に示すようである。
【0122】
【表3】
【0123】
例えば、内歯車３４がθi回転した場合、キャリア２０５は（（ｚiｚｃ＋ｚｓ）／（ｚｃｚi＋ｚｓ））θi自転し、（ｚi／（ｚi＋ｚｓ））θi公転する。
【0124】
以上のように、最初に撮像部５４Ａ，５４Ｂにより歯部３７Ａ１，３７Ａ２，３９Ａ１の位置を検出した後で行われる、マニュピレータ４７に対する変換行列（第１移動量及び第２移動量の和）は、（４４）式で表される。
なお、（４４）式において、「C」は「cos」を表し、「S」は「sin」を表す。
なお、（４４）式において、「C」は「cos」を表し、「S」は「sin」を表す。
【0125】
【数13】
【0126】
マニュピレータ４７についての、前記座標（ｘｅ，ｙｅ）、前記回転角ψｅは、前記（４）式で表される。
【符号の説明】
【0127】
１ 研磨設備
３１ 研磨部
３２ 第１定盤（定盤）
３２ａ 第１支持面（支持面）
３３ 太陽歯車
３４ 内歯車
３７，３９，２０７ 歯部
４６ 第２搬送装置（移載装置）
４７ マニピュレータ（移載部）
４８ リンク
４９ 関節
５０ 保持部
５４ 撮像部
５４Ａ 第１撮像部
５４Ｂ 第２撮像部
２００ 基板
２０５ キャリア
２０６ 貫通孔
Ｆ 設置面
ＩＩ 第２基準像
ＩＳ 第１基準像
Ｏ５ 第２軸線（軸線）
Ｓ５ 第１移載方法（移載方法）
Ｓ１５ 第２移載方法（移載方法）
３１ 研磨部
３２ 第１定盤（定盤）
３２ａ 第１支持面（支持面）
３３ 太陽歯車
３４ 内歯車
３７，３９，２０７ 歯部
４６ 第２搬送装置（移載装置）
４７ マニピュレータ（移載部）
４８ リンク
４９ 関節
５０ 保持部
５４ 撮像部
５４Ａ 第１撮像部
５４Ｂ 第２撮像部
２００ 基板
２０５ キャリア
２０６ 貫通孔
Ｆ 設置面
ＩＩ 第２基準像
ＩＳ 第１基準像
Ｏ５ 第２軸線（軸線）
Ｓ５ 第１移載方法（移載方法）
Ｓ１５ 第２移載方法（移載方法）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】