特開 2023-127749 検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023127749

(43)【公開日】2023-09-14

(54)【発明の名称】検査装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/301 20060101AFI20230907BHJP

【ＦＩ】

H01L21/78 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022031626

(22)【出願日】2022-03-02

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075177

【弁理士】

【氏名又は名称】小野 尚純

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(74)【代理人】

【識別番号】100202496

【弁理士】

【氏名又は名称】鹿角 剛二

(74)【代理人】

【識別番号】100202692

【弁理士】

【氏名又は名称】金子 吉文

(72)【発明者】

【氏名】村澤 尚樹

(72)【発明者】

【氏名】高橋 邦充

【テーマコード（参考）】

5F063

【Ｆターム（参考）】

5F063AA31

5F063AA33

5F063AA36

5F063FF00

5F063FF52

(57)【要約】

【課題】フレームに対して、テープが均一なテンションで貼着されているか否かを容易に判別することができる検査装置を提供する。
【解決手段】中央にウエーハを収容する開口部を有するフレームに貼着されたテープのテンションを検査する検査装置であって、テープが貼着されたフレームを支持するフレーム支持部と、該テープに向けて光を照射する光源と、該光源から照射された光を、該テープを介して捉える撮像カメラと、該テープと該光源との間に配設される第１の偏光板と、該テープと該撮像カメラとの間に配設され該第１の偏光板を透過した直線偏光の光を遮蔽するように位置付けられた第２の偏光板と、を含み、該第１の偏光板を透過した直線偏光の光が該テープに照射されることで光の偏光面に歪みが生じた場合に該第２の偏光板を透過して該撮像カメラが撮像する。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

中央にウエーハを収容する開口部を有するフレームに貼着されたテープのテンションを検査する検査装置であって、
テープが貼着されたフレームを支持するフレーム支持部と、該テープに向けて光を照射する光源と、該光源から照射された光を、該テープを介して捉える撮像カメラと、該テープと該光源との間に配設される第１の偏光板と、該テープと該撮像カメラとの間に配設され該第１の偏光板を透過した直線偏光の光を遮蔽するように位置付けられた第２の偏光板と、を含み、
該第１の偏光板を透過した直線偏光の光が該テープに照射されることで光の偏光面に歪みが生じた場合に該第２の偏光板を透過して該撮像カメラが撮像する検査装置。

【請求項2】

該光源は白色光源、又は単波長光源である請求項１に記載の検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、中央にウエーハを収容する開口部を有するフレームに貼着されたテープのテンションを検査する検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されて表面に形成されたウエーハは、中央に開口部が形成された環状のフレームの該開口部に収容され、テープによって一体に形成された状態で、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される（例えば特許文献１を参照）。

【0003】

また、ウエーハは、フレームにテープを介して支持されることから、個々のデバイスチップに分割されても、ウエーハの形態を維持した状態で、次の工程、例えばピックアップ工程に搬送される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平０６－１７７２４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上記したフレームにウエーハを支持するテープを貼着する場合、図示を省略するテープ貼り機等を使用して、フレームの開口部に貼着する。しかし、テープ貼り機の不調や、テープ側の問題により、テープが均一なテンションでフレームに貼着されず、捩れた状態で貼着されたりすることが生じ得る。このように、テープがフレームに均一なテンションで貼着されていない状態でウエーハを支持した場合、その状態で、ウエーハを個々のデバイスチップに分割すると、デバイスチップが位置ずれしたり、デバイスが脱落したり、フレームからテープが剥離したり、さらには、ピックアップ工程において、デバイスチップを適正にピックアップできなかったりと、種々の問題が生じ得る。そのため、テープがフレームに均一なテンションで貼着されていない場合は、それを除外する必要があるが、フレームに対してテープが不均一なテンションで貼着されているか否かを、作業者の目視で、正確に短時間で判別することは困難であり、そのための対策が求められている。

【0006】

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、フレームに対して、テープが均一なテンションで貼着されているか否かを容易に判別することができる検査装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、中央にウエーハを収容する開口部を有するフレームに貼着されたテープのテンションを検査する検査装置であって、テープが貼着されたフレームを支持するフレーム支持部と、該テープに向けて光を照射する光源と、該光源から照射された光を、該テープを介して捉える撮像カメラと、該テープと該光源との間に配設される第１の偏光板と、該テープと該撮像カメラとの間に配設され該第１の偏光板を透過した直線偏光の光を遮蔽するように位置付けられた第２の偏光板と、を含み、該第１の偏光板を透過した直線偏光の光が該テープに照射されることで光の偏光面に歪みが生じた場合に該第２の偏光板を透過して該撮像カメラが撮像する検査装置が提供される。

