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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023128872
(43)【公開日】2023-09-14
(54)【発明の名称】加工装置および加工方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/301 20060101AFI20230907BHJP
B24B 55/02 20060101ALI20230907BHJP
B24B 27/06 20060101ALI20230907BHJP
B24B 55/06 20060101ALI20230907BHJP
B23Q 11/00 20060101ALI20230907BHJP
B23Q 11/10 20060101ALI20230907BHJP
B23Q 17/24 20060101ALI20230907BHJP
B24B 49/12 20060101ALI20230907BHJP
【ＦＩ】
H01L21/78 F
B24B55/02 B
B24B27/06 M
B24B55/06
B24B55/02 D
B23Q11/00 N
B23Q11/10 A
B23Q17/24 B
B24B49/12
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022033520
(22)【出願日】2022-03-04
(71)【出願人】
【識別番号】000134051
【氏名又は名称】株式会社ディスコ
(74)【代理人】
【識別番号】110001014
【氏名又は名称】弁理士法人東京アルパ特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】對馬 隆幸
(72)【発明者】
【氏名】須藤 雄二郎
(72)【発明者】
【氏名】大武 裕介
(72)【発明者】
【氏名】ファン チュック リン
【テーマコード（参考）】
3C011
3C029
3C034
3C047
3C158
5F063
【Ｆターム（参考）】
3C011BB12
3C011BB36
3C011EE02
3C029AA26
3C029AA40
3C034AA07
3C034BB73
3C034BB83
3C034BB93
3C034CA08
3C034CA22
3C034DD07
3C034DD10
3C047FF04
3C047GG01
3C047HH15
3C158AA03
3C158AC02
3C158AC04
3C158BA07
3C158BC03
3C158CB05
3C158DA17
5F063AA15
5F063DD01
5F063FF28
5F063FF38
(57)【要約】
【課題】加工装置の製造コストの増加および大型化を抑制しながら、構成部材に付着した加工屑を除去できる加工装置を提供する。
【解決手段】洗浄ステップにおいて、液体供給ノズルから、洗浄（加工屑の除去）に適した第２の液体を供給する。これにより、加工ステップにおいて加工室内に付着した加工屑を、第２の液体を用いて洗浄することができる。また、制御部が、液体供給ノズルから、加工に適した第１の液体と、洗浄に適した第２の液体とを、切り替え可能に供給することができる。したがって、複数種類の液体を供給するために、液体の種類ごとに液体供給ノズルを設ける必要がないので、液体供給ノズルを設置するための費用およびスペースの増加を抑えることができる。このため、切削装置の製造コストの増加および大型化を抑制することができる。
【選択図】図７
【解決手段】洗浄ステップにおいて、液体供給ノズルから、洗浄（加工屑の除去）に適した第２の液体を供給する。これにより、加工ステップにおいて加工室内に付着した加工屑を、第２の液体を用いて洗浄することができる。また、制御部が、液体供給ノズルから、加工に適した第１の液体と、洗浄に適した第２の液体とを、切り替え可能に供給することができる。したがって、複数種類の液体を供給するために、液体の種類ごとに液体供給ノズルを設ける必要がないので、液体供給ノズルを設置するための費用およびスペースの増加を抑えることができる。このため、切削装置の製造コストの増加および大型化を抑制することができる。
【選択図】図７
【特許請求の範囲】
【請求項1】
被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
該保持テーブルと該加工ユニットとを少なくとも含む加工空間に液体を供給する液体供給ノズルと、
を少なくとも備える加工装置であって、
該液体供給ノズルと、第１の液体を供給するための第１供給源と、を連通させる第１の流路と、
該液体供給ノズルと、該第１の液体とは異なる第２の液体を供給するための第２供給源と、を連通させる第２の流路と、
該第１の流路と、該第２の流路と、を開閉する開閉弁と、
該開閉弁を制御し、該液体供給ノズルから、該第１の液体と、該第２の液体と、を切り替え可能に供給する制御部と、
をさらに備えることを特徴とする、加工装置。
該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
該保持テーブルと該加工ユニットとを少なくとも含む加工空間に液体を供給する液体供給ノズルと、
を少なくとも備える加工装置であって、
該液体供給ノズルと、第１の液体を供給するための第１供給源と、を連通させる第１の流路と、
該液体供給ノズルと、該第１の液体とは異なる第２の液体を供給するための第２供給源と、を連通させる第２の流路と、
該第１の流路と、該第２の流路と、を開閉する開閉弁と、
該開閉弁を制御し、該液体供給ノズルから、該第１の液体と、該第２の液体と、を切り替え可能に供給する制御部と、
をさらに備えることを特徴とする、加工装置。
【請求項2】
該第２の液体は、ファインバブルまたは界面活性剤の少なくともいずれかを含むことを特徴とする、
請求項１に記載の加工装置。
請求項１に記載の加工装置。
【請求項3】
該制御部は、
被加工物の加工中には、該液体供給ノズルから第１の液体を供給し、
被加工物を加工していない時には、該液体供給ノズルから該第２の液体を供給するよう、該開閉弁を制御することを特徴とする、
請求項１に記載の加工装置。
被加工物の加工中には、該液体供給ノズルから第１の液体を供給し、
被加工物を加工していない時には、該液体供給ノズルから該第２の液体を供給するよう、該開閉弁を制御することを特徴とする、
請求項１に記載の加工装置。
【請求項4】
該制御部は、
被加工物の加工時に、該液体供給ノズルから該第１の液体と該第２の液体とのいずれを供給するか、を選択可能であることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
被加工物の加工時に、該液体供給ノズルから該第１の液体と該第２の液体とのいずれを供給するか、を選択可能であることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項5】
該加工ユニットは、
回転可能なスピンドルの先端に固定された切削ブレードを有し、
該加工装置は、
所定の間隔を空けて設置された投光部と受光部とを含み、該投光部と該受光部との間に該切削ブレードが挿入されたときに該受光部が受光する受光量に応じて、該切削ブレードの刃先の先端位置を検出する刃先検出ユニットをさらに備え、
該液体供給ノズルは、該刃先検出ユニットに該第１の液体または該第２の液体を供給する、
ことを特徴とする、
請求項１に記載の加工装置。
回転可能なスピンドルの先端に固定された切削ブレードを有し、
該加工装置は、
所定の間隔を空けて設置された投光部と受光部とを含み、該投光部と該受光部との間に該切削ブレードが挿入されたときに該受光部が受光する受光量に応じて、該切削ブレードの刃先の先端位置を検出する刃先検出ユニットをさらに備え、
該液体供給ノズルは、該刃先検出ユニットに該第１の液体または該第２の液体を供給する、
ことを特徴とする、
請求項１に記載の加工装置。
【請求項6】
該加工装置は、該保持テーブルと、該加工ユニットとを相対的に該保持テーブルの保持面と平行な方向に移動させる移動ユニットをさらに備え、
該液体供給ノズルは、該保持テーブルの移動方向と交差する方向に沿って形成された複数の噴射口を有し、保持テーブルの上方に位置するウォーターカーテン形成部である、
ことを特徴とする、
請求項１に記載の加工装置。
該液体供給ノズルは、該保持テーブルの移動方向と交差する方向に沿って形成された複数の噴射口を有し、保持テーブルの上方に位置するウォーターカーテン形成部である、
