特開2023-130282極端紫外光生成システム及び電子デバイスの製造方法

発明の名称　極端紫外光生成システム及び電子デバイスの製造方法

出願人　ギガフォトン株式会社　（識別番号 300073919）

　　　　特許公開件数ランキング 549 位（46件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 622 位（33件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-130282

公報発行日　2023年9月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-130282

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