【0008】

該光源は白色光源、又は単波長光源であることが好ましい。

【発明の効果】

【0009】

本発明の検査装置は、中央にウエーハを収容する開口部を有するフレームに貼着されたテープのテンションを検査する検査装置であって、テープが貼着されたフレームを支持するフレーム支持部と、該テープに向けて光を照射する光源と、該光源から照射された光を、該テープを介して捉える撮像カメラと、該テープと該光源との間に配設される第１の偏光板と、該テープと該撮像カメラとの間に配設され該第１の偏光板を透過した直線偏光の光を遮蔽するように位置付けられた第２の偏光板と、を含み、該第１の偏光板を透過した直線偏光の光が該テープに照射されることで光の偏光面に歪みが生じた場合に該第２の偏光板を透過して該撮像カメラが撮像することから、不均一なテンションでテープがフレームに貼着されて、該テープに支持されたウエーハを個々のデバイスチップに分割してデバイスチップが位置ずれしたり、デバイスが脱落したり、フレームからテープが剥離したり、さらには、ピックアップ工程において、デバイスチップを適正にピックアップできなかったりする、という問題が解消される。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】検査装置の全体斜視図である。

【図2】図１に示す検査装置に配設される光照射ユニット及び撮像ユニットの光学系を示す斜視図である。

【図3】（ａ）フレームに均一なテンションでテープが貼着された場合の画像を示す平面図、（ｂ）フレームに不均一なテンションでテープが貼着された場合の画像を示す平面図である。

【図4】（ａ）テープの中央にウエーハが貼着されフレームに均一なテンションでテープが貼着された場合の画像を示す平面図、（ｂ）テープの中央にウエーハが貼着されフレームに不均一なテンションでテープが貼着された場合の画像を示す平面図である。

【図5】検査装置の別の実施形態を示す斜視図である。

【図6】図５に示す検査装置の光照射ユニット及び撮像ユニットの光学系を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本発明に基づいて構成される検査装置に係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

【0012】

図１には、本実施形態の検査装置１の全体斜視図が示されている。検査装置１は、図示の如く中央にウエーハを収容する開口部Ｆａを有する環状のフレームＦに貼着されたテープＴのテンションを検査する装置である。検査装置１は、上記したテープＴが貼着されたフレームＦを支持するフレーム支持部２４と、光照射手段４０と、該光照射手段４０から照射された光を、フレーム支持部２４に支持されるフレームＦに貼着されたテープＴを介して捉える撮像手段５０と、を含む。

【0013】

上記したフレーム支持部２４は、図１に示す支持手段２０に配設されている。支持手段２０は、図１に示すように、Ｘ軸方向において移動自在に基台２に搭載された矩形状のＸ軸方向可動板２１と、Ｙ軸方向において移動自在にＸ軸方向可動板２１に搭載された矩形状のＹ軸方向可動板２２と、Ｙ軸方向可動板２２の上面に固定された円筒状の支柱２３と、を含み、支柱２３の上端に、環状のフレーム支持部２４が形成されている。フレーム支持部２４は、Ｘ軸及びＹ軸で特定されるＸＹ平面を保持面とし、該保持面は中央が開口している。なお、本実施形態では、フレーム支持部２４が形成された支柱２３内に光照射手段４０が配設されている。

【0014】

検査装置１は、フレーム支持部２４をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる移動手段３０を備えている。移動手段３０は、フレーム支持部２４をＸ軸方向に移動するＸ軸移動手段３３と、フレーム支持部２４をＹ軸方向に移動するＹ軸移動手段３６とを備えている。Ｘ軸移動手段３３は、モータ３１の回転運動を、ボールねじ３２を介して直線運動に変換してＸ軸方向可動板２１に伝達し、基台２上にＸ軸方向に沿って配設された一対の案内レール２ａ、２ａに沿ってＸ軸方向可動板２１をＸ軸方向に移動させる。Ｙ軸移動手段３６は、モータ３４の回転運動を、ボールねじ３５を介して直線運動に変換し、Ｙ軸方向可動板２２に伝達し、Ｘ軸方向可動板２１上においてＹ軸方向に沿って配設された一対の案内レール２１ａ、２１ａに沿ってＹ軸方向可動板２２をＹ軸方向に移動させる。