ことを特徴とする、
請求項１に記載の加工装置。
【請求項7】
液体供給ノズルを備えた加工装置によって被加工物を加工する方法であって、
該液体供給ノズルから第１の液体あるいは第２の液体のいずれかを供給しながら被加工物を加工する加工ステップと、
該液体供給ノズルから該第１の液体あるいは該第２の液体のいずれかを供給しながら加工装置を洗浄する洗浄ステップと、
該液体供給ノズルから供給される液体を該第１の液体あるいは該第２の液体のいずれかに設定する設定ステップと、を含んでいることを特徴とする加工方法。
該液体供給ノズルから第１の液体あるいは第２の液体のいずれかを供給しながら被加工物を加工する加工ステップと、
該液体供給ノズルから該第１の液体あるいは該第２の液体のいずれかを供給しながら加工装置を洗浄する洗浄ステップと、
該液体供給ノズルから供給される液体を該第１の液体あるいは該第２の液体のいずれかに設定する設定ステップと、を含んでいることを特徴とする加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ウェーハやパッケージ基板などの被加工物を加工する加工装置および加工方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ウェーハやパッケージ基板などの被加工物を加工する加工装置では、加工にともなって、加工屑が、加工ユニット、保持テーブル、および、加工ユニットを囲繞するカバーの内壁などの構成部材に付着する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２１－０７４８０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
加工屑が付着した状態を放置すると、加工屑が、ウェーハに落下してウェーハを汚染する恐れがある。
また、加工水や洗浄水を供給するノズルに加工屑が付着した状態を長時間放置すると、ノズルの噴射口に加工屑がつまり、ノズルを再度使用する際に、加工水や洗浄水を正常に供給できない恐れがある。
また、加工水や洗浄水を供給するノズルに加工屑が付着した状態を長時間放置すると、ノズルの噴射口に加工屑がつまり、ノズルを再度使用する際に、加工水や洗浄水を正常に供給できない恐れがある。
【0005】
しかし、特許文献１に記載のように、加工屑を除去するために別途洗浄ノズルを設けると、そのためのスペースおよび費用が必要となる。
【0006】
本発明の目的は、加工装置の製造コストの増加および大型化を抑制しながら、構成部材に付着した加工屑を除去できる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の加工装置（本加工装置）は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、該保持テーブルと該加工ユニットとを少なくとも含む加工空間に液体を供給する液体供給ノズルと、を少なくとも備える加工装置であって、該液体供給ノズルと、第１の液体を供給するための第１供給源と、を連通させる第１の流路と、該液体供給ノズルと、該第１の液体とは異なる第２の液体を供給するための第２供給源と、を連通させる第２の流路と、該第１の流路と、該第２の流路と、を開閉する開閉弁と、該開閉弁を制御し、該液体供給ノズルから、該第１の液体と、該第２の液体と、を切り替え可能に供給する制御部と、をさらに備える。
本加工装置では、該第２の液体は、ファインバブルまたは界面活性剤の少なくともいずれかを含むものであってもよい。
本加工装置では、該制御部は、被加工物の加工中には、該液体供給ノズルから第１の液体を供給し、被加工物を加工していない時には、該液体供給ノズルから該第２の液体を供給するよう、該開閉弁を制御してもよい。
本加工装置では、該制御部は、被加工物の加工時に、該液体供給ノズルから該第１の液体と該第２の液体とのいずれを供給するか、を選択可能であってもよい。
本加工装置では、該加工ユニットは、回転可能なスピンドルの先端に固定された切削ブレードを有していてもよく、該加工装置は、所定の間隔を空けて設置された投光部と受光部とを含んでいてもよく、該投光部と該受光部との間に該切削ブレードが挿入されたときに該受光部が受光する受光量に応じて、該切削ブレードの刃先の先端位置を検出する刃先検出ユニットをさらに備えてもよく、該液体供給ノズルは、該刃先検出ユニットに該第１の液体または該第２の液体を供給してもよい。
本加工装置は、該保持テーブルと、該加工ユニットとを相対的に該保持テーブルの保持面と平行な方向に移動させる移動ユニットをさらに備えてもよく、該液体供給ノズルは、該保持テーブルの移動方向と交差する方向に沿って形成された複数の噴射口を有し、保持テーブルの上方に位置するウォーターカーテン形成部であってもよい。
本発明にかかる加工方法は、液体供給ノズルを備えた加工装置によって被加工物を加工する方法であって、該液体供給ノズルから第１の液体あるいは第２の液体のいずれかを供給しながら被加工物を加工する加工ステップと、該液体供給ノズルから該第１の液体あるいは該第２の液体のいずれかを供給しながら加工装置を洗浄する洗浄ステップと、該液体供給ノズルから供給される液体を該第１の液体あるいは該第２の液体のいずれかに設定する設定ステップと、を含んでいる。
本加工装置では、該第２の液体は、ファインバブルまたは界面活性剤の少なくともいずれかを含むものであってもよい。
本加工装置では、該制御部は、被加工物の加工中には、該液体供給ノズルから第１の液体を供給し、被加工物を加工していない時には、該液体供給ノズルから該第２の液体を供給するよう、該開閉弁を制御してもよい。
本加工装置では、該制御部は、被加工物の加工時に、該液体供給ノズルから該第１の液体と該第２の液体とのいずれを供給するか、を選択可能であってもよい。
本加工装置では、該加工ユニットは、回転可能なスピンドルの先端に固定された切削ブレードを有していてもよく、該加工装置は、所定の間隔を空けて設置された投光部と受光部とを含んでいてもよく、該投光部と該受光部との間に該切削ブレードが挿入されたときに該受光部が受光する受光量に応じて、該切削ブレードの刃先の先端位置を検出する刃先検出ユニットをさらに備えてもよく、該液体供給ノズルは、該刃先検出ユニットに該第１の液体または該第２の液体を供給してもよい。
本加工装置は、該保持テーブルと、該加工ユニットとを相対的に該保持テーブルの保持面と平行な方向に移動させる移動ユニットをさらに備えてもよく、該液体供給ノズルは、該保持テーブルの移動方向と交差する方向に沿って形成された複数の噴射口を有し、保持テーブルの上方に位置するウォーターカーテン形成部であってもよい。
本発明にかかる加工方法は、液体供給ノズルを備えた加工装置によって被加工物を加工する方法であって、該液体供給ノズルから第１の液体あるいは第２の液体のいずれかを供給しながら被加工物を加工する加工ステップと、該液体供給ノズルから該第１の液体あるいは該第２の液体のいずれかを供給しながら加工装置を洗浄する洗浄ステップと、該液体供給ノズルから供給される液体を該第１の液体あるいは該第２の液体のいずれかに設定する設定ステップと、を含んでいる。
【発明の効果】
【0008】
本発明では、制御部が、液体供給ノズルから、第１の液体と、たとえば洗浄（加工屑の除去）に適した第２の液体とを、切り替え可能に供給することができる。したがって、複数種類の液体を供給するために、液体の種類ごとに液体供給ノズルを設ける必要がないので、液体供給ノズルを設置するための費用およびスペースの増加を抑えることができる。このため、加工装置の製造コストの増加および大型化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】切削装置の構成を示す斜視図である。
【図2】加工室、保持部および切削機構の構成を示す説明図である。
【図3】刃先検出ユニットの構成を示す斜視図である。
【図4】第４液体供給ノズルの構成を示す説明図である。
【図5】液体供給ユニットの構成を示すブロック図である。
【図6】第２供給源の構成を示すブロック図である。
【図7】実施形態にかかる加工方法を示すフローチャートである。
【図8】実施形態にかかる他の加工方法を示すフローチャートである。
【図9】研削装置の構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
本実施形態では、被加工物として、図１に示すウェーハ１００が用いられる。ウェーハ１００は、円形状を有し、表面に、格子状の分割予定ライン１０２が形成されている。分割予定ライン１０２によって区画された各領域には、たとえば、各種デバイス（図示せず）が形成されている。
【0011】
本実施形態では、ウェーハ１００は、図１に示すように、ワークセット１１０の状態で取り扱われる。ワークセット１１０は、環状フレーム１１１と、環状フレーム１１１の開口に位置づけられたウェーハ１００とを、ダイシングテープ１１３によって一体化させることによって形成されている。本実施形態では、ウェーハ１００は、このようなワークセット１１０の状態で、切削装置１において加工される。
【0012】
図１に示すように、切削装置１は、基台１０および制御部７を備えている。基台１０の上面の開口部１２には、保持部２０が配置されている。保持部２０は、ワークセット１１０のウェーハ１００を保持する保持テーブル２１、保持テーブル２１の周囲に配されているカバー板２４、カバー板２４に取り付けられてＸ軸方向に伸縮する蛇腹カバー２６、および、保持テーブル２１の周囲に備えられた４つのクランプ部２５を備えている。
【0013】
保持テーブル２１は、図１に示したウェーハ１００を保持する部材であり、円板状に形成されている。保持テーブル２１は、ポーラス材からなる保持面２２を備えている。保持面２２は、図示しない吸引源に連通可能である。保持テーブル２１は、この保持面２２によって、ワークセット１１０におけるウェーハ１００を吸引保持する。
【0014】
保持テーブル２１の周囲に備えられた４つのクランプ部２５は、保持テーブル２１に保持されているウェーハ１００の周囲の環状フレーム１１１を挟持固定する。
【0015】
また、保持部２０は、保持テーブル２１の下方における基台１０の内部に、図２に示すように、保持テーブル２１を支持してＸＹ平面内で回転させるθテーブル２３を有している。さらに、θテーブル２３の下方には、加工送り機構１４が配設されている。加工送り機構１４は、移動ユニットの一例であり、保持テーブル２１を含む保持部２０と、切削機構５０とを、相対的に、保持テーブル２１の保持面２２に平行な加工送り方向（Ｘ軸方向）に沿って移動させる。本実施形態では、加工送り機構１４は、保持部２０を、切削機構５０に対して、Ｘ軸方向に沿って移動させるように構成されている。
【0016】
また、図１に示すように、基台１０の上面における＋Ｘ方向側の端部には、作業者が切削条件等を入力するための操作パネル８が設置されている。また、基台１０上の－Ｘ方向側には、門型コラム１１が、開口部１２を跨ぐように立設されている。門型コラム１１の前面には、切削機構５０を移動させる切削機構移動機構１３が設けられている。
【0017】
切削機構移動機構１３は、切削機構５０を、Ｙ軸方向に割り出し送りするとともに、Ｚ軸方向に切込み送りする。切削機構移動機構１３は、切削機構５０を割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に移動する割り出し送り機構３０、および、切削機構５０を切込み送り方向（Ｚ軸方向）に移動する切込み送り機構４０を備えている。
【0018】
割り出し送り機構３０は、門型コラム１１の前面に配設されている。割り出し送り機構３０は、Ｙ軸方向に沿って、切込み送り機構４０および切削機構５０を往復移動させることにより、Ｙ軸方向における切削機構５０の位置を調整する。
【0019】
割り出し送り機構３０は、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドレール３１、ガイドレール３１に設置されたＹ軸テーブル３４、ガイドレール３１と平行に延びるボールネジ３２、および、ボールネジ３２を回転させるモータ（図示せず）を含んでいる。
【0020】
一対のガイドレール３１は、Ｙ軸方向に平行に、門型コラム１１の前面に配置されている。Ｙ軸テーブル３４は、一対のガイドレール３１上に、これらのガイドレール３１に沿ってスライド可能に設置されている。Ｙ軸テーブル３４上には、切込み送り機構４０および切削機構５０が取り付けられている。
【0021】
ボールネジ３２は、Ｙ軸テーブル３４に設けられたナット部（図示せず）に螺合されている。ボールネジ３２の一端部に連結されているモータによってボールネジ３２が回転駆動されることで、Ｙ軸テーブル３４、切込み送り機構４０および切削機構５０が、ガイドレール３１に沿って、割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動する。
【0022】
切込み送り機構４０は、切削機構５０をＺ軸方向（上下方向）に沿って往復移動させる。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交するとともに、保持テーブル２１の保持面２２に対して直交する方向である。
【0023】
切込み送り機構４０は、Ｚ軸方向に延びる一対のガイドレール４１、ガイドレール４１に載置された支持部材４２、ガイドレール４１と平行に延びるボールネジ４３、および、ボールネジ４３を回転させるモータ４４を含んでいる。
【0024】
一対のガイドレール４１は、Ｚ軸方向に平行に、Ｙ軸テーブル３４に配置されている。支持部材４２は、カメラ４８を備えており、一対のガイドレール４１に、これらのガイドレール４１に沿ってスライド可能に設置されている。支持部材４２の下端部には、切削機構５０が取り付けられている。
【0025】
ボールネジ４３は、支持部材４２に設けられたナット部（図示せず）に螺合されている。モータ４４は、ボールネジ４３の一端部に連結されており、ボールネジ４３を回転駆動する。ボールネジ４３が回転駆動されることで、支持部材４２および切削機構５０が、ガイドレール４１に沿って、切込み送り方向であるＺ軸方向に移動する。
【0026】
切削機構５０は、加工ユニットの一例であり、保持テーブル２１に保持されたウェーハ１００を加工（切削加工）する。切削機構５０は、ウェーハ１００を切削する切削ブレード５１を回転可能に支持している。
ここで、切削機構５０およびその近傍の構成について詳細に説明する。
ここで、切削機構５０およびその近傍の構成について詳細に説明する。
【0027】
【0028】
加工室６０は、保持テーブル２１にワークセット１１０を搬入および搬出するための搬出入領域２０１と、切削機構５０によりウェーハ１００を切削加工するための加工領域２０２との、２つの領域を有している。搬出入領域２０１と加工領域２０２とは、Ｘ軸方向に隣接している。
【0029】
加工室６０は、保持テーブル２１と切削機構５０とを少なくとも含む加工空間である。加工室６０は、図２に示すように、上壁６１、側壁６２，６３および６４、保護部材６５、ならびに仕切り板６７を備える。加工室６０の下部は、蛇腹カバー２６によって塞がれている。
上壁６１は、ＸＹ平面に沿って搬出入領域２０１および加工領域２０２に渡って形成され、保持テーブル２１および切削機構５０の上方を覆っている。上壁６１には、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動する切込み送り機構４０の支持部材４２および切削機構５０が通過する領域に、貫通孔６１１が形成されている。保護部材６５は、切削機構５０の上方に設けられ、貫通孔６１１を覆っている。
上壁６１は、ＸＹ平面に沿って搬出入領域２０１および加工領域２０２に渡って形成され、保持テーブル２１および切削機構５０の上方を覆っている。上壁６１には、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動する切込み送り機構４０の支持部材４２および切削機構５０が通過する領域に、貫通孔６１１が形成されている。保護部材６５は、切削機構５０の上方に設けられ、貫通孔６１１を覆っている。
【0030】
一対の側壁６２は、ＸＺ平面に沿って搬出入領域２０１および加工領域２０２に渡って形成され、保持テーブル２１および切削機構５０のＹ軸方向の両側を覆っている。側壁６２の一方には、搬出入領域２０１へのワークセット１１０の搬出入のための開口（図示せず）が設けられている。側壁６３は、ＹＺ平面に沿って形成され、搬出入領域２０１の＋Ｘ方向側を覆っている。側壁６４は、ＹＺ平面に沿って形成され、加工領域２０２の－Ｘ方向側を覆っている。
【0031】
仕切り板６７は、加工室６０内に、側壁６３および側壁６４と同様にＹＺ平面に沿って形成され、搬出入領域２０１と加工領域２０２とを仕切っている。
【0032】
仕切り板６７の下方には、保持テーブル２１が通過する開口部６８が形成されている。すなわち、保持テーブル２１は、加工送り機構１４により、Ｘ軸方向に沿って、仕切り板６７の開口部６８を介して移動することで、搬出入領域２０１と加工領域２０２との間を往復移動することができる。