【0015】

基台２上における移動手段３０の側方には、垂直壁部３ａ及び該垂直壁部３ａの上端部から水平方向に延びる水平壁部３ｂからなる枠体３が立設されている。上記した撮像手段５０は、水平壁部３ｂの先端部において下方に向けて配設されている。水平壁部３ｂの上面には、表示手段４が該設されている。

【0016】

本実施形態の光照射手段４０は、図２に示す光照射ユニット４１を含む。光照射ユニット４１は、フレーム支持部２４に支持されるフレームＦに支持されたテープＴに向けて光Ｌ０を照射する光源４２と、該光源４２と該テープＴとの間に配設された第１の偏光板４４とを備えている。また、上記した撮像手段５０は、図２に示す撮像ユニット５１を含む。撮像ユニット５１は、該光源４２から照射された光Ｌ０を、該テープＴを介して捉える撮像カメラ５２と、該撮像カメラ５２と該テープＴとの間に配設された第２の偏光板５４とを備えている。

【0017】

第１の偏光板４４は、光源４２から照射された光Ｌ０のうち、所定の方向に偏光した光のみを透過する偏光板であり、本実施形態では、図中Ｘ軸方向に偏光した光（直線偏光Ｌ１）のみを透過するように配置されている。該直線偏光Ｌ１は、フレーム支持部２４に支持されるフレームＦに貼着されたテープＴに照射され、該テープＴを透過した透過光Ｌ２は、第２の偏光板５４に照射される。第２の偏光板５４は、図中Ｙ軸方向に偏光した光のみを透過するように第１の偏光板４４に対し偏光方向が９０度回転されている。なお、図示は省略するが、光源４２から照射された光Ｌ０が、フレームＦの外側を通って撮像カメラ５２に達しないようにすると共に、光源４２の光Ｌ０以外の光が撮像カメラ５２に入り込まないように遮蔽手段が配設されている。また、光照射ユニット４０の光源４２は、例えば広帯域の波長を含む白色光源でもよいし、ＬＥＤ等の単波長光源であってもよい。

【0018】

上記した表示手段４、撮像手段５０、及び移動手段３０は、コンピュータにより構成された制御手段１００に接続されている。図示の実施形態では、制御手段１００を、説明の都合上、検査装置１の外部に示しているが、実際は、検査装置１の内部に配設される。撮像カメラ５２によって撮像された画像は、制御手段１００に送られて、制御手段１００に接続された表示手段４に表示される。本実施形態の検査装置１は、概ね上記したとおりの構成を備えており、以下に検査装置１の機能、作用について説明する。

【0019】

上記した検査装置１は、図２に示すように、中央にウエーハを収容する開口部Ｆａを有するフレームＦに粘着層を有するテープＴが貼着され一体とされたもの、又はフレームＦにテープＴが貼着され一体とされた開口部Ｆａの中央に被加工物であるウエーハＷが貼着され一体とされたものを被検査物とすることができ、以下の説明では、ウエーハを収容する開口部Ｆａを有するフレームＦにテープＴが貼着され一体とされウエーハを貼着していないものを被加工物として検査する場合について説明する。

【0020】

上記した被検査物を用意したならば、上記の検査装置１に搬送して、フレーム支持部２４に載置する。本実施形態では特に明記していないが、フレームＦをフレーム支持部２４に固定すべく、フレームＦを吸引したり、把持したりする固定手段を設けるようにしてもよい。

【0021】

フレーム支持部２４に該フレームＦを載置したならば、Ｘ軸移動手段３３、Ｙ軸移動手段３６を作動して、フレームＦの開口Ｆａを撮像ユニット５０の直下である検査位置に位置付ける。次いで、図２に基づき説明した光照射ユニット４０の光源４２を作動して、光Ｌ０を第１の偏光板４４に向けて照射する。上記したように、第１の偏光板４４は、光源４２から照射された光Ｌ０のうち、図中Ｘ軸方向に偏光した直線偏光Ｌ１のみを透過する偏光板であり、第１の偏光板４４を透過した直線偏光Ｌ１は、フレームＦの開口部Ｆａに露出しているテープＴに照射される。

【0022】

ここで、仮にテープＴが均一なテンションでフレームＦに貼着されている場合、テープＴに照射された直線偏光Ｌ１は、偏光面が歪められることなく透過して、透過光Ｌ２となる。この透過光Ｌ２は、直線偏光Ｌ１の偏光面がＸ軸方向で維持された状態で進行し、第２の偏光板５４に照射される。上記したように、第２の偏光板５４は、第１の偏光板４４に対して、偏光方向が９０度回転された状態で配設されていることから、透過光Ｌ２は、第２の偏光板５４を透過することができず、第２の偏光板５４によって遮蔽される。図３（ａ）は、この状態でフレームＦの開口部Ｆａに露出するテープＴの領域Ｔａを撮像した撮像カメラ５２の画像を示している。この状態では、撮像カメラ５２によって透過光Ｌ２を捉えることができないことから、表示手段４には、テープＴの領域Ｔａで光が全く捉えられていない状態（黒い状態）が表示される。すなわち、検査装置１によって図３（ａ）に示す画像が表示されている場合は、検査の結果として、テープＴが均一なテンションでフレームＦに貼着されていることが判明する。

【0023】

他方、フレームＦに対してテープＴが不均一なテンションで貼着されている場合に上記の検査を実施した場合について説明する。フレームＦに対してテープＴが不均一なテンションで貼着されている場合、第１の偏光板４４を経て下方からテープＴに入射した直線偏光Ｌ１は、不均一なテンションで貼着され捩れた領域を透過して偏光面が歪められた光と、均一なテンションで貼着された領域を透過して偏光面が維持された光とで構成された透過光Ｌ２となる。この透過光Ｌ２が第２の偏光板５４に照射された場合、透過光Ｌ２のうち、偏光面が維持されて透過した光は、第２の偏光板５４を透過できないことから撮像カメラ５２に到達せず、偏光面が歪められた光のみが、第２の偏光板５４を透過して最終透過光Ｌ３となって撮像カメラ５２に到達し、図３（ｂ）に示すように、テンション不均一領域Ｓの存在が撮像カメラ５２によって捉えられて表示手段４に表示される。すなわち、検査装置１によって図３（ｂ）に示すような画像が表示されている場合は、検査の結果として、テープＴが不均一なテンションでフレームＦに貼着されていることが判明する。

【0024】

上記した実施形態の検査装置１によれば、テープＴが不均一なテンションでフレームＦに貼着されている場合に、検査装置１の撮像カメラ５２によって不均一なテンションの状態を容易に捉えることができ、不均一なテンションでテープＴがフレームＦに貼着されて、該テープＴに支持されたウエーハを個々のデバイスチップに分割してデバイスチップが位置ずれしたり、デバイスが脱落したり、フレームからテープが剥離したり、さらには、ピックアップ工程において、デバイスチップを適正にピックアップできなかったりする、という問題が解消される。

【0025】

本発明は上記した実施形態に限定されず、図２の右方に示すような、フレームＦにテープＴが貼着され開口部Ｆａの中央に被加工物であるウエーハＷが貼着されて一体とされたものを被検査物とすることもできる。図４（ａ）に、テープＴが均一なテンションでフレームＦに貼着され、開口部Ｆａの中央にウエーハＷが支持されている被検査物を、上記の検査装置１によって上記した手順により検査して表示手段４に表示された画像を示す。図４（ａ）から理解されるように、ウエーハＷが貼着された中央の領域Ｗａを除き、均一なテンションで貼着されたテープＴが存在する領域Ｔａに直線偏光Ｌ１が照射されて偏光面が維持された透過光Ｌ２は、第２の偏光板５４を透過しないため、撮像カメラ５２によって透過光Ｌ２を捉えることができず、光が捉えられていない状態が表示される。すなわち、検査装置１によって図４（ａ）に示す画像が表示される場合は、検査の結果として、テープＴが均一なテンションでフレームＦに貼着されていることが判明する。なお、図４（ａ）における領域Ｔａの中央の領域Ｗａは、第１の偏光板４４を通過した直線偏光Ｌ１がウエーハＷによって遮蔽されることから、フレームＦに貼着されたテープＴのテンションの状態にかかわらず黒い状態で表示される。