【0033】
切削機構５０は、加工領域２０２内に配置されている。切削機構５０は、加工領域２０２に位置付けられた保持テーブル２１に保持されたウェーハ１００を、高速回転する切削ブレード５１によって、分割予定ライン１０２に沿って加工する。
【0034】
切削機構５０は、切削ブレード５１に加えて、切削ブレード５１を装着して回転するスピンドル５２、スピンドルを回転可能に支持するハウジング（図示せず）、および、スピンドルを回転駆動するモータ（図示せず）等を備えている。すなわち、切削ブレード５１は、モータによって回転可能なスピンドル５２の先端に固定されている。さらに、切削機構５０は、切削ブレード５１の上方を覆うブレードカバー５５、液体を供給するための第１液体供給ノズル５６および第２液体供給ノズル５７、ならびに、これらのノズルに液体を供給するためのジョイント５８を含む。
【0035】
第１液体供給ノズル５６および第２液体供給ノズル５７は、加工空間である加工室６０に液体を供給する液体供給ノズルの一例である。
第１液体供給ノズル５６は、後述する供給源からジョイント５８を介して供給される液体（第１の液体あるいは第２の液体）を、切削ブレード５１の側方に供給する。また、第２液体供給ノズル５７は、供給源からジョイント５８を介して供給される液体を、切削ブレード５１の＋Ｘ方向側から、たとえば、切削ブレード５１とウェーハ１００との接点である加工点に供給する。
第１液体供給ノズル５６は、後述する供給源からジョイント５８を介して供給される液体（第１の液体あるいは第２の液体）を、切削ブレード５１の側方に供給する。また、第２液体供給ノズル５７は、供給源からジョイント５８を介して供給される液体を、切削ブレード５１の＋Ｘ方向側から、たとえば、切削ブレード５１とウェーハ１００との接点である加工点に供給する。
【0036】
また、図１に示すように、カバー板２４における保持テーブル２１と隣接する位置には、切削機構５０の切削ブレード５１の刃先の先端位置を検出する刃先検出ユニット７０が設けられている。
【0037】
刃先検出ユニット７０は、図３に示すように、本体７１、および、本体７１に取り付けられた検出部７２を有している。検出部７２は、ブレード侵入部７５を形成するＵ字形状の先端を有している。検出部７２は、このブレード侵入部７５を挟むように、光を投光する投光部７３、および、投光部７３からの光を受光する受光部７４を有している。
【0038】
投光部７３および受光部７４は、互いに所定の間隔を空けて設置されている。投光部７３と受光部７４との間のブレード侵入部７５に切削機構５０の切削ブレード５１（切削ブレード５１の刃先）が挿入されると、切削ブレード５１の刃先の先端位置（高さ位置）に応じて、受光部７４が受光する受光量が変化する。刃先検出ユニット７０は、ブレード侵入部７５に切削機構５０の切削ブレード５１が挿入されたときに受光部７４が受光する受光量に応じて、切削ブレード５１の刃先の先端位置を検出するように構成されている。たとえば、受光部７４の受光量が所定量になるように、切込み送り機構４０によって切削ブレード５１の高さを調整することで、切削ブレード５１の刃先の先端を、所定の基準位置に配置することができる。
【0039】
また、検出部７２上には、一対の第３液体供給ノズル７６および一対のエア供給ノズル７７が配置されている。第３液体供給ノズル７６は、刃先検出ユニット７０に液体（第１の液体あるいは第２の液体）を供給する液体供給ノズルの一例である。本実施形態では、第３液体供給ノズル７６は、投光部７３および受光部７４に、後述する供給源から供給される液体を、洗浄水として噴射する。エア供給ノズル７７は、投光部７３および受光部７４にエアを供給する。
【0040】
また、図１に示すように、門型コラム１１の＋Ｘ方向側には、基台１０の開口部１２を跨ぐように、ウォーターカーテン形成部としての第４液体供給ノズル８０が配置されている。第４液体供給ノズル８０は、図２に示した加工室６０内に配置されており、加工室６０に液体を供給する液体供給ノズルの一例である。第４液体供給ノズル８０は、保持テーブル２１に液体を供給するためのパイプ状の部材であり、基台１０上に設けられた一対の支持部材８３によって支持されている。第４液体供給ノズル８０は、保持テーブル２１の保持面２２および刃先検出ユニット７０よりも高い位置で、保持テーブル２１の移動方向であるＸ軸方向と交差する方向であるＹ軸方向に沿って延在している。
なお、刃先検出ユニット７０が、カバー板２４の上ではなく、切削ブレード５１が固定されるスピンドル５２の下方に設置される場合もある。この場合には、第４液体供給ノズル８０は、刃先検出ユニット７０よりも高い位置にある必要は無く、保持面２２よりも高い位置にあれば良い。
なお、刃先検出ユニット７０が、カバー板２４の上ではなく、切削ブレード５１が固定されるスピンドル５２の下方に設置される場合もある。この場合には、第４液体供給ノズル８０は、刃先検出ユニット７０よりも高い位置にある必要は無く、保持面２２よりも高い位置にあれば良い。
【0041】
図４に示すように、第４液体供給ノズル８０は、Ｙ軸方向に沿って形成された複数の噴射口８１を有している。第４液体供給ノズル８０では、後述する供給源から供給される液体（第１の液体あるいは第２の液体）を噴射口８１から噴射することにより、第４液体供給ノズル８０の下方にウォーターカーテン８２を形成することができる。
【0042】
したがって、加工送り機構１４によって、保持テーブル２１を含む保持部２０が第４液体供給ノズル８０の下方に配置された際、第４液体供給ノズル８０は、保持テーブル２１の上方に位置して、保持テーブル２１の保持面２２あるいはウェーハ１００を、ウォーターカーテン８２によって洗浄することができる。
【0043】
また、図１に示すように、切削装置１は、液体供給ユニット９０を有している。液体供給ユニット９０は、切削機構５０の第１液体供給ノズル５６および第２液体供給ノズル５７、刃先検出ユニット７０の第３液体供給ノズル７６、ならびに第４液体供給ノズル８０に液体を供給するために用いられる。
【0044】
図５に示すように、液体供給ユニット９０は、第１供給源９１および第２供給源９２を備えている。
第１供給源９１は、第１の液体を供給するための供給源である。第１の液体は、ファインバブルおよび界面活性剤のいずれをも含んでいない通常の加工水あるいは洗浄水であり、たとえば純水である。
第１供給源９１は、第１の液体を供給するための供給源である。第１の液体は、ファインバブルおよび界面活性剤のいずれをも含んでいない通常の加工水あるいは洗浄水であり、たとえば純水である。
【0045】
第２供給源９２は、第１の液体とは異なる第２の液体を供給するための供給源である。第２の液体は、洗浄（加工屑の除去）に適した液体であり、たとえば、ファインバブルまたは界面活性剤の少なくともいずれかを含む。本実施形態では、第２の液体は、界面活性剤を含む液体（界面活性剤と水との混合物）である。
【0046】
液体供給ユニット９０は、さらに、第１供給源９１に接続されている第１の流路９４、および、第２供給源９２に接続されている第２の流路９５を備えている。第１の流路９４は、各液体供給ノズル（第１～第４液体供給ノズル５６，５７，７６および８０）と第１供給源９１とを連通させるために用いられる。一方、第２の流路９５は、各液体供給ノズルと第２供給源９２とを連通させるために用いられる。
【0047】
さらに、液体供給ユニット９０は、第１の流路９４と第２の流路９５とを開閉する開閉弁９３を備えている。開閉弁９３は、第１の流路９４および第２の流路９５のいずれかを一方を開放して主流路９６に接続する一方、いずれか他方を閉じることが可能である。
【0048】
また、図５に示すように、主流路９６は、切削機構５０の第１液体供給ノズル５６および第２液体供給ノズル５７に、第１制御弁９７（およびジョイント５８（図２参照））を介して接続されている。第１制御弁９７は、第１液体供給ノズル５６および第２液体供給ノズル５７と主流路９６との連通状態を制御するものである。
【0049】
また、主流路９６は、刃先検出ユニット７０の第３液体供給ノズル７６に、これらの間の連通状態を制御する第２制御弁９８を介して接続されている。さらに、主流路９６は、第４液体供給ノズル８０に、これらの間の連通状態を制御する第３制御弁９９を介して接続されている。
【0050】
また、第２供給源９２は、図６に示すように、液体（たとえば純水）を供給するための液体供給部１４１、界面活性剤を供給するための界面活性剤供給部１４２、および、混合器１４３を有している。混合器１４３は、液体供給部１４１から供給される液体と界面活性剤供給部１４２から供給される界面活性剤とを混合して第２の液体を生成し、第２の流路９５に供給するものである。