【0026】

また、図４（ｂ）には、テープＴが不均一なテンションでフレームＦに貼着され、中央にウエーハＷが支持されている被検査物を、上記の検査装置１によって検査して表示手段４に表示された画像を示す。フレームＦに対してテープＴが不均一なテンションで貼着されている場合、下方からテープＴに入射した直線偏光Ｌ１は、不均一なテンションで貼着され捩れた領域を透過する際に偏光面が歪められる。この偏光面が歪められた光と、均一なテンションで貼着された領域を透過し偏光面が維持された光とで構成された透過光Ｌ２のうち、偏光面が歪められた光が第２の偏光板５４を透過して最終透過光Ｌ３となって撮像カメラ５２に到達し、図４（ｂ）に示すように、テンション不均一領域Ｓを含む画像が表示手段４に表示される。これにより、検査の結果として、テープＴが不均一なテンションでフレームＦに貼着されていることが判明し、先に説明した実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

【0027】

上記した実施形態では、本発明の光源から照射された光を、テープを介して撮像カメラで捉える具体的な形態として、光源４２及び第２偏光板４４を含む光照射ユニット４１と、撮像カメラ５２及び第２偏光板５４を含む撮像ユニット５０とを被検査物としてのテープＴを上下から挟むように配設した例を示したが、本発明は上記した形態に限定されない。図５、６に基づき、光源から照射された光を、テープを介して撮像カメラで捉える別の実施形態について説明する。

【0028】

図５には、本発明の別の実施形態である検査装置１’の一部が示されている。検査装置１’は、概ね図１に示す検査装置１と同一の構成を備えており、図１に示す検査装置１と同一の構成については図示を省略している。

【0029】

検査装置１’には、上記した検査装置１の光照射手段４０及び撮像手段５０に替えて、光照射手段４０’及び撮像手段５０’が配設されている。図５に示すように、光照射手段４０’及び撮像手段５０’は、枠体３の水平壁部３ｂの先端部に配設されている。照射手段４０’は、図６（ａ）に示す光照射ユニット４１’を含み、光照射ユニット４１’は、光源４２’と、第１の偏光板４４’とを備えている。光源４２’は、上記した光源４２と同等の光源であり、光Ｌ０を、フレーム支持部２４（図示は省略している）に載置されるフレームＦに貼着されたテープＴに向けて、所定の入射角度で照射する。第１の偏光板４４’は、光源４２’とテープＴとの間に配置され、図６（ａ）の一部を上方から見た平面図として示す図６（ｂ）から理解されるように、光源４２’から照射された光Ｌ０のうち、所定の方向、例えば、図中Ｙ軸方向に偏光した光（直線偏光Ｌ１）のみを透過する偏光板である。また、撮像手段５０’は、図６（ａ）に示す撮像ユニット５１’を含み、撮像ユニット５１’は、撮像カメラ５２’と、第２の偏光板５４’とを備えている。第２の偏光板５４’は、撮像カメラ５２’とテープＴとの間に位置付けられて配置され、図６（ｂ）に示すように、図中Ｘ軸方向に偏光した光のみを透過する偏光板である。撮像ユニット５１’を構成する撮像カメラ５２’及び第２の偏光板５４’は、光源４２’からテープＴに向けて照射される光の入射角度に対応する反射角度の方向に配設される。

【0030】

図５に示す検査装置１’において検査を実行するに際し、まず、被検査物を、図示を省略するフレーム支持部２４に載置すると共に、図６（ａ）に示すように、光照射手段４０’及び撮像手段５０’の直下に移動する。次いで、光源４２’を作動して、光Ｌ０を第１の偏光板４４’に向けて照射する。上記したように、第１の偏光板４４’は、光源４２’から照射された光Ｌ０のうち、図中Ｙ軸方向に偏光した直線偏光Ｌ１のみを透過する偏光板であり、第１の偏光板４４’を透過した直線偏光Ｌ１は、フレームＦの開口部Ｆａに露出しているテープＴに、所定の入射角で照射される。

【0031】

フレームＦに貼着されたテープＴに照射された直線偏光Ｌ１は、テープＴ上で上記の所定の入射角に対応する反射角で反射した反射光Ｌ２として、第２の偏光板５４’に照射される。上記したように、第２の偏光板５４’は、図中Ｘ軸方向に偏光した光のみを透過するように偏光方向が９０度回転されている。なお、図示は省略するが、光源４２’から照射された光Ｌ０が、テープＴの外側の領域で反射して撮像カメラ５２’に達しないようにすると共に、光源４２’からの光Ｌ０以外の光が撮像カメラ５２’に入り込まないようにする適宜の遮蔽手段が配設される。