【0051】
このような構成を有する液体供給ユニット９０は、制御部７によって制御される。
この制御部７は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、および、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７は、液体供給ユニット９０を含む切削装置１の各部材を制御して、ウェーハ１００の加工を実施する。たとえば、制御部７は、液体供給ユニット９０の開閉弁９３を制御し、液体供給ノズルから、第１の液体と第２の液体とを切り替え可能に供給する。
この制御部７は、制御プログラムに従って演算処理を行うＣＰＵ、および、メモリ等の記憶媒体等を備えている。制御部７は、液体供給ユニット９０を含む切削装置１の各部材を制御して、ウェーハ１００の加工を実施する。たとえば、制御部７は、液体供給ユニット９０の開閉弁９３を制御し、液体供給ノズルから、第１の液体と第２の液体とを切り替え可能に供給する。
【0052】
以下に、制御部７によって制御される、切削装置１におけるウェーハ１００の加工方法について、図７に基づいて説明する。
【0053】
この加工方法は、液体供給ノズルを備えた加工装置である切削装置１によって、ウェーハ１００を加工する方法である。加工の開始時には、制御部７が、図５に示した液体供給ユニット９０の開閉弁９３を制御して、第１の流路９４を開放して主流路９６に接続する一方、第２の流路９５を閉じる。これにより、第１の流路９４から、主流路９６を介して、上述した第１液体供給ノズル５６、第２液体供給ノズル５７、第３液体供給ノズル７６および第４液体供給ノズル８０に、第１の液体（純水）を供給することが可能となる。
【0054】
［保持ステップ（Ｓ１）］
このステップでは、制御部７は、まず、加工送り機構１４によって保持テーブル２１を含む保持部２０をＸ軸方向に沿って往復移動させつつ、第３制御弁９９を開放して主流路９６と第４液体供給ノズル８０とを連通させる。これにより、図４に示すように、保持テーブル２１の保持面２２および蛇腹カバー２６の上面を、第１の液体からなるウォーターカーテン８２によって洗浄する。
このステップでは、制御部７は、まず、加工送り機構１４によって保持テーブル２１を含む保持部２０をＸ軸方向に沿って往復移動させつつ、第３制御弁９９を開放して主流路９６と第４液体供給ノズル８０とを連通させる。これにより、図４に示すように、保持テーブル２１の保持面２２および蛇腹カバー２６の上面を、第１の液体からなるウォーターカーテン８２によって洗浄する。
【0055】
次に、作業者によって、図１に示したワークセット１１０のウェーハ１００が、ダイシングテープ１１３を介して、加工室６０内における保持部２０の保持テーブル２１に載置される。さらに、保持部２０のクランプ部２５によって、ワークセット１１０の環状フレーム１１１が支持される。この状態で、制御部７が、図示しない吸引源に保持テーブル２１の保持面２２を連通させることにより、保持面２２によってウェーハ１００を吸引保持する。このようにして、ウェーハ１００を含むワークセット１１０が、保持テーブル２１によって保持される。
【0056】
［加工ステップ（Ｓ２）］
加工ステップは、たとえば、液体供給ノズルから第１の液体を供給しながらウェーハ１００を加工するステップである。このステップでは、図１に示した複数の分割予定ライン１０２に沿って、ウェーハ１００が切削される。
具体的には、制御部７が、切削ブレード５１の刃先の先端位置を図３に示した刃先検出ユニット７０を用いて確認しながら、切削ブレード５１の刃先の先端が所定の基準位置に配置されるまで、切込み送り機構４０によって切削ブレード５１を降下させる。
加工ステップは、たとえば、液体供給ノズルから第１の液体を供給しながらウェーハ１００を加工するステップである。このステップでは、図１に示した複数の分割予定ライン１０２に沿って、ウェーハ１００が切削される。
具体的には、制御部７が、切削ブレード５１の刃先の先端位置を図３に示した刃先検出ユニット７０を用いて確認しながら、切削ブレード５１の刃先の先端が所定の基準位置に配置されるまで、切込み送り機構４０によって切削ブレード５１を降下させる。
【0057】
そして、制御部７は、図１および図２に示したθテーブル２３、加工送り機構１４および割り出し送り機構３０を制御して、保持テーブル２１に保持されているウェーハ１００における１つの分割予定ライン１０２を、Ｘ軸に平行にするとともに、切削ブレード５１によって切削可能な位置に配置する。
【0058】
次に、制御部７は、図２に示した切削ブレード５１を高速回転させながら、ウェーハ１００を保持している保持テーブル２１をＸ軸方向に移動させる。これにより、回転する切削ブレード５１が、１つの分割予定ライン１０２に沿って、ウェーハ１００を切削する。
そして、制御部７は、ウェーハ１００における全ての分割予定ライン１０２に沿って、ウェーハ１００を切削する。
そして、制御部７は、ウェーハ１００における全ての分割予定ライン１０２に沿って、ウェーハ１００を切削する。
【0059】
なお、この切削の際、制御部７は、図５に示した第１制御弁９７を開放して、主流路９６と切削機構５０の第１液体供給ノズル５６および第２液体供給ノズル５７とを連通させることにより、第１液体供給ノズル５６および第２液体供給ノズル５７から、切削ブレード５１に対して、加工水として第１の液体を供給する。
【0060】
また、制御部７は、第２制御弁９８を開放して、主流路９６と刃先検出ユニット７０の第３液体供給ノズル７６とを連通させることにより、図３に示した第３液体供給ノズル７６から投光部７３および受光部７４に対して第１の液体を供給して、投光部７３および受光部７４を洗浄する。
また、制御部７は、第３制御弁９９を適宜に開放して、主流路９６と第４液体供給ノズル８０とを連通させることにより、保持テーブル２１に保持されているウェーハ１００を、連続的あるいは間欠的に、ウォーターカーテン８２によって洗浄する。
また、制御部７は、第３制御弁９９を適宜に開放して、主流路９６と第４液体供給ノズル８０とを連通させることにより、保持テーブル２１に保持されているウェーハ１００を、連続的あるいは間欠的に、ウォーターカーテン８２によって洗浄する。
【0061】
［搬出ステップ（Ｓ３）］
このステップでは、作業者によって、ウェーハ１００を含むワークセット１１０が、加工室６０内における保持部２０の保持テーブル２１から取り外されて、加工室６０の外に搬出される。
このステップでは、作業者によって、ウェーハ１００を含むワークセット１１０が、加工室６０内における保持部２０の保持テーブル２１から取り外されて、加工室６０の外に搬出される。
【0062】
［第１切り替えステップ（Ｓ４）］
第１切り替えステップは、液体供給ノズルから供給される液体を第１の液体あるいは第２の液体のいずれかに設定する設定ステップの一例である。このステップでは、制御部７が、液体供給ノズルから供給される液体を、洗浄に適した第２の液体に切り換える。具体的には、制御部７が、図５に示した液体供給ユニット９０の開閉弁９３を制御して、第１の流路９４を閉じる一方、第２の流路９５を開放して主流路９６に接続する。これにより、第２の流路９５から、主流路９６を介して、上述した第１液体供給ノズル５６、第２液体供給ノズル５７、第３液体供給ノズル７６および第４液体供給ノズル８０に、洗浄に適した第２の液体を供給することが可能となる。
第１切り替えステップは、液体供給ノズルから供給される液体を第１の液体あるいは第２の液体のいずれかに設定する設定ステップの一例である。このステップでは、制御部７が、液体供給ノズルから供給される液体を、洗浄に適した第２の液体に切り換える。具体的には、制御部７が、図５に示した液体供給ユニット９０の開閉弁９３を制御して、第１の流路９４を閉じる一方、第２の流路９５を開放して主流路９６に接続する。これにより、第２の流路９５から、主流路９６を介して、上述した第１液体供給ノズル５６、第２液体供給ノズル５７、第３液体供給ノズル７６および第４液体供給ノズル８０に、洗浄に適した第２の液体を供給することが可能となる。
【0063】
［洗浄ステップ（Ｓ５）］
洗浄ステップは、たとえば、液体供給ノズルから第２の液体を供給しながら加工装置を洗浄するステップである。
洗浄ステップは、たとえば、液体供給ノズルから第２の液体を供給しながら加工装置を洗浄するステップである。
【0064】