【0032】

ここで、仮にテープＴが均一なテンションでフレームＦに貼着されている場合、テープＴに照射された直線偏光Ｌ１は、偏光面が歪められることなく反射して、反射光Ｌ２となる。この反射光Ｌ２は、直線偏光Ｌ１の偏光面がＹ軸方向で維持された状態で撮像ユニット５１’に向かって進行し、第２の偏光板５４’に照射される。上記したように、第２の偏光板５４’は、第１の偏光板４４’に対して、偏光方向が９０度回転された状態で配設されている。これにより、第１の偏光板４４’によって直線偏光Ｌ１とされた光の偏光面がテープＴによって歪められることなく反射した場合、反射光Ｌ２が第２の偏光板５４’を透過することができず、第２の偏光板５４’によって遮蔽される。この状態で撮像カメラ５２’によってフレームＦの開口部Ｆａに露出するテープＴの領域Ｔａを撮像し、該領域Ｔａを円形状とする形状補正を施すことにより、図３（ａ）に示す画像を得ることができる。本実施形態では、テープＴで反射した直線偏光Ｌ１が第２の偏光板５４’を透過しないため、撮像カメラ５２’によって反射光Ｌ２を捉えることができず、光が捉えられていない状態（黒い状態）が表示手段４に表示される。すなわち、検査装置１’によって図３（ａ）に示す画像が表示手段４に表示されて、検査の結果として、テープＴが均一なテンションでフレームＦに貼着されていることが判明する。

【0033】

他方、被検査物におけるフレームＦに対してテープＴが不均一なテンションで貼着されている場合、第１の偏光板４４’を経てテープＴに照射された直線偏光Ｌ１は、不均一なテンションで貼着され捩れた領域で反射して偏光面が歪められた光と、均一なテンションで貼着された領域で反射して偏光面が維持された光とで構成された反射光Ｌ２となる。この反射光Ｌ２が第２の偏光板５４’に照射された場合、該反射光Ｌ２のうち、偏光面が維持されて反射した光は、第２の偏光板５４’を透過できないことから撮像カメラ５２’に到達せず、偏光面が歪められた光が、第２の偏光板５４’を透過して最終反射光Ｌ３となって撮像カメラ５２’に到達する。このようにして偏光面が歪められた光に基づき、テンション不均一領域Ｓの存在が撮像カメラ５２’によって捉えられ、図３（ｂ）に示すような画像が表示手段４に表示されて、検査の結果として、テープＴが不均一なテンションでフレームＦに貼着されていることが判明する。

【0034】

上記した別の実施形態によっても、先に説明した実施形態と同様に、テープＴが不均一なテンションでフレームＦに貼着されている場合に、不均一なテンションの状態を容易に捉えることができることから、不均一なテンションでテープＴがフレームＦに貼着されて支持されたウエーハを個々のデバイスチップに分割してデバイスチップが位置ずれしたり、デバイスが脱落したり、フレームからテープが剥離したり、さらには、ピックアップ工程において、デバイスチップを適正にピックアップできなかったりする、という問題が解消される。

【符号の説明】

【0035】

１、１’：検査装置
２：基台
２ａ、２ａ：案内レール
３：枠体
３ａ：垂直壁部
３ｂ：水平壁部
４：表示手段
２０：支持手段
２１：Ｘ軸方向可動板
２２：Ｙ軸方向可動板
２３：支柱
２４：フレーム支持部
３０：移動手段
３３：Ｘ軸移動手段
３６：Ｙ軸移動手段
４０、４０’：光照射手段
４１、４１’：光照射ユニット
４２、４２’：光源
４４、４４’：第１の偏光版
５０、５０’：撮像手段
５１、５１’：撮像ユニット
５２、５２’：撮像カメラ
５４、５４’：第２の偏光版
１００：制御手段
Ｆ：フレーム
Ｆａ：開口部
Ｌ０：光
Ｌ１：直線偏光
Ｌ２：透過光又は反射光
Ｌ３：最終透過光又は最終反射光
Ｔ：テープ
Ｗ：ウエーハ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】