すなわち、上述した加工ステップでは、切削ブレード５１とウェーハ１００との接点である加工点から、加工屑（切削屑）が発生して、加工室６０の内壁および加工室６０内の部材に付着する。このため、この洗浄ステップでは、これらの加工屑を洗浄する。
【0065】
洗浄ステップでは、制御部７は、まず、切削機構５０の切削ブレード５１を回転させる。さらに、制御部７は、図５に示した第１制御弁９７を開放して、第１液体供給ノズル５６および第２液体供給ノズル５７から、切削ブレード５１に対して、第２の液体を供給する。
【0066】
これにより、切削ブレード５１を含む切削機構５０の各構成（ブレードカバー５５，ジョイント５８など）が、第２の液体によって洗浄される。さらに、回転している切削ブレード５１に供給された第２の液体が切削ブレード５１の周囲に飛んで、切削ブレード５１の周囲を洗浄する。たとえば、第２の液体は、加工室６０の内壁（上壁６１、側壁６２，６３および６４の内面）まで飛んで、加工室６０の内壁を洗浄する。
【0067】
また、制御部７は、第２制御弁９８を開放して、主流路９６と刃先検出ユニット７０の第３液体供給ノズル７６とを連通させることにより、図３に示した第３液体供給ノズル７６から投光部７３および受光部７４に対して第２の液体を供給して、投光部７３および受光部７４を洗浄する
さらに、制御部７は、加工送り機構１４によって保持テーブル２１を含む保持部２０をＸ軸方向に沿って往復移動させつつ、第３制御弁９９を開放して主流路９６と第４液体供給ノズル８０とを連通させることにより、保持テーブル２１の保持面２２および蛇腹カバー２６の上面を、第２の液体からなるウォーターカーテン８２によって洗浄する。
さらに、制御部７は、加工送り機構１４によって保持テーブル２１を含む保持部２０をＸ軸方向に沿って往復移動させつつ、第３制御弁９９を開放して主流路９６と第４液体供給ノズル８０とを連通させることにより、保持テーブル２１の保持面２２および蛇腹カバー２６の上面を、第２の液体からなるウォーターカーテン８２によって洗浄する。
【0068】
［第２切り替えステップ（Ｓ６）］
このステップも、設定ステップの一例である。このステップでは、液体供給ノズルから供給される液体を、加工に適した第１の液体に切り替える。具体的には、制御部７が、図５に示した液体供給ユニット９０の開閉弁９３を制御して、第１の流路９４を開放して主流路９６に接続する一方、第２の流路９５を閉じる。これにより、第１の流路９４から、主流路９６を介して、上述した第１液体供給ノズル５６、第２液体供給ノズル５７、第３液体供給ノズル７６および第４液体供給ノズル８０に、第１の液体（純水）を供給することが可能となる。
このステップも、設定ステップの一例である。このステップでは、液体供給ノズルから供給される液体を、加工に適した第１の液体に切り替える。具体的には、制御部７が、図５に示した液体供給ユニット９０の開閉弁９３を制御して、第１の流路９４を開放して主流路９６に接続する一方、第２の流路９５を閉じる。これにより、第１の流路９４から、主流路９６を介して、上述した第１液体供給ノズル５６、第２液体供給ノズル５７、第３液体供給ノズル７６および第４液体供給ノズル８０に、第１の液体（純水）を供給することが可能となる。
【0069】
次に、制御部７は、ウェーハ１００の加工を終了するか否か、すなわち、次のウェーハ１００の加工を実施するか否かを、たとえば作業者からの指示に基づいて判断する（Ｓ７）。制御部７は、次のウェーハ１００の加工を実施する場合には、処理をＳ１に戻す。
【0070】
以上のように、本実施形態では、加工ステップにおいて加工室６０の内壁および加工室６０内の部材に付着した加工屑を、洗浄ステップにおいて、第２の液体を用いて洗浄することができる。このため、加工室６０の内壁および加工室６０内の各部材に加工屑が固着することを抑制することができる。
【0071】
また、本実施形態では、切削装置１が、第１の液体および第２の液体のいずれかを供給するための液体供給ノズルとして、切削機構５０の第１液体供給ノズル５６および第２液体供給ノズル５７、刃先検出ユニット７０の第３液体供給ノズル７６、ならびに、ウォーターカーテン８２を形成するための第４液体供給ノズル８０を有している。そして、制御部７が、各液体供給ノズルから、加工に適した第１の液体と、洗浄に適した第２の液体とを、切り替え可能に供給することができる。
【0072】
このように、本実施形態では、各液体供給ノズルから、複数種類の液体を切り替えながら供給することができる。したがって、複数種類の液体を供給するために、液体の種類ごとに液体供給ノズルを設ける必要がないので、液体供給ノズルを設置するための費用およびスペースの増加を抑えることができる。このため、切削装置１の製造コストの増加および大型化を抑制することができる。
【0073】
なお、上述した実施形態では、加工に適した第１の液体として純水を用いる一方、洗浄に適した第２の液体として界面活性剤を含む液体を用いている。これに関し、第１の液体および第２の液体の種類（内容）は、作業者によって任意に選択されることができる。作業者は、これらの液体の種類を、たとえば、被加工物（たとえば、被加工物の素材）に応じて選択することができる。
【0074】
第２の液体としては、洗浄に適した任意の液体を採用することができる。たとえば、第２の液体は、界面活性剤に代えて、ファインバブルを含む液体（ファインバブルと水との混合物）であってもよい。
【0075】
この場合、第２供給源９２は、図６に示した界面活性剤供給部１４２に代えてファインバブルとなるエアを供給するエア供給源を備えるとともに、混合器１４３に代えて、液体中にファインバブルを生成するファインバブル生成器を備える。
【0076】
この場合、第２の液体は、１００μｍ以下のファインバブルであるマイクロバブルを含む液体であることが好ましい。あるいは、第２の液体は、１μｍ下のファインバブルであるウルトラファインバブルを含む液体であることがさらに好ましい。
【0077】
ファインバブル生成器において採用されるファインバルブ（マイクロバブルあるいはウルトラファインバブル）の製造方式としては、旋回流液式、および、エゼクター式（ベンチュリー式）が上げられる。旋回流液式では、大きな気泡を、強い流れの液体によってせん断すること（引きちぎったり切断したりすること）によって、細かく砕くこと（高速液旋回流による気泡の粉砕）により、ファインバブルを生成する。一方、エゼクター式（ベンチュリー式）では、圧力を上げてガスを良く溶かした液体を生成したあと、急に圧力を下げて発泡させること（気液流路内の急激な圧力変化による気泡の粉砕）により、ファインバブルを生成する。
【0078】
また、上述の実施形態では、制御部７は、加工ステップにおいて第１の液体を用いる一方、洗浄ステップにおいて第２の液体を用いている。すなわち、制御部７は、ウェーハ１００の加工中（加工ステップ）には、液体供給ノズルから第１の液体を供給し、ウェーハ１００を加工していない時は、液体供給ノズルから第２の液体を供給するよう、開閉弁９３を制御している。
【0079】
これに関し、第２の液体は、ウェーハ１００に影響を与える場合がある。たとえば、ファインバブルを含む第２の液体を用いる場合、第２の液体が飛散してウェーハ１００に含まれているデバイスに触れると、気泡によってデバイスが損傷する恐れがある。また、界面活性材を含む第２の液体を用いる場合も、第２の液体がデバイスに影響する恐れがある。このため、このような影響を受けるデバイスを有するウエーハ１００の場合には、加工ステップでは第１の液体を液体供給ノズルから供給することで、加工品質の悪化を抑制することができる。
【0080】
また、本実施形態では、図８に示すような加工方法を採用することもできる。この方法では、加工ステップを実施する前に、加工ステップにおいて使用する液体を選択することができる。
【0081】
この方法では、まず、図７の保持ステップ（Ｓ１）と同様の保持ステップが実施されて、ウェーハ１００を含むワークセット１１０が、保持テーブル２１によって保持される（Ｓ１１）。
【0082】
次に、選択ステップが実施される（Ｓ１２）。このステップでは、作業者が、図１に示した操作パネル８を用いて、ウェーハ１００の切削加工に用いる液体（第１の液体あるいは第２の液体）を選択する。
【0083】
次に、第１設定ステップが実施される（Ｓ１３）。このステップでは、制御部７が、液体供給ノズルから供給される液体を、Ｓ１２において作業者に選択された液体に設定する。たとえば、作業者によって第１の液体が選択されている場合、制御部７が、図５に示した液体供給ユニット９０の開閉弁９３を制御して、第２の流路９５を閉じる一方、第１の流路９４を開放して主流路９６に接続する。これにより、第１の流路９４から、主流路９６を介して、上述した第１液体供給ノズル５６、第２液体供給ノズル５７、第３液体供給ノズル７６および第４液体供給ノズル８０に、第１の液体を供給することが可能となる。
【0084】
次に、図７に示した加工ステップ（Ｓ２）および搬出ステップ（Ｓ３）と同様の加工ステップ（Ｓ１４）および搬出ステップ（Ｓ１５）が実施されて、切削加工されたウェーハ１００を含むワークセット１１０が、加工室６０の外に搬出される。
【0085】
次に、第２設定ステップが実施される（Ｓ１６）。このステップでは、制御部７が、液体供給ノズルから供給される液体を、第２の液体に設定する。なお、第１設定ステップ（Ｓ１３）において第２の液体が設定されている場合には、第２設定ステップ（Ｓ１６）は省略されてもよい。
【0086】
次に、制御部７は、図７に示した洗浄ステップ（Ｓ５）と同様の洗浄ステップ（Ｓ１７）を実施する。これにより、加工室６０の内壁および加工室６０内の部材に付着した加工屑が、第２の液体によって洗浄される。
【0087】
次に、制御部７は、ウェーハ１００の加工を終了するか否かを、たとえば作業者からの指示に基づいて判断し（Ｓ１８）、次のウェーハ１００の加工を実施する場合には、処理をＳ１１に戻す。
【0088】
この方法では、制御部７が、たとえば作業者の指示に基づいて、ウェーハ１００の加工時に、液体供給ノズルから第１の液体と第２の液体とのいずれを供給するか、を選択可能である。すなわち、作業者は、たとえばウェーハ１００の種類に応じて、ウェーハ１００の切削加工に用いる液体を選択することができる。
【0089】
したがって、たとえば、ウェーハ１００が第２の液体によって悪影響を受けない場合、加工ステップにおいて第２の液体を用いることができる。この場合、加工中に、加工室６０の内壁、その内部の部材およびウェーハ１００に加工屑が付着することを、良好に抑制することができる。
このように、加工ステップは、液体供給ノズルから第１の液体あるいは第２の液体のいずれかを供給しながらウェーハ１００を加工するステップであってもよい。
このように、加工ステップは、液体供給ノズルから第１の液体あるいは第２の液体のいずれかを供給しながらウェーハ１００を加工するステップであってもよい。
【0090】
なお、図８に示す方法では、選択ステップ（Ｓ１２）において、作業者が、加工ステップで用いられる液体を選択することに加えて、洗浄ステップで用いられる液体を選択してもよい。そして、第２設定ステップ（Ｓ１６）において、制御部７が、洗浄ステップ（Ｓ１７）において液体供給ノズルから供給される液体を、作業者に選択された液体に設定してもよい。この場合、洗浄ステップにおいて、第２の液体に代えて第１の液体を用いて洗浄を実施することが可能となる。したがって、洗浄ステップは、液体供給ノズルから第１の液体あるいは第２の液体のいずれかを供給しながら加工装置を洗浄するステップであってもよい。
【0091】
また、上述した実施形態では、ウェーハ１００を切削加工して（Ｓ２，Ｓ１４）、このウェーハ１００を含むワークセット１１０を搬出した後（Ｓ３，Ｓ１５）、洗浄ステップ（Ｓ５，Ｓ１７）を行っている。すなわち、１枚のウェーハ１００を加工するたびに、洗浄ステップを実施している。これに関し、洗浄ステップは、所定数のウェーハ１００を加工した後、たとえば、１つの収納カセット内の複数のウェーハ１００を加工した後に実施されてもよい。あるいは、洗浄ステップは、作業者の望む任意のタイミングで実施されてもよい。たとえば、切削装置１を長時間にわたって使用しない（長時間にわたってウェーハ１００を加工しない）ことが明確となった時点で、洗浄ステップが実施されてもよい。
【0092】
また、上述したように、第２の液体が、ウェーハ１００に影響を与える場合がある。このような場合には、第２の液体を用いる洗浄ステップは、ウェーハ１００が保持テーブル２１に保持されていないタイミングで実施されることが好ましい。
【0093】
また、本実施形態では、図５に示すように、１つの液体供給ユニット９０の主流路９６が、４つの液体供給ノズル（第１～第４液体供給ノズル５６，５７，７６および８０）に接続されており、各液体供給ノズルに共通の液体が供給されている。
これに関し、液体供給ノズルごとに液体供給ユニット９０が備えられていてもよい。これにより、液体供給ノズルごとに、供給される液体を設定することが可能となる。したがって、各液体供給ノズルから、それぞれ異なる種類の液体（第１の液体あるいは第２の液体）を供給することが可能となる。たとえば、加工ステップ（Ｓ２，Ｓ１４）では、第１液体供給ノズル５６、第２液体供給ノズル５７および第４液体供給ノズル８０から第１の液体を供給する一方、第３液体供給ノズル７６から第２の液体を供給することができる。
これに関し、液体供給ノズルごとに液体供給ユニット９０が備えられていてもよい。これにより、液体供給ノズルごとに、供給される液体を設定することが可能となる。したがって、各液体供給ノズルから、それぞれ異なる種類の液体（第１の液体あるいは第２の液体）を供給することが可能となる。たとえば、加工ステップ（Ｓ２，Ｓ１４）では、第１液体供給ノズル５６、第２液体供給ノズル５７および第４液体供給ノズル８０から第１の液体を供給する一方、第３液体供給ノズル７６から第２の液体を供給することができる。
【0094】
ここで、第３液体供給ノズル７６を含む刃先検出ユニット７０は、保持テーブル２１に保持されているウェーハ１００から離れている。このため、投光部７３および受光部７４を洗浄するために第３液体供給ノズル７６から供給される液体は、保持テーブル２１に保持されているウェーハ１００に与える影響が小さいので、常に第２の液体であってもよい。したがって、加工ステップにおいて、第３液体供給ノズル７６から投光部７３および受光部７４に向けて、第２の液体を供給してもよい。
【0095】
また、切削装置１では、図７および図８に示した加工処理において、加工ステップ（Ｓ２，Ｓ１４）および洗浄ステップ（Ｓ５，Ｓ１７）以外のタイミング（たとえば、他のステップの実施中、あるいは、アイドリング時）においても、各液体供給ノズルから液体を継続的あるいは間欠的に供給していてもよい。たとえば、制御部７は、第１液体供給ノズル５６、第２液体供給ノズル５７および第４液体供給ノズル８０から、第１の液体あるいは第２の液体を継続的あるいは間欠的に供給していてもよい。これにより、加工室６０内に浮遊する加工屑が、これらの液体供給ノズルおよび他の部材に付着することを抑制することができる。
【0096】
また、切削装置１では、制御部７は、加工の終了後（加工を実施していない時）に、第１液体供給ノズル５６、第２液体供給ノズル５７、第３液体供給ノズル７６および第４液体供給ノズル８０から、連続的あるいは間欠的に、第２の液体を供給してもよい。これにより、これらの液体供給ノズルに加工屑が固着して、液体供給ノズルの噴出口が加工屑によって塞がれてしまうことを、抑制することができる。
【0097】
あるいは、切削装置１を長時間にわたって使用しないことが明確となった時点で、所定時間、洗浄ステップでの供給量よりも少量の第２の液体を、各液体供給ノズルから供給してもよい。これによっても、液体供給ノズルの噴出口が加工屑によって塞がれてしまうことを抑制することができる。
【0098】
加工を実施していないタイミングで第２の液体を液体供給ノズルから供給すると、第２の液体がファインバブルを含む場合には、付着した加工屑をバブルによって浮かせる作用が発揮されて、高い洗浄効果を得られる。また、第２の液体が界面活性剤を含む場合には、界面活性剤が加工屑に浸透して加工屑を除去する作用が発揮されるため、この場合にも洗浄効果が高くなる。
【0099】
また、上述した実施形態では、被加工物の一例としてウェーハ１００を示している。これに関し、被加工物は、パッケージ基板であってもよい。
【0100】
また、上述した実施形態では、加工装置として、切削装置１を示している。これに関し、本実施形態にかかる加工装置は、図９に示す研削装置２であってもよい。この研削装置２は、ウェーハ１００等の被加工物を保持する保持部材１３０、保持部材１３０に保持された被加工物を研削する研削機構１２０、上述した液体供給ユニット９０、および、制御部１２７を備えている。
制御部１２７は、上述した研削装置２の制御部７と同様に、液体供給ユニット９０を含む研削装置２の各部材を制御して被加工物の加工を実施する。この際、制御部１２７は、液体供給ユニット９０の開閉弁９３を制御し、液体供給ノズルから、第１の液体と第２の液体と、を切り替え可能に供給する。
制御部１２７は、上述した研削装置２の制御部７と同様に、液体供給ユニット９０を含む研削装置２の各部材を制御して被加工物の加工を実施する。この際、制御部１２７は、液体供給ユニット９０の開閉弁９３を制御し、液体供給ノズルから、第１の液体と第２の液体と、を切り替え可能に供給する。
【0101】
保持部材１３０は、保持面１３２によって被加工物を保持する保持テーブル１３１、および、保持テーブル１３１を回転可能に支持する支持柱１３３を有している。
【0102】
研削機構１２０は、保持テーブル１３１の保持面１３２によって保持された被加工物を研削砥石１２６によって研削する。研削機構１２０は、モータ（図示せず）によって回転するスピンドル１２２、スピンドル１２２の下端に取り付けられたホイールマウント１２３、および、ホイールマウント１２３に支持された研削ホイール１２４を備えている。
【0103】
研削ホイール１２４は、加工ユニットの一例であり、保持テーブル１３１に保持された被加工物を加工（研削加工）する。研削ホイール１２４は、円環状のホイール基台１２５、および、複数の研削砥石１２６を備えている。研削砥石１２６は、ホイール基台１２５の下面に、全周にわたって環状に配列されている。研削砥石１２６は、スピンドル１２２とともに回転され、保持テーブル１３１に保持された被加工物を研削する。
【0104】
また、研削装置２は、研削砥石１２６を含む研削ホイール１２４および保持テーブル１３１を覆う加工室１６０を有している。
【0105】
加工室１６０は、保持テーブル１３１と研削ホイール１２４とを少なくとも含む加工空間である。加工室１６０は、図９に示すように、上壁１６１、側壁１６３および１６４、ならびに、下壁１６２を備えている。上壁１６１は、保持テーブル１３１および研削ホイール１２４の上方を覆っている。上壁１６１には、研削ホイール１２４を挿入するための第１開口部１６５が形成されている。
【0106】
下壁１６２は、保持テーブル１３１および研削ホイール１２４の下方を覆っている。下壁１６２には、保持テーブル１３１を挿入するための第２開口部１６６が形成されている。一対の側壁１６３は、ＹＺ平面に沿って形成され、保持テーブル１３１および研削ホイール１２４のＸ軸方向の両側を覆う。一対の側壁１６４は、ＸＺ平面に沿って形成され、保持テーブル１３１および研削ホイール１２４のＹ軸方向の両側を覆う。
【0107】
また、研削装置２は、第５液体供給ノズル１７０を備えている。第５液体供給ノズル１７０は、たとえば、保持テーブル１３１の保持面１３２によって保持された被加工物と研削砥石１２６との接点である加工点に液体を供給するために用いられる。この第５液体供給ノズル１７０は、加工空間である加工室１６０に液体を供給する液体供給ノズルの一例である。
【0108】
また、研削装置２は、図５に示した液体供給ユニット９０を有している。そして、第５液体供給ノズル１７０は、液体供給ユニット９０の主流路９６に接続されており、第１の液体あるいは第２の液体のいずれかを加工点に供給することが可能である。
【0109】
このような構成を有する研削装置２でも、図７および図８に示した加工方法を実施することが可能である。すなわち、加工ステップ（Ｓ２，Ｓ１４）において、制御部１２７は、第５液体供給ノズル１７０から、たとえば第１の液体を、保持テーブル１３１に保持された被加工物と研削砥石１２６との接点である加工点に供給することができる。
【0110】
そして、洗浄ステップ（Ｓ５，Ｓ１６）においては、制御部１２７は、スピンドル１２２および研削砥石１２６を回転させながら、第５液体供給ノズル１７０から第２の液体を供給する。これにより、研削ホイール１２４、保持テーブル１３１およびこれらの近傍が、第２の液体によって洗浄される。さらに、回転している研削砥石１２６に供給された第２の液体が、水滴３０１となって研削砥石１２６の周囲に飛んで、研削砥石１２６の周囲を洗浄する。たとえば、第２の液体は、加工室１６０の内壁（上壁１６１、下壁１６２，側壁１６３および１６４の内面）まで飛んで、加工室１６０の内壁を洗浄する。
【0111】
このように、研削装置２においても、加工ステップにおいて加工室１６０の内壁および加工室１６０内の部材に付着した加工屑を、洗浄ステップにおいて、第２の液体を用いて洗浄することができる。また、第５液体供給ノズル１７０から、加工に適した第１の液体と、洗浄に適した第２の液体とを、切り替え可能に供給することができる。
【0112】
なお、研削装置２では、スピンドル１２２の内部を通って研削ホイール１２４に形成された噴出口（図示せず）から、加工点に向けて液体を供給することもできる。この場合、研削ホイール１２４の噴出口が、液体供給ノズルとして機能する。
【符号の説明】
【0113】
１：切削装置、２：研削装置、７：制御部、８：操作パネル、１０：基台、
１１：門型コラム、１２：開口部、１３：切削機構移動機構、１４：加工送り機構、
２０：保持部、２１：保持テーブル、２２：保持面、２３：θテーブル、２４：カバー板
２５：クランプ部、２６：蛇腹カバー、３０：割り出し送り機構、３１：ガイドレール、
３２：ボールネジ、３４：Ｙ軸テーブル、４０：切込み送り機構、４１：ガイドレール、
４２：支持部材、４３：ボールネジ、４４：モータ、４８：カメラ、５０：切削機構、
５１：切削ブレード、５２：スピンドル、５５：ブレードカバー、
５６：第１液体供給ノズル、５７：第２液体供給ノズル、５８：ジョイント、
６０：加工室、６１：上壁、６２：側壁、６３：側壁、６４：側壁、６５：保護部材、
６７：仕切り板、６８：開口部、７０：刃先検出ユニット、７１：本体、７２：検出部、
７３：投光部、７４：受光部、７５：ブレード侵入部、７６：第３液体供給ノズル、
７７：エア供給ノズル、８０：第４液体供給ノズル、８１：噴射口、
８２：ウォーターカーテン、９０：液体供給ユニット、９１：第１供給源、
９２：第２供給源、９３：開閉弁、９４：第１の流路、９５：第２の流路、
９６：主流路、９７：第１制御弁、９８：第２制御弁、９９：第３制御弁、
１００：ウェーハ、１０２：分割予定ライン、
１１０：ワークセット、１１１：環状フレーム、１１３：ダイシングテープ、
１２０：研削機構、１２２：スピンドル、１２３：ホイールマウント、
１２４：研削ホイール、１２５：ホイール基台、１２６：研削砥石、１２７：制御部、
１３０：保持部材、１３１：保持テーブル、１３２：保持面、１３３：支持柱、
１４１：液体供給部、１４２：界面活性剤供給部、１４３：混合器、１６０：加工室、
１６１：上壁、１６２：下壁、１６３：側壁、１６４：側壁、１６５：第１開口部、
１６６：第２開口部、１７０：第５液体供給ノズル、２０１：搬出入領域、
２０２：加工領域、３０１：水滴、６１１：貫通孔
１１：門型コラム、１２：開口部、１３：切削機構移動機構、１４：加工送り機構、
２０：保持部、２１：保持テーブル、２２：保持面、２３：θテーブル、２４：カバー板
２５：クランプ部、２６：蛇腹カバー、３０：割り出し送り機構、３１：ガイドレール、
３２：ボールネジ、３４：Ｙ軸テーブル、４０：切込み送り機構、４１：ガイドレール、
４２：支持部材、４３：ボールネジ、４４：モータ、４８：カメラ、５０：切削機構、
５１：切削ブレード、５２：スピンドル、５５：ブレードカバー、
５６：第１液体供給ノズル、５７：第２液体供給ノズル、５８：ジョイント、
６０：加工室、６１：上壁、６２：側壁、６３：側壁、６４：側壁、６５：保護部材、
６７：仕切り板、６８：開口部、７０：刃先検出ユニット、７１：本体、７２：検出部、
７３：投光部、７４：受光部、７５：ブレード侵入部、７６：第３液体供給ノズル、
７７：エア供給ノズル、８０：第４液体供給ノズル、８１：噴射口、
８２：ウォーターカーテン、９０：液体供給ユニット、９１：第１供給源、
９２：第２供給源、９３：開閉弁、９４：第１の流路、９５：第２の流路、
９６：主流路、９７：第１制御弁、９８：第２制御弁、９９：第３制御弁、
１００：ウェーハ、１０２：分割予定ライン、
１１０：ワークセット、１１１：環状フレーム、１１３：ダイシングテープ、
１２０：研削機構、１２２：スピンドル、１２３：ホイールマウント、
１２４：研削ホイール、１２５：ホイール基台、１２６：研削砥石、１２７：制御部、
１３０：保持部材、１３１：保持テーブル、１３２：保持面、１３３：支持柱、
１４１：液体供給部、１４２：界面活性剤供給部、１４３：混合器、１６０：加工室、
１６１：上壁、１６２：下壁、１６３：側壁、１６４：側壁、１６５：第１開口部、
１６６：第２開口部、１７０：第５液体供給ノズル、２０１：搬出入領域、
２０２：加工領域、３０１：水滴、６１１：貫通孔
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】